CN112292263A - 离型膜以及离型膜的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于提供一种不会污染模具或成形体的离型膜。本发明提供一种离型膜，是包含：由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层；与积层在所述基材层的2个面且是由氟系树脂所形成的表面层。又，本发明也提供一种离型膜的制造方法，是包含下述工序：涂布工序，是将氟系树脂组合物涂布于由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层的2个面；硬化工序，是在所述涂布工序后，使所述氟系树脂组合物硬化。通过使用该离型膜来成形，可防止模具或成形体的污染。并且，该离型膜也能够用于多次的成形。

Description

离型膜以及离型膜的制造方法
技术领域
本发明是涉及一种离型膜以及离型膜的制造方法，更详细而言是涉及一种用于转移模制成形或压缩模制成形的离型膜以及离型膜的制造方法。
背景技术
为了通过树脂来封装半导体，使用了例如转移模制成形法及压缩模制成形法等的成形手法。在所述成形手法中，树脂在模具内硬化之后，为了使成形体容易从模具取下来，经常会使用离型膜。至今为止，关于离型膜已有各种的提案被提出。
例如，在下述专利文献1揭示了一种离型膜，其特征在于包含涂膜与由非氟化聚合物所形成的层，该涂膜是由包含了含有官能基X的氟树脂(A)与离型成分(B)的组合物所形成。
又，在下述专利文献2揭示了一种阻气性半导体树脂膜具用离型膜，其特征在于是至少具有离型性优异的离型层(I)、与支撑此离型层(I)的塑料支撑层(II)；所述塑料支撑层(II)在170℃的伸长200％时的强度为1MPa至50MPa，且该离型膜在170℃的二甲苯气体渗透性为5×10-15(kmol·m/(s·m2·kPa))以下。
[现有技术文献]
[专利文献]
专利文献1：日本特开2015-74201号公报。
专利文献2：国际公开第2008/020543号。
发明内容
[发明所要解决的问题]
离型膜如上所述，是用于使成形体容易从模具取下来。离型膜要求在树脂硬化后容易从成形体剥离下来。
又，当离型膜在模具内处于高温时，离型膜所包含的成分会转移到该离型膜表面，而有因为该转移的成分导致模具或成形体受污染的情况。当发生该污染时，就需要从模具或成形体去除该成分。又，要去除该成分经常伴随着困难。因此，寻求着不发生因该成分导致模具或成形体的污染。
又，若使离型膜不仅使用于1次的成形，而是能在多次的成形中反复使用，就能够减少成形成本。然而，为了使离型膜在多次的成形中反复使用，就需要使离型膜的性能在经过多次的成形仍能维持。
根据以上内容，本发明的目的在于提供一种不污染模具或成形体的离型膜。又，本发明的目的在于提供一种不污染模具或成形体且在多次的成形中可连续使用的离型膜。
[解决问题的技术手段]
本案发明人发现具有特定构成的离型膜，离型性优异及污染性低。本案发明人还进一步发现能够将该离型膜使用于多次的成形。
即，本发明提供一种离型膜，是包含：由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层、与积层在所述基材层的2个面且是由氟系树脂所形成的表面层。
所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂的玻璃转移温度可为60℃至95℃。
根据JIS K7127并于175℃测定所述离型膜的拉伸断裂强度时，可以是40MPa至200MPa；并且，当根据JIS K7127并于175℃测定所述离型膜的拉伸断裂伸长度时，可以是200％至500％。
当根据JIS K7126-1并于175℃测定所述离型膜的氧气渗透性时，可以是5000cc/m2·24hr·atm至50000cc/m2·24hr·atm。
当根据JIS K7127并于175℃测定所述基材层的拉伸断裂强度时，可以是40MPa至200MPa。
当根据JIS K7127并于175℃测定所述基材层的拉伸断裂伸长度时，可以是200％至500％。
形成所述表面层的氟系树脂可以包含异氰酸酯系硬化剂，而该表面层是积层于所述基材层的至少1面。
形成所述表面层的氟系树脂可以包含根据激光衍射式粒度分析测定法所测定的平均粒径为1μm至10μm的粒子，而该表面层是积层于所述基材层的至少1面。
形成所述表面层的氟系树脂可以包含四氟化乙烯系树脂。
所述离型膜可以用于转移模制成形或压缩模制成形。
所述离型膜可以用于2次以上的成形。
又，本技术也提供一种离型膜的制造方法，是包含下述工序：涂布工序，是将氟系树脂组合物涂布于由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层的2个面；硬化工序，是在所述涂布工序后，使所述氟系树脂组合物硬化。
[发明的效果]
通过本发明，可提供一种离型性优异及污染性低的离型膜。并且，本发明的离型膜能够重复用于多次的成形。
另外，本发明的效果并不一定限定于此处所记载的效果，也可以是本说明书中所记载的任何效果。
附图说明
图1是表示本发明的离型膜的结构的例子的图。
图2是表示转移模制成形中的本发明的离型膜的使用方法的一例的图。
图3是表示压缩模制成形中的本发明的离型膜的使用方法的一例的图。
图4是表示FT-IR(Fourier-transform infrared；傅立叶变换红外线)光谱的图。
图5是成形后的离型膜的模具侧表面的电子显微镜相片。
图6是成形后的离型膜的模具侧表面的电子显微镜相片。
图7是加热后的离型膜的表面的显微镜相片。
图8是加热后的离型膜的表面的显微镜相片。
具体实施方式
以下，针对用以实施本发明的方式来详细地说明。另外，以下所说明的实施方式是表示本发明的代表性的实施方式的一例，本发明并非仅限定于这些实施方式。
1.离型膜
