CN113552159A - Cof载带检验使用的样品载物台及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及COF载带检测技术领域，公开了一种COF载带检验使用的样品载物台，包括：固定柱，以及载物台本体，载物台本体的下端面与固定柱固定连接，载物台本体上设有凸起安装部，凸起安装部的外侧面设有至少一个倾斜面，倾斜面的下端与载物台本体的上端面相连，倾斜面的上端与凸起安装部的顶面相连，倾斜面用于放置待检测的COF载带样品，倾斜面与上端面之间的夹角为α，85度≤α≤90度。本发明通过在载物台本体上设置倾斜面，使得待测样品粘贴在倾斜面上时，待检测样品可以呈一定的角度，节省了调整样品杯的步骤，节约了时间成本，提高了检测效率。

Description

COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法

技术领域

本发明涉及COF载带检测技术领域，尤其涉及一种COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法。

背景技术

载带(Carrier Tape)是指在一种应用于电子包装领域的带状产品，它具有特定的厚度，在其长度方向上等距分布着用于承放电子元器件的孔穴和用于进行索引定位的定位孔。

COF（覆晶薄膜）全称为chip on film，将显示驱动芯片不经过任何封装形式，直接安到挠性电路板上，达到缩小体积、能自由弯曲的目的。COF柔性封装载带，是连接半导体显示芯片和终端产品的柔性线路板，是COF封装环节的关键材料；COF封装显示驱动芯片目前主要应用于电视、电脑及手机等产品的显示屏，是LCD/OLED显示屏的关键核心芯片之一。

COF载带生产出来以后需要进行抽样检测，选取COF载带中的任意一个单元进行检测，例如可以在SEM电子扫描显微镜下观察COF载带的电子线路结构、形状、排布等，需要观察COF载带的截面时，可以将COF载带制作成切面，将COF载带的截面研磨出来，再放到SEM电子扫描显微镜下观察。目前，在SEM电子扫描显微镜下观察是通过旋转样品杯和水平载物台结合的方式，将待检测的COF载带样品放置在水平载物台表面，然后将水平载物台安装到旋转样品杯中，再通过T轴和R轴调整旋转样品杯的角度，使得待检测样品呈现最佳角度后，开始检验。而这种方式，在调整旋转样品杯需要花费5分钟左右的时间，并且，一个水平载物台只能放置一个待检测样品，检测效率低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中的COF载带检测效率低的技术问题。本发明提供一种COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法，通过在样品载物台上设置多个倾斜面，一方面省去了调整样品杯角度的操作，节约了时间成本，另一方面，能够增加载物台放置样品的数量，可以同时检测多个样品，提高了检测效率。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种COF载带检验使用的样品载物台，包括：固定柱，以及载物台本体，所述载物台本体的下端面与所述固定柱固定连接，所述载物台本体上设有凸起安装部，所述凸起安装部的外侧面设有至少一个倾斜面，所述倾斜面的下端与所述载物台本体的上端面相连，所述倾斜面的上端与所述凸起安装部的顶面相连，所述倾斜面用于放置待检测的COF载带样品，所述倾斜面与所述上端面之间的夹角为α，85度≤α≤90度。

本发明的样品载物台通过在载物台本体上设置倾斜面，使得待测样品粘贴在倾斜面上时，待检测样品可以呈一定的角度，节省了调整样品杯的步骤，节约了时间成本，提高了检测效率。

进一步，优选的，所述倾斜面与所述上端面之间形成的夹角α为85度。

进一步，优选的，所述倾斜面垂直于所述上端面。

进一步地，所述倾斜面的数量为至少一个。载物台本体上可以同时设置多个倾斜面，每个倾斜面上可以放置1-2个待检测样品，成倍地增加了待检测样品摆放的空间。

进一步地，当所述倾斜面的数量为多个时，所述顶面的形状为长方形、三角形、正方形、五边形或六边形。每个倾斜面的大小优选为相同。

本发明还提供了一种COF载带检验使用的样品载物台的使用方法，采用如上所述的COF载带检验使用的样品载物台，所述使用方法包括以下步骤：S1：将待检测的COF载带样品同时放置在倾斜面上，将固定柱安装至SEM电子扫描显微镜的样品杯中。S2：通过SEM电子扫描显微镜对待检测的COF载带样品的端面、侧面和截面进行观察。

