JPH01125587A - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
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- JPH01125587A JPH01125587A JP28104887A JP28104887A JPH01125587A JP H01125587 A JPH01125587 A JP H01125587A JP 28104887 A JP28104887 A JP 28104887A JP 28104887 A JP28104887 A JP 28104887A JP H01125587 A JPH01125587 A JP H01125587A
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- JP
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- oil
- chamber
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- vacuum pump
- oil chamber
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- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 40
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 claims 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 abstract description 74
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010724 circulating oil Substances 0.000 description 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
- F04C29/026—Lubricant separation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ドライ真空ポンプに係り、特に例えば、半導
体製造装置等に使用され、軸封部にガスパージを行うも
のに好適なドライ真空ポンプに関するものである。
体製造装置等に使用され、軸封部にガスパージを行うも
のに好適なドライ真空ポンプに関するものである。
［従来の技術］
従来、例えば半導体製造装置等に使用されるドライスク
リュー真空ポンプは、互いに噛み合う雌雄一対のロータ
、ロータ軸を支持する軸受、および軸封部を収納し、吸
気口、排気口を有するケーシングと、ロータを駆動する
増速機構を収納し潤滑油を貯溜したギヤケースとを備え
、軸封部にガスパージを行なってロータ部への油の混入
を防止している。
リュー真空ポンプは、互いに噛み合う雌雄一対のロータ
、ロータ軸を支持する軸受、および軸封部を収納し、吸
気口、排気口を有するケーシングと、ロータを駆動する
増速機構を収納し潤滑油を貯溜したギヤケースとを備え
、軸封部にガスパージを行なってロータ部への油の混入
を防止している。
軸封パージガスの通り道となるギヤケース内は。
強制潤滑されて高速回転するギヤ等により発生する油の
噴霧で満たされている。パージガスの出口はギヤケース
の壁に設けられており、パージガスとともに多量の油が
流出する。そこで、出口配管にオイルセパレータを設置
して、パージガスとともに流出する油を処理していた。
噴霧で満たされている。パージガスの出口はギヤケース
の壁に設けられており、パージガスとともに多量の油が
流出する。そこで、出口配管にオイルセパレータを設置
して、パージガスとともに流出する油を処理していた。
［発明が解決しようとする問題点］
上記従来の装置では、ギヤケース（以下油室という）か
らのパージガスの出口は、油室の壁に設けられた単なる
孔で、油室内に発生した油滴または油煙は、その出口か
ら直接流出していた。そこで出口配管にはオイルセパレ
ータを設け、油ミストのフィルタを取り付けて油の除去
を図っているが、パージガスとともに流出する油量が多
いため、フィルタは大形のものが必要であった。
らのパージガスの出口は、油室の壁に設けられた単なる
孔で、油室内に発生した油滴または油煙は、その出口か
ら直接流出していた。そこで出口配管にはオイルセパレ
ータを設け、油ミストのフィルタを取り付けて油の除去
を図っているが、パージガスとともに流出する油量が多
いため、フィルタは大形のものが必要であった。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになさ
れたもので、油室からのガスの流出路を迷路化し、ガス
に含まれた油分の直接的流出を防ぎ、油室内で初期的に
ある程度の油を分離２回収することのできるドライ真空
ポンプを提供することを、その目的とするものである。
れたもので、油室からのガスの流出路を迷路化し、ガス
に含まれた油分の直接的流出を防ぎ、油室内で初期的に
ある程度の油を分離２回収することのできるドライ真空
ポンプを提供することを、その目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明に係るドライ真空ポ
ンプの構成は１作動部、軸受、軸封部を収納し、吸気口
、排気口を有するケーシングと。
ンプの構成は１作動部、軸受、軸封部を収納し、吸気口
、排気口を有するケーシングと。
作動部を駆動する駆動装置と、軸受または駆動装置の動
力伝達要素を潤滑する潤滑装置とを備え、上記軸封部に
ガスバージを行って、そのパージガスの流出路が前記潤
滑装置の油室を通過する、作動部に油を用いないドライ
真空ポンプにおいて、前記油室内に、下部が油に浸り油
中に開口部をもつ小室を、油室からパージガスの出口ま
での流出路に少なくとも２室以上形成し、その油室と小
室との間または隣接する車室間は、小室の壁の油面より
上部に設け、た通路によって連通ずるようにしたもので
ある。
力伝達要素を潤滑する潤滑装置とを備え、上記軸封部に
ガスバージを行って、そのパージガスの流出路が前記潤
滑装置の油室を通過する、作動部に油を用いないドライ
真空ポンプにおいて、前記油室内に、下部が油に浸り油
中に開口部をもつ小室を、油室からパージガスの出口ま
での流出路に少なくとも２室以上形成し、その油室と小
室との間または隣接する車室間は、小室の壁の油面より
上部に設け、た通路によって連通ずるようにしたもので
ある。
なお、付記すると、上記目的は、下部が油に浸り油中に
開口部をもつ小室を、油室からパージガスの出口まで複
数個設け、その油室と小室との間または隣接する小室間
は、小室の壁の油面より上部に異なる位置に互い違いに
設けた小孔により連通させ、パージガスをこの小孔を介
して次々と各小室内を通して油室外に放出するようにす
ることにより、達成される。
開口部をもつ小室を、油室からパージガスの出口まで複
数個設け、その油室と小室との間または隣接する小室間
は、小室の壁の油面より上部に異なる位置に互い違いに
設けた小孔により連通させ、パージガスをこの小孔を介
して次々と各小室内を通して油室外に放出するようにす
ることにより、達成される。
［作用コ
油室内に設けられた小室は、パージガスの流出路を迷路
の如く構成し、油を含んだパージガスが壁に当たる機会
を増やす。このため、油滴の流出がさまたげられ、油煙
は壁に当たり、滴化して油室内に留まる油の量が増すこ
とになる。したがって、油室内から流出する油の量を減
少させることができる。
の如く構成し、油を含んだパージガスが壁に当たる機会
を増やす。このため、油滴の流出がさまたげられ、油煙
は壁に当たり、滴化して油室内に留まる油の量が増すこ
とになる。したがって、油室内から流出する油の量を減
少させることができる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図および第２図を参照し
て説明する。
て説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係るドライスクリュー真
空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視断
面図である。
空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視断
面図である。
図において、１は、互いに噛み合う雌雄一対のスクリュ
ーロータのうちの雄ロータを示す。この雄ロータ１は、
吸気ポート２、排気ポート３を有するケーシング４内に
収納されており、そのロータ軸は軸受５，６により回動
可能に支持されている。図示されていないが、Ｒロータ
も同様に雄ロータ１と平行に、軸受に指示されてケーシ
ング４内に収納されている。雄、４０−タの一端には、
互いに噛み合うタイミングギヤ７．８が嵌着されており
、雄、１１１１１０−タはわずかなギャップを保ちなが
ら作動室１６内を非接触で噛み合いながら回転してポン
プ効果を発生する。
ーロータのうちの雄ロータを示す。この雄ロータ１は、
吸気ポート２、排気ポート３を有するケーシング４内に
収納されており、そのロータ軸は軸受５，６により回動
可能に支持されている。図示されていないが、Ｒロータ
も同様に雄ロータ１と平行に、軸受に指示されてケーシ
ング４内に収納されている。雄、４０−タの一端には、
互いに噛み合うタイミングギヤ７．８が嵌着されており
、雄、１１１１１０−タはわずかなギャップを保ちなが
ら作動室１６内を非接触で噛み合いながら回転してポン
プ効果を発生する。
このように、真空ポンプの作動部を構成する雄。
雌一対のロータは、雄ロータ側のタイミングギヤ７と噛
み合うプルギヤ９を介してモータ１０により即動される
。１１は、前記プルギヤ９、タイミングギヤ７．８等の
動力伝達要素に係る増速ギヤ部を収納するギヤケースで
あり、このギヤケース１１内の下部には潤滑油１２が貯
溜されてて油室を構成している。
み合うプルギヤ９を介してモータ１０により即動される
。１１は、前記プルギヤ９、タイミングギヤ７．８等の
動力伝達要素に係る増速ギヤ部を収納するギヤケースで
あり、このギヤケース１１内の下部には潤滑油１２が貯
溜されてて油室を構成している。
このように、モータ１０と増速機部とは、作動部である
スクリューロータを駆動する駆動装置を構成している。
スクリューロータを駆動する駆動装置を構成している。
１３は、増速ギヤ部に対する給油口、１４は、軸受への
給油口を示す。
給油口を示す。
潤滑油１２は、図示しない給油装置によりギヤケース１
１から吸出され、軸受またはギヤ部に供給され再びギヤ
ケース１１内に戻り循環している。
１から吸出され、軸受またはギヤ部に供給され再びギヤ
ケース１１内に戻り循環している。
１５は１作動室１６へ循環油が混入することを防ぐ軸封
部である。１７は、軸封部１５へのパージガス導入孔で
、このパージガス導入孔１７から図示していないガス供
給装置によりパージガスが注入される。
部である。１７は、軸封部１５へのパージガス導入孔で
、このパージガス導入孔１７から図示していないガス供
給装置によりパージガスが注入される。
第２図に示す１８は、油室に係るギヤケース１１内から
のパージガスの出口配管、１９は、ギヤケース１１内に
