CN213958903U - 一种样品台及扫描电子显微镜 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电子扫描显微装置技术领域，提供了一种样品台及扫描电子显微镜，该样品台包括：基台体，具有面向检测部件设置的第一端面；所述第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面；所述水平台面沿水平方向设置，所述第一垂直断面台面沿竖直方向设置，所述第一斜台面呈倾斜设置。本实用新型提供的样品台，基台体具有面向检测部件设置的第一端面，在第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面，可以同时用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，无需选择多个类型不同的样品台并先后进样，减少了扫描电子显微镜的观测时间，提高了观测效率。

Description

一种样品台及扫描电子显微镜

技术领域

本实用新型涉及电子扫描显微装置技术领域，具体涉及一种样品台及扫描电子显微镜。

背景技术

SEM(Scanning Electron Microscope，扫描电子显微镜)是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜，是一种新型的电子仪器，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。SEM的焦深比TEM(Transmission ElectronMicroscope，透射电子显微镜)大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜更多的信息。SEM所显示的断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，具有不可替代的作用，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

样品台是SEM的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子束扫描系统成像表征样品的局部特征。然而，目前SEM常用的样品台对装载样品的断面斜面观察有一定的限制，只适用于平面或断面的观察，不能在一个样品台上观察到样品的斜面、平面及断面样品形貌；当需要对样品的平面、断面及斜面进行观测时，需要选择多个类型不同的样品台并先后进样，增加了扫描电子显微镜的观测时间，影响观测效率。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的样品台只适用于平面或断面的观察，不能在一个样品台上观察样品的斜面、平面及断面样品形貌的缺陷，从而提供一种样品台及扫描电子显微镜。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种样品台，包括：基台体，具有面向检测部件设置的第一端面；所述第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面；所述水平台面沿水平方向设置，所述第一垂直断面台面沿竖直方向设置，所述第一斜台面呈倾斜设置。

进一步地，所述第一端面上还包括倾斜角度与所述第一斜台面的倾斜角度不同的第二斜台面。

进一步地，所述基台体上设有凹槽，所述凹槽的槽底为所述水平台面，所述凹槽的其中一个侧壁为所述第一垂直断面台面。

进一步地，所述凹槽为矩形槽，所述第一端面上还包括作为所述矩形槽的另一侧壁的第二垂直断面台面。

进一步地，所述矩形槽的其中一个槽口边缘向靠近所述基台体的一侧边缘的方向倾斜延伸形成所述第一斜台面；所述矩形槽的另一个槽口边缘向靠近所述基台体的另一侧边缘的方向倾斜延伸形成所述第二斜台面。

进一步地，所述第一斜台面靠近所述矩形槽的槽口一端的高度大于靠近所述基台体一侧边缘的高度；所述第二斜台面靠近所述矩形槽的槽口一端的高度大于靠近所述基台体一侧边缘的高度。

进一步地，所述第一斜台面的倾角范围为55°－65°，所述第二斜台面(7)的倾角范围为25°－35°。

进一步地，所述基台体呈圆柱状结构，所述基台体的顶面为所述第一端面，所述凹槽由所述基台体的顶面向下凹陷形成。

进一步地，所述基台体的外周壁上设有若干用于连接外部部件的安装孔。

一种扫描电子显微镜，包括上述所述的样品台。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的样品台，基台体具有面向检测部件设置的第一端面，在第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面，同一样品台可以用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，无需选择多个类型不同的样品台并先后进样，减少了扫描电子显微镜的观测时间，提高了观测效率。

2.本实用新型提供的样品台，凹槽具有一定的深度，高深度的水平台面避免了样品过厚而导致探针下压接触样品时折断，提高了样品台的实用性。

3.本实用新型提供的样品台，在基台体的外周壁上设有若干用于连接外部部件的安装孔，可以防止样品台在测试过程中发生晃动和滑脱，避免对测试造成影响。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一个实施例中样品台的主视图；

图2为本实用新型一个实施例中样品台的右视图；

图3为本实用新型一个实施例中样品台的左视图；

图4为本实用新型一个实施例中样品台的俯视图。

附图标记说明：

1、基台体； 2、安装孔； 3、第一斜台面；

4、第一垂直断面台面； 5、水平台面； 6、第二垂直断面台面；

7、第二斜台面。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

图1为本实用新型一个实施例中样品台的主视图；图2为本实用新型一个实施例中样品台的右视图；如图1与图2所示，本实用新型提供一种样品台，包括：基台体1，具有面向检测部件设置的第一端面；第一端面上至少包括水平台面5、第一垂直断面台面4和第一斜台面3；水平台面5沿水平方向设置，第一垂直断面台面4沿竖直方向设置，第一斜台面3呈倾斜设置。

具体的，例如，该基台体1可以为圆柱形结构，其中，基台体1的顶面为第一端面，基台体1的底面为第二端面。在第一端面上同时设置有水平台面5、第一垂直断面台面4以及第一斜台面3，用于分别对样品的平面、端面以及斜面形貌进行观察。其中，水平台面5、第一垂直断面台面4以及第一斜台面3均可以通过对第一端面的刻蚀或切割而形成。其中，第一斜台面3使用时，可以将样品粘贴到第一斜台面3上进行观察。

本实用新型提供的样品台，具有面向检测部件设置的第一端面，在第一端面上至少包括水平台面5、第一垂直断面台面4和第一斜台面3，当需要观察样品的斜面、平面及断面的样品形貌时，无需选择多个类型不同的样品台并先后进样，减少了扫描电子显微镜的观测时间，提高了观测效率。

图3为本实用新型一个实施例中样品台的左视图；如图3所示，本实施例中，第一端面上还包括倾斜角度与第一斜台面3的倾斜角度不同的第二斜台面7。例如，为了提高该样品台的适用性，可以同时观察多种角度的样品形貌，可以在第一断面上刻蚀或者切割出第二斜台面7。

图4为本实用新型一个实施例中样品台的俯视图，如图4所示，本实施例中，基台体1上设有凹槽，凹槽的槽底为水平台面5，凹槽的其中一个侧壁为第一垂直断面台面4。例如，凹槽可以设置在第一断面上，该凹槽的长度方向与基台体1的径向方向相一致，该凹槽的深度方向与基台体1的轴向方向相一致，凹槽的宽度可以根据需要设置。

本实施例中，凹槽为矩形槽，第一端面上还包括作为矩形槽的另一侧壁的第二垂直断面台面6。即，该矩形槽的其中一个侧壁作为第一垂直断面台面4，另一个侧壁作为第二垂直断面台面6。其中，第一垂直断面台面4的高度与第二垂直断面台面6的高度可以相同，也可以不同。

本实施例中，矩形槽的其中一个槽口边缘向靠近基台体1的一侧边缘的方向倾斜延伸形成第一斜台面3；矩形槽的另一个槽口边缘向靠近基台体1的另一侧边缘的方向倾斜延伸形成第二斜台面7。即，第一斜台面3沿靠近基台体1边缘的方向高度逐渐减小；第二斜台面7沿靠近基台体1的边缘的方向高度逐渐减小。第一斜台面3和第二斜台面7分别向基台体1两侧边缘的方向延伸，使第一斜台面3和第二斜台面7可以面向外侧基台体1的外侧，不仅使将样品粘贴在第一斜台面3和第二斜台面7上的操作更加方便，而且可以减小安装在第一斜台面3和第二斜台面7上的样品对位于水平台面5、第一垂直断面台面4、第二垂直断面台面6上样品的安装和检查造成的干扰。

本实施例中，第一斜台面3靠近矩形槽的槽口一端的高度大于靠近基台体1一侧边缘的高度；第二斜台面7靠近矩形槽的槽口一端的高度大于靠近基台体1一侧边缘的高度。即，第一斜台面3沿靠近第二端面的方向高度逐渐减小；第二斜台面7沿靠近第二端面的方向高度逐渐减小。

本实施例中，第一斜台面3的倾角范围为55°－65°，优选为60°，即第一斜台面3与水平面的夹角为60°；第二斜台面7的倾角范围为25°－35°，优选为30°，即第二斜台面7与水平面的夹角为30°。

本实施例中，基台体1呈圆柱状结构，基台体1的顶面为第一端面，凹槽由基台体1的顶面向下凹陷形成。其中，凹槽的深度范围为40－60mm。例如，该凹槽的深度可以为50mm。

本实施例中，基台体1的外周壁上设有若干用于连接外部部件的安装孔2。例如，安装孔2的数目为八个，每两个安装孔2为一组，同组的两个安装孔2沿基台体1的轴向间隔设置，四组安装孔2沿基台体1的周向等间隔设置。

一种扫描电子显微镜，包括上述的样品台。

本实用新型提供的样品台具有水平台面、第一垂直断面台面、第二垂直断面台面、第一斜台面以及第二斜台面，构成多角度观察样品形貌的台面结构，用于多角度观察样品形貌。适用于各种扫描电镜，可同时观察多种角度的样品形貌，高深度的水平台面避免了样品过厚而导致探针下压接触样品时折断，提高了样品台的实用性，减少了多次更换不同样式样品台的操作步骤，大大提高了扫描电子显微镜测试时的工作效率。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种样品台，其特征在于，包括：

基台体(1)，具有面向检测部件设置的第一端面；所述第一端面上至少包括水平台面(5)、第一垂直断面台面(4)和第一斜台面(3)；所述水平台面(5)沿水平方向设置，所述第一垂直断面台面(4)沿竖直方向设置，所述第一斜台面(3)呈倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，

所述第一端面上还包括倾斜角度与所述第一斜台面(3)的倾斜角度不同的第二斜台面(7)。

3.根据权利要求2所述的样品台，其特征在于，

所述基台体(1)上设有凹槽，所述凹槽的槽底为所述水平台面(5)，所述凹槽的其中一个侧壁为所述第一垂直断面台面(4)。

4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，

所述凹槽为矩形槽，所述第一端面上还包括作为所述矩形槽的另一侧壁的第二垂直断面台面(6)。

5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，

所述矩形槽的其中一个槽口边缘向靠近所述基台体(1)的一侧边缘的方向倾斜延伸形成所述第一斜台面(3)；

所述矩形槽的另一个槽口边缘向靠近所述基台体(1)的另一侧边缘的方向倾斜延伸形成所述第二斜台面(7)。

6.根据权利要求5所述的样品台，其特征在于，

所述第一斜台面(3)靠近所述矩形槽的槽口一端的高度大于靠近所述基台体(1)一侧边缘的高度；

所述第二斜台面(7)靠近所述矩形槽的槽口一端的高度大于靠近所述基台体(1)一侧边缘的高度。

7.根据权利要求5所述的样品台，其特征在于，

所述第一斜台面(3)的倾角范围为55°－65°，所述第二斜台面(7)的倾角范围为25°－35°。

8.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，

所述基台体(1)呈圆柱状结构，所述基台体(1)的顶面为所述第一端面，所述凹槽由所述基台体(1)的顶面向下凹陷形成。

9.根据权利要求1－8任一项所述的样品台，其特征在于，

所述基台体(1)的外周壁上设有若干用于连接外部部件的安装孔(2)。

10.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括权利要求1－9中任一项所述的样品台。

Images