进一步地，每个倾斜面能够同时放置1-2个待检测的COF载带样品。当进行检测时，工作人员观察完一个待检测的COF载带样品后，可以直接对下一个待检测的COF载带样品进行观察，不再需要频繁地更换检测样品，能够进一步提高检测效率。

进一步地，所述待检测的COF载带样品的表面与所述倾斜面粘贴。

本发明的有益效果如下：

本发明的COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法，通过在载物台本体上设置倾斜面，待检测的COF载带样品能够粘贴在该倾斜面上，将待检测的COF载带样品放入SEM电子扫面显微镜进行观察时，待检测的COF载带样品可以呈现一定的角度，不再需要调整样品杯的角度，可以节约时间成本。其次，载物台本体上可以同时设置多个倾斜面，每个倾斜面上可以放置多个待检测的COF载带样品，使得样品摆放空间可以成倍的增加，在进行观察时，不再需要频繁地更换待检测的COF载带样品，可以进一步节约时间成本，提高检测效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明最优实施例的结构示意图。

图2是本发明的载物台本体的一种立体图。

图3是本发明的倾斜面为90度时的示意图。

图4是本发明的顶面为长方形的结构示意图。

图5是本发明的顶面为三角形的结构示意图。

图6是本发明的顶面为正方形的结构示意图。

图7是本发明的顶面为五边形的结构示意图。

图8是本发明的顶面为六边形的结构示意图。

图9是本发明的COF载带检验使用的样品载物台的使用方法的流程图。

图中：1、载物台本体，2、固定柱，11、下端面，12、上端面，13、顶面，14、倾斜面，15、凸起安装部。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例一

如图1至图3所示，一种COF载带检验使用的样品载物台，包括：固定柱2以及载物台本体1，载物台本体1的下端面11与固定柱2固定连接，载物台本体1上设有凸起安装部15，凸起安装部15的外侧面设有一个倾斜面14，倾斜面14的下端与载物台本体1的上端面12相连，倾斜面14的上端与凸起安装部15的顶面13相连，倾斜面14用于放置待检测的COF载带样品，倾斜面14与上端面12之间的夹角为α，85度≤α≤90度。在本实施例中，载物台本体1为圆柱形，固定柱2是用于将载物台本体1安装至SEM电子扫描显微镜的样品杯中。倾斜面14是用于放置待检测的COF载带样品，例如可以将待检测的COF载带样品粘贴在倾斜面14上。

在一实施例中，倾斜面14与上端面12之间形成的夹角α为85度。上端面12为水平面。当待检测的COF载带样品粘贴在倾斜面14上时，待检测的COF载带样品自身即可呈现为倾斜，当样品载物台安装至SEM电子扫描显微镜的样品杯上时，不再需要调整样品杯的角度，可以直接进行观察操作。例如，SEM电子扫描显微镜可以观察到待检测的COF载带样品的表面、端面和截面。

在一实施例中，倾斜面14垂直于上端面12。也就是说，夹角α=90度，当待检测的COF载带样品粘贴在倾斜面14上时，待检测的COF载带样品自身即可呈现为竖直，SEM电子扫描显微镜可以对待检测的COF载带样品的端面、截面进行观察。

本实施例通过在载物台本体上设置倾斜面，使得待测样品粘贴在倾斜面上时，待检测样品可以呈一定的角度，节省了调整样品杯的步骤，节约了时间成本（至少能够节约5分钟的时间，以检测一个样品需要花费15分钟为例，原本一个小时只能检测3个样品，采用本实施例的载物台可以检测4个样品），提高了检测效率。

实施例二

如图4至图8所示，实施例二与实施例一的区别之处在于，实施例二的倾斜面14的数量为两个至六个。当夹角α=85度时，倾斜面14的数量优选最多为四个。当夹角α=90度时，倾斜面14的数量优选最多为六个。倾斜面14的数量越多，说明倾斜面14的面积会越小，为了使得能够尽可能多的待检测的COF载带样品能够粘贴在倾斜面14上，本实施例优选倾斜面14的数量最多为六个。

当倾斜面14的数量为多个时，凸起安装部15和固定柱1位于载物台本体2的中心处，使得凸起安装部15的外侧面利用率能够提高。

当倾斜面14的数量为多个时，顶面13的形状为长方形、三角形、正方形、五边形或六边形。例如，当倾斜面14的数量为两个时，顶面13的形状为长方形；当倾斜面14的数量为三个时，顶面13的形状为三角形；当倾斜面14的数量为四个时，顶面13的形状为正方形；当倾斜面14的数量为五个时，顶面13的形状为五边形；当倾斜面14的数量为六个时，顶面13的形状为六边形。每个倾斜面14可以放置1-2个待检测的COF载带样品。例如，当倾斜面14数量为六个时，最多可以放置12个待检测样品，是现有技术的12倍，大大增加了检测样品放置的空间。实施例二在实施例一的基础上进一步节省了频繁更换待检测样品的时间，例如，更换一次待检测样品需要1-2分钟的时间，那么本实施例可以就可以节约12-24分钟，可以进一步提高检测效率。

