CN112420543A - 一种晶圆自动检测线 - Google Patents
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Abstract
本发明属于晶圆检测技术领域，提供了一种晶圆自动检测线，包括下片机架和检测机架，下片机架的一端设有晶圆放置台；检测机架的一端至另一端依次设有中转取料装置、晶圆转送装置、晶圆检测机、测试取料装置、中转放置台、花篮放置架和旋转放料装置，晶圆转送装置与中转取料装置对应设置，晶圆检测机和测试取料装置对应设置，且晶圆检测机朝向测试取料装置的一侧还设有伸缩气缸驱动的、检测用物料承托台，中转放置台与晶圆转送装置对应设置，花篮放置架上设有若干花篮放置位，旋转放料装置于花篮放置架的上料侧设置。本发明能够实现下片后晶圆的全自动检测，不但检测效率大大提高，且有效确保了晶圆检测过程中晶圆的质量及合格率不受影响。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆自动检测线。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺的需求，需要将晶圆排列放置于晶圆料盘内，然后将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行ICP刻蚀加工，ICP刻蚀工艺后，再将晶圆从晶圆料盘内依次取出，以进行后续的AFM测试等，通过检测，将生产加工过程中因外界因素导致的厚度与底宽（晶圆外径）存在微小差异的晶圆进行筛分并归类放置。
目前，ICP刻蚀工艺后，通常采用下片机完成晶圆下片，但难以实现检测设备与下片设备的配合使用，晶圆的检测工艺仍主要靠人工辅助完成，需要检测人员将下片的晶圆放置到花篮内，通过花篮实现晶圆于下片工序与检测工序间的搬运移动，以简化运输并尽可能降低被污染的风险，搬运至检测工序后，再由人工将花篮内的待检测晶圆取出，放入检测设备中进行检测，检测完成后，再归类放回至花篮内，不但检测效率低，劳动强度大，检测成本高，且在检测过程中，由于检测人员操作不细心等各种主观原因易在取放晶圆时对晶圆造成划伤，会导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率。因此，开发一种与晶圆下片机配合使用的晶圆自动检测线，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本发明得以完成的动力所在和基础。
发明内容
为了克服上述所指出的现有技术的缺陷，本发明人对此进行了深入研究，在付出了大量创造性劳动后，从而完成了本发明。
具体而言，本发明所要解决的技术问题是：提供一种晶圆自动检测线，以解决目前的晶圆检测方式，检测效率低，且易划伤晶圆、影响晶圆质量的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：
一种晶圆自动检测线，包括下片机架和检测机架，所述下片机架和所述检测机架相连接，且所述下片机架的一端设有晶圆放置台；
所述检测机架上自靠近所述下片机架的一端至另一端依次设有中转取料装置、晶圆转送装置、晶圆检测机、测试取料装置、中转放置台、花篮放置架和旋转放料装置，所述晶圆转送装置与所述中转取料装置对应设置，所述晶圆检测机和所述测试取料装置分别靠近所述检测机架的两侧，且对应设置，所述晶圆检测机朝向所述测试取料装置的一侧还设有伸缩气缸驱动的、检测用物料承托台，所述中转放置台与所述晶圆转送装置对应设置，且所述物料承托台处于取放晶圆状态时，所述物料承托台位于所述中转放置台和所述晶圆转送装置中间，所述花篮放置架上设有若干花篮放置位，且所述花篮放置架上分别设有与所述花篮放置位对应设置的花篮定位机构，所述旋转放料装置于所述花篮放置架的上料侧设置。
