CN112108949A - 一种精密轴承宽度研磨装置及其研磨方法 - Google Patents

一种精密轴承宽度研磨装置及其研磨方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及机械加工设备技术领域，且公开了一种精密轴承宽度研磨装置，包括机座，机座顶面的对角位置固定安装有支撑架，所述支撑架的底部活动安装有上磨盘，所述上磨盘的底部均匀开设有出液槽，机座顶面的中部固定安装有下磨筒，所述下磨筒内部的底部呈环状活动安装有旋转磨盘，所述旋转磨盘的顶部活动安装有与旋转齿柱齿轮外啮合的游星轮，所述下磨筒内部位于旋转磨盘与旋转齿柱之间的位置固定安装有排渣装置，所述下磨筒位于旋转磨盘中心底部的位置开设有磨盘安装孔，所述下磨筒底端的内部开设有集液腔，通过设计多个转动的旋转磨盘与旋转齿柱啮合转动和排渣装置，使得该装置具有研磨精度高、使用寿命长的优点。

Description

一种精密轴承宽度研磨装置及其研磨方法
技术领域
本发明涉及机械加工设备技术领域，具体为一种精密轴承宽度研磨装置及其研磨方法。
背景技术
轴承是机械行业中用到很多的一种零件，因为其使用方便结构简单很受欢迎，所以现在基本上机械设备都会存在轴承，但是在高精尖行业设备中对轴承的要求高，必须是精密轴承，因此对于轴承的研磨就变得尤为重要，现有的研磨机采用端面研磨机研磨轴承的宽度，其研磨方便且范围大，但是还存在着一些问题：
1、在进行研磨的时候由于在下磨盘上设置有游星轮结构，将轴承安装在其内部的孔位上进行研磨，但是这样底部的磨盘在轴向上的受摩擦情况是不同的，靠近内圈和外圈部位研磨较少这样就会导致在磨盘上产生不同部位的摩擦损耗不同，会造成磨盘的使用寿命短，同时还不利于研磨，容易造成研磨误差，这对于精密轴承来说是不允许的；
2、在研磨的过程中会产热，因此冷却液是很重要的，但是在实际中研磨会产生粉末状的小颗粒研磨粒，这种小颗粒和冷却液混和在一起处于磨盘上就会造成在研磨轴承的时候同时研磨小颗粒，不仅会损伤到轴承同时也会造成磨盘的使用寿命下降。
发明内容
针对上述背景技术的不足，本发明提供了一种精密轴承宽度研磨装置及其研磨方法，具备研磨精度高、使用寿命长的优点，解决了背景技术提出的问题。
本发明提供如下技术方案：一种精密轴承宽度研磨装置，包括机座，机座顶面的中部固定安装有下磨筒，机座顶面的对角位置固定安装有支撑架，机座顶面的一侧固定安装有电控箱，支撑架顶面的中部固定安装有气缸，机座的内部固定安装有驱动电机，所述支撑架的底部活动安装有上磨盘，所述上磨盘的底部均匀开设有出液槽，所述上磨盘的顶部固定连通有冷却管，所述下磨筒的中部活动安装有与驱动电机输出端固定连接的旋转齿柱，所述下磨筒内部的底部呈环状活动安装有旋转磨盘，所述旋转磨盘的顶部活动安装有与旋转齿柱齿轮外啮合的游星轮，所述下磨筒内部位于旋转磨盘与旋转齿柱之间的位置固定安装有排渣装置，所述下磨筒位于旋转磨盘中心底部的位置开设有磨盘安装孔，所述下磨筒底端的内部开设有集液腔。
优选的，所述上磨盘的中部开设有旋转齿柱顶部直径相同的定位套筒，相邻所述出液槽之间固定安装有磨块，所述上磨盘内部位于出液槽顶部的位置固定安装有过滤层，所述过滤层的顶部与冷却管连通，所述出液槽的顶壁开设有小孔。
优选的，所述旋转磨盘包括顶部磨盘，所述顶部磨盘的底部固定安装有中部齿轮，所述中部齿轮的底部固定安装有底板，所述底板的中部开设有活动套孔并延伸到中部齿轮内部，所述顶部磨盘、中部齿轮与底板的直径相同且厚度依次降低。
优选的，所述排渣装置的中圈呈环状开设有与旋转磨盘相贴合的磨盘槽，所述排渣装置的中部内圈开设有齿轮槽，所述排渣装置位于磨盘槽与下磨筒内壁之间的位置向中部凹陷并在中部开设有排液口，所述排液口与集液腔连通。
优选的，所述旋转齿柱外圈的顶部和中部分别设置有齿轮，且中部的齿轮与旋转磨盘啮合，顶部齿轮与游星轮啮合，所述旋转齿柱的两个齿轮之间的距离即为旋转磨盘的研磨层厚度。
优选的，所述下磨筒的内壁与安装有与游星轮啮合的齿轮环，所述旋转磨盘通过穿过磨盘安装孔套柱活动安装，相邻所述旋转磨盘之间相切。
优选的，所述游星轮的个数少于旋转磨盘的个数，所述游星轮上开设的轴承安装孔直径大于与排渣装置凹陷接触处的长度，所述出液槽的长度不小于游星轮的直径。
本发明具备以下有益效果：
1、通过在下磨筒中设计多个转动的旋转磨盘与旋转齿柱啮合转动，同时转动方向与游星轮相反，相较于现有技术来说，当旋转齿柱转动时会带动旋转磨盘在原位置做旋转，这样在研磨机工作的过程中就可以保证磨盘的各个部位受到的摩擦是均匀的，保证了磨盘使用寿命用以提高研磨的精度，同时还会与安装有齿轮的游星轮转动相反，相当于加速研磨，提高了研磨的效率。
2、通过在上磨盘上设置排状的出液口且在下磨筒中设置有排渣装置，并在下磨筒内底部开设有集液腔，相较于现有技术来说，设置的排渣装置与旋转磨盘高度相同且贴合安装，并且在排渣装置的中部开设有排液口，工作时利用游星轮的与旋转磨盘的摩擦和其旋转磨盘本身的旋转离心力将每个旋转磨盘上的冷却液都汇集到排液口，该冷却液孔含有研磨下来的小颗粒，这样可以将其去除来保护磨盘和轴承不受损伤，能更长久的使用。
附图说明
图1为本发明结构整体示意图；
图2为本发明结构整体俯视图；
图3为本发明结构整体左视图；
图4为图2中A-A剖面图；
图5为图3中B-B剖面图；
图6为图3中C-C剖面图；
图7为本发明下磨筒内部示意图；
图8为本发明下磨筒结构俯视图；
图9为图8中E-E剖面图；
图10为本发明旋转磨盘结构示意图；
图11为本发明上磨盘仰视图；
图12为图4中D处放大图。
图中：1、机座；2、下磨筒；201、磨盘安装孔；202、集液腔；3、支撑架；4、电控箱；5、气缸；6、上磨盘；601、定位套孔；602、出液槽；603、过滤层；604、磨块；7、冷却管；8、驱动电机；9、旋转齿柱；10、旋转磨盘；1001、顶部磨盘；1002、中部齿轮；1003、底板；1004、活动套孔；11、游星轮；12、排渣装置；1201、磨盘槽；1202、排液口；1203、齿轮槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-12，一种精密轴承宽度研磨装置，包括机座1，机座1顶面的中部固定安装有下磨筒2，机座1顶面的对角位置固定安装有支撑架3，机座1顶面的一侧固定安装有电控箱4，支撑架3顶面的中部固定安装有气缸5，机座1的内部固定安装有驱动电机8，支撑架3的底部活动安装有上磨盘6，上磨盘6的底部均匀开设有出液槽602，上磨盘6的顶部固定连通有冷却管7，下磨筒2的中部活动安装有与驱动电机8输出端固定连接的旋转齿柱9，下磨筒2内部的底部呈环状活动安装有旋转磨盘10，旋转磨盘10的顶部活动安装有与旋转齿柱9齿轮外啮合的游星轮11，下磨筒2内部位于旋转磨盘10与旋转齿柱9之间的位置固定安装有排渣装置12，下磨筒2位于旋转磨盘10中心底部的位置开设有磨盘安装孔201，下磨筒2底端的内部开设有集液腔202，上磨盘6的中部开设有旋转齿柱9顶部直径相同的定位套孔601，相邻出液槽602之间固定安装有磨块604，上磨盘6内部位于出液槽602顶部的位置固定安装有过滤层603，过滤层603的顶部与冷却管7连通，出液槽602的顶壁开设有小孔，旋转磨盘10包括顶部磨盘1001，顶部磨盘1001的底部固定安装有中部齿轮1002，中部齿轮1002的底部固定安装有底板1003，底板1003的中部开设有活动套孔1004并延伸到中部齿轮1002内部，顶部磨盘1001、中部齿轮1002与底板1003的直径相同且厚度依次降低，中部齿轮1002起到驱动作用，顶部磨盘1001负责研磨轴承，底板1003起到支撑稳定的作用，不同厚度可以更利于在一定的总厚度情况下最大的发挥各部分作用。
其中，排渣装置12的中圈呈环状开设有与旋转磨盘10相贴合的磨盘槽1201，排渣装置12的中部内圈开设有齿轮槽1203，排渣装置12位于磨盘槽1201与下磨筒2内壁之间的位置向中部凹陷并在中部开设有排液口1202，排液口1202与集液腔202连通，通过将旋转磨盘10与轴承摩擦后含有小颗粒的冷却液汇集起来，起到保护的作用同时还能避免冷却液的积累。
其中，旋转齿柱9外圈的顶部和中部分别设置有齿轮，且中部的齿轮与旋转磨盘10啮合，顶部齿轮与游星轮11啮合，旋转齿柱9的两个齿轮之间的距离即为旋转磨盘10的研磨层厚度，利用两个齿轮分别带动游星轮11和旋转磨盘10转动，下磨筒2的内壁与安装有与游星轮11啮合的齿轮环，旋转磨盘10通过穿过磨盘安装孔201套柱活动安装，游星轮11是随着旋转齿柱9转动做环周运动的，而旋转磨盘10与其转动相反，可以增加旋转磨盘10与游星轮11上安装的轴承之间的研磨强度，提高研磨效率，相邻旋转磨盘10之间相切，最大化利用下磨筒2内部的空间。
其中，游星轮11的个数少于旋转磨盘10的个数，保证游星轮11不会与旋转磨盘10产生相同的旋转周期，更利于研磨的均匀性，游星轮11上开设的轴承安装孔直径大于与排渣装置12凹陷接触处的长度，防止在经过排渣装置12时造成轴承脱落，出液槽602的长度不小于游星轮11的直径，保证游星轮11上的轴承都可以受到冷却液冷却。
研磨方法步骤为：
S1、将轴承安装好在游星轮11上，并将游星轮放置到下磨筒2内的旋转磨盘10上并与旋转齿柱9啮合；
S2、控制上磨盘6下压到游星轮11表面上，启动驱动电机8并在工作中保持冷却管7通入冷却液；
S3、研磨完毕后关闭驱动电机8和冷却管7，抬升上磨盘6并取出研磨后的轴承，之后再清理整个装置。
工作原理，使用前先检查装置设备完好性，然后将需要研磨的轴承工件安装到游星轮11上的安装孔内，然后将游星轮11按照与旋转齿柱9啮合的方式均匀的安装到旋转磨盘10上，之后通过电控箱4控制上磨盘6下压到游星轮11上，启动驱动电机8带动旋转齿柱9转动，旋转齿柱9带动旋转磨盘10和游星轮11转动，旋转磨盘10与轴承端面摩擦，同时在冷却管7中输入冷却液并通过过滤层603从出液槽602排出到旋转磨盘10与轴承上进行冷却，游星轮11转动和旋转磨盘10自身转动会将混和有摩擦下来小颗粒的冷却液排到排渣装置12上，并通过排液口1202排入到集液腔202中，保证旋转磨盘10与轴承更好的研磨，研磨完成后停止驱动电机8和关闭冷却管7输入，抬升上磨盘6并从游星轮11上取下研磨后轴承即可，之后对装置进行清理。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种精密轴承宽度研磨装置，包括机座(1)，机座(1)顶面的中部固定安装有下磨筒(2)，机座(1)顶面的对角位置固定安装有支撑架(3)，机座(1)顶面的一侧固定安装有电控箱(4)，支撑架(3)顶面的中部固定安装有气缸(5)，机座(1)的内部固定安装有驱动电机(8)，其特征在于：所述支撑架(3)的底部活动安装有上磨盘(6)，所述上磨盘(6)的底部均匀开设有出液槽(602)，所述上磨盘(6)的顶部固定连通有冷却管(7)，所述下磨筒(2)的中部活动安装有与驱动电机(8)输出端固定连接的旋转齿柱(9)，所述下磨筒(2)内部的底部呈环状活动安装有旋转磨盘(10)，所述旋转磨盘(10)的顶部活动安装有与旋转齿柱(9)齿轮外啮合的游星轮(11)，所述下磨筒(2)内部位于旋转磨盘(10)与旋转齿柱(9)之间的位置固定安装有排渣装置(12)，所述下磨筒(2)位于旋转磨盘(10)中心底部的位置开设有磨盘安装孔(201)，所述下磨筒(2)底端的内部开设有集液腔(202)。
2.根据权利要求1所述的一种精密轴承宽度研磨装置，其特征在于：所述上磨盘(6)的中部开设有旋转齿柱(9)顶部直径相同的定位套孔(601)，相邻所述出液槽(602)之间固定安装有磨块(604)，所述上磨盘(6)内部位于出液槽(602)顶部的位置固定安装有过滤层(603)，所述过滤层(603)的顶部与冷却管(7)连通，所述出液槽(602)的顶壁开设有小孔。
3.根据权利要求1所述的一种精密轴承宽度研磨装置，其特征在于：所述旋转磨盘(10)包括顶部磨盘(1001)，所述顶部磨盘(1001)的底部固定安装有中部齿轮(1002)，所述中部齿轮(1002)的底部固定安装有底板(1003)，所述底板(1003)的中部开设有活动套孔(1004)并延伸到中部齿轮(1002)内部，所述顶部磨盘(1001)、中部齿轮(1002)与底板(1003)的直径相同且厚度依次降低。
4.根据权利要求1所述的一种精密轴承宽度研磨装置，其特征在于：所述排渣装置(12)的中圈呈环状开设有与旋转磨盘(10)相贴合的磨盘槽(1201)，所述排渣装置(12)的中部内圈开设有齿轮槽(1203)，所述排渣装置(12)位于磨盘槽(1201)与下磨筒(2)内壁之间的位置向中部凹陷并在中部开设有排液口(1202)，所述排液口(1202)与集液腔(202)连通。
5.根据权利要求1所述的一种精密轴承宽度研磨装置，其特征在于：所述旋转齿柱(9)外圈的顶部和中部分别设置有齿轮，且中部的齿轮与旋转磨盘(10)啮合，顶部齿轮与游星轮(11)啮合，所述旋转齿柱(9)的两个齿轮之间的距离即为旋转磨盘(10)的研磨层厚度。
6.根据权利要求1所述的一种精密轴承宽度研磨装置，其特征在于：所述下磨筒(2)的内壁与安装有与游星轮(11)啮合的齿轮环，所述旋转磨盘(10)通过穿过磨盘安装孔(201)套柱活动安装，相邻所述旋转磨盘(10)之间相切。
7.根据权利要求1所述的一种精密轴承宽度研磨装置，其特征在于：所述游星轮(11)的个数少于旋转磨盘(10)的个数，所述游星轮(11)上开设的轴承安装孔直径大于与排渣装置(12)凹陷接触处的长度，所述出液槽(602)的长度不小于游星轮(11)的直径。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112935996A (zh) * 2021-01-29 2021-06-11 温州市全越科技有限公司 光学镜片高精度抛光机及其上研磨装置
CN112959170A (zh) * 2021-01-29 2021-06-15 温州市全越科技有限公司 光学镜片高精度抛光机及其减震机构和上研磨装置
CN113458886A (zh) * 2021-07-14 2021-10-01 赣州天文磁业有限公司 一种磁体生产用节能环保型研磨设备
CN114700870A (zh) * 2022-03-01 2022-07-05 西南交通大学 一种轴承套圈接触式超精密化学机械抛光装置及方法
CN114905405A (zh) * 2022-05-27 2022-08-16 杨博 一种精密轴承宽度研磨装置及其研磨方法

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH443044A (de) * 1964-12-09 1967-08-31 Speedfam Corp Läppvorrichtung
FR2232085A1 (zh) * 1973-05-29 1974-12-27 Rca Corp
US4020600A (en) * 1976-08-13 1977-05-03 Spitfire Tool & Machine Co., Inc. Polishing fixture
CN2659632Y (zh) * 2003-12-16 2004-12-01 汪开庆 光学研磨机
KR20050010261A (ko) * 2003-07-18 2005-01-27 매그나칩 반도체 유한회사 화학적 기계적 연마 장치 및 이를 이용한 연마 방법
CN1745970A (zh) * 2004-09-10 2006-03-15 卢建伟 平行平面研磨机
JP2008055601A (ja) * 2007-11-20 2008-03-13 Tsc:Kk 両面研磨装置
CN101223006A (zh) * 2005-07-19 2008-07-16 信越半导体股份有限公司 晶片的双面研磨方法
DE102008063228A1 (de) * 2008-12-22 2010-06-24 Peter Wolters Gmbh Vorrichtung zur beidseitigen schleifenden Bearbeitung flacher Werkstücke
CN102172885A (zh) * 2011-01-31 2011-09-07 北京通美晶体技术有限公司 衬底的抛光装置及其抛光的衬底
CN206519818U (zh) * 2017-02-28 2017-09-26 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 单面抛光机的驱动结构
CN207578125U (zh) * 2017-12-14 2018-07-06 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 一种多盘面单面抛光机或研磨机的下盘驱动结构
CN208019989U (zh) * 2018-03-20 2018-10-30 深圳市德治鑫自动化设备有限公司 一种3d研磨设备的等分研磨盘
CN210678282U (zh) * 2019-09-24 2020-06-05 常州泰捷防雷科技有限公司 一种研磨机

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH443044A (de) * 1964-12-09 1967-08-31 Speedfam Corp Läppvorrichtung
FR2232085A1 (zh) * 1973-05-29 1974-12-27 Rca Corp
US4020600A (en) * 1976-08-13 1977-05-03 Spitfire Tool & Machine Co., Inc. Polishing fixture
KR20050010261A (ko) * 2003-07-18 2005-01-27 매그나칩 반도체 유한회사 화학적 기계적 연마 장치 및 이를 이용한 연마 방법
CN2659632Y (zh) * 2003-12-16 2004-12-01 汪开庆 光学研磨机
CN1745970A (zh) * 2004-09-10 2006-03-15 卢建伟 平行平面研磨机
CN101223006A (zh) * 2005-07-19 2008-07-16 信越半导体股份有限公司 晶片的双面研磨方法
JP2008055601A (ja) * 2007-11-20 2008-03-13 Tsc:Kk 両面研磨装置
DE102008063228A1 (de) * 2008-12-22 2010-06-24 Peter Wolters Gmbh Vorrichtung zur beidseitigen schleifenden Bearbeitung flacher Werkstücke
CN102172885A (zh) * 2011-01-31 2011-09-07 北京通美晶体技术有限公司 衬底的抛光装置及其抛光的衬底
CN206519818U (zh) * 2017-02-28 2017-09-26 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 单面抛光机的驱动结构
CN207578125U (zh) * 2017-12-14 2018-07-06 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 一种多盘面单面抛光机或研磨机的下盘驱动结构
CN208019989U (zh) * 2018-03-20 2018-10-30 深圳市德治鑫自动化设备有限公司 一种3d研磨设备的等分研磨盘
CN210678282U (zh) * 2019-09-24 2020-06-05 常州泰捷防雷科技有限公司 一种研磨机

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112935996A (zh) * 2021-01-29 2021-06-11 温州市全越科技有限公司 光学镜片高精度抛光机及其上研磨装置
CN112959170A (zh) * 2021-01-29 2021-06-15 温州市全越科技有限公司 光学镜片高精度抛光机及其减震机构和上研磨装置
CN113458886A (zh) * 2021-07-14 2021-10-01 赣州天文磁业有限公司 一种磁体生产用节能环保型研磨设备
CN114700870A (zh) * 2022-03-01 2022-07-05 西南交通大学 一种轴承套圈接触式超精密化学机械抛光装置及方法
CN114700870B (zh) * 2022-03-01 2023-01-31 西南交通大学 一种轴承套圈接触式超精密化学机械抛光装置及方法
CN114905405A (zh) * 2022-05-27 2022-08-16 杨博 一种精密轴承宽度研磨装置及其研磨方法

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