CN103267661A - Sem/tem样品的定位方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种SEM/TEM样品的定位方法，包括：第一次激光定位SEM/TEM样品；在SEM/TEM样品表面填涂油性材料；第二次激光定位SEM/TEM样品。本发明对于某些需填涂油性材料作为保护层且需定点制样的SEM/TEM样品，先在目标位置附近进行第一次激光定位，然后再在目标位置上填涂油性材料，最后再在原有的标记上用激光进行第二次激光定位，不仅可以保护SEM/TEM样品不受沾污，还可以在SEM/FIB中迅速找到所需制样的目标位置，大大提高了制备SEM/TEM样品的效率和质量。

Description

SEM/TEM样品的定位方法
技术领域
本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种SEM/TEM样品的定位方法。
背景技术
随着半导体技术的不断发展与进步，对于器件研发的尺寸也越来越小，因而也提高了对样品结构、材料等分析的能力，故样品的制备更加依赖于一些精密的设备和仪器，
例如，通过聚焦离子束（FIB）来制备SEM/TEM（扫描电镜/透射电镜）样品时，需要对SEM/TEM样品进行定位。具体地，对于传统的SEM/TEM样品，其定位方法是直接在目标区域附近用激光定位。但对于一些采用油性材料作为预观测结构保护层的SEM/TEM样品，在SEM/FIB中很难观测到清晰的目标位置，从而对制备SEM/TEM样品造成了极大的困难。
发明内容
本发明提供一种SEM/TEM样品的定位方法，以克服现有技术中表面填涂有油性材料的SEM/TEM样品在SEM/FIB中难以观测到目标位置的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种SEM/TEM样品的定位方法，包括：
第一次激光定位SEM/TEM样品；
在SEM/TEM样品表面填涂油性材料；
第二次激光定位SEM/TEM样品。
作为优选，通过采用激光器在SEM/TEM样品的目标位置附近打上标记，进行第一次激光定位。
作为优选，用激光对所述SEM/TEM样品上的标记进行第二次激光定位。
作为优选，所述标记的数量为两个，所述目标位置位于所述两标记所在直线的交点处。
作为优选，采用油性记号笔填涂所述的样品表面。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：
1、通过激光打在需填涂油性材料的SEM/TEM样品上的目标位置区域附近来定位所需制备样品，从而大大提高制备SEM/TEM样品的效率和质量；
2、解决了在FIB/SEM下很难找到填涂油性材料后的样品，同时减少了样品受电子束或离子束污染的时间。
附图说明
图1为本发明一具体实施方式中第一次激光定位后的SEM/TEM样品的示意图；
图2为本发明一具体实施方式中填涂油性材料后的SEM/TEM样品的示意图；
图3为本发明一具体实施方式中第二次激光定位后的SEM/TEM样品的示意图；
图4为本发明一具体实施方式中SEM/TEM样品的定位流程图。
图中：10-标记、20-目标位置、30-油性材料。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本发明附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
请参照图4，并结合图1～3，本发明的一种SEM/TEM样品的定位方法，包括：
步骤1：第一次激光定位SEM/TEM样品。如图1所示，具体地，通过激光器在SEM/TEM样品的目标位置20附近打上标记10，所述标记10的数量为两个，所述目标位置20位于所述两标记10所在直线的交点处。较佳的，由于激光器定位准确且定位尺寸范围广，激光定位可用于高深宽比结构或目标位置20较小的SEM/TEM样品制备。
步骤2：在SEM/TEM样品表面填涂油性材料30。如图2所示，较佳的，采用油性记号笔填涂所述的SEM/TEM样品的表面，所述油性材料30减少了SEM/TEM样品受到电子束和离子束污染的时间，达到保护所述SEM/TEM样品的目的。
步骤3：第二次激光定位SEM/TEM样品。如图3所示，用激光对所述SEM/TEM样品上的标记10进行第二次激光定位。这样不仅可以保护SEM/TEM样品不受沾污，还便于在FIB中迅速找到所需的目标位置20。
综上所述，本发明提供的SEM/TEM样品的定位方法，包括：第一次激光定位SEM/TEM样品；在SEM/TEM样品表面填涂油性材料30；第二次激光定位SEM/TEM样品。本发明对于某些需填涂油性材料30作为保护层且需定点制样的SEM/TEM样品，先在目标位置20附近进行第一次激光定位，然后再在目标位置20上填涂油性材料30，最后再在原有的标记10上用激光进行第二次激光定位，不仅可以保护SEM/TEM样品不受沾污，还可以在SEM/FIB中迅速找到所需制样的目标位置20，大大提高了制备SEM/TEM样品的效率和质量。
显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (5)

1.一种SEM/TEM样品的定位方法，其特征在于，包括：
第一次激光定位SEM/TEM样品；
在SEM/TEM样品表面填涂油性材料；
第二次激光定位SEM/TEM样品。
2.如权利要求1所述的SEM/TEM样品的定位方法，其特征在于，通过采用激光器在SEM/TEM样品的目标位置附近打上标记，进行第一次激光定位。
3.如权利要求2所述的SEM/TEM样品的定位方法，其特征在于，用激光对所述SEM/TEM样品上的标记进行第二次激光定位。
4.如权利要求2或3所述的SEM/TEM样品的定位方法，其特征在于，所述标记的数量为两个，所述目标位置位于所述两标记所在直线的交点处。
5.如权利要求1所述的SEM/TEM样品的定位方法，其特征在于，采用油性记号笔填涂所述的SEM/TEM样品表面。
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