作为一种改进的技术方案，所述晶圆放置台包括固定安装于所述下片机架上的安装架，所述安装架上均匀设有若干晶圆放置工装，所述晶圆放置工装包括固定安装于所述安装架上、且对应设置的晶圆定位块，所述晶圆定位块上具有与晶圆外径相适配的第一晶圆定位沿，所述安装架上还固定安装有分别与所述晶圆放置工装对应设置的光电开关。
作为一种改进的技术方案，所述中转取料装置包括固定安装于所述检测机架上的第一电缸，所述第一电缸与若干所述晶圆放置工装的排列方向相平行，且所述第一电缸的滑板上固定安装有第一安装座，所述第一安装座上沿竖直方向固定安装有第二电缸，所述第二电缸的滑板上固定安装有第一安装板，所述第一安装板上通过缓冲机构安装有第一旋转气缸，所述第一旋转气缸的转盘上固定安装有第一取料板，所述第一取料板端部一侧设有晶圆吸盘，且所述第一电缸和所述安装架的间距与所述第一取料板的长度相等。
作为一种改进的技术方案，所述缓冲机构包括沿竖直方向固定安装于所述第一安装板上的第一导轨，所述导轨上滑动安装有第一滑块，所述第一滑块上固定安装有缓冲板，所述缓冲板与所述第一安装板的顶部间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别与所述缓冲板、所述第一安装板连接，所述第一旋转气缸固定安装于所述缓冲板上。
作为一种改进的技术方案，所述晶圆转送装置包括固定安装于所述检测机架上的转送气缸，所述转送气缸与所述第一电缸相垂直，所述转送气缸的一侧设有第二导轨，所述第二导轨与所述转送气缸相平行，且所述第二导轨上滑动安装有第二滑块，所述转送气缸的连接块和所述第二滑块间固定安装有第二安装座，所述第二安装座的顶部固定安装有第一工装块，且所述第一工装块位于靠近所述中转取料装置的一端时，所述第一工装块和所述第一电缸之间的间距与所述第一取料板的长度相等。
作为一种改进的技术方案，所述检测机架上安装有若干调整底板，所述调整底板上螺纹配合安装有调节螺杆，所述晶圆检测机固定安装于所述调节螺杆的顶部；
所述晶圆检测机上滑动安装有检测盒，所述物料承托台位于所述检测盒内，所述伸缩气缸固定安装于所述晶圆检测机底部，且所述伸缩气缸的活塞杆端部与所述检测盒相连。
作为一种改进的技术方案，所述中转放置台包括固定安装于所述检测机架上第三安装座，所述第三安装座的顶部固定安装有第二工装块，且所述第二工装块与所述物料承托台的间距，与所述第一工装块位于靠近所述物料承托台的一端时与所述物料承托台的间距相等。
作为一种改进的技术方案，所述测试取料装置包括固定安装于所述检测机架上的第三电缸，所述第三电缸与所述第一电缸相垂直，所述第三电缸的滑板上固定安装有第四安装座，所述第四安装座上沿竖直方向固定安装有第四电缸，所述第四电缸的滑板上固定安装有第二安装板，所述第二安装板上固定安装有测试气缸，所述测试气缸的滑台上固定安装有横板，所述横板的两端分别固定安装有第二取料板，且两所述第二取料板的间距，与所述第二工装块和所述物料承托台的间距相等。
作为一种改进的技术方案，所述花篮放置架设有两排，所述旋转放料装置位于两排所述花篮放置架之间；
所述花篮放置架上安装有若干花篮定位块，相邻所述花篮定位块间形成与花篮底部相适配的所述花篮放置位；
所述花篮定位机构包括固定安装于所述花篮放置架上的定位气缸，所述定位气缸的活塞杆端部固定安装有压板；
所述花篮放置架上还设有若干分别与所述花篮放置位对应设置的按钮指示开关，所述按钮指示开关分别与所述定位气缸相连。
作为一种改进的技术方案，所述旋转放料装置包括固定安装于所述检测机架上的第五电缸和第三导轨，所述第五电缸与所述第一电缸相垂直，所述第三导轨与所述第五电缸平行设置，且所述第三导轨上滑动安装有第三滑块，所述第五电缸的滑板和所述第三滑块间固定安装有第五安装座，所述第五安装座上固定安装有第六电缸，所述第六电缸的滑板上固定安装有第三安装板，所述第三安装板上沿竖直方向固定安装有第七电缸，所述第七电缸的滑板上固定安装有第四安装板，所述第四安装板上固定安装有第二旋转气缸，所述第二旋转气缸的转盘上固定安装有第三取料板。
