CN117167261B - 基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及往复真空泵技术领域，具体为基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置，包括：推车、真空泵进气部和出气计量瓶，推车包括底架和若干个万向滚轮，真空泵进气部包括抽气计量瓶和耐高压罐，抽气计量瓶包括透明圆筒二和活塞二，出气计量瓶包括透明圆筒一和活塞一；本发明通过出气计量瓶和抽气计量瓶，可以显示真空泵在预设时间内抽出和抽取的气体量，用于辅助计算出往复式真空泵的实际抽速和气体泄漏量；通过耐高压罐中的真空度测试仪，可以检测真空泵出气为零时的极限真空度；通过快接法兰，可以快速完成快接法兰和法兰接口之间的密封固定，相比传统的法兰连接，更加快速高效，节省了本发明和真空泵连接的时间。

Description

基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置

技术领域

本发明涉及往复真空泵技术领域，具体为基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置。

背景技术

往复式真空泵(又称活塞式真空泵)是干式真空泵；它是依靠汽缸内的活塞作往复运动来吸入和排出气体的。往复真空泵的特点是，不怕水蒸气，牢固，操作容易等。一般往复式真空泵在出厂前，需要进行真空泵内部性能检测，如往复式真空泵的极限真空度、实际抽速等。

但是，现在市场上，没有专门用于辅助往复式真空泵进行内部极限真空度和实际抽速性能检测的装置，鉴于此，我们提出了基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置。

发明内容

为了弥补以上现在市场上，没有专门用于辅助往复式真空泵进行内部极限真空度和实际抽速性能检测的装置的不足，本发明提供了基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置。

本发明的技术方案是：

基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置，包括：

推车，所述推车包括底架和若干个万向滚轮；

真空泵进气部，安装于所述底架上，所述真空泵进气部包括抽气计量瓶和耐高压罐，所述抽气计量瓶包括透明圆筒二和活塞二，所述抽气计量瓶通过真空泵的进气口向所述透明圆筒二进行抽气，可以将所述活塞二的两侧形成气压差，用于吸引所述活塞二在所述透明圆筒二内进行移动，达到显示真空泵在预设时间内抽取的气体量，所述耐高压罐通过真空泵向所述耐高压罐中的罐体抽气，并通过耐高压罐中的真空度测试仪显示罐体内的真空度，用于检测真空泵出气为零时的极限真空度；

出气计量瓶，安装于所述底架上，所述出气计量瓶包括透明圆筒一和活塞一，所述出气计量瓶通过真空泵的出气口向所述透明圆筒一进行输入气体，可以将所述活塞一的两侧形成气压差，用于推动所述活塞一在所述透明圆筒一内进行移动，达到显示真空泵在预设时间内抽出的气体量。

优选的，所述底架上安装有三个托座，所述底架的一侧安装有推把，所述底架的另一侧安装有两个支杆，所述支杆上安装有卡环。

优选的，所述透明圆筒一上设有刻度一，所述透明圆筒一内安装有三个导向杆一，所述活塞一穿过所述导向杆一，所述透明圆筒一的一端连通安装有进气管，所述透明圆筒一的另一端安装有防尘透气盖一。

优选的，所述透明圆筒二上设有刻度二，所述透明圆筒二内安装有三个导向杆二，所述活塞二穿过所述导向杆二，所述透明圆筒二的一端安装有防尘透气盖二，所述透明圆筒二的一端连通安装有直角弯管一。

优选的，所述耐高压罐包括罐体，所述罐体上安装有真空度测试仪，所述罐体的一端连通安装有直角弯管二，所述直角弯管二和所述直角弯管一之间连通安装有三通阀。

优选的，所述三通阀和所述出气计量瓶上均连接有高压防爆软管，所述高压防爆软管的末端安装有快接法兰。

优选的，所述出气计量瓶、所述抽气计量瓶和所述耐高压罐上均安装有自关闭换气阀，所述自关闭换气阀包括T形三通管、矩形拉块、拉力弹簧和圆柱形密封塞。

优选的，所述T形三通管上设有透气孔和穿孔，所述圆柱形密封塞安装于所述T形三通管的上端内腔中，所述圆柱形密封塞和所述矩形拉块相连，所述矩形拉块设于所述穿孔内，所述拉力弹簧一端和所述圆柱形密封塞相连，所述拉力弹簧另一端和所述T形三通管相连。

优选的，所述快接法兰包括连接法兰，连接法兰内腔中固定安装有温度传感器，两个温度传感器分别用于检测往复式真空泵上进气口和出气口的温度，连接法兰的下端固定安装于高压防爆软管的末端。

优选的，所述连接法兰的上表面上设有和往复式真空泵上进气口和出气口法兰接口相互吻合的法兰槽，即法兰槽可以吻合的卡在往复式真空泵上进气口和出气口法兰接口上。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明通过出气计量瓶和抽气计量瓶，可以显示出真空泵在预设时间内抽出和抽取的气体量，用于辅助计算出往复式真空泵的实际抽速和气体泄漏量，再配合耐高压罐中的真空度测试仪，可以检测真空泵出气为零时的极限真空度，并由检测计算出的实际抽速、气体泄漏量与极限真空度，来反应出真空泵的内部性能。

本发明通过快接法兰对接真空泵的法兰接口，相比传统的法兰连接，更加快速高效，节省了本发明和真空泵连接的时间，快接法兰中电动推缸上的活塞杆连续的收缩过程分成两段行程，第一段是行程通过滑块和螺旋斜槽，带动套筒转动，套筒无法转动后，开始活塞杆的第二段行程，收缩的活塞杆通过滑块带动套筒和若干个向连接法兰方向移动，使得卡块和连接法兰挤压住上述法兰接口和密封橡胶垫，用于将快接法兰和上述法兰接口密封连接起来。

本发明通过人工手动打开三个自关闭换气阀，可以将出气计量瓶、抽气计量瓶、耐高压罐三者内腔与外界空气相互连通，用于在两个快接法兰和真空泵的连接过程中，对出气计量瓶、抽气计量瓶和耐高压罐三者内腔中的气体进行补充或者排放，并且当人工松开矩形拉块时，始终处于被拉伸状态的拉力弹簧，可以自动拉动圆柱形密封塞向左移动，重新堵住密封住T形三通管的下端内腔，用于自动关闭自关闭换气阀，辅助本发明对真空泵进行多组实验，以避免实验检测的偶然性。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明推车结构示意图；

图3为本发明出气计量瓶剖开示意图；

图4为本发明抽气计量瓶和耐高压罐剖开结构示意图；

图5为本发明快接法兰结构示意图；

图6为本发明快接法兰爆炸分解结构示意图；

图7为本发明自关闭换气阀结构示意图；

图8为本发明自关闭换气阀剖开示意图。

图中：

1、推车；101、底架；102、托座；103、万向滚轮；104、支杆；105、卡环；106、推把；

2、出气计量瓶；201、透明圆筒一；202、刻度一；203、活塞一；204、导向杆一；205、防尘透气盖一；206、进气管；

3、抽气计量瓶；301、透明圆筒二；302、刻度二；303、活塞二；304、导向杆二；305、防尘透气盖二；306、直角弯管一；

4、耐高压罐；401、罐体；402、真空度测试仪；403、直角弯管二；

5、高压防爆软管；

6、快接法兰；601、连接法兰；602、电动推缸；603、滑块；604、套筒；605、导向架；606、卡块；607、上滑杆；608、导向柱；609、法兰槽；610、密封橡胶垫；611、圆环块；612、导向孔；613、下滑杆；614、螺旋斜槽；615、径向导向槽；

7、三通阀；

8、自关闭换气阀；801、T形三通管；802、透气孔；803、穿孔；804、矩形拉块；805、拉力弹簧；806、圆柱形密封塞。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请参阅图1-8，本发明通过以下实施例来详述上述技术方案：

