CN111647453B - 一种金刚石线切割液及其制备方法、应用和使用方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种金刚石线切割液及其制备方法、应用和使用方法。以重量份数计，所述金刚石线切割液包括：10‑30份的聚乙二醇、5‑25份的二乙二醇、0.5‑15份的增溶剂、0.5‑15份的酸碱平衡剂、0.1‑1.5份的渗透剂、0.1‑1.5份的分散剂、0.1‑5份的缓蚀剂和40‑85份的水。该金刚石线切割液的表面张力值低，能减少线锯的磨损，减少断线率，提高产品的切割良率；还能减少切割过程中泡沫的产生，解决溢缸的问题；且COD值低，利于微生物降解，降低环境污染。

Description

一种金刚石线切割液及其制备方法、应用和使用方法
技术领域
本发明涉及硅片切割领域，具体涉及一种金刚石线切割液及其制备方法、应用和使用方法。
背景技术
在太阳能硅片切割过程中，硅片切割液是硅片切割过程中必须使用的辅料，常用硅片切割液有砂浆切割液和金刚石线切割液，其中砂浆切割液本身不含水，其实际含水量难以控制，且采用砂浆切割液进行切割耗时长、效率低、生产成本高。目前整个光伏产业的硅片切割基本采用金刚石线锯进行切割，而非使用原始的不含水的砂浆切割液。但是目前市面上所使用的金刚石线切割液，还具有一定的缺陷，如在切割过程中频频断线，导致产品报废率增高；且切割过程中容易出现泡沫溢出缸体现象。因此市场上亟待开发一种断线率低、产品切割良率高的金刚石线切割液。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术中存在的问题，提供一种金刚石线切割液及其制备方法、应用和使用方法，该金刚石线切割液的表面张力值低，能减少线锯的磨损，减少断线率，提高产品的切割良率；还能减少切割过程中泡沫的产生，解决溢缸的问题。
本发明的第一方面是提供一种金刚石线切割液，以重量份数计，所述金刚石线切割液包括：10-30份的聚乙二醇、5-25份的二乙二醇、0.5-15份的增溶剂、0.5-15份的酸碱平衡剂、0.1-1.5份的渗透剂、0.1-1.5份的分散剂、0.1-5份的缓蚀剂和40-85份的水。
本发明的第二方面是提供一种金刚石线切割液的制备方法，该方法包括将前述金刚石线切割液各组分进行混合。
本发明的第三方面是提供前述金刚石线切割液和前述金刚石线切割液的制备方法制得的金刚石线切割液在切割单晶硅和多晶硅的切割上的应用。
本发明的第四方面是提供一种金刚石线切割液的使用方法，该方法包括将前述所述的金刚石线切割液与稀释剂混合后使用。
通过上述技术方案，本发明提供的金刚石线切割液含有聚乙二醇和二乙二醇，利于微生物降解，降低环境污染；且聚乙二醇和二乙二醇与增溶剂、酸碱平衡剂相互配合，降低金刚石线切割液的表面张力值，减少线锯的磨损，减少断线率，提高产品的切割良率；还减少了切割过程中泡沫的产生，解决溢缸的问题。
本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
具体实施方式
以下对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
本发明提供了一种金刚石线切割液，以重量份数计，所述金刚石线切割液包括：10-30份的聚乙二醇、5-25份的二乙二醇、0.5-15份的增溶剂、0.5-15份的酸碱平衡剂、0.1-1.5份的渗透剂、0.1-1.5份的分散剂、0.1-5份的缓蚀剂和40-85份的水。
优选情况下，为了进一步提高产品的切割良率。以重量份数计，所述金刚石线切割液包括：15-25份的聚乙二醇、10-15份的二乙二醇、3-6份的增溶剂、4-8份的酸碱平衡剂、0.1-0.8份的渗透剂、0.1-0.8份的分散剂、0.1-1份的缓蚀剂和45-80份的水。
本发明提供的金刚石线切割液含有聚乙二醇和二乙二醇，在金刚石线锯切割过程中，聚乙二醇和二乙二醇能够起到润滑钢线的作用，减少热量的产生；且聚乙二醇和二乙二醇能够与增溶剂、酸碱平衡剂相互配合，降低金刚石线切割液的表面张力值，减少线锯的磨损，减少断线率，提高产品的切割良率；还减少了切割过程中泡沫的产生，解决溢缸的问题。优选地，聚乙二醇的分子量为200-600，若分子量过大，体系粘度会增大，影响产品的切割。
本发明提供的金刚石线切割液中不含聚醚，由此，能够避免在切割过程中容易出现泡沫溢出缸体的问题；且本发明提供的金刚石线切割液COD值低，利于微生物降解，降低环境污染，降低成本。需要说明的是，化学需氧量COD是在一定的条件下，采用一定的强氧化剂处理水样时，所消耗的氧化剂量。COD指标能够反应出水体的污染程度，COD值低，有利于废水处理。
优选地，本发明所述增溶剂为异壬酸、新葵酸、草酸和苯甲酸中的一种或多种；进一步优选地，所述增溶剂为异壬酸和/或新葵酸。本发明金刚石线切割液中含有上述增溶剂，能促进体系溶解度，促使体系变得澄清透明。
本发明中，优选地，所述金刚石线切割液pH值在6-8之间，在该优选范围内，能保持体系中电荷之间的平衡，维持体系的酸碱度，最终维持体系在切割过程的液态离子平衡，有利于线锯在液体喷淋时候的密布、防止断线，达到很好的切割效果。进一步优选地，金刚石线切割液pH值在6.9-7.3。优选地，酸碱平衡剂为三乙醇胺、碳酸钠、氢氧化钠和单乙醇胺中的一种或多种。
本发明的渗透剂不但能与增溶剂配合，还可以与分散剂协同作用，很好地分散切割过程中产生的沉淀硅粉，解决断线问题。优选地，渗透剂为脂肪醇聚氧乙烯醚和/或异辛醇聚氧乙烯醚；进一步优选地，渗透剂为异辛醇聚氧乙烯醚。
本发明中，优选地，所述分散剂含有1-萘酚、四聚乙醛和六聚乙二醇的共聚物；采用上述分散剂可以提高体系的分散性，从而很好地分散切割过程中产生的沉淀硅粉。进一步优选地，所述分散剂的羟值为90-106 mgKOH/g。所述分散剂的羟值在上述优选范围内，亲水性更好，更易于在体系中伸展支链，能够与增溶剂、酸碱平衡剂和渗透剂相互配合，使得切割过程中产生的沉淀硅粉在体系中不易沉降，以确保该切割液在切割过程中硅粉不凝结成块掉落。需要说明的是，硅泥结块掉落容易使线锯晃动，线锯晃动会导致切割过程中产生薄厚片，薄片容易掉落，增加掉片率，且掉片会容易导致线锯断线。因此，分散剂与渗透剂的结合，再与切割液体系其他组分相互配合，能减少断线率，提高切割良率。
本发明所述金刚石线切割液中含有缓蚀剂可以防止切割液对机台金属腐蚀，还可缓解线锯的切割磨损，优选地，所述缓蚀剂为苯并三氮唑、硅酸盐、硼酸盐中的一种或多种。进一步优选地，所述缓蚀剂为苯并三氮唑。
本发明所述金刚石线切割液属于水性切割液，通过金刚石线锯进行切割，辅以切割液进行润滑和冷却，带走切割过程中产生的硅粉。本发明所述金刚石线切割液具有较强的冷却润滑作用，能够大大提高切割效率，并对切割机台有清洁作用，带走多余的硅泥，使得机台和切割车间环境变好。
本发明提供的金刚石线切割液中含有的聚乙二醇、二乙二醇、增溶剂、酸碱平衡剂、渗透剂、分散剂和缓蚀剂相互配合，减少断线率，提高切割良率。
本发明同时提供了一种金刚石线切割液的制备方法，该方法包括将前述金刚石线切割液各组分进行混合。
优选情况下，该方法包括以下步骤：
（1）将水、聚乙二醇、二乙二醇、缓蚀剂搅拌混合；
（2）将渗透剂、分散剂与步骤（1）得到的混合物搅拌混合；
（3）向步骤（2）得到的混合物中依次加入增溶剂、酸碱平衡剂，搅拌混合。
根据本发明，优选情况下，在步骤（1）中，所述搅拌的条件包括：搅拌速率为200-300r/min，时间为10-15min。
根据本发明，优选情况下，在步骤（2）中，所述搅拌的条件包括：搅拌速率为200-300r/min，时间为10-15min。
根据本发明，优选情况下，在步骤（3）中，先将增溶剂加入步骤（2）得到的混合物溶液中，直至溶液变得澄清透明，而后加入酸碱平衡剂，所述搅拌的条件包括：搅拌速率为200-300r/min，时间为10-15min。
本发明还提供了前述金刚石线切割液和前述金刚石线切割液的制备方法制得的金刚石线切割液在切割单晶硅和多晶硅的切割上的应用。
本发明还提供了前述所述的金刚石线切割液的使用方法，该方法包括将前述所述的金刚石线切割液与稀释剂混合后使用。
金刚石线切割液与稀释剂的稀释比例可以根据现场良率情况调节，优选地，金刚石线切割液与稀释剂的稀释比例为（1-1.5）：（300-400），满足切割要求。金刚石线切割液与稀释剂按稀释比例进行稀释，在机台内循环5-15min，然后开始切割，切割时间根据车间实际工作要求进行，例如可以为60-120min。优选地，所述稀释剂为水。水是整个体系的介质，也是最廉价的冷却剂、清洗剂，既能带走热量，还能带走机台的硅泥。需要说明的是，金刚石线切割液在使用后会产生废水，如若直接将废水排出工厂会造成环境污染，因此需进行废水处理。本发明中，优选情况下，所述水为去离子水。
金刚石线切割液使用后产生的废水需处理，处理包括絮凝实验，即把水和硅泥分离。分离后的水经过酸碱处理，可以回收重复使用，用于其他工序段，例如，可以用于清洗硅片、冲洗机台、冷却循环系统等；或者排到污水处理处进行下一步净化处理，达到环保排放指标之后排出工厂外。絮凝实验用到的絮凝剂可以为本领域技术人员常用的絮凝剂，例如可以选自阴离子聚丙烯酰胺(APAM)、聚合硫酸氯化铁铝、聚合聚铁硅絮凝剂中的一种或多种。
本发明中，相对于500mL的废水，需要用到的絮凝剂的剂量为6-8 mL。本发明用到的絮凝剂的剂量少于现有技术的用量，现有的需要剂量值为12 mL以上才能完成絮凝实验。絮凝剂用得越少越好，因为在压滤完成之后，硅泥上残留有大量的絮凝剂液不好处理，较耗时。另外，本发明提供的金刚石线切割液使用后产生的废水，完成絮凝实验需要的时间短，优选为8-10min。本发明提供的金刚石线切割液中增溶剂和酸碱平衡剂的共同使用，调整体系的酸碱值，配合渗透剂、分散剂，降低表面张力，因此能减少絮凝剂量，缩短絮凝时间。因此，本发明提供的金刚石线切割液经使用后，在絮凝实验中絮凝剂用量少、完成絮凝时间短，絮凝效果优于市场上的产品。
金刚石线切割液使用后产生的废水经过絮凝处理后，还需对分离出来的硅泥进行压滤处理，压滤处理后的水经净化处理达到环保排放指标，压滤处理后的硅泥经烘干处理排放。
以下将通过实施例对本发明进行详细描述，但本发明并不仅限于下述实施例。
以下实施例的原料来源：
聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600购于广东光华科技股份有限公司；
二乙二醇购于中海壳牌石油化工有限公司；
异壬酸、三乙醇胺、氢氧化钠、苯并三氮唑、异辛醇聚氧乙烯醚和脂肪醇聚氧乙烯醚都购于广东光华科技股份有限公司；
超级分散剂27000，羟值100 mgKOH/g，购于广州路博润。
以下实施例与对比例的切割液以重量份计。
实施例1
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇600 27份
二乙二醇 5份
异壬酸 10份
三乙醇胺 12份
异辛醇聚氧乙烯醚 1.2份
超级分散剂27000 1.2份
苯并三氮唑 3份
水 41份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
将聚乙二醇600、二乙二醇、苯并三氮唑添加到水中，在200r/min 的搅拌速率下搅拌10min；将异辛醇聚氧乙烯醚、超级分散剂27000加入，在200r/min 的搅拌速率下搅拌10min；加入异壬酸，直到体系澄清透明，然后加入三乙醇胺在200r/min 的搅拌速率下搅拌15min，得到金刚石线切割液S1，其中pH值为7.2。
实施例2
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇200 25份
二乙二醇 10份
新葵酸 8.2份
三乙醇胺 10份
脂肪醇聚氧乙烯醚 0.6份
超级分散剂27000 0.6份
苯并三氮唑 1.2份
水 45份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
将聚乙二醇200、二乙二醇、苯并三氮唑添加到水中，在220r/min 的搅拌速率下搅拌10min；将脂肪醇聚氧乙烯醚、超级分散剂27000加入，在220r/min 的搅拌速率下搅拌10min；加入新葵酸，直到体系澄清透明，然后加入三乙醇胺在220r/min 的搅拌速率下搅拌12min，得到金刚石线切割液S2，其中pH值为7.5。
实施例3
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 20份
二乙二醇 15份
异壬酸 4.1份
氢氧化钠 5.2份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.1份
超级分散剂27000 0.1份
苯并三氮唑 0.25份
水 55份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
将聚乙二醇400、二乙二醇、苯并三氮唑添加到水中，在210r/min 的搅拌速率下搅拌10min；将异辛醇聚氧乙烯醚、超级分散剂27000加入，在210r/min 的搅拌速率下搅拌10min；加入异壬酸，直到体系澄清透明，然后加入氢氧化钠在210r/min 的搅拌速率下搅拌10min，得到金刚石线切割液S3，其中pH值为6.8。
实施例4
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 10份
二乙二醇 25份
异壬酸 1.2份
三乙醇胺 2.1份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.1份
超级分散剂27000 0.1份
苯并三氮唑 0.2份
水 61.5份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
制备方法与实施例3的步骤（2）相同，得到金刚石线切割液S4，其中pH值为7.0。
实施例5
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 17份
二乙二醇 10份
异壬酸 3.5份
三乙醇胺 4.2份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.1份
超级分散剂27000 0.1份
苯并三氮唑 0.25份
水 64.5份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
制备方法与实施例3的步骤（2）相同，得到金刚石线切割液S5，其中pH值为7.0。
实施例6
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 20份
二乙二醇 12份
异壬酸 4.2份
三乙醇胺 6.1份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.2份
超级分散剂27000 0.2份
苯并三氮唑 0.3份
水 57份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
制备方法与实施例3的步骤（2）相同，得到金刚石线切割液S6，其中pH值为7.2。
实施例7
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 23份
二乙二醇 13份
异壬酸 6份
三乙醇胺 8份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.3份
超级分散剂27000 0.3份
苯并三氮唑 0.6份
水 49份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
制备方法与实施例3的步骤（2）相同，得到金刚石线切割液S7，其中pH值为7.2。
对比例1
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 32份
异壬酸 4.2份
三乙醇胺 6.1份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.2份
超级分散剂27000 0.2份
苯并三氮唑 0.3份
水 57份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
将聚乙二醇400、苯并三氮唑添加到水中，在230r/min 的搅拌速率下搅拌10min；将异辛醇聚氧乙烯醚、超级分散剂27000加入，在200r/min 的搅拌速率下搅拌10min；加入异壬酸，然后加入三乙醇胺在200r/min 的搅拌速率下搅拌10min，得到金刚石线切割液D1，其中pH值为7.3。
对比例2
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 20份
二乙二醇 12份
三乙醇胺 6.1份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.2份
超级分散剂27000 0.2份
苯并三氮唑 0.3份
水 61.5份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
将聚乙二醇400、二乙二醇、苯并三氮唑添加到水中，在250r/min 的搅拌速率下搅拌10min；将异辛醇聚氧乙烯醚、超级分散剂27000加入，在200r/min 的搅拌速率下搅拌10min；加入三乙醇胺在200r/min 的搅拌速率下搅拌15min，得到金刚石线切割液D2，其中pH值为7.6。
对比例3
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 20份
二乙二醇 12份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.2份
超级分散剂27000 0.2份
苯并三氮唑 0.3份
水 67.5份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
将聚乙二醇400、二乙二醇、苯并三氮唑添加到水中，在250r/min 的搅拌速率下搅拌10min；将异辛醇聚氧乙烯醚、超级分散剂27000加入，在200r/min 的搅拌速率下搅拌10min；得到金刚石线切割液D3，其中pH值为7.2。
对比例4
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 20份
二乙二醇 12份
异壬酸 4.2份
三乙醇胺 6.1份
超级分散剂27000 0.2份
苯并三氮唑 0.3份
水 57.5份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
将聚乙二醇400、二乙二醇、苯并三氮唑添加到水中，在250r/min 的搅拌速率下搅拌10min；将超级分散剂27000加入，在200r/min 的搅拌速率下搅拌10min；加入异壬酸、三乙醇胺在200r/min 的搅拌速率下搅拌15min，得到金刚石线切割液D4，其中pH值为6.9。
对比例5
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
聚乙二醇400 20份
二乙二醇 12份
异壬酸 4.2份
三乙醇胺 6.1份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.2份
苯并三氮唑 0.3份
水 57.2份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
将聚乙二醇400、二乙二醇、苯并三氮唑添加到水中，在210r/min 的搅拌速率下搅拌10min；将异辛醇聚氧乙烯醚加入，在210r/min 的搅拌速率下搅拌10min；加入异壬酸，直到体系澄清透明，然后加入三乙醇胺在210r/min 的搅拌速率下搅拌10min，得到金刚石线切割液D5，其中pH值为7.0。
对比例6
（1）金刚石线切割液的原料及组分：
端氨基聚醚 20份
二乙二醇 12份
异壬酸 4.2份
三乙醇胺 6.1份
异辛醇聚氧乙烯醚 0.2份
超级分散剂27000 0.2份
苯并三氮唑 0.3份
水 57份。
（2）金刚石线切割液的制备方法
制备方法与实施例6的步骤（2）相同，得到金刚石线切割液D6，其中pH值为7.0。
表1
聚乙二醇 聚醚 二乙二醇 增溶剂 酸碱平衡剂 渗透剂 分散剂 缓蚀剂 水
实施例1 27 5 10 12 1.2 1.2 3 41
实施例2 25 10 8.2 10 0.6 0.6 1.2 45
实施例3 20 15 4.1 5.2 0.1 0.1 0.25 55
实施例4 10 25 1.2 2.1 0.1 0.1 0.2 61.5
实施例5 17 10 3.5 4.2 0.1 0.1 0.25 64.5
实施例6 20 12 4.2 6.1 0.2 0.2 0.3 57.2
实施例7 23 13 6 8 0.3 0.3 0.6 49
对比例1 32 4.2 6.1 0.2 0.2 0.3 57
对比例2 20 12 6.1 0.2 0.2 0.3 61.5
对比例3 20 12 0.2 0.2 0.3 67.5
对比例4 20 12 4.2 6.1 0.2 0.3 57.5
对比例5 20 12 4.2 6.1 0.2 0.3 57.2
对比例6 20 12 4.2 6.1 0.2 0.3 57.2
性能测试
pH值测试：使用DD51A型号pH计测试；
表面张力测试方法：参照国标：SY/T5370-1999测试；
切割良率测试方法：使用型号为SJ1-5的切割机，根据切割后得到的良好硅片数量与切割前硅片数量的比值计算得出切割良率值；
COD值测试方法：按照国标GB11914-89化学需氧量测定。
表2
表面张力（Nm/m） 良率（%） COD值（mg/L）
实施例1 30 94 89000
实施例2 31 94 88000
实施例3 32 93 89800
实施例4 33 93 89000
实施例5 28 97 80000
实施例6 29 96 81000
实施例7 29 96 80000
对比例1 35 91 87000
对比例2 42 89 87000
对比例3 48 88 89000
对比例4 39 89 89000
对比例5 35 90 89000
对比例6 36 90 100000
根据表2，从实施例1-7的结果可以看出，本发明提供的金刚石线切割液的表面张力值低、切割良率高、COD值低，利于微生物降解；由实施例6与对比例1-5的结果对比可知，本发明提供的金刚石线切割液能降低表面张力，提高硅片的切割良率，且COD值低；由实施例6与对比例6的结果对比可知，本发明提供的金刚石线切割液不含聚醚，能提高硅片的切割良率，降低COD值，利于微生物降解。
以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (9)

1.一种金刚石线切割液，其特征在于，以重量份数计，所述金刚石线切割液由15-25份的聚乙二醇、10-15份的二乙二醇、3-6份的增溶剂、4-8份的酸碱平衡剂、0.1-0.8份的渗透剂、0.1-0.8份的分散剂、0.1-1份的缓蚀剂和45-80份的水组成；
其中，所述分散剂含有1-萘酚、四聚乙醛和六聚乙二醇的共聚物；
其中，所述分散剂的羟值为90-106 mgKOH/g；
其中，所述增溶剂为异壬酸和/或新葵酸；
其中，所述酸碱平衡剂为三乙醇胺、碳酸钠、氢氧化钠和单乙醇胺中的一种或多种；
其中，所述渗透剂为脂肪醇聚氧乙烯醚。
2.根据权利要求1所述的金刚石线切割液，其特征在于，所述金刚石线切割液的pH值为6-8。
3.根据权利要求1所述的金刚石线切割液，其特征在于，所述聚乙二醇的分子量为200-600。
4.根据权利要求1所述的金刚石线切割液，其特征在于，所述渗透剂为异辛醇聚氧乙烯醚。
5.根据权利要求1所述的金刚石线切割液，其特征在于，所述缓蚀剂为苯并三氮唑、硅酸盐和硼酸盐中的一种或多种。
6.一种金刚石线切割液的制备方法，其特征在于，该制备方法包括将权利要求1-5中任意一项所述的金刚石线切割液的组分进行混合。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：（1）将水、聚乙二醇、二乙二醇、缓蚀剂搅拌混合；
（2）将渗透剂、分散剂与步骤（1）得到的混合物搅拌混合；
（3）向步骤（2）得到的混合物中依次加入增溶剂、酸碱平衡剂，搅拌混合。
8.权利要求1-5中任意一项所述的金刚石线切割液或由权利要求6或7所述的制备方法制得的金刚石线切割液在切割单晶硅和多晶硅上的应用。
9.一种金刚石线切割液的使用方法，其特征在于，包括将权利要求1-5中任一项所述的金刚石线切割液或由权利要求6或7所述的制备方法制得的金刚石线切割液与稀释剂混合后使用。
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