CN112345873A - 半导体激光器低温老化测试装置及低温老化测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种半导体激光器低温老化测试装置及低温老化测试方法，半导体激光器低温老化测试装置包括：腔体；位于所述腔体的外部且与腔体连通的第一进气管；位于所述腔体中的底部区域且与所述第一进气管连通的导流管，所述导流管的管壁设置若干气孔；位于所述腔体内部的通液夹具，所述通液夹具适于固定半导体激光器，所述通液夹具位于部分导流管的上方。所述半导体激光器低温老化测试装置提高了除水汽的效率。

Description

半导体激光器低温老化测试装置及低温老化测试方法

技术领域

本发明涉及半导体激光器领域，具体涉及一种半导体激光器低温老化测试装置及低温老化测试方法。

背景技术

半导体激光器是以一定的半导体材料做工作物质而产生激光的器件。半导体激光器的老化，是产品出货前必须经过的一道生产检验流程，经过筛选后的半导体激光器才能保证其质量和使用寿命。低温老化测试就是将半导体激光器的测试温度降低，有利于打破半导体激光器的物理限制，了解半导体激光器的性能，从而提高半导体激光器的输出功率、电转化率等关键性能指标。

半导体激光器的工作温度由常温开始下降时，若测试环境中含有水汽，则水汽将会凝结在半导体激光器表面，造成凝露现象，影响激光器的测试及老化。一般室温环境，当半导体激光器工作温度为5℃－10℃时即开始凝露。半导体激光器若需要工作在零下的温度区间，则需要除去环境中的水汽。因此，实现低温老化测试的一个关键是去除测试环境中的水汽。

然而，现有的半导体激光器低温老化测试装置除水汽的效率较低。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术的半导体激光器低温老化测试装置除水汽的效率较低的问题。

本发明提供一种半导体激光器低温老化测试装置，包括：腔体；位于所述腔体的外部且与腔体连通的第一进气管；位于所述腔体中的底部区域且与所述第一进气管连通的导流管，所述导流管的管壁设置若干气孔；位于所述腔体内部的通液夹具，所述通液夹具适于固定半导体激光器，所述通液夹具位于导流管的上方。

可选的，所述腔体的一侧腔壁设置有出光窗口层；所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：与所述出光窗口层相邻的积分球单元，所述积分球单元适于放置在所述半导体激光器和所述出光窗口层之间。

可选的，所述导流管具有若干排气孔；所述通液夹具包括若干沿着第一方向排布的固定座；至少一排气孔沿着第一方向排布且设置于积分球单元和所述所述通液夹具之间的缝隙下方。

可选的，所述积分球单元包括透明密封腔壳、位于所述透明密封腔壳内部的若干积分球，所述积分球具有朝向所述出光窗口层的出光孔，相邻的积分球之间具有间隙；所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：与所述腔体贯通的进水管和出水管，且所述进水管和出水管延伸至所述腔体内并分别与所述积分球单元连通。

可选的，所述腔体上方设置有分层式盖板；所述分层式盖板包括：与所述腔体的侧壁顶部连接的下层盖板，所述下层盖板具有贯穿所述下层盖板厚度的第一盖板开口；上层盖板，所述上层盖板位于所述第一盖板开口上方以及第一盖板开口周围的下层盖板的部分表面，所述上层盖板在所述腔体的底壁的投影面积小于所述下层盖板在所述腔体的底壁的投影面积。

可选的，所述上层盖板包括环状的上层板本体和嵌入在所述上层板本体中的观察窗口层，所述上层板本体固定在所述第一盖板开口周围的下层盖板的表面，所述观察窗口层位于所述第一盖板开口的上方。

可选的，所述通液夹具包括：通液座本体，所述通液座本体中具有相互间隔的第一通液道和第二通液道；位于部分所述通液座本体上的若干分立的绝缘座，各绝缘座下方的所述通液座本体之间的相互连接；位于各所述绝缘座背向所述通液座本体一侧表面的固定座，所述固定座适于固定半导体激光器；贯穿所述绝缘座和所述固定座的第一通液凸起管和第二通液凸起管，第一通液凸起管和第二通液凸起管相互间隔，第一通液凸起管和第二通液凸起管均与所述通液座本体连接，所述第一通液凸起管中具有第三通液道，所述第二通液凸起管中具有第四通液道，所述第三通液道与所述第一通液道连通，所述第四通液道与所述第二通液道连通。

可选的，所述第一通液凸起管具有背向所述通液座本体的第一端口，所述第二通液凸起管具有背向所述通液座本体的第二端口；所述通液夹具还包括：设置于所述第二端口和第一端口的密封环，所述第二端口和第一端口适于与半导体激光器连通。

可选的，所述通液夹具还包括：绝缘环，设置于所述固定座和所述第一通液凸起管之间、以及所述固定座和所述第二通液凸起管之间。

可选的，还包括：进液管和出液管，所述进液管穿过所述腔体的侧壁且与所述通液座本体连接，所述进液管与第一通液道连通，所述出液管穿过所述腔体的侧壁且与所述通液座本体连接，所述出液管与第二通液道连通。

可选的，还包括：位于所述腔体外部的第二进气管和排液管，所述第二进气管与所述出液管连通，所述排液管与所述进液管连通，或者，所述第二进气管与所述进液管连通，所述排液管与所述出液管连通。

可选的，还包括：加热带，设于所述腔体的内壁。

可选的，还包括：真空泵；与所述腔体连接的抽真空管，所述抽真空管包括第一主抽真空管和第一附抽真空管，所述第一主抽真空管的两端分别连接真空泵和所述腔体，所述第一主抽真空管具有支路连接端，所述第一附抽真空管的一端与所述支路连接端连接；单向阀，设置于第一附抽真空管上；露点仪，所述露点仪设置在所述第一附抽真空管的另一端端口处。

本发明还提供一种低温老化测试方法，包括如下步骤：提供半导体激光器低温老化测试装置；将半导体激光器固定在所述通液夹具上；将半导体激光器固定在所述通液夹具上之后，通过第一进气管向所述腔体内通第一气体；所述第一气体从所述若干气孔喷出，以吹扫半导体激光器表面的水汽。

可选的，所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：真空泵；与所述腔体连接的抽真空管，所述抽真空管包括第一主抽真空管和第一附抽真空管，所述第一主抽真空管的两端分别连接真空泵和所述腔体，所述第一主抽真空管具有支路连接端，所述第一附抽真空管的一端与所述支路连接端连接；单向阀，设置于第一附抽真空管上；露点仪，所述露点仪设置在所述第一附抽真空管的另一端端口处；所述低温老化测试方法还包括：第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器表面的水汽之后，还包括：采用真空泵对所述腔体抽真空；重复进行第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器表面的水汽的步骤、以及对所述腔体抽真空的步骤；重复进行第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器表面的水汽的步骤、以及对所述腔体抽真空的步骤之后，在第一进气管以及单向阀打开的情况下，采用露点仪检测第一附抽真空管流出的气体中的水分子含量。

可选的，所述腔体上方设置有分层式盖板；所述分层式盖板包括：与所述腔体的侧壁顶部连接的下层盖板，所述下层盖板具有贯穿所述下层盖板厚度的第一盖板开口；上层盖板，所述上层盖板位于所述第一盖板开口上方以及第一盖板开口周围的下层盖板的部分表面，所述上层盖板在所述腔体的底壁的投影面积小于所述下层盖板在所述腔体的底壁的投影面积；所述低温老化测试方法还包括：在第一进气管打开的状态下将所述上层盖板打开，将所述上层盖板打开之后，将半导体激光器从第一盖板开口放入腔体中或者将半导体激光器从第一盖板开口取出。

可选的，所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：加热带，设于所述腔体的内壁还包括：所述低温老化测试方法还包括：对所述半导体激光器低温老化测试之后，采用加热带对所述腔体进行回温。