实施例三

如图9所示，一种COF载带检验使用的样品载物台的使用方法，采用如上的COF载带检验使用的样品载物台，使用方法包括以下步骤。

S1：将待检测的COF载带样品同时放置在倾斜面14上，将固定柱2安装至SEM电子扫描显微镜的样品杯中。S2：通过SEM电子扫描显微镜对待检测的COF载带样品的端面、侧面和截面进行观察。

在本实施例中，每个倾斜面14能够同时放置1-2个待检测的COF载带样品。待检测的COF载带样品的表面与倾斜面粘贴（例如可以通过双面胶粘贴）。SEM电子扫描显微镜可以对多个待检测的COF载带样品依次进行观察检测，也就是说，当工作人员通过SEM电子扫描显微镜观察完样品载物台上的一个待检测的COF载带样品后，可以直接对下一个待检测的COF载带样品进行观察检测，这样可以节省更换样品载物台上的待检测的COF载带样品的时间。例如，现有技术中，当工作人员通过SEM电子扫描显微镜观察完样品载物台上的一个待检测的COF载带样品后，需要将样品载物台取出来，再将下一个待检测的COF载带样品粘贴在载物台上，然后再放进样品杯中，再进行检测。而本实施例，相当于一次性可以将多个待检测的COF载带样品同时放进SEM电子扫描显微镜中，省去了需要频繁更换检测样品的步骤，提高了检测效率。

综上所述，本发明的COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法，通过在载物台本体上设置倾斜面，待检测的COF载带样品能够粘贴在该倾斜面上，将待检测的COF载带样品放入SEM电子扫面显微镜进行观察时，待检测的COF载带样品可以呈现一定的角度，不再需要调整样品杯的角度，可以节约时间成本。其次，载物台本体上可以同时设置多个倾斜面，每个倾斜面上可以放置多个待检测的COF载带样品，使得样品摆放空间可以成倍的增加，在进行观察时，不再需要频繁地更换待检测的COF载带样品，可以进一步节约时间成本，提高检测效率。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要如权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (8)

1.一种COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，包括：

固定柱（2），以及

载物台本体（1），所述载物台本体（1）的下端面（11）与所述固定柱（2）固定连接，所述载物台本体（1）上设有凸起安装部（15），所述凸起安装部（15）的外侧面设有至少一个倾斜面（14），所述倾斜面（14）的下端与所述载物台本体（1）的上端面（12）相连，所述倾斜面（14）的上端与所述凸起安装部（15）的顶面（13）相连，所述倾斜面（14）用于放置待检测的COF载带样品，所述倾斜面（14）与所述上端面（12）之间的夹角为α，85度≤α≤90度。

2.如权利要求1所述的COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，所述倾斜面（14）与所述上端面（12）之间夹角α为85度。

3.如权利要求1所述的COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，所述倾斜面（14）垂直于所述上端面（12）。

4.如权利要求2或3所述的COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，所述倾斜面（14）的数量为至少一个。

5.如权利要求4所述的COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，当所述倾斜面（14）的数量为多个时，所述顶面（13）的形状为长方形、三角形、正方形、五边形或六边形。

6.一种COF载带检验使用的样品载物台的使用方法，其特征在于，采用如权利要求1-5任一项所述的COF载带检验使用的样品载物台，所述使用方法包括以下步骤：

S1：将待检测的COF载带样品同时放置在倾斜面（14）上，将固定柱（2）安装至SEM电子扫描显微镜的样品杯中；

S2：通过SEM电子扫描显微镜对待检测的COF载带样品的端面、侧面和截面进行观察。

7.如权利要求6所述的COF载带检验使用的样品载物台的使用方法，其特征在于，每个倾斜面（14）能够同时放置1-2个待检测的COF载带样品。

8.如权利要求7所述的COF载带检验使用的样品载物台的使用方法，其特征在于，所述待检测的COF载带样品的表面与所述倾斜面（14）粘贴。

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