CN207233695U - 一种扫描电镜样品台 - Google Patents

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吴园园
金传伟
张珂
洪慧敏
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Institute Of Research Of Iron & Steel shagang jiangsu Province
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Abstract

本实用新型涉及一种扫描电镜样品台,该样品台包括:底座、圆形台面、圆柱形的定位销及样品定位器,所述的底座位于圆形台面的中心,圆形台面上设有两组各三个螺纹通孔,圆柱形的定位销下部有与螺纹孔匹配的螺纹,样品定位器上设有两组各三个圆通孔,各圆通孔之间的夹角和位置与圆形台面上的螺纹通孔完全对应,用于辅助制备符合本样品台的样品。本实用新型设计合理,样品放置稳定牢固,易于操作使用。

Description

一种扫描电镜样品台
技术领域
本实用新型属于扫描电镜实验室样品夹持装置领域,特别涉及一种进行大面积夹杂物统计实验的样品台。
背景技术
样品台是扫描电镜的核心部件,主要用于装载样品。传统的扫描电镜样品台通过导电胶粘贴或者机械夹持等方式固定样品,通常适用于常规小尺寸样品的装载。
但在利用扫描电镜进行夹杂物统计方面,为了达到统计的目的,经常选用面积在100平方厘米以上的连铸坯样品进行分析,这样统计结果对后续的夹杂物控制才具有实际意义。传统样品台的固定方式不适合大尺寸连铸坯的放置,会导致重心不稳,且在移动的过程中样品由于惯性容易产生滑动,甚至掉进样品仓。但如果无限制的增大样品台尺寸则会导致样品的移动行程受到样品仓空间限制,不能真正的实现大面积检测。因此,设计出适合不同尺寸样品固定要求的扫描电镜样品台至关重要。
对于传统的扫描电镜样品台,专利CN202259150U公开的一种扫描电镜样品台、专利CN201936840U公开的一种用于扫描电镜分析的样品座、专利CN201142313公开的一种扫描电镜样品台集合器、专利CN202930353U公开的一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台等已在样品固定方式及不同样品类型方面有所改进。但是,上述专利基本都是采用外夹持的方式固定样品,对于样品尺寸有较大限制。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是,克服现有技术的缺点,提供一种结构简单、使用安全、操作方便的扫描电镜样品台。
为了实现上述实用新型目的,本实用新型采用的技术方案为:
一种扫描电镜样品台,包括:底座、圆形台面、圆柱形的定位销,样品定位器,底座位于圆形台面的中心,圆形台面上设有两组各三个螺纹通孔,圆柱形的定位销下部的螺纹与圆形台面上的螺纹通孔相匹配,样品定位器上设有两组各三个圆通孔。
进一步,所述的一种扫描电镜样品台,圆形台面上的两组各三个螺纹通孔直径均为4mm,且每组各螺纹通孔之间的夹角为120°,一组螺纹通孔位于圆形台面半径的1/4处(靠近边缘),一组螺纹通孔位于圆形台面半径的1/2处,以满足不同尺寸样品的固定要求,确保样品在移动过程中稳定牢固。
进一步,所述的一种扫描电镜样品台,圆柱形的定位销为上大下小,上方直径5mm,并且顶端有30°倒角,下方直径4mm。
进一步,所述的一种扫描电镜样品台,圆形台面所用材料为铝,圆柱形的定位销所用材料为不锈钢。
进一步,所述的一种扫描电镜样品台,样品定位器厚度为1mm,两组各三个圆通孔的直径均为2mm,且各圆通孔之间的夹角和位置与圆形台面上的螺纹通孔完全对应。
同现有技术相比,本实用新型的有益效果至少在于:
(1)本实用新型的结构简单,使用安全、操作方便;
(2)由于定位销的固定作用,使得样品在移动过程中稳定牢固,不易滑动或脱落,不同位置定位销的设计,使得扫描电镜样品台适用于不同尺寸样品分析,甚至面积在100平方厘米以上的连铸坯样品分析,且样品台的行程能够达到125mm×125mm,在满足电镜样品仓空间限制的前提下,最大限度增大检测面积。
附图说明:
图1是本实用新型样品台的结构示意图;
图2是本实用新型样品台的底座及两组各三个螺纹通孔位置示意图;
图3是本实用新型样品台的样品定位器及其两组各三个圆通孔位置示意图;
图中:1-底座,2-圆形台面,3-圆柱形的定位销,4-样品定位器,5-位于圆形台面半径1/2处的螺纹通孔,6-位于圆形台面半径1/4处(靠近边缘)的螺纹通孔,7-位于样品定位器半径1/2处的圆通孔,8-位于样品定位器半径1/4处(靠近边缘)的圆通孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的阐述,但该实施例不应理解为对本实用新型的限制。
参阅图1,该样品台包括带底座1的圆形台面2、圆柱形的定位销3,且圆形台面的直径为100mm,最大样品尺寸可以达到150mm×150mm,保证重量不超过5kg,样品厚度可以达到25mm,且样品台的移动行程可以达到125mm×125mm,在满足电镜样品仓空间限制的前提下,最大限度增大检测面积。圆柱形的定位销3为上大下小,上方直径5mm,高度为3mm,并且顶端有30°倒角,下方直径4mm,高度5mm,且有与螺纹通孔匹配的螺纹。
参阅图2,该样品台底座1位于圆形台面2的中心,保证大尺寸样品重心稳固,并适合放置在德国蔡司公司的Sigma型扫描电镜样品台上。圆形台面2上设有两组各三个螺纹通孔,用于放置圆柱形的定位销3。圆柱形的定位销3从上部螺纹通孔处拧入,用于固定样品,使得样品在移动过程中稳定牢固,不易滑动或脱落。且每组各螺纹通孔之间的夹角为120°,螺纹通孔5位于圆形台面半径的1/2处,螺纹通孔6位于圆形台面半径的1/4处(靠近边缘),以满足不同尺寸样品的固定要求,确保样品在移动过程中稳定牢固。
参阅图3,样品定位器4是直径为100mm的钢板,厚度为1mm,两组各三个圆通孔的直径均为2mm,且每组各圆通孔之间的夹角为120°,圆通孔7位于样品定位器半径的1/2处,圆通孔8位于样品定位器半径的1/4处(靠近边缘),与圆形台面2上的螺纹通孔完全对应。利用样品定位器4在样品上做好标记,然后在样品上钻出直径为6mm、深度约4mm的三个孔,并将三个钻孔与样品台上的定位销上方凸起位置对准,将样品插入固定后完成装载。
本实用新型还可以有其他多种实施方式,但在不脱离本实用新型精神及其实质之情况下,本领域技术人员当可根据本实用新型做出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
本说明书中若有未作详细描述的内容,应为本领域的专业技术人员公知或应知的技术,此处不再赘述。

Claims (5)

1.一种扫描电镜样品台,其特征在于:该样品台包括:底座(1)、圆形台面(2)、圆柱形的定位销(3),样品定位器(4),所述的底座(1)位于圆形台面(2)的中心,圆形台面(2)上设有两组各三个螺纹通孔,圆柱形的定位销(3)下部的螺纹与圆形台面(2)上的螺纹通孔相匹配,样品定位器(4)上设有两组各三个圆通孔。
2.如权利要求1所述的一种扫描电镜样品台,其特征在于:所述的圆形台面(2)上的两组各三个螺纹通孔直径均为4mm,且每组各螺纹通孔之间的夹角为120°,一组螺纹通孔位于圆形台面半径的1/4处,一组螺纹通孔位于圆形台面半径的1/2处,以满足不同尺寸样品的固定要求,确保样品在移动过程中稳定牢固。
3.如权利要求1所述的一种扫描电镜样品台,其特征在于:所述的圆柱形的定位销(3)为上大下小,上方直径5mm,并且顶端有30°倒角,下方直径4mm。
4.如权利要求1所述的一种扫描电镜样品台,其特征在于:所述的圆形台面(2)所用材料为铝,圆柱形的定位销(3)所用材料为不锈钢。
5.如权利要求1所述的一种扫描电镜样品台,其特征在于:所述的样品定位器(4),厚度为1mm,两组各三个圆通孔的直径均为2mm,且各圆通孔之间的夹角和位置与圆形台面(2)上的螺纹通孔完全对应。
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