CN111610695A - 曝光机 - Google Patents
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Abstract
本发明属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种曝光机，包括主机体和两个传输装置，两个传输装置均包括安装架、传送机构和位移纠偏机构，两个安装架分别位于主机体的输入端和输出端，两个传送机构分别安装于两个安装架上并均用于沿X轴方向传送待曝光膜料通过主机体，两个位移纠偏机构均包括底架和直线电机，两个安装架分别沿Y轴方向滑动安装于两个底架上，两个直线电机分别沿Y轴方向安装于两个安装架上，且两个直线电机的连接杆分别连接于两个底架。当待曝光膜料在主机体发生沿其宽度方向的错位时，两个传送机构即可相应地沿Y轴方向移动以纠正待曝光膜料发生的错位，避免了人工对待曝光膜料的错位进行纠偏，提升了对待曝光膜料错位纠偏的效率。
Description
技术领域
本发明属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种曝光机。
背景技术
在曝光设备内，曝光设备的主机体两侧通常都设置有用于传输待曝光膜料的传输装置。这样待曝光膜料便可在传输装置的传送下到达主机体内的指定位置，进行曝光作业。
在实际操作过程中，待曝光膜料易受外界因素的影响而沿其宽度方向发生错位，现有的传输装置只能够实现对待曝光膜料的前后传送动作，无法对待曝光膜料沿其宽度方向的错位进行纠偏，需要人工对待曝光膜料发生的沿其宽度方向的错位进行纠偏，较为耗时费力。
发明内容
本发明的目的在于提供一种曝光机，旨在解决现有技术中的待曝光膜料发生的沿其宽度方向的错位时，需要人工进行纠偏的技术问题。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种曝光机，包括主机体和两个传输装置，两个所述传输装置均包括安装架、传送机构和位移纠偏机构，两个所述安装架分别位于所述主机体的输入端和输出端，两个所述传送机构分别安装于两个所述安装架上并均用于沿X轴方向传送待曝光膜料通过所述主机体，两个所述位移纠偏机构均包括底架和直线电机，两个所述安装架分别沿Y轴方向滑动安装于两个所述底架上，两个所述直线电机分别沿Y轴方向安装于两个所述安装架上，且两个所述直线电机的连接杆分别连接于两个所述底架。
进一步地，两个所述位移纠偏机构均包括若干滑轨和若干滑块，各所述滑轨均沿Y轴方向安装于对应的所述底架上，各所述滑块均安装于对应的所述安装架上并分别与各所述滑轨滑动连接。
进一步地，两个所述传送机构均包括收卷胶辊和驱动电机，所述收卷胶辊安装于对应的所述安装架上并用于传送所述待曝光膜料通过所述主机体，所述驱动电机安装于对应的所述安装架上，且所述驱动电机的驱动轴与所述收卷胶辊传动连接。
进一步地，两个所述传送机构均还包括电磁离合器，所述电磁离合器安装于对应的所述安装架上，且所述电磁离合器位于所述驱动电机和所述收卷胶辊之间，所述电磁离合器的输入轴和所述驱动电机的驱动轴传动连接，所述电磁离合器的输出轴和所述收卷胶辊传动连接。
进一步地，两个所述传送机构均还包括第一传输胶辊、第二传输胶辊和第三传输胶辊，所述第一传输胶辊、所述第二传输胶辊和所述第三传输胶辊依序沿背离所述主机体的方向可转动地安装于对应的所述安装架上并与所述收卷胶辊共同形成用于传输所述待曝光膜料的传输路径。
进一步地，两个所述传送机构均还包括用于承托所述待曝光膜料的承接组件，两个所述承接组件均包括吸气板和承接板，所述吸气板安装于对应的所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间，所述吸气板开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸气腔，所述承接板安装于所述吸气板上且覆盖于所述吸气腔，所述承接板上开设有若干吸气孔，各所述吸气孔均与所述吸气腔相连通。
进一步地，所述曝光机还包括两个膜轴装置，两个所述膜轴装置分别位于两个所述传输装置和所述主机体之间并用于过渡传送所述待曝光膜料。
进一步地，两个所述膜轴装置均包括主架体、第一膜轴、转动电机和第二膜轴，所述主架体位于对应的所述传输装置和所述主机体之间，所述第一膜轴可转动地安装于所述主架体上，所述转动电机安装于所述主架体上，且所述转动电机的驱动轴与所述第一膜轴的第一端相连接，所述第二膜轴可转动地安装于所述主架体内并平行于所述第一膜轴设置。
进一步地，两个所述膜轴装置均还包括调位机构，两个所述调位机构均包括固定板和承载架，所述固定板安装于对应的所述主架体内并对应所述第一膜轴设置，所述固定板的上端面开设有若干安装螺孔，所述承载架的下端面开设有若干装配螺孔，所述承载架通过若干调位螺栓穿设各所述装配螺孔和各所述安装螺孔以安装于所述固定板上，所述第二膜轴可转动地安装于所述承载架上。
进一步地，两个所述调位机构还均包括直线马达，所述直线马达安装于对应的所述主架体的下端面，且所述直线马达的连接杆穿过所述主架体的下端面并固定连接于所述固定板的下端面。
本发明的有益效果：本发明的曝光机，通过将两传输装置的安装架设置于主机体的输入端和输出端，这样安装架上装设有的传送机构便可将待曝光膜料传送至主机体内的指定位置。而通过将两安装架分别沿待曝光膜料传输方向的X轴方向的垂直方向Y轴方向安装于位移纠偏机构的两底架上，并使得两个直线电机沿Y轴方向推动安装架相对于底架发生位移，这样便实现了两个安装架带动装设于其上的传送机构沿Y轴方向发生移动。那么当待曝光膜料在主机体发生沿其宽度方向(也就是Y轴方向)的错位时，两个传送机构即可相应地沿Y轴方向移动以纠正待曝光膜料发生的错位，这样便避免了人工对待曝光膜料的错位进行纠偏，从而显著提升了对待曝光膜料错位进行纠偏的效率，提升了待曝光膜料在主机体内的位置精度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的曝光机的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的曝光机的传输装置的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的曝光机的传输装置的爆炸结构示意图；
图4为图3中A处的局部放大视图；
图5为本发明实施例提供的曝光机的承接组件的爆炸结构示意图；
图6为本发明实施例提供的曝光机的膜轴装置的结构示意图；
图7为本发明实施例提供的曝光机的膜轴装置的另一结构示意图；
图8为本发明实施例提供的曝光机的膜轴装置的爆炸结构示意图。
其中，图中各附图标记：
10—主机体 20—传输装置 21—安装架
22—传送机构 23—位移纠偏机构 24—第一传动轮
25—第一传动皮带 26—第二传动轮 27—第三传动轮
28—第二传动皮带 29—第四传动轮 30—膜轴装置
31—主架体 32—转动电机 33—第二膜轴
34—调位机构 35—第一膜轴 221—收卷胶辊
222—驱动电机 223—电磁离合器 224—第一传输胶辊
225—第二传输胶辊 226—第三传输胶辊 227—承接组件
231—底架 232—直线电机 233—滑块
234—滑轨 241—第一架体 242—第二架体
243—第三架体 244—保护罩 341—固定板
342—承载架 343—直线马达 344—装配盘件
345—导向组件 351—装配板 2271—吸气板
2272—承接板 2273—吸气腔 2274—吸气孔
2275—进气嘴 3451—导向套筒 3452—导向杆。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图1～8描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1～3所示，本发明实施例提供了一种曝光机，包括主机体10和两个传输装置20，两个传输装置20均包括安装架21、传送机构22和位移纠偏机构23。具体地，主机体10的两侧具有用于输入待曝光膜料的输入端和用于输出待曝光膜料的输出端，两个安装架21分别位于主机体10的输入端和输出端，两个传送机构22分别安装于两个安装架21上并均用于沿X轴方向传送待曝光膜料通过主机体10。其中，X轴方向即为待曝光膜料的传送方向。相应地，Y轴方向为待曝光膜料的宽度方向。
进一步地，两个位移纠偏机构23均包括底架231和直线电机232。其中，底架231固定安装于地基等基面上。两个安装架21则分别沿Y轴方向滑动安装于两个底架231上。两个直线电机232分别沿Y轴方向安装于两个安装架21上，且两个直线电机232的连接杆分别连接于两个底架231。这样，当两直线电机232动作时，两个直线电机232的连接杆即可推顶两安装架21相对于两底架231沿Y轴方向发生运动。
以下对本发明实施例提供的曝光机作进一步说明：本发明实施例提供的曝光机，通过将两传输装置20的安装架21设置于主机体10的输入端和输出端，这样安装架21上装设有的传送机构22便可将待曝光膜料传送至主机体10内的指定位置。而通过将两安装架21分别沿待曝光膜料传输方向的X轴方向的垂直方向Y轴方向安装于位移纠偏机构23的两底架231上，并使得两个直线电机232沿Y轴方向推动安装架21相对于底架231发生位移，这样便实现了两个安装架21带动装设于其上的传送机构22沿Y轴方向发生移动。那么当待曝光膜料在主机体10发生沿其宽度方向(也就是Y轴方向)的错位时，两个传送机构22即可相应地沿Y轴方向移动以纠正待曝光膜料发生的错位，这样便避免了人工对待曝光膜料的错位进行纠偏，从而显著提升了对待曝光膜料错位进行纠偏的效率，提升了待曝光膜料在主机体10内的位置精度。
在本发明的另一个实施例中，如图1～3所示，两个位移纠偏机构23均包括若干滑动组件，各滑动组件均包括滑轨234和滑块233，各滑轨234均沿Y轴方向安装于对应的底架231上，各滑块233均安装于对应的安装架21上并分别与各滑轨234滑动连接。具体地，由于滑块233和滑轨234的配合，这样当直线电机232推动安装架21相对于底运动时，安装架21即可在滑块233和滑轨234的滑动配合下相对于底架231发生滑动。
在本发明的另一个实施例中，如图2～4所示，两个传送机构22均包括收卷胶辊221和驱动电机222，收卷胶辊221安装于对应的安装架21上并用于传送待曝光膜料通过主机体10，驱动电机222安装于对应的安装架21上，且驱动电机222的驱动轴与收卷胶辊221传动连接。具体地，两驱动电机222可分别驱动两收卷胶辊221转动，两收卷胶辊221在同向转动的过程中即可带动待曝光膜料通过主机体10并使得待曝光膜料的相应位置到达主机体10内的曝光位置。
在本发明的另一个实施例中，如图2～4所示，两个传送机构22均还包括电磁离合器223，电磁离合器223安装于对应的安装架21上，且电磁离合器223位于驱动电机222和收卷胶辊221之间，电磁离合器223的输入轴和驱动电机222的驱动轴传动连接，电磁离合器223的输出轴和收卷胶辊221传动连接。具体地，当待曝光膜料到达指定位置后，可控制两电磁离合器223的输出轴的转动方向相反，进而也使得带动待曝光膜料的两收卷胶辊221发生转动方向相反的趋势，这样便起到了绷紧待曝光膜料的效果，进而能够将待曝光膜料限定在指定位置，此时即使出现了外界因素的干扰，由于两收卷胶辊221能够将待曝光膜料在主机体10内的位置牢牢限定，这样待曝光膜料便不会在外界因素(比如震动或晃摆等)的影响下发生错位，这样便消除了待曝光膜料易相对于主机体10内的基板发生错位的现象，有效提升了待曝光膜料在主机体10内的位置精度。
在本发明的另一个实施例中，如图2～4所示，两个传送机构22均还包括第一传输胶辊224、第二传输胶辊225和第三传输胶辊226，第一传输胶辊224、第二传输胶辊225和第三传输胶辊226依序沿背离主机体10的方向可转动地安装于对应的安装架21上并与收卷胶辊221共同形成用于传输待曝光膜料的传输路径。具体地，通过使得第一传输胶辊224、第二传输胶辊225和第三传输胶辊226依序沿背离主机体10的方向排布，这样要输入主机体10或自主机体10输出的待曝光膜料即可通过各传输胶辊的过渡传输而平稳运动，保证了待曝光膜料的移动稳定性。
在本发明的另一个实施例中，如图2～4所示，第一传输胶辊224靠近主机体10设置，第二传输胶辊225位于第一传输胶辊224背离主机体10的一侧，第三传输胶辊226位于第二传输胶辊225和收卷胶辊221之间。当待曝光膜料输入至主机体10时，首先可通过第三传输胶辊226和第二传输胶辊225的承托并在两收卷胶辊221的带动下运动至第一传输胶辊224处，再经由第一传输胶辊224输运至主机体10内。而当待曝光膜料自主机体10输出时，可先经由第一传输胶辊224和第二传输胶辊225过渡，再经由第三传输胶辊226卷绕至收卷胶辊221上，这样便确保了待曝光膜料传输过程的稳定进行。
在本发明的另一个实施例中，如图2、图3和图5所示，两个传送机构22均还包括用于承托待曝光膜料的承接组件227，两个承接组件227均包括吸气板2271和承接板2272，吸气板2271安装于对应的安装架21上并位于第一传输胶辊224和主机体10之间，吸气板2271开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸气腔2273，承接板2272安装于吸气板2271上且覆盖于吸气腔2273，承接板2272上开设有若干吸气孔2274，各吸气孔2274均与吸气腔2273相连通。具体地，当待曝光膜料输运至承接板2272上时，各吸气孔2274便可对外界的穿过主机体10的牵引膜和待曝光膜料(待曝光产品)实现吸附，此时可将牵引膜和待曝光膜料使用胶带粘合绑定，之后可关闭真空，吸气腔2273充气，各吸气孔2274又可将牵引膜和待曝光膜料吹离承接板2272，进行下一工序。
在本发明的另一个实施例中，如图2、图3和图5所示，两个吸气板2271的底部均安装有用于与外界抽真空装置相连通的吸气嘴2275，吸气嘴2275与对应的吸气腔2273相连通。具体地，通过在吸气板2271的底部设置吸气嘴2275，并使得吸气嘴2275与外界抽真空装置相连通，这样吸气嘴2275即可抽吸吸气腔2273内的气体，从而实现了各吸气孔2274的吸气作用。
在本发明的另一个实施例中，如图2～4所示，两个传送机构22均包括第一传动轮24、第二传动轮26和第一传动皮带25，第一传动轮24安装于对应的驱动电机222的驱动轴，第二传动轮26安装于对应的电磁离合器223的输入轴，第一传动皮带25套设于第一传动轮24和第二传动轮26之间。具体地，由于第一传动轮24、第二传动轮26和第一传动皮带25的存在，这样第一传动皮带25即可将驱动电机222输出的动力通过与第一传动轮24和第二传动轮26的配合而输出至电磁离合器223的输入轴。
在本发明的另一个实施例中，如图2～4所示，两个传送机构22均还包括第三传动轮27、第四传动轮29和第二传动皮带28，第三传动轮27安装于对应的电磁离合器223的输出轴，第四传动轮29安装于对应的收卷胶辊221的一端，第二传动皮带28套设于第三传动轮27和第四传动轮29之间。具体地，由于第三传动轮27、第四传动轮29和第二传动皮带28的存在，这样第二传动皮带28又可将电磁离合器223的输出轴所输出的动力通过与第三传动轮27和第四传动轮29的配合而输出至收卷胶辊221，这样便实现了驱动收卷胶辊221转动。
在本发明的另一个实施例中，如图2～4所示，两个传送机构22均还包括第一架体241，第一架体241安装于对应的安装架21上，收卷胶辊221安装有第四传动轮29的一端穿设过安装架21并可转动地安装于第一架体241上。具体地，由于第一架体241的存在，这样收卷胶辊221的一端便可通过安装于第一架体241上而实现稳定的可转动安装，避免了直接安装于安装架21上而导致安装架21的结构复杂性上升。
在本发明的另一个实施例中，如图2～4所示，两个传送机构22均还包括第二架体242和第三架体243，第二架体242和第三架体243均安装于对应的安装架21上，驱动电机222和电磁离合器223分别安装于对应的第二架体242和对应的第三架体243上。具体地，通过将驱动电机222和电磁离合器223分别安装于第二架体242和第三架体243上，这样便在保证驱动电机222和电磁离合器223的安装稳定性的同时，也避免了将驱动电机222和电磁离合器223直接安装于安装架21上而导致安装架21的结构复杂性上升的问题出现。
进一步地，安装架21上还装设有保护罩244，驱动电机222、电磁离合器223和收卷胶辊221安装有第四传动轮29的一端均位于保护罩244内。这样，驱动电机222、电磁离合器223和收卷胶辊221之间的传动连接结构便能够受到保护罩244的有效保护作用而避免被外界环境因素的所影响。
在本发明的另一个实施例中，如图2、图6和图8所示，曝光机还包括两个膜轴装置30，两个膜轴装置30分别位于两个传输装置20和主机体10之间并用于过渡传送待曝光膜料。具体地，由于两膜轴装置30的存在，这样实现了在自传输装置20传输至主机体10之间对待曝光膜料进行过渡传输，从而有效保证了待曝光膜料的传输稳定性。
在本发明的另一个实施例中，如图2、图7和图8所示，两个膜轴装置30均包括主架体31、第一膜轴35、转动电机32和第二膜轴33，主架体31位于对应的传输装置20和主机体10之间，第一膜轴35可转动地安装于主架体31上，转动电机32安装于主架体31上，且转动电机32的驱动轴与第一膜轴35的第一端相连接，第二膜轴33可转动地安装于主架体31内并平行于第一膜轴35设置。具体地，由于第一膜轴35和第二膜轴33的存在，这样转动电机32即可驱动第一膜轴35转动，进而第一膜轴35即可带动第二膜轴33共同实现对待曝光膜料的传输。
在本发明的另一个实施例中，如图2、图7和图8所示，两个膜轴装置30均还包括调位机构34，两个调位机构34均包括固定板341和承载架342，固定板341安装于对应的主架体31内并对应第一膜轴35设置，固定板341的上端面开设有若干安装螺孔(图未示)，承载架342的下端面开设有若干装配螺孔(图未示)，承载架342通过若干调位螺栓穿设各装配螺孔和各安装螺孔以安装于固定板341上，第二膜轴33可转动地安装于承载架342上。具体地，通过将第二膜轴33安装于调位机构34的安装架21上，并使得调位机构34的安装架21和固定板341通过调位螺栓相连接，这样当需要调整第二膜轴33和第一膜轴35之间的平行度时，仅需旋动相应的调位螺栓，使得安装架21对应的位置相对于固定板341升高或下降，进而便实现了第二膜轴33相对于第一膜轴35的平行度的调节。如此当需要调整第一膜轴35和第二膜轴33之间的平行度时，仅需旋动相应的调位螺栓即可完成，如此便无需对膜轴装置30进行整体拆卸，同时也显著降低了操作人员的劳动强度，显著提升了调节效率。
在本发明的另一个实施例中，如图2、图7和图8所示，两个调位机构34还均包括直线马达343，直线马达343安装于对应的主架体31的下端面，且直线马达343的连接杆穿过主架体31的下端面并固定连接于固定板341的下端面。具体地，通过在主架体31的下端面设置直线马达343，并使得直线马达343的连接杆连接于固定板341的下端面，这样直线马达343即可推动固定板341连同第二膜轴33实现靠近或远离第一膜轴35，进而实现了第一膜轴35和第二膜轴33之间间距的高效调节。
在本发明的另一个实施例中，如图2、图7和图8所示，调位机构34还包括装配盘件344，装配盘件344安装于固定板341的下端面，直线马达343的连接杆安装于装配盘件344上。具体地，通过在固定板341的下端面安装装配盘件344，并使得直线马达343的连接杆安装于装配盘件344上，这样便相当于增大了直线马达343的连接杆与固定板341的接触面积，进而使得直线马达343推升固定板341的过程更加稳定。
在本发明的另一个实施例中，如图3、图7和图8所示，调位机构34还包括若干导向组件345，各导向组件345均包括导向套筒3451和导向杆3452，主架体31的下端面开设有若干通过孔(图未示)，各导向套筒3451均安装于主架体31的下端面并分别对应于各通过孔设置，各导向杆3452的一端分别依序穿过各导向套筒3451和各通过孔并与固定板341的下端面连接。具体地，由于各导向组件345的存在，这样当直线马达343推动固定板341移动时，连接于固定板341上的各导向杆3452亦可相对于各导向套筒3451滑动，进而保证了固定板341移动轨迹的精确和移动过程的稳定进行。
在本发明的另一个实施例中，各导向组件345均包括卡扣件(图未示)，各卡扣件均安装于固定板341的下端面，各导向杆3452分别穿过各通过孔并与各卡扣件连接。具体地，通过将各导向杆3452安装于卡扣件上，这样各导向杆3452便相当于固定板341实现了可拆卸连接，从而便于各导向杆3452的快速拆卸和膜轴装置30的快速组装。
在本发明的另一个实施例中，如图2、图7和图8所示，两个膜轴装置30均还包括装配板351，装配板351安装于主架体31上并对应第一膜轴35的第一端设置，转动电机32安装于装配板351背离第一膜轴35的一侧，且转动电机32的驱动轴穿过装配板351并与第一膜轴35的第一端相连接。具体地，通过设置装配板351，并使得转动电机32安装于装配板351上，这样便实现了驱动电机222相对于主架体31的稳固安装。同时也避免了驱动电机222占用主架体31的装配空间。
以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种曝光机，其特征在于：包括主机体和两个传输装置，两个所述传输装置均包括安装架、传送机构和位移纠偏机构，两个所述安装架分别位于所述主机体的输入端和输出端，两个所述传送机构分别安装于两个所述安装架上并均用于沿X轴方向传送待曝光膜料通过所述主机体，两个所述位移纠偏机构均包括底架和直线电机，两个所述安装架分别沿Y轴方向滑动安装于两个所述底架上，两个所述直线电机分别沿Y轴方向安装于两个所述安装架上，且两个所述直线电机的连接杆分别连接于两个所述底架。
2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：两个所述位移纠偏机构均包括若干滑轨和若干滑块，各所述滑轨均沿Y轴方向安装于对应的所述底架上，各所述滑块均安装于对应的所述安装架上并分别与各所述滑轨滑动连接。
3.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：两个所述传送机构均包括收卷胶辊和驱动电机，所述收卷胶辊安装于对应的所述安装架上并用于传送所述待曝光膜料通过所述主机体，所述驱动电机安装于对应的所述安装架上，且所述驱动电机的驱动轴与所述收卷胶辊传动连接。
4.根据权利要求3所述的曝光机，其特征在于：两个所述传送机构均还包括电磁离合器，所述电磁离合器安装于对应的所述安装架上，且所述电磁离合器位于所述驱动电机和所述收卷胶辊之间，所述电磁离合器的输入轴和所述驱动电机的驱动轴传动连接，所述电磁离合器的输出轴和所述收卷胶辊传动连接。
5.根据权利要求3所述的曝光机，其特征在于：两个所述传送机构均还包括第一传输胶辊、第二传输胶辊和第三传输胶辊，所述第一传输胶辊、所述第二传输胶辊和所述第三传输胶辊依序沿背离所述主机体的方向可转动地安装于对应的所述安装架上并与所述收卷胶辊共同形成用于传输所述待曝光膜料的传输路径。
6.根据权利要求5所述的曝光机，其特征在于：两个所述传送机构均还包括用于承托所述待曝光膜料的承接组件，两个所述承接组件均包括吸气板和承接板，所述吸气板安装于对应的所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间，所述吸气板开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸气腔，所述承接板安装于所述吸气板上且覆盖于所述吸气腔，所述承接板上开设有若干吸气孔，各所述吸气孔均与所述吸气腔相连通。
7.根据权利要求1～6任一项所述的曝光机，其特征在于：所述曝光机还包括两个膜轴装置，两个所述膜轴装置分别位于两个所述传输装置和所述主机体之间并用于过渡传送所述待曝光膜料。
8.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于：两个所述膜轴装置均包括主架体、第一膜轴、转动电机和第二膜轴，所述主架体位于对应的所述传输装置和所述主机体之间，所述第一膜轴可转动地安装于所述主架体上，所述转动电机安装于所述主架体上，且所述转动电机的驱动轴与所述第一膜轴的第一端相连接，所述第二膜轴可转动地安装于所述主架体内并平行于所述第一膜轴设置。
9.根据权利要求8所述的曝光机，其特征在于：两个所述膜轴装置均还包括调位机构，两个所述调位机构均包括固定板和承载架，所述固定板安装于对应的所述主架体内并对应所述第一膜轴设置，所述固定板的上端面开设有若干安装螺孔，所述承载架的下端面开设有若干装配螺孔，所述承载架通过若干调位螺栓穿设各所述装配螺孔和各所述安装螺孔以安装于所述固定板上，所述第二膜轴可转动地安装于所述承载架上。
10.根据权利要求9所述的曝光机，其特征在于：两个所述调位机构还均包括直线马达，所述直线马达安装于对应的所述主架体的下端面，且所述直线马达的连接杆穿过所述主架体的下端面并固定连接于所述固定板的下端面。
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Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1075701A (en) * | 1964-03-06 | 1967-07-12 | Hille Engineering Company Ltd | An improvement in or relating to rolling mills |
| CN201399946Y (zh) * | 2009-04-15 | 2010-02-10 | 昆山乐美文具有限公司 | 热转印机卷膜系统 |
| CN101863159A (zh) * | 2009-04-15 | 2010-10-20 | 昆山乐美文具有限公司 | 热转印机卷膜系统 |
| CN102193310A (zh) * | 2011-05-17 | 2011-09-21 | 西安交通大学 | 一种机床测量用光栅两步固化辊压印成型方法 |
| WO2013150677A1 (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-10 | 株式会社ニコン | 搬送装置、及び電子デバイス形成方法 |
| CN205787590U (zh) * | 2016-05-22 | 2016-12-07 | 东莞市友辉光电科技有限公司 | 双面膜曝光机的帧收放结构 |
| CN206450965U (zh) * | 2016-12-20 | 2017-08-29 | 广东莱宝智能装备股份有限公司 | 曝光机 |
| CN207986267U (zh) * | 2018-01-24 | 2018-10-19 | 广东曼兹智能装备有限公司 | 辊送机构 |
| CN208197875U (zh) * | 2018-04-24 | 2018-12-07 | 山东海邦达机电科技有限公司 | 一种喷墨打印机恒张力收放料驱动装置 |
| CN209674182U (zh) * | 2019-02-26 | 2019-11-22 | 广东思沃精密机械有限公司 | 曝光机 |
-
2019
- 2019-02-26 CN CN201910141822.4A patent/CN111610695A/zh active Pending
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1075701A (en) * | 1964-03-06 | 1967-07-12 | Hille Engineering Company Ltd | An improvement in or relating to rolling mills |
| CN201399946Y (zh) * | 2009-04-15 | 2010-02-10 | 昆山乐美文具有限公司 | 热转印机卷膜系统 |
| CN101863159A (zh) * | 2009-04-15 | 2010-10-20 | 昆山乐美文具有限公司 | 热转印机卷膜系统 |
| CN102193310A (zh) * | 2011-05-17 | 2011-09-21 | 西安交通大学 | 一种机床测量用光栅两步固化辊压印成型方法 |
| WO2013150677A1 (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-10 | 株式会社ニコン | 搬送装置、及び電子デバイス形成方法 |
| CN104203779A (zh) * | 2012-04-03 | 2014-12-10 | 株式会社尼康 | 搬运装置、及电子器件的形成方法 |
| CN205787590U (zh) * | 2016-05-22 | 2016-12-07 | 东莞市友辉光电科技有限公司 | 双面膜曝光机的帧收放结构 |
| CN206450965U (zh) * | 2016-12-20 | 2017-08-29 | 广东莱宝智能装备股份有限公司 | 曝光机 |
| CN207986267U (zh) * | 2018-01-24 | 2018-10-19 | 广东曼兹智能装备有限公司 | 辊送机构 |
| CN208197875U (zh) * | 2018-04-24 | 2018-12-07 | 山东海邦达机电科技有限公司 | 一种喷墨打印机恒张力收放料驱动装置 |
| CN209674182U (zh) * | 2019-02-26 | 2019-11-22 | 广东思沃精密机械有限公司 | 曝光机 |
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