本发明的离型膜包含：由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层、与积层于所述基材层的2个面且是由氟系树脂所形成的表面层。本发明的离型膜的结构的一例示于图1。如图1所示，本发明的离型膜100，是由基材层101、积层于基材层101的两面的表面层102及表面层103所构成。基材层101是由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成。2个的表面层102及表面层103是由氟系树脂所形成。2个的表面层102及表面层103可以由相同的氟系树脂所形成，或也可以由不同的氟系树脂所形成。
本发明的离型膜，通过由所述基材层与形成于该基材层的两面的所述表面层所构成，而具有优异的离型性，且在成形中的模具及/或成形体的污染性低。并且，本发明的离型膜能够使用于多次的成形。在以下更详细地说明通过本发明的离型膜所达到的效果。
在聚对苯二甲酸乙二酯树脂，含有在其制造中产生的聚合度低的寡聚物。若使用了包含由聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的层的离型膜来进行成形，该寡聚物会移动至该离型膜表面，会有污染成形体及/或模具表面的情况。该污染即使在聚对苯二甲酸乙二酯树脂层的表面积层着例如氟树脂层仍会发生。这认为是因为该寡聚物会通过该氟树脂层的缘故。又，该污染特别容易发生在将1片的离型膜使用于多次的成形中的情况。这认为恐怕是由于在成形中，对聚对苯二甲酸乙二酯树脂赋予了热，使该寡聚物由该树脂内部朝表面移动的缘故。
本发明的离型膜，具有在由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层的两面积层着由氟系树脂所形成的表面层这样的构成。易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂虽然也含有该寡聚物，但通过采用所述构成，可减少或消除该寡聚物造成的成形体及/或模具的污染。并且，本发明的离型膜的低污染性，经过多次的成形仍可维持着。
又，一般而言，离型膜是在每进行1次成形就要更换新的。这是因为，若将已一度使用于成形的离型膜再度用在成形时，该离型膜破裂的可能性会提高的缘故。离型膜破裂对于成形而言是致命的，例如会招致成形体的形状异常或模具会与成形体接着。
依循本发明的离型膜，即使是用于多次的成形，也不易破裂且维持离型模的离型性及低污染性。因此，依循本发明的离型膜能够用于多次的成形，借此减少成形成本。
以下，针对本发明的离型膜更详细地说明。
[基材层]
本发明的离型膜所包含的基材层，是由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成。易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂(也称为易成型PET树脂)，是用来称呼具有比一般的聚对苯二甲酸乙二酯树脂还要优异的成形性的PET树脂的用语。所述基材层通过所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂来形成，特别有助于本发明的离型膜的低污染性。
所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂的玻璃转移温度，优选为60℃至95℃，更优选为65℃至90℃。所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂组合物具有所述数值范围内的玻璃转移温度，有助于能够在多次的成形中使用本发明的离型膜。
一般的聚对苯二甲酸乙二酯，一般而言具有100℃以上的玻璃转移温度。在本发明中所使用的所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂组合物的玻璃转移温度，低于普遍使用的聚对苯二甲酸乙二酯的玻璃转移温度。
所述玻璃转移温度是通过差示热分析(differential thermal analysis；DTA)来测定。
所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂，例如可为共聚聚对苯二甲酸乙二酯树脂。共聚聚对苯二甲酸乙二酯，例如可通过使对苯二甲酸、乙二醇与共聚成分进行反应而获得，或者也可以通过对于共聚成分的聚合物与聚对苯二甲酸乙二酯进行混合及熔融之后，使之进行分配反应来获得。
所述共聚成分，例如可为酸成分或可为醇成分。作为所述酸成分，能够举出：芳香族二元酸(例如间苯二甲酸、苯二甲酸及萘二羧酸等)、脂肪族二羧酸(例如己二酸、壬二酸、癸二酸及癸烷二甲酸(decane dicarboxylic acid)等)、及脂环族二羧酸(例如环己烷二羧酸等)。所述醇成分，能够举出：脂肪族二醇(例如丁二醇、己二醇、新戊二醇及己二醇等)及脂环族二醇(例如环己烷二甲醇等)。作为所述共聚成分，可以使用这些化合物之中的1种或2种以上的组合。所述酸成分，尤其可为间苯二甲酸及/或癸二酸。
作为由在本发明中所使用的所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层，可以使用能由市售取得的基材层。例如，作为所述基材层，能够使用Teflex(商标)FT、Teflex(商标)FT3及Teflex(商标)FW2(皆为Teijin Film Solutions股份有限公司制造)。又，作为所述基材层，可使用EMBLET CTK-38(UNITIKA股份有限公司制造)。
由所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层，可通过例如日本特开平2-305827号公报、日本特开平3-86729号公报、或日本特开平3-110124号公报所记载的方法来制造。根据本发明的一种优选实施方式，所述基材层可如这些公报中任一篇所记载般，以面配向系数优选成为0.06至0.16，更优选成为0.07至0.15的方式，将易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂经双轴延伸而成。
所述基材层的拉伸断裂强度，当根据JIS K7127并于175℃测定时，优选为40MPa至200MPa，更优选为40MPa至120MPa，又更优选为40MPa至110MPa，尤其优选为45MPa至100MPa。
所述基材层的拉伸断裂伸长度，当根据JIS K7127并于175℃测定时，优选为200％至500％，更优选为250％至450％，又更优选为300％至400％。
形成所述基材层的易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂，伸展性优于普遍使用的的PET树脂。因此，所述基材层可具有例如所述数值范围内的拉伸断裂强度及/或拉伸断裂伸长度。所述基材层具有所述数值范围内的拉伸断裂强度及/或拉伸断裂伸长度，有助于能够在多次的成形中使用本发明的离型膜。
所述基材层的厚度，例如可为10μm至80μm，优选为15μm至75μm，更优选为20μm至70μm。该厚度有助于能够在多次的成形中使用本发明的离型膜。
[表面层]
构成本发明的离型膜的所述表面层，由氟系树脂所形成。根据本发明的优选实施方式，所述氟系树脂不含氯。通过不含氯，会提升该层的耐久性及/或抗污性。该氟系树脂，例如可以是含有含反应性官能基的氟系聚合物与硬化剂的氟系树脂组合物的硬化物。
该氟系树脂，优选为包含四氟化乙烯系树脂，更优选为包含四氟化乙烯系树脂作为主成分。在本说明书内，所述四氟化乙烯系树脂，是指通过在以下所述的含反应性官能基的四氟化乙烯系聚合物与硬化剂的硬化反应所获得的成分。所谓四氟化乙烯系树脂为主成分，意思是该氟系树脂仅由四氟化乙烯系树脂所构成，或是该氟系树脂所包含的成分之中四氟化乙烯系树脂的量为最多。例如，该氟系树脂中的四氟化乙烯系树脂的含有比例，相对于该氟系树脂的总质量例如可为70质量％以上，优选为75质量％以上，更优选为80质量％以上，尤其优选为85质量％以上。该含有比例，相对于该氟系树脂的总质量例如可为99质量％以下，尤其为98质量％以下，更尤其为97质量％以下。
所述氟系树脂组合物所包含的所述含反应性官能基的氟系聚合物，可以是可通过所述硬化剂而硬化的氟系聚合物。所述反应性官能基与所述硬化剂可通过本领域技术人员来适当选择。
所述反应性官能基，例如可为羟基、羧基、以-COOCO-表示的基、胺基、或硅基，优选为羟基。通过这些基，用以获得所述硬化物的反应会良好地进行。
在这些反应性官能基之中，羟基特别适合于用以获得所述硬化物的反应。即，所述含反应性官能基的氟系聚合物，优选为含羟基的氟系聚合物，更优选为含羟基的四氟化乙烯系聚合物。
所述含反应性官能基的氟系聚合物的含氟单元，优选为基于全氟烯烃的含氟单元。该基于全氟烯烃的含氟单元，更优选为基于由四氟乙烯(四氟化乙烯，本说明书内在以下也称为“TFE”)、六氟丙烯(HFP)及全氟(烷基乙烯基醚)(PAVE)选择1种、2种、或3种的含氟单元。优选为该基于全氟烯烃的含氟单元之中，最多的是基于TFE的含氟单元。
所述含反应性官能基的氟系聚合物的羟值(尤其是含羟基的氟系聚合物的羟值)，优选为10mgKOH/g至300mgKOH/g，更优选为10mgKOH/g至200mgKOH/g，又更优选为10mgKOH/g至150mgKOH/g。所述含反应性官能基的氟系聚合物的羟值通过在所述数值范围的下限値以上，树脂组合物的硬化性会变得良好。又，所述含反应性官能基的氟系聚合物的羟值在所述数值范围的上限値以下，能有助于使该树脂组合物的硬化物适合于多次的成形。该羟值可通过根据JIS K0070的方法来测定而得。
所述含反应性官能基的氟系聚合物的酸值(尤其是含羟基的氟系聚合物的酸值)，优选为0.5mgKOH/g至100mgKOH/g，更优选为0.5mgKOH/g至50mgKOH/g。所述含反应性官能基的氟系聚合物的酸值通过在所述数值范围的下限値以上，树脂组合物的硬化性会变得良好。又，所述含反应性官能基的氟系聚合物的酸值在所述数值范围的上限値以下，能有助于使该树脂组合物的硬化物适合于多次的成形。
所述含反应性官能基的氟系聚合物的反应性官能基，可以通过将具有该反应性官能基的单体来与含氟单体(尤其是所述全氟烯烃)进行共聚来导入该氟系聚合物。即，所述含反应性官能基的氟系聚合物，可包含基于含反应性官能基的单体的聚合单元与基于含氟单体(尤其是所述全氟烯烃)的聚合单元。
当所述反应性官能基为羟基时，具有所述反应性官能基的单体，优选为含羟基的乙烯基醚或含羟基的烯丙基醚。作为含羟基的乙烯基醚，例如能够举出：2-羟乙基乙烯基醚、3-羟丙基乙烯基醚、2-羟丙基乙烯基醚、2-羟基-2-甲基丙基乙烯基醚、4-羟丁基乙烯基醚、4-羟基-2-甲基丁基乙烯基醚、5-羟戊基乙烯基醚及6-羟己基乙烯基醚，作为含羟基的烯丙基醚，例如能够举出：2-羟乙基烯丙基醚、4-羟丁基烯丙基醚及甘油单烯丙基醚。就替代性而言，具有所述反应性官能基的单体，例如可为丙烯酸2-羟乙酯及甲基丙烯酸2-羟乙酯等的(甲基)丙烯酸的羟烷基酯。作为具有所述反应性官能基的单体，可以使用这些化合物之中的1种或2种以上的组合。当所述反应性官能基为羟基时，具有所述反应性官能基的单体，由所述树脂组合物的硬化性的观点而言，更优选为含羟基的乙烯基醚，尤其优选为4-羟丁基乙烯基醚及/或2-羟乙基乙烯基醚。
当所述反应性官能基为羧基时，具有所述反应性官能基的单体，优选为不饱和羧酸、不饱和羧酸的酯、或不饱和羧酸的酸酐。
当所述反应性官能基为胺基时，具有所述反应性官能基的单体，例如可为胺乙烯基醚或烯丙基胺。
当所述反应性官能基为硅基时，具有所述反应性官能基的单体，优选为聚硅氧系乙烯基单体。
所述含氟单体优选为全氟烯烃。作为全氟烯烃，例如可举出：四氟乙烯(TFE)、六氟丙烯(HFP)及全氟(烷基乙烯基醚)(PAVE)。优选为所述含氟单体包含TFE。
所述含反应性官能基的氟系聚合物，优选除了基于含反应性官能基的单体的聚合单元及基于含氟单体的聚合单元以外，也可包含基于不含氟的乙烯基单体的聚合单元。该不含氟的乙烯基单体，例如可为选自由羧酸乙烯酯、烷基乙烯基醚及非氟化烯烃所组成的群组中的1种或2种以上的组合。
作为羧酸乙烯酯，例如能够举出：乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、异丁酸乙烯酯、三甲基乙酸乙烯酯、己酸乙烯酯、叔碳酸乙烯酯(vinyl versatate)、月桂酸乙烯酯、硬脂酸乙烯酯、环己基羧酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯及对三级丁基苯甲酸乙烯酯。
作为烷基乙烯基醚，例如能够举出：甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、丁基乙烯基醚及环己基乙烯基醚。
作为非氟化烯烃，例如能够举出：乙烯、丙烯、正丁烯、异丁烯。
又，所述含反应性官能基的氟系聚合物，除了基于含反应性官能基的单体的聚合单元及基于全氟烯烃的含氟单体的聚合单元以外，也可包含基于全氟烯烃以外的氟系单体的聚合单元，该全氟烯烃以外的氟系单体系例如偏二氟乙烯(VdF)、氯三氟乙烯(CTFE)、氟乙烯(VF)及氟乙烯酯等。
所述含反应性官能基的氟系聚合物，例如可为TFE/非氟化烯烃/羟丁基乙烯醚系共聚物、TFE/羧酸乙烯酯/羟丁基乙烯醚系共聚物、或TFE/烷基乙烯基醚/羟丁基乙烯醚系共聚物。
更具体而言，所述含反应性官能基的氟系聚合物，可为TFE/异丁烯/羟丁基乙烯醚系共聚物、TFE/叔碳酸乙烯酯/羟丁基乙烯醚系共聚物、或TFE/VdF/羟丁基乙烯醚系共聚物。所述含反应性官能基的氟系聚合物，尤其优选为TFE/异丁烯/羟丁基乙烯醚系共聚物或TFE/叔碳酸乙烯酯/羟丁基乙烯醚系共聚物。
作为所述含反应性官能基的氟系聚合物，例如能够使用ZEFFLE GK系列的制品。
所述氟系树脂组合物所包含的所述硬化剂，可通过本领域技术人员根据所述含反应性官能基的氟系聚合物所包含的反应性官能基的种类来适当选择。
当所述反应性官能基为羟基时，所述硬化剂优选为可由异氰酸酯系硬化剂、三聚氰胺树脂、硅酸酯化合物及含异氰酸酯基的硅烷化合物选择1种或2种以上的组合。
当所述反应性官能基为羧基时，所述硬化剂优选为可由胺系硬化剂及环氧系硬化剂选择1种或2种以上的组合。
当所述反应性官能基为胺基时，所述硬化剂可由含羰基的硬化剂、环氧系硬化剂及酸酐系硬化剂选择1种或2种以上的组合。
所述氟系树脂组合物中的所述硬化剂的含量，相对于100质量份的所述含反应性官能基的氟系聚合物，例如可为15质量份至50质量份，优选为20质量份至40质量份，更优选为23质量份至35质量份。这些数值范围，也适用于该氟系树脂组合物的硬化物中的所述硬化剂的含量。
所述硬化剂的含量，可通过热裂解气相层析(Py-GC/MS)法来测定。
在本发明的1种实施方式中，所述含反应性官能基的氟系聚合物所包含的反应性官能基可为羟基且所述硬化剂可为异氰酸酯系硬化剂。在此实施方式中，所述异氰酸酯系硬化剂优选为六亚甲基二异氰酸酯(HDI)系聚异氰酸酯。
所述氟系树脂组合物中的所述HDI系聚异氰酸酯的含量，相对于100质量份的所述含反应性官能基的氟系聚合物，例如可为15质量份至50质量份，优选为20质量份至40质量份，更优选为23质量份至35质量份。这些数值范围，也适用于该氟树脂组合物的硬化物中的所述HDI系聚异氰酸酯的含量。
作为HDI系聚异氰酸酯，能够例如由异氰尿酸酯型聚异氰酸酯、加成物型聚异氰酸酯及缩二脲型聚异氰酸酯选择1种或2种以上的组合来使用。在本发明中，所述异氰酸酯系硬化剂，优选为异氰尿酸酯型聚异氰酸酯及/或加成物型聚异氰酸酯，更优选为异氰尿酸酯型聚异氰酸酯与加成物型聚异氰酸酯的组合。
使用异氰尿酸酯型聚异氰酸酯与加成物型聚异氰酸酯的组合来作为所述硬化剂时，两者的质量比是例如10：6至10：10，优选为10：7至10：9。两者的总量相对于100质量份的所述含反应性官能基的氟系聚合物，例如可为15质量份至50质量份，优选为20质量份至40质量份，更优选为25质量份至35质量份。
这些硬化剂的含有比率，可通过热裂解气相层析(Py-GC/MS)法来决定。
形成所述表面层的氟系树脂，优选为包含根据激光衍射式粒度分析测定法所测定的平均粒径为1μm至10μm，更优选为2μm至9μm的粒子。所述平均粒径是用体积加权而成的体积平均直径，根据JIS Z8825所测定。所述平均粒径，例如可使用粒度分析测定装置(SALD-2200，岛津制作所股份有限公司)来测定。通过包含该粒子，能够提高所述离型膜的离型性。
所述粒子，优选为无机粒子或有机粒子。作为无机粒子，例如能够举出：二氧化硅(尤其是非晶质二氧化硅)、碳酸钙、碳酸镁、磷酸钙、高岭土、滑石、氧化铝、氧化钛、铝氧、硫酸钡、氟化钙、氟化锂、沸石及硫化钼。作为有机粒子，例如能够举出：交联高分子粒子及草酸钙。在本发明中，所述粒子优选为无机粒子，更优选为二氧化硅粒子，又更优选为非晶质二氧化硅。非晶质二氧化硅可为溶胶凝胶型的硅氧。作为非晶质二氧化硅，例如能够使用Sylysia系列的非晶质二氧化硅。
所述氟系树脂组合物中的所述粒子的含量，相对于100质量份的所述含反应性官能基的氟系聚合物，例如可为10质量份至30质量份，优选为12质量份至25质量份，更优选为15质量份至20质量份。这些数值范围，也适用于该氟树脂组合物的硬化物中的所述粒子的含量。
所述粒子的含量，可通过热重量分析法(TGA)来测定。
所述氟系树脂组合物可包含溶剂。溶剂的种类可通过本领域技术人员来适当选择。作为溶剂，例如能够举出：乙酸丁酯、乙酸乙酯及甲基乙基酮(也称为MEK)。例如，这3种的混合物可作为所述溶剂来使用。
所述氟系树脂组合物可包含离型促进剂。作为离型促进剂，例如能够举出：胺基改质甲基聚硅氧烷、环氧基改质甲基聚硅氧烷、羧基改质甲基聚硅氧烷及甲醇改质甲基聚硅氧烷。离型促进剂优选为胺基改质甲基聚硅氧烷。
离型促进剂，相对于100质量份的所述含反应性官能基的氟系聚合物，例如可为0.01质量份至3质量份，优选为0.05质量份至2质量份，更优选为0.1质量份至1质量份。这些数值范围也适用于该氟树脂组合物的硬化物中的所述离型促进剂的含量。
所述表面层的厚度，例如可为1μm至10μm，优选为2μm至9μm，更优选为3μm至8μm。
所述氟系树脂组合物，能够通过对本领域技术人员以已知的手段来混合及搅拌以上说明过的成分来制造。为了所述混合及搅拌，例如能够使用高速混合机、均质混合机及涂料摇动器等的混合机。为了所述混合及搅拌，例如也能使用加边涡轮型(Edged turbinetype)的高速溶解器等的溶解器。
所述氟系树脂组合物的硬化物，是将所述氟系树脂组合物涂布于所述基材层的表面，例如通过在100℃至200℃，优选为在120℃至180℃，例如加热10秒至240秒，优选为加热30秒至120秒来获得。该硬化物形成所述表面层。涂布的所述氟系树脂组合物的量，可通过本领域技术人员根据应形成的表面层厚度来适当设定。
所述2个的表面层之中，1个表面层在成形体的制造中会与模具接触，另一个表面层在成形体的制造中会与成形体接触。在本说明书内，将与模具接触的表面层称为模具侧表面层，将与成形体接触的表面层称为成形体侧表面层。模具侧表面层的组成与成形体侧表面层的组成，可以相同或也可以不同。
所述离型促进剂，优选为包含在成形体侧表面层的氟系树脂。所述离型促进剂，也可以包含在模具侧表面层及成形体侧表面层双方的氟系树脂。
在本技术的一优选实施方式中，所述模具侧表面层，是由包含所述含反应性官能基的氟系聚合物、所述硬化剂及所述粒子的氟系树脂组合物的硬化物所形成，且所述成形体侧表面层，是由包含所述含反应性官能基的氟系聚合物(尤其是含羟基的四氟化乙烯系聚合物)、所述硬化剂、所述粒子及所述离型促进剂的氟系树脂组合物的硬化物所形成。
更优选为，所述模具侧表面层是由包含含羟基的四氟化乙烯系聚合物、HDI系聚异氰酸酯及二氧化硅粒子的氟系树脂组合物的硬化物所形成，且所述成形体侧表面层，是由包含含羟基的四氟化乙烯系聚合物、HDI系聚异氰酸酯、二氧化硅粒子及胺基改质甲基聚硅氧烷的氟系树脂组合物的硬化物所形成。
具有这样的2种表面层，特别有助于对本发明的离型膜赋予优异的离型性。
[离型膜的特征]
根据本发明的优选实施方式，当根据JIS K7127并于175℃测定本发明的离型膜的拉伸断裂强度时，是可为40MPa至200MPa，更优选为40MPa至120MPa，又更优选为40MPa至110MPa，尤其优选为45MPa至100MPa，且当根据JIS K7127并于175℃测定所述离型膜的拉伸断裂伸长度时，是可为200％至500％，更优选为250％至450％，又更优选为300％至400％。
本发明的离型膜的拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度在所述数值范围内，有助于能够在多次的成形中使用本发明的离型膜。
当根据JIS K7126-1并于175℃测定本发明的离型膜的气体(O2)渗透性时，例如可为5000cc/m2·24hr·atm至50000cc/m2·24hr·atm，特别可为5000cc/m2·24hr·atm至30000cc/m2·24hr·atm，进而特别可为5000cc/m2·24hr·atm至20000cc/m2·24hr·atm以下。本发明的离型膜，具有如此低的气体渗透性。因此，通过使用本发明的离型膜来进行成形，由树脂产生的气体所导致的模具污染会受到抑制。
本发明的离型膜的厚度，例如可为30μm至100μm，优选为35μm至90μm，更优选为40至80μm。本发明的离型膜的厚度通过在所述数值范围内，该离型膜会较容易根据模具的形状来变形。
[离型膜的用途]
本发明的离型膜，例如可在各种的成形中使用，尤其是特别适合使用于转移模制成形或压缩模制成形之中。本发明的离型膜，例如在转移模制成形或压缩模制成形中，能配置在模具与树脂之间来使用。使用本发明的离型膜的成形之中的成形温度，例如可为100℃至250℃，优选为120℃至200℃。
在转移模制成形中的本发明的离型膜的使用方法的一例，是参照图2来说明。如同图2(A)所示，本发明的离型膜100，是配置在上侧模具201及装载有半导体元件搭载基板202的下侧模具203之间。其次，如同图2(B)所示，离型膜100是以贴附于模具201的内面的状态，使上侧模具201接触基板202及下侧模具203。其次，如同图2(C)所示，树脂204被导入至上侧模具201与基板202之间，之后树脂204硬化。硬化后如同图2(D)所示，将上侧模具201从基板202分离。本发明的离型膜由于离型性优异，在图2(D)的工序中，能将已硬化的树脂204顺利地从上侧模具201离型。当离型膜的离型性并非良好时，例如在图2(E)所示，离型膜250会有黏到已硬化的树脂204的情况。
在压缩模制成形中的本发明的离型膜的使用方法的一例，是参照图3来说明。如同图3(A)所示，本发明的离型膜100，是配置在下侧模具301及安装有搭载了半导体元件的基板302的上侧模具303之间。其次，如同图3(B)所示，离型膜100是以贴附于下侧模具301的内面的状态，在下侧模具301的凹陷内配置树脂304。如同图3(C)所示，使上侧模具303移动与下侧模具301接触。之后，树脂304硬化。硬化后如同图3(D)所示，将上侧模具303从下侧模具301分离。本发明的离型膜由于离型性优异，在图3(D)的工序中，能将已硬化的树脂304顺利地从下侧模具301离型。
本发明的离型膜，可用于各种树脂的成形，例如可用于环氧树脂或聚硅氧树脂的成形。用以形成成形体的树脂的种类可通过本领域技术人员来适当选择。
本发明的离型膜，可用于例如2次以上，优选为4次以上，更优选为5次以上，更优选为6次以上，又更优选为8次以上的成形。本发明的离型膜，可用于例如2次至20次，优选为4次至15次，更优选为5次至15次，更优选为6次至15次，又更优选为8次至12次的成形。本发明的离型膜经过多次的离型仍维持其性能且不易破损。因此，能够将本发明的离型膜使用于多次的成形。借此能够缩减成形成本。
[离型膜的制造方法]
本发明提供在以上已陈述的离型膜的制造方法。该制造方法包含下述工序：涂布工序，是将氟系树脂组合物涂布于由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层的2个面；硬化工序，是在该涂布工序后，使所述氟系树脂组合物硬化。
关于在涂布工序中使用的基材层及氟系树脂组合物，由于在以上已陈述的内容也可适用，因此省略关于这些层与组合物的说明。
所述涂布工序，可通过本领域技术人员以达成期望的层厚的方式来适当进行。例如，所述氟系树脂组合物可通过凹版辊法、反向辊法、平版凹版(offset gravure)法、轻触式涂布(kiss coat)法、反向轻触式涂布法、线棒涂布法、喷雾式涂布法、或含浸法来涂布于所述基材层的2个面。用以进行通过这些方法的涂布的装置，可通过本领域技术人员来适当选择。
该硬化工序，包含将所述氟系树脂组合物例如在100℃至200℃，优选为在120℃至180℃，例如加热10秒至240秒，优选为加热30秒至120秒。通过该加热，使所述氟系树脂组合物硬化。
[实施例]
