CN112157655A - 花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统 - Google Patents

花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统 Download PDF

Info

Publication number
CN112157655A
CN112157655A CN202010995169.0A CN202010995169A CN112157655A CN 112157655 A CN112157655 A CN 112157655A CN 202010995169 A CN202010995169 A CN 202010995169A CN 112157655 A CN112157655 A CN 112157655A
Authority
CN
China
Prior art keywords
basket
flower basket
flower
placing
path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010995169.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112157655B (zh
Inventor
田源
范生刚
沈杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou Kexun Precision Machinery Co ltd
Original Assignee
Changzhou Kexun Precision Machinery Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou Kexun Precision Machinery Co ltd filed Critical Changzhou Kexun Precision Machinery Co ltd
Priority to CN202010995169.0A priority Critical patent/CN112157655B/zh
Publication of CN112157655A publication Critical patent/CN112157655A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112157655B publication Critical patent/CN112157655B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1656Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators
    • B25J9/1664Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators characterised by motion, path, trajectory planning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1602Programme controls characterised by the control system, structure, architecture
    • B25J9/161Hardware, e.g. neural networks, fuzzy logic, interfaces, processor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Fuzzy Systems (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

本发明属于光伏技术领域,具体涉及一种花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统,其中花篮自由路径实现方法,包括:设置花篮转运路径;判断花篮转运路径是否正常;以及当花篮转运路径正常时进行取、放花篮,实现了根据客户需求自由编写花篮转运路径,极大地提高了设备的使用效率,设备自动化程度得到提升。

Description

花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统
技术领域
本发明属于光伏技术领域,具体涉及一种花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统。
背景技术
随着光伏设备越来越先进,使用者对设备使用要求也越来越高。对于一台全新的设备,如果客户工艺需要测试新的工艺,不是按照正常顺序的路径跑花篮,这种情况要么客户自己打手动模式用步进功能提篮,要么让软件工程师增加临时增加路径,进行自动测试。
因此,基于上述技术问题需要设计一种新的花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统。
发明内容
本发明的目的是提供一种花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种花篮自由路径实现方法,包括:
设置花篮转运路径;
判断花篮转运路径是否正常;以及
当花篮转运路径正常时进行取、放花篮。
进一步,所述设置花篮转运路径的方法包括:
根据清洗溶液清洗花篮的顺序,依次设置花篮的初始位置、各清洗溶液对应槽体的位置和结束位置,以形成花篮转运路径;
各槽体适于采用串联槽体和/或并联槽体设置;
所述并联槽体内存放同种清洗溶液。
进一步,所述判断花篮转运路径是否正常的方法包括:
判断花篮转运路径正常时需同时满足的条件至少包括:
花篮转运路径中任一槽体未被屏蔽,花篮转运路径中相邻两个槽体中清洗溶液不发生反应;
当花篮转运路径中任一槽体被屏蔽时,判断该花篮转运路径不正常,重新设置花篮转运路径;
当花篮转运路径中相邻两个槽体中清洗溶液发生反应时,判断该花篮转运路径不正常,重新设置花篮转运路径。
进一步,所述当花篮转运路径正常时进行取、放花篮的方法包括:
当花篮存放在初始位置且待放篮槽体满足放篮条件时,读取初始位置和待放篮槽体的位置数据,以将初始位置的花篮取出后放入待放篮槽体中,否则不进行取、放花篮;
当待取篮槽体满足取篮条件且待放篮槽体满足放篮条件时,读取待取篮槽体的偏移位置和待放篮槽体的位置数据,以将待取篮槽体内的花篮取出后放入待放篮槽体中,否则不进行取、放花篮;
当待取篮槽体满足取篮条件且花篮需运送至结束位置时,读取待取篮槽体的偏移位置和结束位置的位置数据,以将待取篮槽体内的花篮取出后放入结束位置,否则不进行取、放花篮;
当待放篮槽体为并联槽体时,将花篮放入并联槽体中任一满足放篮条件的槽体中,即读取并联槽体中任一满足放篮条件槽体的位置数据;
当待放篮槽体为串联槽体时,直接读取待放篮槽体的位置数据;
所述取篮条件包括:槽体中存放有花篮,并且该花篮已经达到清洗时间;
所述放篮条件包括:槽体内未存有花篮,并且该槽体内的温度和清洗溶液的液位高度均满足预设条件。
第二方面,本发明还提供一种花篮自由路径实现软件系统,包括:
设置模块,设置花篮转运路径;
判断模块,判断花篮转运路径是否正常;以及
取放模块,当花篮转运路径正常时进行取、放花篮。
第三方面,本发明还提供一种硅片自由路径离线加工装置,包括:
上料台、下料台、控制模块、若干槽体,以及与控制模块电性连接的机械手和人机交互模块;
所述人机交互模块适于设置花篮转运路径;
所述槽体适于存放清洗溶液;
所述控制模块适于判断花篮转运路径是否正常,以及所述控制模块适于根据正常的花篮转运路径控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。
进一步,所述上料台、下料台、机械手和各槽体内均设置有第一检测模块;
所述控制模块适于根据所述第一检测模块检测的上料台、下料台、机械手和各槽体内是否有花篮,控制所述机械手对花篮进行抓取或放下,以取、放花篮;
各槽体内均设置有第二检测模块和第三检测模块;
所述第二检测模块适于检测相应槽体内的温度;
所述第三检测模块适于检测相应槽体内的清洗溶液的液位高度;
所述控制模块适于根据槽体内是否有花篮、温度和清洗溶液的液位高度判断是否满足放篮条件;
所述控制模块适于根据槽体内存放的花篮是否达到清洗时间判断是否满足取篮条件;
所述控制模块适于根据正常的花篮转运路径、放篮条件和取篮条件控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。
第四方面,本发明还提供一种服务器,
所述服务器适于设置花篮转运路径,判断花篮转运路径是否正常,当花篮转运路径正常时生成取、放花篮的控制信号,并发送该控制信号。
第五方面,本发明还提供一种花篮自由路径实现系统,包括:
上述的服务器,以及若干在线加工装置;
所述在线加工装置包括:上料台、下料台、控制模块、若干槽体,以及与控制模块电性连接的机械手和通讯模块;
所述通讯模块适于接收所述服务器发送的相应控制信号;
所述槽体适于存放清洗溶液;
所述控制模块适于根据相应的控制信号控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。
进一步,所述取放模块或所述控制模块或所述服务器适于采用上述的花篮自由路径实现方法,实现取、放花篮。
本发明的有益效果是,本发明通过设置花篮转运路径;判断花篮转运路径是否正常;以及当花篮转运路径正常时进行取、放花篮,实现了根据客户需求自由编写花篮转运路径,极大地提高了设备的使用效率,设备自动化程度得到提升。
