CN111991985A - 一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法 - Google Patents

一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法 Download PDF

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莫修乾
徐昆仑
王丽亭
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Abstract

本发明公开了一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法,包括容器本体,容器本体的底部中心安装连接有进气管,容器本体的顶部中心安装有出气管,容器本体的内腔安装有支撑结构,支撑结构包括斜向支撑板和竖向支撑板,容器本体的下端安装有指形管结构。本发明解决了以前的设备基本使用内部螺旋盘管的结构,在相同的空间内换热面积不够、吸附效果不好的问题。

Description

一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法
技术领域
本发明涉及尾气过滤技术领域,具体为一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法。
背景技术
多晶硅行业尾气回收工序设置吸附系统是对从吸收塔出来的氢气的进一步净化处理,除去未被除尽的氯硅烷和氯化氢成分,以前的设备基本使用内部螺旋盘管的结构,在相同的空间内换热面积不够、吸附效果不好。为此我们设计了一种活性炭吸附装置,在相同空间内增大了换热面积。同时中间的指型管支撑结构要简单且镂空空间大,不能影响装填活性炭,为此提出了一种新的固定支撑形式,因此,我们设计了一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法,解决了以前的设备基本使用内部螺旋盘管的结构,在相同的空间内换热面积不够、吸附效果不好的问题。
为了达到上述目的,本发明所采用的技术方案是:
一种多晶硅尾气吸附装置,包括容器本体,所述容器本体的底部中心安装连接有进气管,所述容器本体的顶部中心安装有出气管,所述容器本体的内腔安装有支撑结构,所述支撑结构包括斜向支撑板和竖向支撑板,所述容器本体的下端安装有指形管结构。
前述的一种多晶硅尾气吸附装置,所述斜向支撑板和竖向支撑板交错形成菱形网格状支撑结构,且指形管结构位于菱形网格状支撑结构的内部,采用两组不同结构的支撑板,竖向支撑板与斜向支撑板,两组支撑组合起来为一种菱形网格支撑,指形管即位于菱形网块内,利于导入菱形网格支撑。
前述的一种多晶硅尾气吸附装置,所述指形管结构包括主管、分管、支管和指形管,所述分管、支管和指形管均设置有多个,所述主管的顶部与分管相连通,所述分管与支管相连通,所述支管与指形管相连通。
前述的一种多晶硅尾气吸附装置,所述指形管为双层结构,所述指形管包括内管和外管,所述内管和外管之间设置有固定块。
前述的一种多晶硅尾气吸附装置,所述指形管头部为锥形结构。
前述的一种多晶硅尾气吸附装置,所述进气管的进气口与出气管的出气口都有丝网包裹,防止填料随气体带出容器。
前述的一种多晶硅尾气吸附装置,所述指形管结构的左侧设置有进水管口,所述指形管结构的顶部左侧设置有出水管口。
一种多晶硅尾气吸附装置的工作方法,包括以下步骤,
步骤(A), 将多晶硅生产中的尾气通过从进气管进气,然后由容器本体的内腔填充的活性炭进行吸附,从顶部出气管排气,达到净化回收氢气的目的;
步骤(B), 活性炭吸吸附负荷有限,当吸附饱和后,进行反吹再生,从顶部出气管进气,然后从底部进气管出气;
步骤(C), 在反吹再生的过程中,从进水管口通入热水进行解析,热水通过主管、分管、支管和指形管最后由出水管口排出,将活性炭上吸附的杂质去除,并可以再次进行吸附工作。
前述的一种多晶硅尾气吸附装置的工作方法,所述步骤(A)中,吸附时从进水管口通入常温水,并在4.2-6.5barG下运行。
前述的一种多晶硅尾气吸附装置的工作方法,所述步骤(C)中,解析时,通入180-200℃水蒸气,并在-0.6--0.9barG下运行。
本发明的有益效果为:进气管的进气口位于下方,气体从下方进入,经过容器,容器内堆满填料,进气管进气口与出气管出气口都有丝网包裹,防止填料随气体带出容器,由上方出气管的出气口排出,热水经过进水管口,流经指形管,由出水管口流出,进水管口连通横向布置的主管,在主管的上方开分管,热水经由分管往上再次分布到支管,支管再往上为指形管,指形管的排布可以为正方形布置,指形管束为双层结构,分为内管和外管,内外管之间有固定块支撑,通过指形管结构结构的布置,可以增加指形管结构与内部填充的活性炭的接触面积,从而能使热水能均匀的将容器内部加热,增加活性炭对其他的吸收效率,解决了以前的设备基本使用内部螺旋盘管的结构,在相同的空间内换热面积不够、吸附效果不好的问题。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为支撑结构与指形管的连接的结构示意图;
图3为指形管结构的结构示意图;
图4为指形管结构的剖视图;
图5为图1中A的局部放大图。
图中:1、容器本体,2、进气管,3、出气管,4、支撑结构,401、竖向支撑板,402、斜向支撑板,5、指形管结构,501、主管,502、分管,503、支管,504、指形管,5041、内管,5042、外管,5043、固定块,505、进水管口,506、出水管口。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
参看图1-5:一种多晶硅尾气吸附装置,包括容器本体1,其特征在于:容器本体1的底部中心安装连接有进气管2,进气管2的进气口与出气管3的出气口都包裹有丝网,容器本体1的顶部中心安装有出气管3,容器本体1的内腔安装有支撑结构4,支撑结构4包括斜向支撑板402和竖向支撑板401,斜向支撑板402和竖向支撑板401交错形成菱形网格状支撑结构,且指形管结构5位于菱形网格状支撑结构的内部,容器本体1的下端安装有指形管结构5,指形管结构5包括主管501、分管502、支管503和指形管504,分管502、支管503和指形管504均设置有多个,主管501的顶部与分管502相连通,分管502与支管503相连通,支管503与指形管504相连通,指形管504为双层结构,指形管504包括内管5041和外管5042,内管和外管之间设置有固定块5043,指形管504头部为锥形结构,指形管结构5的左侧设置有进水管口505,指形管结构5的顶部左侧设置有出水管口506。
一种多晶硅尾气吸附装置的工作方法,包括以下步骤,
步骤(A), 将多晶硅生产中的尾气通过从进气管进气,然后由容器本体的内腔填充的活性炭进行吸附,从顶部出气管排气,达到净化回收氢气的目的;
步骤(B), 活性炭吸吸附负荷有限,当吸附饱和后,进行反吹再生,从顶部出气管进气,然后从底部进气管出气,采用氢气反吹生成混合气体,又可以循环吸附,增加吸附效果;
步骤(C), 在反吹再生的过程中,从进水管口通入热水进行解析,热水通过主管、分管、支管和指形管最后由出水管口排出,将活性炭上吸附的杂质去除,并可以再次进行吸附工作。
优选的,所述步骤(A)中,吸附时从进水管口通入常温水,并在4.2-6.5barG下运行。
优选的,所述步骤(C)中,解析时,通入180-200℃水蒸气,并在-0.6--0.9barG下运行,温度越高,并且采用指形管的形式,使得接触面积大,增加了吸附的效果。
综上,本发明在使用时,进气管2的进气口位于下方,气体从下方进入,经过容器本体1,容器本体1内堆满填料,进气管2进气口与出气管3出气口都有丝网包裹,防止填料随气体带出容器,由上方出气管2的出气口排出,热水经过进水管口505,流经指形管504,由出水管口506流出,进水管口505连通横向布置的主管501,在主管501的上方开分管502,热水经由分管502往上再次分布到支管503,支管503再往上为指形管504,指形管504的排布可以为正方形布置,指形管504为双层结构,分为内管5041和外管5042,内外管之间有固定块5043支撑,通过指形管结构5结构的布置,可以增加指形管504结构与内部填充的活性炭的接触面积,从而能使热水能均匀的将容器内部加热,增加活性炭对其他的吸收效率,解决了以前的设备基本使用内部螺旋盘管的结构,在相同的空间内换热面积不够、吸附效果不好的问题。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种多晶硅尾气吸附装置,包括容器本体(1),其特征在于:所述容器本体(1)的底部中心安装连接有进气管(2),所述容器本体(1)的顶部中心安装有出气管(3),所述容器本体(1)的内腔安装有支撑结构(4),所述支撑结构(4)包括斜向支撑板(402)和竖向支撑板(401),所述容器本体(1)的下端安装有指形管结构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置,其特征在于:所述斜向支撑板(402)和竖向支撑板(401)交错形成菱形网格状支撑结构,且指形管结构(5)位于菱形网格状支撑结构的内部。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置,其特征在于:所述指形管结构(5)包括主管(501)、分管(502)、支管(503)和指形管(504),所述分管(502)、支管(503)和指形管(504)均设置有多个,所述主管(501)的顶部与分管(502)相连通,所述分管(502)与支管(503)相连通,所述支管(503)与指形管(504)相连通。
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅尾气吸附装置,其特征在于:所述指形管(504)为双层结构,所述指形管(504)包括内管(5041)和外管(5042),所述内管和外管之间设置有固定块(5043)。
5.根据权利要求3所述的一种多晶硅尾气吸附装置,其特征在于:所述指形管(504)头部为锥形结构。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置,其特征在于:所述进气管(2)的进气口与出气管(3)的出气口都包裹有丝网。
7.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置,其特征在于:所述指形管结构(5)的左侧设置有进水管口(505),所述指形管结构(5)的顶部左侧设置有出水管口(506)。
8.根据权利要求1-7中任意所述的一种多晶硅尾气吸附装置的工作方法,其特征在于:包括以下步骤,
步骤(A), 将多晶硅生产中的尾气通过从进气管(2)进气,然后由容器本体(1)的内腔填充的活性炭进行吸附,从顶部出气管(3)排气,达到净化回收氢气的目的;
步骤(B), 活性炭吸吸附负荷有限,当吸附饱和后,进行反吹再生,从顶部出气管(3)进气,然后从底部进气管(2)出气;
步骤(C), 在反吹再生的过程中,从进水管口(505)通入热水进行解析,热水通过主管(501)、分管(502)、支管(503)和指形管(504)最后由出水管口(506)排出,将活性炭上吸附的杂质去除,并可以再次进行吸附工作。
9.根据权利要求8中所述的一种多晶硅尾气吸附装置的工作方法,其特征在于:所述步骤(A)中,吸附时从进水管口(505)通入常温水,并在4.2-6.5barG下运行。
10.根据权利要求8中所述的一种多晶硅尾气吸附装置的工作方法,其特征在于:所述步骤(C)中,解析时,通入180-200℃水蒸气,并在-0.6--0.9barG下运行。
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