CN112032022A - 一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种无死角吹扫气体的干式真空泵，属于真空泵设备技术领域，该无死角吹扫气体的干式真空泵包括底板，底板的上端左右两部均固定有侧板，两个侧板之间设有真空泵主体，真空泵主体的前后两端均开设有两个排气口，多个排气口内均螺纹连接有闭合塞，两个真空泵主体的左右两侧均设有固定机构，两组固定机构均与真空泵主体之间连接以实现将真空泵主体固定于两个侧板之间，真空泵主体的上端连接有进气管，进气管上固定安装有电磁阀，进气管的另一端固定连通有抽气软管；旨在解决现有技术中的吹扫气体时不能做到无死角，使得真空泵内部分位置无法吹扫到，从而使得吹扫效果大大降低，同时其智能化低、操作繁琐，极其不便捷的问题。

Description

一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法

技术领域

本发明属于真空泵设备技术领域，具体涉及一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

经过检索发现，在授权公告号为“CN110953153A”的中国专利中公开了一种干式初级真空泵，存在以下缺点：该专利进行吹扫气体时不能做到无死角，使得真空泵内部分位置无法吹扫到，从而使得吹扫效果大大降低，同时其智能化低、操作繁琐，极其不便捷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法，旨在解决现有技术中的吹扫气体时不能做到无死角，使得真空泵内部分位置无法吹扫到，从而使得吹扫效果大大降低，同时其智能化低、操作繁琐，极其不便捷的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种无死角吹扫气体的干式真空泵，包括底板，所述底板的上端左右两部均固定有侧板，两个所述侧板之间设有真空泵主体，所述真空泵主体的前后两端均开设有两个排气口，多个所述排气口内均螺纹连接有闭合塞，两个所述真空泵主体的左右两侧均设有固定机构，两组所述固定机构均与真空泵主体之间连接以实现将真空泵主体固定于两个侧板之间，所述真空泵主体的上端连接有进气管，所述进气管上固定安装有电磁阀，所述进气管的另一端固定连通有抽气软管，所述真空泵主体的后侧设有夹持机构，所述夹持机构用于固定抽气软管，所述底板的前端固定有第三支撑板，所述第三支撑板的上端固定有第二气体存储罐和第一气体存储罐，所述底板的上端前部固定有中转箱，所述中转箱内设有气泵，所述中转箱的圆周表面左右两侧均固定有排气管和进气口，两个所述排气管和进气口的表面均安装有锁紧帽，所述中转箱与第一气体存储罐之间通过连通管插入连接进气口内连通，所述真空泵主体的内部开设有吹扫腔室，所述吹扫腔室的前内壁上固定安装有固定管道，所述固定管道贯穿真空泵主体的前端，所述中转箱与真空泵主体之间通过中转管插入固定管道内连通，所述中转管的圆周表面设有锁紧机构，所述吹扫腔室内自上而下依次设有吹扫机构和监控机构，所述吹扫机构与固定管道之间连接，所述真空泵主体的左侧设有控制机构，所述控制机构用于控制本装置的运行，所述底板的下侧设有多组支撑移动机构。

作为本发明一种优选的方案，所述吹扫机构包括出气管和第一伺服电机，所述第一伺服电机的下端固定有第二支撑板，所述第二支撑板与两个侧板之间均固定，所述出气管转动连接于吹扫腔室的前后内壁之间，且出气管与固定管道之间连通，所述出气管的后端贯穿真空泵主体的后端并与第一伺服电机的输出轴之间固定，所述出气管的圆周表面上下两侧均开设有多个均匀分布的出气管。

作为本发明一种优选的方案，所述锁紧机构包括锁紧栓和第一限位块，所述第一限位块固定于中转管靠近固定管道一侧的圆周表面，所述锁紧栓滑动连接于中转管的圆周表面，所述锁紧栓的内直径小于第一限位块的外直径，所述锁紧栓螺纹连接于固定管道内。

作为本发明一种优选的方案，所述监控机构包括第二伺服电机、丝杆、丝杆螺母、监控探针和连接杆，所述连接杆和监控探针均设有两个，所述丝杆转动连接于吹扫腔室的左右内壁之间，且丝杆的右端贯穿真空泵主体的右端并与第二伺服电机的输出轴之间固定，所述第二伺服电机的下端固定有第三支撑板，且第三支撑板与真空泵主体之间固定，所述丝杆螺母螺纹配合于丝杆的圆周表面，且丝杆位于出气管的上侧，两个所述连接杆分别固定于丝杆螺母的前后两端，两个所述监控探针分别固定于两个监控探针的上端。

作为本发明一种优选的方案，所述吹扫腔室的前后内壁均开设有T形滑槽，两个所述连接杆的前后两端均固定有T型滑块，两个所述T型滑块分别滑动连接于两个T形滑槽内。

作为本发明一种优选的方案，所述控制机构包括U形固定板第一支撑板、控制台、PLC控制、可编程摇杆控制器和指示灯，所述U形固定板第一支撑板固定于其中一个侧板的左端，所述U形固定板第一支撑板和第二支撑板的下端均固定有两个斜撑杆，多个所述第二支撑板分别与两个侧板之间固定，所述控制台固定于U形固定板第一支撑板的上端，所述PLC控制、可编程摇杆控制器和指示灯依次固定于控制台的上端，所述控制台上安装有显示屏，所述显示屏与两个监控探针之间均信号连接，所述PLC控制与第一伺服电机、电磁阀和气泵之间均电性连接，所述吹扫腔室的下内壁固定有工作感应器，所述工作感应器与指示灯之间电性连接，所述可编程摇杆控制器与第二伺服电机之间电性连接。

作为本发明一种优选的方案，每组所述固定机构均包括U形固定板、条形固定板和螺栓，所述螺栓设有两个，所述U形固定板与其中一个侧板之间固定，所述条形固定板嵌入U形固定板内，所述U形固定板和条形固定板的上端均开设有两个相对应的螺纹孔，两个所述螺栓分别螺纹连接位于同一位置的两个螺纹孔内。

作为本发明一种优选的方案，所述夹持机构包括第二限位块、固定块和U形弹性夹持块，所述第二限位块固定于抽气软管的圆周表面，所述固定块固定于真空泵主体的后端，所述U形弹性夹持块固定于固定块的前端，所述抽气软管卡接于U形弹性夹持块内，所述第二限位块的直径大于U形弹性夹持块的直径。

作为本发明一种优选的方案，所述支撑移动机构设有五组，且五组支撑移动移动分别位于底板的下端四角处和第三支撑板的下端，每组所述支撑移动机构均包括万向轮和支撑脚，所述支撑脚与底板或第三支撑板之间固定，所述支撑脚转动连接于万向轮的下端。

作为本发明一种优选的方案，一种无死角吹扫气体的干式真空泵的使用方法，包括如下步骤：

S1：选择吹扫气体：首先将锁紧栓螺纹连接于固定管道内，使得锁紧栓将中转管固定在固定管道内，并通过固定管道与出气管之间连通，然后将连通管的两端分别与中转箱和第一气体存储罐之间连通，使得中转箱内连通有吹扫气体的储存罐；

S2：吹扫气体：当真空泵主体内需要吹扫气体时，首先打开闭合塞，使得排气口可以排气，然后通过启动PLC控制，当PLC控制发出指令后，PLC控制控制电磁阀关闭，使得真空泵主体无法对其他腔室进行抽真空，同时PLC控制控制第一伺服电机和气泵启动，此时气泵将中转箱内气体通过中转管运输至出气管内，并通过出气管吹扫至真空泵主体内，当第一伺服电机启动后，第一伺服电机通过其输出轴带动出气管转动，使得从出气管内出来的气体吹扫至真空泵主体内的各个角落，并从排气口处排出；

S3：实时监控：此时通过启动可编程摇杆控制器，使得可编程摇杆控制器控制第二伺服电机正转或者反转，当第二伺服电机转动时，其输出轴带动丝杆转动，丝杆带动丝杆螺母做左右直线运动，此时丝杆螺母通过两个连接杆分别带动两个监控探针左右移动，使得监控探针对真空泵主体内进行实时监测，并将监控的画面通过控制台上的显示屏呈现出来，确定真空泵主体内是否有位置未吹扫干净，从而通过控制台控制气泵的功率，选择是否需要加大吹扫力度；从而实现了对真空泵主体内进行智能化吹扫智，且无死角。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本方案中通过设有的吹扫机构，使得气体进入真空泵主体内时，通过多个出气管从出气管的上下方喷射至真空泵主体内，同时通过第一伺服电机转动，带动出气管转动，使得出气管在喷射气体旋转，从而使得气体喷射时更全面，不易有死角喷射不到，从而使得气体吹扫时效果更好；同时通过设有的监控机构，通过第二伺服电机启动后，带动丝杆转动，丝杆使得丝杆螺母做左右直线运动，从而使得丝杆螺母带动两个监控探针左右移动，通过设有的两个监控探针，使得监控探针能够对真空泵主体内进行无死角监控，并通过控制台上的显示屏显示出来，使得工作人员能够更直观的看到真空泵主体内吹扫情况，从而根据实际情况选择是否加大气体吹扫的力度，使得资源不易浪费，且吹扫干净，从而使得真空泵主体的使用寿命大大增加。

2、本方案中通过设有的第一气体存储罐和第二气体存储罐，使得真空泵主体在对不同腔室进行抽真空后，可以根据真空泵主体内遗留尾气的特性选择不同的吹扫气体，通过中转箱与不同的气体存储罐连接，使得真空泵主体内进入的气体能够更好地与真空泵主体内滞留的尾气进行反应，从而使得尾气能够更好地排出，效率更高。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的第一立体图；

图2为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的第一剖视图；

图3为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的图2图中A处的局部放大图；

图4为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的第二剖视图；

图5为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的监控机构处的局部立体图；

图6为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的后视立体图；

图7为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的图6中B处的局部放大图

图8为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的侧剖图；

图9为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的仰视图；

图10为本发明一种无死角吹扫气体的干式真空泵的第二立体图。

图中：1-侧板；2-底板；3-真空泵主体；4-U形固定板；5-第一支撑板；6-控制台；7-PLC控制；8-可编程摇杆控制器；9-指示灯；10-第一伺服电机；11-第二支撑板；111-斜撑杆；12-进气管；13-电磁阀；14-抽气软管；141-第二限位块；142-固定块；143-U形弹性夹持块；15-排气口；151-闭合塞；16-第三支撑板；17-第一气体存储罐；18-第二气体存储罐；19-第二伺服电机；191-第三支撑板；20-吹扫腔室；21-T形滑槽；22-T型滑块；23-丝杆；231-丝杆螺母；24-出气管；25-出气孔；26-工作感应器；27-排气管；271-锁紧帽；28-进气口；29-连通管；30-中转箱；31-中转管；32-锁紧栓；33-第一限位块；34-固定管道；35-万向轮；351-支撑脚；36-连接杆；37-监控探针；38-条形固定板；39-螺栓。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅图1-10，本发明提供以下技术方案：

一种无死角吹扫气体的干式真空泵，包括底板2，底板2的上端左右两部均固定有侧板1，两个侧板1之间设有真空泵主体3，真空泵主体3的前后两端均开设有两个排气口15，多个排气口15内均螺纹连接有闭合塞151，两个真空泵主体3的左右两侧均设有固定机构，两组固定机构均与真空泵主体3之间连接以实现将真空泵主体3固定于两个侧板1之间，真空泵主体3的上端连接有进气管12，进气管12上固定安装有电磁阀13，进气管12的另一端固定连通有抽气软管14，真空泵主体3的后侧设有夹持机构，夹持机构用于固定抽气软管14，底板2的前端固定有第三支撑板16，第三支撑板16的上端固定有第二气体存储罐18和第一气体存储罐17，底板2的上端前部固定有中转箱30，中转箱30内设有气泵，中转箱30的圆周表面左右两侧均固定有排气管27和进气口28，两个排气管27和进气口28的表面均安装有锁紧帽271，中转箱30与第一气体存储罐17之间通过连通管29插入连接进气口28内连通，真空泵主体3的内部开设有吹扫腔室20，吹扫腔室20的前内壁上固定安装有固定管道34，固定管道34贯穿真空泵主体3的前端，中转箱30与真空泵主体3之间通过中转管31插入固定管道34内连通，中转管31的圆周表面设有锁紧机构，吹扫腔室20内自上而下依次设有吹扫机构和监控机构，吹扫机构与固定管道34之间连接，真空泵主体3的左侧设有控制机构，控制机构用于控制本装置的运行，底板2的下侧设有多组支撑移动机构。

在本发明的具体实施例中，本方案中底板2起到支撑侧板1的作用，侧板1起到固定U形固定板4的作用，通过设有的两个U形固定板4，使得真空泵主体3通过其两端固定有的条形固定板38能够刚好嵌入两个U形固定板4的槽内，然后通过螺栓39将条形固定板38与U形固定板4之间固定，从而使得真空泵主体3被固定住且固定稳固；优选的真空泵主体3的内壁涂抹有三氧化二钇涂层，三氧化二钇涂层用于防止真空泵6内壁磨损，排气口15起到吹扫气体将真空泵主体3内滞留的尾气排出的左右，闭合塞151起到在不需要排出尾气时将排气口15堵住的左右，优选的在闭合塞151的表面上套有密封圈，使得封闭效果更好；抽气软管14用于真空泵主体3对其他反应腔室抽真空的作用，电磁阀13起到在进行需要吹扫气体时将进气管12关闭的作用，使得抽气软管14无法将尾气输入真空泵主体3内；夹持机构用于固定抽气软管14，使得抽气软管14不易脱落损坏，中转箱30用于连接不同的气体存储罐，本装置中第一气体存储罐17内为氮气，第二气体存储罐18内为酸性气体，可以根据不同尾气放置不同气体储存罐，将不同气体导入中转管31内，中转管31用于连通中转箱30与真空泵主体3的作用，优选的，中转管31得内安装有加热丝，使得输入的气体温度提高，从而使得真空泵主体3内滞留的气体不易冷凝呈颗粒状，便于气体吹扫出去，进气口28用于连接连通管29的作用，排气管27用于将中转箱30内输入一种气体时，先将另一种气体排出的作用，使得不同气体不易在中转箱30内进行反应，固定管道34用于连通中转管31和出气管24之间的左右，使得吹扫气体能够进入真空泵主体3内，锁紧机构用于将中转管31与固定管道34之间，吹扫机构用于使得真空泵主体3内吹扫气体时无死角，使得气体进入真空泵主体3内时，通过多个出气管25从出气管24的上下方喷射至真空泵主体3内，同时通过第一伺服电机10转动，带动出气管24转动，使得出气管25在喷射气体旋转，从而使得气体喷射时更全面，不易有死角喷射不到，从而使得气体吹扫时效果更好；监控机构用于监控真空泵主体3气体吹扫情况，通过第二伺服电机19启动后，带动丝杆23转动，丝杆23使得丝杆螺母231做左右直线运动，从而使得丝杆螺母231带动两个监控探针37左右移动，通过设有的两个监控探针37，使得监控探针37能够对真空泵主体3内进行无死角监控，并通过控制台6上的显示屏显示出来，使得工作人员能够更直观的看到真空泵主体3内吹扫情况，从而根据实际情况选择是否加大气体吹扫的力度，使得资源不易浪费，且吹扫干净；控制机构用于控制本装置的运行，使得本装置更加智能化，支撑移动用于连接第三支撑板16和底板2，使得本装置便于移动；对于本领域技术人员而言，真空泵主体3、第一伺服电机10、第二伺服电机19、气泵、工作感应器26、PLC控制7、可编程摇杆控制器8和指示灯9均为现有技术，不作过多赘述。

具体的请参阅图2和图3，吹扫机构包括出气管24和第一伺服电机10，第一伺服电机10的下端固定有第二支撑板11，第二支撑板11与两个侧板1之间均固定，出气管24转动连接于吹扫腔室20的前后内壁之间，且出气管24与固定管道34之间连通，出气管24的后端贯穿真空泵主体3的后端并与第一伺服电机10的输出轴之间固定，出气管24的圆周表面上下两侧均开设有多个均匀分布的出气管25。

本实施例中：本装置通过设有的吹扫机构，使得真空泵主体3内气体吹扫时不易有死角。

具体的请参阅图3，锁紧机构包括锁紧栓32和第一限位块33，第一限位块33固定于中转管31靠近固定管道34一侧的圆周表面，锁紧栓32滑动连接于中转管31的圆周表面，锁紧栓32的内直径小于第一限位块33的外直径，锁紧栓32螺纹连接于固定管道34内。

本实施例中：本装置中通过设有的锁紧机构，使得锁紧栓32螺纹连接至固定管道34内时，锁紧栓32在中转管31的表面滑动，并带动第一限位块33插入固定管道34内，从而使得中转管31插入固定管道34内并固定稳固。

具体的请参阅图4和图5，监控机构包括第二伺服电机19、丝杆23、丝杆螺母231、监控探针37和连接杆36，连接杆36和监控探针37均设有两个，丝杆23转动连接于吹扫腔室20的左右内壁之间，且丝杆23的右端贯穿真空泵主体3的右端并与第二伺服电机19的输出轴之间固定，第二伺服电机19的下端固定有第三支撑板191，且第三支撑板191与真空泵主体3之间固定，丝杆螺母231螺纹配合于丝杆23的圆周表面，且丝杆23位于出气管24的上侧，两个连接杆36分别固定于丝杆螺母231的前后两端，两个监控探针37分别固定于两个监控探针37的上端。

本实施例中：本装置通过设有监控机构，由于监控机构中的监控探针37与控制台6上的显示屏信号连接，使得监控探针37能够将真空泵主体3内的吹扫情况实时反馈至显示屏，从而使得工作人员能够更直观的看到真空泵主体3内吹扫情况，从而根据实际情况选择是否加大气体吹扫的力度，使得资源不易浪费，且吹扫干净，同时通过设有的两个监控探针37，使得监控探针37对真空泵主体3内全方位监控，不易有死角，优选的监控探针37上具有探照灯。

具体的请参阅图4，吹扫腔室20的前后内壁均开设有T形滑槽21，两个连接杆36的前后两端均固定有T型滑块22，两个T型滑块22分别滑动连接于两个T形滑槽21内。

本实施例中：本装置通过设有的吹扫腔室20和T形滑槽21，当丝杆23转动时带动丝杆螺母231做左右直线运动时，丝杆螺母231通过连接杆36带动T形滑槽21在吹扫腔室20内滑动，使得丝杆螺母231左右移动时更稳定，从而使得监控探针37在进行监控时更稳定。

具体的请参阅图10，控制机构包括U形固定板第一支撑板5、控制台6、PLC控制7、可编程摇杆控制器8和指示灯9，U形固定板第一支撑板5固定于其中一个侧板1的左端，U形固定板第一支撑板5和第二支撑板11的下端均固定有两个斜撑杆111，多个第二支撑板11分别与两个侧板1之间固定，控制台6固定于U形固定板第一支撑板5的上端，PLC控制7、可编程摇杆控制器8和指示灯9依次固定于控制台6的上端，控制台6上安装有显示屏，显示屏与两个监控探针37之间均信号连接，PLC控制7与第一伺服电机10、电磁阀13和气泵之间均电性连接，吹扫腔室20的下内壁固定有工作感应器26，工作感应器26与指示灯9之间电性连接，可编程摇杆控制器8与第二伺服电机19之间电性连接。

本实施例中：本装置通过设有的控制装置，当需要对真空泵主体3内进行吹扫时，通过启动控制台6，控制台6控制第一伺服电机10、PLC控制7和气泵启动，使得本装置操作便捷，不需要人工一个个进行操作，效率更高，同时通过设有的工作感应器26与指示灯9之间电性连接，当真空泵主体3内电器元件正常运行时，指示灯9亮起绿灯表示正常工作，当真空泵主体3电器元件不工作时，通过工作感应器26感应将信息传输指示灯9，指示灯9亮起红灯表示故障，使得工作人员能够及时进行维修，通过可编程摇杆控制器8能够控制第二伺服电机19进行正转或者反转，从而使得监控探针37能够来回监控真空泵主体3内吹扫情况。

具体的请参阅图8，每组固定机构均包括U形固定板4、条形固定板38和螺栓39，螺栓39设有两个，U形固定板4与其中一个侧板1之间固定，条形固定板38嵌入U形固定板4内，U形固定板4和条形固定板38的上端均开设有两个相对应的螺纹孔，两个螺栓39分别螺纹连接位于同一位置的两个螺纹孔内。

本实施例中：本装置通过设有的固定机构，使得真空泵主体3通过两个条形固定板38嵌入两个U形固定板4上端的凹槽内，便于螺栓39螺纹连接至螺纹孔内固定，从而使得真空泵主体3固定稳固。

具体的请参阅图6和图7，夹持机构包括第二限位块141、固定块142和U形弹性夹持块143，第二限位块141固定于抽气软管14的圆周表面，固定块142固定于真空泵主体3的后端，U形弹性夹持块143固定于固定块142的前端，抽气软管14卡接于U形弹性夹持块143内，第二限位块141的直径大于U形弹性夹持块143的直径。

本实施例中：本装置通过设有的夹持，使得抽气软管14可以卡接入U形弹性夹持块143内，通过第二限位块141的直径大于U形弹性夹持块143的直径，使得第二限位块141被U形弹性夹持块143挡住无法下滑，从而使得抽气软管14被夹持住不易掉落。

具体的请参阅图9，支撑移动机构设有五组，且五组支撑移动移动分别位于底板2的下端四角处和第三支撑板16的下端，每组支撑移动机构均包括万向轮35和支撑脚351，支撑脚351与底板2或第三支撑板16之间固定，支撑脚351转动连接于万向轮35的下端。

本实施例中：本装置通过设有的五组支撑移动机构，使得本装置更稳定，251使得本装置便于移动。

一种无死角吹扫气体的干式真空泵的使用方法，包括如下步骤：

S1：选择吹扫气体：首先将锁紧栓32螺纹连接于固定管道34内，使得锁紧栓32将中转管31固定在固定管道34内，并通过固定管道34与出气管24之间连通，然后将连通管29的两端分别与中转箱30和第一气体存储罐17之间连通，使得中转箱30内连通有吹扫气体的储存罐；

S2：吹扫气体：当真空泵主体3内需要吹扫气体时，首先打开闭合塞151，使得排气口15可以排气，然后通过启动PLC控制7，当PLC控制7发出指令后，PLC控制7控制电磁阀13关闭，使得真空泵主体3无法对其他腔室进行抽真空，同时PLC控制7控制第一伺服电机10和气泵启动，此时气泵将中转箱30内气体通过中转管31运输至出气管24内，并通过出气管25吹扫至真空泵主体3内，当第一伺服电机10启动后，第一伺服电机10通过其输出轴带动出气管24转动，使得从出气管25内出来的气体吹扫至真空泵主体3内的各个角落，并从排气口15处排出；

S3：实时监控：此时通过启动可编程摇杆控制器8，使得可编程摇杆控制器8控制第二伺服电机19正转或者反转，当第二伺服电机19转动时，其输出轴带动丝杆23转动，丝杆23带动丝杆螺母231做左右直线运动，此时丝杆螺母231通过两个连接杆36分别带动两个监控探针37左右移动，使得监控探针37对真空泵主体3内进行实时监测，并将监控的画面通过控制台6上的显示屏呈现出来，确定真空泵主体3内是否有位置未吹扫干净，从而通过控制台6控制气泵的功率，选择是否需要加大吹扫力度；从而实现了对真空泵主体3内进行智能化吹扫智，且无死角。

实施例2：

实施例1与实施例2的结构完全相同，不同之处在于实施例2中当真空泵主体3内吹扫气体需要为酸性时，将锁紧栓32首先断开与固定管道34之间的连接，然后将连通管29与第一气体存储罐17之间断开连接，并将中转箱30内存在气体通过两个排气管27排出，排出后通过锁紧帽271将排气管27封闭，然后将锁紧栓32螺纹连接至固定管道34内，使得中转管31与固定管道34之间连通，在将连通管29与中转箱30和第二气体存储罐18之间分别连接，使得第二气体存储罐18与中转箱30之间连通，从而使得对真空泵主体3内吹扫的气体改为酸性气体，使得吹扫气体能够在真空泵主体3内更好地发生反应，使得吹扫效率更高效。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：包括底板(2)，所述底板(2)的上端左右两部均固定有侧板(1)，两个所述侧板(1)之间设有真空泵主体(3)，所述真空泵主体(3)的前后两端均开设有两个排气口(15)，多个所述排气口(15)内均螺纹连接有闭合塞(151)，两个所述真空泵主体(3)的左右两侧均设有固定机构，两组所述固定机构均与真空泵主体(3)之间连接以实现将真空泵主体(3)固定于两个侧板(1)之间，所述真空泵主体(3)的上端连接有进气管(12)，所述进气管(12)上固定安装有电磁阀(13)，所述进气管(12)的另一端固定连通有抽气软管(14)，所述真空泵主体(3)的后侧设有夹持机构，所述夹持机构用于固定抽气软管(14)，所述底板(2)的前端固定有第三支撑板(16)，所述第三支撑板(16)的上端固定有第二气体存储罐(18)和第一气体存储罐(17)，所述底板(2)的上端前部固定有中转箱(30)，所述中转箱(30)内设有气泵，所述中转箱(30)的圆周表面左右两侧均固定有排气管(27)和进气口(28)，两个所述排气管(27)和进气口(28)的表面均安装有锁紧帽(271)，所述中转箱(30)与第一气体存储罐(17)之间通过连通管(29)插入连接进气口(28)内连通，所述真空泵主体(3)的内部开设有吹扫腔室(20)，所述吹扫腔室(20)的前内壁上固定安装有固定管道(34)，所述固定管道(34)贯穿真空泵主体(3)的前端，所述中转箱(30)与真空泵主体(3)之间通过中转管(31)插入固定管道(34)内连通，所述中转管(31)的圆周表面设有锁紧机构，所述吹扫腔室(20)内自上而下依次设有吹扫机构和监控机构，所述吹扫机构与固定管道(34)之间连接，所述真空泵主体(3)的左侧设有控制机构，所述控制机构用于控制本装置的运行，所述底板(2)的下侧设有多组支撑移动机构。

2.根据权利要求1所述的一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：所述吹扫机构包括出气管(24)和第一伺服电机(10)，所述第一伺服电机(10)的下端固定有第二支撑板(11)，所述第二支撑板(11)与两个侧板(1)之间均固定，所述出气管(24)转动连接于吹扫腔室(20)的前后内壁之间，且出气管(24)与固定管道(34)之间连通，所述出气管(24)的后端贯穿真空泵主体(3)的后端并与第一伺服电机(10)的输出轴之间固定，所述出气管(24)的圆周表面上下两侧均开设有多个均匀分布的出气管(25)。

3.根据权利要求2所述的一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：所述锁紧机构包括锁紧栓(32)和第一限位块(33)，所述第一限位块(33)固定于中转管(31)靠近固定管道(34)一侧的圆周表面，所述锁紧栓(32)滑动连接于中转管(31)的圆周表面，所述锁紧栓(32)的内直径小于第一限位块(33)的外直径，所述锁紧栓(32)螺纹连接于固定管道(34)内。

4.根据权利要求3所述的一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：所述监控机构包括第二伺服电机(19)、丝杆(23)、丝杆螺母(231)、监控探针(37)和连接杆(36)，所述连接杆(36)和监控探针(37)均设有两个，所述丝杆(23)转动连接于吹扫腔室(20)的左右内壁之间，且丝杆(23)的右端贯穿真空泵主体(3)的右端并与第二伺服电机(19)的输出轴之间固定，所述第二伺服电机(19)的下端固定有第三支撑板(191)，且第三支撑板(191)与真空泵主体(3)之间固定，所述丝杆螺母(231)螺纹配合于丝杆(23)的圆周表面，且丝杆(23)位于出气管(24)的上侧，两个所述连接杆(36)分别固定于丝杆螺母(231)的前后两端，两个所述监控探针(37)分别固定于两个监控探针(37)的上端。

5.根据权利要求4所述的一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：所述吹扫腔室(20)的前后内壁均开设有T形滑槽(21)，两个所述连接杆(36)的前后两端均固定有T型滑块(22)，两个所述T型滑块(22)分别滑动连接于两个T形滑槽(21)内。

6.根据权利要求5所述的一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：所述控制机构包括U形固定板第一支撑板(5)、控制台(6)、PLC控制(7)、可编程摇杆控制器(8)和指示灯(9)，所述U形固定板第一支撑板(5)固定于其中一个侧板(1)的左端，所述U形固定板第一支撑板(5)和第二支撑板(11)的下端均固定有两个斜撑杆(111)，多个所述第二支撑板(11)分别与两个侧板(1)之间固定，所述控制台(6)固定于U形固定板第一支撑板(5)的上端，所述PLC控制(7)、可编程摇杆控制器(8)和指示灯(9)依次固定于控制台(6)的上端，所述控制台(6)上安装有显示屏，所述显示屏与两个监控探针(37)之间均信号连接，所述PLC控制(7)与第一伺服电机(10)、电磁阀(13)和气泵之间均电性连接，所述吹扫腔室(20)的下内壁固定有工作感应器(26)，所述工作感应器(26)与指示灯(9)之间电性连接，所述可编程摇杆控制器(8)与第二伺服电机(19)之间电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：每组所述固定机构均包括U形固定板(4)、条形固定板(38)和螺栓(39)，所述螺栓(39)设有两个，所述U形固定板(4)与其中一个侧板(1)之间固定，所述条形固定板(38)嵌入U形固定板(4)内，所述U形固定板(4)和条形固定板(38)的上端均开设有两个相对应的螺纹孔，两个所述螺栓(39)分别螺纹连接位于同一位置的两个螺纹孔内。

8.根据权利要求7所述的一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：所述夹持机构包括第二限位块(141)、固定块(142)和U形弹性夹持块(143)，所述第二限位块(141)固定于抽气软管(14)的圆周表面，所述固定块(142)固定于真空泵主体(3)的后端，所述U形弹性夹持块(143)固定于固定块(142)的前端，所述抽气软管(14)卡接于U形弹性夹持块(143)内，所述第二限位块(141)的直径大于U形弹性夹持块(143)的直径。

9.根据权利要求8所述的一种无死角吹扫气体的干式真空泵，其特征在于：所述支撑移动机构设有五组，且五组支撑移动移动分别位于底板(2)的下端四角处和第三支撑板(16)的下端，每组所述支撑移动机构均包括万向轮(35)和支撑脚(351)，所述支撑脚(351)与底板(2)或第三支撑板(16)之间固定，所述支撑脚(351)转动连接于万向轮(35)的下端。

10.一种无死角吹扫气体的干式真空泵的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：选择吹扫气体：首先将锁紧栓(32)螺纹连接于固定管道(34)内，使得锁紧栓(32)将中转管(31)固定在固定管道(34)内，并通过固定管道(34)与出气管(24)之间连通，然后将连通管(29)的两端分别与中转箱(30)和第一气体存储罐(17)之间连通，使得中转箱(30)内连通有吹扫气体的储存罐；

S2：吹扫气体：当真空泵主体(3)内需要吹扫气体时，首先打开闭合塞(151)，使得排气口(15)可以排气，然后通过启动PLC控制(7)，当PLC控制(7)发出指令后，PLC控制(7)控制电磁阀(13)关闭，使得真空泵主体(3)无法对其他腔室进行抽真空，同时PLC控制(7)控制第一伺服电机(10)和气泵启动，此时气泵将中转箱(30)内气体通过中转管(31)运输至出气管(24)内，并通过出气管(25)吹扫至真空泵主体(3)内，当第一伺服电机(10)启动后，第一伺服电机(10)通过其输出轴带动出气管(24)转动，使得从出气管(25)内出来的气体吹扫至真空泵主体(3)内的各个角落，并从排气口(15)处排出；

S3：实时监控：此时通过启动可编程摇杆控制器(8)，使得可编程摇杆控制器(8)控制第二伺服电机(19)正转或者反转，当第二伺服电机(19)转动时，其输出轴带动丝杆(23)转动，丝杆(23)带动丝杆螺母(231)做左右直线运动，此时丝杆螺母(231)通过两个连接杆(36)分别带动两个监控探针(37)左右移动，使得监控探针(37)对真空泵主体(3)内进行实时监测，并将监控的画面通过控制台(6)上的显示屏呈现出来，确定真空泵主体(3)内是否有位置未吹扫干净，从而通过控制台(6)控制气泵的功率，选择是否需要加大吹扫力度；从而实现了对真空泵主体(3)内进行智能化吹扫智，且无死角。

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