本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明所涉及的花篮自由路径实现方法的流程图;
图2是本发明所涉及的花篮自由路径实现方法的具体流程图;
图3是本发明所涉及的串联槽体示意图;
图4是本发明所涉及的并联槽体示意图;
图5是本发明所涉及的串联槽体和并联槽体混合示意图;
图6是本发明所涉及的花篮自由路径实现软件系统的原理框图;
图7是本发明所涉及的硅片自由路径离线加工装置的原理框图;
图8是本发明所涉及的花篮自由路径实现系统的原理框图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
图1是本发明所涉及的花篮自由路径实现方法的流程图。
如图1所示,本实施例1提供了一种花篮自由路径实现方法,包括:设置花篮转运路径;判断花篮转运路径是否正常;以及当花篮转运路径正常时进行取、放花篮(花篮为承载硅片的载具),实现了根据客户需求自由编写花篮转运路径,极大地提高了设备(例如,硅片加工工艺中采用的清洗设备和湿法处理设备)的使用效率,设备自动化程度得到提升。
图2是本发明所涉及的花篮自由路径实现方法的具体流程图;
图3是本发明所涉及的串联槽体示意图;
图4是本发明所涉及的并联槽体示意图;
图5是本发明所涉及的串联槽体和并联槽体混合示意图。
如图2所示,在本实施例中,所述设置花篮转运路径的方法包括:根据清洗溶液清洗花篮的顺序,依次设置花篮的初始位置、各清洗溶液对应槽体的位置和结束位置,以形成花篮转运路径(花篮转运路径为初始位置转运至各槽体位置再转运至结束位置,各槽体的位置顺序为清洗溶液清洗花篮的顺序,当同种清洗溶液需要多次清洗时可以重复经过对应的槽体位置);可以根据槽体代号与槽体名称对照表自动生成槽体的名字;各槽体适于采用串联槽体和/或并联槽体设置,即如图3所示,各清洗溶液各自存放在一个槽体内(形成串联槽体),相邻槽体之间串联设置;如图4所示,每种清洗溶液均存放在至少两个槽体内,同种清洗溶液的各槽体并联(形成并联槽体),各种清洗溶液对应的并联槽体之间串联;如图5所示,若干种清洗溶液各自存放在一个槽体内,剩余种类的清洗溶液均各自存放在至少两个槽体内(同种清洗溶液的各槽体并联形成并联槽体),并且各种清洗溶液对应的串联槽体和并联槽体之间串联,实现了将各槽体任意串联或并联,可以自由设置花篮转运路径,任意槽体可以多次调用,极大地提高了设备的使用效率,设备自动化程度得到提升;所述并联槽体内存放同种清洗溶液,花篮若需要被并联槽体内的清洗溶液清洗,仅需要经过并联槽体中其中一个槽体即可;
具体的,花篮转运路径设置的画面可以但不限于采用一个长方形的框,在框内可以输入槽位(槽体的代号),如果想要槽位串联的话,则每个框里输入一个槽位;如果想要槽位并联的话,则在框里输入几个槽位,中间用“,”(英文输入法)隔开;如果相邻框内输入的槽位对应的槽体内存放的清洗溶液会发生反应,输入的这两个槽位会被清除,需要重新输入;如果框内输入的槽位对应的槽体被屏蔽了(该槽位处于非工作状态),那么这个框里槽位也会被清除,需要重新输入;
画面长方形框里输入的数字(槽位)是字符串的格式,通过程序先判断有没有“,”,如果没有的话则代表这个位置输入的是单个槽(串联槽体);如果有的话则代表这个位置是并联槽(并联槽体);然后通过程序将字符串转化为数字格式,提取出槽号(槽体的代号);根据槽号,通过程序判断这是哪个槽体,如果这个槽体被屏蔽了,则强制把这个槽号清除,画面上就表现为无法输入;如果通过程序判断相邻两个位置槽体内的清洗溶液会发生反应,也是强制把这两个槽号清除,画面上表示为无法输入;
当花篮经过的槽体中包含重复槽体时,为便于控制,先对花篮转运路径中的槽体进行编码,例如,需要经过的槽体为:1槽—2槽—3槽—1槽,可将对应槽体编码为1,2,3,4。
在本实施例中,所述判断花篮转运路径是否正常的方法包括:判断花篮转运路径正常时需同时满足的条件至少包括:花篮转运路径中任一槽体未被屏蔽,花篮转运路径中相邻两个槽体中清洗溶液不发生反应(可根据实际情况设置花篮转运路径正常时需同时满足的条件);槽体处于工作状态,即未被屏蔽,当花篮转运路径中任一槽体被屏蔽时,判断该花篮转运路径不正常,重新设置花篮转运路径;当花篮转运路径中相邻两个槽体中清洗溶液发生反应时,判断该花篮转运路径不正常,重新设置花篮转运路径;剩余情况下判断花篮转运路径正常。
在本实施例中,所述当花篮转运路径正常时进行取、放花篮的方法包括:当花篮存放在初始位置且待放篮槽体满足放篮条件时,读取初始位置和待放篮槽体的位置数据,以将初始位置的花篮取出后放入待放篮槽体中,否则不进行取、放花篮;当待取篮槽体满足取篮条件且待放篮槽体满足放篮条件时,读取待取篮槽体的偏移位置和待放篮槽体的位置数据,以将待取篮槽体内的花篮取出后放入待放篮槽体中,否则不进行取、放花篮;当待取篮槽体满足取篮条件且花篮需运送至结束位置时,读取待取篮槽体的偏移位置和结束位置的位置数据,以将待取篮槽体内的花篮取出后放入结束位置,否则不进行取、放花篮;当待放篮槽体为并联槽体时,将花篮放入并联槽体中任一满足放篮条件的槽体中,即读取并联槽体中任一满足放篮条件槽体的位置数据;当待放篮槽体为串联槽体时,直接读取待放篮槽体的位置数据;所述取篮条件包括:槽体中存放有花篮,并且该花篮已经达到清洗时间;所述放篮条件包括:槽体内未存有花篮,并且该槽体内的温度和清洗溶液的液位高度均满足预设条件;花篮转运路径中相邻两个槽体,当前者有花篮,前者槽体中的花篮达到清洗工艺时间,后者槽体内温度及清洗溶液的液位高度满足清洗工艺条件时,读取前者槽体的偏移位置数据和后者槽体的位置数据信息,传递到机械手,机械手依据前者槽体的偏移位置数据运行至相应位置,取篮结束后,机械手依据后者槽体的位置数据运行至相应位置,进行放篮动作;
根据槽号判断机械手的取放篮条件,需要满足槽体里面有花篮,到达这个槽体的清洗时间,并且相邻下个位置的槽体里面没有花篮,满足这几个条件机械手就可以去取放篮;然后下一步是位置传值,这里要区分并联槽体和非并联槽体(串联槽体),如果非并联槽体的话,读取直接把待取篮槽体的偏移位置数据信息和待放篮槽体的位置数据,并将此信息传递给机械手,进行取放篮动作;如果是并联槽体的话,则根据哪个槽体里有花篮,并且清洗时间到没到判断取篮时是去哪个槽体,读取待取篮槽体的偏移位置数据信息和待放篮槽体的位置数据,并将此信息传递给机械手,进行取放篮动作;再根据槽体里面是否有花篮,并联槽体交替顺序判断放篮是去哪个槽体,把满足条件的这个槽体的槽位值传到这个位置;
机械手放篮,满足放篮条件的话,机械手就走到要取篮的槽体的偏移位置数据,然后机械手下降到下位,再进勾,到达槽位后,机械手上升,到达上位后,机械手再横移到下个位置放篮;到达放篮位置后,机械手下降,到达下位后,机械手退勾,然后到达偏移位置数据,机械手上升,直到上位。
位置数据和偏移位置数据:将设备1号槽体(可以对所有槽体进行编号)的位置或设备上的任意一位置(例如,上料台)设定为原点,可定义为初始位置值,位置数据是指当前槽体位置与初始位置之间的直线距离,偏移位置数据是指机械手对应待取放篮槽体的水平横移距离;机械手走第一个位置(初始位置),编号为0,后面每经过一个位置编号加1。
实施例2
图6是本发明所涉及的花篮自由路径实现软件系统的原理框图。
如图6所示,在实施例1的基础上,本实施例2还提供一种花篮自由路径实现软件系统,包括:设置模块,设置花篮转运路径;判断模块,判断花篮转运路径是否正常;以及取放模块,当花篮转运路径正常时进行取、放花篮。
在本实施例中,设置模块设置花篮转运路径,判断模块判断花篮转运路径是否正常,以及取放模块当花篮转运路径正常时进行取、放花篮的方法在实施例1中已经详细描述,在本实施例中不再赘述。
实施例3
图7是本发明所涉及的硅片自由路径离线加工装置的原理框图。
如图7所示,在实施例1的基础上,本实施例3还提供一种硅片自由路径离线加工装置,包括:上料台、下料台、控制模块、若干槽体,以及与控制模块电性连接的机械手和人机交互模块;所述人机交互模块适于设置花篮转运路径;所述槽体适于存放清洗溶液;所述控制模块适于判断花篮转运路径是否正常,以及所述控制模块适于根据正常的花篮转运路径控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台(初始位置)、若干槽体和下料台(结束位置)之间转运花篮;
当花篮存放在初始位置且待放篮槽体满足放篮条件时,控制模块读取初始位置和待放篮槽体的位置数据,以通过控制模块控制机械手将初始位置的花篮取出后放入待放篮槽体中,否则不进行取、放花篮;
当待取篮槽体满足取篮条件且待放篮槽体满足放篮条件时,控制模块读取待取篮槽体的偏移位置和待放篮槽体的位置数据,以通过控制模块控制机械手将待取篮槽体内的花篮取出后放入待放篮槽体中,否则不进行取、放花篮;
当待取篮槽体满足取篮条件且花篮需运送至结束位置时,控制模块读取待取篮槽体的偏移位置和结束位置的位置数据,以通过控制模块控制机械手将待取篮槽体内的花篮取出后放入结束位置,否则不进行取、放花篮;
当待放篮槽体为并联槽体时,将花篮放入并联槽体中任一满足放篮条件的槽体中,即读取并联槽体中任一满足放篮条件槽体的位置数据,当并联槽体中至少一个槽体满足放篮条件时,按交替顺序,控制模块读取满足条件的槽体位置数据和偏移位置数据信息,传递到机械手,机械手接收到信息后,进行取放篮,当并联槽体内所有槽体都不满足取篮条件时,机械手处于等待状态。
当待放篮槽体为串联槽体时,直接读取待放篮槽体的位置数据,控制模块直接读取待取篮槽体的位置数据和待放篮槽体的偏移位置数据信息,并将此信息传递给机械手,进行取、放篮动作。
