CN201681093U - 样品支架的取放装置以及扫描式电子显微镜 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种样品支架的取放装置以及扫描式电子显微镜，所述样品支架包括一滑动部，所述样品支架的取放装置包括：底座以及设置于所述底座上的滑道，所述滑道与所述滑动部滑动连接。所述样品支架的滑动部可恰好延伸到所述滑道内并在所述滑道内滑动，所述滑道可限定所述样品支架的移动方向，使得操作人员可快速准确的从样品室中推进或取出样品支架，确保所述样品支架在取放过程中不会碰撞扫描式电子显微镜的其它部件。

Description

样品支架的取放装置以及扫描式电子显微镜

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种样品支架的取放装置以及扫描式电子显微镜。

背景技术

随着半导体技术的飞速发展，电子显微镜被越来越广泛的应用在对产品的微观结构分析过程中。所述电子显微镜通常包括扫描式电子显微镜(SEM)以及透射式电子显微镜(TEM)。所述扫描式电子显微镜的解像介于光学显微镜与透射式电子显微镜之间，其可用于检验固体样品，由于所述扫描式电子显微镜的视野纵深长，可显示较为清晰的三维空间像。

以集成电路的剖面分析为例，一般可采用扫描式电子显微镜进行测量分析。所述扫描式电子显微镜包括电子光学系统、样品支架(holder)和容置所述样品支架的样品室(chamber)。所述电子光学系统可产生电子束(也称为一次电子)，所述电子束在样品(sample)表面进行扫描，一部分的电子被所述样品吸收，其余的电子被反射并且从所述样品中释放出二次电子，所述二次电子和反射电子被捕获后再被放大，从而能够得到样品表面的起伏形貌的图案。在所述扫描式电子显微镜的扫描过程中，待测试的样品放置于样品支架上并位于物镜之下。所述样品支架的底部设置有滑动部，所述滑动部为一凸起，所述样品室内还设置有滑槽，通过所述样品支架的滑动部在所述样品室内滑动，从而使所述样品精确的定位，以使电子束能够准确的扫描到样品表面。

在扫描式电子显微镜的日常维护中，需要经常将所述样品支架从样品室中取出，以更换或清洗样品支架，之后再将清洗后的样品支架或新的样品支架安装到所述样品室内。但是，在实际使用中发现，由于样品室的空间非常小，并且滑槽非常短，所述滑槽仅能引导所述样品支架在样品室内部滑动，在操作人员从样品室内取出所述样品支架，或将样品支架推进到样品室的过程中，由于没有引导所述样品支架移动的装置，所述样品支架极易碰撞到样品室内的其它部件，导致其它部件损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种样品支架的取放装置，以确保样品支架取放过程中不会碰撞扫描式电子显微镜的其它部件。

本实用新型的另一目的在于，提供一种包括上述样品支架的取放装置的扫描式电子显微镜。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种样品支架的取放装置，所述样品支架包括一滑动部，所述样品支架的取放装置包括：底座以及设置于所述底座上的滑道，所述滑道与所述滑动部滑动连接。

可选的，在所述样品支架的取放装置中，还包括与所述底座连接的固定部。

可选的，在所述样品支架的取放装置中，所述固定部的一端通过紧固螺丝与所述底座连接。

可选的，在所述样品支架的取放装置中，所述固定部的一端通过粘合剂与所述底座连接。

可选的，在所述样品支架的取放装置中，所述固定部与底座是一体成型的。

可选的，在所述样品支架的取放装置中，所述底座和所述固定部的材质是聚偏氟乙烯。

本实用新型还提供了一种扫描式电子显微镜，所述扫描式电子显微镜包括电子光学系统、样品支架以及容置所述样品支架的样品室，所述样品支架包括一滑动部，所述扫描式电子显微镜还包括样品支架的取放装置，所述样品支架的取放装置包括底座以及设置于底座上的滑道，所述滑道与滑动部滑动连接。

可选的，在所述扫描式电子显微镜中，所述样品支架的取放装置还包括与所述底座连接的固定部。

可选的，在所述扫描式电子显微镜中，所述固定部的一端通过紧固螺丝与所述底座连接。

可选的，在所述扫描式电子显微镜中，所述固定部的一端通过粘合剂与所述底座连接。

可选的，在所述扫描式电子显微镜中，所述固定部与底座是一体成型的。

可选的，在所述扫描式电子显微镜中，所述固定部的另一端与样品室连接。

可选的，在所述扫描式电子显微镜中，所述底座和所述固定部的材质是聚偏氟乙烯。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型提供的样品支架的取放装置包括底座以及设置于底座上的滑道，所述样品支架的滑动部可恰好延伸到所述滑道内并在所述滑道内滑动，所述滑道可限定所述样品支架的移动方向，使得操作人员可快速准确的从样品室中推进或取出样品支架，确保所述样品支架在取放过程中不会碰撞扫描式电子显微镜的其它部件。

附图说明

图1为本实用新型实施例的样品支架的取放装置的示意图；

图2为本实用新型实施例的样品支架的取放装置与样品室的连接示意图；

图3为本实用新型实施例的扫描式电子显微镜的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的样品支架的取放装置及扫描式电子显微镜作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想在于，提供一种样品支架的取放装置以及扫描式电子显微镜，所述样品支架的取放装置包括底座以及设置于底座上的滑道，由于所述滑道的存在，可使所述样品支架的滑动部延伸到所述滑道内并在所述滑道内滑动，从而限定所述样品支架的移动方向，使所述样品支架在所述滑道内得以引导，确保所述样品支架取放过程中不会碰撞其它部件。

请参考图1，其为本实用新型实施例的样品支架的取放装置的示意图，所述样品支架包括一滑动部，所述样品支架的取放装置100包括：底座110以及设置于底座110上的滑道120，所述滑道120可与所述样品支架的滑动部滑动连接。所述滑道120的形状和尺寸与样品支架的滑动部相匹配，所述样品支架的滑动部可恰好延伸到滑道120内并在滑道120内滑动，所述滑道120可限定所述样品支架的移动方向，以使所述样品支架在滑道120内得以引导，使得操作人员可快速准确的从样品室中推进或取出所述样品支架，确保所述样品支架在取放过程中不会碰撞扫描式电子显微镜的其它部件。

请参考图2，其为本实用新型实施例的样品支架的取放装置与样品室的连接示意图。为了简便起见，图2中仅示出了样品支架的取放装置100以及样品室230。如图1和图2所示，所述样品支架的取放装置100还包括垂直于底座110并与底座110连接的固定部130，所述固定部130呈薄片状。可通过固定部130将底座110固定在样品室230的特定位置上，例如，可将样品支架的取放装置100固定在样品室230的侧壁上，并使滑道120的位置与样品室230内的滑槽(未图示)的位置相对应。优选的，所述样品支架的取放装置100的固定部130的另一端可通过紧固螺丝与样品室230连接，以便于拆卸所述样品支架的取放装置100。当然，所述样品支架的取放装置100也可通过其它方式进行固定，例如，可利用粘合剂将底座110粘合在样品室230的侧壁上。

需要说明的是，为了确保所述样品支架的取放装置100不会影响样品室230的密封，在无需从样品室230中推进或取出样品支架时，可将所述样品支架的取放装置100拆卸下来。当需要使用样品支架的取放装置100时，再将所述样品支架的取放装置100固定在样品室230的侧壁上。

如图2所示，可同时将两个样品支架的取放装置100固定在样品室230的侧壁上，所述两个样品支架的取放装置100可共同限定所述样品支架的移动方向，当然，也可仅利用一个样品支架的取放装置100来引导样品支架。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述固定部130与底座110是一体成型的。当然，所述固定部130上也可设置有螺纹孔，所述固定部130的一端可通过紧固螺丝140与底座110连接。在本实用新型其它具体实施例中，所述固定部130的一端还可通过粘合剂与底座110连接。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述底座110和固定部130的材质是聚偏氟乙烯(PVDF)，由于聚偏氟乙烯材料不易产生颗粒，因此可确保所述样品支架的取放装置100不会污染待测试的样品。当然，所述底座110和固定部130也可由其它材质(如金属)制成。

本实用新型实施例还提供了一种扫描式电子显微镜。请参考图3，其为本实用新型实施例的扫描式电子显微镜的示意图。如图3所示，所述扫描式电子显微镜包括：电子光学系统210、样品支架220和容置样品支架220的样品室230，所述样品支架220包括一滑动部。所述扫描式电子显微镜还包括样品支架的取放装置100，所述样品支架的取放装置100的滑道120与样品支架220的滑动部滑动连接。所述样品支架220的滑动部可延伸到滑道120内并在滑道120内滑动，使得操作人员可快速准确的从样品室230中推进或取出所述样品支架220，确保所述样品支架220在取放过程中不会碰撞其它部件。

进一步的，所述扫描式电子显微镜还包括扫描系统240、信号探测放大系统250、图像显示和记录系统260、真空系统270以及电源系统280。所述电子光学系统210与电源系统280和扫描系统240连接，所述电子光学系统210包括电子枪以及聚光镜(第一聚光镜、第二聚光镜和物镜)，所述电子枪用于形成微细的电子束。所述扫描系统240与样品室230连接，所述扫描系统240包括扫描信号发生器、扫描放大控制器、扫描偏转线圈，所述扫描系统240用于完成样品的扫描过程。所述信号探测放大系统250与样品室230和图像显示和记录系统260连接，所述信号探测放大系统250用于探测和收集二次电子和反射电子。所述图像显示和记录系统260用于进行图像显示和记录管理。所述真空系统270与样品室230内连接，其用于使样品室230内的真空度满足工艺要求。所述电子光学系统210产生的电子束在样品表面进行扫描，一部分的电子被吸收，其余的电子被反射并从样品中释放出二次电子，所述二次电子和反射电子被捕获后再被放大，从而得到反映所述样品表面形貌的二次电子像。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (13)

1.一种样品支架的取放装置，所述样品支架包括一滑动部，其特征在于，所述样品支架的取放装置包括：底座以及设置于所述底座上的滑道，所述滑道与所述滑动部滑动连接。

2.如权利要求1所述的样品支架的取放装置，其特征在于，还包括与所述底座连接的固定部。

3.如权利要求2所述的样品支架的取放装置，其特征在于，所述固定部与所述底座是一体成型的。

4.如权利要求2所述的样品支架的取放装置，其特征在于，所述固定部的一端通过紧固螺丝与所述底座连接。

5.如权利要求2所述的样品支架的取放装置，其特征在于，所述固定部的一端通过粘合剂与所述底座连接。

6.如权利要求2所述的样品支架的取放装置，其特征在于，所述底座和所述固定部的材质是聚偏氟乙烯。

7.一种扫描式电子显微镜，包括电子光学系统、样品支架以及容置所述样品支架的样品室，所述样品支架包括一滑动部，其特征在于，所述扫描式电子显微镜还包括样品支架的取放装置，所述样品支架的取放装置包括：底座以及设置于所述底座上的滑道，所述滑道与所述滑动部滑动连接。

8.如权利要求7所述的扫描式电子显微镜，其特征在于，所述样品支架的取放装置还包括与所述底座连接的固定部。

9.如权利要求8所述的样品支架的取放装置，其特征在于，所述固定部与所述底座是一体成型的。

10.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其特征在于，所述固定部的一端通过紧固螺丝与所述底座连接。

11.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其特征在于，所述固定部的一端通过粘合剂与所述底座连接。

12.如权利要求8所述的样品支架的取放装置，其特征在于，所述固定部的另一端与所述样品室连接。

13.如权利要求8所述的样品支架的取放装置，其特征在于，所述底座和所述固定部的材质是聚偏氟乙烯。