以下，基于实施例将本发明更详细地说明。另外，在以下所说明的实施例，是表示本发明的代表性的实施例的一例，本发明的范围并不仅限定在这些实施例。
(实施例1)
作为基材层，准备了由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的膜(Teflex FT，帝人股份有限公司，厚度50μm，玻璃转移温度90℃)。其次，制备了用以涂布于该膜的2种类的氟系树脂组合物(以下，称为第一氟系树脂组合物及第二氟系树脂组合物)。
第一氟系树脂组合物，是通过将100质量份的含羟基的四氟化乙烯系树脂组合物(ZEFFLE GK570，DAIKIN工业股份有限公司，其中65质量％是含羟基的四氟化乙烯系树脂)、11.47质量份的非晶质二氧化硅(Sylysia 380，Fuji Silysia Chemical股份有限公司)、10质量份的异氰尿酸酯型聚异氰酸酯(硬化剂，Sumidur N3300，Sumitomo Bayer Urethane股份有限公司)、7.79质量份的加成物型聚异氰酸酯(硬化剂，Duranate AE700-100)、6.18质量份的乙酸丁酯、44.62质量份的乙酸乙酯及89.25质量份的MEK混合及搅拌来制备而成。所述非晶质二氧化硅的平均粒径(是所述体积平均直径)，在使用粒度分析测定装置(SALD-2200，岛津制作所股份有限公司)并根据激光衍射式粒度分析测定法所测定时为8.8μm。
第二氟系树脂组合物，除了向所述第一氟系树脂组合物进一步追加了0.31质量份的胺基改质甲基聚硅氧烷(离型促进剂，信越化学工业股份有限公司)以外，其余与所述第一氟系树脂组合物相同。
向所述膜的一侧的面，涂布所述第一氟系树脂组合物，且向所述膜的另一侧的面涂布所述第二氟系树脂组合物。这些涂布，是使用反向轻触方式的涂布装置来进行。在前述涂布后，通过在150℃将这些组合物加热60秒来硬化，获得在易成型PET树脂膜的两面积层着氟系树脂层的离型膜(以下，称为“实施例1的离型膜”)。
实施例1的离型膜的厚度是70±5μm。实施例1的离型膜中的基材层的厚度是50μm±10％。实施例1的离型膜的2个的表面层之中，由第一氟系树脂组合物的硬化物所形成的表面层的厚度是5.5±0.5μm。由第二氟系树脂组合物的硬化物所形成的表面层的厚度是5.5±0.5μm。
所述第一氟系树脂组合物的硬化物，相对于100质量份的所述含羟基的四氟化乙烯系树脂，包含17.65质量份的所述非晶质二氧化硅，包含15.39质量份的所述异氰尿酸酯型聚异氰酸酯，且包含11.98质量份的所述加成物型聚异氰酸酯。
所述第二氟系树脂组合物的硬化物，相对于100质量份的所述含羟基的四氟化乙烯系树脂，包含17.65质量份的所述非晶质二氧化硅，包含15.39质量份的所述异氰尿酸酯型聚异氰酸酯，包含11.98质量份的所述加成物型聚异氰酸酯，且包含0.48质量份的胺基改质甲基聚硅氧烷。
当根据JIS K7127并于175℃测定实施例1的离型膜的拉伸断裂强度时，是50MPa。又，当根据JIS K7127并于175℃测定该离型膜的拉伸断裂伸长度时，是350％。
(实施例2)
作为基材层，准备了由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的膜(EMBLET CTK-38，UNITIKA股份有限公司，厚度38μm，玻璃转移温度65℃)。
向该膜的一侧的面，涂布实施例1所记载的第一氟系树脂组合物，且向所述膜的另一侧的面，涂布实施例1所记载的第二氟系树脂组合物。前述涂布后，通过在150℃将这些组合物加热60秒来硬化，获得在易成型在PET树脂膜的两面积层着氟系树脂层的离型膜(以下，称为“实施例2的离型膜”)。
实施例2的离型膜的厚度是60±5μm。实施例2的离型膜中的基材层的厚度是38μm±10％。实施例2的离型膜的2个的表面层之中，由第一氟系树脂组合物的硬化物所形成的表面层的厚度是5.5±0.5μm。由第二氟系树脂组合物的硬化物所形成的表面层的厚度是5.5±0.5μm。
所述第一氟系树脂组合物的硬化物，相对于100质量份的所述含羟基的四氟化乙烯系树脂，包含17.65质量份的所述非晶质二氧化硅，包含15.39质量份的所述异氰尿酸酯型聚异氰酸酯，且包含11.98质量份的所述加成物型聚异氰酸酯。
所述第二氟系树脂组合物的硬化物，相对于100质量份的所述含羟基的四氟化乙烯系树脂，包含17.65质量份的所述非晶质二氧化硅，包含15.39质量份的所述异氰尿酸酯型聚异氰酸酯，包含11.98质量份的所述加成物型聚异氰酸酯，且包含0.48质量份的胺基改质甲基聚硅氧烷。
当根据JIS K7127并于175℃测定实施例2的离型膜的拉伸断裂强度时，是90MPa。又，当根据JIS K7127并于175℃测定该离型膜的拉伸断裂伸长度时，是350％。
(实施例3)
作为基材层，准备了由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的膜(Teflex FT3，帝人股份有限公司，厚度25μm，玻璃转移温度70℃)。
向该膜的一侧的面，涂布实施例1所记载的第一氟系树脂组合物，且向所述膜的另一侧的面，涂布实施例1所记载的第二氟系树脂组合物。在前述涂布后，通过在150℃将这些组合物加热60秒来硬化，获得在易成型PET树脂膜的两面积层着氟系树脂层的离型膜(以下，称为“实施例3的离型膜”)。
实施例3的离型膜的厚度是49±5μm。实施例3的离型膜中的基材层的厚度是25μm±10％。实施例3的离型膜的2个的表面层之中，由第一氟系树脂组合物的硬化物所形成的表面层的厚度是5.5±0.5μm。由第二氟系树脂组合物的硬化物所形成的表面层的厚度是5.5±0.5μm。
所述第一氟系树脂组合物的硬化物，相对于100质量份的所述含羟基的四氟化乙烯系树脂，包含17.65质量份的所述非晶质二氧化硅，包含15.39质量份的所述异氰尿酸酯型聚异氰酸酯，且包含11.98质量份的所述加成物型聚异氰酸酯。
所述第二氟系树脂组合物的硬化物，相对于100质量份的所述含羟基的四氟化乙烯系树脂，包含17.65质量份的所述非晶质二氧化硅，包含15.39质量份的所述异氰尿酸酯型聚异氰酸酯，包含11.98质量份的所述加成物型聚异氰酸酯，且包含0.48质量份的胺基改质甲基聚硅氧烷。
