CN111656475B - 电容元件及等离子体处理装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种电容元件及等离子体处理装置。在使用液体物质来作为电介质的电容元件中，防止静电电容变化。电容元件包括：收纳容器，具有将作为电介质的液体导入的导入端口及将所述液体导出的导出端口，且由所述液体来装满；以及至少一对电极，设置于所述收纳容器内且彼此相向，并且在所述收纳容器的上壁形成有用以将此收纳容器内的气泡排出的开口部。

Description

电容元件及等离子体处理装置
技术领域
本发明涉及一种电容元件以及包括此电容元件的等离子体处理装置。
背景技术
作为电容元件，如专利文献1所示，有包括一对电极、以及介隔存在于这些电极之间的电介质，并且使用液体物质来作为所述电介质的电容元件。
然而，若使用液体物质来作为电介质，则有时会在构成电容元件的容器内流入气泡，或在容器内产生气泡，所述气泡卷入容器内所发生的漩涡而无法自容器中脱离。于是，气泡附着于电极而导致静电电容变化，产生损害可靠性的问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2009-272354号公报
发明内容
发明所要解决的问题
因此，本发明是为了解决所述问题点而形成，其主要问题为在使用液体物质来作为电介质的电容元件中，防止静电电容变化。
解决问题的技术手段
即，本发明的电容元件包括：收纳容器，具有将作为电介质的液体导入的导入端口及将所述液体导出的导出端口，且由所述液体来装满；以及至少一对电极，设置于所述收纳容器内且彼此相向，并且所述电容元件的特征在于：在所述收纳容器的上壁形成用以将此收纳容器内的气泡排出的开口部。
若为如上所述的电容元件，则由于在收纳容器的上壁形成有用以将气泡排出的开口部，故而能够将流入至收纳容器内的气泡或在收纳容器内产生的气泡自开口部排出，能够防止静电电容变化。
优选为：所述开口部形成于比所述上壁中的外周部更靠内侧，且在所述上壁的内表面形成有气泡引导部，所述气泡引导部随着自所述上壁中的外周部朝向所述开口部而向上方倾斜，将气泡引导至所述开口部。
若为此结构，则在收纳容器内浮起的气泡由气泡引导部来引导至开口部，因此能够更确实地排出气泡。
所述气泡引导部优选为平面或曲面。
若为此结构，则气泡引导部不存在阶差，能够将气泡不滞留而引导至开口部。
此外，在如下结构中，即：所述导入端口形成于所述收纳容器的侧壁，且所述一对电极的其中一者具有固定于所述侧壁并且形成与所述导入端口连通的贯穿孔的凸缘构件、以及支撑于所述凸缘构件的电极板，若在导入端口与贯穿孔之间形成阶差，则在此阶差部分容易产生漩涡，气泡容易滞留于角部。
因此，在所述结构中为了防止气泡的滞留，优选为所述导入端口与所述贯穿孔的至少一部分无阶差地连通。
优选为在所述开口部连接有配管构件，且此配管构件连接于所述收纳容器的下游侧。
若为此结构，则开口部与收纳容器的下游侧的负压区域连通，故而能够使气泡与液体一起自开口部排出。
优选为在所述开口部或者将所述开口部与所述收纳容器的下游侧连接的流路设置阀。
若为此结构，则例如若使用开关阀来作为阀，则能够通过视需要适当地将开关阀打开而排出收纳容器内的气泡，或者若使用减压阀来作为阀，则在例如液体的流动停止的期间，即便在收纳容器内产生气泡，也能够在收纳容器内的压力达到一定以上的情况下，通过减压阀打开而自动地排出气泡。
电容元件的具体实施方式可列举：所述一对电极的其中一者为固定电极，所述一对电极的另一者为能够相对于所述固定电极而移动的可动电极，且将静电电容构成为可变。
另外，本发明的等离子体处理装置的特征在于包括所述电容元件及天线导体，所述天线导体与所述电容元件电连接，并且流通高频电流以便产生等离子体。
若为此种结构，则能够提供一种等离子体处理装置，其发挥由所述电容元件带来的作用效果，即，使用液体物质来作为电容元件的电介质，而且防止其静电电容变化的作用效果。
优选为所述天线导体在内部具有冷却液所流通的流路，所述电容元件的作为电介质的所述液体至少包括所述冷却液。
若为此种结构，则由于至少由天线导体的冷却液来构成电容元件的电介质，故而能够将电容元件冷却，并且抑制其静电电容的意外变动。
另外，通过利用调温机构，将冷却液调整为一定温度，而将此冷却液用作电介质，借此能够抑制由温度变化引起的相对介电常数的变化，且抑制随之产生的静电电容的变化。
进而，在使用水来作为冷却液的情况下，水的相对介电常数在20℃下约为80，能够构成可耐受高电压的电容元件。
发明的效果
根据以所述方式构成的本发明，能够在使用液体物质来作为电介质的电容元件中，防止静电电容变化。
附图说明
图1是示意性表示本实施方式的等离子体处理装置的结构的纵剖面图。
图2是示意性表示所述实施方式的等离子体处理装置的结构的横剖面图。
图3是示意性表示所述实施方式的可变电容器的横剖面图。
图4是示意性表示所述实施方式的可变电容器的纵剖面图。
图5是从导入端口侧来看所述实施方式的可变电容器的侧视图。
图6是表示所述实施方式的固定金属板及可动金属板不相向的状态的示意图。
图7是表示所述实施方式的固定金属板及可动金属板相向的状态的示意图。
图8是示意性表示其他实施方式的可变电容器的纵剖面图。
图9是示意性表示其他实施方式的可变电容器的纵剖面图。
图10是示意性表示其他实施方式的可变电容器的纵剖面图。
符号的说明
100：等离子体处理装置
W：基板
P：电感耦合等离子体
2：真空容器
3：天线导体
3S：流路
CL：冷却液
13：可变电容器
16：第一固定电极
161：固定金属板
162：第一凸缘构件
162H：贯穿孔
17：第二固定电极
171：固定金属板
172：第二凸缘构件
172H：贯穿孔
18：可动电极
C：旋转轴
182：第一可动金属板
183：第二可动金属板
161a、171a：缩小的端边
161b、171b：前端边
19：收纳容器
P1：导入端口
P2：导出端口
19a：左侧壁
19b：右侧壁
19d：上壁
Z：开口部
192：气泡引导部
PI：配管构件
V1：开关阀
V2：减压阀
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的等离子体处理装置的一实施方式进行说明。
＜装置结构＞
本实施方式的等离子体处理装置100使用电感耦合型的等离子体P来对基板W实施处理。此处，基板W例如为：液晶显示器或有机电致发光(electroluminescent，EL)显示器等平板显示器(flat panel display，FPD)用的基板、挠性显示器用的挠性基板等。另外，对基板W实施的处理例如为：利用等离子体化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)法的膜形成、蚀刻、灰化、溅射等。
此外，此等离子体处理装置100在利用等离子体CVD法来进行膜形成的情况下称为等离子体CVD装置，在进行蚀刻的情况下称为等离子体蚀刻装置，在进行灰化的情况下称为等离子体灰化装置，在进行溅射的情况下也称为等离子体溅射装置。
具体而言，如图1及图2所示，等离子体处理装置100包括：真空容器2，经真空排气且导入气体G；直线状的天线导体3，配置于真空容器2内；以及高频电源4，将用以在真空容器2内生成电感耦合型等离子体P的高频施加至天线导体3。此外，通过自高频电源4对天线导体3施加高频，而在天线导体3流通高频电流IR，在真空容器2内产生感应电场而生成电感耦合型的等离子体P。
真空容器2例如为金属制的容器，其内部利用真空排气装置5来真空排气。真空容器2在此例中电接地。
在真空容器2内，例如经由流量调整器(图示省略)及在沿着天线导体3的方向上配置的多个气体导入口21，来导入气体G。气体G只要设为与对基板W实施的处理内容相对应的气体即可。