本发明具有如下优点：

1.本发明提供的半导体激光器低温老化测试装置，包括位于腔体中的底部区域且与第一进气管连通的导流管，所述导流管的管壁设置若干气孔；位于所述腔体内部的通液夹具，所述通液夹具适于固定半导体激光器，所述通液夹具位于导流管的上方。通过第一进气管向所述腔体内通第一气体，所述第一气体从所述若干气孔喷出，能快速的吹走半导体激光器表面的水汽，第一气体从所述若干气孔喷出还能吹走腔体内部死角位置的水汽。因此半导体激光器低温老化测试装置提高了除水汽的效率。

进一步，所述腔体的一侧腔壁设置有出光窗口层；所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：与所述出光窗口层相邻的积分球单元，所述积分球单元适于放置在所述半导体激光器和所述出光窗口层之间。所述积分球单元中的积分球能够收集半导体激光器出射的光，并通过内部粗糙表面漫反射光实现匀化光的作用，部分从半导体激光器出射的光被积分球单元中的积分球吸收并转化为热能，热能被相邻积分球之间的水流带走。积分球具有朝向所述出光窗口层的出光孔，出光孔允许匀化后的少量光通过并从出光窗口层射出，因此出光窗口层上的热量聚集减少，避免出光窗口层破裂。

进一步，所述腔体上方设置有分层式盖板；所述分层式盖板包括：与所述腔体的侧壁顶部连接的下层盖板，所述下层盖板具有贯穿所述下层盖板厚度的第一盖板开口；上层盖板，所述上层盖板位于所述第一盖板开口上方以及第一盖板开口周围的下层盖板的部分表面，所述上层盖板在所述腔体的底壁的投影面积小于所述下层盖板在所述腔体的底壁的投影面积。所述下层盖板处于常关的状态，下层盖板仅在腔体结构大改装时候使用，正常老化测试操作过程中始终不动。所述上层盖板在更换腔体内的半导体激光器时使用，更换半导体激光器时，仅打开上层盖板。上层盖板的面积小于下层盖板的面积，对气流起到限制作用，使得气体从腔体内流通到腔体外，同时减少外界水分子进去腔体的可能。因为较少水分子进入腔体，水分子含量少，减少了抽冲气体去除水分子的次数，提高了效率。

进一步，所述通液夹具包括：通液座本体，所述通液座本体中具有相互间隔的第一通液道和第二通液道；位于部分所述通液座本体上的若干分立的绝缘座，各绝缘座下方的所述通液座本体之间的相互连接；位于各所述绝缘座背向所述通液座本体一侧表面的固定座，所述固定座适于固定半导体激光器；贯穿所述绝缘座和所述固定座的第一通液凸起管和第二通液凸起管，第一通液凸起管和第二通液凸起管相互间隔，第一通液凸起管和第二通液凸起管均与所述通液座本体连接，所述第一通液凸起管中具有第三通液道，所述第二通液凸起管中具有第四通液道，所述第三通液道与所述第一通液道连通，所述第四通液道与所述第二通液道连通。由于设置有第一通液凸起管和第二通液凸起管，因此使得第一通液凸起管和绝缘座之间、以及第一通液凸起管和固定座之间、第二通液凸起管和绝缘座之间、以及第二通液凸起管和固定座之间不必设置密封部件，因此降低了液冷漏率，整个结构在使用过程中，更具有长期可靠性。

进一步，半导体激光器低温老化测试装置还包括：加热带，设于所述腔体的内壁。所述加热带适于在对半导体激光器进行低温老化测试之后对腔体迅速回温，避免水分子冷凝附于腔体内壁及半导体激光器上。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的半导体激光器低温老化测试装置的立体示意图；

图2为本发明实施例的半导体激光器低温老化测试装置的内部结构示意图；

图3为本发明实施例的通液夹具的结构示意图；

图4为本发明实施例的通液夹具的剖面示意图；

图5为本发明另一实施例中半导体激光器低温老化测试装置的整体连接图；

腔体120；出光窗口层121；第一进气管170；导流管140；通液夹具190；半导体激光器200；积分球单元130；进水管152；出水管151；分层式盖板100；下层盖板101；上层盖板104；上层板本体102；观察窗口层103；通液座本体191；第一通液道191a；绝缘座192；固定座193；第一通液凸起管194；第三通液道194a；密封环196；绝缘环195；进液管162和出液管161。