作为一种改进的技术方案，所述第二取料板和所述第三取料板的取料端一侧均开设有吸片孔以及与所述吸片孔相接的吸片槽，所述吸片孔位于所述吸片槽的中间位置，且所述第二取料板和所述第三取料板上分别具有与所述吸片孔相连通的气道。
作为一种改进的技术方案，所述下片机架和所述检测机架的底部均安装有福马轮。
作为一种改进的技术方案，所述检测机架的顶部一侧设有显示屏，所述检测机架的外防护架体上还设有观察窗，所述观察窗为透明玻璃窗，且铰接安装于所述检测机架的外防护架体上。
作为一种改进的技术方案，所述检测机架的两侧还分别设有花篮承载板，所述花篮承载板分别与所述花篮放置架对应设置。
采用了上述技术方案后，本发明的有益效果是：
（1）该晶圆自动检测线，经下片机下片后的晶圆排列放置到晶圆放置台的晶圆放置工装上，由中转取料装置将晶圆放置台上的晶圆取至晶圆转送装置的第一工装块上放置，并由晶圆转送装置完成晶圆转运，同时，伸缩气缸动作，将物料承托台从晶圆检测机内推出，然后，由测试取料装置将第一工装块上放置的晶圆取至物料承托台上放置，之后伸缩气缸动作将物料承托台复位推送至晶圆检测机内进行检测，检测的同时，晶圆转送装置动作，完成下个晶圆料片的接料送料，检测完成后，伸缩气缸动作，将检测完成后的晶圆送出，测试取料装置取料时，将下个待检测的晶圆及检测完成后的晶圆同时取起，放料时，将待检测晶圆放至物料承托台上的同时，将检测完成后的晶圆放置到中转放置台的第二工装块上，最后由旋转放料装置将第二工装块上放置的晶圆归类放置到花篮放置架上的花篮内，从而实现下片后晶圆料片的全自动检测。相较传统的晶圆检测方式，不但实现了人工劳动力的有效替代，检测效率大大提高，且避免了在检测过程中意外划伤晶圆现象的发生，确保晶圆检测过程中晶圆的质量及合格率不受影响。
（2）通过缓冲机构安装的第一旋转气缸，缓冲机构起到有效的缓冲保护作用，使得第一取料板在取放晶圆料片时，避免对晶圆造成损伤。
（3）设有的该晶圆转送装置，在实现晶圆转送的同时，为检测时的上料提供了便利，大大缩短了测试取料装置的取料行程，检测效率得到有效提高，且使得整机结构紧凑，占地面积小。
（4）设有的该测试取料装置，横板的两端分别固定安装有第二取料板，且两个第二取料板的间距，与第二工装块和物料承托台的间距相等，检测时，在将待检测晶圆料片自第一工装块向晶圆检测机上料的同时，同步实现了检测后晶圆料片自晶圆检测机向第二工装块上的下料，从而大大提高了对晶圆料片的检测效率。
（5）花篮放置架上设有的花篮定位块，便于实现花篮的精确放置及放置后的定位、限位，且与定位气缸相配合，花篮放置后，定位气缸驱动压板实现对花篮的压持，使得花篮于花篮放置架上的放置更稳固，且通过按钮指示开关对定位气缸的控制，使得花篮的更换更加方便。
（6）下片机架和检测机架底部均安装有的福马轮，为装置的移动搬运提供了便利；设有的显示屏，用以直观显示检测信息；机架上设有的观察窗，在形成与外界隔离的工作空间的同时，便于操作人员通过观察窗观察晶圆检测的工作过程及工作状态，打开相应的观察窗可实现对相应部分机构的人工操作，便于对设备的检查维护。
（7）检测机架两侧分别设有的花篮承载板，用以实现空花篮及放满晶圆花篮的放置，为花篮放置架上的花篮更换提供了便利，方便实用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的内部结构示意图；
图3为本发明的另一立体结构示意图；
图4为本发明自动检测部分的结构示意图；
图5为本发明检测后归类放置部分的结构示意图；
图6为本发明晶圆放置台的结构示意图；
图7为本发明中转取料装置的结构示意图；
图8为本发明晶圆转送装置的结构示意图；
图9为本发明晶圆检测机的安装结构示意图；
图10为本发明测试取料装置的结构示意图；
图11为本发明花篮放置架的结构示意图；
图12为本发明旋转放料装置的结构示意图；
附图标记：1-下片机架；2-检测机架；201-福马轮；202-观察窗；203-花篮承载板；3-安装架；4-晶圆定位块；5-第一电缸；6-第一安装座；7-第二电缸；8-第一安装板；9-缓冲板；10-压缩弹簧；11-第一旋转气缸；12-第一取料板；13-晶圆吸盘；14-转送气缸；15-第二导轨；16-第二滑块；17-第二安装座；18-第一工装块；19-调整底板；20-调节螺杆；21-晶圆检测机；2101-检测盒；2102-物料承托台；22-伸缩气缸；23-连接板；24-浮动接头；25-液压缓冲器；26-第三安装座；27-第二工装块；28-第三电缸；29-第四安装座；30-第四电缸；31-第二安装板；32-测试气缸；33-横板；34-第二取料板；35-花篮放置架；36-花篮定位块；37-定位气缸；38-压板；39-按钮指示开关；40-第五电缸；41-第三导轨；42-第三滑块；43-第五安装座；44-第六电缸；45-第三安装板；46-第七电缸；47-第四安装板；48-第二旋转气缸；49-第三取料板；50-显示屏；51-报警装置；52-花篮；53-晶圆；54-光电开关。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明进一步说明。但这些例举性实施方式的用途和目的仅用来例举本发明，并非对本发明的实际保护范围构成任何形式的任何限定，更非将本发明的保护范围局限于此。
如图1至图5所示，本实施例提供了一种晶圆自动检测线，包括下片机架1和检测机架2，下片机架1和检测机架2利用机台连接件相连接，且下片机架1的一端设有晶圆放置台，下片完成后的晶圆放置于晶圆放置台上。
检测机架2上自靠近下片机架1的一端至另一端依次设有中转取料装置、晶圆转送装置、晶圆检测机21、测试取料装置、中转放置台、花篮放置架35和旋转放料装置，晶圆转送装置与中转取料装置对应设置，晶圆检测机21和测试取料装置分别靠近检测机架2的两侧，且对应设置，晶圆检测机21朝向测试取料装置的一侧还设有伸缩气缸22驱动的、检测用物料承托台2102，中转放置台与晶圆转送装置对应设置，且物料承托台2102处于取放晶圆状态时，物料承托台2102位于中转放置台和晶圆转送装置中间，花篮放置架35上设有若干花篮放置位，且花篮放置架35上分别设有与花篮放置位对应设置的花篮定位机构，旋转放料装置于花篮放置架35的上料侧设置。
如图2和图6共同所示，晶圆放置台包括固定安装于下片机架1上的安装架3，安装架3上均匀设有若干晶圆放置工装，晶圆放置工装包括固定安装于安装架3上、且对应设置的晶圆定位块4，晶圆定位块4上具有与晶圆53外径相适配的第一晶圆定位沿，便于实现晶圆的定位放置，安装架3上还固定安装有分别与晶圆放置工装对应设置的光电开关54，用以检测晶圆放置工装上有无放置晶圆53。
如图2至图4、图7共同所示，中转取料装置包括固定安装于检测机架2上的第一电缸5，第一电缸5与若干晶圆放置工装的排列方向相平行，且第一电缸5的滑板上固定安装有第一安装座6，第一安装座6上沿竖直方向固定安装有第二电缸7，第二电缸7的滑板上固定安装有第一安装板8，第一安装板8上通过缓冲机构安装有第一旋转气缸11，第一旋转气缸11的转盘上固定安装有第一取料板12，第一取料板12端部一侧设有晶圆吸盘13，第一取料板12具有与晶圆吸盘13相连通的气道，通过晶圆吸盘13实现晶圆的吸取，且第一电缸5和安装架3的间距与第一取料板12的长度相等。
缓冲机构包括沿竖直方向固定安装于第一安装板8上的第一导轨，导轨上滑动安装有第一滑块，第一滑块上固定安装有缓冲板9，缓冲板9与第一安装板8的顶部间设有压缩弹簧10，压缩弹簧10的两端分别与缓冲板9、第一安装板8连接，第一旋转气缸11固定安装于缓冲板9上，本实施例中，第一导轨和第一滑块未在附图中示出；通过该缓冲机构安装的第一旋转气缸11，缓冲机构起到有效的缓冲保护作用，使得第一取料板12在取放晶圆料片时，避免对晶圆53造成损伤。
