CN104632604A - 干式真空泵抽气工艺模拟测试方法及测试系统 - Google Patents

Abstract

本发明为高集成度和实用性的干式真空泵抽气工艺模拟测试方法和测试系统，通过组建的模拟真空室，集成了气、液、电、磁、热、粉尘、腐蚀性等多种干式真空泵应用环境中常见的元素，使用多种传感器对同时具有温度、湿度、气体成分、实时图像、压力、流量和噪声等信号进行反馈，并通过多个控制系统进行监控，对干式真空泵抽气工艺适应情况进行检验和完善。本发明的测试系统采用严格的污染物收集和接驳处理，并具有危险示警和自动保护功能系统，具有安全性、智能性、绿色环保的特点和良好的可重复性，可以模拟包括输送、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀、光刻、化工、制药等在内的清洁、轻度污染、中度污染和重度污染真空环境的真空泵抽气工艺环境。

Description

干式真空泵抽气工艺模拟测试方法及测试系统

技术领域

本发明属于真空泵技术领域，具体涉及一种干式真空泵抽气工艺的模拟测试方法以及模拟测试系统。

背景技术

近年来，随着半导体电子、光伏、平板显示、半导体照明、太阳能光伏等新兴战略行业的大规模兴起，化工、制药和食品包装行业的产业升级，各行业对干式真空泵的需求进一步提升，全球干泵制造业发展很迅速。随着国内外对于干式真空泵的需求越来越旺盛，对干式真空泵的要求也越来越苛刻，真空泵制造行业面临着巨大的挑战和机遇。干式真空泵的应用场合越来越广泛，其型号的划分也越来越细。原有的简单干泵型号的划分，已经不能够满足对抽气工艺类型的定义。简单地说，同一个干泵产品，应用与多个工业场合，其抽气工艺具有很大差异。

典型的半导体工厂中，位于中间层的真空泵（也有的处理设备内部直接安装真空泵）是保障整个生产线高效安全生产的关键环节。真空泵可以从工艺设备中抽出具有潜在危险的工艺气体和流程副产物，其中含有各种微粒状、浓缩的和腐蚀性的副产物，并将其输送到后处理系统进行处理。真空泵的用途主要包括负载锁定和传运、量测、光刻、离子注入源、PVD及预清洁、RTA、剥除/灰化、氧化物、硅和金属的刻蚀、CVD、MOCVD和ALD等。

干式真空泵需要处理的气体相对来说更为复杂，抽气工艺也越来越复杂，对真空泵的要求也越来越高。有些气体会含有非常细小的粉末（微米或亚微米级）、带有腐蚀性、或者可能在泵的内壁形成沉积。半导体所用的真空泵除了耐用外，还必须能在特定的温度范围内运作自如。此外非常重要的一点就是由于干式真空泵一直处于长时间不间断的连续运转状态下，如何在无法进行正常的定期保养的情况下延长设备的使用寿命是必需考虑的问题。需要将真空技术与各种应用很好的融合在一起，使其真空设备在可靠运行、延长设备的平均故障间隔时间、减少维护工作并降低成本等方面满足半导体制造业对工艺设备的严格要求，这同样对干式真空泵的设计、制造、装配和测试等各个环节提出了严格的要求。

以半导体生产线的几种典型工艺为例，通常真空泵抽出的气体直接进入到废气处理系统进行安全处理：

（1）CVD和外延工艺

CVD和外延工艺的气体和副产物包括具有自燃性、易燃性、腐蚀性、可凝性和有毒的物质，如SiH₄，PH₃，F₂，NF₃，SF₆，NH₃，HF，HCl等。工作在这种工艺下的干泵，必须具备很高的可靠性和耐腐蚀性。通常在抽气工艺中要求绝对安全不外泄，而且这些气体通常具有较高的温度，且进入真空泵前不允许过度冷却。这就要求干泵的吸气泵腔需要保持在80℃～260℃之间，而且7×24小时不间断的连续运转2～5年。

（2）化合物半导体CVD工艺

由于对新型发光二极管（LEDs）需求的增长，化合物半导体的制造正在经历飞速增长。CS工艺中需要用到很多毒性很强的物质，因而处理过程是不可或缺的且又要求成本低廉。这要求真空泵静密封和动密封性能优异，否则气体与润滑油或脂等反应，或者外泄，都将带来灾难性的后果。