具体实施方式

一种采用半导体激光器低温老化测试装置低温老化测试过程，进行低温老化测试时，通过在密闭测试腔体内抽真空的方式使测试腔体的真空度降低，从而降低环境中的水分子含量，但是这种抽真空除水汽的方法，一方面，更换半导体激光器时，需先破真空，然后更半导体激光器，再进行抽真空，破真空前，需提高整个设备和设备内激光器温度，防止破真空时室温气体在腔体内遇冷凝结，此更换过程通常耗时比较长，外界水汽也容易进入测试腔体导致除水汽不充分。另一方面，低温老化测试装置的出光口玻璃就处在半导体激光器的正前方，在这种情况下，出光口玻璃会因为意外污染、激光热量聚集问题而存在破裂风险。

在此基础上，本发明一实施例提供一种半导体激光器低温老化测试装置，请结合参考图1和图2，包括：腔体120；位于所述腔体120的外部且与腔体120连通的第一进气管170；位于所述腔体120中的底部区域且与所述第一进气管170连通的导流管140，所述导流管140的管壁设置若干气孔；位于所述腔体120内部的通液夹具190，所述通液夹190具适于固定半导体激光器200，所述通液夹具190位于导流管140的上方。所述第一进气管170适于通入氮气。

腔体120的形状可以为长方形空间容器，腔体120的材料为不锈钢材质。腔体120通过胶垫或焊接等方式附有多个外界接口，并具有很好的气密性。

参考图5，所述半导体激光器低温老化测试装置还包括氮源，所述氮源提供干燥的氮气。所述氮源和第一进气管170连接。所述第一进气管170上设置有第五开关(如图5中的开关5)。

所述腔体120的一侧腔壁设置有出光窗口层121。所述出光窗口层121中具有贯穿所述出光窗口层121的窗口出光孔(未标示)。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：与所述出光窗口层121相邻的积分球单元130，所述积分球单元130适于放置在所述半导体激光器200和所述出光窗口层121之间。所述积分球单元130包括透明密封腔壳、位于所述透明密封腔壳内部的若干积分球，所述积分球具有朝向所述出光窗口层的出光孔，相邻的积分球之间具有间隙，所述积分球的出光孔对准所述窗口出光孔。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：与所述腔体120贯通的进水管152和出水管151，且所述进水管152和出水管151延伸至所述腔体120内并分别与所述积分球单元130连通。具体的，所述进水管152和出水管151与所述透明密封腔壳连通。所述进水管152中的水通过相邻的积分球之间具有间隙，带走积分球表面的热量，然后，吸收热量后的水从出水管151排出。

所述积分球单元130中的积分球能够收集半导体激光器200出射的光，并通过内部粗糙表面漫反射光实现匀化光的作用，部分从半导体激光器200出射的光被积分球单元130中的积分球吸收并转化为热能，热能被相邻积分球之间的水流带走。积分球具有朝向所述出光窗口层的出光孔，出光孔允许匀化后的少量光通过并从出光窗口层121射出，因此出光窗口层121上的热量聚集减少，避免出光窗口层121破裂。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：光衰减片和光敏二极管接收器，光衰减片设置在所述出光窗口层121的出光方向上且与出光窗口层121相邻；所述光敏二极管接收器适于接受光衰减片衰减后的激光并进行监测。

所述腔体120上方设置有分层式盖板100。所述分层式盖板100，参考图1，包括：与所述腔体120的侧壁顶部连接的下层盖板101，所述下层盖板101具有贯穿所述下层盖板101厚度的第一盖板开口(未标示)；上层盖板104，所述上层盖板104位于所述第一盖板开口上方以及第一盖板开口周围的下层盖板101的部分表面，所述上层盖板104在所述腔体120的底壁的投影面积小于所述下层盖板101在所述腔体120的底壁的投影面积。

所述上层盖板104包括环状的上层板本体102和嵌入在所述上层板本体102中的观察窗口层103，所述上层板本体102固定在所述第一盖板开口周围的下层盖板101的表面，所述观察窗口层103位于所述第一盖板开口的上方。

所述观察窗口层103为透明材质，可通过观察窗口层103观测到腔体120的内部，可监测腔体120的内部状况。

下层盖板101仅在腔体结构大改装时候使用，正常老化测试操作过程中始终不动。所述上层盖板104在更换腔体120内的半导体激光器时使用，更换半导体激光器时，仅打开上层盖板104。上层盖板104的面积小于下层盖板101的面积，对气流起到限制作用，使得气体从腔体120内流通到腔体外，同时减少外界水分子进去腔体的可能。因为较少水分子进入腔体，水分子含量少，减少了抽冲气体去除水分子的次数，提高了效率。

半导体激光激光器200在低温老化过程中加电流，出射一定功率的光。

所述导流管140包括：多个“S”状的子管道，多个“S”状的子管道联通。所述导流管140具有若干排气孔。具体的，导流管140的管壁上设置有若干气孔。

参考图4，所述通液夹具190包括若干沿着第一方向排布的固定座193，各固定座193之间相互分立。

至少一排气孔沿着第一方向排布且设置于积分球单元130和所述所述通液夹具190之间的缝隙下方。

结合参考图4和图5，所述通液夹具190包括：通液座本体191，所述通液座本体191中具有相互间隔的第一通液道191a和第二通液道(未图示)；位于部分所述通液座本体191上的若干分立的绝缘座192，各绝缘座192下方的所述通液座本体191之间的相互连接；位于各所述绝缘座192背向所述通液座本体一侧表面的固定座193，所述固定座193适于固定半导体激光器200；贯穿所述绝缘座192和所述固定座193的第一通液凸起管194和第二通液凸起管(未图示)，第一通液凸起管194和第二通液凸起管相互间隔，第一通液凸起管194和第二通液凸起管均与所述通液座本体191连接，所述第一通液凸起管194中具有第三通液道194a，所述第二通液凸起管中具有第四通液道(未图示)，所述第三通液道194a与所述第一通液道连通191a，所述第四通液道与所述第二通液道连通。

所述固定座193的材料为金属，如不锈钢。所述绝缘座192适于隔离通液座本体191和固定座193。

所述通液座本体191、第一通液凸起管194和第二通液凸起管的材料为金属，如不锈钢。在一个具体的实施例中，所述通液座本体191、第一通液凸起管194和第二通液凸起管的材料相同，且一体设置。

所述第一通液凸起管194具有背向所述通液座本体191的第一端口，所述第二通液凸起管具有背向所述通液座本体191的第二端口；所述通液夹具190还包括：设置于所述第二端口和第一端口的密封环196，所述第二端口和第一端口适于与半导体激光器连通。

所述第一液凸起管194具有相对的第一端口和第三端，第三通液道194a自第三端至第一端口延伸。所述第二通液凸起管具有相对的第二端口和第四端，第四通液道自第四端至第二端口延伸。第三端与所述通液座本体191密封连接，第四端与所述通液座本体191密封连接。

由于设置有第一通液凸起管和第二通液凸起管，因此使得第一通液凸起管和绝缘座之间、以及第一通液凸起管和固定座之间、第二通液凸起管和绝缘座之间、以及第二通液凸起管和固定座之间不必设置密封部件，因此降低了液冷漏率，整个结构在使用过程中，更具有长期可靠性。所述通液夹具还包括：绝缘环195，设置于所述固定座193和所述第一通液凸起管194之间、以及所述固定座193和所述第二通液凸起管之间。