该中转取料装置，第一电缸5和第二电缸7工作，实现对第一旋转气缸11的位移驱动，第一旋转气缸11工作，驱动第一取料板12翻转，实现晶圆53于晶圆放置台和晶圆转送装置间的取放料。
如图2至图4、图8共同所示，晶圆转送装置包括固定安装于检测机架2上的转送气缸14，转送气缸14与第一电缸5相垂直，转送气缸14的一侧设有第二导轨15，第二导轨15与转送气缸14相平行，且第二导轨15上滑动安装有第二滑块16，转送气缸14的连接块和第二滑块16间固定安装有第二安装座17，第二安装座17的顶部固定安装有第一工装块18，且第一工装块18位于靠近中转取料装置的一端时，第一工装块18和第一电缸5之间的间距与第一取料板12的长度相等。该晶圆转送装置，转送气缸14工作，驱动第一工装块18位移，在实现晶圆转送的同时，为检测时的上料提供了便利，大大缩短了测试取料装置的取料行程，检测效率得到有效提高，且使得整机结构紧凑，占地面积小。
如图2至图4、图9共同所示，为实现晶圆检测机21于检测机架2上的安装，检测机架2上安装有若干调整底板19，调整底板19上螺纹配合安装有调节螺杆20，晶圆检测机21固定安装于调节螺杆20的顶部；本实施例中，调整底板19上具有条形安装孔，且调整底板19利用定位螺栓固定安装于检测机架2上，从而通过调整底板19和调节螺杆20，能够分别实现晶圆检测机21于检测机架2上安装位置及安装高度的调节，且调节操作简单方便。
晶圆检测机21上滑动安装有检测盒2101，物料承托台2102位于检测盒2101内，伸缩气缸22固定安装于晶圆检测机21底部，且伸缩气缸22的活塞杆端部与检测盒2101相连；本实施例中，检测盒2101上固定安装有连接板23，伸缩气缸22的活塞杆端部通过浮动接头24与连接板23连接。于晶圆检测机21进行检测上料时，在伸缩气缸22驱动下将检测盒2101推出，放料完成后，伸缩气缸22驱动检测盒2101复位，于晶圆检测机21内完成晶圆检测。本实施例中，晶圆检测机21可选用市售的原子力显微镜或共聚焦显微镜等，在此不作赘述。
如图8和图9共同所示，本实施例中，转送气缸14和伸缩气缸22的行程端部均设有液压缓冲器25，能够实现安全缓冲，降低滑动冲击，起到保护作用，且为晶圆的精准取放料提供了可靠保障。
如图4和图5共同所示，中转放置台包括固定安装于检测机架2上第三安装座26，第三安装座26的顶部固定安装有第二工装块27，且第二工装块27与物料承托台2102的间距，与第一工装块18位于靠近物料承托台2102的一端时与物料承托台2102的间距相等。
如图2至图4、图10共同所示，测试取料装置包括固定安装于检测机架2上的第三电缸28，第三电缸28与第一电缸5相垂直，第三电缸28的滑板上固定安装有第四安装座29，第四安装座29上沿竖直方向固定安装有第四电缸30，第四电缸30的滑板上固定安装有第二安装板31，第二安装板31上固定安装有测试气缸32，测试气缸32的滑台上固定安装有横板33，横板33的两端分别固定安装有第二取料板34，且两第二取料板34的间距，与第二工装块27和物料承托台2102的间距相等。该测试取料装置，第三电缸28和第四电缸30工作，实现测试气缸32的位移驱动，测试气缸32工作，驱动两个第二取料板34伸缩，且与第四电缸30配合，实现晶圆的检测上料及检测后的下料；横板33的两端分别固定安装有第二取料板34，且两个第二取料板34的间距，与第二工装块27和物料承托台2102的间距相等，检测时，在将待检测晶圆料片自第一工装块18向晶圆检测机21上料的同时，同步实现了检测后晶圆料片自晶圆检测机21向第二工装块27上的下料，从而大大提高了对晶圆料片的检测效率。
如图2至图3、图5共同所示，本实施例中，花篮放置架35设有两排，旋转放料装置位于两排花篮放置架35之间，通过旋转放料装置实现检测后晶圆于两排花篮放置架35上的归类放置。
如图5和图11共同所示，本实施例中，花篮放置架35上安装有若干花篮定位块36，相邻花篮定位块36间形成与花篮底部相适配的花篮放置位；花篮定位机构包括固定安装于花篮放置架35上的定位气缸37，定位气缸37的活塞杆端部固定安装有压板38。花篮放置架35上设有的花篮定位块36，便于实现花篮的精确放置及放置后的定位、限位，且与定位气缸37相配合，花篮52放置后，定位气缸37驱动压板38实现对花篮52的压持，使得花篮52于花篮放置架35上的放置更稳固。
本实施例中，花篮放置架35上还设有若干分别与花篮放置位对应设置的按钮指示开关39，按钮指示开关39分别与定位气缸37相连；通过按钮指示开关39对定位气缸37的控制，使得花篮52的更换更加方便。
如图5和图12共同所示，旋转放料装置包括固定安装于检测机架2上的第五电缸40和第三导轨41，第五电缸40与第一电缸5相垂直，第三导轨41与第五电缸40平行设置，且第三导轨41上滑动安装有第三滑块42，第五电缸40的滑板和第三滑块42间固定安装有第五安装座43，第五安装座43上固定安装有第六电缸44，第六电缸44的滑板上固定安装有第三安装板45，第三安装板45上沿竖直方向固定安装有第七电缸46，第七电缸46的滑板上固定安装有第四安装板47，第四安装板47上固定安装有第二旋转气缸48，第二旋转气缸48的转盘上固定安装有第三取料板49。第五电缸40、第六电缸44和第七电缸46配合工作，实现第二旋转气缸48的位移驱动，第二旋转气缸48工作，驱动第三取料板49翻转，实现晶圆于中转放置台和花篮放置架35上花篮间的取放料。
本实施例中，第二取料板34和第三取料板49的取料端一侧均开设有吸片孔以及与吸片孔相接的吸片槽，吸片孔位于吸片槽的中间位置，且第二取料板34和第三取料板49上分别具有与吸片孔相连通的气道；第二取料板34和第三取料板49取料端开设有的吸片孔和吸片槽，能够实现对晶圆背面的有效吸附，在晶圆取放过程中，不会发生晶圆的掉落或位置偏移，为晶圆的准确放置提供了可靠保障，满足晶圆检测过程中晶圆取放料的使用需求。
如图4、图5和图8共同所示，本实施例中，第一工装块18和第二工装块27的结构相同，均具有便于实现晶圆定位放置的第二晶圆定位沿，用以实现晶圆的精准定位放置，且第一工装块18和第二工装块27分别具有便于第一取料板12和第三取料板49取放料时的缺口，晶圆于工装块上放置后，晶圆与工装块间具有便于第二取料板34插入并取放料的取放料间隙。
本实施例中，中转取料装置、测试取料装置和旋转放料装置均采用电缸实现位移驱动，精度高，且更环保、干净，在保证刚性的同时，有效减少了气缸润滑油脂对无尘环境的污染。
该晶圆自动检测线，通过分别与光电开关54、第一电缸5、第二电缸7、第一旋转气缸11、转送气缸14、晶圆检测机21、伸缩气缸22、第三电缸28、第四电缸30、测试气缸32、第五电缸40、第六电缸44、第七电缸46和第二旋转气缸48相连的控制器实现各机构的协调控制，控制器可选用市售的PLC控制器，在此不作赘述。
如图1至图3共同所示，本实施例中，下片机架1和检测机架2的底部均安装有福马轮201，福马轮201为设备的移动搬运及放置固定提供了便利。
如图1所示，本实施例中，检测机架2的顶部一侧设有与控制器相连的显示屏50，用以直观显示检测信息。
本实施例中，检测机架2的外防护架体上还设有观察窗202，观察窗202为透明玻璃窗，且铰接安装于检测机架2的外防护架体上，在形成与外界隔离的工作空间的同时，便于操作人员通过观察窗202观察晶圆检测的工作过程及工作状态，打开相应的观察窗202可实现对相应部分机构的人工操作，便于对设备的检查维护。
本实施例中，检测机架2上还设有与控制器连接的报警装置51，报警装置51可选用市售的声光报警器，若出现设备或检测故障，通过报警装置51及时提醒工作人员查看。