設けた２重筒である。２型筒１９は、下部が潤滑油１２
に浸り、油中に開口部をもつ内筒１９ａと、この内筒１
９ａを包囲する外筒１９ｂとからなり、これら内筒１９
ａ、外筒１９ｂは、ギヤケース１１内からパージガスの
出口配管１８までのパージガス流出路に２室の小室を形
成するものである０両筒の油面より上部には上下圧い違
いの異なる位置に小孔１９ｃ、１９ｄが設けられている
。
のパージガスの出口配管、１９は、ギヤケース１１内に
設けた２重筒である。２型筒１９は、下部が潤滑油１２
に浸り、油中に開口部をもつ内筒１９ａと、この内筒１
９ａを包囲する外筒１９ｂとからなり、これら内筒１９
ａ、外筒１９ｂは、ギヤケース１１内からパージガスの
出口配管１８までのパージガス流出路に２室の小室を形
成するものである０両筒の油面より上部には上下圧い違
いの異なる位置に小孔１９ｃ、１９ｄが設けられている
。
このように構成されたドライスクリュー真空ポンプにお
けるパージガス流通の作用を説明する。
けるパージガス流通の作用を説明する。
パージガス導入孔１７からケーシング４内に導入された
パージガスは、軸封部１５でその流れが分れ、一方は作
動室１６側、一方はギヤケース１１内へと流れ、後者の
流れによりギヤケース１１内または軸受５に供給された
潤滑油が作動室１６へ混入することを防止している。
パージガスは、軸封部１５でその流れが分れ、一方は作
動室１６側、一方はギヤケース１１内へと流れ、後者の
流れによりギヤケース１１内または軸受５に供給された
潤滑油が作動室１６へ混入することを防止している。
ギヤケース１１内へ入ったパー・ジガスは、ギヤケース
１１内で強制潤滑されて高速回転するギヤ等により発生
する油の噴震でミスト化し、その油煙はまず小孔１９ｄ
を通って内筒１９ａと外筒１９ｂとで形成される小室に
入る。次に、小孔１９Ｃを通って内筒１９ａ内部（小室
）に入り、出口配管１８を通ってギヤケース１１から外
部へ排出される。
１１内で強制潤滑されて高速回転するギヤ等により発生
する油の噴震でミスト化し、その油煙はまず小孔１９ｄ
を通って内筒１９ａと外筒１９ｂとで形成される小室に
入る。次に、小孔１９Ｃを通って内筒１９ａ内部（小室
）に入り、出口配管１８を通ってギヤケース１１から外
部へ排出される。
本実施例によれば、多くの油分を含んだパージガスがギ
ヤケース１１から流出する際に、その流れは２型筒１９
により迷路化されて、パージガスが筒壁に当たる際に油
分は滴化し、パージガス内に噴霧状に存在する油のかな
りの量が回収されるという効果がある。また、ギヤケー
ス１１内は給油され高速回転するギヤにより油が激しく
飛散しているが、パージガスは前記２重筒１９を介して
外部に導かれるため、飛散した油滴が直接パージガスと
共に外部に流出することがない。
ヤケース１１から流出する際に、その流れは２型筒１９
により迷路化されて、パージガスが筒壁に当たる際に油
分は滴化し、パージガス内に噴霧状に存在する油のかな
りの量が回収されるという効果がある。また、ギヤケー
ス１１内は給油され高速回転するギヤにより油が激しく
飛散しているが、パージガスは前記２重筒１９を介して
外部に導かれるため、飛散した油滴が直接パージガスと
共に外部に流出することがない。
したがって、さらに油分を除去する必要がある場合にも
、外部配管上に設置するフィルタは小容量のものですま
せることができるという効果がある。
、外部配管上に設置するフィルタは小容量のものですま
せることができるという効果がある。
なお、前述の実施例では、油室からパージガス出口まで
の流出路に形成する小室は、内筒がパージガスの出口配
管に接続する二重筒の例を説明したが、本発明はこれに
限るものではない。小室は２室以上の複数であって三重
筒のような多重筒構成のものでもよい、また、複数の小
室の形状は限定されるものではない、要は、パージガス
が油室から出口まで流れる過程で流路が迷路化され、パ
ージガスが壁に当るような複数の小室と、油室。
の流出路に形成する小室は、内筒がパージガスの出口配
管に接続する二重筒の例を説明したが、本発明はこれに
限るものではない。小室は２室以上の複数であって三重
筒のような多重筒構成のものでもよい、また、複数の小
室の形状は限定されるものではない、要は、パージガス
が油室から出口まで流れる過程で流路が迷路化され、パ
ージガスが壁に当るような複数の小室と、油室。
小室間、または隣接する小室間を連通ずる異なる位置に
設けた通路とがあればよい、この連通路は。
設けた通路とがあればよい、この連通路は。
パージガス流出路を迷路化するために小孔であることが
望ましいが、その形状、数量は特に限定されるものでは
ない。
望ましいが、その形状、数量は特に限定されるものでは
ない。
また、前述の実施例では、標準的な型式のドライスクリ
ュー真空ポンプの例を説明したが、同様の効果が期待さ
れる範囲で他の作動機構を有するドライ真空ポンプに適
用しても差支えない。
ュー真空ポンプの例を説明したが、同様の効果が期待さ
れる範囲で他の作動機構を有するドライ真空ポンプに適
用しても差支えない。
［発明の効果コ
以上述べたように１本発明によれば、油室がらのガスの
流出路を迷路化し、ガスに含まれた油分の直接的流出を
防ぎ、油室内で初期的にある程度の油を分離２回収する
ことのできるドライ真空ポンプを提供することができる
。
流出路を迷路化し、ガスに含まれた油分の直接的流出を
防ぎ、油室内で初期的にある程度の油を分離２回収する
ことのできるドライ真空ポンプを提供することができる
。
第１図は、本発明の一実施例に係るドライスクリュー真
空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視断
面図である。 １・・・雄ロータ、２・・・吸気ポート、３・・・排気
ボート、４・・・ケーシング、５，６・・・軸受、７．
８・・・タイミングギヤ、９・・・プルギヤ、１０・・
・モータ、１１・・・ギヤケース、１２・・・潤滑油、
１５・・・軸封部、１６・・・作動室、１７・・・パー
ジガス導入孔、１８・・・出口配管、１９・・・二重筒
、１９ａ・・・内筒、１９ｂ・・・外筒、１９ｃ、１９
ｄ・・・小孔。
空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視断
面図である。 １・・・雄ロータ、２・・・吸気ポート、３・・・排気
ボート、４・・・ケーシング、５，６・・・軸受、７．
８・・・タイミングギヤ、９・・・プルギヤ、１０・・
・モータ、１１・・・ギヤケース、１２・・・潤滑油、
１５・・・軸封部、１６・・・作動室、１７・・・パー
ジガス導入孔、１８・・・出口配管、１９・・・二重筒
、１９ａ・・・内筒、１９ｂ・・・外筒、１９ｃ、１９
ｄ・・・小孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、作動部、軸受、軸封部を収納し、吸気口、排気口を
有するケーシングと、作動部を駆動する駆動装置と、軸
受または駆動装置の動力伝達要素を潤滑する潤滑装置と
を備え、上記軸封部にガスパージを行って、そのパージ
ガスの流出路が前記潤滑装置の油室を通過する、作動部
に油を用いないドライ真空ポンプにおいて、前記油室内
に、下部が油に浸り油中に開口部をもつ小室を、油室か
らパージガスの出口までの流出路に少なくとも２室以上
形成し、その油室と小室との間または隣接する小室間は
、小室の壁の油面より上部に設けた通路によって連通す
るように構成したことを特徴とするドライ真空ポンプ。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、油室か
らパージガス出口までの流出路に形成する小室は、パー
ジガス出口に接続し油中に開口する内筒と、この内筒を
包囲する外筒とからなる二重筒とし、その二重筒の各箇
の、油面より上部に上下互い違いの位置に小孔を設けた
ことを特徴とするドライ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281048A JP2604761B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281048A JP2604761B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | ドライ真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125587A true JPH01125587A (ja) | 1989-05-18 |
| JP2604761B2 JP2604761B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=17633576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62281048A Expired - Lifetime JP2604761B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2604761B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112032022A (zh) * | 2020-09-10 | 2020-12-04 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60145475A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-31 | ライボルト‐ヘレーウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | ２軸式の真空ポンプ |
| JPS61134597U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-22 |
-
1987
- 1987-11-09 JP JP62281048A patent/JP2604761B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60145475A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-31 | ライボルト‐ヘレーウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | ２軸式の真空ポンプ |
| JPS61134597U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-22 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112032022A (zh) * | 2020-09-10 | 2020-12-04 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法 |
| CN112032022B (zh) * | 2020-09-10 | 2024-04-26 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2604761B2 (ja) | 1997-04-30 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |