CN111372616B - 气体处理装置 - Google Patents

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Abstract

目的在于提供一种能够将难以由臭氧(O3)分解的成分也高效地分解的气体处理装置。气体处理装置具备：筒状的壳体；进气口，将含有氧以及水分的被处理气体向壳体的内侧导入；准分子灯，收容于壳体的内侧，并填充有放电用气体，包括沿着第一方向延伸的管体；排气口，将被照射了从准分子灯射出的紫外线的被处理气体向壳体的外侧导出；以及遮风部件，在从第一方向观察时，以包围管体的方式、或者以夹着管体的方式配置。遮风部件至少配置于管体的所述第一方向的端部中的靠近进气口一侧的端部与管体的第一方向的中央部之间的位置。

Description

气体处理装置
技术领域
本发明涉及气体处理装置，特别是涉及使用准分子灯来处理被处理气体的装置。
背景技术
近年来开发了使用了光的除臭·杀菌的技术。例如，在下述专利文献1中公开了准分子灯的构成。该准分子灯具备由透过紫外线的二氧化硅玻璃构成的管体(放电容器)、以及设于该管体的外壁的电极。在管体内封入有作为放电用气体的氙(Xe)气。根据该准分子灯，照射波长200nm以下、更详细地说是波长172nm的真空紫外光。
由此，例如，通过使该真空紫外光照射空气而生成含有臭氧(O3)的气体，能够获得使用了含有该臭氧(O3)的气体的除臭·杀菌的效果。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007-335350号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，在空气中有时含有难以由臭氧(O3)分解的恶臭成分。作为这种恶臭成分之一，可列举甲醛。本发明目的在于提供一种能够将难以由臭氧(O3)分解的上述的成分也高效地分解的气体处理装置。
用来解决课题的手段
本发明的气体处理装置，其特征在于，具备：
筒状的壳体；
进气口，将含有氧以及水分的被处理气体向所述壳体的内侧导入；
准分子灯，收容于所述壳体的内侧，并填充有放电用气体，包括沿着第一方向延伸的管体；
排气口，将被照射了从所述准分子灯射出的紫外线的所述被处理气体向所述壳体的外侧导出；以及
遮风部件，在从所述第一方向观察时，以包围所述管体的方式、或者以夹着所述管体的方式配置，
所述遮风部件至少配置于所述管体的所述第一方向的端部中的靠近所述进气口一侧的端部与所述管体的所述第一方向的中央部之间的位置。
根据上述构成，从进气口取入壳体内并朝向排气口侧的被处理气体的一部分与遮风部件碰撞，使得气流变化。如上述那样，遮风部件以包围准分子灯的管体、或夹着管体的方式配置。即，在准分子灯的管体与遮风部件之间形成有分离区域。因此，被处理气体朝向管体与遮风部件的分离区域流入。通过设置遮风部件，从进气口取入的被处理气体在遮风部件的配置部位，能够使该气体流过的空间急剧地变窄。其结果，产生朝向管体与遮风部件的分离区域的气流。
通过该构成，从进气口取入的被处理气体的大部分在遮风部件的配置部位，在准分子灯的管体的附近流通。
另外，将被处理气体设想为成为进行除臭·杀菌的对象的气体，作为更详细的具体例，可列举汽车、工厂等中的废气、或者实验设备、医疗现场这样的有可能使用特定的药剂的空间内的气氛。这些气体含有氧与水分。
从准分子灯放射的紫外线为，其波长越短能量越高，另一方面，短波长的成分被氧吸收。已知波长120nm～250nm左右的光被氧吸收，特别是，参照图5或图13，如后述的那样，波长150nm～180nm的光相对于氧的吸收系数高。因此，即使为了对被处理气体进行除臭·杀菌而从准分子灯放射这种波段的光，也会被被处理气体中所含的氧吸收，其结果，无法使光充分地到达被处理气体。
根据上述的构成，通过设置遮风部件，能够使从进气口取入的被处理气体有意地在准分子灯的管体的附近流通。由此，即使如上述那样从准分子灯射出了短波段的紫外线的情况下，也能够对从进气口取入的被处理气体的大部分照射紫外线。由此，能够提高被处理气体中所含的恶臭·有害物质的分解性能。
另外，被处理气体在遮风部件与管体之间的位置流通之后，可流通区域扩大，因此容易产生由压力差引起的紊流。由于该紊流，被处理气体在所含有的恶臭·有害物质被完全分解后的气流与所含有的恶臭·有害物质的一部分未被分解而残留的气流混合后，朝向排气口流动。因此，即使在遮风部件的后段的位置，含有恶臭·有害物质的气流也容易在准分子灯的附近流通，因此通过照射从准分子灯射出的紫外线，能够进一步分解该恶臭·有害物质。
从准分子灯放射的紫外线优选包含在160nm以上且小于180nm的范围内所包含的波段(以下，称为“第一波段λ1”。)的光。
通过对在准分子灯的附近流通的被处理气体照射来自准分子灯的第一波段λ1的射出光，生成显示高反应性的激发态的氧原子O(1D)、羟基自由基(·OH)。由此，对难以由臭氧(O3)分解的物质(例如，甲醛)也显示高分解性能。
壳体只要是中空的筒形状，则形状任意。例如，能够采用圆筒管形状、方管形状等各种形状。
也可以是，所述遮风部件，
具有第一开口部和遮挡部，该第一开口部在从所述第一方向观察时以覆盖所述管体的方式开口，该遮挡部是比所述第一开口部靠外侧的区域、且未设有开口，
位于所述第一开口部的内侧的所述管体与所述遮挡部的所述第一开口部侧的内缘的分离距离为1mm以上且10mm以下。
在上述构成中，遮风部件呈在遮挡部的中央设有开口(第一开口部)的形状，以贯通该第一开口部的方式配置有准分子灯的管体。与遮挡部碰撞后的被处理气体通过第一开口部而在管体的附近沿着第一方向流通。
在此，如上述那样，通过将位于第一开口部的内侧的管体与遮挡部的第一开口部侧的内缘的分离距离设为1mm以上且10mm以下的极窄的距离，即使在从准分子灯放射的紫外线包含上述第一波段λ1的光的情况下，也能够使该光充分地照射被处理气体。
在上述构成中，也可以是，
所述遮风部件在所述第一方向上分离地配置两个以上，
在所述第一方向上邻接的两个所述遮风部件中的位于靠近所述进气口一侧的第一遮风部件所具备的所述第一开口部的至少一部分、以及所述两个所述遮风部件中的位于靠近所述排气口一侧的第二遮风部件所具备的所述遮挡部，在从所述第一方向观察时相互重叠。
通过设置遮风部件，使得被处理气体在第一开口部内流通。由此，被处理气体在准分子灯的管体的附近流通，因此即使在从准分子灯照射短波长(例如上述第一波段λ1)的紫外线的情况下，也能够对被处理气体充分地照射。其中，被处理气体沿着第一方向在第一开口部内流通的长度取决于遮风部件的第一方向的长度(以下，称为“厚度”。)。即，在遮风部件的厚度较薄的情况下，短波长的紫外线照射被处理气体的时间变短，因此根据导入壳体内的被处理气体的流量，也设想被处理气体中所含的恶臭·有害物质未被完全分解而残留的情况。
但是，根据上述的构成，由于沿着第一方向设有多片遮风部件，因此被处理气体在前段的遮风部件的第一开口部内流通之后，即使假设残留有恶臭·有害物质，通过使该被处理气体在后段的遮风部件的第一开口部内流通，也能够再次在准分子灯的管体的附近流通。由此，恶臭·有害物质的分解性能提高。
而且，根据上述的构成，第一遮风部件所具备的第一开口部的至少一部分与第二遮风部件所具备的遮挡部在从第一方向观察时以相互重叠的方式配置。根据该构成，在第一遮风部件的第一开口部沿着第一方向流通后的被处理气体的一部分容易与第二遮风部件的遮挡部碰撞。其结果，在第二遮风部件的前段的位置容易产生紊流。由此，在被处理气体内残留有恶臭·有害物质的气流与恶臭·有害物质被分解的气流混合之后，通过第二遮风部件的第一开口部而在准分子灯的管体的附近流通，因此恶臭·有害物质的分解性能进一步提高。
上述构成中，也可以是，
所述第一开口部具有非旋转对称性的形状，
当使所述第一遮风部件旋转规定的角度时，所述第一遮风部件所具备的所述遮挡部的所述第一开口部侧的内缘与所述第二遮风部件所具备的所述遮挡部的所述第一开口部侧的内缘在从所述第一方向观察时重叠。
作为具体的例子，第一开口部能够呈椭圆形状、卵型形状、长方形状等形状。作为一个例子，在第一开口部为椭圆形状的情况下，也可以将第一遮风部件的长径方向与第二遮风部件的短径方向平行地配置。
也可以是，所述遮风部件具有：
遮挡部，在从所述第一方向观察时，配置于隔着所述管体而分离的两处以上的位置，且未设有开口；以及
第一开口部，是被两处以上的所述遮挡部夹着的空间区域，
位于所述第一开口部内的所述管体与所述遮挡部的所述第一开口部侧的外缘的分离距离为1mm以上且10mm以下。
在上述构成中，遮风部件具有配置于两处以上的位置的遮挡部，在被这些遮挡部夹着的空间区域(第一开口部)内配置有准分子灯的管体。在该构成中，与遮挡部碰撞后的被处理气体通过第一开口部而在管体的附近沿着第一方向流通。而且，通过将位于第一开口部内的管体与遮挡部的第一开口部侧的外缘的分离距离设为1mm以上且10mm以下的极窄的距离，即使在从准分子灯放射的紫外线包含上述第一波段λ1的光的情况下，也能够使该光充分地照射被处理气体。
也可以是，所述遮风部件配置于在所述第一方向上分离的两处以上的位置，
在所述第一方向上邻接的两个所述遮风部件中的位于靠近所述进气口一侧的第一遮风部件所具备的所述第一开口部的至少一部分、以及所述两个所述遮风部件中的位于靠近所述排气口一侧的第二遮风部件所具备的所述遮挡部，在从所述第一方向观察时相互重叠。
根据上述的构成，由于沿着第一方向在多处设有遮风部件，因此被处理气体在前段的遮风部件的第一开口部内流通之后，即使假设残留有恶臭·有害物质，通过使该被处理气体在后段的遮风部件的第一开口部内流通，也能够再次在准分子灯的管体的附近流通。由此，提高恶臭·有害物质的分解性能。
所述遮风部件所具备的所述遮挡部也可以是半圆形状或长方形状。
也可以是，所述遮风部件，
在所述第一方向上分离地配置有两个以上，
该遮风部件具备：
第一开口部，在从所述第一方向观察时，以覆盖所述管体的方式开口；遮挡部，是比所述第一开口部靠外侧的区域，且未设有开口；以及
第二开口部，在所述遮挡部的区域内，局部地分散设置有多个开口，
设置在配置于最靠近所述进气口的位置的所述遮风部件的所述第二开口部，配置在相对于所述第一方向上与设于至少某一个所述遮风部件的所述遮挡部至少重叠一部分的位置。
根据上述的构成，能够有意地使被处理气体暂时地滞留在远离了准分子灯的位置。
然而，从准分子灯放射的紫外线的波长取决于填充于管体的放电用气体的种类。例如，在使用含有Xe的气体作为放电用气体的情况下，从准分子灯放射的紫外线包含160nm以上且小于180nm的范围内(第一波段λ1)的成分和180nm以上且小于200nm的范围内(以下，称为“第二波段λ2”)的成分。
如上述那样，当对在准分子灯的附近流通的被处理气体对照射来自准分子灯的第一波段λ1的射出光时，生成激发态的氧原子O(1D)以及臭氧(O3)。O(1D)与水分(H2O)反应，从而生成显示高反应性的羟基自由基(·OH)。
另外，通过进一步对滞留在远离了准分子灯的位置的、含有臭氧(O3)的被处理气体照射来自准分子灯的射出光(特别是第二波段λ2的光)，可生成激发态的氧原子O(1D)。根据上述的构成，由于在远离了准分子灯的位置使被处理气体滞留，因此能够大量生成反应性高的O(1D)、·OH。
优选为，设置在配置于最靠近所述进气口的位置的所述遮风部件的多个所述第二开口部中的半数以上的所述第二开口部在所述第一方向上，配置于与设于至少任一个所述遮风部件的所述遮挡部至少重叠一部分的位置，更优选为，所有所述第二开口部在所述第一方向上，配置于与设于至少任一个所述遮风部件的所述遮挡部至少重叠一部分的位置。
而且，设置在配置于最靠近所述进气口的位置的所述遮风部件的所述第二开口部在所述第一方向上，优选配置为与设于至少任一个所述遮风部件的所述遮挡部重叠50％以上的面积，更优选配置为重叠90％以上的面积，进一步优选配置为重叠100％的面积。
也可以是，设于所有所述遮风部件的所述第二开口部的每一个，配置在相对于所述第一方向与设于至少某一个所述遮风部件的所述遮挡部至少重叠一部分的位置。在这种情况下，在所述第一方向上，所述第二开口部的各个与设于至少任一个所述遮风部件的所述遮挡部也优选配置为重叠50％以上的面积，更优选配置为重叠90％以上的面积的，进一步优选配置为重叠100％的面积。
根据上述构成，在远离了准分子灯的位置，可提高使从进气口朝向排气口流通的被处理气体的速度降低的效果，因此能够生成更多的O(1D)以及·OH。
也可以是，所述准分子灯呈现以所述第一方向为长度方向的长条形状，以贯通设于多个所述遮风部件的所述第一开口部方式配置。在这种情况下，在气体处理装置内，呈现以所述第一方向为长度方向的长条形状的多根准分子灯也可以在与第一方向不同的方向上分离且实质上平行地配置。
也可以是，所述遮风部件具有与所述第一方向交叉的面，
多个所述第二开口部在所述遮风部件的所述面上配置成同心圆状。在该情况下，通过仅使遮风部件旋转，能够调整设于多个遮风部件的第二开口部彼此的相对的位置关系。
准分子灯也可以以将其长度方向作为与第一方向(与被处理气体的流路方向平行的方向)交叉的方向的方式配置。
即，所述气体处理装置，
具备在所述第一方向上分离地配置的多个所述准分子灯，该准分子灯呈现以与所述第一方向交叉的方向为长度方向的长条形状，
多个所述准分子灯中的至少两根所述准分子灯能够配置为，所述长度方向的部分位于设于不同的所述遮风部件的呈现沿着与所述长度方向平行的方向延伸的形状的所述第一开口部内。
在这种情况下，至少两片所述遮风部件也可以为，在与所述长度方向平行的方向上，所述第一开口部的形成位置错开。通过该构成，能够提高在远离了准分子灯的位置使被处理气体暂时地滞留的功能。
所述准分子灯也可以是，在所述第一方向上，一部分从所述遮风部件突出地配置。
在位于所述第一开口部内的所述准分子灯与位于所述第一开口部的外侧的所述遮挡部之间也可以设有1mm以上且10mm以下的间隙。通过该构成，能够使从准分子灯射出的光中的表示第一波段λ1的成分的光以充足的流量照射流通的被处理气体，从而生成O(1D)以及·OH。
也可以是，所述气体处理装置具备多个所述准分子灯，
所述遮风部件以包围多个所述准分子灯的各个所具备的所述管体的方式、或者以夹着所述管体的方式配置。
发明效果
根据本发明的气体处理装置，与以往的装置相比，能够增加反应性高的物质(例如O(1D)、·OH等)与被处理气体中所含的恶臭·有害物质的接触概率，因此对于仅用臭氧(O3)难以分解的恶臭成分，也能够提高分解性能。
附图说明
图1是以XY平面剖切第一实施方式的气体处理装置时的示意性的剖面图。
图2是将图1的区域A1部分放大后的示意性的立体图。
图3是以XY平面剖切准分子灯时的示意性的剖面图的一个例子。
图4A从X方向观察第一实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件20a时的示意性的俯视图。
图4B是从X方向观察第一实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件20b时的示意性的俯视图。
图4C是用于说明第一实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件20a与遮风部件20b的位置关系的附图。
图5是重叠显示填充有含有Xe的放电用气体的准分子灯的发射光谱与氧(O2)以及臭氧(O3)的吸收光谱的图表。
图6是表示在没有遮风部件的情况下，距准分子灯的表面的距离与被处理气体中所含的羟基自由基(·OH)的浓度的关系的图表。
图7A是示意地表示第一实施方式的气体处理装置的另一构造的局部立体图。
图7B是示意地表示第一实施方式的气体处理装置的另一构造的局部立体图。
图8是以XY平面剖切第二实施方式的气体处理装置时的示意性的剖面图。
图9是将图8的区域A2部分放大后的示意性的立体图。
图10A是从X方向观察第二实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件20a时的示意性的俯视图。
图10B是从X方向观察第二实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件20b时的示意性的俯视图。
图10C是用于说明第二实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件20a与遮风部件20b的位置关系的附图。
图11是以XY平面剖切第三实施方式的气体处理装置时的示意性的剖面图。
图12A是从X方向观察第三实施方式的气体处理装置所具备的一个遮风部件时的示意性的俯视图。
图12B是从X方向观察第三实施方式的气体处理装置所具备的另一个遮风部件时的示意性的俯视图。
图12C是用于说明设于第三实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件的第二开口部的位置的示意性的附图。
图13是重叠显示填充有含有Xe的放电用气体的准分子灯的发射光谱与氧(O2)以及臭氧(O3)的吸收光谱的图表。
图14是示意地表示第三实施方式的气体处理装置的另一构造的剖面图。
图15是示意地表示第三实施方式的气体处理装置的另一构造的剖面图。
图16A是从X方向观察图15所示的气体处理装置所具备的一个遮风部件时的示意性的俯视图。
图16B是从X方向观察图15所示的气体处理装置所具备的另一个遮风部件时的示意性的俯视图。
图17A是从X方向观察第三实施方式的气体处理装置所具备的一个遮风部件时的示意性的俯视图。
图17B是从X方向观察第三实施方式的气体处理装置所具备的另一个遮风部件时的示意性的俯视图。
图17C是用于说明设于第三实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件的第二开口部的位置的示意性的附图。
图18是用于说明设于第三实施方式的气体处理装置所具备的遮风部件的第二开口部的位置的示意性的附图。
图19A是以XY平面剖切第四实施方式的气体处理装置时的示意性的剖面图。
图19B以XZ平面剖切第四实施方式的气体处理装置时的示意性的剖面图。
图20A是从X方向观察第四实施方式的气体处理装置所具备的一个遮风部件时的示意性的俯视图。
图20B是从X方向观察第四实施方式的气体处理装置所具备的另一个遮风部件时的示意性的俯视图。
图21是示意地表示第四实施方式的气体处理装置的构造的剖面图。
图22A是从X方向观察图21所示的气体处理装置所具备的遮风部件20a时的示意性的俯视图。
图22B是从X方向观察图21所示的气体处理装置所具备的遮风部件20b时的示意性的俯视图。
图23是对实施例2-1～2-2、比较例2-1～2-3、以及参考例中的甲醛(HCHO)的分解方式进行比较的图表。
图24是以YZ平面剖切单重管构造的准分子灯时的示意性的剖面图的一个例子。
图25是以YZ平面剖切双重管构造的准分子灯时的示意性的剖面图的一个例子。
图26是以YZ平面剖切扁平管构造的准分子灯时的示意性的剖面图的一个例子。
具体实施方式
适当参照附图对本发明的气体处理装置的各实施方式的构成进行说明。另外，在以下的附图中，附图上的尺寸比与实际的尺寸比未必一致，在各附图间尺寸比也未必一致。
[第一实施方式]
对本发明的气体处理装置的第一实施方式进行说明。
(构造)
图1是示意地表示本实施方式的气体处理装置的构造的剖面图。图2是将图1内的区域A1部分放大后的示意性的立体图。
本实施方式的气体处理装置1具备壳体3、进气口5、排气口7、准分子灯10、以及遮风部件20。另外，以下，将从进气口5朝向排气口7的方向规定为X方向，将与该X方向正交的平面规定为YZ平面。在图1中，将X、Y以及Z这三个方向与气体处理装置1一同示出。在此，示出了X、Y以及Z这三个方向为右手系的坐标系的情况。
使用上述坐标系进行说明，图1与以XY平面剖切气体处理装置1时的剖面图对应。
在图1中，用带箭头的双点划线示意地表示气体的流动，用带箭头的虚线示意地表示光的流动。在本实施方式中，流路方向与+X方向对应。另外，“第一方向”与+X方向以及-X方向对应。以下，在无需区分方向的正负的情况下，不进行正负的标记。
壳体3具有中空的筒形状，在其内侧收容有准分子灯10。进气口5是用于从气体处理装置1的外侧向中空状的壳体3的内侧(内部)导入被处理气体G1的开口部。被处理气体G1是含有氧以及水分的气体，例如为空气、废气等。
另外，关于壳体3的形状，在图1中示出了收容有准分子灯10的区域的开口部的大小比进气口5以及排气口7所在的区域的开口部的大小小的情况，但该形状只不过是一个例子。即，关于本发明的气体处理装置1所具备的壳体3的形状，进气口5所在的区域的开口部的大小、收容有准分子灯10的区域的开口部的大小、以及排气口7所在的区域的开口部的大小的大小关系是任意的。例如，这三处开口部的大小也可以全部大致相同。另外，壳体3能够采用圆筒管形状、方管形状等各种形状。在第二实施方式以后也相同。
如图2所示，本实施方式的气体处理装置1具备在X方向上分离地配置的两片遮风部件20(20a、20b)。以下，将遮风部件(20a、20b)统称而使用“遮风部件20”这一记载。遮风部件20a与“第一遮风部件”对应，遮风部件20b与“第二遮风部件”对应。遮风部件20例如通过螺纹紧固等方法固定于壳体3。遮风部件20以在与壳体3之间实质上未形成有间隙的方式固定。
如图2所示，本实施方式的气体处理装置1在从X方向观察时，遮风部件20以包围准分子灯10的方式配置。更详细地说，遮风部件20以包围准分子灯10的管体14(发光管13)(参照图3)的方式配置。关于遮风部件20与准分子灯10的位置关系，之后参照图4A～图4C进一步进行叙述。
图3是示意地表示准分子灯10的构造的一个例子的剖面图。准分子灯10具备用于在第一电极(外部电极)11与第二电极(内部电极)12之间施加电压(例如，交流的高电压)的电源(未图示)。
发光管13在两端具备使管体14的内部气密的第一密封部15以及第二密封部16。管体14由合成石英玻璃等电介质构成，在内侧封入有通过放电形成准分子的放电用气体。该放电用气体构成为含有氙(Xe)。作为放电用气体的更详细的一个例子，由使氙(Xe)与氖(Ne)以规定的比率(例如，3：7)混合存在而成的气体构成。另外，作为管体14中所含的放电用气体，除了氙(Xe)与氖(Ne)以外，也可以微量地含有氧、氢。
第一密封部15以及第二密封部16分别被基底部35(35a、35b)(参照图1)固定。基底部35由滑石、镁橄榄石、赛隆、氧化铝等陶瓷材料(无机材料)构成，具有固定管体14的端部的功能。
发光管13具备埋设于第一密封部15的金属箔17、以及一部分埋设于第一密封部15的外部引线18。金属箔17连结于内部电极12以及外部引线18。由此，内部电极12、金属箔17、以及外部引线18相互电连接。
在本实施方式中，外部电极11形成为筒状，管体14被插入外部电极11的内部。外部电极11具备使从管体14的内部射出的光(紫外线)L1通过或透过的光路部19。例如，光路部19由贯通孔构成。
外部电极11可以形成为在板状的部件具有多个贯通孔，可以形成为将多个棒状的部件配置成格子形状、网眼形状，也可以形成为将棒状的部件配置成螺旋状。光路部19也可以由具有透光性的部件构成。
在本实施方式中，内部电极12形成为棒状，并配置于管体14的内部。由于内部电极12的端部分别埋设于发光管13的密封部(15、16)，因此内部电极12固定于发光管13。
通过使来自准分子灯10的射出光(紫外线)L1照射至在壳体3内的准分子灯10的外侧流通的被处理气体G1，被处理气体G1被分解，处理后的气体G2从排气口7排出。
图4A以及图4B是用于说明遮风部件20的形状的附图。更详细地说，图4A是从X方向观察位于靠近进气口5一侧的遮风部件20a时的示意性的俯视图。图4B是从X方向观察位于比遮风部件20a靠后段(排气口7侧)的遮风部件20b时的示意性的俯视图。另外，为了便于说明，在图4A以及图4B中也示出了准分子灯10。
如图4A以及图4B所示，遮风部件20具有在从X方向观察时以覆盖准分子灯10(管体14)的方式开口的第一开口部21、以及在比第一开口部21靠外侧的区域中未设有开口的遮挡部23。第一开口部21的内径比准分子灯10的外径大。即，在准分子灯10与遮挡部23之间依然形成有开口区域(第一开口部21)。遮挡部23例如由相对于臭氧(O3)、紫外线不易恶化的不锈钢、钛构成。即，遮风部件20构成为，具备在中央附近开口有第一开口部21的遮挡部23。
而且，在本实施方式中，在从X方向观察时，以遮风部件20a的第一开口部21的一部分与遮风部件20b的遮挡部23重叠的方式配置。关于这一点，参照图4C进行说明。
图4C是用于说明本实施方式的气体处理装置1所具备的遮风部件20a与遮风部件20b的位置关系的附图。更详细地说，图4C是在从进气口5侧观察遮风部件20a时的附图中重叠示出遮风部件20b的附图。
在图4C中，用右上的阴影线表示的遮风部件20a的第一开口部21的一部分的区域21a在X方向上，与遮风部件20b的遮挡部23重叠。另外，用右下的阴影线表示的遮风部件的20b的第一开口部21的一部分的区域21b在X方向上，与遮风部件20a的遮挡部23重叠。
即，在本实施方式的气体处理装置1中，从进气口5导入的被处理气体G1的一部分在与遮风部件20a的遮挡部23碰撞之后，使气流的方向转换为第一开口部21的方向。被处理气体G1之后在第一开口部21内流通并朝向排气口7侧。但是，在遮风部件20a的第一开口部21内通过而原样地沿X方向行进的被处理气体G1的一部分与配置于遮风部件20a的后段的遮风部件20b的遮挡部23碰撞。然后，被处理气体G1在使气流的方向转换为遮风部件20b的第一开口部21的方向之后，在第一开口部21内流通并朝向排气口7侧。
遮风部件20的第一开口部21的外缘(即，遮挡部23的第一开口部21侧的内缘)与配置于其内侧的准分子灯10的管体14的分离距离优选为1mm以上且10mm以下。在本实施方式中，由于将第一开口部21的形状形成为椭圆形状，因此所述分离距离根据位置而变化。作为一个例子，所述分离距离的最大值为5mm，所述分离距离的最小值为3mm。
如本实施方式那样，在使遮风部件20的第一开口部21的形状为椭圆形状的情况下，遮风部件20成为非旋转对称性的形状。在该情况下，遮风部件20b也可以以相对于遮风部件20a以X方向为轴旋转规定的角度(例如90°)的状态配置。图4B所示的遮风部件20b的形状与使图4A所示的遮风部件20a旋转了90°后的形状对应。
另外，遮风部件20的厚度、即X方向的长度是任意的，例如为2mm。另外，壳体3的形状也是任意。作为一个例子，能够使XY方向的截面为矩形状，能够使YZ方向的截面为矩形状或圆形状。壳体3的X方向的长度的一个例子为150mm，YZ方向的截面面积的一个例子为3600mm2。
(作用)
根据本实施方式的气体处理装置1，与以往的装置相比提高了恶臭成分的分解性能，以下对这一点进行说明。
图5是重叠显示填充有含有Xe的放电用气体的准分子灯的发射光谱与氧(O2)以及臭氧(O3)的吸收光谱的图表。在图5中，横轴表示波长，左纵轴表示准分子灯的光强度的相对值，右纵轴表示氧(O2)以及臭氧(O3)的吸收系数。
在使用含有Xe的气体作为准分子灯10的放电用气体的情况下，如图5所示，准分子灯10的射出光L1包含160nm以上且小于180nm的范围内(以下，称为“第一波段λ1”)的成分。如图5所示，该第一波段λ1的光的基于氧(O2)的吸收量大。另外，以下，将射出光L1适当标记为“紫外线L1”。
当对被处理气体G1照射来自准分子灯10的紫外线L1(在此为第一波段λ1的光。)，并被氧(O2)吸收时，进行以下的(1)式的反应。在(1)式中，O(1D)是激发态的O原子，显示高反应性。O(3P)是基态的O原子。另外，在(1)式中，hν(λ1)表示吸收了第一波段λ1的光。
O2+hν(λ1)→O(1D)+O(3P)‥‥(1)
由(1)式生成的O(3P)与被处理气体G1中所含的氧(O2)反应，并按照(2)式生成臭氧(O3)。
O(3P)+O2→O3‥‥(2)
另外，显示高反应性的O(1D)的一部分与被处理气体G1中所含的水分(H2O)反应，并按照(3)式生成羟基自由基(·OH)。
O(1D)+H2O→·OH+·OH‥‥(3)
通过利用上述反应生成显示高反应性的O(1D)、羟基自由基(·OH)，即使在被处理气体G1内含有难以由臭氧分解的物质(例如甲醛等)的情况下，也能够高效地进行分解。
另一方面，参照图5，如上述那样，第一波段λ1的光基于氧(O2)的吸收量大。因此，假设在壳体3的内侧未设有遮风部件20的情况下，即使从进气口5导入被处理气体G1，紫外线L1也被在准分子灯10的附近流通的被处理气体G1中所含的氧吸收。其结果，对于在远离了准分子灯10的位置流通的被处理气体G1，无法在维持较高的光量的状态下照射紫外线L1。
图6是在未设置遮风部件20的壳体3内配置准分子灯10，并一边使准分子灯10发光一边使被处理气体G1流通的情况下，将距准分子灯10的表面的距离与从准分子灯10照射的紫外线L1的相对照度的关系图表化的图。详细而言，图6以紫外线L1透过的距离呈指数函数减弱为前提，与基于图5所示的准分子灯10的光谱数据和氧(O2)的吸收系数以及紫外线L1的透过距离通过模拟算出的结果对应。在图6中，将透过的距离为0的位置、即准分子灯10的表面的紫外线L1的照度设为100％，将各位置的相对照度图表化。
根据式(1)以及式(3)可知，羟基自由基(·OH)的生成量与O(1D)的量成比例，而且，O(1D)的量与所照射的光的量成比例。即，图6示出了距准分子灯10的表面的距离与羟基自由基(·OH)的生成量的关系。即，根据图6可确认，随着距准分子灯10的表面的距离变远，羟基自由基(·OH)的浓度降低。而且，可确认在从准分子灯10的表面离开了超过10mm左右的情况下，羟基自由基(·OH)的浓度极低。
与此相对，根据本实施方式的气体处理装置1，由于在壳体3的内侧设有遮风部件20，因此由该遮风部件20限定被处理气体G1的流通区域。更详细地说，如图4A以及图4B所示，遮风部件20具有以包围准分子灯10的周围的方式设置的第一开口部21、以及配置于其外侧的遮挡部23。即，沿X方向流通的被处理气体G1当与遮挡部23碰撞时，向设于准分子灯10的附近的第一开口部21侧变更流通方向。由此，能够将从进气口5导入的被处理气体G1向准分子灯10的附近引导。
特别是，通过将遮风部件20的第一开口部21的外缘(即，遮挡部23的第一开口部21侧的内缘)与配置于其内侧的准分子灯10的管体14的分离距离设为10mm以下，在第一开口部21内流通的前后，被处理气体G1位于准分子灯10的附近。由此，以较高的比例对位于该区域的被处理气体G1照射准分子灯10的紫外线L1，因此可提高显示高反应性的O(1D)、·OH的生成概率。
另一方面，在遮挡部23的第一开口部21侧的内缘与配置于其内侧的准分子灯10的管体14的分离距离极小的情况下，在该分离位置流通的被处理气体G1的流速变得极快。其结果，存在被处理气体G1中所含的恶臭·有害物质在被O(1D)、·OH分解之前，从排气口7排气的隐患。从该观点出发，所述分离距离优选设为1mm以上。
在所述分离距离为1mm以上且10mm以下的情况下，根据遮风部件20的厚度(X方向的长度)，也设想仅在遮风部件20的第一开口部21的内侧流通的前后的时间内，被处理气体G1中所含的恶臭·有害物质不会被O(1D)、·OH分解而原样地残留的情况。即，设想在被处理气体G1所生成的气流中，恶臭·有害物质被分解了的区域与它们未被分解而残留的区域混合存在。
被处理气体G1在遮风部件20(20a)的第一开口部21内流通之后，被处理气体G1的可流通区域扩大。伴随于此，如图1中双点划线所示那样，被处理气体G1容易产生由压力差引起的紊流。由于该紊流，被处理气体G1中所含的恶臭·有害物质被完全分解后的气流与恶臭·有害物质的一部分未被分解而残留的气流混合，在产生该混合之后，朝向排气口7侧流通。由此，即使在遮风部件20的后段的位置，含有恶臭·有害物质的被处理气体G1也容易在准分子灯10的附近流通。由此，通过在遮风部件20(20a)的后段的位置也对该被处理气体G1照射从准分子灯10射出的紫外线L1，能够进一步分解该恶臭·有害物质。
而且，如本实施方式的气体处理装置1那样，通过在X方向上分离地具备多片(在图1所公开的构造中为两片)的遮风部件20，在后段的位置(遮风部件20b的位置)也能够将被处理气体G1引导至准分子灯10的附近。由此，通过使从准分子灯10射出的紫外线L1照射至被处理气体G1，可生成O(1D)、·OH，能够进一步分解被处理气体G1中所含的恶臭·有害物质。
但是，在本实施方式中，遮风部件20的片数并不限定于两片，可以是一片，也可以是三片以上。遮风部件20的片数能够根据准分子灯10的X方向的长度而适当调整。
另外，配置于最靠近进气口5的位置的遮风部件20(在此为遮风部件20a)优选配置于准分子灯10(管体14)的进气口5侧的端部(基底部35a)与准分子灯10(管体14)的X方向的中央部之间。由此，能够确保被处理气体G1与遮风部件20碰撞之后可以在管体14的附近沿X方向流通的长度，能够对更多的被处理气体G1照射从准分子灯10射出的紫外线L1。在第二实施方式以后也相同。
(变形例)
气体处理装置1也可以具备多根准分子灯10(参照图7A、图7B)。图7A是在气体处理装置1具备两根准分子灯10的情况下，仅提取并示意地示出遮风部件20a的附近的立体图。另外，图7B是在气体处理装置1具备四根准分子灯10的情况下，仅提取并示意地示出遮风部件20a的附近的立体图。无论在哪种情况下，遮风部件20a都可以具备与准分子灯10的根数相应的数量的第一开口部21，各准分子灯10以贯通各第一开口部21的方式配置。
根据图7A以及图7B所示的构成，由于气体处理装置1所具备的准分子灯10的根数为多根，因此能够增加在准分子灯10的附近流通的被处理气体G1的流量。由此，能够进一步提高被处理气体G1中所含的恶臭·有害物质的处理能力。
另外，在图7A以及图7B中，仅示出了一个遮风部件20a，但也可以在比遮风部件20a靠排气口7侧还具备另一个遮风部件20(例如遮风部件20b)。在该情况下，也与遮风部件20a相同，各遮风部件20也可以具备与准分子灯10的根数相应的第一开口部21。
[第二实施方式]
关于本发明的气体处理装置的第二实施方式，以与第一实施方式不同之处为中心进行说明。
图8是示意地表示本实施方式的气体处理装置的构造的剖面图。图9是将图8内的区域A2部分放大后的示意性的立体图。另外，在本实施方式以及第三实施方式以后，也与第一实施方式相同，将从进气口5朝向排气口7的方向设为X方向，将与该X方向正交的平面设为YZ平面而进行说明。
另外，在图8中，从避免附图的繁琐的观点出发，与图1不同，关于被处理气体G1流动的方向省略了图示。
本实施方式的气体处理装置1与第一实施方式的气体处理装置1相同，具备壳体3、进气口5、排气口7、准分子灯10、以及遮风部件20。但是，在本实施方式中，遮风部件20的构造与第一实施方式不同。
如图9所示，本实施方式的气体处理装置1具备配置于在X方向上分离的四处位置的遮风部件20(20a、20b、20c、20d)。以下，将遮风部件(20a、20b、20c、20d)统称而使用“遮风部件20”这一记载。
图10A以及图10B是用于说明遮风部件20的形状的附图。更详细地说，图10A是从X方向观察位于靠近进气口5一侧的遮风部件20a时的示意性的俯视图。图10B是从X方向观察位于比遮风部件20a靠后段(排气口7侧)的遮风部件20b时的示意性的俯视图。另外，为了便于说明，在图10A以及图10B中也示出了准分子灯10。
另外，在图9所示的例的情况下，遮风部件20c呈现与图10A相同的形状，遮风部件20d呈现与图10B相同的形状。
如图9、图10A以及图10B所示，遮风部件20构成为，具有在从X方向观察时配置于隔着准分子灯10(管体14)而分离的两处位置的遮挡部23、以及被该两处遮挡部23夹着的空间区域即第一开口部21。如图10A所示，遮风部件20a的两处遮挡部23实质上，在Y方向上分离地配置，在它们之间形成有第一开口部21。另外，如图10B所示，遮风部件20b的两处遮挡部23实质上，在Z方向上分离地配置，在它们之间形成有第一开口部21。
在图9、图10A以及图10B所示的例子中，遮挡部23呈半圆形状。另外，遮挡部23的形状是任意的，可以采用新月形状、长方形状、三角形状等各种形状。
本实施方式中，在从X方向观察时，以遮风部件20a(与“第一遮风部件”对应。)的第一开口部21的一部分与遮风部件20b(与“第二遮风部件”对应。)的遮挡部23重叠的方式配置。关于这一点，参照图10C进行说明。
图10C是用于说明本实施方式的气体处理装置1所具备的遮风部件20a与遮风部件20b的位置关系的附图。更详细地说，图10C是在从进气口5侧观察遮风部件20a时的附图中重叠示出遮风部件20b的附图。
在图10C中，用右上的阴影线表示的遮风部件20a的第一开口部21的一部分的区域21a在X方向上与遮风部件20b的遮挡部23重叠。另外，用右下的阴影线表示的遮风部件的20b的第一开口部21的一部分的区域21b在X方向上与遮风部件20a的遮挡部23重叠。
在本实施方式的气体处理装置1中，也与第一实施方式的气体处理装置1相同，从进气口5导入的被处理气体G1的一部分在与遮风部件20a的遮挡部23碰撞之后，使气流的方向转换为第一开口部21的方向。被处理气体G1之后在第一开口部21内流通并朝向排气口7侧。但是，在遮风部件20a的第一开口部21内通过而原样地沿X方向行进的被处理气体G1的一部分与配置于遮风部件20a的后段的遮风部件20b的遮挡部23碰撞。然后，被处理气体G1在使气流的方向转换为遮风部件20b的第一开口部21的方向之后，在第一开口部21内流通并朝向排气口7侧。
即，由于被处理气体G1在第一开口部21内流通的前后位于准分子灯10的附近，因此以较高的比例照射准分子灯10的紫外线L1，因而可提高显示高反应性的O(1D)、·OH的生成概率。另外，在本实施方式的气体处理装置1中，被处理气体G1在遮风部件20(20a)的第一开口部21内流通之后，被处理气体G1的可流通区域扩大，被处理气体G1也容易产生由压力差起因的紊流。由于该紊流，被处理气体G1中所含的恶臭·有害物质被完全分解后的气流与恶臭·有害物质的一部分未被分解而残留的气流混合后，朝向排气口7侧流通。由此，即使在遮风部件20(20a)的后段的位置，含有恶臭·有害物质的被处理气体G1也容易在准分子灯10的附近流通，因此通过对该被处理气体G1照射从准分子灯10射出的紫外线L1，能够进一步分解该恶臭·有害物质。
(变形例)
对本实施方式的气体处理装置1的变形例进行说明。
〈1〉在图9的例子中，对气体处理装置1具备配置于沿X方向分离的四处位置的遮风部件20的情况进行了说明。但是，配置遮风部件20的X方向的位置(X坐标)的数量并不限定于四个。例如，可以在X坐标的特定的一处配置有遮风部件20，也可以在分离的两处以上配置有遮风部件20。
〈2〉在图9、图10A、以及图10B的例子中，对在从X方向观察时，各遮风部件20具备配置于隔着准分子灯10(管体14)而分离的两处位置的遮挡部23的情况进行了说明。但是，各遮风部件20所具有的遮挡部23的数量并不限定于两个，也可以是三个以上。另外，关于各遮挡部23分离的方向，也不限定于Y方向、Z方向，只要各遮挡部23隔着准分子灯10而配置，则是任意的。
〈3〉参照图9、图10A、以及图10B，如上述那样，在沿X方向分离的多个位置配置遮风部件20的情况下，优选在从X方向观察时，以遮风部件20a的第一开口部21的一部分与遮风部件20b的遮挡部23重叠的方式配置。但是，本发明并不排除各遮风部件20的第一开口部21彼此以在X方向上完全重叠的方式配置的构成。
[第三实施方式]
对本发明的气体处理装置的第三实施方式进行说明。
(构造)
图11是示意地表示本实施方式的气体处理装置的构造的剖面图。气体处理装置1具备壳体3、进气口5、准分子灯10、排气口7、以及多片遮风部件20(20a、20b、20c、20d、20e)。另外，以下，将从进气口5朝向排气口7的方向规定为X方向，将与该X方向正交的平面规定为YZ平面。在图11中，将X、Y以及Z这三个方向与气体处理装置1一同示出。在此，示出了X、Y以及Z的三个方向为右手系的坐标系的情况。
使用上述坐标系进行说明，图11与以XY平面剖切气体处理装置1时的剖面图对应。
在图11中，用双点划线示意地表示气体的流动，用虚线示意地表示光的流动。在本实施方式中，流路方向与+X方向对应。另外，“第一方向”与+X方向以及-X方向对应。以下，在无需区分方向的正负的情况下，不进行正负的标记。
另外，关于壳体3的形状，在图11中，图示为与图1以及图8所示的壳体3的形状不同。但是，在本实施方式中，也可以采用图1以及图8所示的形状的壳体3。相反，在第一实施方式以及第二实施方式中，也可以采用图11所示的形状的壳体3。
进气口5是用于从气体处理装置1的外侧向壳体3的内部导入被处理气体G1的开口部。被处理气体G1是含有氧以及水分的气体，例如是空气、废气等。
在图11所示的气体处理装置1中，在进气口5具备作为送风机构的风扇6。送风机构可以由与风扇6不同的装置构成，可以配置于排气口7侧，也可以配置于进气口5与排气口7之间的流路上。而且，在能够从气体处理装置1的外侧经由进气口5朝向壳体3的内部导入充足的流量的被处理气体G1的环境下，也可以不具备送风机构(风扇6)。
另外，在上述第一实施方式以及第二实施方式中，也可以在进气口5侧或排气口7侧具备送风机构(风扇6)。
在本实施方式中，气体处理装置1具备在X方向上分离地配置的多片遮风部件20。在图11所示的例子中，气体处理装置1具备五片遮风部件(20a、20b、20c、20d、20e)。以下，将遮风部件(20a、20b、20c、20d、20e)统称而使用“遮风部件20”这一记载。
图12A以及图12B是在从X方向观察遮风部件20时的示意性的俯视图。图12A与遮风部件(20a、20c、20e)的示意性的俯视图对应，图12B与遮风部件(20b、20d)的示意性的俯视图对应。另外，在图12A以及图12B中，也示出了壳体3的一部分。
如图12A以及图12B所示，遮风部件20具备第一开口部21、第二开口部22、以及遮挡部23。遮挡部23例如由相对于臭氧(O3)、紫外线不易恶化的不锈钢、钛构成。即，遮风部件20构成为，具备在中央附近开口有第一开口部21的遮挡部23。
在遮挡部23上，在比第一开口部21靠外侧的位置，分散设置有多个第二开口部22。在本实施方式中，第二开口部22以等间隔分散配置成同心圆状。
第一开口部21以及第二开口部22以在遮风部件20的进深方向(图12A以及图12B中的X方向)上贯通遮风部件20的方式开口。
遮风部件20例如通过螺纹紧固等方法固定于壳体3。遮风部件20以在与壳体3之间实质上未形成有间隙的方式固定。
在本实施方式中，准分子灯10呈现以X方向为长度方向的长条形状。准分子灯10以沿着X方向贯通第一开口部21的方式配置。准分子灯10以在X方向上贯通分离地配置的多片遮风部件20的第一开口部21的方式配置。
第一开口部21的内径比准分子灯10的外径大。即，在准分子灯10与遮挡部23之间依然形成有开口区域(第一开口部21)。
如图12A以及图12B所示，在本实施方式中，在遮风部件(20a、20c、20e)与遮风部件(20b、20d)中，遮风部件20的面上的第二开口部22的形成位置不同。另外，在此所说的“遮风部件20的面”，如图12A以及图12B所示，是指YZ平面。
具体而言，在图12A以及图12B所示例子中，设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22配置于比设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22靠近准分子灯10的位置。即，设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22与第一开口部21的分离距离d1比设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22与第一开口部21的分离距离d2短。
即，在从进气口5的一侧沿X方向观察时，多片遮风部件20所具备的第一开口部21分别重叠，另一方面，多片遮风部件20所具备的第二开口部22形成于其一部分错开的位置。根据图11的例子，配置在设于最靠近进气口5的位置的遮风部件20a的第二开口部22在X方向上，与设于邻接的遮风部件20b的遮挡部23重叠。同样，设于遮风部件20b的第二开口部22在X方向上，与设于邻接的遮风部件20c的遮挡部23重叠。
图12C是用于说明设于各遮风部件20的第二开口部22的位置的示意性的附图。配置于靠近第一开口部21的位置(分离距离d1)的第二开口部22设于遮风部件(20a、20c、20e)，配置于远离第一开口部21的位置(分离距离d2)的第二开口部22设于遮风部件(20b、20d)。
从进气口5导入壳体3内的被处理气体G1朝向排气口7流动。该被处理气体G1当到达配置于最靠近进气口5的位置的遮风部件20a的位置时，一边与遮挡部23碰撞，一边经由第一开口部21以及第二开口部22向排气口7的方向流动。
如上述那样，多片遮风部件20所具备的第一开口部21分别在X方向上重叠。因此，通过第一开口部21而通过了遮风部件20a的被处理气体G1一边沿准分子灯10的长度方向即X方向在准分子灯10的附近行进，一边通过各遮风部件(20b、20c、20d、20e)的第一开口部21而被向排气口7引导。
另一方面，通过第二开口部22而通过遮风部件20a并沿X方向行进的被处理气体G1与邻接的遮风部件20b的遮挡部23碰撞。与遮风部件20b的遮挡部23碰撞后的被处理气体G1大部分向遮风部件20b的形成有第二开口部22的一侧变更流向。另外，关于通过第一开口部21而通过了遮风部件20a的被处理气体G1，其一部分也向第二开口部22侧变更行进方向。其结果，在遮风部件20a与遮风部件20b之间夹着的区域内，被处理气体G1暂时地滞留。
在图11所示的构成中，由于邻接的遮风部件20彼此使第二开口部22的配置位置不同，因此根据相同的原理，在被邻接的两个遮风部件20夹着的区域内，被处理气体G1暂时地滞留。关于该效果之后进行叙述。
作为一个例子，准分子灯10的X方向(长度方向)的长度(发光长)为80mm，YZ平面上的外径的长度(直径)为16mm。另外，准分子灯10的外缘部与遮风部件20的间隔优选为1mm以上且20mm以下，更优选为1mm以上且15mm以下，进一步优选为1mm以上且10mm以下。
设于遮风部件20的第二开口部22的一个面积优选为3mm2以上，更优选为13mm2以上。若第二开口部22的一个面积过小，则气体(G1、G2)难以充分地流通。准分子灯10的外缘部与遮风部件20的间隔的截面面积(S1)与第二开口部的总面积(ΣS2)的关系优选为S1≥ΣS2，更优选为S1≥2×ΣS2。另外，遮风部件20的厚度、即X方向的长度是任意的，例如为2mm。
壳体3的形状是任意的。作为一个例子，能够使XY方向的截面为矩形状，能够使YZ方向的截面为矩形状或圆形状。壳体3的X方向的长度的一个例子为150mm，YZ方向的截面面积的一个例子为3600mm2。
(作用)
根据本实施方式的气体处理装置1，与以往的装置相比提高了恶臭成分的分解性能，以下对这一点进行说明。
图13是重叠显示填充有含有Xe的放电用气体的准分子灯的发射光谱与氧(O2)以及臭氧(O3)的吸收光谱的图表。在图13中，横轴表示波长，左纵轴表示准分子灯的光强度的相对值，右纵轴表示氧(O2)以及臭氧(O3)的吸收系数。
如图13所示，准分子灯10的射出光包含160nm以上且小于180nm的范围内(以下，称为“第一波段λ1”)的成分。如图13所示，该第一波段λ1的光基于氧(O2)的吸收量大。因此，第一波段λ1的光的大部分被经由第一开口部21在准分子灯10的附近流通的被处理气体G1吸收。此时，在第一实施方式中，通过上述(1)～(3)式，生成反应性高的O(1D)、羟基自由基(·OH)。慎重起见，再次示出。
O2+hν(λ1)→O(1D)+O(3P)‥‥(1)
O(3P)+O2→O3‥‥(2)
O(1D)+H2O→·OH+·OH‥‥(3)
另一方面，如图13所示，准分子灯10的射出光不仅包含第一波段λ1的成分，还包含180nm以上且小于200nm的范围内(以下，称为“第二波段λ2”)的成分。该第二波段λ2的光与第一波段λ1的光相比强度降低，但存在相对于与主要的峰值波长对应的强度(峰值)显示5％以上且50％以下的强度的波长区域。若以积分强度换算，则第二波段λ2的光相对于第一波段λ1的光具有10％以上30％以下的强度。
第二波段λ2的光与第一波段λ1的光相比，基于氧(O2)的吸收量明显较低(在图13中，右纵轴由对数刻度标记。)。即，从准分子灯10射出的第二波段λ2的光的至少一部分透过在第一开口部21内流通的被处理气体G1，并向远离了准分子灯10的区域行进。
如上述那样，根据本实施方式的气体处理装置1，由于在X方向上分离地设有多片遮风部件20，且邻接的遮风部件20所具备的第二开口部22的YZ平面上的配置位置错开，因此在被邻接的遮风部件20彼此夹着的区域内，被处理气体G1暂时地滞留。在该滞留的被处理气体G1中，含有执行上述(1)～(3)式所示的反应而得的气体，因此含有臭氧(O3)。对于该被处理气体G1，当第二波段λ2的光被吸收时，进行以下的(4)式所示的反应。
O3+hν(λ2)→O2+O(1D)‥‥(4)
其结果，即使在远离了准分子灯10的位置也生成反应性高的O(1D)。该O(1D)的一部分按照上述(3)式，生成反应性高的羟基自由基(·OH)。
根据本实施方式的气体处理装置1，在准分子灯10的附近按照上述(1)式生成反应性高的O(1D)，并且在远离了准分子灯10的位置也按照上述(4)式生成反应性高的O(1D)。然后，这些O(1D)按照(3)式，生成反应性高的羟基自由基(·OH)。即，根据本实施方式的气体处理装置1，能够从被处理气体G1有效地生成比臭氧(O3)的反应性高的O(1D)以及·OH。由此，即使在被处理气体G1内含有难以由臭氧分解的物质(例如甲醛等)的情况下，也能够通过O(1D)以及·OH高效地分解。
另外，在低压水银灯中，射出在185nm附近与254nm附近具有半峰宽的极短的峰值波长的光。若来自低压水银灯的185nm附近的射出光照射至含有氧的被处理气体G1，则按照以下的(5)式生成基态的O原子O(3P)。
O2+hν(185nm)→O(3P)+O(3P)‥‥(5)
该O(3P)与被处理气体G1中所含的氧(O2)反应，由上述(2)式生成臭氧(O3)。
另外，若来自低压水银灯的254nm附近的射出光照射至含有臭氧(O3)的被处理气体G1，则按照以下的(6)式(这与上述(4)式的意思相同。)，生成激发态的O原子O(1D)。
O3+hν(254nm)→O2+O(1D)···(6)
使用了以往的低压水银灯的气体处理装置意图使上述(5)式以及(2)式的反应发生而生成臭氧(O3)，并通过该臭氧(O3)使被处理气体G1中所含的恶臭成分分解。因此，为如下构成：被处理气体G1在经过上述(5)式以及(2)式的反应而被转换为含有臭氧(O3)的气体之后，被向排气口引导。因此，用于生成O(1D)的(6)式的反应不会充分地发生。其结果，与本实施方式的气体处理装置1相比，反应性高的O(1D)以及·OH的生成速度降低。
而且，在以往的使用了低压水银灯的气体处理装置中，即使假设(6)式的反应进行了某种程度，但在将来自低压水银灯的射出光照射至被处理气体G1的情况下，未形成有上述(1)式所示的反应。这依然意味着，与本实施方式的气体处理装置1相比，反应性高的O(1D)以及·OH的生成速度降低。即，可知根据使用了低压水银灯的气体处理装置，与本实施方式的气体处理装置1相比，分解性能低。
(变形例)
参照附图对本实施方式的气体处理装置1的变形例进行说明。另外，也能够通过将各变形例彼此组合来实现气体处理装置1。
〈1〉如图14所示，气体处理装置1也可以构成为在进气口5与排气口7之间具备多根在X方向上分离的准分子灯10。
〈2〉如图15所示，气体处理装置1也可以构成为，在进气口5与排气口7之间，具备多根沿与X方向交叉的方向分离的准分子灯10。仿照图12A以及图12B，将该构造的气体处理装置1所具备的遮风部件20的示意性的俯视图示于图16A以及图16B。
在该例子中，气体处理装置1具备长条状的三根准分子灯10。各准分子灯10均以贯通设于各遮风部件20的第一开口部21内的方式配置。即，在各遮风部件20设有三处第一开口部21。
在图16A以及图16B所示的例子中，设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22配置于比设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22靠近准分子灯10的位置。
〈3〉在上述实施方式中，作为在从X方向观察遮风部件20时，使设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22的位置与设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22的位置不同的方法，对使从准分子灯10到第二开口部22的分离距离不同的方法进行了说明。但是，也可以是虽然从准分子灯10到第二开口部22的位置的距离相同，但从X方向观察遮风部件20时，使设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22的位置与设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22的位置不同。仿照图12A以及图12B，将该构造的气体处理装置1所具备的遮风部件20的示意性的俯视图示于图17A以及图17B。
在图17A以及图17B所示的例子中，虽然设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22与设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22与准分子灯10的分离距离相同，但形成有第二开口部22的位置的YZ平面上的坐标不同。如本实施方式那样，在遮风部件20以圆形构成、且各第二开口部22以等间隔分散配置成同心圆状的情况下，通过使图17A所示的遮风部件20(20a、20c、20e)在YZ平面上旋转，形成图17B所示的遮风部件(20b、20d)。
图17C是用于说明设于图17A以及图17B所示的遮风部件20的第二开口部22的位置的示意性的附图。示出了虽然设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22与设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22与准分子灯10的分离距离均相同，但遮风部件20上的形成位置不同。
另外，在这种情况下，如图18所示那样，设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22与设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22也可以在X方向上，在一部分具有重叠。对于具有重叠的部分，被处理气体G1具有相对较快的流速而沿着X方向流通，但经由跟前的遮风部件20的第二开口部22流入的被处理气体G1的一部分与邻接的遮风部件20的遮挡部23碰撞。因此，与上述实施方式相同，发挥使被处理气体G1在被邻接的遮风部件20彼此夹着的区域内滞留的功能。
另外，在从X方向观察时，邻接的遮风部件20的第二开口部22彼此重叠区域优选小于第二开口部22的面积的50％。即，优选在从X方向观察时，一个遮风部件20的第二开口部22的50％以上的面积与邻接的遮风部件20的遮挡部23重叠。
在从X方向观察遮风部件20时，即使在使设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22的位置与设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22的位置不同的情况下，这些设于遮风部件20的第二开口部22的形成位置也可以在X方向上在一部分具有重叠。
〈4〉多个第二开口部22在遮风部件20的面上分散配置即可，也可以不一定配置成同心圆状。另外，各第二开口部22在相同的遮风部件20上、或多个遮风部件20间，也可以不一定是相同的形状、大小。
[第四实施方式]
关于本发明的气体处理装置的第四实施方式，仅对与上述各实施方式不同之处进行说明。
图19A是示意地表示本实施方式的气体处理装置1的构造的剖面图，是仿照图11进行图示的附图。即，图19A与以XY平面剖切本实施方式的气体处理装置1时的剖面图对应。图19B是示意地示出以与图19A不同的方向(XZ平面)剖切图19A所示的气体处理装置1的一部分时的剖面图。
本实施方式中的气体处理装置1与第三实施方式相比，准分子灯10的长度方向的朝向不同。在图19A以及图19B所示的例子中，气体处理装置1具备多根以长度方向为Z方向的准分子灯10，并且各准分子灯10在X方向上分离地配置。
与第三实施方式相同，在本实施方式中，气体处理装置1也具备在X方向上分离地配置的多片遮风部件20。在图19A以及图19B所示的例子中，气体处理装置1具备五片遮风部件(20a、20b、20c、20d、20e)。
图20A以及图20B是从X方向观察遮风部件20时的示意性的俯视图，是仿照图12A以及图12B进行图示的附图。图20A与遮风部件(20a、20c、20e)的示意性的俯视图对应，图20B与遮风部件(20b、20d)的示意性的俯视图对应。
如图20A以及图20B所示，遮风部件20与第三实施方式的构成相同，具备在中央附近开口有第一开口部21的遮挡部23，在该遮挡部23上，在比第一开口部21靠外侧的位置分散设置有多个第二开口部22。另外，在图20A以及图20B所示的例子中，遮风部件20在与YZ平面平行的方向上，具有矩形状的平面。
在本实施方式中，在从X方向(即，准分子灯10的非长度方向)观察时，准分子灯10以贯通第一开口部21的方式配置(参照图19B、图20A、图20B)。而且，在YZ平面上，第一开口部21以覆盖准分子灯10的方式形成。即，在YZ平面上，在准分子灯10与遮挡部23之间依然形成有开口区域(第一开口部21)。
而且，在本实施方式中，在遮风部件(20a、20c、20e)与遮风部件(20b、20d)中，第二开口部22的形成部位也不同。即，在图20A以及图20B所示的例子中，设于遮风部件(20a、20c、20e)的第二开口部22配置于比设于遮风部件(20b、20d)的第二开口部22靠近准分子灯10的位置。即，当从进气口5的一侧沿X方向观察时，多片遮风部件20所具备的第一开口部21分别重叠，另一方面，多片遮风部件20所具备的第二开口部22形成于其一部分错开的位置。
在本实施方式的气体处理装置1中，由于能够使被处理气体G1暂时地滞留在被邻接的遮风部件20彼此夹着的区域内，因此能够有效地生成反应性较高的O(1D)以及·OH。
在本实施方式的情况下，与第三实施方式不同，准分子灯10的长度方向是与被处理气体G1流动的方向交叉的方向。在该情况下，为了对滞留在被邻接的遮风部件20彼此夹着的区域内的被处理气体G1照射足够的光量的紫外线L1，需要在未被遮风部件20包围的区域也配置准分子灯10。由于这样的情况，在图19A以及图19B所示的例子中，在X方向上，在未配置有遮风部件20的位置上也配置有准分子灯10。
然而，例如，在能够充分地确保在X方向上准分子灯10从遮风部件20突出的部分的长度那样的情况下等，也可以在X方向上仅在配置有遮风部件20的位置配置准分子灯10。
(变形例)
对本实施方式的气体处理装置1的变形例进行说明。另外，能够通过将各变形例彼此组合来实现气体处理装置1。
〈1〉如图21中作为一个例子示出的那样，也可以使多根准分子灯10的Z方向的配置位置不同。此时，设于遮风部件20的第一开口部21的Z方向的位置也对应于准分子灯10的位置而不同。
图22A是从X方向观察遮风部件20a时的示意性的俯视图，图22B是同样地从X方向观察遮风部件20b时的示意性的俯视图。通过使多根准分子灯10的Z方向的配置位置不同，能够提高使被处理气体G1滞留在被邻接的遮风部件20彼此夹着区域内的效果。
同样，也可以使多根准分子灯10的Y方向的配置位置不同。此时，设于遮风部件20的第一开口部21的Y方向的位置也对应于分子灯10的位置而不同。
〈2〉在上述实施方式中，对准分子灯10的长度方向为Z方向的情况进行了说明，但并不限定于Z方向，也可以是与被处理气体G1流动的方向(X方向)交叉的方向。
[实施例]
根据本发明的气体处理装置1，与以往构成相比提高了处理能力，参照实施例对这一点进行说明。
〈验证1〉
通过模拟对第一实施方式的气体处理装置1(实施例1-1)、第二实施方式的气体处理装置1(实施例1-2)、第三实施方式的气体处理装置1(实施例1-3)以及从气体处理装置1卸下了遮风部件20的装置(比较例1-1)的处理对象物质的分辨率力进行了评价。
另外，在实施例1-1、实施例1-2、实施例1-3、以及比较例1-1的各气体处理装置中，壳体3、准分子灯10的尺寸设为相同。详细的条件如下所述。
(壳体3)
·壳体3的进气口5侧的YZ平面的截面面积：7854mm2
·壳体3的排气口7侧的YZ平面的截面面积：7854mm2
·壳体3的X方向的长度：485mm
(准分子灯10)
·准分子灯10的X方向的长度：185mm(包含基底部35在内)，115mm(除去基底部35以外的管体14)
·准分子灯10的YZ平面上的外径的长度(直径)：16mm
·准分子灯10的进气口5侧的端部与壳体3的进气口5的分离距离：500mm
·准分子灯10的排气口7侧的端部与壳体3的排气口7的分离距离：500mm
·填充于准分子灯10的管体14内的放电用气体：Xe
另外，各实施例的气体处理装置1所具备的遮风部件20的条件如下所述。
(实施例1-1)
·在X方向上分离地配置的遮风部件20的片数：两片(20a、20b)
·遮风部件20的YZ平面上的尺寸：半径48mm的圆形状
·遮风部件20的X方向的长度(厚度)：2mm
·遮风部件20的遮挡部23与准分子灯10的分离距离：最大值5mm、最小值3mm
·在X方向上，准分子灯10的进气口5侧的端部与进气口5侧的遮风部件20a的分离距离：50mm
·在X方向上，进气口5侧的遮风部件20a与排气口7侧的遮风部件20b的分离距离：145mm
·在X方向上，排气口7侧的遮风部件20b与准分子灯10的排气口7侧的端部的分离距离：100mm
另外，遮风部件20a与遮风部件20b配置为，当在YZ平面上使一方旋转90°时，成为与另一方相同的形状。
(实施例1-2)
·在X方向上分离地配置的遮风部件20的片数：四片(20a、20b、20c、20d)
·各遮风部件20所具有的遮挡部23的数量：两片
·遮风部件20的YZ平面上的尺寸：当将遮挡部23与第一开口部21合在一起时，成为半径为80mm的圆形状(参照图10A)
·遮挡部23的X方向的长度(厚度)：2mm
·各遮风部件20所具有的遮挡部23彼此的分离距离(参照图10A)：26mm
·各遮风部件20所具有的遮挡部23与准分子灯10的分离距离：5mm
·在X方向上，准分子灯10的进气口5侧的端部与进气口5侧的遮风部件20a的分离距离：100mm
·在X方向上，遮风部件20a与遮风部件20b的分离距离：34mm
·在X方向上，遮风部件20b与遮风部件20c的分离距离：34mm
·在X方向上，遮风部件20c与遮风部件20d的分离距离：34mm
·在X方向上，排气口7侧的遮风部件20d与准分子灯10的排气口7侧的端部的分离距离：100mm
遮风部件20a与遮风部件20b配置为，当在YZ平面上使一方旋转90°时，成为与另一方相同的形状。遮风部件20c与遮风部件20d配置为，当在YZ平面上使一方旋转90°时，成为与另一方相同的形状。遮风部件20a与遮风部件20c、以及遮风部件20b与遮风部件20d在从X方向观察时，分别为相同的形状。
(实施例1-3)
·在X方向上分离地配置的遮风部件20的片数：三片(20a、20b、20c)
·遮风部件20的YZ平面上的尺寸：半径70mm的圆形状(参照图12A)
·遮风部件20的X方向的长度(厚度)：2mm
·遮风部件20的遮挡部23与准分子灯10的分离距离：10mm
·遮风部件20所具有的第二开口部22：以面积50mm2呈放射状地形成六处
·在X方向上，准分子灯10的进气口5侧的端部与进气口5侧的遮风部件20a的分离距离：100mm
·在X方向上，进气口5侧的遮风部件20a与排气口7侧的遮风部件20b的分离距离：35mm
·在X方向上，遮风部件20b与遮风部件20c的分离距离：35mm
·在X方向上，排气口7侧的遮风部件20c与准分子灯10的排气口7侧的端部的分离距离：150mm
遮风部件20a与遮风部件20b配置为，当在YZ平面上使一方旋转30°时，成为与另一方相同的形状。遮风部件20b与遮风部件20c配置为，当在YZ平面上使一方旋转30°时，成为与另一方相同的形状。
(比较例1-1)
除去不具备遮风部件20这一点以外，采用了与各实施例1-1～1-3的气体处理装置1相同的条件。
(结果)
对于实施例1-1～1-3、以及比较例1-1的各气体处理装置，一边以相同的照度点亮准分子灯10，一边以100LPM(L/分)的流量从进气口5向壳体3内导入含有1ppm的HCHO的被处理气体G1。然后，对从排气口7侧取出的处理完毕的气体G2中所含的HCHO的浓度进行了评价。将评价结果示于下述表1。
[表1]
Figure GDA0003069411550000331
根据表1可确认，在所有实施例中，与比较例1-1相比，HCHO的处理能力提高。根据该结果可推测，根据设有遮风部件20的气体处理装置1，由于被处理气体G1容易在准分子灯10的附近流通，因此与不具有遮风部件20的情况相比，能够对更多的被处理气体G1照射紫外线L1。
另外，根据表1，示出了与实施例1-2、1-3相比，实施例1-1的处理能力最高。推测这是因为与第二实施方式、第三实施方式的构造相比，第一实施方式的构造最容易产生被处理气体G1的紊流。在第一实施方式的项中，如上述那样，在遮风部件20的后段的位置产生了大量的紊流，其结果，被处理气体G1中所含的恶臭·有害物质(在此为HCHO)被完全分解后的气流与恶臭·有害物质的一部分未被分解而残留的气流混合。由此，即使在遮风部件20的后段的位置，含有恶臭·有害物质的被处理气体G1也容易在准分子灯10的附近流通，因此推测通过照射从准分子灯10射出的紫外线L1，恶臭·有害物质的分辨率力(处理能力)进一步提高。
〈验证2〉
使用下述的实验单元，实际进行了实验。实验单元如以下的表2所示。
[表2]
Figure GDA0003069411550000341
(实施例2-1)
《步骤S1》在开设有
Figure GDA0003069411550000342
的孔的、容积110升的实验用容器中，设置了模拟气体处理装置1的实验单元#1、VOC监视器(理研计器(株)制，商品名“Tiger”，11.7eV灯类型)以及搅拌用的风扇。以能够通过VOC监视器检测从实验单元#1的排气口7排出的气体的方式进行了配置。另外，实验单元#1使用了第三实施方式的气体处理装置1。
《步骤S2》将在
Figure GDA0003069411550000343
玻璃培养皿中滴下100微升甲醛液(和光纯药工业(株)制，原厂货号064-00406，试剂特级)而得的溶液放入所述实验用容器，并使搅拌用的风扇转动。此时，在实验用容器上开设的
Figure GDA0003069411550000351
的孔为用铝带封闭的状态。
《步骤S3》在VOC监视器达到4ppm左右时，停止搅拌用的风扇，并从实验用容器取出了培养皿。
《步骤S4》关闭实验用容器，起动搅拌用的风扇，取下封闭
Figure GDA0003069411550000352
的孔的铝带，用实验用容器外的空气稀释实验用容器内的气体直到达到3ppm。
《步骤S5》用铝带封闭孔，停止搅拌用的风扇，起动了实验单元。
《步骤S6》设起动实验单元的时间为0秒，按每30秒记录了VOC监视器的指示值。
(实施例2-2、比较例2-1～2-3)
将实验单元#1替换为实验单元#2～#5，与实施例1同样地执行上述各步骤S1～S6，并记录了VOC监视器的指示值。另外，作为实施例2-2、比较例2-2、以及比较例2-3的各单元所具备的遮风部件，与实施例2-1相同，使用了具有第二开口部22的遮风部件20(参照图12A)。
(参考例)
除了不将实验单元放入实验用容器以外，与实施例1相同，并记录了VOC监视器的指示值。由于甲醛(以下，记载为“HCHO”)随着时间的经过而自然地分解，因此以通过检测其分解速度来设定比较基准的意图，取得了该参考例的数据。
(结果)
图23是表示由上述的方法记录的指示值的比较结果的图表。在图23中，横轴表示运转时间，纵轴表示VOC监视器的指示值。根据图23可知，实施例2-1～2-2、比较例2-1～2-3与参考例相比，HCHO的分解速度均更快，具有分解效果。
作为光源而使用了Xe准分子灯的实施例2-1、2-2以及比较例2-1与作为光源而使用了低压水银灯的比较例2-2、2-3相比，可知HCHO的分解速度产生了较大的差异。通过该结果，示出了通过使用Xe准分子灯，能够实现HCHO的较高的分解性能。
对实施例2-2与比较例2-1进行比较，可知设有遮风部件20的实施例2-2更能够实现HCHO的较高的分解性能。而且，对实施例2-2与实施例2-1进行比较，可知在实施例2-1中，与实施例2-2相比HCHO的分解性能显著提高。
另外，对比较例2-2与比较例2-3进行比较，两者在遮风部件20的开口部(与第二开口部22对应)的位置错开的有无这一点上不同，但该不同几乎不影响HCHO的分解性能。另一方面，对实施例2-1与实施例2-2进行比较，如上述那样，在实施例2-1中，与实施例2-2相比HCHO的分解性能显著提高。根据该结果也可得出如下结论：在作为光源而使用了Xe准分子灯的情况下，通过在使第二开口部22的位置错开的状态下设有多片遮风部件20的实施例2-1的构成，基于上述原理，能够有效地生成比臭氧(O3)的反应性高的O(1D)以及·OH。
[其它实施方式]
以下，对其它实施方式进行说明。
〈1〉在上述实施方式中，对在准分子灯10中，具备发光管13为所谓的“单重管构造”的管体14的构成的情况进行了说明。如图24所示，该准分子灯10构成为，在管体14的内侧配设第二电极(内部电极)12，并且填充有放电用气体10G(例如Xe)，在管体14的外侧的壁面配设第一电极(外部电极)11。在该情况下，如上述那样，内部电极12呈沿着X方向延伸的形状(筒形状)，外部电极11呈网格形状(网眼形状)或线形状，以便不阻碍在管体14内产生的紫外线L1向管体14的外侧射出。
但是，本发明的气体处理装置1所具备的准分子灯10并不限定于上述的具备单重管构造的管体14的情况，也可以具备所谓的“双重管构造”、“扁平管构造”的管体14。
图25是仿照图24示意地示出呈所谓的“双重管构造”的准分子灯10的构造的附图。图25所示的准分子灯10具有两个管体14(14a、14b)。具有：圆筒状的外侧的管体14a；以及圆筒状的管体14b，在管体14a的内侧配置于与管体14a相同的轴上，且内径比管体14a小。管体14a与管体14b在X方向的端部被密封(未图示)，在两者之间构成圆环状的发光空间，在该空间内填充放电用气体10G。而且，在内侧的管体14b的内壁面配设第二电极(内部电极)12，在外侧的管体14a的外壁面配设第一电极(外部电极)11。内部电极12呈膜形状，外部电极11呈网格形状(网眼形状)或线形状，以便不阻碍在管体14内产生的紫外线L1向管体14的外侧射出。
图26是仿照图24示意地示出呈所谓的“扁平管构造”的准分子灯10的构造的附图。图26所示的准分子灯10具有在X方向观察时呈矩形状的管体14。而且，准分子灯10具有配置于管体14的外表面的第一电极11、以及配置于管体14的外表面且与第一电极11对置的位置的第二电极12。第一电极11以及第二电极12均呈网格形状(网眼形状)或线形状，以便不阻碍在管体14内产生的紫外线L1向管体14的外侧射出。
在图24以及图25中，示出了准分子灯10的YZ平面上的截面的形状为圆形的情况，在图26中示出了所述截面的形状为长方形状的情况。但是，准分子灯10的YZ平面上的截面的形状并不限定于圆形、长方形，可以采用各种形状。
〈3〉进气口5与排气口7只要在X方向上分离即可，在该限制内，能够设于任意的位置。
〈4〉在上述的各实施方式中，对遮风部件20具有与和流路方向(X方向)正交的平面(YZ平面)平行的面的情况进行了说明。但是，遮风部件20只要配置为具有与至少和X方向交叉的面平行的面即可。
〈5〉气体处理装置1所具备的准分子灯10的根数以及遮风部件20的片数并不限定于上述实施方式所列举的数量。
〈6〉在上述第三实施方式以及第四实施方式中，对在邻接的一对遮风部件20的全部中，第二开口部22的位置在YZ平面上错开的情况进行了说明。但是，只要至少邻接的特定的一对遮风部件20的第二开口部22的位置在YZ平面上错开即可。即，设置在配置于最靠近进气口5的位置的遮风部件20a的第二开口部22只要在X方向上配置于与设于至少任一个遮风部件20的遮挡部23至少重叠一部分的位置即可。
附图标记说明
1：气体处理装置
3：壳体
5：进气口
6：风扇
7：排气口
10：准分子灯
10G：放电用气体
11：外部电极(第一电极)
12：内部电极(第二电极)
13：发光管
14：管体
14a、14b：管体
15：第一密封部
16：第二密封部
17：金属箔
18：外部引线
19：光路部
20：遮风部件
20a、20b、20c、20d、20e：遮风部件
21：第一开口部
22：第二开口部
23：遮挡部
35(35a、35b)：基底部
G1：被处理气体
G2：处理后的气体
L1：来自准分子灯的射出光(紫外线)

Claims (15)

1.一种气体处理装置，其特征在于，具备：
筒状的壳体；
进气口，将含有氧以及水分的被处理气体向所述壳体的内侧导入；
准分子灯，收容于所述壳体的内侧，并填充有放电用气体，包括沿着第一方向延伸的管体；
排气口，将被照射了从所述准分子灯射出的紫外线的所述被处理气体向所述壳体的外侧导出；以及
遮风部件，在从所述第一方向观察时，以包围所述管体的方式、或者以夹着所述管体的方式配置，
所述准分子灯构成为，射出包含160nm以上且小于180nm的范围内所含的第一波段的成分的所述紫外线，
所述遮风部件至少配置于所述管体的所述第一方向的端部中的靠近所述进气口的一侧的端部与所述管体的所述第一方向的中央部之间的位置，
所述遮风部件具有第一开口部和遮挡部，该第一开口部在从所述第一方向观察时以覆盖所述管体的方式开口，该遮挡部是比所述第一开口部靠外侧的区域，且未设有开口，
位于所述第一开口部的内侧的所述管体与所述遮挡部的所述第一开口部侧的内缘的分离距离为1mm以上且10mm以下，
所述遮风部件在所述第一方向上分离地配置有两个以上，
在所述第一方向上邻接的两个所述遮风部件中的位于靠近所述进气口的一侧的第一遮风部件所具备的所述第一开口部的至少一部分、以及所述两个所述遮风部件中的位于靠近所述排气口的一侧的第二遮风部件所具备的所述遮挡部，在从所述第一方向观察时相互重叠，
所述第一开口部具有非旋转对称性的形状，
当使所述第一遮风部件旋转规定的角度时，所述第一遮风部件所具备的所述遮挡部的所述第一开口部侧的内缘与所述第二遮风部件所具备的所述遮挡部的所述第一开口部侧的内缘在从所述第一方向观察时重叠。
2.如权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，
所述第一开口部为椭圆形状或长方形状。
3.一种气体处理装置，其特征在于，具备：
筒状的壳体；
进气口，将含有氧以及水分的被处理气体向所述壳体的内侧导入；
准分子灯，收容于所述壳体的内侧，并填充有放电用气体，包括沿着第一方向延伸的管体；
排气口，将被照射了从所述准分子灯射出的紫外线的所述被处理气体向所述壳体的外侧导出；以及
遮风部件，在从所述第一方向观察时，以包围所述管体的方式、或者以夹着所述管体的方式配置，
所述准分子灯构成为，射出包含160nm以上且小于180nm的范围内所含的第一波段的成分的所述紫外线，
所述遮风部件至少配置于所述管体的所述第一方向的端部中的靠近所述进气口的一侧的端部与所述管体的所述第一方向的中央部之间的位置，
所述遮风部件具有：
遮挡部，在从所述第一方向观察时，配置于隔着所述管体分离的两处以上的位置，且未设有开口；以及
第一开口部，是被两处以上的所述遮挡部夹着的空间区域，
位于所述第一开口部内的所述管体与所述遮挡部的所述第一开口部侧的外缘的分离距离为1mm以上且10mm以下。
4.如权利要求3所述的气体处理装置，其特征在于，
所述遮风部件配置于在所述第一方向上分离的两处以上的位置，
在所述第一方向上邻接的两个所述遮风部件中的位于靠近所述进气口的一侧的第一遮风部件所具备的所述第一开口部的至少一部分、以及所述两个所述遮风部件中的位于靠近所述排气口的一侧的第二遮风部件所具备的所述遮挡部，在从所述第一方向观察时相互重叠。
5.如权利要求4所述的气体处理装置，其特征在于，
所述遮风部件所具备的所述遮挡部为半圆形状或长方形形状。
6.一种气体处理装置，其特征在于，具备：
筒状的壳体；
进气口，将含有氧以及水分的被处理气体向所述壳体的内侧导入；
准分子灯，收容于所述壳体的内侧，并填充有放电用气体，包括沿着第一方向延伸的管体；
排气口，将被照射了从所述准分子灯射出的紫外线的所述被处理气体向所述壳体的外侧导出；以及
遮风部件，在从所述第一方向观察时，以包围所述管体的方式、或者以夹着所述管体的方式配置，
所述准分子灯构成为，射出包含160nm以上且小于180nm的范围内所含的第一波段的成分的所述紫外线，
所述遮风部件至少配置于所述管体的所述第一方向的端部中的靠近所述进气口的一侧的端部与所述管体的所述第一方向的中央部之间的位置，
所述遮风部件在所述第一方向上分离地配置有两个以上，
该遮风部件具备：
第一开口部，在从所述第一方向观察时，以覆盖所述管体的方式开口；
遮挡部，是比所述第一开口部靠外侧的区域，且未设有开口；以及
第二开口部，在所述遮挡部的区域内，局部地分散设置有多个开口，
设置在配置于最靠近所述进气口的位置的所述遮风部件的所述第二开口部，配置在相对于所述第一方向与设于至少某一个所述遮风部件的所述遮挡部至少重叠一部分的位置。
7.如权利要求6所述的气体处理装置，其特征在于，
设于所有所述遮风部件的所述第二开口部的每一个，配置在相对于所述第一方向与设于至少某一个所述遮风部件的所述遮挡部至少重叠一部分的位置。
8.如权利要求6所述的气体处理装置，其特征在于，
所述准分子灯，
呈现以所述第一方向为长度方向的长条形状，
以贯通设于多个所述遮风部件的所述第一开口部方式配置。
9.如权利要求8所述的气体处理装置，其特征在于，
所述遮风部件具有与所述第一方向交叉的面，
多个所述第二开口部在所述遮风部件的所述面上配置成同心圆状。
10.如权利要求6所述的气体处理装置，其特征在于，
所述气体处理装置具备在所述第一方向上分离地配置的多个所述准分子灯，该准分子灯呈现以与所述第一方向交叉的方向为长度方向的长条形状，
多个所述准分子灯中的至少两个所述准分子灯配置为，所述长度方向的部分位于设于不同的所述遮风部件的呈现沿着与所述长度方向平行的方向延伸的形状的所述第一开口部内。
11.如权利要求10所述的气体处理装置，其特征在于，
至少两个所述遮风部件为，在与所述长度方向平行的方向上，所述第一开口部的形成位置错开。
12.如权利要求10所述的气体处理装置，其特征在于，
所述准分子灯为，在所述第一方向上，一部分从所述遮风部件突出地配置。
13.如权利要求8至12中任一项所述的气体处理装置，其特征在于，
在位于所述第一开口部内的所述准分子灯与位于所述第一开口部的外侧的所述遮挡部之间设有1mm以上且10mm以下的间隙。
14.如权利要求1至12中任一项所述的气体处理装置，其特征在于，
所述放电用气体含有Xe，
从所述准分子灯射出的所述紫外线包含所述第一波段的成分以及180nm以上且小于200nm的范围内所包含的第二波段的成分。
15.如权利要求1至12中任一项所述的气体处理装置，其特征在于，
所述气体处理装置具备多个所述准分子灯，
所述遮风部件以包围多个所述准分子灯的每一个所具备的所述管体的方式、或者以夹着所述管体的方式配置。
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