CN111095795A - 弹性波滤波器装置以及多工器 - Google Patents

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Abstract

提供一种弹性波滤波器装置，能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层侧，且能够抑制起因于阻带上端的响应。弹性波滤波器装置(1)具备压电体层、高声速构件、设置在高声速构件与压电体层之间的低声速膜、和设置在压电体层上的包含第1、第2IDT电极的多个IDT电极。由高声速构件、低声速膜、压电体层以及多个IDT电极构成了多个弹性波谐振器。串联臂谐振器部之中的配置在最靠天线端(X)侧的串联臂谐振器部(S1)的弹性波谐振器以及配置在最靠天线端(X)侧的并联臂谐振器部(P1)中的弹性波谐振器之中的至少一方具备具有第1、第2电极指的第1IDT电极，剩余的弹性波谐振器具备具有第3、第4电极指的第2IDT电极。在第1IDT电极中，沿着与弹性波传播方向正交的方向，中央区域、第1、第2低声速区域以及第1、第2高声速区域按该顺序配置。通过连结第2IDT电极的多个第3、第4电极指的前端而形成的第1、第2包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。

Description

弹性波滤波器装置以及多工器
技术领域
本发明涉及弹性波滤波器装置以及多工器。
背景技术
以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了弹性波装置的一例。该弹性波装置具有：层叠体，高声速膜、低声速膜和压电膜按该顺序层叠在支承基板上；和IDT电极，设置在压电膜上。具有上述层叠体的弹性波装置虽然能够提高Q值，但却存在产生横模纹波的问题。
在专利文献1中，为了抑制横模纹波，将IDT电极设为倾斜型的IDT电极。所谓倾斜型的IDT电极，是指作为通过连结与一方的汇流条连接的多个电极指的前端而形成的虚拟线的包络线、和作为通过连结与另一方的汇流条连接的多个电极指的前端而形成的虚拟线的包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸的IDT电极。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2015/098756号
发明内容
发明要解决的课题
但是，若如专利文献1记载的那样将IDT电极设为倾斜型的IDT电极，则上述包络线相对于弹性波传播方向倾斜的角度越大，起因于阻带上端的响应(阻带响应)变得越大。另外，所谓阻带，是指弹性波被封闭在周期构造的金属格栅从而弹性波的波长成为固定的区域。特别是，具有上述层叠体的弹性波装置由于能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电膜侧，因此阻带响应也变大，成为问题。
本发明的目的在于，提供一种能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层侧，且能够抑制起因于阻带上端的响应的弹性波滤波器装置以及多工器。
用于解决课题的手段
本发明涉及的弹性波滤波器装置具备：压电体层；高声速构件，所传播的体波(bulk wave)的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为高速；低声速膜，设置在所述高声速构件与所述压电体层之间，所传播的体波的声速与在所述压电体层传播的体波的声速相比为低速；和多个IDT电极，设置在所述压电体层上，包含第1IDT电极以及第2IDT电极，由所述高声速构件、所述低声速膜、所述压电体层以及所述多个IDT电极构成了多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器配置于至少一个串联臂谐振器部和至少一个并联臂谐振器部，所述至少一个串联臂谐振器部配置于将天线端和所述天线端以外的信号端连结的串联臂，所述至少一个并联臂谐振器部配置于将所述串联臂和接地电位连结的并联臂，所述串联臂谐振器部以及所述并联谐振器部分别具有至少一个所述弹性波谐振器，所述串联臂谐振器部之中的配置在最靠所述天线端侧的所述串联臂谐振器部的所述弹性波谐振器以及配置在最靠所述天线端侧的所述并联臂谐振器部中的所述弹性波谐振器之中的至少一方具有所述第1IDT电极，剩余的所述弹性波谐振器具有所述第2IDT电极，所述第1IDT电极具有相互对置的第1汇流条以及第2汇流条、一端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指、和一端与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交替插入的多个第2电极指，所述第1电极指和所述第2电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分为交叉区域，所述交叉区域具有位于与弹性波传播方向正交的方向上的中央侧的中央区域，在所述交叉区域中设置有第1低声速区域和第2低声速区域，所述第1低声速区域配置在所述中央区域的所述第1汇流条侧，且声速与所述中央区域中的声速相比为低速，所述第2低声速区域配置在所述中央区域的所述第2汇流条侧，且声速与所述中央区域中的声速相比为低速，在所述第1IDT电极中设置有声速与所述中央区域中的声速相比为高速的第1高声速区域和第2高声速区域，所述第1高声速区域配置在所述第1低声速区域的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧，所述第2高声速区域配置在所述第2低声速区域的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧，所述第2DT电极具有彼此相互交替插入的多个第3电极指以及多个第4电极指，作为通过连结所述多个第3电极指的前端而形成的虚拟线的第1包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸，作为通过连结所述多个第4电极指的前端而形成的虚拟线的第2包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。
在本发明涉及的弹性波滤波器装置的某个特定的方面中，配置在最靠所述天线端侧的所述串联臂谐振器部的所述弹性波谐振器以及配置在最靠所述天线端侧的所述并联臂谐振器部中的所述弹性波谐振器双方具有所述第1IDT电极。在该情况下，能够更进一步抑制起因于阻带上端的响应。
在本发明涉及的弹性波滤波器装置的另一特定的方面中，所述高声速构件为支承基板。
在本发明涉及的弹性波滤波器装置的再另一特定的方面中，所述高声速构件为高声速膜，还具备支承基板，在所述支承基板与所述低声速膜之间设置有所述高声速膜。
在本发明涉及的弹性波滤波器装置的再另一特定的方面中，是具有多个所述串联臂谐振器部且具有多个所述并联臂谐振器部的梯型滤波器。
本发明涉及的多工器具备：天线端子，与天线连接；按本发明而构成的弹性波滤波器装置，与所述天线端子连接；和至少一个带通型滤波器，与所述弹性波滤波器装置一起公共连接于所述天线端子，且通带与所述弹性波滤波器装置不同。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层侧，且能够抑制起因于阻带上端的响应的、弹性波滤波器装置以及多工器。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波滤波器装置的电路图。
图2是示意性地排列示出本发明的第1实施方式中的配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部以及其他串联臂谐振器部的示意性主视剖视图。
图3是示出本发明的第1实施方式中的配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部的电极构造的示意性俯视图。
图4是示出本发明的第1实施方式中的具有第2IDT电极的串联臂谐振器部的电极构造的示意性俯视图。
图5是示出本发明的第1实施方式中的具有倾斜型的IDT电极的弹性波谐振器的阻抗特性的图。
图6是示出本发明的第1实施方式中的利用活塞模式(piston mode)的弹性波谐振器的阻抗特性的图。
图7是示出本发明的第1实施方式中的、具有倾斜型的IDT电极的弹性波谐振器以及利用活塞模式的弹性波谐振器的回波损耗的图。
图8是示出本发明的第1实施方式中的、电路内的弹性波谐振器的位置与回波损耗的变化量的关系的图。
图9是示出本发明的第1实施方式的变形例中的、配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部以外的串联臂谐振器部的电极构造的简图式俯视图。
图10是示意性地排列示出本发明的第2实施方式中的配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部以及其他串联臂谐振器部的示意性主视剖视图。
图11是本发明的第3实施方式涉及的多工器的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此明确本发明。
另外，预先指出的是，本说明书所记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或者组合。
图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波滤波器装置的电路图。
本实施方式的弹性波滤波器装置1是具有多个串联臂谐振器部以及多个并联臂谐振器部的梯型滤波器。多个串联臂谐振器部以及多个并联臂谐振器部均具备弹性波谐振器。
在将天线端X和天线端X以外的信号端Y连结的串联臂，配置有串联臂谐振器部S1、串联臂谐振器部S2、串联臂谐振器部S3、串联臂谐振器部S4以及串联臂谐振器部S5。配置在最靠天线端X侧的串联臂谐振器部为串联臂谐振器部S1。
多个并联臂谐振器部分别配置在将上述串联臂和接地电位连结的并联臂。更具体地，在串联臂谐振器部S1和串联臂谐振器部S2之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器部P1。在串联臂谐振器部S2和串联臂谐振器部S3之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器部P2。在串联臂谐振器部S3和串联臂谐振器部S4之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器部P3。在串联臂谐振器部S4和串联臂谐振器部S5之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器部P4。配置在最靠天线端X侧的并联臂谐振器部为并联臂谐振器部P1。
串联臂谐振器部S1～S5以及并联臂谐振器部P1～P5分别由一个弹性波谐振器构成。另外，串联臂谐振器部也可以由相互被串联连接的多个弹性波谐振器构成。在串联臂谐振器部由多个弹性波谐振器构成的情况下，该多个弹性波谐振器也可以是被串联分割的弹性波谐振器。此外，并联臂谐振器部也可以由相互被并联连接的多个弹性波谐振器构成。在并联臂谐振器部由多个弹性波谐振器构成的情况下，该多个弹性波谐振器也可以是被并联分割的弹性波谐振器。
在天线端X和串联臂谐振器部S1之间的连接点与接地电位之间，连接有电感器L1。在串联臂谐振器部S5和信号端Y之间的连接点与接地电位之间，连接有电感器L2。电感器L1以及电感器L2为阻抗调整用的电感器。另外，也可以不设置电感器L1以及电感器L2。
以下，对弹性波谐振器的具体结构进行说明。
图2是示意性地排列示出第1实施方式中的配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部以及其他串联臂谐振器部的示意性主视剖视图。
串联臂谐振器部Sl以及串联臂谐振器部S2具有支承基板2。在支承基板2上设置有低声速膜4。在低声速膜4上设置有压电体层5。在此，所谓低声速膜4，是指所传播的体波的声速与在压电体层5传播的体波的声速相比为低速的膜。
在本实施方式中，压电体层5由切割角50°Y的LiTaO3构成。另外，压电体层5的切割角并不限定于上述。压电体层5也可以由LiNbO3等的LiTaO3以外的压电单晶、适当的压电陶瓷构成。
在本实施方式中，低声速膜4由氧化硅构成。更具体地，氧化硅由SiOx表示，低声速膜4由SiO2构成。另外，低声速膜4也可以由x为2以外的数的氧化硅构成。或者，低声速膜4例如也可以由以玻璃、氮氧化硅、氧化钽或者氧化硅中添加了氟、碳、硼的化合物为主成分的材料等构成。低声速膜4的材料只要是相对低声速的材料即可。
在本实施方式中，支承基板2由所传播的体波的声速与在压电体层5传播的弹性波的声速相比为高速的高声速材料构成。更具体地，支承基板2由Si构成。另外，构成支承基板2的高声速材料例如也可以是以氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮氧化硅、DLC膜或者金刚石为主成分的材料等。另外，高声速材料只要是相对高声速的材料即可。
这样，弹性波滤波器装置1具有由高声速构件构成的支承基板2、低声速膜4以及压电体层5按该顺序层叠而成的层叠体6。弹性波滤波器装置1的串联臂谐振器部S1以及串联臂谐振器部S2以外的多个弹性波谐振器也在压电体层5构成。
在压电体层5上，设置有包含第1IDT电极8以及第2IDT电极18的多个IDT电极。若对IDT电极施加交流电压，则激励出弹性波。第1IDT电极8以及第2IDT电极18由在Ti层上层叠有AlCu层的层叠金属膜构成。本实施方式中的上述AlCu层由在A1中包含1质量％的Cu的合金构成。另外，第1IDT电极8以及第2IDT电极18的材料并不限定于上述。第1IDT电极8以及第2IDT电极18也可以由单层的金属膜构成。
如图2所示，串联臂谐振器部S1具有第1IDT电极8。串联臂谐振器部S1具有配置在第1IDT电极8的弹性波传播方向两侧的反射器9A以及反射器9B。虽然详情将在后面叙述，但串联臂谐振器部S1是利用活塞模式的弹性波谐振器。图1所示的配置在最靠天线端X侧的并联臂谐振器部P1也是与串联臂谐振器部S1同样地构成的利用活塞模式的弹性波谐振器。另外，串联臂谐振器部S1以及并联臂谐振器部P1也可以根据所希望的滤波器特性而使设计参数不同。
另一方面，串联臂谐振器部S2具有第2IDT电极18、和配置在第2IDT电极18的弹性波传播方向两侧的反射器19A以及反射器19B。虽然详情将在后面叙述，但第2IDT电极18具有倾斜型的IDT电极。串联臂谐振器部S1以及图1所示的并联臂谐振器部P1以外的多个弹性波谐振器与串联臂谐振器部S2同样地构成。更具体地，串联臂谐振器部S3、串联臂谐振器部S4、串联臂谐振器部S5、并联臂谐振器部P2、并联臂谐振器部P3以及并联臂谐振器部P4也具有第2IDT电极18、反射器19A以及反射器19B。另外，串联臂谐振器部S1以及并联臂谐振器部P1以外的各弹性波谐振器也可以根据所希望的滤波器特性而使设计参数不同。
在本实施方式中，串联臂谐振器部S1以及并联臂谐振器部P1的反射器9A以及反射器9B由与构成第1IDT电极8的材料同样的材料构成。串联臂谐振器部S1以及并联臂谐振器部P1以外的多个弹性波谐振器的反射器19A以及反射器19B由与构成第2IDT电极18的材料同样的材料构成。
如图2所示，在压电体层5上设置有保护膜7，使得覆盖第1IDT电极8、第2IDT电极18、反射器9A、反射器9B、反射器19A以及反射器19B。保护膜7没有特别限定，但在本实施方式中由SiO2构成。
本实施方式的特征在于，具有以下的结构。1)具有上述层叠体6。2)构成图1所示的配置在最靠天线端X侧的串联臂谐振器部S1的弹性波谐振器以及构成图1所示的配置在最靠天线端X侧的并联臂谐振器部P1的弹性波谐振器是利用活塞模式的弹性波谐振器。3)其他弹性波谐振器具有倾斜型的第2IDT电极18。具有由高声速构件构成的支承基板2、低声速膜4以及压电体层5按该顺序层叠而成的层叠体6，由此能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层5侧。而且，串联臂谐振器部S1以及并联臂谐振器部P1是利用活塞模式的弹性波谐振器，且其他弹性波谐振器具有倾斜型的第2IDT电极18，由此能够有效地抑制起因于阻带上端的响应。以下，与第1IDT电极8以及第2IDT电极18的具体结构一起，说明抑制起因于阻带上端的响应的效果的详情。另外，在本说明书中，将起因于阻带上端的响应记载为阻带响应。
图3是示出第1实施方式中的配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部的电极构造的示意性俯视图。
第1IDT电极8具有彼此相互对置的第1汇流条12a以及第2汇流条13a。第1IDT电极8具有一端与第1汇流条12a连接的多个第1电极指12b。进而，第1IDT电极8具有一端与第2汇流条13a连接的多个第2电极指13b。多个第1电极指12b和多个第2电极指13b彼此相互交替插入。
在第1IDT电极8中，第1电极指12b和第2电极指13b在弹性波传播方向上相互重叠的部分为交叉区域A。交叉区域A具有位于与弹性波传播方向正交的方向上的中央侧的中央区域B。
交叉区域A具有配置在中央区域B的第1汇流条12a侧的第1边缘区域C1、和配置在中央区域B的第2汇流条13a侧的第2边缘区域C2。多个第1电极指12b在第1边缘区域C1以及第2边缘区域C2中具有宽度比其他部分宽的宽幅部12c以及宽幅部12d。同样地，多个第2电极指13b在第1边缘区域C1以及第2边缘区域C2中具有宽度比其他部分宽的宽幅部13d以及宽幅部13c。在本实施方式中，第1电极指12b以及第2电极指13b具有宽幅部12c以及宽幅部13d，由此在第1边缘区域C1中设置有声速与中央区域B中的声速相比为低速的第1低声速区域。同样地，第1电极指12b以及第2电极指13b具有宽幅部12d以及宽幅部13c，由此在第2边缘区域C2中设置有声速与中央区域B中的声速相比为低速的第2低声速区域。在此，在将中央区域B中的声速设为V1，将第1低声速区域以及第2低声速区域中的声速设为V2时，V2＜V1。
另外，也可以在第1边缘区域C1以及第2边缘区域C2中，通过在第1电极指12b以及第2电极指13b上设置质量附加膜，由此构成第1低声速区域以及第2低声速区域。也可以通过具有宽幅部12c、宽幅部12d、宽幅部13c以及宽幅部13d，且设置质量附加膜，由此构成第1低声速区域以及第2低声速区域。
第1IDT电极8具有配置在第1边缘区域C1的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧的第1外侧区域D1。进而，第1IDT电极8具有配置在第2边缘区域C2的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧的第2外侧区域D2。在本实施方式中，第1外侧区域D1位于第1边缘区域C1与第1汇流条12a之间。第2外侧区域D2位于第2边缘区域C2与第2汇流条13a之间。
在第1外侧区域D1中，仅设置有第1电极指12b以及第2电极指13b之中的第1电极指12b。在第2外侧区域D2中，仅设置有第1电极指12b以及第2电极指13b之中的第2电极指13b。由此，与中央区域B中的声速相比，第1外侧区域D1以及第2外侧区域D2中的声速变为高速。在将第1外侧区域D1以及第2外侧区域D2中的弹性波的声速设为V3时，V1＜V3。这样，在第1外侧区域D1中设置有第1高声速区域，在第2外侧区域D2中设置有第2高声速区域。
各声速的关系成为V2＜VI＜V3。将如上述那样的各声速的关系示于图3。另外，示出随着朝向图3中的左侧而声速为高速。
在第1IDT电极8中，在中央区域B的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧，配置有第1低声速区域以及第2低声速区域。在第1低声速区域以及第2低声速区域的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧，配置有第1高声速区域以及第2高声速区域。这样，串联臂谐振器部S1利用活塞模式，能够抑制横模所引起的杂散以及阻带响应。
图4是示出第1实施方式中的具有第2IDT电极的串联臂谐振器部的电极构造的示意性俯视图。
第2IDT电极18具有彼此相互对置的第3汇流条14a以及第4汇流条15a。第2IDT电极18具有一端与第3汇流条14a连接的多个第3电极指14b。进而，第2IDT电极18具有一端与第4汇流条15a连接的多个第4电极指15b。多个第3电极指14b和多个第4电极指15b彼此相互交替插入。
作为通过连结多个第3电极指14b的前端而形成的虚拟线的第1包络线E1相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。同样地，作为通过连结多个第4电极指15b的前端而形成的虚拟线的第2包络线F1相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。由此，在串联臂谐振器部S2中能够抑制阻带响应。第2IDT电极18是第1包络线E1以及第2包络线F1相对于弹性波传播方向倾斜地延伸的倾斜型的IDT电极。第1包络线E1以及第2包络线F1延伸的方向相对于弹性波传播方向倾斜的倾斜角度没有特别限定，但在本实施方式中，倾斜角度为5°。
在此，第1实施方式的弹性波滤波器装置1的结构如下所述。
第1IDT电极以及第2IDT电极：Ti层的厚度2nm、AlCu层的厚度162mn
压电体层：材料LiTaO3、切割角50°、厚度600nm
低声速膜：材料SiO2、厚度670nm
支承基板：材料Si、厚度200μm
保护膜：材料SiO2、厚度25nm
在倾斜型的IDT电极中，倾斜角度越小，阻带响应变得越小。然而，若倾斜角度小，则会产生横模所引起的杂散。在本实施方式中，图1所示的配置在最靠天线端X侧的串联臂谐振器部S1以及并联臂谐振器部P1是利用活塞模式的弹性波谐振器，其他多个弹性波谐振器的IDT电极为倾斜型的IDT电极。由此，能够有效地抑制横模所引起的杂散，且能够有效地抑制阻带响应。以下，使用下述的图5～图8对其进行说明。
图5是示出第1实施方式中的具有倾斜型的IDT电极的弹性波谐振器的阻抗特性的图。图6是示出第1实施方式中的利用活塞模式的弹性波谐振器的阻抗特性的图。
如图5中的箭头G所示可知，在具有作为倾斜型的IDT电极的第2IDT电极的弹性波谐振器中，产生了阻带响应。相对于此，如图6所示可知，在利用活塞模式的弹性波谐振器中，如箭头H所示，阻带响应被抑制了。
图7是示出第1实施方式中的具有倾斜型的IDT电极的弹性波谐振器以及利用活塞模式的弹性波谐振器的回波损耗的图。在图7中，实线示出具有倾斜型的IDT电极的弹性波谐振器的结果，虚线示出利用活塞模式的弹性波谐振器的结果。
如图7中的箭头G以及箭头H所示，与图5以及图6所示的结果同样地，在利用活塞模式的弹性波谐振器中阻带响应被抑制了。另一方面，如图7中的箭头I所示，在利用活塞模式的弹性波谐振器中，横模所引起的杂散被充分抑制了。进而，可知，在倾斜型的IDT电极中，横模所引起的杂散被更进一步抑制了。
在此，将弹性波滤波器装置1中的各弹性波谐振器的从天线端侧观察的回波损耗的变化量示于下述的图8。另外，所谓回波损耗的变化量，是指图1所示的各弹性波谐振器的回波损耗与串联臂谐振器部S5的回波损耗之差。在图8中示出4000MHz处的各弹性波谐振器的回波损耗的变化量。
图8是示出第1实施方式中的电路内的弹性波谐振器的位置与回波损耗的变化量的关系的图。图8中的横轴从左侧起按配置有弹性波谐振器的位置接近天线端的顺序的编号示出各弹性波谐振器。图8中的各附图标记对应于图1所示的各串联臂谐振器部以及各并联臂谐振器部的附图标记。
如图8所示可知，配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部S1以及配置在最靠天线端侧的并联臂谐振器部P1的回波损耗的变化量与其他弹性波谐振器的回波损耗的变化量相比大幅变大。越远离天线端，回波损耗的变化量变得越小。在本实施方式中，将回波损耗的变化量大的串联臂谐振器部S1以及并联臂谐振器部P1设为能够更进一步抑制阻带响应的利用活塞模式的弹性波谐振器。因此，在弹性波滤波器装置1中，能够更进一步有效地抑制阻带响应。
进而，串联臂谐振器部S1以及并联臂谐振器部P1能够充分地抑制横模所引起的杂散，其他的各弹性波谐振器是能够更进一步抑制上述杂散的具有倾斜型的第2IDT电极的弹性波谐振器。因而，能够有效地抑制横模所引起的杂散。
作为倾斜型的IDT电极的第2IDT电极的倾斜角度优选为0.4°以上且15°以下。通过将第2IDT电极中的倾斜角度设为上述范围，从而在弹性波滤波器装置1中能够抑制横模所引起的杂散的影响。
另外，只要配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部S1的弹性波谐振器以及配置在最靠天线端侧的并联臂谐振器部P1的弹性波谐振器之中的至少一方具有图2所示的第1IDT电极8即可。在该情况下，由于回波损耗的变化量大的弹性波谐振器之中的至少一方是利用活塞模式的弹性波谐振器，因此也能够有效地抑制阻带响应。而且，由于具有层叠体6，因此还能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层5侧。
在此，配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部的弹性波谐振器具有多个弹性波谐振器的情况下，该串联臂谐振器部的全部的弹性波谐振器具有第1IDT电极8，由此能够有效地抑制阻带响应。在配置于最靠天线端侧的并联臂谐振器部配置有多个弹性波谐振器的情况下，该并联臂谐振器部中的全部的弹性波谐振器具有第1IDT电极8，由此能够有效地抑制阻带响应。
在如图1所示的本实施方式那样与并联臂相比串联臂谐振器部配置在天线端X侧的情况下，只要具有多个串联臂谐振器部即可。在该情况下，只要至少未配置在最靠天线端X侧的串联臂谐振器部的弹性波谐振器具有第2IDT电极即可。另一方面，与串联臂谐振器部相比并联臂配置在天线端X侧的情况下，只要具有多个配置了并联臂谐振器部的并联臂即可。在该情况下，只要至少未配置在最靠天线端X侧的并联臂谐振器部中的弹性波谐振器具有第2IDT电极即可。
作为第2IDT电极，也可以使用下述的图9所示的IDT电极。
图9是示出第1实施方式的变形例中的配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部以外的串联臂谐振器部的电极构造的简图式俯视图。在图9中，通过在多边形添加了两根对角线的简图来示出第2IDT电极以及反射器。
本变形例中的第2IDT电极28的平面形状为大致菱形。第2IDT电极28中的第1包络线E2以及第2包络线F2具有相对于弹性波传播方向倾斜地延伸的部分和与弹性波传播方向平行地延伸的部分。这样，第1包络线E2以及第2包络线F2延伸的方向也可以变化。
图10是示意性地排列示出第2实施方式中的配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部以及其他串联臂谐振器部的示意性主视剖视图。
在本实施方式中，与第1实施方式的不同点在于，层叠体36中的高声速构件为高声速膜33。高声速膜33设置在支承基板2与低声速膜4之间。高声速膜33由与第1实施方式中的支承基板2同样的高声速材料构成。除了上述的点以外，本实施方式的弹性波滤波器装置具有与第1实施方式的弹性波滤波器装置1同样的结构。另外，在本实施方式中，构成支承基板2的材料并不限于高声速材料。
在本实施方式中，配置在最靠天线端侧的串联臂谐振器部S1以及配置在最靠天线端侧的并联臂谐振器部也是利用活塞模式的弹性波谐振器。剩余的多个弹性波谐振器是具有倾斜型的IDT电极的弹性波谐振器。进而，本实施方式的弹性波滤波器装置具有上述层叠体36。因此，在本实施方式中，也与第1实施方式同样地，能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层5侧，且能够有效地抑制阻带响应。
图11是第3实施方式涉及的多工器的示意图。
多工器40具有与天线连接的天线端子46。多工器40具有公共连接于天线端子46的第1带通型滤波器41A、第2带通型滤波器41B以及第3带通型滤波器41C。第1带通型滤波器41A是具有与第1实施方式的弹性波滤波器装置1同样的结构的滤波器装置。第1带通型滤波器41A、第2带通型滤波器41B以及第3带通型滤波器41C的通带彼此不同。
另外，多工器40还具有第1带通型滤波器41A、第2带通型滤波器41B以及第3带通型滤波器41C以外的、公共连接于天线端子46的其他滤波器装置。多工器40所具有的滤波器装置的个数没有特别限定。多工器40只要具有第1带通型滤波器41A、和通带与第1带通型滤波器41A不同的至少一个带通型滤波器即可。
在多工器40的第1带通型滤波器41A中，与第1实施方式同样地，能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层侧，且能够有效地抑制阻带响应。另外，在第1带通型滤波器41A中，还能够抑制横模所引起的杂散。由此，能够有效地抑制第1带通型滤波器41A的阻带响应以及横模所引起的杂散对第2带通型滤波器41B以及第3带通型滤波器41C的影响。因此，在多工器40中，能够改善与第1带通型滤波器41A一起公共连接于天线端子46的第2带通型滤波器41B以及第3带通型滤波器41C的滤波器特性。
附图标记的说明
1...弹性波滤波器装置；
2...支承基板；
4...低声速膜；
5...压电体层；
6...层叠体；
7...保护膜；
8...第1IDT电极；
9A、9B...反射器；
12a...第1汇流条；
12b...第1电极指；
12c、12d...宽幅部；
13a...第2汇流条；
13b...第2电极指；
13c、13d...宽幅部；
14a...第3汇流条；
14b...第3电极指；
15a...第4汇流条；
15b...第4电极指；
18...第2DT电极；
19A、19B...反射器；
28...第2DT电极；
33...高声速膜；
36...层叠体；
40...多工器；
41A～41C...第1、第2、第3带通型滤波器；
46...天线端子；
P1～P4...并联臂谐振器部；
S1～S5...串联臂谐振器部。

Claims (6)

1.一种弹性波滤波器装置，具备：
压电体层；
高声速构件，所传播的体波的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为高速；
低声速膜，设置在所述高声速构件与所述压电体层之间，所传播的体波的声速与在所述压电体层传播的体波的声速相比为低速；和
多个IDT电极，设置在所述压电体层上，包含第1IDT电极以及第2IDT电极，
由所述高声速构件、所述低声速膜、所述压电体层以及所述多个IDT电极构成了多个弹性波谐振器，
所述多个弹性波谐振器配置于至少一个串联臂谐振器部和至少一个并联臂谐振器部，所述至少一个串联臂谐振器部配置于将天线端和所述天线端以外的信号端连结的串联臂，所述至少一个并联臂谐振器部配置于将所述串联臂和接地电位连结的并联臂，所述串联臂谐振器部以及所述并联谐振器部分别具有至少一个所述弹性波谐振器，
所述串联臂谐振器部之中的配置在最靠所述天线端侧的所述串联臂谐振器部的所述弹性波谐振器以及配置在最靠所述天线端侧的所述并联臂谐振器部中的所述弹性波谐振器之中的至少一方具有所述第1IDT电极，剩余的所述弹性波谐振器具有所述第2IDT电极，
所述第1IDT电极具有相互对置的第1汇流条以及第2汇流条、一端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指、和一端与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交替插入的多个第2电极指，所述第1电极指和所述第2电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分为交叉区域，
所述交叉区域具有位于与弹性波传播方向正交的方向上的中央侧的中央区域，
在所述交叉区域中设置有第1低声速区域和第2低声速区域，所述第1低声速区域配置在所述中央区域的所述第1汇流条侧，且声速与所述中央区域中的声速相比为低速，所述第2低声速区域配置在所述中央区域的所述第2汇流条侧，且声速与所述中央区域中的声速相比为低速，
在所述第1IDT电极中设置有声速与所述中央区域中的声速相比为高速的第1高声速区域和第2高声速区域，所述第1高声速区域配置在所述第1低声速区域的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧，所述第2高声速区域配置在所述第2低声速区域的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧，
所述第2IDT电极具有彼此相互交替插入的多个第3电极指以及多个第4电极指，
作为通过连结所述多个第3电极指的前端而形成的虚拟线的第1包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸，作为通过连结所述多个第4电极指的前端而形成的虚拟线的第2包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。
2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器装置，其中，
配置在最靠所述天线端侧的所述串联臂谐振器部的所述弹性波谐振器以及配置在最靠所述天线端侧的所述并联臂谐振器部中的所述弹性波谐振器双方具有所述第1IDT电极。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述高声速构件为支承基板。
4.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述高声速构件为高声速膜，
还具备支承基板，
在所述支承基板与所述低声速膜之间设置有所述高声速膜。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述弹性波滤波器装置是具有多个所述串联臂谐振器部且具有多个所述并联臂谐振器部的梯型滤波器。
6.一种多工器，具备：
天线端子，与天线连接；
权利要求1～5中任一项所述的弹性波滤波器装置，与所述天线端子连接；和
至少一个带通型滤波器，与所述弹性波滤波器装置一起公共连接于所述天线端子，且通带与所述弹性波滤波器装置不同。
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