CN111974445B - 一种惰性气体纯化催化剂、原料组合物及制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种惰性气体纯化催化剂、原料组合物及制备方法,所述惰性气体纯化催化剂,包括活性组分、助剂、载体和粘结剂,所述活性组分包括Ni的氧化物、Cu的氧化物和Zn的氧化物,所述助剂包括Li的化合物和/或B的化合物。本发明所述的惰性气体纯化催化剂、原料组合物及制备方法具有以下优点:本发明通过合理选择催化剂的活性组分,活性组分为非贵金属,生产成本相对较低,有利于对不同杂质气体的深度脱除,催化剂具有比表面积大,活性组分分布均匀,活性组分颗粒较小,活性较高,有利于减少催化剂的用量,节省运行费用等。本发明不仅适用于氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、氖气等大宗气体,还适用于化工领域的乙烯、丙烯等有机气体的纯化。

Description

一种惰性气体纯化催化剂、原料组合物及制备方法
技术领域
本发明涉及高纯气体纯化技术领域,具体涉及一种惰性气体纯化催化剂、原料组合物及制备方法。
背景技术
随着半导体行业的快速发展,单晶硅和多晶硅等半导体材料的生产也显得特别重要。在晶体生长过程中,需要向炉内引入惰性气体,稳定炉压,并且带走挥发物及氧化物等杂质,提高晶体生长的稳定性及产品品质。而对惰性气体的纯度要求越来越高,从刚开始的99.999%到目前的99.9999999%过程中,对气体纯化材料的要求越来越高。而气体工业生产中农应用的脱除杂质的方法有两类。一种是催化加吸附的方法,其工作原理为将气体中还原性杂质,如氢气、一氧化碳等在催化剂的作用下与氧化剂发生反应生产水和二氧化碳,再利用分子筛、脱氧剂等传统吸附剂脱除气体中的水、二氧化碳和未完全反应的氧气。但是该方法前段使用催化剂一般为钯、铂、钌等贵金属为活性组分,其生产成本较高。同时,催化剂的使用条件苛刻,需要严格要求还原气体和氧化剂的配比,以及气体中必须保证不含硫化物等对催化剂易产生不可逆中毒的成分。而该方法后端需要配置吸附剂脱除水、二氧化碳以及未反应的杂质气体。后端吸附剂的性能决定了整个气体的脱除深度和催化剂的再生时间。另外一种是复合金属合金作为吸气剂,但是吸气剂为一次性脱除气体中的杂质,其成本高,并且不可再生都不利于工业使用。
以往对气体纯化材料的研究主要有以下方面。
中国专利CN110756229A中揭示了一种惰性气体纯化材料的制备方法。其特征为以过渡金属氧化物或过渡金属氧化物矿石为载体负载稀有金属,其中稀有金属以盐溶液的形式负载。氧化物与稀有金属盐溶液混合、干燥,并在500-1000℃条件下煅烧10-14h得惰性气体纯化材料。
中国专利CN110280206A中揭示了一种多功能吸附剂及其制备方法和应用。其特征为以Ni、Cu、Mn或其化合物为活性组分;以氧化铝、氧化硅、氧化钛中的一种或几种混合;以硅藻土、高岭土、高铝水泥等为常用粘结剂制备了气体纯化材料。
中国专利CN1970133A中揭示了一种超高纯度惰性气体纯化装置及其纯化方法。其特征为该纯化装置包括一个分别具有独立腔体的进气端和出气端的金属罐,两腔体的隔离板为孔隙尺寸在0.003~100微米的多孔材料。进气端腔体中填充锰基催化剂材料;出气端腔体中填充选自铁、锆、钒、钛等合金吸气剂材料。
美国专利US4713224中揭示了一种用于纯化惰性气体的一步法,其特征为通过使包括微小量CO、CO2、O2、H2O及混合物组成的惰性气体通过元素镍形式的镍微粒材料,从而形成具有杂质少于1ppm的惰性气体。该镍催化剂的有效表面积约为100-200m2/g。
日本专利JP59107910中揭示了一种通过纯化获得氩气同时降低操作成本以及维护及控制负荷的方法,其特征为使氩气在规定温度下与4A分子筛接触且在规定温度下与金属集气剂接触,且进一步使氩气在规定压力小与5A分子筛接触。再使氩气通过加热至150~300℃的金属铜或镍的管柱以移除H2或CO。最后氩气在5-25atm压力下通过5A型分子筛。
发明内容
本发明针对以上问题的提出,而研究设计一种惰性气体纯化催化剂、原料组合物及制备方法。本发明采用的技术手段如下:
一种惰性气体纯化催化剂,包括活性组分、助剂、载体和粘结剂,所述活性组分包括Ni的氧化物、Cu的氧化物和Zn的氧化物,所述助剂包括Li的化合物和/或B的化合物。其中,优选Li的化合物为氧化锂、硫酸锂或硝酸锂,B的化合物为硼酸或硼酸盐。
进一步地,包括活性组分20~85重量份、助剂1~30重量份、催化剂载体8~70重量份和粘结剂2~12重量份。其中,优选助剂化合物中,助剂元素(Li和/或B)占催化剂总质量的0.5~5%。
进一步地,包括活性组分40~70重量份、助剂10~30重量份、催化剂载体8~20重量份和粘结剂2~12重量份。
进一步地,所述活性组分包括Ni的氧化物18~64重量份、Cu的氧化物1~43重量份和Zn的氧化物1~23重量份;所述助剂包括Li的化合物1~30重量份和B的化合物0~20重量份。
进一步地,所述活性组分包括Ni的氧化物18~60重量份、Cu的氧化物5~30重量份和Zn的氧化物1~4重量份;所述助剂包括Li的化合物15~20重量份和B的化合物0.5~3重量份。优选所述活性组分包括Ni的氧化物30~60重量份、Cu的氧化物5~25重量份和Zn的氧化物1~2重量份;所述助剂包括Li的化合物16~17重量份和B的化合物0.9~3重量份。具体可以为所述活性组分包括Ni的氧化物32.91~59.95重量份、Cu的氧化物5.13~23.85重量份和Zn的氧化物151~1.54重量份;所述助剂包括Li的化合物16.13~16.59重量份和B的化合物0.96~2.87重量份。
一种惰性气体纯化催化剂的原料组合物,用于制备本发明所述的惰性气体纯化催化剂,包括活性组分原料和助剂原料,所述活性组分原料包括Ni的氧化物、Cu的氧化物和Zn的氧化物,所述助剂原料包括Li的化合物和/或B的化合物,所述镍活性组分为碳酸镍、碱式碳酸镍、氢氧化镍和氧化镍中的一种或两种以上的混合物,所述Cu活性组分为碳酸铜、碱式碳酸铜、氢氧化铜和氧化铜中的一种或两种以上的混合物,所述Zn活性组分为硝酸锌、碳酸锌、碱式碳酸锌、氢氧化锌和氧化锌中的一种或两种以上的混合物,所述Li助剂为硫酸锂、硝酸锂和碳酸锂中的一种或两种以上的混合物,所述B助剂为硼酸、硼酸盐或二者的混合物。
进一步地,所述助剂原料为硫酸锂、硼砂或二者的混合物,所述活性组分原料为碳酸镍、碳酸铜和碳酸锌的混合物。
一种惰性气体纯化催化剂的制备方法,使用本发明所述的惰性气体纯化催化剂的原料组合物包括以下步骤:
S1:将助剂原料研磨为助剂粉末,将助剂粉末分散于溶剂中形成助剂混合液;
S2:将活性组分原料研磨为活性组分粉末,将活性组分粉末与助剂混合液充分混合,进行固液分离,将固体物进行干燥;
S3:将干燥后的固体物与催化剂载体和粘结剂混合均匀,制备催化剂坯体;
S4:将干燥后的催化剂坯体在低于500℃的条件下进行焙烧,形成惰性气体纯化催化剂。
进一步地,步骤S1中,研磨方法为采用球磨机研磨,所述溶剂为无水乙醇;步骤S2中,研磨方法为采用球磨机研磨30分钟以上,将活性组分粉末与助剂混合液充分混合后控制温度不高于50℃,搅拌4~8小时后进行固液分离;步骤S3中,制备催化剂坯体的方法为挤条或压片;步骤S4中,所述催化剂坯体经自然晾干24~72小时后,放入烘箱中干燥,干燥后在氮气气氛中进焙烧,焙烧温度为300~380℃,焙烧时间为1~12小时。
与现有技术比较,本发明所述的惰性气体纯化催化剂、原料组合物及制备方法具有以下优点:
(1)本发明通过合理选择催化剂的活性组分,活性组分为非贵金属,生产成本相对较低。同时通过P型和N型半导体(过渡)金属氧化物的合理搭配,提高催化剂对气体中氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、水等杂质气体的吸附。因为,杂质气中既有施电子气体又有受电子气体,而活性组分以P型和N型混合物(过渡)金属氧化物时更有利于对不同杂质气体的深度脱除。
(2)本发明通过添加助剂(Li、B的化合物)增加活性组分的空穴数,从而增加对难脱除杂质气体(氢气等)的吸附,使得杂质气体的脱除深度更深,室温下即可达到脱除深度小于1ppb。
(3)本发明制备的催化剂具有比表面积大(200~350m2/g),活性组分分布均匀,活性组分颗粒较小(20~100nm)。这是由于助剂的添加使金属与金属之间存在物质的阻隔。同时,采用大比表面积的催化剂载体有助于催化剂活性组分的分散。在两者共同的作用下,所制备的催化剂具有比表面积大,活性组分分布均匀,活性组分为纳米颗粒,活性较高的特点。
(4)由于催化剂具有比表面积大,活性组分颗粒小的特点,在吸附杂质气体时表现出较高的吸附容量。因此,本发明有利于减少催化剂的用量,节省运行费用等。
(5)本发明催化剂不仅适用于氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、氖气等大宗气体,还适用于化工领域的乙烯、丙烯等有机气体的纯化。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明做进一步的说明,但是本发明不限于实施例,若无特殊说明,本发明所用原料及设备均为本领域的常规技术。
对比实施例1
(1)分别称取碱式碳酸镍86g、碱式碳酸铜42g和碱式碳酸锌6.5g经球磨机研磨后混合得活性组分混合物。(2)称取全硅beta分子筛20g与活性组分混合物进行充分混合,最后用铝含量为5%的铝溶胶混合进行挤条成型。(3)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到对比1号催化剂。
对比实施例2
取26g碱式碳酸镍、26g碳酸铜、52g碳酸锰混合并粉碎至350目以下,再混入229g氧化钛和83g拟薄水铝石,均匀混合后用压片机成型,经自然晾干后于350℃下焙烧6小时自然冷却至室温,得到对比2号催化剂。
实施例1
(1)取47g硫酸锂和4.3g硼砂经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碱式碳酸镍180g、碱式碳酸铜65g和碱式碳酸锌7.5g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取Beta分子筛20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到1号催化剂。
实施例2
(1)取31g硫酸锂和8.6g硼砂经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碱式碳酸镍86g、碱式碳酸铜52g和碱式碳酸锌5.2g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取Beta分子筛20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到2号催化剂。
实施例3
(1)取47g硫酸锂和10g硼砂经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碱式碳酸镍242g、碱式碳酸铜17g和碱式碳酸锌6.5g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取Beta分子筛20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到3号催化剂。
实施例4
(1)取47g硫酸锂和4.3g硼砂经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碱式碳酸镍44g、碱式碳酸铜52g和碱式碳酸锌10g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取Beta分子筛20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到4号催化剂。
实施例5
(1)取经球磨机研磨后的47g硫酸锂,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碱式碳酸镍180g、碱式碳酸铜65g和碱式碳酸锌7.5g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取二氧化硅20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到5号催化剂。
实施例6
(1)取47g硫酸锂和4.3g硼砂经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碱式碳酸镍180g、碱式碳酸铜65g和碱式碳酸锌7.5g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取二氧化硅20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到6号催化剂。
实施例7
(1)取47g硫酸锂和4.3g硼砂经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碱式碳酸镍180g、碱式碳酸铜65g和碱式碳酸锌7.5g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取氧化铝20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到7号催化剂。
实施例8
(1)取47g硫酸锂和4.3g硼砂经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碱式碳酸镍180g、碱式碳酸铜65g和碱式碳酸锌7.5g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取3A分子筛20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到8号催化剂。
实施例9
(1)取31.5g碳酸锂和2.75g硼酸经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取碳酸镍170g、碳酸铜73g和碳酸锌5.5g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取Beta分子筛20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到9号催化剂。
实施例10
(1)取59g硝酸锂和4.3g硼砂经球磨机研磨后,加入到300ml乙醇溶液中,经超声波处理2小时。(2)分别称取氢氧化镍134g、氢氧化铜57.4g和氢氧化锌4.4g经球磨机研磨后混合,并将混合物加入到含硫酸锂和硼砂的乙醇混合液中。在室温(25℃)下搅拌6小时,经过滤收集固体物,并干燥的催化剂活性组分和助剂混合物。(3)称取Beta分子筛20g与干燥后的催化剂活性组分和助剂混合物进行充分混合,最后采用铝含量为5%的铝溶胶为粘结剂进行成型。(4)成型后催化剂经自然晾干后,于烘箱中110℃干燥过夜,再转移至有氮气保护气的马弗炉中,在350℃下焙烧6小时后得到10号催化剂。
对比例1至实施例10的配比如表1所示(表中数值为各组分占催化剂总量的百分比),实验结果如表2所示。
实施例11
对实施例1-10以及对比实施例1-2所制备的催化剂样品进行脱除杂质效果实验,实验方法如下:
催化剂激活:取25ml经过筛分至20~40目的催化剂样品装入1寸不锈钢反应管中。首先在常压下用高纯氮气对管线和反应管进行气体置换,待整个评测系统中无氧气后,在升温至400℃,以空速5000h-1通入高纯氢气还原,还原12小时后切换为高纯氮气吹扫降温至室温,完成催化剂激活。
原料气配制:根据实验要求配制不同杂质气浓度的评测原料气,原料气底气分别为高纯氮气、高纯氢气、高纯氧气、高纯氩气和高纯氦气,其中含有杂质组成为100ppm氢、100ppm氧、100ppm一氧化碳、100ppm二氧化碳、50ppm甲烷、10ppm水。
实验过程:在室温(25℃)压力(0~20kPa)下,以空速10000h-1通入配制好的原料气。评测过程中在线监测反应器出口的气体杂质含量,获得该催化剂对于不同气体的净化深度数据,当出口气中某杂质含量超过10ppb时,认为该催化剂对于此项杂质吸附饱和,计算其吸附容量。实验结果见表2:
活化再生:以实施例1催化剂做再生性能评价,当实验过程中催化剂对各杂质吸附饱和后,关闭原料气,切换为高纯氮气对催化剂层次进行吹扫不少于6小时。再在常压下升温至250℃,以空速100~500h-1通入高纯氢气还原,还原4~12小时后降温,再通入高纯氮气置换床层,完成活化再生。
再实验过程:在室温(25℃)压力(0~20kPa)下,以空速10000h-1通入配制好的原料气。评测过程中在线监测反应器出口的气体杂质含量,获得该催化剂对于不同气体的净化深度数据,当出口气中某杂质含量超过10ppb时,认为该催化剂对于此项杂质吸附饱和,计算其吸附容量。吸附饱和后的催化剂按照活化再生步骤进行再生,然后重复实验过程进行评价,实验结果见表3。
表1催化剂组分参数表
Figure BDA0002647610850000091
表2实验数据汇总
Figure BDA0002647610850000092
Figure BDA0002647610850000101
表3再生实验数据汇总
Figure BDA0002647610850000102
以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述,并非对本发明的范围进行限定,在不脱离本发明设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。

Claims (9)

1.一种惰性气体纯化催化剂,包括活性组分、助剂、载体和粘结剂,其特征在于:所述活性组分包括Ni的氧化物、Cu的氧化物和Zn的氧化物,所述助剂包括Li的化合物和/或B的化合物,所述Li的化合物为硫酸锂、硝酸锂和碳酸锂中的一种或两种以上的混合物,所述B的化合物为硼酸、硼酸盐或二者的混合物,所述催化剂的比表面积为200~350m2/g,所述活性组分粒径为20~100nm。
2.根据权利要求1所述的惰性气体纯化催化剂,其特征在于:包括活性组分20~85重量份、助剂1~30重量份、催化剂载体8~70重量份和粘结剂2~12重量份。
3.根据权利要求1所述的惰性气体纯化催化剂,其特征在于:包括活性组分40~70重量份、助剂10~30重量份、催化剂载体8~20重量份和粘结剂2~12重量份。
4.根据权利要求2或3所述的惰性气体纯化催化剂,其特征在于:所述活性组分包括Ni的氧化物18~64重量份、Cu的氧化物1~43重量份和Zn的氧化物1~23重量份;所述助剂包括Li的化合物1~30重量份和B的化合物0~20重量份。
5.根据权利要求4所述的惰性气体纯化催化剂,其特征在于:所述活性组分包括Ni的氧化物18~60重量份、Cu的氧化物5~30重量份和Zn的氧化物1~4重量份;所述助剂包括Li的化合物15~20重量份和B的化合物0.5~3重量份。
6.一种惰性气体纯化催化剂的原料组合物,其特征在于:用于制备权利要求1至5中任意一项所述的惰性气体纯化催化剂,包括活性组分原料和助剂原料,所述活性组分原料包括Ni的化合物、Cu的化合物和Zn的化合物,所述助剂原料包括Li的化合物和/或B的化合物,所述Ni的化合物为碳酸镍、碱式碳酸镍、氢氧化镍和氧化镍中的一种或两种以上的混合物,所述Cu的化合物为碳酸铜、碱式碳酸铜、氢氧化铜和氧化铜中的一种或两种以上的混合物,所述Zn的化合物为硝酸锌、碳酸锌、碱式碳酸锌、氢氧化锌和氧化锌中的一种或两种以上的混合物。
7.根据权利要求6所述的惰性气体纯化催化剂的原料组合物,其特征在于:所述助剂原料为硫酸锂、硼砂或二者的混合物,所述活性组分原料为碳酸镍、碳酸铜和碳酸锌的混合物。
8.一种惰性气体纯化催化剂的制备方法,其特征在于:使用权利要求6或7所述的惰性气体纯化催化剂的原料组合物,包括以下步骤:
S1:将助剂原料研磨为助剂粉末,将助剂粉末分散于溶剂中形成助剂混合液;
S2:将活性组分原料研磨为活性组分粉末,将活性组分粉末与助剂混合液充分混合,进行固液分离,将固体物进行干燥;
S3:将干燥后的固体物与催化剂载体和粘结剂混合均匀,制备催化剂坯体;
S4:将干燥后的催化剂坯体在低于500℃的条件下进行焙烧,形成惰性气体纯化催化剂。
9.根据权利要求8所述的惰性气体纯化催化剂的制备方法,其特征在于:步骤S1中,研磨方法为采用球磨机研磨30分钟以上,所述溶剂为无水乙醇;步骤S2中,研磨方法为采用球磨机研磨,将活性组分粉末与助剂混合液充分混合后控制温度不高于50℃,搅拌4~8小时后进行固液分离;步骤S3中,制备催化剂坯体的方法为挤条或压片;步骤S4中,所述催化剂坯体经自然晾干24~72小时后,放入烘箱中干燥,干燥后在氮气气氛中进焙烧,焙烧温度为300~380℃,焙烧时间为1~12小时。
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