（3）刻蚀工艺

金属刻蚀工艺使用的都是腐蚀性气体，包括Cl₂、BCl₃和全球温室气体PFC。电介质刻蚀工艺也需要使用到PFCs和腐蚀性气体，比如HBr。这种工艺通常会产生一些副产物，如气态AlCl3，当温度低于70℃时，通常会在泵体内产生凝华现象，从而使真空泵发生卡死现象。而且要求真空泵可以处理一些小颗粒和粉尘，通常可以用氮气吹洗得方法防止微尘及反应生成物淀积在泵腔流道内，但同时也对真空泵的可靠性提出更高的要求。

（4）离子注入

离子注入对颗粒玷污非常敏感。硅片表面上的一个颗粒能够阻碍离子束，产生不正确的注入。大电流注入机由于离子束的侵蚀会产生更多颗粒。常用的离子注入掺杂气体都是有剧毒的，如AsH₃，PH₃，BF₃等。这些气体在空气中的浓度超过50～300ppbv（1ppbv指体积含量十亿分之一），便能对人体健康安全造成威胁。

与之抽气工艺不同的应用场合，如应用于石化和制药行业的干泵，应用领域包括真空蒸馏溶剂萃取高效回收溶剂、医药工业、回收药液及药物中间体、为人造器官生产提供清洁无菌条件、回收气体消毒剂、核反应堆及核工业真空获得、脂肪酸生产、消除水污染、清除喷射器中的阻塞物、香料、香精浓缩等。这些工艺要求运行中不会产生废水废油，但会产生大量抽除可凝蒸汽，要求真空泵在气液混合两相流工况下泵也不会阻塞。同时，既可冷却转子又可回收凝液再用，减少浪费有利环保，同时要求真空泵具有极强的耐腐蚀型，甚至全封闭型，以抽除腐蚀性气体或有毒气体。

同时，在真空冶金行业中，尤其是特殊钢的冶炼，由于节水节能明显，采用干式真空泵替代水喷射泵逐渐成为一种趋势。但从真空炉中抽出的气体中通常含有水分、二氧化碳、一氧化碳、二氧化氮、粉尘、金属颗粒，尽管经过多级过滤和粉液收集，仍然对真空泵转子、泵腔内壁、泵油具有极强的破坏性。

干式真空泵需求场合的变化引发在干泵设计、制造、装配等各个环节引发了巨大的变化；与此同时，干泵的抽气工艺测试亦需要进行扩充。对待真空泵抽气工艺的测试，最理想的方法是使用完全相同的工艺复制应用设备，不仅成本极其昂贵、而且可重复性差。

目前，干式真空泵的市场推广多采用了“厂家内测——用户外测——多机备份——返厂维修——产品改进”的产品推广周期。但目前的厂家内测绝大多数只是按照相关技术标准进行抽气性能指标，如抽速、极限真空度、电机功率、噪声等指标的测试。由于干泵生产厂家对用户抽气工艺的不熟悉，因此真空泵的产品适应性和抽气工艺测试只能在厂家外测进行，往往不利于抽气工艺的准确性，问题的发现得不到及时的解决。真空泵的应用拓展和适用往往需要相当长的时间去磨合，其时间成本和风险成本都很高，无法适应真空泵应用领域的快速发展。这就导致这一市场推广过程通常具有成本昂贵、周期长、用户满意度差的局面，不利于干式真空泵的产品研发、技术升级和市场推广。

部分具有能力的干式真空泵厂商在工厂内部建立产品应用实验室，建立与用户相同的生产线来对产品进行内测，或者生产厂商同时具有生产相关真空应用设备的部门而进行跨部门的内测，这必然会局限了内测的质量和深度，同时时间和经济成本大幅增加，带来了管理的难度，从而增加了干泵生产管理的成本。

在设计水平、精加工设备、材料、热处理、配件等多个环节快速发展的今天，设计、加工和制造一台性能精良的干式真空泵绝非难事。但如何能够快速开发出适应各种抽气环境并长期安全运转于多个领域的干式真空泵，确是摆在干泵生产厂家面前的头疼问题，成为限制干泵大规模应用的瓶颈之一。

发明内容

针对现有技术中存在的上述不足之处，本发明提供一种干式真空泵抽气工艺模拟测试方法及测试系统。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种干式真空泵抽气工艺模拟测试方法，连接待测试的干式真空泵，通过组合和设定集成化的模拟测试系统中的各种输入元素，模拟各种实际被抽真空环境的抽气工艺，同时对待测试的干式真空泵进行测试运转，在线连续测试各路测试信号，考察真空泵在实际工作时的各项指标运转情况和对抽气环境的适应情况，对真空泵的设计制造和抽气工艺的设定进行改善和优化；同时，对真空泵的出厂质量进行检验，以达到对应用于各种真空环境下真空泵适应情况进行测试和改善产品的目的。

所述集成化的模拟测试系统中的各种输入元素包括气、液、电、磁、热、粉尘颗粒、腐蚀性物质。

所述各路测试信号包括有温度、湿度、气体成分、实时图像、压力、流量和噪声信号。

一种干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，包括模拟抽气环境的真空室、各路模拟元素输入单元、各路信号监测单元、辅助抽气管路、安全保护系统、尾气收集系统及用于控制上述各单元的控制系统；

所述模拟元素输入单元用于各种输入元素的组合和设定；

所述信号监测单元用于对多种测试信号的在线监测，获得在设定抽气工艺下，被测真空泵在模拟测试系统中的各种性能指标。

所述模拟元素输入单元包括气体输入单元、液体输入单元、电场输入单元、磁场输入单元、热输入单元、粉尘输入单元和腐蚀性物质输入单元中的一种或几种。

所述气体输入单元和液体输入单元通过阀控制气体/液体的输入。

所述电场输入单元通过电源激发输入电场信号。

所述磁场输入单元通过电磁源激发输入磁场信号。

所述信号监测单元包括温度监测单元、实时图像监测单元、压力监测单元、噪声监测单元、真空室内的湿度监测单元、气体成分监测单元、连接模拟真空室的各路气体入口处、被测真空泵入口处的流量监测单元中的一种或多种。

所述温度监测单元包括连接在干式真空泵的吸气口、排气口、轴承座或齿轮箱处的温度传感器。

所述实时图像监测单元为安装对准泵入口和泵出口的高速成像系统，用于反馈真空室内可见液滴、粉尘颗粒的被抽情况和真空泵的受影响情况。

所述压力监测单元包括真空室内的压力传感器/真空度传感器和连接在被测真空泵的吸气口、排气口或级间过渡隔板的压力传感器/真空度传感器。

所述噪声监测单元包括真空室内的声纳探头、真空室外的分贝计。

所述辅助抽气管路为连接在模拟真空室的另一套辅助真空系统，包括真空泵、真空计、真空阀门以及连接管路的真空系统。

所述安全保护系用于根据各种工艺的临界阈值对抽气过程进行监控，并采取报警、及时的关闭造成危险状况的元素输入、充惰性气体保护措施，对整个模拟测试系统进行安全保护。

所述尾气收集系统包括废气、废液和固体排放物的收集系统，并连接到污染物处理系统。

本发明专利从突破干式真空泵大规模应用的瓶颈出发，公开了一种具有高集成度和良好实用性的干式真空泵抽气工艺测试系统，具有以下优点：

1.通过对被抽真空室中，集成了气、液、电、热、粉尘、腐蚀性等多种真空泵应用中常见的元素，通过多种传感器的探测，对干式真空泵的多项指标进行检测。

2.被抽真空室模拟多种不同的抽气工艺环境，并可以根据目标抽气环境的需求，对被抽真空室内的组成进行定制。

3.检测的结果，既可以对真空泵的可靠性进行反馈，又可以对真空泵的抽气工艺进行优化，从而最大限度的为真空泵的出厂测试提供了可靠的依据。

4.本发明的抽气工艺测试系统，采用排放物收集和接驳处理的环保系统，保证了污染物的零排放，同时具有危险自动智能报警功能，具有安全性、智能性和绿色环保的特点，具有良好的可重复性，可以模拟包括输送、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀、光刻、化工、制药等在内的清洁、轻度污染、中度污染和重度污染真空环境等，具有良好的应用前景。

附图说明

图1是干泵抽气工艺模拟测试系统原理图；

图2是PECVD管式炉组成与工作流程示意图；

图3是PECVD抽气工艺流程图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明做进一步的详细说明。

干式真空泵抽气工艺的适应性是制约干泵研发和规模化发展的瓶颈问题之一。为了推进干式真空泵应用工艺的研究，本发明专利技术方案公开了一种具有高集成化、多信号输入和多信号输出的干泵抽气工艺模拟测试系统，既可以对现有的抽气工艺进行模拟，又可以对潜在的、尚未开发的真空泵应用场合的抽气工艺进行模拟测试，同时还满足了高效率、低成本的要求，所有工作可以在干式真空泵生产厂家的研发部门内部进行，具有高效、多功能的特点。

本发明的技术方案给出了集成化的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统原理图，如附图1所示。通过模拟抽气环境的真空室与待测干式真空泵进行连接，并将气、液、电、磁、热、粉尘、腐蚀性等多个被抽真空环境的组成输入元素进行组合，通过对温度、湿度、气体成分、实时图像、压力、流量和噪声等多种测试信号的在线监测，获得与被抽真空环境类似的组成成分和物理属性，经被测的干式真空泵抽除后，以获得干式真空泵的运转特性和破坏情况，从而对干式真空泵的结构设计和抽气工艺设定等进行改善和优化。

本发明所公开的技术方案是：对于具体的应用场合和抽气工艺，首先对应用场合进行充分调研后，对主要流程、气体成分、粉尘颗粒情况、可凝性气体成分情况、油蒸汽情况、易燃易爆气体情况、腐蚀性气体情况等详细了解，掌握影响干式真空泵性能和可靠性的主要破坏因素，确定模拟测试的方案和流程。然后，准备好各种必要的输入元素并连接到模拟环境真空室或真空泵上，检查好各传感器及其保护措施（对于本次模拟测试无关的反馈信号，可以拆除其传感器），并检查危险示警及安全保护措施。再者，根据制定的模拟测试方案流程，依照时间顺序，对干泵性能进行测试，并记录下在线测试的数据，结束模拟测试过程。

在获得测试结果后，根据需要，对被测试的干泵进行分析、拆解、表面分析等，并对测试结果进行综合分析，由此获得在模拟测试的抽气工艺下，干泵出现的各种问题，同时对结构进行分析，优化结构设计、间隙设计、不平衡量设计、转子变形量、轴承预紧力设置、材料选用、吹扫流量、温度场设计、冷却剂流量、密封效果、防腐措施、泵油寿命等各种与干泵运行稳定性紧密相关的技术方案，提高干泵的运行可靠性。同时，对干泵的性能进行检验和校验，提高干泵的研发和技术升级。

输入气体元素，可以是空气、氮气、惰性气体、氧气、水蒸气、氢气、烷烃类等气体中的一种或几种；输入气体元素，可以包含易凝结气体、易燃易爆、腐蚀性气体或水合后腐蚀性气体等气体中的一种或几种；输入液体元素，包含水、乙醇、甘油、有机溶剂、油、硫酸、盐酸、苏打水以及其他普通液体、其他挥发性液体、其他腐蚀性液体等液体中的一种或多种；输入电场信号，包含直流、中频和射频等多种电场；输入温度信号，包括被抽真空室的加热和冷却，其工作温度范围为-20～400℃；输入粉尘颗粒，其直径可为毫米级（1-10毫米）、亚毫米级（0.1～1毫米）、微米级（1～100微米）、亚微米级（0.1～1微米）等；输入粉尘颗粒，按照尺寸的不同，可以为玻璃微珠、金属微珠、纤维粉、乳胶粒、硅胶粒、塑料粒、陶瓷微珠、陶瓷粉、钛白粉等。

温度监测信号，主要包括连接在干式真空泵的吸气口、排气口、轴承座、齿轮箱（如果有）等处的温度传感器（如热电偶）反馈的温度信号；湿度监测信号，主要包括分布在模拟真空室内的湿度传感器反馈的湿度信号；气体成分信号，是指通过分布在模拟真空室内的多个气体传感器反馈、连接在真空室的残余气体成分分析仪的气体成分信号；实时图像监测信号，是指通过安装对准泵入口和泵出口的高速成像系统进行拍摄，反馈模拟真空室内可见液滴、粉尘颗粒等被抽情况和真空泵的受影响情况；压力监测信号，主要包括分布在模拟真空室内的压力（真空度）传感器反馈的压力（真空度）信号和连接在被测真空泵的吸气口、排气口、级间过渡隔板（如果有）的压力（真空度）传感器反馈的压力（真空度）信号；流量监测信号，主要包括连接模拟真空室的各路气体入口处、被测真空泵入口处的气体流量计反馈的流量测试信号；噪声监测信号，主要包括设置在真空室内的声纳探头、真空室外的分贝计等反馈的噪声测试信号，测试结果作为参考和对比数据；

辅助抽气管路，是指连接在模拟真空室的另一套辅助真空系统，包括真空泵、真空计、真空阀门以及连接管路的真空系统。

安全保护系统包括设置在整个测试系统各处传感器、执行机构、执行元件以及软件专家系统、硬件控制系统等组成，根据对各种工艺的临界阈值对抽气过程进行监控，并采取报警、及时的关闭造成危险状况的元素输入、充惰性气体保护等措施，对整个模拟测试系统进行安全保护。

尾气收集系统包括废气、废液和固体物等排放物的收集系统，并接驳到污染物处理系统，避免对环境的污染。

多个控制系统包括软件系统和硬件系统，其组成包括干式真空泵监控系统、模拟真空室监控系统、输入元素控制系统、危险预警与安全保护控制系统和污染物排放监控系统等多部分。

具体实施例1～4是本发明技术方案所涵盖的技术方案的例子，本部分内容对本发明的技术方案做进一步的描述，但本发明并不仅限于以下所列出的技术方案，所有根据本发明所公开的技术要点都为本专利所保护。

实施例1管式PECVD抽气工艺模拟测试

实施例1给出了管式PECVD设备配备的干式真空泵抽气工艺模拟测试方法，采用本发明公开的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统进行测试。

PECVD是IC产业中典型的生产工艺之一，其干泵用量大、抽气环境恶劣，对干泵适应其恶劣抽气工艺的需求迫切。PECVD管式炉抽气工艺复杂，工艺的气体和副产物包括具有自燃性、易燃性、腐蚀性、可凝性和有毒的物质，工作在这种工艺下的干泵，必须具备很高的可靠性和耐腐蚀性。通常在抽气工艺中要求绝对安全不外泄，而且这些气体通常具有较高的温度，且进入真空泵前不允许过度冷却。同时，PECVD工艺中含有大量粉尘，由于含有硅烷，接触氧气后会迅速生成氧化硅颗粒，容易吸附在泵腔内和转子表面上，而且可能会进入到油箱和轴承里，造成严重的破坏后果。

本发明公开的技术方案是这样实施的，首先对管式PECVD抽气工艺进行研究，列出其真空系统图及工作节拍，如图2所示。模拟真空室中需要引入的气体有NH3，SiH4，N2，此外，以硅胶微粒代替硅烷遇氧气后产生的氧化硅颗粒，并补充一定的水分，以模拟PECVD排放气体中的副产物。实际的抽气工艺总结如图3左侧所示，结合模拟系统的功能，将模拟系统的抽气工艺规划出来，如图3右侧部分所示。

待模拟测试实验完成后，对获得的各项性能参数进行分析和对比，获得在该抽气工艺下干泵性能所受的影响；同时，拆解干泵，观察密封结构、转子表面、泵腔内表面、间隙情况、转子变形、轴承磨损等位置的变化情况，结合分析结果，对干泵抽气工艺性能进行完善。

实施例2MOCVD抽气工艺模拟测试

另一种典型的恶劣工艺是MOCVD抽气工艺。由于MOCVD工作在相对较高压力的真空下，由于含有金属碎屑和烟尘，而且由于含有氢气易爆。对MOCVD抽气工艺的模拟与PECVD大致相当，但在输入元素上，要加入一定的金属微珠和陶瓷微珠，充入H2气体。

实施例3RH/VOD抽气工艺模拟测试

RH/VOD是一种典型的钢液真空脱气处理的真空冶金工艺，传统设计上采用水蒸气喷射泵作为抽气系统，但由于水蒸气喷射泵抽气效率低、占地面积和占用空间多、耗电耗水巨大、维修保养费时费工，目前已经有采用干式真空泵（机组）取代的实例。RH/VOD的抽气工艺也比较恶劣，通常含有多种气体、高温水蒸气、金属碎屑、矿渣、粉尘等多种副产物。

对RH/VOD的抽气工艺模拟测试，基本方法与PECVD相似，但输入元素中水分和金属微珠的比例增大，同时应加入一定的粉尘，模拟时，可以采用微细沙粒代替。

实施例4制药的抽气工艺模拟测试

典型的制药工艺，如VC合成，由于原料极易氧化，需要在真空环境下对药物进行传递、混合、合成反应等。由于药物合成对泵油蒸汽的敏感性，需要干式真空泵来提供真空环境。反应过程中，极细的颗粒状药物易被抽到真空泵中，加上原料中所含的水分被抽走，容易在真空泵转子表面形成泥膏状聚集，造成电机功率加剧，轴承负载和密封负载加剧，从而影响干泵的稳定性。对制药过程的抽气工艺模拟，主要需要加入微尘和水分。

Claims (16)

1.一种干式真空泵抽气工艺模拟测试方法，其特征在于，连接待测试的干式真空泵，通过组合和设定集成化的模拟测试系统中的各种输入元素，模拟各种实际被抽真空环境的抽气工艺，同时对待测试的干式真空泵进行测试运转，在线连续测试各路测试信号，考察真空泵在实际工作时的各项指标运转情况和对抽气环境的适应情况，对真空泵的设计制造和抽气工艺的设定进行改善和优化；同时，对真空泵的出厂质量进行检验，以达到对应用于各种真空环境下真空泵适应情况进行测试和改善产品的目的。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试方法，其特征在于，所述集成化的模拟测试系统中的各种输入元素包括气、液、电、磁、热、粉尘颗粒、腐蚀性物质。

3.根据权利要求1所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试方法，其特征在于，所述各路测试信号包括有温度、湿度、气体成分、实时图像、压力、流量和噪声信号。

4.一种干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，包括模拟抽气环境的真空室、各路模拟元素输入单元、各路信号监测单元、辅助抽气管路、安全保护系统、尾气收集系统及用于控制上述各单元的控制系统；

所述模拟元素输入单元用于各种输入元素的组合和设定；

所述信号监测单元用于对多种测试信号的在线监测，获得在设定抽气工艺下，被测真空泵在模拟测试系统中的各种性能指标。

5.根据权利要求4所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述模拟元素输入单元包括气体输入单元、液体输入单元、电场输入单元、磁场输入单元、热输入单元、粉尘输入单元和腐蚀性物质输入单元中的一种或几种。

6.根据权利要求5所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述气体输入单元和液体输入单元通过阀控制气体/液体的输入。

7.根据权利要求5所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述电场输入单元通过电源激发输入电场信号。

8.根据权利要求5所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述磁场输入单元通过电磁源激发输入磁场信号。

9.根据权利要求4所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述信号监测单元包括温度监测单元、实时图像监测单元、压力监测单元、噪声监测单元、真空室内的湿度监测单元、气体成分监测单元、连接模拟真空室的各路气体入口处、被测真空泵入口处的流量监测单元中的一种或多种。

10.根据权利要求9所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述温度监测单元包括连接在干式真空泵的吸气口、排气口、轴承座或齿轮箱处的温度传感器。

11.根据权利要求9所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述实时图像监测单元为安装对准泵入口和泵出口的高速成像系统，用于反馈真空室内可见液滴、粉尘颗粒的被抽情况和真空泵的受影响情况。

12.根据权利要求9所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述压力监测单元包括真空室内的压力传感器/真空度传感器和连接在被测真空泵的吸气口、排气口或级间过渡隔板的压力传感器/真空度传感器。

13.根据权利要求9所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所噪声监测单元包括真空室内的声纳探头、真空室外的分贝计。

14.根据权利要求5所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述辅助抽气管路为连接在模拟真空室的另一套辅助真空系统，包括真空泵、真空计、真空阀门以及连接管路的真空系统。

15.根据权利要求5所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述安全保护系用于根据各种工艺的临界阈值对抽气过程进行监控，并采取报警、及时的关闭造成危险状况的元素输入、充惰性气体保护措施，对整个模拟测试系统进行安全保护。

16.根据权利要求5所述的干式真空泵抽气工艺模拟测试系统，其特征在于，所述尾气收集系统包括废气、废液和固体排放物的收集系统，并连接到污染物处理系统。