在本实施例中,所述人机交互模块适于采用实施例1中所涉及的花篮自由路径实现方法设置花篮转运路径;所述控制模块适于采用实施例1中所涉及的花篮自由路径实现方法实现根据正常的花篮转运路径控制所述机械手取、放花篮,具体的方法在实施例1中已经详细描述,在本实施例中不再赘述
在本实施例中,所述上料台、下料台、机械手和各槽体内均设置有第一检测模块;所述控制模块适于根据所述第一检测模块检测的上料台、下料台、机械手和各槽体内是否有花篮,控制所述机械手对花篮进行抓取或放下,以取、放花篮;各槽体内均设置有第二检测模块和第三检测模块;所述第二检测模块适于检测相应槽体内的温度;所述第三检测模块适于检测相应槽体内的清洗溶液的液位高度;所述控制模块适于根据槽体内是否有花篮、温度和清洗溶液的液位高度判断是否满足放篮条件;所述控制模块适于根据槽体内存放的花篮是否达到清洗时间判断是否满足取篮条件;所述控制模块适于根据正常的花篮转运路径、放篮条件和取篮条件控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮;位于上料台的第一检测模块用于检测上料台是否有花篮,当检测到有花篮时,第一检测模块将信号传递到控制模块,控制模块控制机械手取篮;机械手上的第一检测模块用于检测机械手上是否取到花篮,当检测到机械手上有花篮时,即表示机械手已取到花篮,机械手正常运行,当检测到机械手上没有花篮,即机械手未取到花篮,机械手停止运动,给出报警信号;槽体内设有第二检测模块和第三检测模块,用于检测槽体内的温度及液位高度等是否满足设定值,当达到设定值时,将信号传递给控制器;控制模块通过各检测模块可以精确的控制机械手取、放花篮,提高自动化程度和转运花篮的效率。
实施例4
在实施例1的基础上,本实施例4还提供一种服务器,所述服务器适于设置花篮转运路径,判断花篮转运路径是否正常,当花篮转运路径正常时生成取、放花篮的控制信号,并发送该控制信号;通过服务器生成花篮转运的控制信号,可以统筹的管理多个下位机,提高自动化程度。
在本实施例中,所述服务器适于采用实施例1所涉及的花篮自由路径实现方法实现根据正常的花篮转运路径控制所述机械手取、放花篮,具体的方法在实施例1中已经详细描述,在本实施例中不再赘述。
实施例5
图8是本发明所涉及的花篮自由路径实现系统的原理框图。
如图8所示,在实施例1、实施例3和实施例4的基础上,本实施例5还提供一种花篮自由路径实现系统,包括:如实施例4所述的服务器,以及若干在线加工装置;所述在线加工装置可以采用实施例3中的硅片自由路径离线加工装置,仅需在硅片自由路径离线加工装置中增加通讯模块,以使硅片自由路径离线加工装置与服务器之间实现通讯;所述在线加工装置包括:上料台、下料台、控制模块、若干槽体,以及与控制模块电性连接的机械手和通讯模块;所述通讯模块适于接收所述服务器发送的相应控制信号;所述槽体适于存放清洗溶液;所述控制模块适于根据相应的控制信号控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。
在本实施例中,所述通讯模块还适于发送上料台、下料台、机械手和各槽体内是否有花篮的信号至所述服务器;所述通讯模块还适于发送槽体内的温度、清洗溶液的液位高度和花篮清洗时间至所述服务器;所述服务器适于根据槽体内是否有花篮、温度和清洗溶液的液位高度判断是否满足放篮条件;所述服务器适于根据槽体内存放的花篮是否达到清洗时间判断是否满足取篮条件;
综上所述,本发明通过设置花篮转运路径;判断花篮转运路径是否正常;以及当花篮转运路径正常时进行取、放花篮,实现了根据客户需求自由编写花篮转运路径,极大地提高了设备的使用效率,设备自动化程度得到提升。
在本申请所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的装置和方法,也可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如,附图中的流程图和框图显示了根据本发明的多个实施例的装置、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上,流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分,所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意,在有些作为替换的实现方式中,方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如,两个连续的方框实际上可以基本并行地执行,它们有时也可以按相反的顺序执行,这依所涉及的功能而定。也要注意的是,框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合,可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现,或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
另外,在本发明各个实施例中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分,也可以是各个模块单独存在,也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。
所述功能如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时,可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解,本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在一个存储介质中,包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机,服务器,或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括:U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM,Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM,Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种花篮自由路径实现方法,其特征在于,包括:
设置花篮转运路径;
判断花篮转运路径是否正常;以及
当花篮转运路径正常时进行取、放花篮。
2.如权利要求1所述的花篮自由路径实现方法,其特征在于,
所述设置花篮转运路径的方法包括:
根据清洗溶液清洗花篮的顺序,依次设置花篮的初始位置、各清洗溶液对应槽体的位置和结束位置,以形成花篮转运路径;
各槽体适于采用串联槽体和/或并联槽体设置;
所述并联槽体内存放同种清洗溶液。
3.如权利要求2所述的花篮自由路径实现方法,其特征在于,
所述判断花篮转运路径是否正常的方法包括:
判断花篮转运路径正常时需同时满足的条件至少包括:
花篮转运路径中任一槽体未被屏蔽,花篮转运路径中相邻两个槽体中清洗溶液不发生反应;
当花篮转运路径中任一槽体被屏蔽时,判断该花篮转运路径不正常,重新设置花篮转运路径;
当花篮转运路径中相邻两个槽体中清洗溶液发生反应时,判断该花篮转运路径不正常,重新设置花篮转运路径。
4.如权利要求3所述的花篮自由路径实现方法,其特征在于,
所述当花篮转运路径正常时进行取、放花篮的方法包括:
当花篮存放在初始位置且待放篮槽体满足放篮条件时,读取初始位置和待放篮槽体的位置数据,以将初始位置的花篮取出后放入待放篮槽体中,否则不进行取、放花篮;
当待取篮槽体满足取篮条件且待放篮槽体满足放篮条件时,读取待取篮槽体的偏移位置和待放篮槽体的位置数据,以将待取篮槽体内的花篮取出后放入待放篮槽体中,否则不进行取、放花篮;
当待取篮槽体满足取篮条件且花篮需运送至结束位置时,读取待取篮槽体的偏移位置和结束位置的位置数据,以将待取篮槽体内的花篮取出后放入结束位置,否则不进行取、放花篮;
当待放篮槽体为并联槽体时,将花篮放入并联槽体中任一满足放篮条件的槽体中,即读取并联槽体中任一满足放篮条件槽体的位置数据;
当待放篮槽体为串联槽体时,直接读取待放篮槽体的位置数据;
所述取篮条件包括:槽体中存放有花篮,并且该花篮已经达到清洗时间;
所述放篮条件包括:槽体内未存有花篮,并且该槽体内的温度和清洗溶液的液位高度均满足预设条件。
5.一种花篮自由路径实现软件系统,其特征在于,包括:
设置模块,设置花篮转运路径;
判断模块,判断花篮转运路径是否正常;以及
取放模块,当花篮转运路径正常时进行取、放花篮。
6.一种硅片自由路径离线加工装置,其特征在于,包括:
上料台、下料台、控制模块、若干槽体,以及与控制模块电性连接的机械手和人机交互模块;
所述人机交互模块适于设置花篮转运路径;
所述槽体适于存放清洗溶液;
所述控制模块适于判断花篮转运路径是否正常,以及所述控制模块适于根据正常的花篮转运路径控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。
7.如权利要求6所述的硅片自由路径离线加工装置,其特征在于,
所述上料台、下料台、机械手和各槽体内均设置有第一检测模块;
所述控制模块适于根据所述第一检测模块检测的上料台、下料台、机械手和各槽体内是否有花篮,控制所述机械手对花篮进行抓取或放下,以取、放花篮;
各槽体内均设置有第二检测模块和第三检测模块;
所述第二检测模块适于检测相应槽体内的温度;
所述第三检测模块适于检测相应槽体内的清洗溶液的液位高度;
所述控制模块适于根据槽体内是否有花篮、温度和清洗溶液的液位高度判断是否满足放篮条件;
所述控制模块适于根据槽体内存放的花篮是否达到清洗时间判断是否满足取篮条件;
所述控制模块适于根据正常的花篮转运路径、放篮条件和取篮条件控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。
8.一种服务器,其特征在于,
所述服务器适于设置花篮转运路径,判断花篮转运路径是否正常,当花篮转运路径正常时生成取、放花篮的控制信号,并发送该控制信号。
9.一种花篮自由路径实现系统,其特征在于,包括:
如权利要求8所述的服务器,以及若干在线加工装置;
所述在线加工装置包括:上料台、下料台、控制模块、若干槽体,以及与控制模块电性连接的机械手和通讯模块;
所述通讯模块适于接收所述服务器发送的相应控制信号;
所述槽体适于存放清洗溶液;
所述控制模块适于根据相应的控制信号控制所述机械手取、放花篮,以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。
10.如权利要求5所述的花篮自由路径实现软件系统或如权利要求6所述的硅片自由路径离线加工装置或如权利要求8所述的服务器,其特征在于,
所述取放模块或所述控制模块或所述服务器适于采用如权利要求1-4任一项所述的花篮自由路径实现方法,实现取、放花篮。
CN202010995169.0A 2020-09-21 2020-09-21 花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统 Active CN112157655B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010995169.0A CN112157655B (zh) 2020-09-21 2020-09-21 花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010995169.0A CN112157655B (zh) 2020-09-21 2020-09-21 花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112157655A true CN112157655A (zh) 2021-01-01
CN112157655B CN112157655B (zh) 2021-09-24

Family

ID=73863034

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010995169.0A Active CN112157655B (zh) 2020-09-21 2020-09-21 花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112157655B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113084810A (zh) * 2021-04-09 2021-07-09 通威太阳能(金堂)有限公司 一种工业机器人程序逻辑防错方法
CN116394233A (zh) * 2023-01-12 2023-07-07 江苏启威星装备科技有限公司 机械臂控制方法、存储介质及电子设备
CN116666268A (zh) * 2023-05-18 2023-08-29 江苏亚电科技有限公司 一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102560498A (zh) * 2012-01-05 2012-07-11 天长吉阳新能源有限公司 一种晶体硅太阳电池去磷硅清洗液及清洗方法
CN106784161A (zh) * 2017-01-18 2017-05-31 常州捷佳创精密机械有限公司 一种perc太阳能电池的抛光刻蚀方法
CN107963416A (zh) * 2017-11-22 2018-04-27 苏州元谋智能机器人系统有限公司 一种机器人及使用该机器人进行物料运送的系统和方法
KR101942511B1 (ko) * 2018-04-11 2019-01-29 (주)앤피에스 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
CN111668139A (zh) * 2020-06-17 2020-09-15 若名芯半导体科技(苏州)有限公司 一种cmp后清洗生产线及其清洗工艺

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102560498A (zh) * 2012-01-05 2012-07-11 天长吉阳新能源有限公司 一种晶体硅太阳电池去磷硅清洗液及清洗方法
CN106784161A (zh) * 2017-01-18 2017-05-31 常州捷佳创精密机械有限公司 一种perc太阳能电池的抛光刻蚀方法
CN107963416A (zh) * 2017-11-22 2018-04-27 苏州元谋智能机器人系统有限公司 一种机器人及使用该机器人进行物料运送的系统和方法
KR101942511B1 (ko) * 2018-04-11 2019-01-29 (주)앤피에스 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
CN111668139A (zh) * 2020-06-17 2020-09-15 若名芯半导体科技(苏州)有限公司 一种cmp后清洗生产线及其清洗工艺

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113084810A (zh) * 2021-04-09 2021-07-09 通威太阳能(金堂)有限公司 一种工业机器人程序逻辑防错方法
CN116394233A (zh) * 2023-01-12 2023-07-07 江苏启威星装备科技有限公司 机械臂控制方法、存储介质及电子设备
CN116394233B (zh) * 2023-01-12 2024-03-19 江苏启威星装备科技有限公司 机械臂控制方法、存储介质及电子设备
CN116666268A (zh) * 2023-05-18 2023-08-29 江苏亚电科技有限公司 一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置
CN116666268B (zh) * 2023-05-18 2023-12-01 江苏亚电科技有限公司 一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN112157655B (zh) 2021-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112157655B (zh) 花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统
US20230067416A1 (en) Merging processing system, method and device
CN101266939B (zh) 自动化物料处理系统与方法
US6887358B2 (en) Installation for processing wafers
CN101877321B (zh) 临场检测的装置、系统、及方法
CN101231965A (zh) 晶圆制造厂及其载具传输系统和方法
KR20110097601A (ko) 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체
CN101303591A (zh) 一种实现港口自动化码头作业的控制系统及方法
CN100596080C (zh) 为测试接入设备配置标识的方法、设备和系统
JPWO2008075404A1 (ja) 半導体製造システム
CN112433122A (zh) 充电桩可用状态检测方法、装置、设备及存储介质
CN101383310B (zh) 用于生产线的管理系统和管理方法
CN112185868A (zh) 花篮路径时间预判方法、程序系统、装置、服务器和系统
KR100379847B1 (ko) 제품 웨이퍼를 포함하는 비제품 웨이퍼의 자동화 처리방법 및 시스템 및 동 방법이 기록된 기록매체
KR20190083152A (ko) 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템 및 방법
CN100499058C (zh) 配送系统
CN109712923B (zh) 一种晶圆周转装置及晶圆周转方法
CN114548708B (zh) 空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质
CN106251101A (zh) 一种货物快速转运方法
JP2008198842A (ja) 非製品ウェハのサイクル運用システム、サイクル運用方法及びコンピュータプログラム
CN113881928A (zh) 石墨舟搬运控制方法、装置、电子设备及存储介质
CN112849880B (zh) 仓储系统的管理方法、装置、控制终端及仓储系统
JP2010128907A (ja) 搬送管理システムおよび搬送管理方法
CN106911434A (zh) 数据防重传方法及系统
JP3301228B2 (ja) 製造工程における物品の工程管理方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant