CN202423212U

CN202423212U - 扫描电镜截面样品台

Info

Publication number: CN202423212U
Application number: CN2012200086051U
Authority: CN
Inventors: 朴玲钰
Original assignee: National Center for Nanosccience and Technology China
Current assignee: National Center for Nanosccience and Technology China
Priority date: 2012-01-10
Filing date: 2012-01-10
Publication date: 2012-09-05
Anticipated expiration: 2022-01-10

Abstract

本实用新型提供一种扫描电镜截面样品台，包括：基台，其上具有凹槽，基台的一侧具有至少一个内螺纹通孔，内螺纹通孔在凹槽的一侧壁上具有开口；固定片，放置于凹槽中；螺钉，可旋入内螺纹通孔中，并从凹槽的侧壁上突出，抵住固定片。

Description

扫描电镜截面样品台

技术领域

本实用新型涉及一种扫描电镜的样品台，尤其涉及一种扫描电镜截面样品台。

背景技术

扫描电镜是一种大型精密仪器，它是机械、光、电子、热、材料与真空技术等多门学科的综合应用。在观察样品表面时，由电子枪发射出来的电子束在加速电压作用下，经过多级磁透镜会聚，形成约5nm的电子束。电子束聚焦在样品表面并做光栅状扫描，由此产生的信号电子经探测器收集并转化为电信号输出，最终成像在显示系统，形成动态的三维图像。扫描电镜在材料学、植物学、动物学、医学和考古学等领域中得到广泛应用，并取得显著成果。

现有的扫描电镜样品台主要为观察样品表面的样品台。因为样品的断面、尤其是片状样品的端面无法稳定地放置在普通的样品台上，因此需要特殊固定结构的截面样品台。目前常用的截面样品台2如图1所示，为平面圆型，在中央有一条突出的矮墙1贯穿样品台，样品使用导电胶被粘在矮墙两侧，从上方对样品的截面进行观察。由于导电胶在真空下会脱气变形，样品截面观察始终处于不稳定状态，使成像模糊。为获得清晰图像，只有等至少10分钟以上，才可以进行样品截面的观察。即使如此，在高倍下(如5万倍)，样品成像还是会受到上述不稳定因素的影响。而且，样品台绝大部分材料并非导电材料，只有在接触样品的两侧处加装了导电材料。不导电的样品台无法转移电子，使电子在样品表面大量集聚，严重影响成像效果，尤其对截面、断面样品。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种扫描电镜截面样品台，能够解决现有的样品台不稳定而使得成像模糊的问题。

本实用新型提供一种扫描电镜截面样品台，包括：

基台，其上具有凹槽，基台的一侧具有至少一个内螺纹通孔，内螺纹通孔在凹槽的一侧壁上具有开口；

固定片，放置于凹槽中；

螺钉，可旋入内螺纹通孔中，并从凹槽的侧壁上突出，抵住固定片。

根据本实用新型提供的扫描电镜截面样品台，其中固定片为U字型、一字型或L型。

根据本实用新型提供的扫描电镜截面样品台，其中固定片的形状与样品接触固定片的表面的形状相匹配。

根据本实用新型提供的扫描电镜截面样品台，其中基台、固定片、螺钉均由金属材料制成。

根据本实用新型提供的扫描电镜截面样品台，其中基台为圆形或方形。

根据本实用新型提供的扫描电镜截面样品台，其中凹槽贯穿基台的边缘。

根据本实用新型提供的扫描电镜截面样品台，其中内螺纹通孔的方向垂直于凹槽。

本实用新型提供的扫描电镜截面样品台可同时安放多个样品，安装方便简单，样品固定牢固且成像效果好。

附图说明

以下参照附图对本实用新型实施例作进一步说明，其中：

图1为现有的扫描电镜截面样品台的结构示意图；

图2为根据本实用新型实施例1的扫描电镜截面样品台的俯视图；

图3为根据本实用新型实施例1的扫描电镜截面样品台的侧视图；

图4为根据本实用新型实施例1的扫描电镜截面样品台在使用状态下的俯视图；

图5为根据本实用新型实施例2的扫描电镜截面样品台的俯视图；

图6为根据本实用新型实施例2的扫描电镜截面样品台在使用状态下的俯视图。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供一种如图2所示的扫描电镜截面样品台，包括：

方形基台11，其侧面结构如图3所示，方形基台11的中部具有贯穿基台11的边缘的贯通凹槽13，方形基台11的一侧具有两个内螺纹通孔12，内螺纹通孔12的方向垂直于凹槽13，内螺纹通孔12在凹槽的一侧壁上具有开口；

U型固定片15，如图2所示，放置于凹槽13中；

螺钉14，可旋入内螺纹通孔12中，并从凹槽的侧壁上突出。

在使用扫描电镜截面样品台时，如图4所示，将片状样品16竖直地放入凹槽13中，并使其位于固定片15的与内螺纹通孔12相反的一侧，将螺钉14旋入内螺纹通孔12，并抵住固定片15，从而使片状样品被压紧在固定片与凹槽侧壁之间，以使样品截面朝上地被固定，以备放入扫描电镜的检测腔体中检测样品的截面。

本实施例提供的扫描电镜截面样品台通过两个螺钉和固定片即可将样品稳定地固定，安装使用简单。

实施例2

本实施例提供一种如图5所示的扫描电镜截面样品台，包括：

圆形基台21，其中部具有贯穿基台21的边缘的贯通凹槽23，圆形基台21的一侧具有两个内螺纹通孔22，内螺纹通孔22的方向垂直于凹槽23，内螺纹通孔22在凹槽的一侧壁上具有开口；

U型固定片25，如图5所示，放置于凹槽23中；

螺钉24，可旋入内螺纹通孔22中，并从凹槽的侧壁上突出。

在使用扫描电镜截面样品台时，如图6所示，将片状样品26竖直地放入凹槽23中，并使其位于固定片25的与内螺纹通孔22相反的一侧，将螺钉24旋入内螺纹通孔22，并抵住固定片25，从而使片状样品被压紧在固定片与凹槽侧壁之间，以使样品截面朝上地被固定，以备放入扫描电镜的检测腔体中检测样品的截面。

本实施例提供的扫描电镜截面样品台通过两个螺钉和固定片即可将样品稳定地固定，安装使用简单。另外，由于扫描电镜的检测腔体的空间有限，将样品台的基台制成为圆形可增大固定样品的空间。

根据本实用新型的其他实施例，其中基台的形状不限于上述的方形和圆形，也可以为其他形状。

根据本实用新型的其他实施例，其中固定片的形状不限于U字型(U字型的好处在于能够更加方便地拿取固定片)，也可以为“一”字型、L型等，固定片与样品接触的表面也可以根据样品表面的形状而起伏，以匹配样品表面的形状，从而更稳定地固定样品。

根据本实用新型的其他实施例，其中扫描电镜截面样品台的所有部件均有导电材料制成，如金属，从而避免电子集聚，保证了样品截面、断面的成像效果。

根据本实用新型的其他实施例，其中螺钉的个数不限于两个，也可以为1个或多个，例如在测量较大样品时，可增加螺钉和内螺纹孔的个数，以更稳定地固定样品。

根据本实用新型的其他实施例，其中扫描电镜截面样品台还可同时固定多个样品，从而同时观察多个样品，避免频繁安装、更换样品台，防止仪器损坏。

在上述实施例中，基台上的凹槽贯穿基台的边缘，这样的好处是当样品较大时，样品可超出基台边缘，从而不受基台大小的限制。也可以使凹槽不贯穿基台的边缘，同样可以实现本发明的目的。

最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制。尽管参照实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，都不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims

1.一种扫描电镜截面样品台，其特征在于包括：

固定片，放置于凹槽中；

2.根据权利要求1所述的扫描电镜截面样品台，其特征在于固定片为U字型、一字型或L型。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜截面样品台，其特征在于固定片的形状与样品接触固定片的表面的形状相匹配。

4.根据权利要求3所述的扫描电镜截面样品台，其特征在于基台、固定片、螺钉均由金属材料制成。

5.根据权利要求1所述的扫描电镜截面样品台，其特征在于基台为圆形或方形。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜截面样品台，其特征在于凹槽贯穿基台的边缘。

7.根据权利要求1所述的扫描电镜截面样品台，其特征在于内螺纹通孔的方向垂直于凹槽。