CN112204681A - 用于制造平面线圈组件的方法和设有该平面线圈组件的传感头 - Google Patents

用于制造平面线圈组件的方法和设有该平面线圈组件的传感头 Download PDF

Info

Publication number
CN112204681A
CN112204681A CN201980032244.9A CN201980032244A CN112204681A CN 112204681 A CN112204681 A CN 112204681A CN 201980032244 A CN201980032244 A CN 201980032244A CN 112204681 A CN112204681 A CN 112204681A
Authority
CN
China
Prior art keywords
coil
planar
planar coil
coils
insulating material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201980032244.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112204681B (zh
Inventor
阿纳托尔·施沃森
维多利亚·瑞斯林
塞巴斯蒂安·施维茨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TRAFAG AG
Original Assignee
TRAFAG AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TRAFAG AG filed Critical TRAFAG AG
Publication of CN112204681A publication Critical patent/CN112204681A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112204681B publication Critical patent/CN112204681B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F5/00—Coils
    • H01F5/003—Printed circuit coils
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
    • H01F41/041—Printed circuit coils
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
    • G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
    • G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
    • G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

本发明的目的是提高使用电感部件时的精度。根据本发明，这通过一种用于制造平面线圈组件(32)的方法来实现，该平面线圈组件(32)具有彼此叠置的n个平面线圈单元(10)，其中n是大于1的自然数，该方法具有以下步骤：a)通过借助于计算机制造由电导体制成的至少一个平面线圈(12)来制造第i个平面线圈单元(10)，所述平面线圈在由具有层厚di,IM的电绝缘材料制成的绝缘材料层(14)上具有厚度di,PS，其中i等于1至n，以及b)将平面线圈单元(10)以层的方式装配，其中绝缘材料层(14)介于平面线圈(12)之间，其中厚度di,PS和厚度di,IM被选择以适用(公式I)。

Description

用于制造平面线圈组件的方法和设有该平面线圈组件的传 感头
技术领域
本发明涉及一种用于制造平面线圈组件的方法，该平面线圈组件具有一个布置在另一个之上的多个平面线圈单元。本发明还涉及通过实施用于制造平面线圈组件的方法来制造用于扭矩传感器或力传感器的传感头的方法。最后，本发明涉及可通过这种方法获得的传感头。
背景技术
特别地，本发明涉及用于扭矩传感器的传感头和被设计成通过记录磁场的变化来测量轴处的扭矩的扭矩传感器的特别有利的产品。在以下文献中描述了这样的扭矩传感器(其基于磁场的变化来检测轴上的扭矩)及其科学基础：
D1 HINZ,Gerhard；VOIGT,Heinz；BOLL,R.；OBERSHOTT,K.J.(出版者):
Chapter 4-Magnetoelastic sensors.In:Sensors:Magnetic Sensors.
Weinheim[u.a.]:VCH-Verl.-Ges.,1989(Sensors:A comprehensive survey；5).页数97-152.-ISBN 3-527-26771-9
D2 US 3 311 818 A
D3 EP 0 384 042 A2
D4 DE 30 31 997 A1
D5 US 3 011 340 A
D6 US 4 135 391 A
D7 DE 10 2009 008 074 A1
D8 WO 2012/152515 A1
D9 DE 85 11 143 U1
特别地，如D4(DE 30 31 997 A1)中所述的扭矩传感器的设计已被证明对于测量轴和其它测量点的扭矩特别有效。
在以下文献中描述并示出了一种特别有利的制造用于这种力传感器或扭矩传感器的传感头的方法：
D10 WO 2018/019859。
因此，用于产生磁场的发生器线圈以及用于测量磁场变化的测量线圈由平面线圈形成，所述平面线圈一个位于另一个之上并且借助于通孔或直通连接结构彼此连接。因此，文献D10描述了一种用于制造包括n个叠加的平面线圈单元的平面线圈组件的方法，其中n是大于1的自然数，该方法包括以下步骤：
a)通过借助于计算机制造至少一个平面线圈来产生第i个平面线圈单元，所述平面线圈由电导体制成并且在由电绝缘材料制成的绝缘材料层上具有平面线圈厚度diPS，其中i等于1至n，以及
b)将平面线圈单元分层布置，其中在平面线圈之间插入绝缘材料层。
从以下文献中还已知用于制造平面线圈装置的方法：
D11 EP 2 107 577 A1
D12 WO 2010/065113 A1
D13 WO 2011/138232 A1
本发明的特别优选的实施例提供了柔性印刷电路板的用途及其应用。对于相关文献，可参考
D14 WO 2011/152994 A1
本发明基于这样的问题，即，改进用于制造在扭矩传感器或力传感器的传感头中使用的平面线圈组件的方法，使得可以以成本有效的方式进行更精确的测量。
发明内容
本发明通过提供包括权利要求1的步骤的方法解决了该问题。根据另一方面，本发明提供了一种使用根据另一独立权利要求的平面线圈组件制造方法来制造传感头的方法。本发明还提供了一种可通过这种传感头制造方法获得的传感头。
有利的设计是从属权利要求的主题。
根据一个方面，本发明提供了一种用于制造包括n个叠置的平面线圈单元的平面线圈组件的方法，其中n是大于1的自然数，所述方法包括：
a)通过借助于计算机制造至少一个平面线圈来产生第i个平面线圈单元，所述平面线圈由电导体制成并且在由电绝缘材料制成的绝缘材料层上具有平面线圈厚度diPS，其中i等于1至n，以及
b)将平面线圈单元分层布置，其中在平面线圈之间插入绝缘材料层，其中选择厚度di,IM和di,IM使得
Figure BDA0002776487560000031
其中，
Figure BDA0002776487560000033
是平面线圈的厚度di,PS的总和，以及
Figure BDA0002776487560000032
是绝缘材料层的厚度的总和。
换句话说，由单个平面线圈形成的至少一个线圈的总厚度的60％至90％由电导体材料形成，因此，总厚度的仅40％至10％由绝缘材料形成。
优选地，该方法包括电连接平面线圈单元的叠置的平面线圈以形成至少一个电磁线圈。
优选地，在步骤b)中，在每个平面线圈之间仅布置一个具有厚度di,IM的单个绝缘材料层。
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a1)计算机辅助生产每个平面线圈单元的位于一个平面中的多个平面线圈。
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a2)对称计算机辅助生产每个平面线圈单元的位于一个平面内的多个平面线圈。
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a3)计算机辅助生产彼此对称的不同平面线圈单元的平面线圈。
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a4)通过计算机辅助生产，对称地产生一个平面线圈单元的平面线圈和多个平面线圈单元的平面线圈；
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a5)通过光刻生产至少一个平面线圈来进行计算机辅助生产。
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a6)在选自包括印刷电路板基材、预浸料层和合成材料的绝缘材料组的绝缘材料层上，计算机辅助生产每个平面线圈单元的至少一个平面线圈。
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a7)生产具有彼此分开的多个线圈轨道的所述至少一个平面线圈。
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a8)以彼此点对称的布置为每个平面线圈单元产生中心发生器平面线圈和至少第一、第二和第三测量平面线圈。
优选地，步骤a)包括以下步骤：
a9)以彼此轴对称或点对称的布置为每个平面线圈单元生产中心发生器平面线圈和至少第一、第二、第三和第四测量平面线圈。
该方法的特别优选的实施例的特征在于：
d)产生穿过所述平面线圈单元的叠置的平面线圈的中心的至少一个通孔。
优选地，该方法包括以下步骤：
借助于在所述至少一个通孔处的至少一个直通连接结构电连接叠置的平面线圈。
优选地，该方法包括步骤：
将通量集中器插入到所述至少一个通孔中。
优选地，该方法包括以下步骤：
执行步骤d)，使得在步骤a)之前和/或在步骤b)之前或在步骤b)之后，绝缘材料层设有通孔的相应区域。
根据另一方面，本发明提供了一种用于扭矩或力传感器的传感头的制造方法，该传感头包括用于产生磁场的发生器线圈以及用于测量在测量体中感应的磁场的变化的至少第一和第二测量线圈，该方法包括执行根据上述实施例中的任意的用于产生发生器线圈和测量线圈的方法。
本发明还提供了一种可通过这种传感头生产方法获得的传感头。
本发明的优选设计提供了用于生产平面线圈组件的改进方法。特别优选地，使用新的PCB线圈技术。“PCB”是“印刷电路板”的缩写。因此，特别地提供了一种使用印刷电路板技术生产线圈的方法。
优选地，平面线圈制造在柔性印刷电路板上。
优选地，在柔性印刷电路板的一个平面上共同产生多个平面线圈。
一般的想法是通过计算机辅助生产来生产线圈。计算机辅助生产是指直接使用CAD数据进行生产的生产过程。特别优选地，光刻工艺被用于该目的，其中，可从CAD数据获得的图案被暴露在基板(特别是印刷电路板基板)上，从而选择性地施加或去除层。
通过计算机辅助生产，平面线圈可以以相同的质量和完全相同的设计大批量生产。当同时使用多个这样的线圈时，这尤其具有下面更详细说明的优点，因为它们尤其要用于根据上述文献D1-D10的传感头中。
例如从D10或D11中已知的一种用于以印刷电路板技术制造平面线圈组件的方法包括以折叠线圈的方式将各个平面线圈布置成一个在另一个之上。为此，在柔性印刷电路板上产生线圈，然后将柔性印刷电路板折叠以将平面线圈布置在彼此之上。结果，在每个平面线圈之间存在至少两层由PCB基材制成的绝缘材料。
相反，本发明提供了形成平面线圈的导电材料的厚度与插入其间的绝缘材料的厚度之比是如权利要求1所限定的预定值。以这种方式，在叠置的平面线圈的区域中提供比绝缘材料明显更多的导电材料。结果，可以在非常小的空间中产生特别高的磁功率。这特别是通过计算机辅助生产来实现，由此可以以高度可再现的方式预先确定导电材料和绝缘材料的布置。
在特别优选的实施例中，这以在每个平面线圈之间仅存在一层绝缘材料的方式实现。例如，插入基于预浸料的电绝缘材料作为绝缘材料。
在特别优选的方法中，在一个平面中同时生产每层的几个平面线圈，然后将这些层一个布置在另一个的顶部上以形成平面线圈组件。特别地，以此方式，同时生产用于形成发生器线圈的层的第一平面线圈、用于形成第一测量线圈的层的第二平面线圈以及用于形成第二测量线圈的层的第三平面线圈。优选地，每个平面产生三个、四个或五个平面线圈，以便使用PCB线圈技术创建传感头的不同概念，文献D1-D10中更详细地说明了这些概念。不同线圈的平面线圈单元因此被结构(textured)化并且在一个过程中被共同地定位。制造过程意味着线圈支架和机械、高精度的保持架是一体形成的。
优选地，该方法包括以下步骤：
通过光刻对称设计平面线圈。
由于计算机辅助生产(尤其是光刻)的结果，设计上几乎没有对称性的任何破坏。例如，可以将对称构造的平面线圈或平面线圈组互连以形成完美平衡的桥式电路。特别地，可以将一个放置在另一个上的对称设计的平面线圈单元互连，以形成H桥电路。这样，可以建立一个非常平衡的桥式电路，从而可以对更小的信号进行非常精确的测量。手动缠绕的线圈或单独放置的线圈可能会由于制造公差而显示出对称性差异，并导致电桥不平衡。
优选地，在线圈内(特别是在平面线圈的螺旋布置的轨道内)提供直通连接结构，以便连接各个叠置的平面线圈，从而形成完整的线圈。通过在线圈内也使用直通连接结构，可以避免所谓的埋孔，由此避免平面线圈的高生产成本。
在孔或通孔处的直通连接结构的想法是单独的发明，并且即使没有权利要求1中给出的厚度规格也要求保护。
优选地，提供如文献D10中的优选实施例所述的组件。据此，在中心设置至少一个发生器线圈，在其周围以星形布置多个测量线圈。优选地，提供围绕发生器的一个或多个线圈的点对称组件。在一个实施例中，传感头关于线圈布置是点对称的。
为了制造尽可能薄和紧凑的平面线圈，特别优选在内层芯之间仅使用一个中间层(例如预浸料(prepreg))。
优选地，内层芯具有厚度为约40μm的绝缘材料层，并且在其顶侧和底侧上具有被光刻曝光和纹理化的导电材料层，尤其是铜。
在光刻处理之后，内层芯优选以对齐的方式堆叠，在它们之间具有作为绝缘体的预浸料中间层。
因此，产生了平面线圈单元的彼此叠置的层，其在真空压机中被层压在一起。
在真空压制中层压之后，夹层优选具有30μm和70μm的厚度，并且优选在约50μm的范围内。
在特别优选的设计中，用非铁磁材料形成接触垫和接触件。特别地，接触件、接触垫和连接结构，例如特别是焊接连接结构等，被设计成不含镍。优选地，在设计中不使用镍，因为镍是磁性的并且因此可以以不对称的方式引导场。在传感器的通常电接触中，通常将镍施加到焊盘(例如，在Cu-Ni-Au布置中)以使连接长期稳定而不受腐蚀。在本发明的优选实施例中没有这样做；而是使用非磁性材料来接触线圈。
优选地，在线圈绕组周围，传感头仅具有中断的导体路径或导体区域。例如，线圈周围的铜区域被中断。线圈绕组周围的中断铜线具有避免线圈周围的涡流的优点。因此，优选地，在线圈周围没有闭合的导体路径以最小化涡电流损耗。
在下文中，将更详细地说明本发明的优选实施例及其优点。
本发明尤其涉及电感部件的生产。电感部件的特点是产生磁场。这些感应器优选具体用作传感器和致动器。
磁环境的变化优选地由传感器记录。
优选地，当用于致动器中时，引起磁环境的变化。
在本发明可能使用的一种形式中，即使两种应用也可以在一个系统中生效。优选地，在这种情况下评估磁传递路径的变化。
磁场是由施加在导体回路中的电流产生的。在先前的传感头中，导体环例如由绕线形成。在本发明中，导体环优选地在印刷电路板中在几个层上形成为平面的，以便实现用于待产生的期望磁场的适当匝数。
计算机辅助生产的优势在于可以定义由数据给出的线圈，以及整体性能中相关的可重复性。例如，使用印刷电路板技术构造平面线圈。有利地，线圈的光刻定义给出了整体性能的可重复性。另外，使用印刷电路板技术制造的产品可以在体积上具有很好的可扩展性。
优选地，在使用印刷电路板技术的线圈设计中提供不同的特殊特征，这些特征在应用和可制造性方面改善了整体性能。
在由一个放置在另一个之上的平面线圈形成的线圈的优选设计中，导磁材料用于加强磁场。例如，铁氧体被插入线圈中。它们通常通过线圈。
为此目的，优选在线圈中提供通孔。
另一方面，当以印刷电路板技术设计线圈时，直通连接结构需要更大的面积。这意味着绕组的可用空间很小；换言之，直通连接结构和可能的通过它们以加强磁场的导磁材料导致在俯视图中为绕组位置提供的绕组窗口受到明显限制。
在一个实施例中，直通连接结构在用于要用于加强磁场的导磁材料的开口处偏移。优选地，直通连接结构沿着用于导磁材料的通孔的壁延伸。这样可以显著减少所需的占地面积。
在特别优选的实施例中，在线圈的设计中提供了特殊的对称性。通过并行计算机辅助生产多个平面线圈，可以特别容易地实现这些目的。
对于传感器应用或致动器应用中的线圈，形成系统的线圈互连通常处在最显着的地位。在这种情况下，线圈的特别高的对称性是有利的。特别是对于差分测量应用，测量信号相对于测量应用的对称性处在最显着的地位。在这种情况下，可以通过在设计数据中映射线圈几何形状来预先影响测量效果的对称性。
因此，本发明的特别优选的实施例提供了以下步骤：
借助于CAD数据处理系统根据预定的测量效果对称性来设计线圈。
由于平面线圈也具有深度，所以在这种情况下可以影响镜面对称、点对称和轴对称。
因此，该方法的优选实施例包括以下步骤：
在所述平面线圈的设计中，选择镜像对称、点对称和轴对称的至少一种形式。
根据本发明，可以通过应用基于数据的方法产生的线圈以工艺可靠的方式实现这种对称性。
在实现对称性的情况下，输出信号也保持在非常窄的频带内。这通常是为许多应用启用差异执行方法的唯一方法。平面线圈可以各自具有更多的单丝结构。通过制造平面线圈并将线圈几何形状映射到相应的制造数据(例如光刻制造数据)中，可以实现双丝线圈以及具有多丝的线圈的设计自由度。例如，双线线圈或具有多丝的线圈可用于构建差分传感器。例如，若干差动传感器可以用作发生器的多丝线圈。
此外，通过将绕组方向嵌套在线圈叠层中，可以形成磁电阻，该磁电阻例如在小的磁变化时与极端传感器输出信号起反应。这导致传感器可以用作距离传感器或用作材料传感器，而没有明显的场传播到外部。
该测量也可以通过在背向测量对象的一侧上的磁性参考目标来支持。
在特别优选的实施例中，外表面元件在线圈布置外部或围绕平面线圈被分区，使得在相应线圈或其区域周围不形成闭合导体环。下面更详细地说明这种设计的优点。
线圈感应磁场。磁力线通常从线圈的中心垂直延伸，并在外部封闭。这意味着即使外表面元件也被磁溢。当使用交变磁场时，涡流会发生在相邻的导电区域中，其产生它们自己的与实际磁场相反的磁场。
这种效果可以通过适当地将外表面元件分区来抵消。强的分区化(多个中断，例如形成多于两个、多于五个、多于八个、多于十个分区)允许磁场中的高频。相反，闭合表面元件抑制高频行为。
在特别优选的实施例的情况下，则选择在线圈附近使用的所有材料用于它们的磁性行为，以便用作传感器线圈。特别地，选择用于接触的电导体材料使得它们不是铁磁性的。例如，通常不推荐使用镍-金作为焊接表面，因为在沉积过程中可以通过镍的无定形形成来生产铁素体箔(ferritic foil)。这导致不期望的剩磁，并因此导致测量信号的滞后。通过持续减少或避免作为接触或连接材料的铁磁材料，可以减少或避免这种滞后现象。
通过适当地设计PCB制造的线圈部件上的连接结构，也可以不用额外的引脚或接触件或插头/插座系统。例如，在印刷电路板元件上提供直接接触垫。这种接触垫可以设置在边缘处，例如在这种情况下成直角，或者设置在平面处，特别是在主平面之一上或者在前边缘的平面之一上。在一实施例中，这种接触垫设置在印刷电路板元件的主边缘中的凹部内。
通过直接在PCB产生的线圈部件上进行连接，还可以省去额外的引脚或接触件或其他插头/插座系统。这不仅会导致组件总数的减少，而且还会增加整个系统的寿命，因为未使用的组件也不会出现故障。
在优选的设计中，通过附加区域限制在连接路径上提供用于电气和功能测试的附加测试垫，该测试垫未曾经历将测试接触件放置在焊接部分中。
附图说明
下面参考附图来更详细地说明一示例性实施例，其中示出为：
图1示出了平面线圈的CAD打印输出，形成由一个布置在另一个之上的几个平面线圈组成的平面线圈组，还示出了直通连接结构的位置；
图2示出了如图1所示的另一个特别优选实施例的CAD打印输出；
图3示出了内层芯的示意图。
图4示出了在光刻工艺的第一步骤中处理的内层芯的示意图；
图5示出了在光刻工艺的第二步骤中处理的内层芯的示意图。
图6示出了根据光刻工艺处理的内层芯的示意图；
图7示出了用于生产线圈的另一工艺步骤的示意图；
图8示出了包括多个元件的内层芯的示意图；
图9示出了内层芯的元件的示意图；
图10示出了穿过平面线圈组的截面图；
图11a-11d示出了单线和多线平面线圈的CAD打印输出的不同实施例；
图12示出了示出用于从不同侧形成力传感器或扭矩传感器的传感头的电感部件的图，其中电感部件包括平面线圈组件，该平面线圈组件具有一个布置在另一个顶部上的多个平面线圈单元；
图13示出了根据另一实施例的力传感器或扭矩传感器的传感头的电感部件的上视角和下视角图；以及
图14示出了来自图6的放大图。
具体实施方式
在下文中，参考图1至图7中的图示详细说明用于制造平面线圈组件32的方法的不同实施例，其中平面线圈单元10一个布置在另一个的顶部上。在该方法中，制造多个平面线圈单元10，其中通过计算机辅助制造在绝缘材料层14上在一个平面上共同地制造至少一个平面线圈12或者优选地多个平面线圈12。
在本发明的特别优选的配置中，光刻工艺用于计算机辅助生产，其中根据从CAD数据产生的图案来暴露基板(特别是柔性印刷电路板16)的表面。然后蚀刻掉暴露的或未暴露的区域以在柔性印刷电路板16的绝缘材料层14上形成作为电导体图案的平面线圈12。
优选地，在共同的、优选地柔性的印刷电路板16上同时产生几个平面线圈12。通过重叠以这种方式形成的平面线圈单元10，优选地通过机器并且还借助于CAD，借助于计算机，各个平面线圈12被一个在另一个之上精确地定位，以便形成线圈20，每个线圈20由几个重叠的平面线圈12形成，叠加的平面线圈12的绕组22通过直通连接结构24彼此连接。
图1示出了来自CAD文件的打印输出的第一示例性实施例，其示出了平面线圈12中的一个平面线圈的设计以及绝缘材料层14上的直通连接结构24的布置。
为了加强线圈20的磁场，将由铁磁材料制成的磁通集中器(未示出)插入线圈20内。因此，在线圈20内提供通孔26以容纳铁磁材料。
在图1所示的实施例中，外直通连接结构24a设置在线圈20的外部，内直通连接结构24b设置在线圈20的内部。通孔26设置在内直通连接结构24b所处的环部分的内部。用于平面线圈12的匝22可以放置的区域位于布置有外直通连接结构24a的环部分和布置有内直通连接结构24b的内环部分之间。通过计算机辅助生产，匝22被最优地布置在剩余的中间区域上，使得在各匝22和该区域之间剩余的最小距离被来自电导体18的材料最优地覆盖。
图2是类似于图1的视图，并且示出了优选于图1所示的实施例的平面线圈12的实施例。
在图2所示的实施例中，至少内直通连接结构24b不设置在通孔26和平面线圈12之间的环部分中，而是直接设置在通孔26的边缘处。因此，内直通连接结构24b在通孔26的内侧上延伸。
可选地或附加地，外直通连接结构24a不设置在围绕平面线圈12的外环部分的区域内，而是设置在绝缘材料层14的外侧上。
因此，可用于平面线圈12的匝22的面积比图1的设计大得多。另外，与图2的设计相比，通孔的直径可以显着增加，而无需增加平面线圈12的总面积。这允许在线圈20内布置大量铁磁材料。
在该方法的一实施例中，在基于CAD数据并精确定位的计算机控制下，各个平面线圈单元10彼此叠置，每个平面线圈单元10分别具有一层绝缘材料14和布置在其上的至少一个或多个平面线圈12(特别是根据图2中的设计的平面线圈)。这样做的方式是，在每个平面线圈12之间仅存在单层绝缘材料14(例如由预浸料形成)。
在图3至图6中示出了光刻工艺。对内层芯40进行光刻处理。内层芯40通常由环氧树脂和玻璃织物的内层42组成。在内层芯40的顶部和底部上有一层导体材料44。
在光刻工艺的第一步中，如图4所示，将光敏膜46和光元件48双面施加到曝光元件50上。
此后，曝光元件50被曝光。在该过程中，光敏膜46在曝光区域中固化，而光敏膜46的未曝光区域保持未固化。
在曝光之后，如图5所示，去除光元件48和光敏膜46的未曝光区域。
在随后的蚀刻工艺中，通常使用碱性溶液最终蚀刻掉暴露的导体材料44，并且去除剩余的固化的光敏膜46。结构52保留，其包含环氧树脂和玻璃织物的层42，在其上具有导体材料44的图案，如图6所示。
在图7中，现在堆叠这些结构52中的几个，在当前情况下为两个，优选为3至15。在结构52之间施加预浸料中间层54。以这种方式堆叠的结构52最后在压机中被压在一起。以这种方式，交替地产生了多层绝缘材料和导体材料。
通常，如图3-8所示，在一共用内层芯40上产生多个元件56。这允许大批量生产。
在大面积光刻处理之后，将内层芯40切成单个元件56。在单个元件56中，通常布置几个，优选三个或五个线圈20，如图9所示。
图10示出了通过线圈20的截面图，其中已经根据本发明方法的一个实施例制造了线圈20。带有通孔26的线圈的中心在左侧示出，并且可以看到之间带有绝缘材料的各个平面线圈12。该叠置的平面线圈12的组例如布置在用作载体基板的印刷电路板(刚性印刷电路板元件38)中的开口内。可以根据本文描述的方法进行该制造。如在图10中可以看到的，结果产生了平面线圈单元的层，这些层被布置成一层在另一层之上。在由电导体18形成的每个单独的平面线圈单元之间，设置例如厚度为40-50μm的绝缘材料层。
本发明提供了各个平面线圈12彼此的恒定精确对称，并且还提供了通过以总是完全相同的方式计算机辅助制造平面线圈12和/或通过平面线圈在彼此之上的计算机辅助布置而在它们之间形成薄得多的绝缘材料层的可能性，这可以通过平面线圈单元10的堆叠和定位或者通过在一层在另一层之上的层中制造平面线圈单元10来实现。
选择来自n个叠置的平面线圈单元10的第i个平面线圈单元10的电导体18的平面线圈厚度di,PS以及第i个平面线圈单元10的绝缘材料层14的层厚度di,IM，使得优选地平面线圈厚度di,IM大于或等于层厚度di,IM。在任何情况下，选择厚度di,IM和di,IM使得
Figure BDA0002776487560000131
其中，
Figure BDA0002776487560000132
是平面线圈的厚度di,PS的总和，以及
Figure BDA0002776487560000133
是绝缘材料层的厚度的总和。
这导致在平面线圈12的匝22所位于的区域上的电导体18的材料(例如铜)的比例(其在整个线圈组上看)与绝缘材料层14的绝缘材料相比更大。这意味着在线圈20上施加相同的电流的情况下，可以在更小的体积上产生更大的电流密度并因此产生更强的磁场。
线圈20的计算机辅助生产还提供了以单线方式(如图11a中所示)和以多线(如图11b至图11d中所示)来生产单个平面线圈20的可能性。
通过这种方式，可以制造平面线圈12，其具有一个绕组螺旋或多个绕组螺旋，这些绕组螺旋彼此电绝缘并且可以以不同的方式互连。
这允许产生可以不同地接触的同心布置的线圈20a、20b。例如，将多股线圈20的不同纤度用于差分测量。在另一示例性实施例中，嵌套线圈20a中的一个可用作发生器线圈，而另一个用作测量线圈。在又一个示例性实施例中，几个嵌套线圈可以用于差分测量。在又一构造中，不同的嵌套线圈可以用作桥电路的不同元件。
图12示出了电感部件30的第一示例性实施例，其具有根据前述方法制造的平面线圈布置32，以形成第一线圈20a，第二线圈20b和第三线圈20c。
电感部件30可以用作致动器或传感器的一部分。特别地，电感部件30可以用作文献D1-D10中描述的类型的扭矩传感器或力传感器的传感头的主要部分。然后，传感头仍包含铁磁增强材料。有关传感头设计的更多详细信息参考D10。
当用于传感头时，第一线圈20a可以用作例如发生器线圈，用于在相对于力的应用(例如旋转轴)的待测元件中产生磁场，而第二线圈20b用作第一测量线圈，第三线圈20c用作第二测量线圈，用于测量在力的作用下的磁场变化，特别是磁场方向的变化。
从图12中可以看出，每个线圈20a、20b、20c分别由一个放置在另一个上方的平面线圈12形成，每个线圈20a、20b、20c设有通孔26，用于磁放大的材料可通过该通孔26。此外，在每个通孔26的内壁上设置有多个直通连接结构24、24b。在图13和图14中示出了电感部件30的另外的实施例，除了第一线圈20a，第二线圈20b和第三线圈20c，在其中设置了第四线圈20d和第五线圈20e。第二至第五线圈20b至20e围绕第一线圈20a分布。第四线圈20d可以形成第三测量线圈，第五线圈20e可以形成第四测量线圈。
测量线圈的互连(例如第二线圈20b至第五线圈20e)可以如在德国专利申请DE 102017112 913.8中所描述和详细示出的那样进行，该德国专利申请被明确地引用以用于进一步的细节。
特别地，在这种情况下，测量线圈以所谓的X布置绕用作发生器线圈的第一线圈20a布置。
用于单个线圈20和/或设置在电感部件30中的任何其他电子组件的电连接的接触垫34b优选地布置在电感部件30的至少一个外边缘上。
在图12所示的示例性实施例中，接触垫布置在一侧上。在图13和图14所示的电感部件30的示例性实施例中，接触垫34设置在电感部件30的矩形凹部36内的相对侧上。如细节A所示，接触垫中的一个可以被设计为测试垫。
用于制造将根据图12和图13的用于传感头的电感部件30的方法的优选实施例提供了，用于单个线圈20、20a-20e的腔形成在刚性印刷电路板元件38中，如从D11中描述的基本原理所知。
如上所述，形成线圈20a-20e的各个层的各个平面线圈12共同形成为柔性印刷电路板16上的平面线圈单元10，并且具有各个平面线圈12的n个平面线圈单元10在计算机控制下一个在另一个之上地布置或在计算机控制下一个在另一个之上地制造。因此，形成平面线圈组件32，其具有由一个放置在另一个之上的单个平面线圈12形成的线圈20、20a-20e。
在本发明的一实施例中，借助于切割冲头将各个线圈共同切出，并转移到刚性印刷电路板元件38的各个空腔中。
在本发明的另一实施例中，通过将平面线圈单元10一个布置在另一个的顶部上而形成的平面线圈布置32被用作电感部件30，从而不需要刚性印刷电路板元件38。
如图1和图2所示，线圈20可以由每个平面线圈12总共4-100匝(例如15匝)，使用例如在彼此之上的n＝8层来产生。优选地，n在3-15的范围内。
如图1所示，如果在绕组区域内部和外部的环部分中使用直通连接结构，则铜相对于轮廓的量可被设定为例如典型地为0.3mm。
如图2所示，如果在轮廓中包括直通连接结构，则通过绕组22显著改善了表面使用份额。
标记列表
10 平面线圈单元
12 平面线圈
14 绝缘材料层
16 柔性印刷电路板
18 电导体
20 线圈
20a 第一线圈
20b 第二线圈
20c 第三线圈
20d 第四线圈
20e 第五线圈
22 绕组
24 直通连接结构
24a 外直通连接结构
24b 内直通连接结构
26 通孔
30 电感部件
32 平面线圈组件
34 接触垫
36 凹部
38 刚性印刷电路板元件
40 内层芯
42 环氧树脂和玻璃织物的层
44 导体材料
46 光敏膜
48 光元件
50 曝光元件
52 结构
54 预浸料中间层
56 元件

Claims (8)

1.一种用于制造平面线圈组件(32)的方法，所述平面线圈组件具有一个布置在另一个之上的n个平面线圈单元(10)，其中n是大于1的自然数，所述方法包括：
a)通过借助于计算机制造至少一个平面线圈(12)来产生第i个平面线圈单元(10)，所述平面线圈由电导体制成并且在由电绝缘材料制成的绝缘材料层(14)上具有平面线圈厚度diPS，其中i等于1至n，以及
b)分层布置所述平面线圈单元(10)，其中在所述平面线圈(12)之间插入所述绝缘材料层(14)，其中选择厚度di,IM和di,IM使得
Figure FDA0002776487550000011
其中，
Figure FDA0002776487550000012
是所述平面线圈的厚度di,PS的总和，以及
Figure FDA0002776487550000013
是所述绝缘材料层的厚度的总和。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于
c)电连接一个布置在另一个之上的所述平面线圈单元(10)的平面线圈(12)，以形成至少一个磁线圈。
3.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，
在步骤b)中，在每个平面线圈(12)之间仅布置一具有厚度di,IM的单个绝缘材料层(14)。
4.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，
步骤a)包括以下至少一个，几个或全部步骤：
a1)计算机辅助生产每个平面线圈单元(10)的位于一个平面中的多个平面线圈(12)，
a2)对称计算机辅助生产每个线圈单元(10)的位于一个平面中的多个平面线圈(12)；
a3)计算机辅助生产彼此对称的不同平面线圈单元(10)的平面线圈(12)；
a4)通过计算机辅助生产，对称地产生一个平面线圈单元(10)的平面线圈(12)和多个平面线圈单元(10)的平面线圈(12)；
a5)通过光刻生产所述至少一个平面线圈(12)来执行计算机辅助生产，
a6)在选自包括印刷电路板基材、预浸料层和合成材料的绝缘材料组的一绝缘材料层(14)上，计算机辅助生产每个平面线圈单元(10)的所述至少一个平面线圈(12)；
a7)生产具有彼此分开的多个线圈轨道的至少一个平面线圈(12)；
a8)以彼此点对称的布置生产每个平面线圈单元的中心发生器平面线圈和至少第一测量平面线圈、第二测量平面线圈和第三测量平面线圈；
a9)以彼此轴对称或点对称的布置生产每个平面线圈单元的中心发生器平面线圈和至少第一测量平面线圈、第二测量平面线圈、第三测量平面线圈和第四测量平面线圈。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于
d)形成穿过所示平面线圈单元(10)的叠置的平面线圈(12)的中心的至少一个通孔(26)。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于
以下步骤之一，几个或全部：
6.1通过至少一个通孔(24)在至少一个通孔(26)上电连接叠加的平面线圈(12)；
6.2将通量集中器插入所述至少一个通孔(26)中；
6.3执行步骤d)，使得在步骤a)之前和/或在步骤b)之前或在步骤b)之后，所述绝缘材料层(14)设有所述通孔(26)的相应区域。
7.一种用于扭矩或力传感器的传感头的制造方法，所述传感头包括用于产生磁场的发生器线圈和用于测量在测量体中感应的磁场的变化的至少第一测量线圈和第二测量线圈，所述方法包括执行用于制造所述发生器线圈和测量线圈的根据权利要求1至6中任一项所述的方法。
8.一种传感头，其可通过根据权利要求7所述的方法获得。
CN201980032244.9A 2018-04-13 2019-04-10 用于制造平面线圈组件的方法和设有该平面线圈组件的传感头 Active CN112204681B (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018108869 2018-04-13
DE102018108869.8 2018-04-13
DE102018114785.6A DE102018114785A1 (de) 2018-04-13 2018-06-20 Verfahren zum Herstellen einer Planarspulenanordnung sowie eines damit versehenen Sensorkopfes
DE102018114785.6 2018-06-20
PCT/EP2019/059162 WO2019197500A1 (de) 2018-04-13 2019-04-10 Verfahren zum herstellen einer planarspulenanordnung sowie eines damit versehenen sensorkopfes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112204681A true CN112204681A (zh) 2021-01-08
CN112204681B CN112204681B (zh) 2023-05-30

Family

ID=68053122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980032244.9A Active CN112204681B (zh) 2018-04-13 2019-04-10 用于制造平面线圈组件的方法和设有该平面线圈组件的传感头

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11948735B2 (zh)
EP (1) EP3776605B1 (zh)
JP (1) JP7145229B2 (zh)
CN (1) CN112204681B (zh)
DE (1) DE102018114785A1 (zh)
WO (1) WO2019197500A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019102454B3 (de) 2019-01-31 2020-08-06 Trafag Ag Anordnung und Verfahren zur Messung einer mechanischen Belastung eines Testobjekts unter Erfassung von Magnetfeldänderungen
DE102021123394A1 (de) 2021-09-09 2023-03-09 Trafag Ag Belastungsmessanordnung zum magnetostriktiven Messen einer Belastung an einem Testobjekt sowie Herstellverfahren
DE102021123392A1 (de) 2021-09-09 2023-03-09 Trafag Ag Belastungsmessanordnung und Belastungsmessverfahren zum Messen einer Belastung an einem Testobjekt mit Nebenübertragungselement
DE102022129926A1 (de) 2022-11-11 2024-05-16 Trafag Ag Sensorkopf für Belastungsmessvorrichtung mit Magnetspulen

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050174208A1 (en) * 2002-09-30 2005-08-11 Tdk Corporation Inductive element and manufacturing method of the same
KR20130077400A (ko) * 2011-12-29 2013-07-09 삼성전기주식회사 박막형 코일 부품 및 그 제조 방법
US20130199027A1 (en) * 2009-03-09 2013-08-08 Nucurrent, Inc. Method for manufacture of multi-layer-multi-turn high efficiency inductors
US20130222101A1 (en) * 2010-10-21 2013-08-29 Tdk Corporation Coil component and method for producing same
US20150116950A1 (en) * 2013-10-29 2015-04-30 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Coil component, manufacturing method thereof, coil component-embedded substrate, and voltage adjustment module having the same
US20150302967A1 (en) * 2012-12-15 2015-10-22 Arthur L. Jenkins Multilayered electromagnetic assembly
EP2957880A1 (de) * 2014-06-16 2015-12-23 Braunschmid, Franz Ausgestaltung von elementaren federkörpern zu kraft- oder zu drehmomentsensoren
CN106104252A (zh) * 2013-12-31 2016-11-09 特拉法格股份公司 具有分隔的壳体部分的密度监视器以及装配方法
US20170032884A1 (en) * 2015-07-31 2017-02-02 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Coil electronic component and method of manufacturing the same
JP2017199766A (ja) * 2016-04-26 2017-11-02 株式会社村田製作所 積層型コイルアレイおよびモジュール
DE102016122172A1 (de) * 2016-07-25 2018-01-25 Trafag Ag Sensorkopf für einen Kraft- oder Drehmomentsensor
JP2018018868A (ja) * 2016-07-26 2018-02-01 イビデン株式会社 コイル基板及びその製造方法
US20180038461A1 (en) * 2016-08-05 2018-02-08 Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) Planar Pop-Up Actuator Device with Embedded Electro-Magnetic Actuation

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE110599C (zh)
US3011340A (en) 1957-06-26 1961-12-05 Asea Ab Means for measuring a torsional stress in a shaft of magnetostrictive material
US3311818A (en) 1963-03-11 1967-03-28 Api Instr Company Non-contact apparatus for magnetically measuring strain
US4135391A (en) 1977-11-22 1979-01-23 Asea Aktiebolag Torque transducer
DE3031997C2 (de) 1980-08-25 1986-01-16 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Anordnung zur berührungslosen Messung statischer und dynamischer Drehmomente
DE8511143U1 (de) 1985-04-16 1985-06-27 Dietrich Grünau GmbH & Co KG, 7778 Markdorf Meßnabe zur Drehmoment- und Drehzahlmessung an umlaufenden Maschinenteilen
JPH02221830A (ja) 1989-02-22 1990-09-04 Kubota Ltd 磁歪式トルクセンサ
DE4105999A1 (de) * 1990-12-20 1992-06-25 Nippon Filcon Kk Folienspule
KR100494472B1 (ko) 2002-12-31 2005-06-10 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 기술을 이용한 미약자계 감지용 센서 및 그제조 방법
US8466764B2 (en) * 2006-09-12 2013-06-18 Cooper Technologies Company Low profile layered coil and cores for magnetic components
JP5083764B2 (ja) 2006-11-29 2012-11-28 隆太郎 森 トランス装置
EP2107577B1 (de) 2008-03-31 2016-10-19 Würth Elektronik Rot am See GmbH & Co. KG Induktionsbauteil und Verfahren zu seiner Herstellung
CN102308346B (zh) 2008-12-03 2014-01-29 平面磁性有限公司 集成平面变压器
JP5187858B2 (ja) * 2009-01-22 2013-04-24 日本碍子株式会社 積層型インダクタ
DE102009008074A1 (de) 2009-02-10 2010-08-12 Siemens Aktiengesellschaft Messanordnung und Verwendung zum Erfassen des Drehmomentes
JP2011082371A (ja) 2009-10-08 2011-04-21 Sony Corp 積層インダクタ内蔵の多層配線板、チューナーモジュール、および、電子機器
DE102010016779A1 (de) 2010-05-04 2011-11-10 Cicor Management AG Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Schaltungsanordnung
US20110298811A1 (en) 2010-06-02 2011-12-08 Apple Inc. Flexible printed circuit to glass assembly system and method
DE102011075400A1 (de) 2011-05-06 2012-11-08 Siemens Ag Drehmomentsensoranordnung und Welle mit einer Drehmomentsensoranordnung
FR2979789A1 (fr) 2011-09-07 2013-03-08 Commissariat Energie Atomique Circuit imprime comportant deux bobines
JP5964583B2 (ja) 2011-12-28 2016-08-03 太陽誘電株式会社 積層コイル及びそれを利用した電子部品
KR101771731B1 (ko) * 2012-08-28 2017-08-25 삼성전기주식회사 적층 칩 전자부품
US10777342B2 (en) 2016-06-15 2020-09-15 Taiyo Yuden Co., Ltd. Coil component and method for manufacturing the same
DE102017112913A1 (de) 2017-06-12 2018-12-13 Trafag Ag Belastungsmessverfahren, Belastungsmessvorrichtung und Belastungsmessanordnung

