CN111788878B

CN111788878B - 元件安装装置

Info

Publication number: CN111788878B
Application number: CN201880090491.XA
Authority: CN
Inventors: 后藤秀德; 神尾龙平; 丹羽恒太; 杉原康平
Original assignee: Fuji Corp
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2018-03-23
Filing date: 2018-03-23
Publication date: 2021-09-21
Anticipated expiration: 2038-03-23
Also published as: EP3771310A1; EP3771310B1; EP3771310A4; JPWO2019180953A1; WO2019180953A1; CN111788878A; JP6892552B2; US20210100143A1; US11412648B2

Abstract

元件安装装置能够向基板安装在上表面具有特征部的元件。该元件安装装置利用拾取构件来拾取元件，并将拾取到的元件以与向基板安装的目标安装角度大致相同的角度载置于临时载置台。接着，元件安装装置利用上方拍摄装置对所载置的元件的上表面进行拍摄，并再次拾取所载置的元件。并且，元件安装装置将再次拾取的元件以目标安装角度安装于基于通过拍摄到的上表面的上表面图像而识别出的特征部的位置偏差量来进行了修正后的目标安装位置。

Description

元件安装装置

技术领域

本说明书公开了一种元件安装装置。

背景技术

以往，提出了一种元件安装装置，其将由能够在x、y方向上移动的供给台供给的元件经由能够在x、y、θ方向上移动的修正台而安装于搭载台上的工件(例如，参照专利文献1)。该元件安装装置通过相机来提取载置于修正台的元件上的特征，并在x、y、θ方向上进行对准，以使该特征与应向搭载台上的工件搭载的位置一致。由此，元件安装装置能够缩短元件搭载时间，并且提高对准精度。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平1-135995号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，元件安装装置的吸嘴、相机、载物台(临时载置台)有时因安装误差或长年使用等而相对于水平发生倾斜。元件安装装置当在吸嘴倾斜的状态下拾取元件时，会偏离原来的位置地拾取元件。另外，元件安装装置当在相机或临时载置台倾斜的状态下利用相机拍摄元件来识别特征部时，会偏离原来的位置地识别特征部。并且，元件安装装置如果在特征部的识别发生了偏差的状态下将元件安装于基板，则会偏离原来的位置地安装元件。这样的元件的安装偏差表现出根据吸嘴的每个拾取角度而不同的倾向，从而使安装精度产生较大的偏差。

本公开的主要目的在于，抑制元件向基板安装的安装精度的偏差。

用于解决课题的技术方案

为了实现上述主要目的，本公开采用了以下的技术方案。

本公开的元件安装装置的主旨在于，

向基板安装在上表面具有特征部的元件，上述元件安装装置具备：

头，具有对上述元件进行拾取的拾取构件；

相对移动装置，使上述头相对移动；

相对旋转装置，使上述拾取构件相对旋转；

临时载置台，能够载置上述元件；

上方拍摄装置，从上方拍摄上述元件；及

控制装置，控制上述头、上述相对移动装置及上述相对旋转装置以使上述拾取构件拾取从元件供给装置供给的元件，控制上述头、上述相对移动装置及上述相对旋转装置以将拾取到的上述元件以与向上述基板安装的目标安装角度大致相同的角度载置于上述临时载置台，控制上述上方拍摄装置以拍摄所载置的上述元件的上表面，控制上述头、上述相对移动装置及上述相对旋转装置以使上述拾取构件再次拾取所载置的上述元件，并控制上述头、上述相对移动装置及上述相对旋转装置，以将再次拾取到的上述元件以上述目标安装角度安装于基于根据拍摄到的上述上表面的上表面图像所识别出的上述特征部的位置偏差量而进行修正后的向上述基板安装的目标安装位置。

本公开的元件安装装置将由拾取构件拾取的元件以与向基板安装的目标安装角度大致相同的角度载置于临时载置台。接着，元件安装装置对所载置的元件的上表面进行拍摄，并利用拾取构件再次拾取所载置的元件。并且，元件安装装置将再次拾取的元件以目标安装角度安装于基于通过拍摄到的上表面的上表面图像而识别出的特征部的位置偏差量而进行修正后的目标安装位置。由此，能够将元件以与载置于临时载置台时大致相同的角度安装于基板，因此即使拾取构件、上方拍摄装置、临时载置台产生了倾斜，也能够抑制安装精度的偏差。

附图说明

图1是表示元件安装系统10的一例的说明图。

图2是表示元件安装装置11的结构的概略的结构图。

图3是表示安装头30的结构的概略的结构图。

图4是表示元件安装装置11的电连接关系的框图。

图5是表示特定元件60的一例的说明图。

图6是表示元件安装处理的一例的流程图。

图7是表示取得特征部61的位置偏差量ΔXc、ΔYc的状况的说明图。

图8是表示修正值的说明图。

图9是对本实施方式中的拾取时、临时载置时、再次拾取时及安装时的各吸嘴角度进行说明的说明图。

图10是对比较例中的拾取时、临时载置时、再次拾取时及安装时的各吸嘴角度进行说明的说明图。

图11是表示由吸嘴角度引起的拾取偏差的变化的说明图。

图12是表示安装偏差的倾向的说明图。

图13是表示变形例的元件安装处理的流程图。

具体实施方式

图1是表示元件安装系统10的一例的说明图。图2是表示元件安装装置11的结构的概略的结构图。图3是表示安装头30的结构的概略的结构图。图4是表示元件安装装置11的电连接关系的框图。元件安装系统10是执行与向基板S安装(装配)元件的处理有关的安装处理(装配处理)的系统。该元件安装系统10具备元件安装装置11和管理计算机50。元件安装系统10从上游到下游配置有向基板S安装元件的多个元件安装装置11。在图1中，仅示出了一台元件安装装置11。另外，图1中的左右方向为X轴方向，前后方向为Y轴方向，上下方向为Z轴方向。

如图1～图4所示，元件安装装置11具备：元件供给单元12、基板输送单元21、安装单元22、零件相机15、吸嘴站16、载置台18及控制装置40。

元件供给单元12在元件安装装置11的前侧以可拆装的方式安装有具备带盘的多个供料器13。在各带盘卷绕有带T，在带T中沿着带T的长度方向等间隔地保持有多个元件。该带T从带盘向后方解卷，在元件露出的状态下，被向由吸嘴38进行吸附的拾取位置PP(参照图2)送出。另外，元件供给单元12还具备托盘单元14，托盘单元14具有排列载置多个元件的托盘。

基板输送单元21是进行基板S的搬入、输送、在安装位置处的固定、搬出的单元。基板输送单元21具有在图1的前后隔开间隔地设置并沿左右方向架设的一对输送带。基板S由该输送带输送。

安装单元22从元件供给单元12拾取元件，并向固定于基板输送单元21的基板S安装。安装单元22具备：头移动单元23、安装头30、吸嘴38。头移动单元23具备：滑动件，被导轨引导而在XY方向上移动；及电动机，对滑动件进行驱动。安装头30以可拆卸的方式安装于滑动件，通过头移动单元23而在XY方向上移动。如图3所示，安装头30具备以在周向上排列的方式保持于圆柱状的旋转体31的多个(例如8个、12个等)吸嘴座32、Z轴电动机33、R轴电动机34及θ轴电动机35。在多个吸嘴座31分别以可拆卸的方式安装有吸嘴38。吸嘴38是利用压力来拾取元件的拾取构件。Z轴电动机33使预定位置(在此为装置的最前方)的吸嘴座31沿着Z轴移动来调整安装于该吸嘴座31的吸嘴38的高度。R轴电动机34使旋转体31旋转而使多个吸嘴38在周向上旋转(公转)。θ轴电动机35使吸嘴座31旋转(自转)来调整吸嘴38的旋转角度(以下称为吸嘴角度)。

安装头30除了能够安装能够通过从下表面侧进行的拍摄来掌握元件的形状等的通用元件以外，如图1所示，还能够安装在上表面侧具有特征部61的特定元件60。特定元件60具有：需要从上表面侧识别其位置和形状等的特征部61及作为在拾取时抵接的上表面的抵接面62。特征部61可以是例如进行发光的发光体。即，该特定元件60也可以是由具有透光性的透明树脂形成了上部的LED元件。特定元件60具有各种形状，如图5所示，具有能够利用吸附口为圆形的标准吸嘴38a来拾取的元件(以下，称为标准元件60a)及能够利用吸附口为细长的矩形形状等非圆形的特殊吸嘴38b来拾取的元件(以下称为特殊元件60b)。标准吸嘴38a能够以任意的吸嘴角度来拾取标准元件60a。但是，特殊吸嘴38b只能以相对于元件预先确定的吸嘴角度来拾取特殊元件60b。

另外，在安装头30配置有标记相机36。标记相机36例如是能够从上方对基板S或元件进行拍摄的装置。标记相机36配置于安装头30(或滑动件)的下表面侧，与安装头30一起在XY方向上移动。该标记相机36的下方为拍摄区域，该标记相机36对附加于基板S并用于掌握基板S的位置的基准标记进行拍摄，并将其图像向控制装置40输出。另外，标记相机36对特定元件60的上表面进行拍摄，并将其图像向控制装置40输出。

零件相机15配置在基板输送单元21与元件供给单元12之间。该零件相机15的拍摄范围是零件相机15的上方。零件相机15在吸附有元件的吸嘴38通过零件相机15的上方时，从下方对吸附于吸嘴38的元件进行拍摄，并将其图像向控制装置40输出。

吸嘴站16配置在基板输送单元21与元件供给单元12之间，并且配置在零件相机15的旁边。吸嘴站16存储更换用的吸嘴38，并收纳有上述标准吸嘴38a、特殊吸嘴38b等多种吸嘴38。

载置台18配置在基板输送单元21与元件供给单元12之间，且配置在零件相机15的旁边(与吸嘴站16相反的一侧)。该载置台18被支撑为载置元件的上表面成为水平，并被用作特定元件60(标准元件60a、特殊元件60b)的临时载置台。特定元件60在载置于载置台18时，与收纳于带T的收纳部的情况相比，其姿态更容易稳定。载置台18也可以形成为能够载置一次吸附于安装头30的特定元件60的最大数量的特定元件60的大小。

如图4所示，控制装置40构成为以CPU41为中心的微处理器，具备存储处理程序的ROM42、存储各种数据的HDD43、用作作业区域的RAM44及用于与外部装置进行电信号的交换的输入输出接口45等。它们经由总线46连接。该控制装置40向基板输送单元21、安装单元22(Z轴电动机33、R轴电动机34、θ轴电动机35及标记相机36)、元件供给单元12、零件相机15输出控制信号。另外，控制装置40输入来自安装单元22(标记相机36)、元件供给单元12、零件相机15的信号。

管理计算机(PC)50是管理元件安装系统10的各装置的信息的计算机。管理PC50具备构成为以CPU为中心的微处理器的控制装置。该控制装置具有存储处理程序的ROM、存储各种数据的HDD、用作作业区域的RAM及用于与外部装置进行电信号的交换的输入输出接口等。该管理PC50具有供作业者输入各种指令的键盘和鼠标等输入装置52及显示各种信息的显示器54。在HDD中存储有生产程序和包含其他生产信息的作业信息。在此，生产程序是指规定了在元件安装装置11中，将哪个元件以何种顺序安装于哪个基板S及制造几块以这种方式安装的基板的程序。另外，生产信息包含由作为安装对象的元件的种类、尺寸、目标安装位置(X*、Y*)、目标安装角度θ*等构成的元件信息。管理PC40与元件安装装置11的控制装置30以能够通信的方式连接，并进行各种信息和控制信号的交换。

以下的说明是这样构成的元件安装系统10的动作、特别是向基板S安装特定元件60时的安装动作的说明。图6是表示特定元件安装处理的一例的流程图。该处理在根据来自管理PC40的作业信息而作出了向基板S安装特定元件60的内容的指示，并且通过基板输送单元21搬入并固定了基板S时，由控制装置30执行。

在元件安装处理中，控制装置40的CPU41首先读出接收到的作业信息中包含的元件信息(S100)，并判定作为安装对象的特定元件60是否为需要利用特殊吸嘴38b进行拾取、安装的特殊元件60b(S110)。

CPU41在判定为作为安装对象的特定元件60为特殊元件60b时，控制头移动单元23和安装头30(Z轴电动机33、R轴电动机34及θ轴电动机35)，以利用特殊吸嘴38b来拾取特定元件60(特殊元件60b)(S120)。另外，CPU41在安装于安装头30的吸嘴38不是特殊吸嘴38b而是标准吸嘴38a的情况下，使安装头30向吸嘴站16移动，在将安装于安装头30的标准吸嘴38a更换为特殊吸嘴38b后进行拾取动作。接着，CPU41控制头移动单元23和安装头30(Z轴电动机33、R轴电动机34及θ轴电动机35)，以将所拾取的特定元件60以与所取得的元件信息中包含的向基板S安装的目标安装角度θ*大致相同的角度临时载置于载置台18(S130)。接着，CPU41控制标记相机36以对临时载置于载置台18的特定元件60的上表面侧进行拍摄(S140)，并对拍摄到的上表面图像进行处理而取得设于特定元件60的上表面的特征部61在XY方向上的位置偏差量ΔXc、ΔYc(S150)。图7是表示取得特征部61的位置偏差量的状况的说明图。如图所示，特征部61的位置偏差量ΔXc、ΔYc的取得通过分别在X方向和Y方向上取得目标临时载置中心C与特征部61的中心61c之间的差分来进行。在此，在上表面具有特征部61的特定元件60由于制造的偏差等，有时元件61的中心61c相对于元件的外形中心发生偏移。因此，CPU41通过取得特征部61的中心61c与目标临时载置中心C之间的位置偏差量，能够在将向基板S安装特定元件60时反映特征部61的位置偏差。CPU41在取得了特征部61的位置偏差量ΔXc、ΔYc后，控制头移动单元23和安装头30(Z轴电动机33、R轴电动机34及θ轴电动机35)，以使特殊吸嘴60b以与临时载置时大致相同的吸嘴角度再次拾取载置台18上的特定元件60(S160)。

另一方面，CPU41在S110中判定为作为安装对象的特定元件60不是特殊元件60b而是标准元件60a时，控制头移动单元23和安装头30(Z轴电动机33、R轴电动机34及θ轴电动机35)，以利用标准吸嘴38a来拾取特定元件60(标准元件60a)(S170)。另外，CPU41在安装于安装头30的吸嘴38不是标准吸嘴38a而是特殊吸嘴38b的情况下，使安装头30向吸嘴站16移动，在将安装于安装头30的特殊吸嘴38b更换为标准吸嘴38a后进行拾取动作。接着，CPU41与S130～S150相同地，将所拾取的特定元件60以与向基板S安装的目标安装角度θ*大致相同的角度临时载置于载置台18，对临时载置的特定元件60的上表面侧进行拍摄，并对上表面图像进行处理而取得特征部61在XY方向上的位置偏差量ΔXc、ΔYc(S180～S200)。并且，CPU41控制头移动单元12和安装头30(Z轴电动机33、R轴电动机34及θ轴电动机35)，以使标准吸嘴38a以与从元件供给单元12进行拾取时大致相同的吸嘴角度再次拾取载置台18上的特定元件60(S210)。

CPU41在这样再次拾取了特定元件60后，取得与再次拾取时的吸嘴角度对应的修正值ΔXp、ΔYp(S220)。图8是表示修正值的一例的说明图。修正值ΔXp、ΔYp是用于修正在向基板S安装特定元件60时的XY方向上的位置偏差(修正目标安装位置(X*、Y*))的值，如图所示，对于安装于安装头30的各吸嘴，针对每个预定的吸嘴角度(例如0°、90°、180°、270°)将修正值ΔXp、ΔYp存储于HDD43。修正值ΔXp、ΔYp例如是针对每个预定的吸嘴角度，通过利用吸嘴来拾取元件并将元件安装于夹具基板，测量所安装的元件的外形中心相对于目标安装中心的位置偏差量，并基于测量出的位置偏差量来导出用于消除位置偏差的偏差值而求出的。CPU41在再次拾取时的吸嘴角度为未存储在修正值中的角度时，使用通过对近似的角度的修正值进行插补而得到的值。另外，修正值不限于对目标安装位置(X*、Y*)进行修正的值，也可以是对目标安装角度θ*进行修正的值。

接着，CPU41对取得的元件信息中包含的向基板S安装的目标安装位置(X*、Y*)进行修正(S230)。CPU41将目标安装位置(X*、Y*)修正为如下的位置：向消除位置偏差的方向偏移与在S150或S200中取得的特征部61的位置偏差量ΔXc、ΔYc对应的量，并且偏移与在S220中取得的修正值ΔXp、ΔYp对应的量的位置。并且，CPU41控制头移动单元23和安装头30，以向修正后的目标安装位置(X*、Y*)安装特定元件60(S240)，并使元件安装处理结束。

图9及图10是对本实施方式及比较例中的拾取时、临时载置时、再次拾取时及安装时的各吸嘴角度进行说明的说明图。另外，图9及图10是拾取以0°的角度从元件供给单元12供给的特定元件60并将特定元件60以45°的角度安装于基板S的情况下的例子。如图9所示，本实施方式的元件安装装置11在使用标准吸嘴38a安装特定元件60的情况下，以0°的吸嘴角度拾取特定元件60后，将特定元件60以与安装时的角度相同的45°的吸嘴角度临时载置于载置台18。并且，元件安装装置11以与拾取时相同的0°的吸嘴角度(相对于元件的相对角度为45°)再次拾取特定元件60，并将特定元件60以该吸嘴角度安装于基板S。即，元件安装装置11的在使用标准吸嘴38a向基板S安装特定元件60的情况下的安装动作以在拾取时和再次拾取时吸嘴角度不发生变化，并且在临时载置时和安装时元件角度不发生变化的方式进行。另一方面，本实施方式的元件安装装置11在使用特殊吸嘴38b将特定元件60安装于基板S的情况下，由于预先规定了相对于元件的相对拾取角度，因此在以预先规定的0°的吸嘴角度拾取特定元件60之后，以与安装时的角度相同的45°的吸嘴角度临时载置于载置台18。并且，元件安装装置11以与临时载置时相同的45°的吸嘴角度(相对于元件的相对角度为0°)再次拾取特定元件60，并将特定元件60以该吸嘴角度安装于基板S。即，在使用特殊吸嘴38b安装特定元件60的情况下的安装动作以在临时载置时和再次拾取时吸嘴角度不发生变化，并且在临时载置时和安装时元件角度不发生变化的方式进行。与此相对，比较例的元件安装装置在使用标准吸嘴38a和特殊吸嘴38b中的任一吸嘴进行安装动作的情况下，均在以0°的吸嘴角度拾取特定元件60后，将特定元件60以该吸嘴角度临时载置于载置台18。并且，比较例的元件安装装置以与拾取时相同的0°的吸嘴角度再次拾取特定元件60，并将特定元件60以45°的吸嘴角度安装于基板S。即，比较例的元件安装装置的安装动作以在拾取时、临时载置时及再次拾取时吸嘴角度不发生变化的方式进行。

如上所述，CPU41在向基板S安装特定元件60的情况下，将特定元件60临时载置于载置台18并通过标记相机36拍摄其上表面，基于上表面图像取得特征部61的位置偏差量ΔXc、ΔYc而修正目标安装位置(X*、Y*)。在通过标记相机36对临时载置于载置台18的元件进行拍摄时，如果标记相机36的光轴相对于载置台18产生了倾斜，则有时会在拍摄图像上看到元件相对于载置台发生了偏移。因此，如果在标记相机36的光轴产生了倾斜，则CPU41有时会误检测到特征部61的位置偏差。另外，在再次拾取载置台18上的特定元件60时，如果吸嘴38的前端相对于载置台18发生了倾斜，则有时会发生吸嘴38在偏离原来的位置的位置处拾取特定元件60的拾取偏差。这样的基于光轴的倾斜的位置偏差的误检测和基于吸嘴的倾斜的拾取偏差通过针对再次拾取时的每个吸嘴角度而登记的上述修正值ΔXp、ΔYp而被一定程度地消除，但一部分未被消除而残留。如果在再次拾取时和安装时变更吸嘴角度，则该未被消除的一部分拾取偏差会针对安装时的每个吸嘴角度而出现不同的位置。例如，如果在以0°的吸嘴角度拾取特定元件60后，以0°的吸嘴角度临时载置，并在识别出特征部61的位置偏差后以0°的吸嘴角度再次拾取，并以90°的吸嘴角度安装，则再次拾取时的拾取偏差如图11(a)至(b)的比较例所示，针对元件的每个安装角度而出现在不同的范围。另一方面，如果在以0°的吸嘴角度拾取特定元件60后，以与安装角度相同的90°的吸嘴角度临时载置，并在识别出特征部61的位置偏差后以与拾取时相同的0°的吸嘴角度再次拾取，并以0°的吸嘴角度安装再次拾取的元件，则再次拾取时的拾取偏差如图11(a)至(c)的实施方式所示，无论在哪个安装角度下均出现在相同的范围内。

图12是表示安装偏差的倾向的说明图。另外，图12中(a)表示在再次拾取时和安装时吸嘴角度变更的比较例中的安装偏差的倾向。另外，图12中(b)表示在再次拾取时和安装时吸嘴角度不变更的本实施方式中的安装偏差的倾向。在比较例中，安装偏差的倾向针对安装时的每个吸嘴角度而较大地不同。与此相对，在本实施方式中，无论安装时的吸嘴角度如何，安装偏差的倾向均出于一定范围内。这样，在本实施方式中，能够抑制安装偏差的倾向针对每个吸嘴角度而较大地不同的情况，由此使安装偏差处于某一范围内。

在此，明确本实施方式的结构要素与本公开的结构要素之间的对应关系。本实施方式的安装头30相当于本公开的头，吸嘴38相当于拾取构件，头移动单元23相当于相对移动装置，θ轴电动机35相当于相对旋转装置，载置台18相当于临时载置台，标记相机36相当于上方拍摄装置。另外，执行图6的元件安装处理的控制装置40相当于控制装置。

以上所说明的本实施方式的元件安装装置11将由吸嘴38拾取的特定元件60以与向基板S安装的目标安装角度θ*大致相同的角度临时载置于载置台18。接着，元件安装装置对临时载置的特定元件60的上表面进行拍摄，并利用吸嘴38再次拾取临时载置的特定元件60。并且，元件安装装置11将再次拾取的特定元件60以目标安装角度θ*安装于基于通过拍摄到的上表面的上表面图像而识别出的特征部的位置偏差量进行修正后的目标安装位置(X*、Y*)。由此，能够以与临时载置于载置台60时大致相同的角度将特定元件60安装于基板S，因此即使吸嘴28、标记相机36、载置台18产生了倾斜，也能够抑制安装精度的偏差。

另外，上述本实施方式的元件安装装置11以使对从元件供给单元12供给的特定元件60进行拾取时的吸嘴角度与对载置于载置台18的特定元件60进行再次拾取时的吸嘴角度大致相同的方式进行控制。这样一来，即使在吸嘴38的前端相对于载置台18发生了倾斜时，也能够使从载置台18再次拾取特定元件60时的拾取偏差处于一定范围内。

此外，上述本实施方式的元件安装装置11以使在使用预先规定了拾取特定元件60(特殊元件60b)时的吸嘴角度的特殊吸嘴38b来进行安装动作的情况下，使将特定元件60临时载置于载置台18时的吸嘴角度与从载置台18再次拾取特定元件60时的吸嘴角度大致相同的方式进行控制。由此，在使用特殊吸嘴38b进行安装动作时，也能够在再次拾取时和安装时不变更吸嘴角度，从而能够抑制安装精度的偏差。但是，在使用特殊吸嘴38b的情况下，由于拾取从元件供给单元12供给的特定元件60时的吸嘴角度与再次拾取临时载置于载置台18的特定元件60时的吸嘴角度不一致，因此元件安装装置11无法修正基于吸嘴的倾斜的位置偏差。

另外，上述实施方式的元件安装装置11取得与再次拾取载置台18上的特定元件60时的吸嘴角度对应的修正值ΔXp、ΔYp，并将再次拾取的特定元件60安装于基于修正值ΔXp、ΔYp进行修正后的目标安装位置(X*、Y*)。由此，能够提高特定元件60的安装精度。

另外，本发明不受上述实施方式的任何限定，只要属于本发明的技术范围，就可以通过各种方式来实施，这是不言而喻的。

例如，在上述实施方式中，元件安装装置11在利用未规定拾取时的吸嘴角度的标准吸嘴38a来拾取特定元件60(标准元件60a)，并临时载置于载置台18，在识别出特征部61的位置偏差后再次拾取并安装于基板S的情况下，将再次拾取时的吸嘴角度设为与拾取时的吸嘴角度大致相同的角度。然而，不限定于此。元件安装装置11即使在利用标准吸嘴38a来安装特定元件60的情况下，也可以以与拾取时的吸嘴角度不同的角度从载置台18再次拾取特定元件60。

另外，在上述实施方式中，特定元件60的修正值ΔXp、ΔYp按照吸嘴38针对每个吸嘴角度而存储。但是，不限于此，可以按照吸嘴38(按照吸嘴位置)，与吸嘴角度无关地存储一个修正值，也可以与吸嘴38(吸嘴位置)无关地针对每个吸嘴角度存储一个修正值。另外，也可以针对特定元件60的每个元件存储一个修正值，还可以针对多个特定元件存储共用的修正值。

此外，在上述实施方式中，CPU41基于对临时安装于载置台18的特定元件60的上表面进行拍摄而识别出的特征部61的位置偏差量ΔXc、ΔYc，向消除位置偏差的方向修正向基板S安装的目标安装位置(X*、Y*)。但是，CPU41也可以如图13的元件安装处理的S150B和S200B所示，基于特征部61的位置偏差量ΔXc、ΔYc来将拾取位置(Xp、Yp)向消除位置偏差的方向偏移(修正)，并再次拾取载置台18上的特定元件60。在该情况下，目标安装位置X*、Y*的修正如S230B所示，通过向消除位置偏差的方向偏移与修正值ΔXp、ΔYp对应的量来进行。

产业上的可利用性

本发明能够用于元件安装装置的制造产业。

附图标记说明

10：元件安装系统、11：元件安装装置、12：元件供给单元、13：供料器、14：托盘单元、15：零件相机、16：吸嘴站、18：载置台、21：基板输送单元、22：安装单元、23：头移动单元、30：安装头、31：旋转体、32：吸嘴座、33：Z轴电动机、34：R轴电动机、35：θ轴电动机、36：标记相机、38：吸嘴、38a：标准吸嘴、38b：特殊吸嘴、40：控制装置、41：CPU、42：ROM、43：HDD、44：RAM、45：输入输出接口、46：总线、50：管理计算机(管理PC)、52：输入装置、54：显示器、60：特定元件、60a：标准元件、60b：特殊元件、61：特征部、61c：中心、62：抵接面、S：基板、T：带。

Claims

1.一种元件安装装置，向基板安装在上表面具有特征部的元件，所述元件安装装置具备：

头，具有对所述元件进行拾取的拾取构件；

相对移动装置，使所述头相对移动；

相对旋转装置，使所述拾取构件相对旋转；

临时载置台，能够载置所述元件；

上方拍摄装置，从上方拍摄所述元件；及

控制装置，控制所述头、所述相对移动装置及所述相对旋转装置以使所述拾取构件拾取从元件供给装置供给的元件，控制所述头、所述相对移动装置及所述相对旋转装置以将拾取到的所述元件以与向所述基板安装的目标安装角度相同的角度载置于所述临时载置台，控制所述上方拍摄装置以拍摄所载置的所述元件的上表面，控制所述头、所述相对移动装置及所述相对旋转装置以使所述拾取构件再次拾取所载置的所述元件，并控制所述头、所述相对移动装置及所述相对旋转装置，以将再次拾取到的所述元件以所述目标安装角度安装于基于根据拍摄到的所述上表面的上表面图像所识别出的所述特征部的位置偏差量而进行修正后的向所述基板安装的目标安装位置。

2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述控制装置进行控制，以使拾取从所述元件供给装置供给的元件时的所述拾取构件的旋转角度与再次拾取载置于所述临时载置台的元件时的所述拾取构件的旋转角度相同。

3.根据权利要求2所述的元件安装装置，其中，

在所述头上能够安装特定拾取构件和非特定拾取构件，所述特定拾取构件是对特定元件进行拾取时的旋转角度被相对于所述特定元件而规定为特定旋转角度的拾取构件，所述非特定拾取构件是对非特定元件进行拾取时的旋转角度相对于所述非特定元件未作规定的拾取构件，

在使用所述非特定拾取构件向所述基板安装所述非特定元件时，所述控制装置进行控制，以使拾取从所述元件供给装置供给的所述非特定元件时的所述拾取构件的旋转角度与再次拾取载置于所述临时载置台的所述非特定元件时的所述拾取构件的旋转角度相同，

并且，在使用所述特定拾取构件向所述基板安装所述特定元件时，所述控制装置进行控制，以使拾取从所述元件供给装置供给的所述特定元件时的所述拾取构件的旋转角度成为所述特定旋转角度，并且再次拾取载置于所述临时载置台的所述特定元件时的所述拾取构件的旋转角度与将所述特定元件载置于所述临时载置台时的所述拾取构件的旋转角度相同。

4.根据权利要求2或3所述的元件安装装置，其中，

所述元件安装装置具备存储装置，所述存储装置针对所述拾取构件的每个旋转角度来存储用于修正所述目标安装位置的修正值，

所述控制装置从所述存储装置取得与再次拾取所述元件时的所述拾取构件的旋转角度对应的修正值，并进行控制以将再次拾取到的所述元件以所述目标安装角度安装于基于取得的所述修正值和所述特征部的位置偏差量而进行修正后的所述目标安装位置。

5.一种元件安装装置，向基板安装在上表面具有特征部的元件，所述元件安装装置具备：

头，具有对所述元件进行拾取的拾取构件；

相对移动装置，使所述头相对移动；

相对旋转装置，使所述拾取构件相对旋转；

临时载置台，能够载置所述元件；

上方拍摄装置，从上方拍摄所述元件；及

控制装置，控制所述头、所述相对移动装置及所述相对旋转装置以使所述拾取构件拾取从元件供给装置供给的元件，控制所述头、所述相对移动装置及所述相对旋转装置以将拾取到的所述元件以与向所述基板安装的目标安装角度相同的角度载置于所述临时载置台，控制所述上方拍摄装置以拍摄所载置的所述元件的上表面，控制所述头、所述相对移动装置及所述相对旋转装置以基于通过拍摄到的所述上表面的上表面图像所识别出的所述特征部的位置偏差量来决定拾取位置并使所述拾取构件再次拾取所述临时载置台上的元件，并控制所述头、所述相对移动装置及所述相对旋转装置以将再次拾取到的所述元件以所述目标安装角度安装于向所述基板安装的目标安装位置。