当根据JIS K7127并于175℃测定实施例3的离型膜的拉伸断裂强度时，是40MPa。又，当根据JIS K7127并于175℃测定该离型膜的拉伸断裂伸长度时，是550％。
(比较例1)
作为基材层，准备了由一般的聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的膜(TetoronG2CW，帝人股份有限公司，厚度38μm，玻璃转移温度100℃)。
向该膜的一侧的面，涂布实施例1所记载的第一氟系树脂组合物，且向所述膜的另一侧的面，涂布实施例1所记载的第二氟系树脂组合物。在前述涂布后，通过在150℃将这些组合物加热60秒来硬化，获得在易成型PET树脂膜的两面积层着氟系树脂层的离型膜(以下，称为“比较例1的离型膜”)。
比较例1的离型膜的厚度是60±5μm。比较例1的离型膜中的基材层的厚度是38μm±10％。比较例1的离型膜的2个的表面层之中，由第一氟系树脂组合物的硬化物所形成的表面层的厚度是5.5±0.5μm。由第二氟系树脂组合物的硬化物所形成的表面层的厚度是5.5±0.5μm。
所述第一氟系树脂组合物的硬化物，相对于100质量份的所述含羟基的四氟化乙烯系树脂，包含17.65质量份的所述非晶质二氧化硅，包含15.39质量份的所述异氰尿酸酯型聚异氰酸酯，且包含11.98质量份的所述加成物型聚异氰酸酯。
所述第二氟系树脂组合物的硬化物，相对于100质量份的所述含羟基的四氟化乙烯系树脂，包含17.65质量份的所述非晶质二氧化硅，包含15.39质量份的所述异氰尿酸酯型聚异氰酸酯，包含11.98质量份的所述加成物型聚异氰酸酯，且包含0.48质量份的胺基改质甲基聚硅氧烷。
当根据JIS K7127并于175℃测定比较例1的离型膜的拉伸断裂强度时，是140MPa。又，当根据JIS K7127并于175℃测定该离型膜的拉伸断裂伸长度时，是350％。
(离型膜所导致的模具污染)
使用比较例1的离型膜，进行了通过环氧树脂的转移模制成形的成形。该成形，如同图2所示般进行。该成形是以由第一氟系树脂组合物的硬化物所形成的层接触到模具，且由第二氟系树脂组合物的硬化物所形成的层接触到环氧树脂的方式来进行。其次，使用在该成形中所使用过的离型膜，再度进行相同的成形。使用相同的离型膜再进行2次相同的成形，使用1个离型膜进行合计为4次的成形。
4次的成形后在模具观察到有白色物质附着着。通过傅立叶变换红外线光谱仪(IRT-5000型显微FT-IR，日本分光股份有限公司)分析该白色物质。其结果，获得了如同图4所示的FT-IR光谱。由该FT-IR光谱，可知白色物质是对苯二甲酸乙二酯的寡聚物(主要是环状三聚体)。即，可知是由PET树脂所形成的基材层所包含的寡聚物，通过由氟树脂系组合物的硬化物所形成的表面层而污染了模具。又，可知该硬化物，对于防止该寡聚物移动至模具及成形体并不足够。
又，所述4次成形之中，通过扫描式电子显微镜(JSM-IT100型SEM，日本电子股份有限公司)观察第1次、第2次及第3次成形后的离型膜的模具侧表面。该观察结果示于图5。图5是该离型膜之中的1.2mm×0.8mm区域的电子显微镜相片。如同图5的左边所示，在第1次成形后，于3处有寡聚物析出。如同图5的中央所示，在第2次成形后于5处有寡聚物析出，如同图5的右边所示，在第3次成形后于10处有寡聚物析出。因此，可知伴随成形的次数增加，会有更多的环状三聚体移动至模具及成形体。
使用实施例1的离型膜，与比较例1的情况相同，进行了4次通过环氧树脂的转移模制成形的成形。通过扫描式电子显微镜(JSM-IT100型SEM，日本电子股份有限公司)观察第4次成形后的离型膜的模具侧表面。该观察结果示于图6。图6是该离型膜之中的1.2mm×0.8mm区域的电子显微镜相片。如同图6所示，即使在第4次成形后，没有确认到寡聚物的析出。因此，通过使用由易成型PET树脂所形成的膜来作为基材层，能够防止寡聚物移动至模具及成形体。
即使针对实施例2及实施例3的离型膜，与比较例1的情况相同，进行了4次通过环氧树脂的转移模制成形的成形。其结果，即使针对实施例2及实施例3的离型膜中的任一个，与实施例1的离型膜同样地都没有确认到寡聚物的析出。
也试验了仅将实施例1或比较例1的离型膜加热的情况中有无寡聚物析出。该确认，是用SUS(Steel Use Stainless；不锈钢)板夹住实施例1或比较例1的离型膜，在加热板上于175℃加热30分钟。通过显微镜观察实施例1及比较例1的离型膜的加热后的表面。针对比较例1的显微镜相片示于图7。图7左边是在100倍的倍率的相片，图7右边是在1000倍的倍率的相片。就如由这些相片可知，确认到在加热后有寡聚物析出。针对实施例1的显微镜相片示于图8。图8左边是在100倍的倍率的相片，图8右边是在1000倍的倍率的相片。就如由这些相片可知，在实施例1的离型膜的加热后，没有确认到寡聚物的析出。
又，由关于寡聚物的析出的结果及实施例1至实施例3及比较例1的离型膜所含的基材层的玻璃转移温度，认为基材层的PET树脂的玻璃转移温度通过在特定的数值范围内(例如60℃至95℃)，也能够防止寡聚物的析出。
即使在使用实施例1至实施例3的离型膜的4次成形之中任一次，环氧树脂的成形体均可顺利地从离型膜剥离。因此，可知实施例1至实施例3的离型膜具有优异的离型性及该离型性在经过多次的成形仍能维持。
(离型膜的多发适性(Multi-shot aptitude))
如同在所述“离型膜所导致的模具污染”中所述，实施例1至实施例3的离型膜，能够在至少4次的成形中连续使用。
又，再进行更多次前述“离型膜所导致的模具污染”提到的成形时，实施例1及实施例2的离型膜分别在第10次及第10次的成形中破裂了。实施例3的离型膜在第5次的成形中破裂了。因此，实施例1及实施例2的离型膜，与实施例3的离型膜相比，能够使用于更多次数的成形。即，实施例1及实施例2的离型膜，具有优于实施例3的离型膜的多发适性。
实施例1的离型膜拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，如同在前面提到，分别为50MPa及350％。实施例2的离型膜拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，如同在所述所陈述，分别为90MPa及350％。
另一方面，实施例3的离型膜拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，如同在前面提到，分别为40MPa及550％。
由以上的多发适性的结果以及拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，可知通过调整离型膜的拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，能够使用于更多次数的成形。
另外,比较例1的离型膜，拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，如同前面提到，分别为140MPa及350％。使用比较例1的离型膜再进行更多次的成形时，在第10次的成形中发生破裂。
又，准备了能由市售取得的2种离型膜。第1种离型膜的拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，通过所述测定法测定时，分别为7MPa及550％。第2种离型膜的拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，通过所述测定法测定时，分别为26MPa及130％。使用这2种的离型膜，如同在所述所陈述，尝试了多次的成形。于是，第1种离型膜在第3次的成形中发生破裂。第2种离型膜在第2次的成形中发生破裂。
由关于实施例1至实施例3及比较例1的离型膜以及所述能由市售取得的离型膜(以下，称为能由市售取得的离型膜1及能由市售取得的离型膜2)的多发适性的结果以及这些膜的拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度，可知离型膜的拉伸断裂强度及拉伸断裂伸长度通过在特定在数值范围内(例如40MPa至200MPa及200％至500％)，能够使用在更多次数的成形。
为了易于比对关于实施例1至实施例3及比较例1的离型膜以及能由市售取得的离型膜1及能由市售取得的离型膜2的以上结果，将这些结果在以下汇总并示于表1。
表1中的多发适性的评估基准如以下所述。
AA：即使用于5次以上的成形也没破裂。
A：即使用于3次以上的成形也没破裂。
B：在第3次的成形中破裂。
C：在第2次的成形中破裂。
[表1]
Figure BDA0002843341420000211
Figure BDA0002843341420000221
Figure BDA0002843341420000222
(气体渗透性)
根据JIS K7126-1并于175℃测定实施例1的离型膜的氧气渗透性。测定结果为10000cc/m2·24hr·atm。针对能由市售取得的离型膜1及离型模2，也使用相同的方法来测定氧气渗透性。其结果，能由市售取得的离型膜1及离型膜2的氧气渗透性分别为142000cc/m2·24hr·atm及130000cc/m2·24hr·atm。因此，可知实施例1的离型膜，在氧气渗透性也优异。
图中：
100 离型膜
101 基材层
102 表面层
103 表面层

Claims (12)

1.一种离型膜，其特征在于，包含：
由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层；
与积层在所述基材层的2个面且是由氟系树脂所形成的表面层。
2.根据权利要求1所述的离型膜，其特征在于，所述易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂的玻璃转移温度为60℃至95℃。
3.根据权利要求1或2所述的离型膜，其特征在于，当根据JIS K7127并于175℃测定所述离型膜的拉伸断裂强度时为40MPa至200MPa；
并且，当根据JIS K7127并于175℃测定所述离型膜的拉伸断裂伸长度时为200％至500％。
4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的离型膜，其特征在于，当根据JIS K7126-1并于175℃测定所述离型膜的氧气渗透性时为5000cc/m2·24hr·atm至50000cc/m2·24hr·atm。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的离型膜，其特征在于，当根据JIS K7127并于175℃测定所述基材层的拉伸断裂强度时为40MPa至200MPa。
6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的离型膜，其特征在于，当根据JIS K7127并于175℃测定所述基材层的拉伸断裂伸长度时为200％至500％。
7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的离型膜，其特征在于，形成所述表面层的氟系树脂是包含异氰酸酯系硬化剂，而该表面层是积层于所述基材层的至少1面。
8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的离型膜，其特征在于，形成所述表面层的氟系树脂，是包含根据激光衍射式粒度分析测定法所测定的平均粒径为1μm至10μm的粒子，而该表面层是积层于所述基材层的至少1面。
9.根据权利要求1至8中任一权利要求所述的离型膜，其特征在于，形成所述表面层的氟系树脂是包含四氟化乙烯系树脂。
10.根据权利要求1至9中任一权利要求所述的离型膜，其特征在于，是用于转移模制成形或压缩模制成形。
11.根据权利要求1至10中任一权利要求所述的离型膜，其特征在于，是用于2次以上的成形。
12.一种离型膜的制造方法，其特征在于，是包含下述工序：
涂布工序，是将氟系树脂组合物涂布于由易成型聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成的基材层的2个面；
硬化工序，是在所述涂布工序后，使所述氟系树脂组合物硬化。
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