所述固定座的数量为多个，每个固定座上均能够放置半导体激光器，因此允许同时对多个半导体激光器进行低温老化测试。且由于各个固定座相互绝缘隔离，因此一个固定座上的半导体激光器在老化过程中烧毁的话，不会影响其他固定座上的半导体激光器的正常老化过程，提高老化效率，使得整个设备更具有工程化。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：进液管162和出液管161，所述进液管162穿过所述腔体120的侧壁且与所述通液座本体191连接，所述进液管162与第一通液道191a连通，所述出液管161穿过所述腔体120的侧壁且与所述通液座本体191连接，所述出液管161与第二通液道连通。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：位于所述腔体120外部的第二进气管和排液管。本实施例中，所述第二进气管与所述出液管161连通，所述排液管与所述进液管162连通。在其他实施例中，所述第二进气管与所述进液管162连通，所述排液管与所述出液管161连通。

所述进液管162与所述制冷机连接，所述进液管162适于通入冷液，所述冷液包括液氮。所述第二进气管适于在低温老化测试之后通气，排液管将通液夹具190中的冷液排出。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：加热带，设于所述腔体的内壁。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：真空泵；与所述腔体120连接的抽真空管，所述抽真空管包括第一主抽真空管180和第一附抽真空管，所述第一主抽真空管180的两端分别连接真空泵和所述腔体120，所述第一主抽真空管具有支路连接端181，所述第一附抽真空管的一端与所述支路连接端181连接；单向阀，设置于第一附抽真空管上；露点仪，所述露点仪设置在所述第一附抽真空管的另一端端口处。

所述第一主抽真空管具有相对设置的第一抽真空端和第二抽真空端、以及位于第一抽真空端和第二抽真空端之间的支路连接端，第一抽真空端与真空泵连接，第二抽真空端与所述腔体连接，所述支路连接端与所述第一附抽真空管的一端连接。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：第一开关(参考图5中的开关1)，第二开关(参考图5中的开关2)，第三开关(参考图5中的开关3)，第四开关(参考图5中的开关4)，第五开关(参考图5中的开关5)，第六开关(参考图5中的开关6)，第七开关(参考图5中的开关7)。

第一开关设置在所述出液管上。第二开关设置在进液管和制冷剂之间。第三开关设置在第二进气管上。第四开关设置在排液管上。第五开关设置在第一进气管上。第六开关设置在所述真空泵和第一主抽真空管180之间。第七开关设置在第一附抽真空管上。

第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、第五开关、第六开关、第七开关均为自动电磁阀，通过信号控制实现自动开关。

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：贯穿所述腔体的腔壁的电引入管道，位于所述电引入管道中的电线；连接电极片，适于连接半导体激光器与所述电线连接；位于所述腔体的腔壁上的信号输出接口和信号输出接口。

所述每个固定座上设有电压检测口和热偶检测孔位，并通过信号输出接口将监测到的温度信号和电压信号向外传输。

相应的，本发明另一实施例还提供一种低温老化测试方法，包括如下步骤：提供上述的半导体激光器低温老化测试装置；将半导体激光器200固定在所述通液夹具190上；将半导体激光器固定200在所述通液夹具190上之后，通过第一进气管170向所述腔体120内通第一气体；所述第一气体从所述若干气孔喷出，以吹扫半导体激光器表面200的水汽。

所述低温老化测试方法还包括：第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器表面的水汽之后，还包括：采用真空泵对所述腔体120抽真空；重复进行第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器200表面的水汽的步骤、以及对所述腔体120抽真空的步骤；重复进行第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器200表面的水汽的步骤、以及对所述腔体120抽真空的步骤之后，在第一进气管170以及单向阀打开的情况下，采用露点仪检测第一附抽真空管流出的气体中的水分子含量。

具体的，重复进行第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器200表面的水汽的步骤、以及对所述腔体120抽真空的步骤之后，关闭第六开关，打开第五开关和第七开关，气流通过单向阀输出到露点仪，露点仪实时显示腔体内水分子含量，重复充气和抽气多次，直至露点仪监测到腔体内的水分子含量下降到一定到范围，充气和抽气的步骤结束。

所述低温老化测试方法还包括：在第一进气管打开的状态下将所述上层盖板打开，将所述上层盖板打开之后，将半导体激光器从第一盖板开口放入腔体中或者将半导体激光器从第一盖板开口取出。