另外，在真空容器2内，设置有保持基板W的基板固定器6。如此例所述，可自偏置电源7对基板固定器6施加偏置电压。偏置电压例如为负的直流电压、负的偏置电压等，但并不限定于此。利用此种偏置电压，例如能够控制等离子体P中的正离子射入至基板W时的能量，而进行形成于基板W的表面的膜的结晶度的控制等。也可在基板固定器6内设置对基板W进行加热的加热器61。
天线导体3在真空容器2内的基板W的上方，以沿着基板W的表面的方式(例如与基板W的表面实质上平行地)配置有多个。
天线导体3的两端部附近分别贯穿真空容器2的相对向的侧壁。在使天线导体3的两端部向真空容器2外贯穿的部分，分别设置有绝缘构件8。天线导体3的两端部贯穿此各绝缘构件8，且此贯穿部例如由衬垫91来真空密封。各绝缘构件8与真空容器2之间也例如由衬垫92来真空密封。此外，绝缘构件8的材质例如为：氧化铝等陶瓷、石英、或者聚苯硫醚(polyphenylene sulfide，PPS)、聚醚醚酮(polyether ether ketone，PEEK)等工程塑料等。
进而，天线导体3中，位于真空容器2内的部分由直管状的绝缘罩10所覆盖。此绝缘罩10的两端部由绝缘构件8所支撑。此外，绝缘罩10的材质例如为石英、氧化铝、氟树脂、氮化硅、碳化硅、硅等。
而且，多个天线导体3是在内部具有冷却液CL所流通的流路3S的中空结构。本实施方式中，是形成直管状的金属管。金属管31的材质例如为铜、铝、它们的合金、不锈钢等。
此外，冷却液CL利用设置于真空容器2的外部的循环流路11在天线导体3中流通，在所述循环流路11，设置有：用以将冷却液CL调整为一定温度的热交换器等调温机构111、以及用以在循环流路11中使冷却液CL循环的泵等循环机构112。作为冷却液CL，就电绝缘的观点而言，优选为高电阻的水，例如优选为纯水或者与其相近的水。除此以外，例如可使用氟系惰性液体等水以外的液体冷媒。
另外，如图2所示，多个天线导体3构成为通过连接导体12连接而成为一根天线结构。即，利用连接导体12将彼此邻接的天线导体3中的向真空容器2的外部延伸出的端部彼此电连接。具体而言，利用连接导体12将彼此邻接的天线导体3中，其中一个天线导体3的端部与另一个天线导体3的端部电连接。
此处，利用连接导体12来连接的两个天线导体3的端部是位于相同侧壁侧的端部。借此，多个天线导体3构成为在彼此邻接的天线导体3中流通彼此反向的高频电流。
而且，连接导体12在内部具有流路，构成为在所述流路中流通冷却液CL。具体而言，连接导体12的一端部与其中一个天线导体3的流路连通，连接导体12的另一端部与另一个天线导体3的流路连通。借此，彼此邻接的天线导体3中，在其中一个天线导体3中流通的冷却液CL经由连接导体12的流路而流入至另一个天线导体3。借此，能够利用共通的冷却液CL来将多个天线导体3冷却。另外，由于能够利用一条流路来将多个天线导体3冷却，故而能够将循环流路11的结构简化。
多个天线导体3中未由连接导体12所连接的其中一个端部成为供电端部3a，在此供电端部3a，经由匹配电路41而连接有高频电源4。另外，另一个端部即终端部3b直接接地。此外，终端部3b也可经由电容器或线圈等而接地。
根据所述结构，能够自高频电源4，经由匹配电路41而向天线导体3流通高频电流IR。高频的频率例如为一般的13.56MHz，但并不限定于此。
＜连接导体12的结构＞
接着，关于连接导体12，参照图3～图7来进行详细说明。此外，在图3及图4等中，一部分的密封构件等省略记载。
如图3及图4所示，连接导体12具有：可变电容器13，是与天线导体3电连接的电容元件；第一连接部14，将此可变电容器13与其中一个天线导体3的端部连接；以及第二连接部15，将可变电容器13与另一个天线导体3的端部连接。
第一连接部14及第二连接部15通过包围天线导体3的端部，而与天线导体3电接触，并且自形成于天线导体3的端部的开口部3H中，将冷却液CL导入至可变电容器13。这些连接部14、连接部15的材质例如为铜、铝、它们的合金、不锈钢等。
本实施方式的各连接部14、连接部15构成为：在天线导体3的端部，在比开口部3H更靠真空容器2侧，经由O形环等密封构件S1而以液密的方式安装，且比开口部3H更靠外侧不约束(参照图3)。借此，设为容许天线导体3相对于连接部14、连接部15而稍微倾斜的结构。
可变电容器13具有：第一固定电极16，与其中一个天线导体3电连接；第二固定电极17，与另一个天线导体3电连接；以及可动电极18，与第一固定电极16之间形成第一电容器，并且与第二固定电极17之间形成第二电容器。
本实施方式的可变电容器13构成为：通过可动电极18围绕规定的旋转轴C而旋转，能够变更其静电电容。而且，可变电容器13包括收纳容器19，所述收纳容器19收纳第一固定电极16、第二固定电极17及可动电极18，且具有绝缘性。
收纳容器19具有：导入端口P1，将来自其中一个天线导体3的冷却液CL导入；以及导出端口P2，将冷却液CL导出至另一个天线导体3。导入端口P1形成于收纳容器19的其中一个侧壁(图3中为左侧壁19a)，导出端口P2形成于收纳容器19的另一个侧壁(图3中为右侧壁19b)，且导入端口P1及导出端口P2设置于彼此相向的位置。此外，本实施方式的收纳容器19形成在内部具有中空部的概略长方体形状，但也可为其他形状。
第一固定电极16及第二固定电极17围绕可动电极18的旋转轴C而位于彼此不同的位置。本实施方式中，第一固定电极16自收纳容器19的导入端口P1插入至收纳容器19的内部而设置。另外，第二固定电极17自收纳容器19的导出端口P2插入至收纳容器19的内部而设置。借此，第一固定电极16及第二固定电极17设置于关于旋转轴C而对称的位置。
第一固定电极16具有以彼此相向的方式来设置的多个第一固定金属板161。另外，第二固定电极17具有以彼此相向的方式来设置的多个第二固定金属板171。这些固定金属板161、固定金属板171分别沿着旋转轴C而彼此大致等间隔地设置。
而且，多个第一固定金属板161彼此形成同一形状，支撑于第一凸缘构件162。第一凸缘构件162固定于收纳容器19的形成有导入端口P1的左侧壁19a。此处，在第一凸缘构件162，形成有与导入端口P1连通的贯穿孔162H(参照图5)。此贯穿孔162H在俯视时形成大致矩形形状，此处，形成贯穿孔162H的内周面中的上表面及下表面形成梳齿状。即，在上表面交替地形成有向下方突出的凸部162a以及向上方凹陷的凹部162b，在各个凸部162a支撑有第一固定金属板161的上端部。另外，在下表面交替地形成有向上方突出的凸部162c以及向下方凹陷的凹部162d，在各个凸部162c支撑有第一固定金属板161的下端部。
多个第二固定金属板171彼此形成同一形状，支撑于第二凸缘构件172。第二凸缘构件172固定于收纳容器19的形成有导出端口P2的右侧壁19b。此处，在第二凸缘构件172，形成有与导出端口P2连通的贯穿孔172H。此贯穿孔172H在此处与162H为同一形状，俯视时形成大致矩形形状，形成贯穿孔172H的内周面中的上表面及下表面形成梳齿状。即，在上表面交替地形成有向下方突出的凸部以及向上方凹陷的凹部，在各个凸部支撑有第二固定金属板171的上端部。另外，在下表面交替地形成有向上方突出的凸部以及向下方凹陷的凹部，在各个凸部支撑有第二固定金属板171的下端部。
这些多个第一固定金属板161及多个第二固定金属板171是以固定于收纳容器19的状态，设置于关于旋转轴C而对称的位置。
另外，第一固定金属板161及第二固定金属板171形成平板状，如图6所示，俯视时，形成随着朝向旋转轴C而宽度缩小的形状。而且，各固定金属板161、固定金属板171中，宽度缩小的端边161a、端边171a沿着旋转轴C的直径方向而形成。此外，彼此相向的端边161a、端边171a所形成的角度为90度。另外，各固定金属板161、固定金属板171的旋转轴C侧的前端边161b、前端边171b形成圆弧状。
如图3所示，可动电极18具有：旋转轴体181，以能够围绕旋转轴C而旋转的方式枢转地支撑于收纳容器19的侧壁(图3中为前侧壁19c)；第一可动金属板182，支撑于此旋转轴体181且与第一固定电极16相向；以及第二可动金属板183，支撑于旋转轴体181且与第二固定电极17相向。
旋转轴体181形成沿着旋转轴C而延伸的直线状。此旋转轴体181构成为其一端部自收纳容器19的前侧壁19c向外部延伸出。而且，在此收纳容器19的前侧壁19c上，以能够旋转的方式由O形环等密封构件S2来支撑。此处，在前侧壁19c上，利用两个O形环来进行两点支撑。另外，旋转轴体181的另一端部是以能够旋转的方式与设置于收纳容器19的内表面的定位凹部191接触。
另外，旋转轴体181的支撑第一可动金属板182及第二可动金属板183的部分181x是由金属制等导电材料所形成，自收纳容器19向外部延伸出的部分181y是由树脂制等绝缘材料所形成。
第一可动金属板182是与第一固定金属板161对应而设置有多个。此外，第一可动金属板182分别形成同一形状。另外，第二可动金属板183是与第二固定金属板171对应而设置有多个。此外，第二可动金属板183分别形成同一形状。这些可动金属板182、可动金属板183分别沿着旋转轴C而彼此大致等间隔地设置。另外，本实施方式中，设为各可动金属板182、可动金属板183夹持于各固定金属板161、固定金属板171之间的结构。图3中，将固定金属板161、固定金属板171设为6片，且将可动金属板182、可动金属板183设为5片，但并不限定于此。此外，可动金属板182、可动金属板183与固定金属板161、固定金属板171的间隙例如为1mm。
如图4所示，第一可动金属板182及第二可动金属板183设置于关于旋转轴C而对称的位置，并且彼此形成同一形状。具体而言，如图6所示，各可动金属板182、可动金属板183在俯视时，形成随着自旋转轴C向直径方向外侧行进而扩展的扇形形状。本实施方式中，形成中心角为90度的扇形形状。
通过在以所述方式构成的可变电容器13中，使可动电极18旋转，而如图7所示，第一固定金属板161及第一可动金属板182的相向面积(第一相向面积A1)变化，且第二固定金属板171及第二可动金属板183的相向面积(第二相向面积A2)变化。本实施方式中，第一相向面积A1及第二相向面积A2以相同的方式变化。另外，各固定金属板161、固定金属板171的旋转轴C侧的前端边161b、前端边171b为圆弧状，通过使可动电极18旋转，第一相向面积A1及第二相向面积A2是与可动电极18的旋转角度θ成比例而变化。
另外，本实施方式中，如图6所示，在各固定金属板161、固定金属板171及各可动金属板182、可动金属板183不相向的状态下，俯视时，在可动金属板182、可动金属板183的扩展的端边182a、端边183a与固定金属板161、固定金属板171的缩小的端边161a、端边171a之间设置有间隙X。借此，能够在轴方向上拆除可动电极18。本实施方式中，通过沿着轴方向将支撑可动电极18的前侧壁19c拆除，而将可动电极18拆除。
在所述结构中，若自收纳容器19的导入端口P1中流入冷却液CL，则收纳容器19的内部由冷却液CL装满。此时，第一固定金属板161与第一可动金属板182之间由冷却液CL装满，并且第二固定金属板171及第二可动金属板183之间由冷却液CL装满。借此，冷却液CL成为第一电容器的电介质及第二电容器的电介质。本实施方式中，第一电容器的静电电容与第二电容器的静电电容相同。另外，以所述方式构成的第一电容器及第二电容器串联连接，可变电容器13的静电电容成为第一电容器(或者第二电容器)的静电电容的一半。
此处，本实施方式中构成为：第一固定电极16及第二固定电极17与可动电极18的相向方向和导入端口P1及导出端口P2的相向方向正交。即，固定金属板161、固定金属板171及可动金属板182、可动金属板183沿着导入端口P1及导出端口P2的相向方向而设置。通过此结构，容易在收纳容器19的内部流通冷却液CL。其结果为，收纳容器19内的冷却液CL的置换变得容易，能够效率良好地进行可变电容器13的冷却。另外，自导入端口P1流入的冷却液CL容易流入至固定金属板161、固定金属板171以及可动金属板182、可动金属板183之间，且容易自固定金属板161、固定金属板171以及可动金属板182、可动金属板183之间流出。其结果为，固定金属板161、固定金属板171以及可动金属板182、可动金属板183之间的冷却液的置换变得容易，抑制作为电介质的冷却液CL的温度变化。借此，容易将可变电容器13的静电电容维持为一定。进而，在固定金属板161、固定金属板171以及可动金属板182、可动金属板183之间难以滞留气泡。
而且，本实施方式中，如图4所示，在收纳容器19的上壁19d形成有用以将收纳容器19内的气泡排出的开口部Z。具体而言，开口部Z形成于比上壁19d中的外周部更靠内侧，即上壁19d的中央部，此处，位于可动电极18的旋转轴C的上方。此外，开口部Z的形状或数量可适当变更，此处在俯视时形成一个大致圆形的开口部Z。
在开口部Z，连接有配管构件PI的一端，此配管构件PI的另一端连接于收纳容器19的下游侧。更具体而言，将配管构件PI的另一端在真空容器2的外部连接于循环机构112的上游侧，借此，收纳容器19内的气泡与冷却液CL一起经由开口部Z而自收纳容器19中排出。本实施方式中，如图1及图2所示，在循环机构112的上游侧设置有例如向上方开口的缓冲容器等除泡装置113，在此除泡装置113的上游侧连接配管构件PI的另一端。
进而，收纳容器19具有气泡引导部192，所述气泡引导部192形成于上壁19d的内表面，将气泡引导至开口部Z。此气泡引导部192是随着自上壁19d的外周部朝向开口部Z而向上方倾斜的例如曲面。此处如图6所示，在与旋转轴C正交的剖面中，气泡引导部192形成沿着可动电极18的外端边183b的形状，即圆弧状。本实施方式中，以跨越开口部Z的方式，自开口部Z的上游侧至下游侧，换言之，自第一连接部14侧至第二连接部15侧，形成有气泡引导部192。
本实施方式的气泡引导部192设置于上壁19d的内表面中的一部分区域，在其以外的区域设置有与气泡引导部192连续而形成的平坦部193。此平坦部193是自气泡引导部192朝向外侧延伸的平面，此处，如图6所示，在与旋转轴C正交的剖面中，形成沿着固定金属板161、固定金属板171的上边部161d、上边部171d的形状。
所述气泡引导部192及平坦部193也设置于收纳容器19的底壁19e的内表面，此处，在上壁19d的内表面与底壁19e的内表面，分别设置于关于旋转轴C而对称的位置。即，设置于底壁19e的气泡引导部192形成沿着可动电极18的外端边182b的形状，即圆弧状，设置于底壁19e的平坦部193形成沿着固定金属板161、固定金属板171的下边部161c、下边部171c的形状。
进而，本实施方式中，如图3～图6所示，形成于收纳容器19的左侧壁19a的导入端口P1与形成于第一凸缘构件162的贯穿孔162H的至少一部分无阶差地连通。
若更具体地进行说明，则如图5所示，在形成贯穿孔162H的内周面中的上表面及下表面，交替地形成有凸部162a、凸部162c及凹部162b、凹部162d，其中的各凹部162b、凹部162d的底面与所述平坦部193设置为同一平面状。
另外，本实施方式中，如图3所示，形成导入端口P1的内周面中的前侧的面P1a与形成贯穿孔162H的内周面中的前侧的面162e为同一平面状，且形成导入端口P1的内周面中的后侧的面P1b与形成贯穿孔162H的内周面中的后侧的面162f为同一平面状。
借此，导入端口P1的外周与贯穿孔162H的外周的一部分重叠。
形成于收纳容器19的右侧壁19b的导出端口P2中也同样，导出端口P2与形成于第二凸缘构件172的贯穿孔172H的至少一部分无阶差地连通。
若更具体地进行说明，则在形成贯穿孔172H的内周面中的上表面及下表面，交替地形成有凸部及凹部，其中的各凹部的底面与、所述平坦部193设置为同一平面状。
另外，本实施方式中，如图3所示，形成导出端口P2的内周面中的前侧的面P2a与形成贯穿孔172H的内周面中的前侧的面172e为同一平面状，且形成导出端口P2的内周面中的后侧的面P2b与形成贯穿孔172H的内周面中的后侧的面172f为同一平面状。
借此，导出端口P2的外周与贯穿孔172H的外周的一部分重叠。
此处，所述前侧的各面P1a、面162e、面P2a、面172e全部为同一平面状，收纳容器19的内壁面中的前侧自导入端口P1至导出端口P2，无阶差而形成为平面状。
另外，所述后侧的各面P1b、面162f、面P2b、面172f全部为同一平面状，收纳容器19的内壁面中的后侧自导入端口P1至导出端口P2，无阶差而形成为平面状。
＜本实施方式的效果＞
根据以所述方式构成的本实施方式的等离子体处理装置100，在收纳容器19的上壁19d形成有用以将气泡排出的开口部Z，因此能够将流入至收纳容器19内的气泡或在收纳容器19内产生的气泡自开口部Z中排出，能够防止可变电容器13的静电电容由于气泡而变化。
另外，在收纳容器19的上壁19d的内表面形成有将气泡引导至开口部Z的气泡引导部192，因此收纳容器19内浮起的气泡被引导至开口部Z，能够更确实地排出气泡。
进而，导入端口P1与贯穿孔162H的至少一部分无阶差地连通，并且导出端口P2与贯穿孔172H的至少一部分无阶差地连通，因此能够抑制收纳容器19内的冷却液CL的漩涡或滞留，能够防止收纳容器19内的气泡的滞留。具体而言，例如自贯穿孔162H朝向导入端口P1的冷却液CL从形成贯穿孔162H的内表面中的凹部162b穿过，而绕回至凸部162a的背侧，并且引导至导入端口P1，因此抑制贯穿孔162H或导入端口P1中的气泡的滞留。
除此以外，气泡引导部192为沿着可动电极18的外端边182b、外端边183b的形状，平坦部193形成沿着固定金属板161、固定金属板171的上边部161d、上边部171d或下边部161c、下边部171c的形状，因此能够尽可能减小收纳容器19内的容积。借此，能够将收纳容器19内的冷却液CL快速地置换，实现可变电容器13的冷却的高效率化。
而且，能够利用冷却液CL将天线导体3冷却，因此能够稳定地产生等离子体P。另外，由于利用在天线导体3中流通的冷却液CL来构成可变电容器13的电介质，故而能够将可变电容器13冷却，并且抑制其静电电容的意外变动。
＜其他的变形实施方式＞
此外，本发明并不限定于所述实施方式。
例如，所述实施方式中，在收纳容器19的上壁19d形成有一个开口部Z，但也可形成多个开口部Z。此情况下的一例可列举：多个开口部Z在上壁中沿着旋转轴C而形成为列状的结构。
气泡引导部192在所述实施方式中为曲面，但也可如图8所示，为朝向开口部Z而倾斜的平面。
另外，平坦部193未必需要设置，也可如图8所示，在上壁19d的内表面，自外端部至开口部而设置有气泡引导部192。
进而，也可在开口部Z或者将开口部Z与收纳容器19连接的流路设置阀。
作为一例，如图9所示，可列举在开口部Z设置能够自动或手动地进行开关的开关阀V1的结构，若为此种结构，则能够通过视需要来适当地将开关阀V1打开，而将收纳容器19内的气泡排出。
作为另一例，如图10所示，能够列举设置减压阀V2来代替图9中的开关阀V1的结构。
具体而言，此减压阀V2是以利用弹簧V2a的弹力而使阀体V2b移动的方式来构成的自动减压阀，在收纳容器19的内压达到规定值以上的情况下自关闭状态切换为打开状态。
若为此种结构，则在例如冷却液的流通停止的期间，即便在收纳容器19内产生气泡，在收纳容器19的内压达到规定值以上的情况下减压阀V2也打开，因此能够自动地排出气泡。
除此以外，所述实施方式中，形成贯穿孔162H的内周面中的上表面及下表面为梳齿状，但也可将形成贯穿孔162H的内周面不设为梳齿状，而是将形成导入端口P1的内周面中的上表面及下表面设为梳齿状，且在形成于所述上表面及下表面的凹部插入第一固定金属板161。
另外，关于贯穿孔172H也同样，也可将形成贯穿孔172H的内周面不设为梳齿状，而是将形成导出端口P2的内周面中的上表面及下表面设为梳齿状，且在形成于所述上表面及下表面的凹部插入第二固定金属板171。
所述实施方式中，可动电极围绕旋转轴而旋转，但可动电极也可在一方向上滑动移动。此处，作为可动电极滑动的结构，可以是可动电极在和与固定电极的相向方向正交的方向上滑动而相向面积变化的结构，也可以是可动电极沿着与固定电极的相向方向而滑动，相向距离变化的结构。
另外，可动金属板及固定金属板的形状并不限定于所述实施方式，能够设为各种形状。
进而，所述实施方式中，可变电容器设置于彼此邻接的天线导体之间，但也可设置于天线导体与接地之间。在此情况下，第一固定电极与天线导体电连接，第二固定电极接地。
而且，所述实施方式中，天线导体虽形成直线状，但也可为弯曲或者屈曲的形状。在此情况下，金属管可为弯曲或者屈曲的形状，也可为绝缘管弯曲或者屈曲的形状。
此外，也可将在收纳容器的上壁形成用以将此收纳容器内的气泡排出的开口部的技术性思想应用于电池或固定电容器等电气元件。
即，所述电气元件包括：收纳容器，具有将作为内部液的液体导入的导入端口以及将所述液体导出的导出端口，且由所述液体来装满；以及至少一对电极，设置于所述收纳容器内且彼此相向，并且所述电气元件的特征在于：在所述收纳容器的上壁形成有用以将此收纳容器内的气泡排出的开口部。
除此以外，本发明并不限定于所述实施方式，当然可在不脱离其主旨的范围内进行各种变形。

Claims (8)

1.一种电容元件，包括：
收纳容器，具有将作为电介质的液体导入的导入端口以及将所述液体导出的导出端口，且由所述液体来装满；以及至少一对电极，设置于所述收纳容器内且彼此相向，并且
在所述收纳容器的上壁形成有用以将所述收纳容器内的气泡排出的开口部，
所述一对电极的其中一者为固定电极，所述一对电极的另一者为能够相对于所述固定电极而移动的可动电极，所述可动电极围绕旋转轴而旋转，且将静电电容构成为可变，
所述液体为水。
2.根据权利要求1所述的电容元件，其中所述开口部形成于比所述上壁中的外周部更靠内侧，并且
在所述上壁的内表面形成有气泡引导部，所述气泡引导部随着自所述上壁中的外周部朝向所述开口部而向上方倾斜，将气泡引导至所述开口部。
3.根据权利要求2所述的电容元件，其中所述气泡引导部为平面或曲面。
4.根据权利要求2或3所述的电容元件，其中所述导入端口形成于所述收纳容器的侧壁，
所述一对电极的其中一者具有：凸缘构件，固定于所述侧壁，并且形成有与所述导入端口连通的贯穿孔；以及电极板，支撑于所述凸缘构件，并且
所述导入端口与所述贯穿孔的至少一部分无阶差地连通。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的电容元件，其中在所述开口部连接有配管构件，且所述配管构件连接于所述收纳容器的下游侧。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的电容元件，其中在所述开口部或者将所述开口部与所述收纳容器的下游侧连接的流路设置有阀。
7.一种等离子体处理装置，包括：
如权利要求1至6中任一项所述的电容元件；以及
天线导体，与所述电容元件电连接，并且流通高频电流以便产生等离子体。
8.根据权利要求7所述的等离子体处理装置，其中所述天线导体在内部具有水来作为冷却液所流通的流路。
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