基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置，包括推车1，推车1包括底架101和四个万向滚轮103，推车1通过万向滚轮103，可以降低推车1和地面之间的摩擦力，用于减少移动推车1所用的力，达到便于移动本发明的目的，四个万向滚轮103分别固定安装于底架101的下方四角处，底架101上固定安装有三个托座102，底架101的一侧固定安装有推把106，底架101的另一侧固定安装有两个支杆104，支杆104上固定安装有卡环105，卡环105的一侧设有一个开口，可以穿过高压防爆软管5，卡环105的内孔直径小于连接法兰601的外直径，从而使得连接法兰601可以稳定的挂在卡环105上。

本实施例中，推车1上安装有真空泵进气部和出气计量瓶2，出气计量瓶2和真空泵进气部中的抽气计量瓶3和耐高压罐4分别安装于三个托座102上，真空泵进气部包括抽气计量瓶3和耐高压罐4，抽气计量瓶3包括透明圆筒二301和活塞二303，透明圆筒二301上设有刻度二302，活塞二303上标记有刻度线一，刻度二302和透明圆筒二301的内部容积相互对应，用于辅助读取透明圆筒二301内含有的气体量，透明圆筒二301内固定安装有三个导向杆二304，活塞二303穿过导向杆二304，活塞二303和导向杆二304之间密封滑动连接，活塞二303密封滑动安装于透明圆筒二301内，透明圆筒二301和透明圆筒一201均是由钢化玻璃制成，具有高透明性，可以看到内部活塞二303或活塞一203的位置，透明圆筒二301的一端固定安装有防尘透气盖二305，透明圆筒二301的一端连通安装有直角弯管一306，抽气计量瓶3通过真空泵的进气口向透明圆筒二301进行抽气，可以将活塞二303的两侧形成气压差，用于吸引活塞二303在透明圆筒二301内进行移动，达到显示真空泵在预设时间内抽取的气体量。

本实施例中，耐高压罐4包括罐体401，罐体401、透明圆筒二301和出气计量瓶2中的透明圆筒一201分别固定安装于三个托座102上，罐体401上固定安装有真空度测试仪402，罐体401的一端连通安装有直角弯管二403，直角弯管二403和直角弯管一306之间连通安装有三通阀7，三通阀7和出气计量瓶2上均连通安装有高压防爆软管5，高压防爆软管5的末端固定安装有快接法兰6，耐高压罐4通过真空泵向耐高压罐4中的罐体401进行抽气，并通过耐高压罐4中的真空度测试仪402，可以显示罐体401内的真空度，用于检测真空泵出气为零时的极限真空度。

本实施例中，出气计量瓶2包括透明圆筒一201和活塞一203，透明圆筒一201上设有刻度一202，透明圆筒一201内固定安装有三个导向杆一204，活塞一203滑动密封穿过导向杆一204，透明圆筒一201的一端连通安装有进气管206，透明圆筒一201的另一端固定安装有防尘透气盖一205，出气计量瓶2通过真空泵的出气口向透明圆筒一201进行输入气体，可以将活塞一203的两侧形成气压差，用于推动活塞一203在透明圆筒一201内进行移动，达到显示真空泵在预设时间内抽出的气体量。

本实施例中，出气计量瓶2、抽气计量瓶3和耐高压罐4上均安装有自关闭换气阀8，自关闭换气阀8包括T形三通管801、矩形拉块804、拉力弹簧805和圆柱形密封塞806，T形三通管801上设有透气孔802和穿孔803，圆柱形密封塞806密封滑动安装于T形三通管801的上端内腔中，圆柱形密封塞806和矩形拉块804固定连接，矩形拉块804水平滑动安装于穿孔803内，拉力弹簧805一端和圆柱形密封塞806固定连接，拉力弹簧805另一端和T形三通管801的左端固定连接，拉力弹簧805始终处于被拉伸状态，用于弹性拉动圆柱形密封塞806向左移动，堵住T形三通管801的下端内腔通道，三个T形三通管801的下端分别固定连接于进气管206、直角弯管一306和直角弯管二403上，且三个T形三通管801的下端内腔分别和进气管206、直角弯管一306和直角弯管二403相互连通。