具体的，在第一进气管打开的状态下将所述上层盖板打开，将所述上层盖板打开之后，将半导体激光器从第一盖板开口放入腔体中，在对半导体激光器进行低温老化测试的过程中，始终关闭开关六，打开第五开关和第七开关，腔体环境保持一定的的正压，气体以微小流量保持长流的状态，确保气体始终是从密闭腔体内流向腔体外，外界无气体流入。整个过程露点仪始终检测气体水分子含量。

所述低温老化测试方法还包括：制冷机通过进液管162和出液管161实现供冷液循环。

在对半导体激光器进行低温老化测试的过程中，进液管162和出液管161持续对通液夹具190和半导体激光器进行制冷，上层盖板关闭。

所述低温老化测试方法还包括：对所述半导体激光器200低温老化测试之后，采用加热带对所述腔体120进行回温。采用加热带对所述腔体120进行回温的过程中，始终关闭开关六，打开第五开关和第七开关，腔体环境保持一定的的正压，气体以微小流量保持长流的状态，确保气体始终是从密闭腔体内流向腔体外，外界无气体流入。

所述低温老化测试方法还包括：采用加热带对所述腔体120进行回温之后，打开上层盖板打开，将半导体激光器从第一盖板开口移除腔体外。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (17)

1.一种半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，包括：

腔体；

位于所述腔体的外部且与腔体连通的第一进气管；

位于所述腔体中的底部区域且与所述第一进气管连通的导流管，所述导流管的管壁设置若干气孔；

位于所述腔体内部的通液夹具，所述通液夹具适于固定半导体激光器，所述通液夹具位于导流管的上方。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，所述腔体的一侧腔壁设置有出光窗口层；所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：与所述出光窗口层相邻的积分球单元，所述积分球单元适于放置在所述半导体激光器和所述出光窗口层之间。

3.根据权利要求2所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，所述导流管具有若干排气孔；

所述通液夹具包括若干沿着第一方向排布的固定座；

至少一排气孔沿着第一方向排布且设置于积分球单元和所述所述通液夹具之间的缝隙下方。

4.根据权利要求2所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，所述积分球单元包括透明密封腔壳、位于所述透明密封腔壳内部的若干积分球，所述积分球具有朝向所述出光窗口层的出光孔，相邻的积分球之间具有间隙；

所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：与所述腔体贯通的进水管和出水管，且所述进水管和出水管延伸至所述腔体内并分别与所述积分球单元连通。

5.根据权利要求1所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，所述腔体上方设置有分层式盖板；

所述分层式盖板包括：与所述腔体的侧壁顶部连接的下层盖板，所述下层盖板具有贯穿所述下层盖板厚度的第一盖板开口；上层盖板，所述上层盖板位于所述第一盖板开口上方以及第一盖板开口周围的下层盖板的部分表面，所述上层盖板在所述腔体的底壁的投影面积小于所述下层盖板在所述腔体的底壁的投影面积。

6.根据权利要求5所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，所述上层盖板包括环状的上层板本体和嵌入在所述上层板本体中的观察窗口层，所述上层板本体固定在所述第一盖板开口周围的下层盖板的表面，所述观察窗口层位于所述第一盖板开口的上方。

7.根据权利要求1所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，所述通液夹具包括：

通液座本体，所述通液座本体中具有相互间隔的第一通液道和第二通液道；

位于部分所述通液座本体上的若干分立的绝缘座，各绝缘座下方的所述通液座本体之间的相互连接；

位于各所述绝缘座背向所述通液座本体一侧表面的固定座，所述固定座适于固定半导体激光器；

贯穿所述绝缘座和所述固定座的第一通液凸起管和第二通液凸起管，第一通液凸起管和第二通液凸起管相互间隔，第一通液凸起管和第二通液凸起管均与所述通液座本体连接，所述第一通液凸起管中具有第三通液道，所述第二通液凸起管中具有第四通液道，所述第三通液道与所述第一通液道连通，所述第四通液道与所述第二通液道连通。

8.根据权利要求7所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，所述第一通液凸起管具有背向所述通液座本体的第一端口，所述第二通液凸起管具有背向所述通液座本体的第二端口；所述通液夹具还包括：设置于所述第二端口和第一端口的密封环，所述第二端口和第一端口适于与半导体激光器连通。

9.根据权利要求7所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，所述通液夹具还包括：绝缘环，设置于所述固定座和所述第一通液凸起管之间、以及所述固定座和所述第二通液凸起管之间。

10.根据权利要求7所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，还包括：进液管和出液管，所述进液管穿过所述腔体的侧壁且与所述通液座本体连接，所述进液管与第一通液道连通，所述出液管穿过所述腔体的侧壁且与所述通液座本体连接，所述出液管与第二通液道连通。

11.根据权利要求10所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，还包括：位于所述腔体外部的第二进气管和排液管，所述第二进气管与所述出液管连通，所述排液管与所述进液管连通，或者，所述第二进气管与所述进液管连通，所述排液管与所述出液管连通。

12.根据权利要求1所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，还包括：加热带，设于所述腔体的内壁。

13.根据权利要求1所述的半导体激光器低温老化测试装置，其特征在于，还包括：真空泵；与所述腔体连接的抽真空管，所述抽真空管包括第一主抽真空管和第一附抽真空管，所述第一主抽真空管的两端分别连接真空泵和所述腔体，所述第一主抽真空管具有支路连接端，所述第一附抽真空管的一端与所述支路连接端连接；单向阀，设置于第一附抽真空管上；露点仪，所述露点仪设置在所述第一附抽真空管的另一端端口处。

14.一种低温老化测试方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供如权利要求1至13任一项所述的一种半导体激光器低温老化测试装置；

将半导体激光器固定在所述通液夹具上；

将半导体激光器固定在所述通液夹具上之后，通过第一进气管向所述腔体内通第一气体；

所述第一气体从所述若干气孔喷出，以吹扫半导体激光器表面的水汽。

15.根据权利要求14所述的低温老化测试方法，其特征在于，所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：真空泵；与所述腔体连接的抽真空管，所述抽真空管包括第一主抽真空管和第一附抽真空管，所述第一主抽真空管的两端分别连接真空泵和所述腔体，所述第一主抽真空管具有支路连接端，所述第一附抽真空管的一端与所述支路连接端连接；单向阀，设置于第一附抽真空管上；露点仪，所述露点仪设置在所述第一附抽真空管的另一端端口处；

所述低温老化测试方法还包括：第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器表面的水汽之后，还包括：采用真空泵对所述腔体抽真空；重复进行第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器表面的水汽的步骤、以及对所述腔体抽真空的步骤；重复进行第一气体从所述若干气孔喷出以吹扫半导体激光器表面的水汽的步骤、以及对所述腔体抽真空的步骤之后，在第一进气管以及单向阀打开的情况下，采用露点仪检测第一附抽真空管流出的气体中的水分子含量。

16.根据权利要求14所述的低温老化测试方法，其特征在于，所述腔体上方设置有分层式盖板；所述分层式盖板包括：与所述腔体的侧壁顶部连接的下层盖板，所述下层盖板具有贯穿所述下层盖板厚度的第一盖板开口；上层盖板，所述上层盖板位于所述第一盖板开口上方以及第一盖板开口周围的下层盖板的部分表面，所述上层盖板在所述腔体的底壁的投影面积小于所述下层盖板在所述腔体的底壁的投影面积；

所述低温老化测试方法还包括：在第一进气管打开的状态下将所述上层盖板打开，将所述上层盖板打开之后，将半导体激光器从第一盖板开口放入腔体中或者将半导体激光器从第一盖板开口取出。

17.根据权利要求14所述的低温老化测试方法，其特征在于，所述半导体激光器低温老化测试装置还包括：加热带，设于所述腔体的内壁还包括：

所述低温老化测试方法还包括：对所述半导体激光器低温老化测试之后，采用加热带对所述腔体进行回温。

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