如图1至图3共同所示，本实施例中，检测机架2的两侧还分别设有花篮承载板203，花篮承载板203分别与花篮放置架35对应设置，花篮承载板203用以实现空花篮及放满晶圆花篮的放置，为花篮放置架35上的花篮52更换提供了便利，方便实用。
基于上述结构的该晶圆自动检测线，经下片机下片后的晶圆排列放置到晶圆放置台的晶圆放置工装上，由中转取料装置将晶圆放置台上的晶圆取至晶圆转送装置的第一工装块18上放置，并由晶圆转送装置完成晶圆转运，同时，伸缩气缸22动作，将物料承托台2102从晶圆检测机21内推出，然后，由测试取料装置将第一工装块18上放置的晶圆取至物料承托台2102上放置，之后伸缩气缸22动作将物料承托台2102复位推送至晶圆检测机21内进行检测，检测的同时，晶圆转送装置动作，完成下个晶圆料片的接料送料，检测完成后，伸缩气缸22动作，将检测完成后的晶圆送出，测试取料装置取料时，将下个待检测的晶圆及检测完成后的晶圆同时取起，放料时，将待检测晶圆放至物料承托台2102上的同时，将检测完成后的晶圆放置到中转放置台的第二工装块27上，最后由旋转放料装置将第二工装块27上放置的晶圆归类放置到花篮放置架35上的花篮内，从而实现下片后晶圆料片的全自动检测。相较传统的晶圆检测方式，不但实现了人工劳动力的有效替代，检测效率大大提高，且避免了在检测过程中意外划伤晶圆现象的发生，确保晶圆检测过程中晶圆的质量及合格率不受影响。
应当理解，这些实施例的用途仅用于说明本发明而非意欲限制本发明的保护范围。此外，也应理解，在阅读了本发明的技术内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动、修改和/或变型，所有的这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶圆自动检测线，其特征在于：包括下片机架和检测机架，所述下片机架和所述检测机架相连接，且所述下片机架的一端设有晶圆放置台；
所述检测机架上自靠近所述下片机架的一端至另一端依次设有中转取料装置、晶圆转送装置、晶圆检测机、测试取料装置、中转放置台、花篮放置架和旋转放料装置，所述晶圆转送装置与所述中转取料装置对应设置，所述晶圆检测机和所述测试取料装置分别靠近所述检测机架的两侧，且对应设置，所述晶圆检测机朝向所述测试取料装置的一侧还设有伸缩气缸驱动的、检测用物料承托台，所述中转放置台与所述晶圆转送装置对应设置，且所述物料承托台处于取放晶圆状态时，所述物料承托台位于所述中转放置台和所述晶圆转送装置中间，所述花篮放置架上设有若干花篮放置位，且所述花篮放置架上分别设有与所述花篮放置位对应设置的花篮定位机构，所述旋转放料装置于所述花篮放置架的上料侧设置。
2.如权利要求1所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述晶圆放置台包括固定安装于所述下片机架上的安装架，所述安装架上均匀设有若干晶圆放置工装，所述晶圆放置工装包括固定安装于所述安装架上、且对应设置的晶圆定位块，所述晶圆定位块上具有与晶圆外径相适配的第一晶圆定位沿，所述安装架上还固定安装有分别与所述晶圆放置工装对应设置的光电开关。
3.如权利要求2所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述中转取料装置包括固定安装于所述检测机架上的第一电缸，所述第一电缸与若干所述晶圆放置工装的排列方向相平行，且所述第一电缸的滑板上固定安装有第一安装座，所述第一安装座上沿竖直方向固定安装有第二电缸，所述第二电缸的滑板上固定安装有第一安装板，所述第一安装板上通过缓冲机构安装有第一旋转气缸，所述第一旋转气缸的转盘上固定安装有第一取料板，所述第一取料板端部一侧设有晶圆吸盘，且所述第一电缸和所述安装架的间距与所述第一取料板的长度相等。
4.如权利要求3所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述缓冲机构包括沿竖直方向固定安装于所述第一安装板上的第一导轨，所述导轨上滑动安装有第一滑块，所述第一滑块上固定安装有缓冲板，所述缓冲板与所述第一安装板的顶部间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别与所述缓冲板、所述第一安装板连接，所述第一旋转气缸固定安装于所述缓冲板上。
5.如权利要求4所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述晶圆转送装置包括固定安装于所述检测机架上的转送气缸，所述转送气缸与所述第一电缸相垂直，所述转送气缸的一侧设有第二导轨，所述第二导轨与所述转送气缸相平行，且所述第二导轨上滑动安装有第二滑块，所述转送气缸的连接块和所述第二滑块间固定安装有第二安装座，所述第二安装座的顶部固定安装有第一工装块，且所述第一工装块位于靠近所述中转取料装置的一端时，所述第一工装块和所述第一电缸之间的间距与所述第一取料板的长度相等。
6.如权利要求5所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述检测机架上安装有若干调整底板，所述调整底板上螺纹配合安装有调节螺杆，所述晶圆检测机固定安装于所述调节螺杆的顶部；
所述晶圆检测机上滑动安装有检测盒，所述物料承托台位于所述检测盒内，所述伸缩气缸固定安装于所述晶圆检测机底部，且所述伸缩气缸的活塞杆端部与所述检测盒相连。
7.如权利要求6所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述中转放置台包括固定安装于所述检测机架上第三安装座，所述第三安装座的顶部固定安装有第二工装块，且所述第二工装块与所述物料承托台的间距，与所述第一工装块位于靠近所述物料承托台的一端时与所述物料承托台的间距相等。
8.如权利要求7所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述测试取料装置包括固定安装于所述检测机架上的第三电缸，所述第三电缸与所述第一电缸相垂直，所述第三电缸的滑板上固定安装有第四安装座，所述第四安装座上沿竖直方向固定安装有第四电缸，所述第四电缸的滑板上固定安装有第二安装板，所述第二安装板上固定安装有测试气缸，所述测试气缸的滑台上固定安装有横板，所述横板的两端分别固定安装有第二取料板，且两所述第二取料板的间距，与所述第二工装块和所述物料承托台的间距相等。
9.如权利要求8所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述花篮放置架设有两排，所述旋转放料装置位于两排所述花篮放置架之间；
所述花篮放置架上安装有若干花篮定位块，相邻所述花篮定位块间形成与花篮底部相适配的所述花篮放置位；
所述花篮定位机构包括固定安装于所述花篮放置架上的定位气缸，所述定位气缸的活塞杆端部固定安装有压板；
所述花篮放置架上还设有若干分别与所述花篮放置位对应设置的按钮指示开关，所述按钮指示开关分别与所述定位气缸相连。
10.如权利要求9所述的晶圆自动检测线，其特征在于：所述旋转放料装置包括固定安装于所述检测机架上的第五电缸和第三导轨，所述第五电缸与所述第一电缸相垂直，所述第三导轨与所述第五电缸平行设置，且所述第三导轨上滑动安装有第三滑块，所述第五电缸的滑板和所述第三滑块间固定安装有第五安装座，所述第五安装座上固定安装有第六电缸，所述第六电缸的滑板上固定安装有第三安装板，所述第三安装板上沿竖直方向固定安装有第七电缸，所述第七电缸的滑板上固定安装有第四安装板，所述第四安装板上固定安装有第二旋转气缸，所述第二旋转气缸的转盘上固定安装有第三取料板。
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