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050174208A1 (en) * 2002-09-30 2005-08-11 Tdk Corporation Inductive element and manufacturing method of the same
US20130199027A1 (en) * 2009-03-09 2013-08-08 Nucurrent, Inc. Method for manufacture of multi-layer-multi-turn high efficiency inductors
US20130222101A1 (en) * 2010-10-21 2013-08-29 Tdk Corporation Coil component and method for producing same
KR20130077400A (ko) * 2011-12-29 2013-07-09 삼성전기주식회사 박막형 코일 부품 및 그 제조 방법
US20150302967A1 (en) * 2012-12-15 2015-10-22 Arthur L. Jenkins Multilayered electromagnetic assembly
US20150116950A1 (en) * 2013-10-29 2015-04-30 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Coil component, manufacturing method thereof, coil component-embedded substrate, and voltage adjustment module having the same
CN106104252A (zh) * 2013-12-31 2016-11-09 特拉法格股份公司 具有分隔的壳体部分的密度监视器以及装配方法
EP2957880A1 (de) * 2014-06-16 2015-12-23 Braunschmid, Franz Ausgestaltung von elementaren federkörpern zu kraft- oder zu drehmomentsensoren
US20170032884A1 (en) * 2015-07-31 2017-02-02 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Coil electronic component and method of manufacturing the same
JP2017199766A (ja) * 2016-04-26 2017-11-02 株式会社村田製作所 積層型コイルアレイおよびモジュール
DE102016122172A1 (de) * 2016-07-25 2018-01-25 Trafag Ag Sensorkopf für einen Kraft- oder Drehmomentsensor
JP2018018868A (ja) * 2016-07-26 2018-02-01 イビデン株式会社 コイル基板及びその製造方法
US20180038461A1 (en) * 2016-08-05 2018-02-08 Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) Planar Pop-Up Actuator Device with Embedded Electro-Magnetic Actuation

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
王青等: "功率变换器叠层母排优化设计", 《电力与能源》 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE102018114785A1 (de) 2019-10-17
JP2021521645A (ja) 2021-08-26
WO2019197500A1 (de) 2019-10-17
EP3776605A1 (de) 2021-02-17
EP3776605C0 (de) 2023-08-02
US20210383969A1 (en) 2021-12-09
JP7145229B2 (ja) 2022-09-30
US11948735B2 (en) 2024-04-02
CN112204681B (zh) 2023-05-30
EP3776605B1 (de) 2023-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112204681B (zh) 用于制造平面线圈组件的方法和设有该平面线圈组件的传感头
US6990729B2 (en) Method for forming an inductor
EP1387179B1 (en) Printed circuit board integrated with a two-axis fluxgate sensor and method for manufacturing the same
JP3816464B2 (ja) プリント回路基板技術を用いた微弱磁界感知用センサ及びその製造方法
JP4367487B2 (ja) コイル部品
JP2008112982A (ja) 改良型高精度ロゴスキー変流器
JP2007155427A (ja) 交流電流検出用コイル
JP3717867B2 (ja) 印刷回路基板製造技術により製造した弱磁界感知用センサー及びその製造方法
EP2232286B1 (en) Thin-film fluxgate sensor
CN103026250A (zh) 带扁平导电迹线的电磁线圈结构、磁芯和磁电角度传感器
KR20040068440A (ko) 반도체기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법
JP2003272920A (ja) 印刷回路基板製造技術により製造した弱磁界感知用センサー及びその製造方法
JP2001196240A (ja) 積層インダクタ
WO2018159485A1 (ja) 多層基板
CN110603454B (zh) 具有集成的磁通门传感器的部件承载件
JP2009027102A (ja) 積層コイルと積層コイルを用いた振動センサと積層コイルの製造方法
JP4248324B2 (ja) アクチュエータ
CN112051431A (zh) 电流传感器和包括这种电流传感器的测量系统
JP3214661B2 (ja) 電磁流量計
JP2002513511A (ja) 電磁気応用のためのヴァイアの無い集積誘導性素子
KR100584979B1 (ko) 인쇄회로기판 기술을 이용한 미약자계 감지용 센서 및 그제조방법
JP2001159668A (ja) 薄膜電子部品
CN116609712A (zh) 磁传感器
Hayes Design and fabrication of planar inductors for inductive proximity sensors
JPH0927436A (ja) コイル内蔵電気部品とその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant