CN111465845A - 转动部件的检查方法和转动部件的检查装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种转动部件的检查方法和转动部件的检查装置，向与转动部件相对配置的励磁线圈施加励磁电流来产生磁场，与从检测线圈检测出的涡电流的检测信号对应地检查转动部件。励磁电流中有使涡电流渗透到转动部件的表层部的频率的表层检测用电流、以及使涡电流渗透到比表层部深的深层部的频率的深层检测用电流，使用通过表层检测用电流检测出的表层检测信号、通过深层检测用电流检测出的深层检测信号，实施第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序。然后，组合各工序的判定结果来判定转动部件的表面状态。
Description
技术领域
本发明涉及转动部件的检查方法和转动部件的检查装置。
背景技术
通过原料的切割加工、车床加工、热处理、磨削加工等很多加工工序而制作滚动轴承的轨道轮等那样的转动部件。在量产品中，为了避免在各工序中由于各种因素而产生一定数目的不合格品，通过产品的检查而实施不合格原因的确定和应对，由此谋求降低不合格率。因此，希望以提高生产率为目的，短时间准确地判定各种不良的原因。
作为进行产品检查的技术，已知以下的方法，即针对实施了高频淬火等的钢材部件，利用涡电流检查淬火图案(淬火硬化层的分布)，根据该淬火图案判别合格与否(例如参照专利文献1)。另外，已知以下的涡电流检查方法，其根据变化率对通过涡电流测定法得到的测定结果进行比较，在金属材料中存在斜向倾斜的缺陷的情况下，能够进行缺陷的倾斜的检测、缺陷的大小和位置的检测(例如参照专利文献2)。进而，已知以下的加工变质层检测装置，其使设定了多个频率的励磁电流流过，通过能够测定与该励磁电流的频率对应的渗透深度的透磁率的磁传感器，非破坏地检测加工物表面的加工变质层(例如参照专利文献3)。另外，还已知通过高频的电流进行外观伤痕的检查并通过低频的电流进行不同种材料的判别和淬火状态的判定的钢球的检查方法(参照专利文献4)和顺序地实施高频磁化、超声波探伤、低频励磁、磁粉探伤的管子的非破坏检查方法(专利文献5)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-134106号公报
专利文献2：日本特开昭62-36555号公报
专利文献3：日本专利第5445054号公报
专利文献4：日本特开2001-272379号公报
发明内容
发明要解决的问题
根据专利文献1的技术，针对实施了淬火的钢材的部件，通过非破坏检查能够进行淬火图案块的全部检查。但是，存在只通过判断涡电流测定的测定值是否超出阈值无法进行检测的不适合。根据专利文献2的技术，通过金属材料中的涡电流测定法掌握涡电流的变化，由此能够检测缺陷的大小和位置，但无法检测由于热处理、磨削等发生的不良。另外，在专利文献3的技术中，记载了利用能够检测透磁率的传感器检测加工变质层(磨削烧伤或切削烧伤)，但无法区分因磨削再淬火造成的不良和因磨削回火造成的不良。进而，由于没有利用透磁率以外的测定值，因此无法检测磨削烧伤、切削烧伤以外的不良。
进而，专利文献1、2、3的任意一个检查方法都不是专门用于转动部件的不良的检测，因此无法分别检测在转动部件的原料的切割加工、车床加工、热处理、磨削加工等各加工工序中可能产生的不良，另外，也无法掌握具体的不良的内容。
在量产品的制造工序中，存在多种因工序造成的不良，在该检查中花费时间成为问题。特别是滚动轴承的轨道轮那样的转动部件，被检查面的形状复杂，因此通常采用的目视检查花费时间。另外，还存在只通过目视无法检出的不良。
另外，专利文献4是组合漏磁通探伤、超声波探伤、磁粉探伤等的检查技术，但主要只不过是外观的检查，无法检测伴随热处理的缺陷。
本发明就是鉴于上述状况而提出的，其目的在于：提供转动部件的检查方法和转动部件的检查装置，其能够确定转动部件所产生的不良的内容，并且能够缩短检查时间来提高生产率。
用于解决问题的手段
本发明由下述结构构成。
(1)一种转动部件的检查方法，其通过相对于上述转动部件移动的检测线圈检测向励磁线圈施加励磁电流而渗透到转动部件的内部的涡电流，根据从上述检测线圈检测出的检测信号，判定上述转动部件的不良，在该转动部件的检查方法中，
上述励磁电流中有使上述涡电流渗透到上述转动部件的表层部的第一频率的表层检测用电流、以及使上述涡电流渗透到比上述表层部深的深层部的第二频率的深层检测用电流，
在将通过上述表层检测用电流从上述检测线圈检测出的电压信号设为表层检测信号，将通过上述深层检测用电流从上述检测线圈检测出的电压信号设为深层检测信号的情况下，包括：
判定上述表层检测信号的电压值是否是预先确定的第一允许范围内的第一判定工序；
判定在上述转动部件的隔开一定距离的检查位置分别检测出的上述表层检测信号的变化率是否是预先确定的第二允许范围内的第二判定工序；
判定同一上述检查位置处的上述表层检测信号和上述深层检测信号之差是否是预先确定的第三允许范围内的第三判定工序；以及
组合上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序的各判定结果来判定上述转动部件的不良的有无和不良内容的状态判定工序。
根据该转动部件的检查方法，与第一判定工序、第二判定工序以及第三判定工序的分别不同的判定结果的组合对应地判定转动部件的表面状态，因此能够掌握不良的具体内容。由此，能够马上向生产线反馈判定结果，提高转动部件的质量和生产率。
(2)在(1)记载的转动部件的检查方法中，使上述转动部件与上述检测线圈相对移动，从上述转动部件的多个部位检测上述表层检测信号和上述深层检测信号。
根据该转动部件的检查方法，使转动部件与检测线圈相对移动来检测表层检测信号和深层检测信号，因此能够个别地检查转动部件的多个部位，能够发现转动部件的局部不良。
(3)在(2)记载的转动部件的检查方法中，上述转动部件与上述检测线圈的相对移动使上述检测线圈沿着上述转动部件的圆周方向螺旋状地扫描。
根据该转动部件的检查方法，通过使检测线圈螺旋状地扫描，能够一次性取得检测信号，能够进一步缩短检查时间。
(4)在(3)记载的转动部件的检查方法中，
上述转动部件是滚动轴承的轨道轮，
上述转动部件的检查方法是使具备产生磁场的上述励磁线圈和检测上述涡电流的上述检测线圈的至少一个涡电流探伤探头与上述滚动轴承的轨道轮相对，通过上述涡电流探伤探头检测通过从上述涡电流探伤探头产生的磁场而渗透到上述轨道轮的内部的涡电流，与得到的检测信号对应地检查上述轨道轮的方法，
向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流和上述深层检测用电流，
使上述涡电流探伤探头沿着上述轨道轮的圆周方向螺旋状地扫描。
根据该转动部件的检查方法，能够通过螺旋状地扫描的涡电流探伤探头高效地检查滚动轴承的轨道轮。
(5)在(1)记载的转动部件的检查方法中，上述转动部件是滚动轴承的轨道轮，
上述转动部件的检查方法是使具备产生磁场的上述励磁线圈和检测上述涡电流的上述检测线圈的至少一个涡电流探伤探头与上述滚动轴承的轨道轮相对，通过上述涡电流探伤探头检测通过从上述涡电流探伤探头产生的磁场而渗透到上述轨道轮的内部的涡电流，与得到的检测信号对应地检查上述轨道轮的方法，
向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流和上述深层检测用电流，
通过至少沿着上述轨道轮的圆周方向相对移动的圆周方向扫描，使上述涡电流探伤探头进行步进移动，
上述转动部件的检查方法包括：
在每次上述步进移动时与上述检测线圈相对的上述轨道轮的检查位置，取得向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流而得到的上述表层检测信号和施加上述深层检测用电流而得到的上述深层检测信号的信号取得工序；以及
与取得的上述表层检测信号和上述深层检测信号对应地检查上述滚动轴承的检查工序，
在上述信号取得工序中实施上述第一判定工序、上述第二判定工序和上述第三判定工序，
在上述检查工序中实施上述状态判定工序，判定上述轨道轮的不良的有无和不良内容。
根据该转动部件的检查方法，作为分为第一工序、第二工序以及第三工序的3个的检测信号群，能够取得第一判定工序、第二判定工序以及第三判定工序的大量的检测信号。其结果是能够简单地进行每个判定工序的检测信号群的存储处理、判定处理。
(6)在(5)记载的转动部件的检查方法中，使上述涡电流探伤探头在上述检查位置的测定对象面的母线方向一端进行上述圆周方向扫描，分别实施上述轨道轮的一周的上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序，
在上述圆周方向扫描之后，到上述测定对象面的母线方向另一端为止，重复执行以下动作：进而通过沿着上述母线方向的母线方向扫描，使上述涡电流探伤探头进行步进移动，在该步进移动后的位置使上述涡电流探伤探头进行上述圆周方向扫描，分别实施上述轨道轮的一周的上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序。
根据该转动部件的检查方法，在母线方向的各位置一次性取得轨道轮的同一周的第一判定工序、第二判定工序以及第三判定工序的检测信号。因此，不产生各判定工序的与母线方向有关的位置偏离，能够进行高精度的检查。另外，用于取得检测信号的涡电流探伤探头的相对移动在一次单程中结束，因此与使涡电流探伤探头往返移动多次的情况相比，能够缩短检查时间。
(7)在(4)～(6)的任意一个记载的转动部件的检查方法中，上述第一判定工序、上述第二判定工序中，与上述轨道轮的上述检查位置处的表层组织的厚度对应地，使上述检测线圈对上述涡电流的检测灵敏度增减。
根据该转动部件的检查方法，通过与表层组织的厚度对应地使检测灵敏度增减，能够从更多的表层组织取得检测信号，提高测定精度。
(8)在(1)～(6)的任意一个记载的转动部件的检查方法中，按照上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序的顺序或上述第三判定工序、上述第一判定工序、上述第二判定工序的顺序，实施上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序。
根据该转动部件的检查方法，能够在第一判定工序中判定转动部件整体的再淬火的可能性、回火的可能性的有无，在第二判定工序中判定转动体部件的局部不良的有无。另外，在第三判定工序中判定转动部件的与深度方向有关的变化的有无。因此，能够按照该顺序实施第一判定工序和第二判定工序，但第三判定工序的实施也可以是第一、第二判定工序之前或之后。由此，能够适当地根据检查现场的各状况变更第一判定工序和第二判定工序与第三判定工序的实施顺序，能够灵活地应对。
(9)在(5)记载的转动部件的检查方法中，按照以下顺序实施以下工序：
将上述涡电流探伤探头配置在上述检查位置的测定对象面的母线方向一端来使其进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第一判定工序，到上述测定对象面的母线方向另一端为止重复执行以下动作：通过沿着上述母线方向的母线方向扫描使上述涡电流探伤探头进行步进移动，在该步进移动后的位置使上述涡电流探伤探头进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第一判定工序的第一工序；
使上述涡电流探伤探头在上述测定对象面的母线方向一端进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第二判定工序，到上述测定对象面的母线方向另一端为止重复执行以下动作：通过上述母线方向扫描使上述涡电流探伤探头进行步进移动，在该步进移动后的位置使上述涡电流探伤探头进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第二判定工序的第二工序；
使上述涡电流探伤探头在上述测定对象面的母线方向一端进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第三判定工序，到上述测定对象面的母线方向另一端为止重复执行以下动作：通过上述母线方向扫描使上述涡电流探伤探头进行步进移动，在该步进移动后的位置使上述涡电流探伤探头进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第三判定工序的第三工序。
根据该转动部件的检查方法，作为分为第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序的3个的检测信号群，能够取得大量的检测信号。其结果是能够简单地进行每个判定工序的检测信号群的存储处理、判定处理。
(10)在(4)～(6)、(9)的任意一个记载的转动部件的检查方法中，上述轨道轮从一个端面到另一个端面，直径方向的厚度不同，
在实施上述第一判定工序、上述第二判定工序以及上述第三判定工序时，将上述轨道轮的从测定对象面的母线方向一端到另一端的轨道轮宽度内的区域分割为多个分割区域，针对上述直径方向的厚度比上述轨道轮宽度的中间点更薄侧的上述分割区域的检查位置，在更厚侧的上述分割区域的检查位置之前先进行判定。
根据该转动部件的检查方法，先判定产生损伤的概率高的薄侧。如果在薄侧判定为允许范围以外，则能够在该时刻结束检查。因此，能够尽早对产生损伤的概率高的转动部件的薄侧完成判定，在判定结果为允许范围以外的情况下，省略该转动部件的其他部位的检查。由此，能够省略无用的判定处理，与检查全部部位情况相比，能够缩短检查许多转动部件的情况下的合计检查时间。
(11)在(4)～(6)、(9)的任意一个记载的转动部件的检查方法中，上述第一判定工序、上述第二判定工序中，与上述轨道轮的上述检查位置处的表层组织的厚度对应地，代替上述表层检测用电流而向上述励磁线圈施加上述深层检测用电流，代替上述表层检测信号而使用上述深层检测信号进行判定。
根据该转动部件的检查方法，在表层组织的厚度是超过渗透涡电流的高频的极限渗入深度的厚度的情况下，将励磁电流从高频切换为低频，由此能够将比表层组织更深的区域作为检查对象。其结果是不降低检查精度就能够判定不良。
(12)一种转动部件的检查装置，具备：
励磁线圈，其使涡电流渗透到转动部件的内部；
检测线圈，其检测在上述转动部件中感应出的上述涡电流；
相对移动机构，其使上述转动部件与上述检测线圈相对移动，变更上述转动部件的检查位置；
励磁线圈驱动部，其向上述励磁线圈施加使上述涡电流渗透到上述转动部件的表层部的第一频率的表层检测用电流、以及使上述涡电流渗透到比上述表层部深的深层部的第二频率的深层检测用电流；
信号取得部，其在使上述检测线圈进行上述相对移动后的上述转动部件的各检查位置，取得向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流时通过上述检测线圈得到的表层检测信号、施加上述深层检测用电流时通过上述检测线圈得到的深层检测信号；
判定部，其与取得的上述表层检测信号和上述深层检测信号对应地，判定上述转动部件的不良的有无和不良内容，
上述判定部组合以下的判定结果来判定上述转动部件的不良的有无和不良内容：
判定上述表层检测信号的电压值是否是预先确定的第一允许范围内的第一判定结果；
判定在上述转动部件的隔开一定距离的检查位置分别检测出的上述表层检测信号的变化率是否是预先确定的第二允许范围内的第二判定结果；
判定同一上述检查位置处的上述表层检测信号和上述深层检测信号之差是否是预先确定的第三允许范围内的第三判定结果。
根据该转动部件的检查装置，判定转动部件的表面状态的判定部组合第一判定结果、第二判定结果和第三判定结果来判定转动部件的表面状态，因此能够准确地掌握表面状态的不良的有无及其具体内容。
(13)在(12)记载的转动部件的检查装置中，
上述转动部件是滚动轴承的轨道轮，
转动部件的检查装置使具备上述励磁线圈和上述检测线圈的至少一个涡电流探伤探头与上述滚动轴承的轨道轮相对，通过上述涡电流探伤探头检测通过从上述涡电流探伤探头产生的磁场而渗透到上述轨道轮的内部的涡电流，与检测出的上述涡电流的检测信号对应地判定上述轨道轮的不良，
上述相对移动机构使上述轨道轮和上述涡电流探伤探头相对移动，变更上述轨道轮的检查位置，
上述励磁线圈驱动部向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流和上述深层检测用电流，
上述判定部与从上述轨道轮检测出的上述表层检测信号和上述深层检测信号对应地，判定上述轨道轮的不良的有无和不良内容。
根据该转动部件的检查装置，涡电流探伤探头相对于轨道轮移动，高效地从各检查位置取得检测信号，因此能够缩短检查时间而提高生产率。
(14)在(12)或(13)记载的转动部件的检查装置中，按照第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序的顺序或上述第三判定工序、上述第一判定工序、上述第二判定工序的顺序，实施以下的工序：
判定上述表层检测信号的电压值是否是上述第一允许范围内的第一判定工序；
判定上述表层检测信号的变化率是否是上述第二允许范围内的第二判定工序；
判定同一上述检查位置处的上述表层检测信号和上述深层检测信号之差是否是上述第三允许范围内的第三判定工序。
根据该转动部件的检查装置，能够在第一判定工序中判定转动部件整体的再淬火的可能性、回火的可能性的有无，在第二判定工序中判定转动体部件的局部不良的有无。另外，在第三判定工序中判定转动部件的与深度方向有关的变化的有无。因此，按照该顺序实施第一判定工序和第二判定工序是理想的，但第三判定工序的实施也可以是第一、第二判定工序之前或之后。由此，能够适当地根据检查现场的各状况变更第一判定工序和第二判定工序与第三判定工序的实施顺序，能够灵活地应对。
发明效果
根据本发明，能够确定转动部件所产生的不良的内容，并且能够判别与任意一个不良项目都不对应的合格品。进而，与现有的目视检查相比，能够缩短检查时间来提高生产率。
附图说明
图1是本发明的滚动轴承的检查装置的概要结构图。
图2是图1的A方向视图。
图3是表示通过涡电流探伤探头分别测定带凸缘内轮的轨道面、凸缘部内侧面、内周面上的涡电流的情况的说明图。
图4是示意地表示将轨道轮的涡电流值变换为后述的X-Y坐标系的状态的说明图。
图5是表示使涡电流探伤探头逐次移动铁芯的直径量的情况的说明图。
图6是从图1的A方向看具备多个涡电流探伤探头的情况下的结构例子的视图。
图7是表示轨道轮的检查方法的步骤的流程图。
图8是与第一允许范围一起示意地表示第一判定工序中的与轨道轮的旋转角度对应的检测信号的电压变化的情况的说明图。
图9是示意地表示第一判定工序中的出现在第一允许范围内的微小的不良部的说明图。
图10是示意地表示在第二判定工序中根据来自隔开一定距离的检查位置的检测信号求出检测信号的变化率的情况的说明图。
图11是示意地表示第二判定工序中的与轨道轮的旋转角度对应的检测信号的变化率的分布的说明图。
图12是示意地表示第三判定工序中的求出表层检测信号和深层检测信号之间的差的情况的说明图。
图13是示意地表示第三判定工序中的与轨道轮的旋转角度对应的表层检测信号和深层检测信号之间的差的分布的说明图。
图14的(A)～(G)是示意地表示第一实施方式的检查顺序的工序说明图。
图15的(A)～(D)是示意地表示第二实施方式的检查顺序的工序说明图。
图16的(A)～(D)是示意地表示第三实施方式的检查步骤的工序说明图。
图17是示意地表示第四实施方式的检查的情况的工序说明图。
图18是示意地表示被检查面的深度方向的组织分布对于表层组织和深层组织相互不同的情况下的检查的情况的工序说明图。
图19的(A)、(B)、(C)是示意地表示图18的各位置PA、PB、PC处的高频和低频的涡电流的渗透深度的截面图。
图20是以轨道面的电压值为基准示意地表示涡电流的测定顺序的说明图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。
在此，以检查滚动轴承的轨道轮的情况为例子说明本发明的转动部件的检查方法和检查装置，但成为检查对象的转动部件并不限于以下的各附图所示。另外，轨道轮的表面状态的不良伴随着磁性的变化的情况很多。因此，在本结构的转动部件的检查装置(以下称为滚动轴承的检查装置)中，通过磁传感器检测轨道轮的磁性的变化，根据多个不同种类的检测信号，判定轨道轮的表面状态的不良的有无、不良的内容。
图1是滚动轴承的检查装置的概要结构图。图2是图1的A方向视图。
如图1所示，滚动轴承的检查装置100具备将作为转动部件的轨道轮11以自由移动的方式支持的承载台13、涡电流探伤探头15、使轨道轮11和涡电流探伤探头15相对移动的相对移动机构17、励磁线圈驱动部19、信号取得部21、统一控制各部的控制部20。
承载台13同时设置有多个辊14，将轨道轮11承载在辊14的上方。轨道轮11与各辊14滚动接触，能够顺畅地移动。
涡电流探伤探头15是一体内置有励磁线圈22a和检测线圈22b的圆柱状的构件。励磁线圈22a与励磁线圈驱动部19连接，根据来自控制部20的指令从励磁线圈驱动部19施加预定的频率的交流电流(励磁电流)，由此产生磁场，通过该磁场使涡电流渗透到轨道轮11的内部。
检测线圈22b与轨道轮11的外周面11a接触或配置在外周面11a的近旁，根据因涡电流造成的阻抗变化，检测通过励磁线圈22a渗透到轨道轮11内的涡电流。检测线圈22b与信号取得部21连接，信号取得部21将检测线圈22b的阻抗变化作为检测信号，输出到控制部20。
相对移动机构17通过轨道轮11和涡电流探伤探头15的相对移动，变更轨道轮11的检查位置。具体地说，相对移动机构17具备根据来自控制部20的指令而驱动的驱动电动机23、被驱动电动机23旋转驱动的驱动辊25、作为一对从动辊的辅助辊27、27(参照图2)。在圆周方向上大致等间隔地与轨道轮11的外周面11a接触配设驱动辊25和一对从动辊27、27。另外，涡电流探伤探头15被未图示的移动机构支持得能够在轨道轮11的轴方向、圆周方向等任意方向上移动。
驱动电动机23对驱动辊25进行旋转驱动，使轨道轮11围绕图1所示的轴线Ax旋转。另外，未图示的移动机构按照预定的定时，使涡电流探伤探头15向与轨道轮11的圆周方向垂直的方向进行步进移动。由此，变更轨道轮11与涡电流探伤探头15在圆周方向、以及与圆周方向垂直的方向的相对位置。此外，相对移动机构17只要能够变更轨道轮11与涡电流探伤探头15的相对位置即可，并不限于图示例子的结构。例如，能够使用使轨道轮11向与圆周方向垂直的方向移动，使涡电流探伤探头15向轨道轮11的圆周方向移动等的各种相对移动机构。
励磁线圈驱动部19选择性地向涡电流探伤探头15的励磁线圈22a施加后面详细说明的相互不同的第一频率(高频)和第二频率(低频)的励磁电流。
在本实施方式中，使用能够测定透磁率、导电率以及耦合系数的涡电流探伤探头。导电率表示电流的流过容易度，耦合系数表示互感的产生容易度。例如能够使用电子磁工业的MT-7001作为涡电流探伤探头15。
信号取得部21将向涡电流探伤探头15的励磁线圈22a施加励磁电流时通过检测线圈22b检测的检测信号输出到控制部20。控制部20还作为以下的判定部发挥功能，其根据从信号取得部21输出的检测信号判定轨道轮11的表面状态。
即，滚动轴承的检查装置100向涡电流探伤探头15的励磁线圈22a流过励磁电流，通过由于励磁电流感应出的磁场使涡电流渗透到轨道轮11。然后，检测作为由于通过该涡电流感应出的磁场而变化的检测线圈22b的阻抗特性而得到的电压值，作为检测信号。
图3是表示通过涡电流探伤探头15分别测定带凸缘内轮的轨道面、凸缘部内侧面、内周面上的涡电流的情况的说明图。
在以下的测定例子中，使用内轮31作为轨道轮11(参照图1)进行说明，但也可以是外轮。在轨道轮是内轮31的情况下，被测定面是轨道面33、凸缘部35、内周面37的至少任意一个，在轨道轮是外轮(省略图示)的情况下，被测定面是轨道面、凸缘部、外周面的至少任意一个。另外，本实施方式的内轮31从一个端面到另一个端面，直径方向的厚度不同。
在此，说明以下的实施例，即对内轮31进行旋转驱动，并且使与旋转驱动的内轮31的被检查面相对的涡电流探伤探头15移动而进行测定。但是，内轮31与涡电流探伤探头15的相对移动并不限于上述例子，能够使涡电流探伤探头15围绕内轮31旋转等进行适当变更。
在轨道面33的测定中，将涡电流探伤探头15配置得与轨道面33的母线方向一端相对，使内轮31旋转而进行圆周方向扫描。在该期间，涡电流探伤探头15在停止移动的状态下测定涡电流。
此处所述的母线是指在轨道轮的轴方向截面中表示测定面的线段。使母线围绕轨道轮的轴线旋转一周而得到的面为测定对象面。
在使内轮31旋转一周后，使涡电流探伤探头15沿着轨道面33向轨道面33的母线方向另一端进行步进扫描(箭头s)。然后，通过使内轮31旋转，而使涡电流探伤探头15一边进行圆周方向扫描，一边测定涡电流。从轨道面33的母线方向一端到另一端重复实施该圆周方向扫描和涡电流测定、箭头s的步进扫描。
然后，在内轮31的内周面37的测定中，将涡电流探伤探头15配置得与内周面37的母线方向一端相对，通过使内轮31旋转，而使涡电流探伤探头15进行圆周方向扫描。在该期间，通过涡电流探伤探头15测定涡电流。在使内轮31旋转一周后，使涡电流探伤探头15沿着内周面37向内周面37的母线方向另一端进行步进扫描(箭头t)。然后，一边使内轮31旋转来使涡电流探伤探头15进行圆周方向扫描，一边测定涡电流。从内周面37的母线方向一端到另一端重复实施该圆周方向扫描和涡电流测定、箭头t的步进扫描。
进而，在内轮的凸缘部35，将涡电流探伤探头15配置得与凸缘部35的凸缘面相对(向箭头r方向的移动)，通过使内轮31旋转而使涡电流探伤探头进行圆周方向扫描，测定涡电流。
控制部20对相对移动机构17和信号取得部21进行驱动控制，由此进行这些圆周方向扫描、箭头s、t方向的扫描(测定对象面的母线方向扫描)、以及箭头r方向的移动(信号取得工序)。
控制部20组合上述圆周方向扫描和母线方向扫描，与在每次步进移动时得到的被检查面的涡电流测定结果对应地，判定被检查面的表面状态(状态判定工序)。根据该推定结果，检查内轮31的不良(检查工序)。
接着，说明涡电流探伤探头15的结构和检测涡电流的步骤。
图4是示意地表示将轨道轮的涡电流值变换为后述的X-Y坐标系的状态的说明图。
如图4示意地所示那样，将来自轨道轮11的检测信号作为电压值描绘在X-Y坐标上。在图4中表示出描绘来自淬火后不进行回火处理的轨道轮、以及按照不同的回火温度进行了处理的轨道轮的信号的步骤。
该X-Y坐标是由表示在向励磁线圈22a施加励磁电流时从检测线圈22b得到的检测信号(电压信号)的大小(振幅值)的Y值、表示由于检测信号相对于励磁电流的相位差(相位延迟)φ产生的值的X值(Ycosφ)确定的坐标平面，表示检查位置处的阻抗与导电率和透磁率的关系。
在图1所示的信号取得部21从涡电流探伤探头15的检测线圈22b取得检测信号时，首先准备与要检查的轨道轮11相同材料、并按照相同条件进行了热处理的样品作为基准样本。然后，在基准样本的任意一点处进行0点修正(桥电路的平衡调整)，而调整得输出电压为0V。
即，在检测信号中例如出现因启动(lift off)的影响等产生的电压变化(参照图4的直线L)。为了抵消该启动的影响等，通过旋转移动或平行移动进行0点修正即可。具体地说，使涡电流探伤探头15从与检查位置接触的位置离开而进行测定，进行修正使得测定结果成为0点。
在此，Y值反映检查位置的导电率和透磁率。如果检查位置的导电率和透磁率增高，则与涡电流产生相伴随的磁通量增加，检测信号(Y值)变大，相反如果检查位置的导电率和透磁率降低，则与涡电流产生相伴随的磁通量减少，检测信号(Y值)变小。此外，轨道轮11那样的导电性越高的材料则涡电流越大，因此检测信号(Y值)也变大。
这样，导电率和透磁率根据轨道轮11的表面状态而变化，因此通过涡电流探伤探头15的检测线圈测定导电率和透磁率，由此能够判定轨道轮11的表面状态。
在涡电流的测定中，使轨道轮11旋转，测定轨道轮11的被检查面全体。涡电流探伤探头15在每一周使涡电流探伤探头15一边向被检查面的母线方向(例如轨道轮11的轴方向)移动少许量一边测定，使得能够测定被检查面全体。例如，如图5所示，使涡电流探伤探头15向与圆周方向垂直的方向(例如轴方向)逐次移动用于线圈的铁芯的直径d的量。由此，在轴方向上重复进行轨道轮一周的测定，能够测定被检查面的整个面。理想的是非接触地实施测定，使得涡电流探伤探头15与被检查面的距离保持固定。该固定距离例如将±0.1mm以内设为允许范围。也可以以使涡电流探伤探头15与被检查面接触地进行的接触式来实施上述的涡电流的检测。
图6是从图1的A方向看具备多个涡电流探伤探头的情况下的结构例子的视图。
也可以在多个部位设置涡电流探伤探头。在该情况下，将涡电流探伤探头15A、15B配置得分别与多个部位的检查位置相对。由此，能够同时实施各检查位置的测定。
在本结构中，将涡电流探伤探头15A、15B配置在相互不同的位置、即成为预定的中心角θ的圆周方向位置。涡电流探伤探头15A、15B既可以同时工作，也可以交替地工作。
另外，涡电流探伤探头15A、15B也可以是后面详细说明的施加高频的励磁电流的高频用探头(第一探头)、施加低频的励磁电流的低频用探头(第二探头)。也可以分别具备这些高频用探头和低频用探头，同时进行双方的测定。
另外，在同时测定高频和低频的情况下，在调整检测灵敏度后实施测定，使得即使频率不同也能够进行同等的测定。对这样取得的不同位置的2个检测信号进行数据处理，使得与检测同时、或取得了全部检测信号后，能够作为同一位置的检测信号进行处理。
接着，说明轨道轮11的检查方法的步骤。
图7是表示轨道轮的检查方法的步骤的流程图。
首先，通过图1所示的承载台13上的驱动辊25和一对辅助辊27定位轨道轮11，设置到滚动轴承的检查装置100(S1)。然后，通过驱动电动机23使驱动辊25旋转，而使轨道轮11旋转(S2)。
然后，使涡电流探伤探头15接近轨道轮11的外周面(S3)。按照上述的将±0.1mm设为允许范围的固定距离，将涡电流探伤探头15的前端部配置到轨道轮11的测定面。此外，为了高精度地测定轨道轮11的磁性的变化，可以在测定之前对作为测定对象的轨道轮11进行消磁、或进行清洗使得铁等的磁性粉末不附着在测定部。因此，理想的是在该涡电流探伤探头15的接近动作时，清洗涡电流探伤探头15。
接着，一边使轨道轮11旋转，一边从励磁线圈驱动部19输出励磁电流。然后，通过该励磁电流，测定从涡电流探伤探头15的检测线圈22b输出的检测信号、即轨道轮11产生的涡电流(S4)。
实际上，将涡电流探伤探头15与连续旋转的轨道轮11相对配置，在预定的采样周期中从涡电流探伤探头15的检测线圈22b输出检测信号。由此，每隔沿着轨道轮11的旋转方向的固定间隔(理想的是涡电流探伤探头15的直径d)，检测检测信号。
然后，在每次轨道轮11旋转一周时，通过未图示的移动机构，使涡电流探伤探头15向母线方向每次移动由铁芯构成的检测部位的直径(探头的直径)。这样，针对轨道轮11的测定面整个面检测检测信号，测定轨道轮11产生的涡电流。
在此，从励磁线圈驱动部19输出相互不同频率的高频的励磁电流(表层检测用电流)、低频的励磁电流(深层检测用电流)。在励磁电流是高频的情况下，使涡电流渗透到轨道轮11的表层部，在低频的情况下，使涡电流渗透到轨道轮11的深层部。在本实施方式中，作为高频设定为100kHz～1MHz的范围、例如200kHz左右的频率。另外，作为低频设定为1kHz～10kHz的范围、例如8kHz左右的频率。具体地说，在励磁电流是200kHz的情况下，能够测定相对于轨道轮11的表面约100μm的深度位置。另外，在励磁电流是8kHz的情况下，能够测定相对于轨道轮11的表面约600μm的深度位置。
此外，励磁电流的频率并不限于上述设定例子，也可以作为高频设定为50kHz以上，作为低频设定为0～50kHz的范围。
一般轨道轮11的材料的导电率越大，则涡电流越灵敏地与表面缺陷反应。另外，涡电流的渗透深度也依存于励磁电流的频率。如果提高励磁电流的频率，则涡电流的渗透深度变浅，提高了表面附近的检查分辨率。如果降低频率，则涡电流渗透到材料的深处。因此，通过低频的励磁电流，能够进行比施加高频的励磁电流的情况更深层的材料中的探伤。
即，从增大材料中的可探伤的体积(使磁场渗透得更深)的观点出发，理想的是降低励磁电流的频率。另外，从检测材料表面的细微的不良的观点出发，为了更灵敏地反应，理想的是提高励磁电流的频率。
在测定时，励磁线圈驱动部19既可以同时向涡电流探伤探头15的检测线圈施加包含高频和低频的励磁电流，也可以具有时间差地施加。高频的励磁电流使涡电流渗透到轨道轮11的表层部。另外，低频的励磁电流使涡电流渗透到轨道轮11的深层部。即，通过高频的涡电流检查轨道轮11的表层部的状态，通过低频的涡电流检查轨道轮11的深层部的状态。这样，能够根据励磁电流的频率的不同，选择性地决定检查对象区域。
信号取得部21将通过涡电流探伤探头15的检测线圈22b施加高频的励磁电流的情况下的检测分量作为表层检测信号，将施加低频的励磁电流的情况下的检测分量作为深层检测信号，将各个信号输出到控制部20。
然后，控制部20根据检测出的表层检测信号和深层检测信号，判定轨道轮11的表面状态的合格与否(S5)，根据该合格与否判定的结果，判定不良内容(S6)。
控制部20对表面状态的合格与否判定大致包括以下的各工序。
首先，控制部20判定表层检测信号的电压值是否是预先确定的第一允许范围内(第一判定工序)。另外，判定在轨道轮11的步进移动前后的相互隔开固定距离的检查位置分别检测出的表层检测信号的变化率是否是预先确定的第二允许范围内(第二判定工序)。进而，判定同一检查位置的表层检测信号和深层检测信号之间的差是否是预先确定的第三允许范围内(第三判定工序)。
顺序地详细说明上述的第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序。
在轨道轮11的磨削时，由于发热和冷却，有可能在表层部产生淬火、或回火。在第一判定中，在有可能由于上述那样的磨削产生再淬火的情况下为允许范围内，在有可能产生回火的情况下为允许范围外。
图8是与第一允许范围一起示意地表示第一判定工序中的与轨道轮的旋转角度对应的检测信号的电压变化的情况的说明图。
为了设定第一允许范围，求出通过高频的励磁电流使涡电流渗透到确认为合格品的许多个轨道轮11时测定的检测信号(图8的“合格(OK)”所示的线)的电压值的平均值a1和标准偏差σ1。根据求出的平均值a1和标准偏差σ1求出a1±4σ1的范围，将其设定为第一允许范围(合格品范围)。
在整体由不同质量、或不同材料构成的轨道轮11中，如示意地表示与轨道轮11的旋转角度对应的检测信号(图8的“不良(NG)”所示的线)的电压变化的情况那样，为与合格品的情况有很大不同的电压值。除了该“不良”的情况下的检测信号以外，在电压值一部分(局部)从第一允许范围的界限值偏离的情况下，在第一判定工序中判定为允许范围外。
图9是示意地表示第一判定工序中的出现在第一允许范围内的微小的不良部的说明图。
第一允许范围具有某种程度的宽度，因此有可能遗漏微小的不良部。例如，如图9所示的Sn部那样凸起地出现的地方有可能遗漏。在第二判定工序中可靠地检测出这样的遗漏。
图10是示意地表示在第二判定工序中根据来自隔开一定距离的检查位置的检测信号求出检测信号的变化率的情况的说明图。
在图10中，作为检查位置P0～P6，示意地表示沿着圆周方向配置的检查位置。首先，根据在轨道轮11表面的检查位置P0、从该检查位置P0在圆周方向上隔开一定距离c的其他检查位置P1检测出的表层检测信号，求出表层检测信号的变化率α。此后同样地，重复进行求出在检查位置P1和检查位置P2检测出的表层检测信号的变化率α的处理。从变化率α的+侧(图中的左侧)和-侧(图中的右侧)的双方同时实施该处理。即，在+侧按照P0→P1→P2→P3的顺序，在-侧按照P6→P5→P4→P3的顺序分别求出变化率α。由此，能够缩短检查全部检查位置的时间。
图11是示意地表示第二判定工序中的与轨道轮的旋转角度对应的检测信号的变化率的分布的说明图。
如图11所示，针对在每个检查位置得到的变化率α，设定第二允许范围。在该第二判定工序中，在各检查位置(除了起点P0以外)，进行变化率α是否是第二允许范围内的第二判定。
这是因为第二判定用于判定轨道轮的局部不良的有无。具体地说，第二允许范围是检测局部发生的磨削再淬火、损伤、破裂、磨削回火、热处理异常(硬度不良、过剩的奥氏体析出)等不良的阈值。即，通过第二判定，判别在第一判定中无法判别的局部不良。
在第二判定工序中，判定涡电流探伤探头15的检测部位的位置和相对于该位置隔开预定距离(例如探头直径的距离)的位置的测定电压值的变化(变化率α)是否偏离了第二允许范围。具体地说，判定检测信号的变化率α是否超出了第二允许范围。
进而，作为在第一判定工序和第二判定工序中都无法获知的不良，考虑无论在轨道轮11的表面全周是否产生了大致均匀的不良，磁性的变化都为与合格品同等的水平的情况。因此，求出同一检查位置的表层检测信号和深层检测信号之间的差，设定基于该差的第三允许范围，进行第三判定工序。
图12是示意地表示第三判定工序中的求出表层检测信号和深层检测信号之间的差的情况的说明图。
如图12所示，表示轨道轮11的表层部的状态的表层检测信号和表示轨道轮11的到深层部为止的状态的深层检测信号之间的差δ排除了在表层部和深层部中共通的信号分量。因此，在表层部和深层部是相互不同的组织的情况下，能够推定出信号值变高。
图13是示意地表示第三判定工序中的与轨道轮的旋转角度对应的表层检测信号和深层检测信号之差的分布的说明图。
在第三工序中，由于局部的磨削再淬火以及局部的磨削回火、硬度不良、损伤、破裂等引起轨道轮11的表层部和深层部的磁性不同，判定表层检测信号和深层检测信号之差是否从第三允许范围超出。
为了设定第三允许范围，针对在第一判定和第二判定中确认为是各个允许范围内的许多个轨道轮11，求出同一检查位置的表层检测信号和深层检测信号之差的平均值a3以及标准偏差σ3。根据求出的平均值a3以及标准偏差σ3，求出a3±4σ3的范围，将其设定为第三允许范围(合格品范围)。即使在轨道轮11的表面部和深层部的磁性超出了第三允许范围的情况下，只要判定为深层部是合格品，如果作为后处理对最表面部分的表面部进行精细磨削等，则也能够成为合格品。
通过根据上述的第一判定结果、第二判定结果以及第三判定结果的全部判定结果判定不良，能够细化各判定的判定结果。由此，还能够可靠地检测出在只根据个别的判定结果分别进行判定的情况下有可能遗漏的不良，能够细分不良的原因。
此外，第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序的实施顺序并不限于上述的第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序的顺序，能够设为任意的顺序。
接着，说明根据第一判定结果、第二判定结果、第三判定结果的组合判定具体的不良内容的状态判定工序。
在表1中总结地表示第一判定结果、第二判定结果以及第三判定结果的组合、推定的不良内容。
[表1]
如表1所示，在第一判定结果、第二判定结果以及第三判定结果都是允许范围内的情况下，判定为轨道轮11是合格品。
在第一判定结果和第二判定结果是允许范围内，而第三判定结果是允许范围外的情况下，能够推定为在轨道轮的全周再次产生了局部淬火。
在第一判定结果是允许范围内、第二判定结果是允许范围外并且第三判定结果是允许范围内的情况下，能够推定为没有再次发生淬火，但也能够如下这样进行推定。(1)在表面部检测线圈的阻抗急剧减少了的情况下，有时表面层的碳量增加了。因此，能够推定为在轨道轮上过剩地析出了碳化物。(2)在表面部检测线圈的阻抗急剧增加了的情况下，有时表面层的碳量减少了。在该情况下，能够推定为在轨道轮的表面存在软点。
在第一判定结果是允许范围内、第二判定结果和第三判定结果是允许范围外的情况下，在第一判定中判定为表面部为允许范围内，因此能够推定为没有再次产生淬火。但是，在第二判定、第三判定中判定为允许范围外，因此认为在表面层的磨削时产生局部的发热和冷却，其影响到深层部，在轨道轮产生了局部的再淬火。其结果是能够推定为深层部的碳量增加了。
在第一判定结果是允许范围外、第二判定结果和第三判定结果是允许范围内的情况下，例如能够推定为存在在轴承材料制造过程中混入的不同材料。
在第一判定结果是允许范围外、第二判定结果是允许范围内、第三判定结果是允许范围外的情况下，能够推定为在轨道轮的全周产生了回火。因此，如果检测线圈的阻抗急剧减少而成为允许范围外，则能够推定为在轨道轮全周产生了磨削回火。
在第一判定结果和第二判定结果是允许范围外、第三判定结果是允许范围内的情况下，例如在表面部检测线圈的阻抗急剧减少。这能够推定为在表面部过剩地析出了作为非磁性体的奥氏体。
在第一判定结果、第二判定结果以及第三判定结果都是允许范围外的情况下，例如能够推定为在表面部和深层部检测线圈的阻抗急剧减少，在表面部和深层部析出了碳化物。在该情况下，能够推定为轨道轮产生了局部的磨削回火、硬度不良、损伤、破裂。
依照以上的表1所示的3个判定的判定结果，能够消除不良，谋求改进磨削工序。由此，能够确定轨道轮11产生的不良的有无、以及不良的内容，马上对不良的原因反馈检查结果，谋求提高质量和提高生产效率。
上述判定理由只不过是一个例子，也可以考虑由于其他理由而判定结果产生差别。例如，如果将检查对象的材料、形状、大小等各条件、加工环境等确定为固定，则会某种程度地限制产生的不良的种类。在该情况下，通过与上述条件的不同对应地适当调整第一～第三判定的判定基准，能够准确地确定所设想的不良因素。由此，能够提高滚动轴承的检查装置的通用性。
[第一实施方式]
说明基于如上述那样说明的测定原理的滚动轴承的检查方法的第一实施方式。
图14的(A)～(G)是示意地表示第一实施方式的检查顺序的工序说明图。在此，使涡电流探伤探头15与作为轨道轮的内轮31的轨道面33相对进行扫描并进行测定。
在第一实施方式的检查方法中，如图14的(A)所示，将涡电流探伤探头15配置得与内轮31的轨道面33的母线方向一端相对，使其在该位置进行圆周方向扫描，实施轨道面33的一周的第一判定工序。
接着，通过沿着轨道面33的母线方向扫描，使涡电流探伤探头15进行步进移动。然后，在涡电流探伤探头15的步进移动后的位置，使涡电流探伤探头15进行圆周方向扫描。由此，实施轨道面33的下一周的第一判定工序。如图14的(B)所示，到轨道面33的母线方向另一端为止，重复实施上述步进移动、圆周方向扫描。以上，第一判定工序(J1)完成(第一工序)。
接着，如图14的(C)所示，将涡电流探伤探头15再次配置到轨道面33的母线方向一端，使其在该位置进行圆周方向扫描，实施轨道面33的一周的第二判定工序。
接着，与第一工序同样，如图14的(D)所示那样，到轨道面33的母线方向另一端为止重复实施步进移动和圆周方向扫描。以上，第二判定工序(J2)完成(第二工序)。
然后，如图14的(E)所示，将涡电流探伤探头15再次配置到轨道面33的母线方向一端，使其在该位置进行圆周方向扫描，实施轨道面33的一周的第三判定工序。
接着，与第一、第二工序同样，如图14的(F)所示那样，到轨道面33的母线方向另一端为止重复实施步进移动和圆周方向扫描。
最后，如图14的(G)所示，将涡电流探伤探头15再次配置到轨道面33的母线方向一端。以上，第三判定工序(J3)完成(第三工序)。
根据该步骤，作为分为第一工序、第二工序以及第三工序的3个的检测信号群，能够取得第一判定工序(J1)、第二判定工序(J2)以及第三判定工序(J3)的大量的检测信号。其结果是能够简单地进行每个判定工序的检测信号群的存储处理、判定处理。因此，根据本实施方式，能够确定轨道轮的不良的内容，并且能够缩短检查时间而提高生产率。
[第二实施方式]
接着，说明滚动轴承的检查方法的第二实施方式。
图15的(A)～(D)是示意地表示第二实施方式的检查顺序的工序说明图。
在第二实施方式的检查方法中，如图15的(A)所示，将涡电流探伤探头15配置在内轮31的轨道面33的母线方向一端，使其在该位置进行圆周方向扫描，实施轨道面33的一周的第一判定工序(J1)。接着，使其直接进行圆周方向扫描，如图15的(B)所示那样实施第二判定工序(J2)。进而，使其直接进行圆周方向扫描，如图15的(C)所示那样实施第三判定工序(J3)。
接着，如图15的(D)所示，通过沿着轨道面的母线方向扫描，使涡电流探伤探头15进行步进移动。然后，到轨道面33的母线方向另一端为止，重复实施基于上述圆周方向扫描的第一判定工序(J1)、第二判定工序(J2)、第三判定工序(J3)和沿着轨道面33的母线方向扫描。
根据该步骤，通过使内轮31转动3周，在同一母线方向位置取得第一判定工序(J1)、第二判定工序(J2)以及第三判定工序(J3)的检测信号。即，在每次进行沿着轨道面的母线方向扫描时，一次性取得各检测信号。因此，在各判定工序中，不产生因母线方向扫描造成的检查位置的位置偏离，就能够进行高精度的检查。另外，用于取得检测信号的涡电流探伤探头的相对移动能够在一次单程中结束。因此，与使涡电流探伤探头往返移动多次的情况相比，能够缩短检查时间，能够提高生产率。
[第三实施方式]
接着，说明滚动轴承的检查方法的第三实施方式。
图16的(A)～(D)是示意地表示第三实施方式的检查步骤的工序说明图。
在第三实施方式的检查方法中，将内轮31的从轨道面33的母线方向一端到另一端的轨道轮宽度内的区域分割为多个区域(在图示例子中为2个区域)，在各个分割区域中实施第一判定工序、第二判定工序以及第三判定工序。
如图16的(A)所示，与轨道面33的母线方向一端相对地配置涡电流探伤探头15，如上述那样一边进行圆周方向扫描和沿着轨道面33的母线方向扫描，一边实施第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序。在本实施方式中，作为最初的工序对从轨道面33的母线方向一端到轨道轮宽度的中间点38之间实施，在下一个工序中对剩余的区域实施。
另外，对于内轮31的内周面37也同样从内周面37的母线方向一端到中间点38的高度位置为止，实施第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序。进而，如图16的(B)所示，对于小直径凸缘部35A的凸缘面也实施各判定工序。此外，上述的轨道面33、内周面37、小直径凸缘部35A的凸缘面的判定实施顺序并不限于该顺序，是任意的。
接着，如图16的(C)所示，针对轨道面33的比内轮31的中间点38更厚的一侧，实施第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序。即，如果是小直径凸缘部35A的判定结束后，则对大直径凸缘部35B实施各判定工序，如图16的(D)所示，针对比内轮31的中间点38更厚的一侧的轨道面33、内周面37实施各判定工序。在该情况下，轨道面33、内周面37、大直径凸缘部35B的判定实施顺序也是任意的。
如上述那样，在轨道面33的厚侧的检查位置之前，先对轨道面33比轨道轮宽度的中间点38更薄一侧的检查位置实施。
在此，理想的是将从内轮31的中间点38到成为内轮31的薄侧的一侧的端部的距离Ha设定得比从中间点38到成为内轮31的厚侧的一侧的端部的距离Hb短(Ha<Hb)。由此，首先判定产生损伤的概率最高(强度最小)的薄侧的轨道面33、内周面37、小直径凸缘部35。如果在薄侧为不良(NG)判定，则也可以在该时刻结束表面状态的判定。在该情况下，在不良判定后能够省略该内轮31的其他部位的检查。由此，与检查全部位置的情况相比，能够省略无用的判定处理，能够缩短检查时间而提高生产率。
[第四实施方式]
接着，说明滚动轴承的检查方法的第四实施方式。
本实施方式中，涡电流探伤探头15具有将励磁电流切换为高频和低频的切换功能。针对同一测定部位，分别提供向涡电流探伤探头15的励磁线圈施加的高频(表层检测用)和低频(深层检测用)的励磁电流，取得电压值。
图17是示意地表示第四实施方式的检查的情况的工序说明图。在此，使涡电流探伤探头15与作为轨道轮11(参照图1)的内轮31的轨道面33相对，在轨道面33的圆周方向上螺旋状地扫描并进行测定。在螺旋状地扫描时，还能够取得螺旋扫描轨道上的特定的高频的涡电流信号的电压值、低频涡电流信号的电压值，并且求出特定部位中的任意2个部位的高频的涡电流信号的电压值和低频的涡电流信号的电压值之间的差。
即，在第四实施方式的检查方法中，与内轮31的旋转一起，涡电流探伤探头15从母线方向一端到另一端进行扫描，连续地扫描内轮31的轨道面33。由此，只通过涡电流探伤探头15沿着螺旋状的探头移动路径PS进行扫描，就能够测定内轮31的轨道面33的全体。由此，不需要涡电流探伤探头15的母线方向的步进移动，因此在测定中不使内轮31停止，就能够从母线方向一端到另一端连续地进行测定。
由此，能够进一步缩短检查时间，能够进一步提高生产率。此外，在上述例子中，是检查内轮31的轨道面33的情况，但对于内轮的内周面、端面、外轮的内周面(轨道面等)、外周面，也同样能够通过螺旋状的扫描进行检查。
[变形例子1]
接着，说明第一～第三实施方式的第一变形例子。
图18是示意地表示被检查面的深度方向的组织分布对于表层组织和深层组织相互不同的情况下的检查的情况的工序说明图。
被检查面的内部组织有时根据热处理等的各条件，在表层和深层中厚度、性状不同。另一方面，在上述的第一判定工序、第二判定工序中，向涡电流探伤探头15的励磁线圈施加的励磁电流一律为高频。这样，与希望成为检查对象的表层组织的实际厚度无关地，会从到大致固定的表层检测用电流(高频)的涡电流的渗透深度为止的区域检测涡电流信号。
在图18所示的例子中，在位置PA，表层组织的厚度比高频的涡电流的渗透深度Lt浅，在位置PB，表层组织与高频的涡电流的渗透深度Lt相等，在位置PC，表层组织的厚度比高频的涡电流的渗透深度Lt深。
因此，在本变形例子中，在相对于位置PB表层组织比高频的涡电流的渗透深度Lt更深的位置PC侧，代替高频而将向涡电流探伤探头15的励磁线圈施加的励磁电流切换为低频。在该情况下，使励磁线圈驱动部19作为将励磁电流切换为高频和低频的切换部发挥功能。
图19的(A)、(B)、(C)是示意地表示图18的各位置PA、PB、PC处的高频和低频的涡电流的渗透深度的截面图。
根据本变形例子，在表示位置PA的图19的(A)和表示位置PB的图19的(B)的情况下，向高频用探头15a的励磁线圈施加高频的励磁电流，由此得到来自从被检查表面到高频的涡电流的渗透深度Lt为止的区域KS的涡电流信号。另一方面，在表示位置PC的图19的(C)的情况下，向低频用探头15b的励磁线圈施加低频的励磁电流，由此得到来自比表层组织的区域KS更深层的区域KD的涡电流的检测信号。
因此，特别在希望检测因热处理等产生的表层组织的特性的情况下，通过与表层组织的厚度对应地将励磁电流从高频切换为低频，使得从更广(深)的区域得到来自实际存在的表层组织的信息。其结果是能够提高表层组织的特性检测精度。
进而，在图19的(A)所示的情况下，表层组织的厚度比高频的涡电流的渗透深度Lt浅，实质的表层组织的信息量减少。因此，通过增加在第一、第二判定工序中使用的基于高频励磁电流的涡电流的检测信号的检测灵敏度，能够更增强较少的来自表层组织的信息。即，通过与被检查面的表层组织的厚度对应地增减涡电流的检测灵敏度，能够更恰当地检测表层组织的特性。
在本变形例子的情况下，图1所示的控制部20测定轨道轮的样品等，而预先作为数据库准备各检查位置处的表层组织的厚度的信息。控制部20实施以下控制，即与准备的表层组织的厚度的信息对应地，将励磁电流从高频切换为低频。另外，控制部20也可以与表层组织的厚度对应地，对涡电流探伤探头15的高频的检测灵敏度、低频的检测灵敏度进行增减控制。
[第二变形例子]
接着，说明在通过上述的滚动轴承的检查装置100检查带凸缘轨道轮的各部分时缩短第一～第四实施方式的测定时间的变形例子的检查步骤。
在此，将图2所示的带凸缘内轮31的轨道面33、凸缘部内侧面(凸缘部)35以及内周面37作为检查部位，检查各自的表面状态。
在该情况下，即使轨道轮的质量(表面状态)相同，来自涡电流探伤探头15的检测线圈的检测信号也根据凸状面、平坦面、凹状面等的形状不同而变化，因此，检测信号的输出值由于测定面的形状而不同。例如，对于内轮31的轨道面33、凸缘部35、内周面37，各自的输出值不一致。
因此，为了进行高精度的测定，理想的是进行输出值(电压值)的0点调整。作为一个例子，在图20中示意地表示测定轨道面33、凸缘部35、内周面37的情况下的各检测信号的电压值。
如图20所示，在带凸缘内轮31的情况下，按照作为凸状面的轨道面33、作为平坦面的凸缘部35、然后是作为凹状面的内周面37的顺序进行测定。对于凸缘部35，同时测定一对中的双方、或分别测定一方，与上下的凸缘部35A、35B的测定顺序无关地进行测定。由此，持续地测定电压值几乎没有差别的轨道面33(凸状面)和凸缘部35(平坦面)，因此能够看作为在轨道面33和凸缘部35之间电压值相等，而省略判定基准值的变更(0点调整)。另一方面，对于凸缘部35(平坦面)和内周面(凹状面)，检测信号的电压值的差比较大，因此在凸缘部35和内周面37之间必须进行0点调整。即，只在凸缘部35和内周面37之间进行一次该情况下的0点调整即可。
与此相对，在按照轨道面33、内周面37、凸缘部35的顺序进行测定的情况下，在轨道面33和内周面37之间、内周面37和凸缘部35之间，检测信号的电压值的差增大，因此在它们之间必须进行0点调整，必须实施2次0点调整。
这样，通过与测定面的形状对应地适当设定测定顺序，能够减少判定基准值的变更(修正)次数，能够缩短测定时间。
作为由于存在于轨道面上的不良而轴承产生的损伤，有轴承旋转中的转动体与轨道面、或凸缘面与转动体的剥离等。尤其已知在转动体与轨道面之间剥离的损伤多。因此，希望比其他部位特别更高精度地测定轨道面33。因此，在连续测定各部分的情况下，理想的是比其他部位先测定轨道面33，并将轨道面33的电压值作为基准(0V)，测定其他部位。由此，能够对轨道面33实施准确的0点修正，而特别准确地进行测定。
此外，测定顺序也可以是与上述相反的顺序，即内周面37、轨道面33、凸缘部35的顺序。在该情况下，也同样能够削减判定基准值的修正次数而缩短测定时间。
另外，在带凸缘外轮的情况下，也同样通过按照轨道面、凸缘部内侧面、外周面、或其相反的顺序进行测定，能够使一个检查对象的判定基准值的修正次数成为一次。这样，通过适当地设定检查顺序，能够进一步提高滚动轴承的生产率。
本发明并不限于上述实施方式，本发明也正是要将实施方式的各结构相互组合起来、或由本领域的技术人员根据说明书的记载以及公知的技术进行变更、应用，并包含在请求保护的范围内。
在上述实施方式中，说明了推定具备凸缘部的内轮、外轮的表面状态而进行不良的检查的例子，但即使是不具备凸缘部的内轮、外轮，也同样能够进行上述的表面状态的推定和不良的检查。例如，也能够将本发明的检查适用于进行渗透淬火、浸碳、浸碳氮化处理而得到的圆筒、圆锥、球面(自动调心)轴承。
另外，涡电流探伤探头15将励磁线圈和检测线圈构成为一体，但也可以构成为分别分体地配置励磁线圈22a和检测线圈22b。
另外，涡电流探伤探头也可以不采用选择性地向涡电流探伤探头15的励磁线圈22a施加第一频率(高频)和第二频率(低频)的励磁电流的一个探头，而是采用能够分别施加第一频率(高频)和第二频率(低频)的2个或2个以上的探头。在该情况下，在本检查方法中，必须对相同位置的测定结果进行比较，因此在进行2次或2次以上的测定时，在同一测定位置进行测定。
此外，本申请基于2017年12月15日申请的日本专利申请(特愿2017-240538)以及2018年5月15日申请的日本专利申请(特愿2018-93805)，将其内容作为参考引用到本申请中。
附图标记说明
11：轨道轮(转动部件)；15、15A、15B：涡电流探伤探头；15a：高频用探头(第一探头)；15b：低频用探头(第二探头)；17：相对移动机构；19：励磁线圈驱动部；20：控制部(判定部)；21：信号取得部；22a：励磁线圈；22b：检测线圈；31：带凸缘内轮(轨道轮)；33：轨道面(内轮的轨道面)；35：凸缘部(凸缘面)；37：内周面；38：中间点；100：滚动轴承的检查装置(转动部件的检查装置)。
Claims (14)
1.一种转动部件的检查方法，其通过相对于上述转动部件移动的检测线圈检测向励磁线圈施加励磁电流而渗透到转动部件的内部的涡电流，根据从上述检测线圈检测出的检测信号，判定上述转动部件的不良，其特征在于，
上述励磁电流中有使上述涡电流渗透到上述转动部件的表层部的第一频率的表层检测用电流、以及使上述涡电流渗透到比上述表层部深的深层部的第二频率的深层检测用电流，
在将通过上述表层检测用电流从上述检测线圈检测出的电压信号设为表层检测信号，将通过上述深层检测用电流从上述检测线圈检测出的电压信号设为深层检测信号的情况下，上述转动部件的检查方法包括：
判定上述表层检测信号的电压值是否是预先确定的第一允许范围内的第一判定工序；
判定在上述转动部件的隔开一定距离的检查位置分别检测出的上述表层检测信号的变化率是否是预先确定的第二允许范围内的第二判定工序；
判定同一上述检查位置处的上述表层检测信号和上述深层检测信号之差是否是预先确定的第三允许范围内的第三判定工序；以及
组合上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序的各判定结果来判定上述转动部件的不良的有无和不良内容的状态判定工序。
2.根据权利要求1所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
使上述转动部件与上述检测线圈相对移动，从上述转动部件的多个部位检测上述表层检测信号和上述深层检测信号。
3.根据权利要求2所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
上述转动部件与上述检测线圈的相对移动使上述检测线圈沿着上述转动部件的圆周方向螺旋状地扫描。
4.根据权利要求3所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
上述转动部件是滚动轴承的轨道轮，
上述转动部件的检查方法是使具备产生磁场的上述励磁线圈和检测上述涡电流的上述检测线圈的至少一个涡电流探伤探头与上述滚动轴承的轨道轮相对，通过上述涡电流探伤探头检测通过从上述涡电流探伤探头产生的磁场而渗透到上述轨道轮的内部的涡电流，与得到的检测信号对应地检查上述轨道轮的方法，
向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流和上述深层检测用电流，
使上述涡电流探伤探头沿着上述轨道轮的圆周方向螺旋状地扫描。
5.根据权利要求1所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
上述转动部件是滚动轴承的轨道轮，
上述转动部件的检查方法是使具备产生磁场的上述励磁线圈和检测上述涡电流的上述检测线圈的至少一个涡电流探伤探头与上述滚动轴承的轨道轮相对，通过上述涡电流探伤探头检测通过从上述涡电流探伤探头产生的磁场而渗透到上述轨道轮的内部的涡电流，与得到的检测信号对应地检查上述轨道轮的方法，
向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流和上述深层检测用电流，
通过至少沿着上述轨道轮的圆周方向相对移动的圆周方向扫描，使上述涡电流探伤探头进行步进移动，
上述转动部件的检查方法包括：
在每次上述步进移动时与上述检测线圈相对的上述轨道轮的检查位置，取得向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流而得到的上述表层检测信号和施加上述深层检测用电流而得到的上述深层检测信号的信号取得工序；以及
与取得的上述表层检测信号和上述深层检测信号对应地检查上述滚动轴承的检查工序，
在上述信号取得工序中实施上述第一判定工序、上述第二判定工序和上述第三判定工序，
在上述检查工序中实施上述状态判定工序，判定上述轨道轮的不良的有无和不良内容。
6.根据权利要求5所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
使上述涡电流探伤探头在上述检查位置的测定对象面的母线方向一端进行上述圆周方向扫描，分别实施上述轨道轮的一周的上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序，
在上述圆周方向扫描之后，到上述测定对象面的母线方向另一端为止，重复执行以下动作：进而通过沿着上述母线方向的母线方向扫描，使上述涡电流探伤探头进行步进移动，在该步进移动后的位置使上述涡电流探伤探头进行上述圆周方向扫描，分别实施上述轨道轮的一周的上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序。
7.根据权利要求4～6的任意一项所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
上述第一判定工序、上述第二判定工序中，与上述轨道轮的上述检查位置处的表层组织的厚度对应地，使上述检测线圈对上述涡电流的检测灵敏度增减。
8.根据权利要求1～6的任意一项所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
按照上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序的顺序或上述第三判定工序、上述第一判定工序、上述第二判定工序的顺序，实施上述第一判定工序、上述第二判定工序、上述第三判定工序。
9.根据权利要求5所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
依次实施第一工序、第二工序、第三工序，
在所述第一工序中，将上述涡电流探伤探头配置在上述检查位置的测定对象面的母线方向一端来使其进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第一判定工序，到上述测定对象面的母线方向另一端为止重复执行以下动作：通过沿着上述母线方向的母线方向扫描使上述涡电流探伤探头进行步进移动，在该步进移动后的位置使上述涡电流探伤探头进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第一判定工序；
在所述第二工序中，使上述涡电流探伤探头在上述测定对象面的母线方向一端进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第二判定工序，到上述测定对象面的母线方向另一端为止重复执行以下动作：通过上述母线方向扫描使上述涡电流探伤探头进行步进移动，在该步进移动后的位置使上述涡电流探伤探头进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第二判定工序；
在所述第三工序中，使上述涡电流探伤探头在上述测定对象面的母线方向一端进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第三判定工序，到上述测定对象面的母线方向另一端为止重复执行以下动作：通过上述母线方向扫描使上述涡电流探伤探头进行步进移动，在该步进移动后的位置使上述涡电流探伤探头进行上述圆周方向扫描，实施上述轨道轮的一周的上述第三判定工序。
10.根据权利要求4～6、9的任意一项所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
上述轨道轮从一个端面到另一个端面，直径方向的厚度不同，
在实施上述第一判定工序、上述第二判定工序以及上述第三判定工序时，将上述轨道轮的从测定对象面的母线方向一端到另一端的轨道轮宽度内的区域分割为多个分割区域，针对上述直径方向的厚度比上述轨道轮宽度的中间点更薄侧的上述分割区域的检查位置，在更厚侧的上述分割区域的检查位置之前先进行判定。
11.根据权利要求4～6、9的任意一项所述的转动部件的检查方法，其特征在于，
上述第一判定工序、上述第二判定工序中，与上述轨道轮的上述检查位置处的表层组织的厚度对应地，代替上述表层检测用电流而向上述励磁线圈施加上述深层检测用电流，代替上述表层检测信号而使用上述深层检测信号进行判定。
12.一种转动部件的检查装置，其特征在于，具备：
励磁线圈，其使涡电流渗透到转动部件的内部；
检测线圈，其检测在上述转动部件中感应出的上述涡电流；
相对移动机构，其使上述转动部件与上述检测线圈相对移动，变更上述转动部件的检查位置；
励磁线圈驱动部，其向上述励磁线圈施加使上述涡电流渗透到上述转动部件的表层部的第一频率的表层检测用电流、以及使上述涡电流渗透到比上述表层部深的深层部的第二频率的深层检测用电流；
信号取得部，其在使上述检测线圈进行上述相对移动后的上述转动部件的各检查位置，取得向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流时通过上述检测线圈得到的表层检测信号、施加上述深层检测用电流时通过上述检测线圈得到的深层检测信号；
判定部，其与取得的上述表层检测信号和上述深层检测信号对应地，判定上述转动部件的不良的有无和不良内容，
上述判定部组合以下的判定结果来判定上述转动部件的不良的有无和不良内容：
判定上述表层检测信号的电压值是否是预先确定的第一允许范围内的第一判定结果；
判定在上述转动部件的隔开一定距离的检查位置分别检测出的上述表层检测信号的变化率是否是预先确定的第二允许范围内的第二判定结果；
判定同一上述检查位置处的上述表层检测信号和上述深层检测信号之差是否是预先确定的第三允许范围内的第三判定结果。
13.根据权利要求12所述的转动部件的检查装置，其特征在于，
上述转动部件是滚动轴承的轨道轮，
转动部件的检查装置使具备上述励磁线圈和上述检测线圈的至少一个涡电流探伤探头与上述滚动轴承的轨道轮相对，通过上述涡电流探伤探头检测通过从上述涡电流探伤探头产生的磁场而渗透到上述轨道轮的内部的涡电流，与检测出的上述涡电流的检测信号对应地判定上述轨道轮的不良，
上述相对移动机构使上述轨道轮和上述涡电流探伤探头相对移动，变更上述轨道轮的检查位置，
上述励磁线圈驱动部向上述励磁线圈施加上述表层检测用电流和上述深层检测用电流，
上述判定部与从上述轨道轮检测出的上述表层检测信号和上述深层检测信号对应地，判定上述轨道轮的不良的有无和不良内容。
14.根据权利要求12或13所述的转动部件的检查装置，其特征在于，
按照第一判定工序、第二判定工序、第三判定工序的顺序或上述第三判定工序、上述第一判定工序、上述第二判定工序的顺序，实施：
判定上述表层检测信号的电压值是否是上述第一允许范围内的第一判定工序；
判定上述表层检测信号的变化率是否是上述第二允许范围内的第二判定工序；以及
判定同一上述检查位置处的上述表层检测信号和上述深层检测信号之差是否是上述第三允许范围内的第三判定工序。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112958488A (zh) * | 2021-02-11 | 2021-06-15 | 中北大学 | 一种基于电涡流传感器的有色金属分类装置及方法 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821159A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-07 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 渦流探傷法 |
| JPS61155754A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-15 | Toshiba Corp | 孔検査装置 |
| CN1959402A (zh) * | 2006-11-01 | 2007-05-09 | 浙江大学 | 基于巨磁电阻传感器的涡流检测装置 |
| WO2008031387A1 (de) * | 2006-09-12 | 2008-03-20 | Mannesmann Dmv Stainless Gmbh | Wirbelstrom-verfahren zur zerstörungsfreien qualitätskontrolle mechanisch verfestigter oberflächen austenitischer stahlrohre |
| JP2009133686A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Sinto Brator Co Ltd | 渦電流による金属製品の内部検査装置及び内部検査方法 |
| JP2011106932A (ja) * | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Jtekt Corp | 加工変質層検出装置および加工変質層検出方法 |
| US20110136408A1 (en) * | 2009-12-08 | 2011-06-09 | Elizabeth Frazee | Method for detecting and/or preventing grind burn |
| JP2013224916A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-10-31 | Nsk Ltd | 研削焼け判定装置および研削焼け判定方法 |
| WO2017022328A1 (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | 新東工業株式会社 | 鋼材製品の表面特性検査方法及び表面特性検査装置 |
-
2018
- 2018-12-14 WO PCT/JP2018/046153 patent/WO2019117297A1/ja active Application Filing
- 2018-12-14 JP JP2019534432A patent/JP6601599B1/ja active Active
- 2018-12-14 CN CN201880080180.5A patent/CN111465845B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821159A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-07 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 渦流探傷法 |
| JPS61155754A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-15 | Toshiba Corp | 孔検査装置 |
| WO2008031387A1 (de) * | 2006-09-12 | 2008-03-20 | Mannesmann Dmv Stainless Gmbh | Wirbelstrom-verfahren zur zerstörungsfreien qualitätskontrolle mechanisch verfestigter oberflächen austenitischer stahlrohre |
| CN1959402A (zh) * | 2006-11-01 | 2007-05-09 | 浙江大学 | 基于巨磁电阻传感器的涡流检测装置 |
| JP2009133686A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Sinto Brator Co Ltd | 渦電流による金属製品の内部検査装置及び内部検査方法 |
| JP2011106932A (ja) * | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Jtekt Corp | 加工変質層検出装置および加工変質層検出方法 |
| US20110136408A1 (en) * | 2009-12-08 | 2011-06-09 | Elizabeth Frazee | Method for detecting and/or preventing grind burn |
| JP2013224916A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-10-31 | Nsk Ltd | 研削焼け判定装置および研削焼け判定方法 |
| WO2017022328A1 (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | 新東工業株式会社 | 鋼材製品の表面特性検査方法及び表面特性検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112958488A (zh) * | 2021-02-11 | 2021-06-15 | 中北大学 | 一种基于电涡流传感器的有色金属分类装置及方法 |
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