CN111750816B - 旋转台 - Google Patents

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Abstract

提供了一种旋转台，其能够减少进给器上的载荷和放置面的变形。旋转台100包括调节放置面21的倾斜度的进给器10。进给器10包括与进给机构12互锁以移动的第一接触部16和被弹簧15施压的第二接触部14。沿移动方向彼此面对地设置的第一接触部16和第二接触部14夹持与放置面21互锁的保持部23。

Description

旋转台
相关申请的交叉引用
本申请基于并要求于2019年3月26日提交的日本专利申请号2019-059513的优先权的权益，其全部内容通过引用合并于此。
技术领域
本发明涉及一种旋转台，具体地涉及一种旋转台的倾斜机构。
背景技术
常规地，已经广泛使用了包括用于将物体放置在其上并使之旋转的旋转台的设备，特别是测量诸如圆柱体之类的待测物体的圆度、同心度或同轴度的圆度测量机。圆度测量机通过利用探针等检测并收集关于待测物体的表面位置数据同时使其上放置有待测物体的旋转台旋转从而计算待测物体的圆度。为了测量圆度，需要进行调平以使旋转台的旋转轴与待测物体的中主轴线对准。因此，旋转台通常包括用于调平的倾斜度调节装置。
JP2863070B、JP2569390B和JP2001-201340A各自公开了一种包括常规旋转台的圆度测量机的示例。
图10示出了包括旋转工作台900(对应于旋转台)的圆度测量机的外观。旋转工作台900包括：倾斜调节装置902，其用于调节放置面901在X方向上的倾斜量；以及倾斜调节装置903，其用于调节在Y方向上的倾斜量。图11是示出旋转工作台901的详细结构的截面图。旋转工作台901包括由驱动马达的旋转轴905可旋转地支撑的旋转基座904、被支撑为沿X和Y方向在旋转基座904上可移动和可摆动的放置面901以及X方向倾斜调节装置902。
X方向倾斜调节装置902包括能够在图中向右和向左进给主轴907的旋钮906。旋钮906的基部908经由连接构件909固定至旋转基座904。主轴907的顶端经由互锁构件911与放置面901的支撑部910的侧面接触。互锁构件911由支撑构件912可滑动地支撑，并且支撑构件912固定到旋转基座904。通过操作旋钮906，支撑部910经由主轴907和连接构件909在图11中向右和向左移动。然后，倾斜环913和放置面901之间的相对接触位置改变。例如，当放置面901在图中向右移动(称为推动方向)时，放置面901克服张紧弹簧914在顺时针方向上的偏压力而沿逆时针方向旋转并倾斜。另一方面，当放置面901在图中向左移动(称为拉动方向)时，放置面901通过张紧弹簧914在顺时针方向上的偏压力而沿顺时针方向旋转并倾斜。
发明内容
当主轴907沿拉动方向移动时，图11中的张紧弹簧914利用其偏压力使放置面901跟随主轴907的运动。即，张紧弹簧914对放置面901施压并保持其，使得与主轴907互锁的互锁构件911总是与支撑部910接触。该保持力需要足够高以抵抗外力，比如放置在放置面901上的待测物体的重量、当旋转工作台900旋转时产生的惯性力等。如果保持力不足够高以抵抗外力，则这将导致放置面901意外地倾斜或摆动。特别是振荡会降低测量精度。另外，为了以大的惯性准确地测量待测物体并且快速准确地定位旋转工作台900，优选地，保持力较高。
然而，利用常规结构增加放置面901上的压力和保持力意味着增加进给器上的载荷。进给器例如是由图11中的旋钮906、主轴907、连接构件909等构成的螺旋式进给机构。例如，如果使用高效丝杠，比如滚珠丝杠，压力增加会引起不良现象，比如丝杠反向启动。另外，马达驱动机构可以用作进给器，但是压力增加导致马达的大型化。此外，压力增加会引起放置面901的变形，并且这会使得待测量物体不稳定地放置，并且不利地影响高精度测量。此外，由于弹簧根据倾斜量而伸缩，并且弹力随常规结构变化，因此需要产生比用于保持的最小力更高的弹力。因此，这种常规结构容易引起上述不良现象。尽管减小弹簧常数可以避免该问题，但这通常需要增大弹簧的尺寸并引起布局问题。
为了解决这些问题而做出了本发明，并且本发明提供了一种能够减小进给器上的载荷和放置面的变形的旋转台。
根据本发明实施例的旋转台包括调节放置面的倾斜度的进给器，其中进给器包括与进给机构互锁以移动的第一接触部以及被弹簧施压的第二接触部，并且沿移动方向彼此面对地设置的第一接触部和第二接触部夹持与放置面互锁的保持部。
在根据本发明实施例的旋转台中，第一接触部和第二接触部中的至少一个包括自动调心球轴承，并且自动调心球轴承与保持部接触。
根据本发明实施例的旋转台包括调节放置面的倾斜度的进给器，其中进给器包括：接触部，其与进给机构互锁以移动并且与放置面接触；以及张紧部，其由弹簧施压并且其一端连接到放置面，并且通过接触部施加到放置面的外力和通过张紧部施加到放置面的外力是平衡的。
根据本发明，可以提供一种能够减少进给器上的载荷和放置面的变形的旋转台。
附图说明
图1是根据本发明第一示例性实施例的旋转台100的整体结构的剖视图；
图2是根据本发明第一示例性实施例的旋转台100的结构的透视图(分解图)；
图3是根据本发明第一示例性实施例的旋转台100的结构的透视图(分解图)；
图4是根据本发明第一示例性实施例的旋转台100的结构的剖视图(放大图)；
图5是根据本发明第二示例性实施例的旋转台200的整体结构的剖视图；
图6是根据本发明第二示例性实施例的旋转台200的整体结构的剖视图；
图7是根据本发明第三示例性实施例的旋转台300的整体结构的剖视图；
图8是根据本发明第三示例性实施例的旋转台300的结构的剖视图(放大图)；
图9是根据本发明第三示例性实施例的旋转台300的整体结构的剖视图；
图10是表示常规圆度测量机的结构的图；以及
图11是示出常规旋转台的结构的图。
具体实施方式
在下文中，参考附图详细描述应用本发明的具体实施例。
<第一示例性实施例>
参考图1中的剖视图、图2和3中的透视图(分解图)以及图4中的剖视图(放大图)，描述了根据本发明第一示例性实施例的旋转台100的结构。旋转台100包括由驱动马达的旋转轴31可旋转地支撑的旋转基座30、支撑在旋转基座30上以便可摆动的放置面21以及调节放置面21相对于X轴的倾斜度的进给器10。
进给器10包括：从动齿轮11，其经由驱动齿轮62从马达61接收动力；进给丝杠(滚珠丝杠)121，其随着从动齿轮11的旋转而旋转；进给丝杠(螺母)122，其随着进给丝杠(滚珠丝杠)121的旋转在X轴方向上移动；以及与进给丝杠(螺母)122结合的滑动件123和124。将用于移动滑动件124的该机构称为进给机构12。施压构件13穿透滑动件124并与之结合，从而可沿X轴方向滑动一定宽度。滑动件124和施压构件13经由弹簧15彼此连接。
从作为放置面21的支撑部的突出部22延伸的保持部23在X方向(X轴的正方向)上与接触部14接触并且在-X方向(X轴的负方向)上与接触部16接触。接触部14和接触部16例如是金属构件，其顶端均被加工成球形。接触部14固定到施压构件13。接触部16固定到滑动件124。即，保持部23被由弹簧15施压的施压构件13的接触部14和固定到滑动件124的接触部16夹持。
当滑动件124根据马达61的驱动沿X方向移动时，接触部16与保持部23接触。这增加了沿X方向推动放置面21的力。另一方面，当滑动件124根据马达61的驱动沿-X方向移动时，施压构件13干涉并且也沿-X方向移动，并且接触部14与保持部23接触。这增加了沿-X方向推动放置面21的力。
在放置面21和倾斜环41之间设置有钢球，并且钢球由保持器42保持，以不从倾斜环41掉落。因此，放置面21和倾斜环41是可滚动的。当沿X方向推动放置面21时，放置面21在逆时针方向上沿倾斜环41旋转并倾斜。当沿-X方向推动放置面21时，放置面21在顺时针方向上沿倾斜环41旋转并倾斜。
在本实施例中，进给器10具有用于保持保持部23的结构，在该保持结构中设置有施压放置面21的弹簧15。因此，可以减小进给器10上的载荷和放置面21的变形。因此，可以以比常规结构更高的压力增加保持力。
<第二示例性实施例>
通常，旋转台包括用于调节在X轴方向上的倾斜度的进给器和用于调节在Y轴方向上的倾斜度的进给器。例如，假定第一示例性实施例中的旋转台100包括保持部23和用于调节在X轴方向和Y轴方向上的倾斜度的进给器10，当Y轴方向进给器10驱动时，保持部23在X轴方向进给器10的保持结构中沿着接触部14和16在Y轴方向上滑动。另外，当X轴方向进给器10驱动时，保持部23在Y轴方向进给器10的保持结构中沿着接触部14和16在X轴方向上滑动。此时，如果通过增加压力来增加保持力，则在保持部23与接触部14和16之间产生的摩擦力也增加。然后，会产生空转，并且会降低调平的精度。这引起例如以下问题：不能以期望的精度调节倾斜度，或者必须多次调节倾斜度。在本实施例中，为了解决该问题，提供了一种用于减小在第一示例性实施例中的保持部23与接触部14和16之间产生的摩擦力的机构。
参照图5和图6，图6是图5的A-A剖视图，描述了根据本发明第二示例性实施例的旋转台200的结构。注意，省略了与第一示例性实施例相同的结构的描述。在本实施例中，作为用于调节在X轴方向和Y轴方向上的倾斜度的机构，旋转台200独立地包括进给器10、保持部23等。另外，在本实施例中，保持部23与自调心球轴承141和自调心球轴承161接触，而不是第一示例性实施例中的接触部14和接触部16。
如图6所示，自调心球轴承141固定到施压构件13。自调心球轴承161固定到滑动件124。因此，当滑动件124根据马达61的驱动而移动时，自调心球轴承141和自调心球轴承161作用在保持部23上，且放置面21移动。
例如，当操作Y轴方向进给器10时，保持部23、自调心球轴承141和自调心球轴承161在X轴方向进给器10中沿Y轴方向相对移动。此时，可以通过使自调心球轴承141和自调心球轴承161旋转来减小摩擦力。另外，当操作X轴方向进给器10时，保持部23、自调心球轴承141和自调心球轴承161在Y轴方向进给器10中沿X轴方向相对移动。此时，可以通过使自调心球轴承141和自调心球轴承161旋转来减小摩擦力。
<第三示例性实施例>
第三示例性实施例是能够减小在进给器10中产生的摩擦力的结构的另一示例。
参照图7和8以及作为图7的A-A截面图的图9，描述了根据本发明第三示例性实施例的旋转台300的结构。旋转台300包括：旋转基座30，其被驱动马达的旋转轴31可旋转地支撑；放置面21，其支撑在旋转基座30上，以可在X轴方向和Y轴方向上摆动；以及调节放置面21的倾斜度的进给器10。注意，尽管在附图中示出了能够调节X轴方向上的倾斜度的进给器10，但旋转台300可以包括用于调节X轴方向和Y轴方向上的倾斜度的进给器10，如在第二示例性实施例中所述。
进给器10包括：从动齿轮181，其经由驱动齿轮62接收马达61的动力；进给丝杠(滚珠丝杠)182，其随着从动齿轮181的旋转而旋转；进给丝杠(螺母)183，其随着进给丝杠(滚珠丝杠)182的旋转在X轴方向上移动；以及与进给丝杠(螺母)183结合的滑动件184。滑动件184经由自调心球轴承162与突出部22接触。
将使突出部22沿-X方向移动时产生在X方向上推回的力的机构称为张紧部。例如，在图7的示例中，弹簧(压缩螺旋弹簧)15、线材51、弹簧支撑构件241和242构成张紧部。在突出部22的内部具有空间，在该空间内设置有弹簧15以及与弹簧15的相应端连接的弹簧支撑构件241和242。弹簧支撑构件241固定到突出部22。弹簧支撑构件242根据弹簧15的伸缩而在X轴方向上可滑动。线材51固定到弹簧支撑构件242，并且线材固定构件19和弹簧支撑构件242通过线材51连接。即，弹簧15的一端经由线材51连接到线材固定构件19，并且其运动在X方向上固定。然后，弹簧15经由张紧的线材51对经由弹簧支撑构件241连接到弹簧15的另一端的突出部22施压。
可替代地，张紧部可以通过利用张紧螺旋弹簧将固定构件19与支撑构件241连接而构成。
当滑动件184根据马达61的驱动在X方向上移动时，自调心球轴承162与突出部22接触。用于使自调心球轴承162移动的机构称为进给机构18。这增加了沿X方向推动放置面21的力。当沿X方向推动放置面21时，放置面21在逆时针方向上沿倾斜环41旋转并倾斜。此时，当突出部22沿X方向移动并且自调心球轴承162与弹簧支撑构件242之间的距离缩短时，弹簧15也被压缩。
另一方面，当滑动件184和自调心球轴承162根据马达61的驱动而沿-X方向移动时，突出部22和放置面21被压缩弹簧15的回复力沿-X方向推回。当沿-X方向推动放置面21时，放置面21在顺时针方向上沿倾斜环41旋转并倾斜。
在本实施例中，可以减小与自调心球轴承162的摩擦力。特别地，在第三示例性实施例中，通过去除施压的自调心球轴承(第二实施例中的自调心球轴承141)，与第二示例性实施例相比，摩擦力减半。自调心球轴承具有内圈和外圈的轴线倾斜的特征，并且利用该特征跟随着倾斜的突出部22(第二示例性实施例中的保持部23)。由于内圈和外圈的轴线的倾斜不是通过旋转而是通过滑动引起的，因此产生大的摩擦力。为此，通过将施压机构从自调心球轴承改变为线材51，在施压机构处的摩擦力几乎变为零，并且在第三示例性实施例中实现了更稳定的运动。
注意，本发明不限于以上实施例，并且可以在不脱离范围的情况下适当地改变。

Claims (3)

1.一种旋转台，包括：
由旋转轴可旋转地支撑的旋转基座；
支撑在所述旋转基座上以便可摆动的放置面；
配置成调节所述放置面的倾斜度的进给器；
突出部，所述突出部支撑所述放置面；以及
从所述突出部延伸的保持部，其中，
所述进给器包括：
配置成通过与进给机构互锁以移动的第一接触部；以及
被弹簧施压的第二接触部，并且
所述第一接触部和第二接触部沿所述第一接触部的移动方向彼此面对地设置，并且所述第一接触部和第二接触部夹持所述保持部。
2.根据权利要求1所述的旋转台，其中，所述第一接触部和第二接触部中的至少一个包括自调心球轴承，并且
所述自调心球轴承与所述保持部接触。
3.一种旋转台，包括：
由旋转轴可旋转地支撑的旋转基座；
支撑在所述旋转基座上以便可摆动的放置面；
配置成调节所述放置面的倾斜度的进给器；以及
突出部，所述突出部支撑所述放置面，其中，
所述进给器包括：
接触部，其配置成通过与进给机构互锁以移动并且与所述突出部接触以经由所述突出部推动所述放置面；以及
张紧部，其由弹簧施压并且其一端经由所述突出部连接到所述放置面，
所述张紧部在与所述接触部经由所述突出部推动所述放置面的方向相反的方向上向所述突出部提供力，并且
通过所述接触部经由所述突出部施加到所述放置面的外力和通过所述张紧部经由所述突出部施加到所述放置面的外力是平衡的。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020127164B3 (de) 2020-10-15 2021-07-15 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Radialkraft-Vorrichtung für ein Konturmessgerät und Messsystem
CN115070409B (zh) * 2022-06-10 2024-04-05 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 一种四自由度调整机构

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6196073B1 (en) * 1998-01-20 2001-03-06 Marvin L. Harding Hand held golf ball compression and sphericity tester
CN1892862A (zh) * 2005-07-01 2007-01-10 松下电器产业株式会社 旋转驱动装置的制造方法以及旋转驱动装置
TW200714459A (en) * 2005-04-28 2007-04-16 Toshiba Machine Co Ltd Transfer apparatus having gimbal mechanism and transfer method using the transfer apparatus
CN101922925A (zh) * 2009-06-10 2010-12-22 株式会社三丰 圆度测量设备
CN203178811U (zh) * 2013-02-26 2013-09-04 李建斌 一种旋转限位装置
CN106926045A (zh) * 2015-09-28 2017-07-07 迪普马自动化公司 具有同轴制动器的工具夹持器转台
CN108873563A (zh) * 2017-05-08 2018-11-23 日本电产三协株式会社 带抖动修正功能的光学单元

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3125811A (en) * 1964-03-24 Machine for measuring roundness
JP2569390B2 (ja) * 1992-02-19 1997-01-08 株式会社ミツトヨ 真円度測定機
JP2569390Y2 (ja) 1992-07-15 1998-04-22 三和機材株式会社 推進管の推進方向検知用発光ターゲットの発光回路開閉装置
JP2001201340A (ja) * 2000-01-19 2001-07-27 Mitsutoyo Corp 真円度測定装置
JP2002148216A (ja) * 2000-11-08 2002-05-22 Mac Science Co Ltd 試料テーブル装置
JP3949910B2 (ja) * 2001-07-05 2007-07-25 株式会社ミツトヨ エアーベアリングを用いた駆動装置
CN2773621Y (zh) * 2004-12-02 2006-04-19 洛阳轴研科技股份有限公司 高精度动态轴承轴向游隙测量仪
WO2011068937A1 (en) * 2009-12-02 2011-06-09 The Fiber Resource Group, Inc. System and method of an automated roll sizing machine
JP6518421B2 (ja) * 2014-09-24 2019-05-22 株式会社ミツトヨ 真円度測定機およびその制御方法
US9393089B1 (en) * 2015-10-23 2016-07-19 King Saud University Stabilizing device for dental crowns

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6196073B1 (en) * 1998-01-20 2001-03-06 Marvin L. Harding Hand held golf ball compression and sphericity tester
TW200714459A (en) * 2005-04-28 2007-04-16 Toshiba Machine Co Ltd Transfer apparatus having gimbal mechanism and transfer method using the transfer apparatus
CN1892862A (zh) * 2005-07-01 2007-01-10 松下电器产业株式会社 旋转驱动装置的制造方法以及旋转驱动装置
CN101922925A (zh) * 2009-06-10 2010-12-22 株式会社三丰 圆度测量设备
CN203178811U (zh) * 2013-02-26 2013-09-04 李建斌 一种旋转限位装置
CN106926045A (zh) * 2015-09-28 2017-07-07 迪普马自动化公司 具有同轴制动器的工具夹持器转台
CN108873563A (zh) * 2017-05-08 2018-11-23 日本电产三协株式会社 带抖动修正功能的光学单元

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