CN201897541U - 一种用于tem样品提取的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于TEM样品提取的装置，包括放置台，还包括上托板、下托板和调节螺丝，其中所述上托板上设置有与所述放置台相适配的固定孔，所述下托板的一端与所述上托板连接，所述下托板的另一端设置有与所述调节螺丝相适配的螺丝孔。综上所述，本实用新型提供一种TEM样品放置台，包括上托板、下托板以及调节螺丝，所述上托板与下托板一端连接，另一端由调节螺丝支撑，通过调节所述调节螺丝的长短，调节所述上托板与所述下托板之间的夹角，从而调节位于所述上托板上的放置台的倾角，当倾角达到一定角度后探针即可方便提取、调整位于放置台上的TEM样品的倾角，从而达到提高提取、调整TEM样品的成功率，避免重复操作，提高工作效率。

Description

一种用于TEM样品提取的装置

技术领域

本实用新型涉及一种半导体检测工具，尤其涉及一种用于TEM样品提取的装置。

背景技术

在半导体器件制作过程中，需要对聚焦离子束(FIB)制备的样品进行透射电子显微镜(TEM)测试以分析所制作的器件的失效性。

现有技术制备TEM样品的过程为：首先截取晶圆上需要检测区域的晶圆片，将所述晶圆片放置于FIB装置中，首先利用聚焦离子束对晶圆片上需要检测区域的两侧形成凹坑，接着减薄凹坑之间的区域至100～200nm之间，以便后续观察，最后将减薄的区域脱离，完成制备TEM样品；接着进行提取过程，将FIB处理后的晶圆片从FIB装置上转移至提取(Pick Up)机台，在显微镜下利用提取机台的吸取针将样品吸起，最终放置于一设有粘附碳膜的铜网上进行观察。

图1为现有技术中TEM样品提取装置的示意图，如图1所示，在实验过程中发现，因无法通过肉眼看到样品，在吸取操作时，完全在显微镜下完成的，用吸取针30吸取制备的TEM样品时，无法控制TEM样品10的方向，由于吸取针30与显微镜镜筒20之间的距离有限，并且吸取针30在机械手臂的操作下运动有限，会出现将TEM样品10推入FIB制备TEM样品时所留下的两个凹坑的侧壁或底部，甚至将TEM样品10推到晶圆截片的外部，则样品无从找回，不得不重新制取TEM样品，耗费大量人力物力。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供一种便于提取、调整TEM样品的装置。

为解决上述问题，本实用新型提供一种用于TEM样品提取的装置，包括用于放置TEM样品的放置台，所述放置台底部设有支撑部，还包括上托板、下托板和调节螺丝，所述下托板的一端与所述上托板连接，所述调节螺丝位于所述上托板和所述下托板之间。

进一步的，所述上托板上设置有固定孔，所述固定孔与所述放置台的底部相适配。

进一步的，所述下托板上设置有螺丝孔，所述螺丝孔与所述调节螺丝相适配。

进一步的，所述上托板与所述下托板通过转轴连接。

可选的，所述上托板、所述下托板为硬质材料。

可选的，所述放置台的上表面为圆形或方形。

综上所述，本实用新型提供一种用于TEM样品提取的装置，包括上托板、下托板以及调节螺丝，所述上托板与下托板一端连接，另一端由调节螺丝支撑，通过调节所述调节螺丝的长短，调节所述上托板与所述下托板之间的夹角，从而调节位于所述上托板上的放置台的倾角，当倾角达到一定角度后探针即可方便提取、调整位于放置台上的TEM样品，从而达到提高提取、调整TEM样品的成功率，避免重复操作，提高工作效率。

附图说明

图1为现有技术中TEM样品提取装置的示意图。

图2为本实用新型一实施例中用于TEM样品提取的装置。

具体实施方式

为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。

其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。

本实用新型的核心思想是：提供一种TEM样品放置台，包括上托板、下托板以及调节螺丝，所述上托板与下托板一端连接，另一端由调节螺丝支撑，通过调节所述调节螺丝的长短，调节所述上托板与所述下托板之间的夹角，从而调节位于所述上托板上的放置台的倾角，当倾角达到一定角度后探针即可方便提取、调整位于放置台上的TEM样品，从而达到提高提取、调整TEM样品的成功率，避免重复操作，提高工作效率。

图2为本实用新型一实施例中用于TEM样品提取的装置，如图2所示，本实用新型提供一种用于TEM样品提取的装置，包括用于放置TEM样品的放置台300，所述放置台300底部设有支撑部310，还包括上托板110、下托板120和调节螺丝130，所述下托板120的一端与所述上托板110连接，所述调节螺丝位于所述上托板和所述下托板之间。

本实施例中所述TEM样品放置台中，所述上托板110与下托板120一端连接，另一端由调节螺丝支撑，通过调节所述调节螺丝的长短，调节所述上托板110与所述下托板120之间的夹角，从而调节位于所述上托板110上的放置台300的倾角，当倾角达到一定角度后探针即可方便提取、调整位于放置台300上的TEM样品100，从而达到提高提取、调整TEM样品100的成功率，避免重复操作，提高工作效率。在吸取TEM样品100时，往往需要调节吸取针的角度来达到接触并利用吸取针的静电吸附将TEM样品吸附到吸取针的目的，但是吸取针的角度调整是有限的，如果调节角度太大，会触碰到显微镜的镜头。通过本实用新型所述装置可以自动调节TEM样品100本身的倾斜角度，以同样达到易于被吸取针碰到并吸取的目的。

进一步的，所述上托板110上设置有固定孔，所述固定孔与所述放置台300的底部相适配。在本实施例中，所述放置台300的底部设置有圆柱形固定部件310，所述固定孔与固定部件310相适配，在上托板倾斜时，放置台300不会滑落或移动。所述下托板120上设置有螺丝孔，所述螺丝孔与所述调节螺丝130相适配。所述螺丝孔可以固定并调节所述调节螺丝130，使调整过程更稳定、顺利。

进一步的，所述上托板110与所述下托板120通过转轴140连接。其外，所述上托板110与所述下托板120还可以通过弹性片连接，其他能够使上托板110相对下托板120转动的结构都在本实用新型的思想范围内。

可选的，所述上托板110、所述下托板120为硬质材料。所述硬质材料可以为硬质塑料，硬质木材，金属材质等。

可选的，所述放置台300的上表面为圆形或方形。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (6)

1.一种用于TEM样品提取的装置，包括用于放置TEM样品的放置台，所述放置台底部设有支撑部，其特征在于，还包括上托板、下托板和调节螺丝，所述下托板的一端与所述上托板连接，所述调节螺丝位于所述上托板和所述下托板之间。

2.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述上托板上设置有固定孔，所述固定孔与所述放置台的底部相适配。

3.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述下托板上设置有螺丝孔，所述螺丝孔与所述调节螺丝相适配。

4.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述上托板与所述下托板通过转轴连接。

5.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述上托板、所述下托板为硬质材料。

6.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述放置台的上表面为圆形或方形。

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