需要补充说明的是，活塞一203和活塞二303的左侧面上均固定安装有推拉杆，两个推拉杆分别和防尘透气盖一205、防尘透气盖二305滑动连接，且推拉杆的长度略大于透明圆筒二301和透明圆筒一201的内腔长度，用于手动推动或者拉动活塞一203和活塞二303在透明圆筒一201和透明圆筒二301内进行移动，在对往复式真空泵进行检测时，一般需要进行多组实验，以避免实验检测的偶然性，通过打开三个自关闭换气阀8和推动/拉动两个推拉杆，可以对出气计量瓶2、抽气计量瓶3和耐高压罐4三者内腔中的气体进行补充或者排放，打开三个自关闭换气阀8的具体过程为，使用人员用大拇指抵在T形三通管801的右端，然后用其余四指拉动矩形拉块804和圆柱形密封塞806，将圆柱形密封塞806远离T形三通管801的下端内腔，将T形三通管801的下端内腔暴露出来，并通过透气孔802，将进气管206、直角弯管一306、直角弯管二403与外界空气相互连通，即出气计量瓶2、抽气计量瓶3、耐高压罐4三者内腔与外界空气相互连通，当使用人员松开矩形拉块804时，始终处于被拉伸状态的拉力弹簧805，可以自动拉动圆柱形密封塞806向左移动，重新堵住T形三通管801的下端内腔，用于自动关闭自关闭换气阀8。

本实施例中，快接法兰6包括连接法兰601，连接法兰601内腔中固定安装有温度传感器，两个温度传感器分别用于检测往复式真空泵上进气口和出气口的温度，连接法兰601的下端固定安装于高压防爆软管5的末端，连接法兰601的上表面上设有和往复式真空泵上进气口和出气口法兰接口相互吻合的法兰槽609，即法兰槽609可以吻合的卡在往复式真空泵上进气口和出气口法兰接口上，法兰槽609的内底面上贴合挤压安装有密封橡胶垫610，连接法兰601的上表边缘处固定安装有若干个导向柱608,若干个导向柱608上竖直滑动安装有圆环块611，圆环块611内圈直径大于上述法兰接口的外直径，圆环块611上设有若干个导向孔612，导向柱608滑动安装于导向孔612内，圆环块611的上端外围转动安装有套筒604，套筒604的上端固定安装有导向架605，导向架605中间设有一个大于上述法兰接口外直径的圆孔，导向架605上设有若干个导向倾斜孔，导向倾斜孔和套筒604的径向直线相互交错，圆环块611上设有若干个径向导向槽615，导向架605和圆环块611之间滑动安装有若干个卡块606，卡块606的上表面上固定安装有上滑杆607，上滑杆607滑动安装于导向架605中的导向倾斜孔内，卡块606的下表面上固定安装有两个下滑杆613，两个下滑杆613滑动安装于径向导向槽615内，径向导向槽615位于圆环块611的径向直线上，即卡块606只能在圆环块611的径向直线移动，套筒604、连接法兰601和圆环块611为同轴安装，套筒604的一侧设有螺旋斜槽614，连接法兰601的下端安装有电动推缸602，电动推缸602中的底座和连接法兰601固定连接，电动推缸602中的活塞杆上固定安装有滑块603，滑块603滑动安装于螺旋斜槽614内，连接法兰601上固定安装有电池，电池通过导线和电动推缸602相互连接。

需要说明的是，快接法兰6和往复式真空泵进气口或出气口上的法兰接口相互连接的具体过程为：首先，将快接法兰6的上端套在上述法兰接口上，并将上述法兰接口卡在法兰槽609内，然后，通过电动推缸602中的活塞杆向下收缩，电动推缸602中的活塞杆向下收缩的过程分成两段行程，第一段是行程活塞杆带动滑块603竖直向下移动，移动的滑动会沿着螺旋斜槽614，带动套筒604沿着圆环块611进行转动，转动的套筒604带动导向架605进行转动，转动的导向架605通过若干个导向倾斜孔和若干个上滑杆607，带动若干个卡块606沿着若干个径向导向槽615进行移动，使得若干个卡块606逐渐靠拢，卡在上述法兰接口的背面，直至导向架605和套筒604无法转动，开始活塞杆的第二段行程，收缩的活塞杆通过滑块603带动套筒604和若干个卡块606向连接法兰601方向移动，使得卡块606和连接法兰601挤压住上述法兰接口和密封橡胶垫610，从而将快接法兰6和上述法兰接口密封连接起来，本发明的快接法兰6和往复式真空泵进行连接时，只用将快接法兰6对接上述法兰接口，再通过电动推缸602中的活塞杆向下收缩，即可完成快接法兰6和上述法兰接口之间的密封固定，相比传统的法兰连接，更加快速高效，节省了本发明和真空泵连接的时间。

本实施例中，使用本发明对往复式真空泵进行性能检测的具体步骤为：

步骤一、将两个快接法兰6和往复式真空泵的进气口、出气口密封连接起来；具体先将三通阀7连接的快接法兰6和往复式真空泵的进气口上的法兰接口相连，将出气计量瓶2连接的快接法兰6和往复式真空泵的出气口上的法兰接口相连，即往复式真空泵可以通过高压防爆软管5和三通阀7抽取耐高压罐4或抽气计量瓶3内的气体，此时抽气计量瓶3中的活塞二303处于最左端，出气计量瓶2中的活塞一203处于最右端，即抽气计量瓶3内充满气体，出气计量瓶2内基本没有气体；

步骤二、往复式真空泵预启动，推动活塞一203和吸引活塞二303；首先，通过三通阀7，将真空泵进气口和抽气计量瓶3相互连通，然后，启动往复式真空泵，抽取抽气计量瓶3内的气体，使得透明圆筒二301中活塞二303右侧的气压变低，即活塞二303受到从左到右的吸力，直至活塞二303受到的吸力和活塞二303和透明圆筒二301之间的摩擦力相同时，活塞二303开始移动，同理，当出气计量瓶2中活塞一203右侧向左的推力，大于活塞一203移动所需移动的力时，活塞一203开始移动，活塞一203和活塞二303开始移动后，关闭往复式真空泵；

步骤三、检测单位时间内往复式真空泵的出气量和抽气量；首先，启动往复式真空泵一端时间，抽取抽气计量瓶3内的气体，并向出气计量瓶2内输送气体，然后，记录透明圆筒一201/透明圆筒二301中气体的变化量，其次根据F=PS和PV=nRT，F为活塞二303/活塞一203移动所需摩擦力，P为气体压强，S为出气计量瓶2的横截面积，V为透明圆筒一201/透明圆筒二301中气体体积，n为透明圆筒一201/透明圆筒二301中气体的量，R为气体常数，T为真空泵进气口或出气口处的温度，可以计算出往复式真空泵的出气量和抽气量，从而可以辅助计算出往复式真空泵的实际抽速和气体泄漏量；

步骤四、切换耐高压罐4；首先，通过三通阀7，将罐体401和往复式真空泵的进气口相互，然后再次启动往复式真空泵，直至活塞一203不再移动，即往复式真空泵的出气量为零时，通过耐高压罐4中的真空度测试仪402，可以显示罐体401内的真空度，用于检测真空泵出气为零时的极限真空度，并由检测计算出的实际抽速、气体泄漏量与极限真空度，来反应出真空泵的内部性能。

本实施例中，一般往复式真空泵进行性能检测时，需要进行多组实验，以避免实验检测的偶然性，通过打开三个自关闭换气阀8和推动/拉动两个推拉杆，可以对出气计量瓶2、抽气计量瓶3和耐高压罐4三者内腔中的气体进行补充或者排放，辅助出气计量瓶2、抽气计量瓶3和耐高压罐4恢复原样，继续进行下一组实验，打开自关闭换气阀8的具体过程为，使用人员用大拇指抵在T形三通管801的右端，然后用其余四指拉动矩形拉块804和圆柱形密封塞806，将圆柱形密封塞806远离T形三通管801的下端内腔，将T形三通管801的下端内腔暴露出来，并通过透气孔802，将进气管206、直角弯管一306、直角弯管二403与外界空气相互连通，即出气计量瓶2、抽气计量瓶3、耐高压罐4三者内腔与外界空气相互连通。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置，其特征在于，包括：

推车（1），所述推车（1）包括底架（101）和若干个万向滚轮（103）；

真空泵进气部，安装于所述底架（101）上，所述真空泵进气部包括抽气计量瓶（3）和耐高压罐（4），所述抽气计量瓶（3）包括透明圆筒二（301）和活塞二（303），通过真空泵的进气口向所述透明圆筒二（301）抽气，可以将所述活塞二（303）的两侧形成气压差，用于吸引所述活塞二（303）在所述透明圆筒二（301）内进行移动，达到显示真空泵在预设时间内抽取的气体量的目的，所述耐高压罐（4）通过真空泵向所述耐高压罐（4）中的罐体（401）抽气，并通过耐高压罐（4）中的真空度测试仪（402）显示罐体（401）内的真空度，用于检测真空泵出气为零时的极限真空度；

出气计量瓶（2），安装于所述底架（101）上，所述出气计量瓶（2）包括透明圆筒一（201）和活塞一（203），通过真空泵的出气口向所述透明圆筒一（201）输入气体，可以将所述活塞一（203）的两侧形成气压差，用于推动所述活塞一（203）在所述透明圆筒一（201）内进行移动，达到显示真空泵在预设时间内抽出的气体量的目的；

所述透明圆筒一（201）上设有刻度一（202），所述透明圆筒一（201）内安装有三个导向杆一（204），所述活塞一（203）穿过所述导向杆一（204），所述透明圆筒一（201）的一端连通安装有进气管（206），所述透明圆筒一（201）的另一端安装有防尘透气盖一（205）；

所述透明圆筒二（301）上设有刻度二（302），所述透明圆筒二（301）内安装有三个导向杆二（304），所述活塞二（303）穿过所述导向杆二（304），所述透明圆筒二（301）的一端安装有防尘透气盖二（305），所述透明圆筒二（301）的一端连通安装有直角弯管一（306）；

所述耐高压罐（4）包括罐体（401），所述罐体（401）上安装有真空度测试仪（402），所述罐体（401）的一端连通安装有直角弯管二（403），所述直角弯管二（403）和所述直角弯管一（306）之间连通安装有三通阀（7）；

所述三通阀（7）和所述出气计量瓶（2）上均连接有高压防爆软管（5），所述高压防爆软管（5）的末端安装有快接法兰（6）；

所述出气计量瓶（2）、所述抽气计量瓶（3）和所述耐高压罐（4）上均安装有自关闭换气阀（8），所述自关闭换气阀（8）包括T形三通管（801）、矩形拉块（804）、拉力弹簧（805）和圆柱形密封塞（806）；

所述T形三通管（801）上设有透气孔（802）和穿孔（803），所述圆柱形密封塞（806）安装于所述T形三通管（801）的上端内腔中，所述圆柱形密封塞（806）和所述矩形拉块（804）相连，所述矩形拉块（804）设于所述穿孔（803）内，所述拉力弹簧（805）一端和所述圆柱形密封塞（806）相连，所述拉力弹簧（805）另一端和所述T形三通管（801）相连。

2.如权利要求1所述的基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置，其特征在于：所述底架（101）上安装有三个托座（102），所述底架（101）的一侧安装有推把（106），所述底架（101）的另一侧安装有两个支杆（104），所述支杆（104）上安装有卡环（105）。

3.如权利要求1所述的基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置，其特征在于：所述快接法兰（6）包括连接法兰（601），连接法兰（601）内腔中固定安装有温度传感器，两个温度传感器分别用于检测往复式真空泵上进气口和出气口的温度，连接法兰（601）的下端固定安装于高压防爆软管（5）的末端。

4.如权利要求3所述的基于往复式运动的真空泵内部性能检测装置，其特征在于：所述连接法兰（601）的上表面上设有和往复式真空泵上进气口和出气口法兰接口相互吻合的法兰槽（609），即法兰槽（609）可以吻合的卡在往复式真空泵上进气口和出气口法兰接口上。