CN111048390A - 安装状态提示装置和安装状态提示方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种安装状态提示装置和安装状态提示方法。安装状态提示装置包括数据库、获取部、第一确定部、比较部和输出部。数据库对于处理装置所包含的多个部件，分别保存该部件的安装位置和朝向的信息。获取部获取由3D扫描仪取得的表示处理装置的外观的状态的第一外观数据。第一确定部基于第一外观数据，识别处理装置所包含的多个部件，对每个识别出的部件确定该部件的安装位置和朝向。比较部对每个识别出的部件，将该部件的安装位置和朝向与保存于数据库中的安装位置和朝向的信息进行比较。输出部输出比较部的比较结果。根据本发明，能够提高处理的吞吐量。

Description

安装状态提示装置和安装状态提示方法
技术领域
本发明的各种方面和实施方式涉及安装状态提示装置和安装状态提示方法。
背景技术
在半导体器件的制造工序中，对被处理体实施各种各样的处理。作为对被处理体进行的处理，已知例如使用等离子体的处理(以下，记作等离子体处理)。通过使用等离子体，能够促进对被处理体的物理反应和化学反应，能够有效地进行成膜、蚀刻等处理。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-016443号公报。
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明提供一种能够提高处理的吞吐量的安装状态的提示技术。
用于解决问题的技术手段
本发明的一个方面为安装状态提示装置，其包括数据库、获取部、第一确定部、比较部和输出部。数据库对于处理装置所包含的多个部件，分别保存该部件的安装位置和朝向的信息。获取部获取由3D扫描仪取得的表示处理装置的外观的状态的第一外观数据。第一确定部基于第一外观数据，识别处理装置所包含的多个部件，对每个识别出的部件确定该部件的安装位置和朝向。比较部对每个识别出的部件，将该部件的安装位置和朝向与保存于数据库中的安装位置和朝向的信息进行比较。输出部输出比较部的比较结果。根据本发明，能够提高处理的吞吐量。
发明效果
依照本发明的各种方面和实施方式，可提供一种能够提高处理的吞吐量的安装状态的提示技术。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式中的处理系统的一例的图。
图2是表示带缝板的附近的一例的分解立体图。
图3是表示带缝板的一例的俯视图。
图4是表示从处理空间侧观察到的电介质窗的一例的俯视图。
图5是表示图4所示的电介质窗的I－I截面的一例的图。
图6是表示缝隙和凹部附近的一例的立体图。
图7是表示缝隙和凹部附近的一例的截面图。
图8是表示缝隙与凹部的位置关系的一例的图。
图9是表示缝隙与凹部的位置关系的一例的图。
图10是表示提示装置的一例的框图。
图11是表示数据库(DB)中保存的表的一例的图。
图12是表示形成有标记的部件的外观的一例的立体图。
图13是表示标记的形状的一例的截面图。
图14是表示标记的形状的一例的截面图。
图15是表示形成有标记部件的外观的另一例的立体图。
图16是表示标记的形状的另一例的截面图。
图17是表示提示装置的处理的一例的流程图。
图18是表示本发明的第二实施方式中的处理系统的一例的图。
图19是表示终端的一例的框图。
图20是表示服务器的一例的框图。
图21是表示测量值表的一例的图。
图22是表示容许范围表的一例的图。
图23是表示终端的处理的一例的流程图。
图24是表示由服务器进行的容许范围更新处理的一例的流程图。
图25是表示由服务器进行的判断处理的一例的流程图。
附图标记说明
CNT 控制装置
W 被处理体
1 处理系统
2 处理容器
10 等离子体处理装置
11 装置主体
16 电介质窗
20 带缝板
200 缝隙对
25 电介质板
37 模式变换器
373 标记
374 标记
70 提示装置
71 DB
72 获取部
73 确定部
74 比较部
75 输出部
76 输入部
700 3D扫描仪
701 电缆
80 终端
90 服务器
91 容许范围确定部
92 DB
93 比较部
94 确定部
95 接收部
96 发送部。
具体实施方式
以下，参照附图，对公开的安装状态提示装置和安装状态提示方法的实施方式进行详细说明。此外，公开的安装状态提示装置和安装状态提示方法并不由以下的实施方式限定。
当使用处理装置依次处理多个被处理体时，有时在处理装置的内部附着反应副生成物(所谓的沉积物)。此外，当使用处理装置依次处理多个被处理体时，有可能会使处理装置内部的部件损耗。因此，定期地将处理装置分解，对附着于内部的沉积物进行清扫，或者进行更换损耗部件的维护。然后，当清扫或者部件更换结束后，再次将处理装置组装起来，继续执行对被处理体的处理。
然而，在构成处理装置的部件中，各个部件存在尺寸误差，在安装中也存在安装误差。因此，即使在维护结束后再次将处理装置组装起来，与维护前的处理装置相比，有时各个部件的位置和朝向微妙地偏差。在这样的情况下，执行对被处理体的处理时，有时维护后的处理结果与维护前的处理结果的差异变大。
在维护后的处理结果与维护前的处理结果的差异超过容许范围的情况下，要重新组装处理装置。有时不试着执行对被处理体的处理则不知道处理结果。因此，若不在维护后实际执行对被处理体的处理之后，则难以判断维护后的处理结果与维护前的处理结果的差异是否处于容许范围内。处理装置的分解和组装以及对被处理体的处理花费时间。因此，由于反复执行处理和重新组装，维护后的恢复变得花费时间。由此，处理被耽搁，处理的吞吐量(throughput)变低。
因此，本发明提供一种能够提高处理的吞吐量的安装状态的提示技术。
(第一实施方式)
[处理系统1的结构]
图1是表示本发明的第一实施方式中的处理系统1的一例的图。处理系统1包括等离子体处理装置10和提示装置70。
提示装置70经由电缆701与3D扫描仪700连接。提示装置70基于由3D扫描仪700取得的等离子体处理装置10的三维图像，确定安装于等离子体处理装置10的各部件的位置和朝向。然后，提示装置70将所确定的各部件的位置和朝向与作为参照的等离子体处理装置10的各部件的位置和朝向进行比较，将比较结果输出到监视器等。由此，等离子体处理装置10的用户能够掌握安装于等离子体处理装置10的各部件的位置和朝向的偏差。
等离子体处理装置10具有装置主体11和控制装置CNT。装置主体11包括例如由铝等形成为大致圆筒状的处理容器2。处理容器2电接地。处理容器2的顶部被由电介质形成的电介质窗16封闭。处理容器2的内壁面被氧化铝等绝缘性的保护膜2f覆盖。
在处理容器2的底部的中央设置有工作台3。在工作台3的上表面设置有用于载置被处理体W的静电吸盘CK。静电吸盘CK通过静电吸附来保持被处理体W。静电吸盘CK经由匹配器MG与施加偏置用的高频功率的高频电源BV连接。
工作台3例如由氧化铝或氮化铝等形成。在工作台3的内部埋入加热器5，加热器5经由配线与加热器电源4电连接。加热器5根据从加热器电源4供给来功率而发热，由此隔着静电吸盘CK将被处理体W加热至规定温度。
在处理容器2的底部设置有多个排气口12a，各排气口12a经由排气管12和压力控制阀PCV与排气装置13连接。利用压力控制阀PCV和排气装置13，能够将处理容器2内的压力调节为规定的压力。
在处理容器2的顶部经由用于确保气密性的O型环等密封部件15配置有电介质窗16。电介质窗16例如由石英、氧化铝或者氮化铝等电介质构成，对微波具有穿透性。
在电介质窗16的上表面设置有圆板形状的带缝板20。带缝板20例如由利用金或银等具有导电性的材料实施了镀敷或者涂敷的铜等形成。在带缝板20例如以同心圆状形成有多个缝隙21。
在带缝板20的上表面配置有用于压缩微波的波长的电介质板25。电介质板25例如由石英、氧化铝或者氮化铝等电介质形成。电介质板25被导电性的盖体26所覆盖。在盖体26内部形成有能够循环供给载热体的流路27。通过控制在流路27内流动载热体的温度，能够将盖体26和电介质板25调节为规定的温度。
在盖体26的中央，连接有传递微波的同轴波导管30。同轴波导管30具有内侧导体31和外侧导体32。内侧导体31贯通电介质板25的中央而连接到带缝板20的中央。
同轴波导管30经由模式变换器37和矩形波导管36与微波发生器35连接。微波发生器35产生例如2.45GHz的微波。
微波发生器35所产生的微波经由矩形波导管36、模式变换器37和同轴波导管30传递到电介质板25。传递到电介质板25的微波在带缝板20传播，从设置于带缝板20的多个缝隙经由电介质窗16辐射到处理容器2内。由微波在电介质窗16的下方形成电场，在电介质窗16与静电吸盘CK上的被处理体W之间的处理空间S内，生成处理气体的等离子体。在本实施方式中，电介质板25、带缝板20和电介质窗16构成RLSA(Radial Line Slot Antenna：径向线缝隙天线)。
在电介质窗16的中央设置有对被处理体W的中心部导入处理气体的中央导入部55。在同轴波导管30的内侧导体31形成有供给处理气体的供给通路52。电介质窗16的中央导入部55与内侧导体31的供给通路52连接。从供给通路52供给到中央导入部55的处理气体向下方的被处理体W的中心部被喷射到处理空间S内。
在处理容器2内，以包围被处理体W的上方的处理空间S的方式设置有对处理空间S供给处理气体的环形的周边导入部61。周边导入部61在处理空间S内配置于被处理体W与电介质窗16之间。周边导入部61是环状地形成中空的管道的部件，在其内周侧在周向等间隔地形成有多个周边导入口62。周边导入口62向周边导入部61的中心喷射处理气体。周边导入部61例如由石英等构成。
在处理容器2的侧面，以贯通处理容器2的侧壁的方式设置有由不锈钢等构成的供给管53。供给管53与周边导入部61连接。从供给管53供给到周边导入部61的内部的处理气体在周边导入部61的内部的空间扩散后，从多个周边导入口62向周边导入部61的内侧喷射。从多个周边导入口62喷射出的处理气体被供给到被处理体W的周边上部。此外，也可以代替环状的周边导入部61，而在处理容器2的内侧面形成多个周边导入口62。
气体供给源40经由配管41对同轴波导管30的内侧导体31内供给处理气体。另外，气体供给源40经由配管42对供给管53内供给处理气体。气体供给源40能够控制经由同轴波导管30的内侧导体31被供给到处理容器2内的处理气体的流量Gc与经由供给管53和周边导入部61被供给到处理容器2内的处理气体的流量Gp之比。
图2是表示带缝板20的附近的一例的分解立体图。此外，在带缝板20形成有多个缝隙，不过在图2中省略了缝隙的图示。电介质窗16的下表面承载在构成处理容器2的侧壁的一部分的环状部材19的表面上而安装于处理容器2。在电介质窗16的上侧的表面上设置带缝板20，在带缝板20上设置电介质板25。电介质窗16、带缝板20和电介质板25的平面形状为圆形。电介质窗16、带缝板20和电介质板25以中心轴一致的方式安装。在本实施方式中，在安装了电介质窗16、带缝板20、电介质板25和处理容器2的情况下，电介质窗16、带缝板20和电介质板25各自的中心轴与圆筒状的处理容器2的中心轴X一致。
图3是表示带缝板20的一例的俯视图。带缝板20具有圆板状的外形。在带缝板20的中央形成有用于使处理气体流通的开口209。带缝板20的板厚方向的两面分别是平坦的。在带缝板20形成有在板厚方向贯通的多个缝隙对200。各缝隙对200以在一个方向较长缝隙201a和在与缝隙201a正交的方向较长的缝隙201b相邻地成为一对的方式形成。具体而言，相邻的两个缝隙201a和201b成为一对，以配置成中心部间断的大致L字状的方式构成。在图3的例子中，缝隙对200被虚线包围。
多个缝隙对200在带缝板20的表面等间隔地配置在以带缝板20的中心轴210为中心的圆上。本实施方式的带缝板20中，多个缝隙对200分别配置在半径不同的两个同心圆上。下面，将配置于半径的较短的圆上的多个缝隙对200记为内周侧缝隙组202，将配置于半径的较长的圆上的多个缝隙对200记为外周侧缝隙组203。在图3的例子中，内周侧缝隙组202设置于由点划线表示的假想圆的内侧区域，外周侧缝隙组203设置于由点划线表示的假想圆的外侧区域。
为了使带缝板20的周向的定位变得容易，在外周侧缝隙组203的外侧的区域设置有在板厚方向贯通的基准孔204。由此，能够进行相对于处理容器2或电介质窗16的、带缝板20的周向的定位。带缝板20除了基准孔204之外相对于中心轴210具有旋转对称性。
图4是表示从处理空间S侧观察到的电介质窗16的一例的俯视图。图5是表示图4所示的电介质窗16的I－I截面的一例的图。
电介质窗16的外形为大致圆板状。在与处理空间S侧的面相反侧的电介质窗16的面的中央，形成有凹部160，在凹部的中央形成有在板厚方向贯通的中央导入部55。在面向处理空间S的电介质窗16的面，设置有外侧区域162、中间区域163和内侧区域164。中间区域163的电介质窗16比外侧区域162和内侧区域164的电介质窗16薄。在外侧区域162与中间区域163之间形成有锥部165，在中间区域163与内侧区域164之间形成有锥部166。
在内侧区域164形成有多个凹部167。各凹部167具有圆筒状的内部形状。多个凹部167沿以电介质窗16的中心轴161为中心的圆等间隔地配置。
此处，传递到电介质板25的微波从设置于带缝板20的多个缝隙传播到电介质窗16。例如，传播到内周侧缝隙组202所包含的各缝隙对200的微波，从各缝隙对200传播到形成于电介质窗16的内侧区域164的凹部167。由此，能够使微波的电场集中在凹部167的处理空间S侧的面，能够在电介质窗16的内侧区域164进行稳固的模式固定。由此，即使处理条件改变，也能够抑制内侧区域164中的模式的变化，能够产生稳定且均匀的等离子体，能够提高处理的均匀性。
图6是表示缝隙201a和凹部167附近的一例的立体图。图7是表示缝隙201a和凹部167附近的一例的截面图。例如如图6所示，在缝隙201a位于凹部167的正上方的情况下，当供给微波时，利用在缝隙201a的宽度方向产生的电场，例如如图7在凹部167内产生等离子体PS。
图8和图9是表示缝隙201a、201b与凹部167的位置关系的一例的图。利用传播到带缝板20的微波，在缝隙201a的宽度方向和缝隙201b的宽度方向分别产生电场E。在图8中示出了缝隙201a的重心位置G1与凹部167的重心位置G2一致的例子。该情况下，由于能够将等离子体可靠地固定在凹部167，因此能够减少等离子体的波动，对于各种条件变化也能够抑制等离子体的面内变动。
在图9中示出了凹部167的重心位置G2的位置与缝隙201a和缝隙201b任一者的重心位置都隔开间隔的例子。该情况下，微波难以进入凹部167内。因此，变得难以提高辐射到凹部167的下方的微波的强度，凹部167的下方的等离子体的密度下降。因此，有时在等离子体的产生中发生波动。
电介质窗16面向生成等离子体的处理空间S，因此或者因等离子体而损耗，或者附着有反应副生成物。因此，定期地卸下进行清洗或者进行更换的维护。然后，将维护后的电介质窗16与带缝板20再次安装，再次开始处理。
在构成等离子体处理装置10的电介质窗16等部件中，各自存在尺寸误差，在安装中也存在安装误差。因此，即使在维护结束后再次组装等离子体处理装置10，与维护前的等离子体处理装置10相比，有时各个部件的位置和朝向微妙地偏差。如前所述，等离子体的状态根据带缝板20的缝隙对200的位置与电介质窗16的凹部167的位置的关系而变化，因此使维护后的部件的位置关系接近维护前的等离子体的状态是重要的。
然而，维护后的部件的位置关系是否接近维护前的部件的位置关系，靠目视难以判别。因此，通过实际执行对被处理体W的处理，判断维护前后的处理结果的差是否处于容许范围内，从而判断维护后的部件的位置关系是否接近维护前的部件的位置关系。然而，手动进行的等离子体处理装置10的分解和组装花费时间。此外，对被处理体W的处理中，也需要抽真空和温度控制等花费时间的前处理，因此到得到处理结果为止花费时间。因此，由于反复执行处理和重新组装，在维护后的恢复中花费时间。由此，处理被耽搁，处理的吞吐量降低。
为了避免这种情况，在本实施方式中，获取维护后的等离子体处理装置10的各部件的位置关系的信息，将所获取的各部件的位置关系与作为参照的等离子体处理装置10的各部件的位置关系进行比较，输出比较结果。例如，获取维护前的等离子体处理装置10的各部件的位置关系的信息，并获取维护后的等离子体处理装置10的各部件的位置关系的信息。然后，将维护前的等离子体处理装置10的各部件的位置和朝向作为参照，判断维护后的等离子体处理装置10的各部件的位置和朝向的微妙偏差是否处于容许范围内，输出判断结果。
在一部分部件的位置和朝向的微妙的偏差为容许范围外的情况下，等离子体处理装置10的用户重新组装等离子体处理装置10。由此，即使实际上没有进行被处理体W的处理，也能够检测到等离子体处理装置10的安装问题，能够加快维护后的恢复。
[提示装置70的结构]
图10是表示提示装置70的一例的框图。提示装置70具有数据库(DB)71、获取部72、确定部73、比较部74、输出部75和输入部76。确定部73是第一确定部的一例。
提示装置70例如由具有存储器、处理器和输入输出接口的计算机实现。在存储器内，保存用于实现DB71、获取部72、确定部73、比较部74、输出部75和输入部76的程序或数据等。处理器从存储器读取并执行这些程序，从而实现获取部72、确定部73、比较部74、输出部75和输入部76的功能。此外，处理器经由输入输出接口从3D扫描仪700和输入装置703获取数据，向输出装置702输出数据。
DB71保存例如如图11所示的表710。图11是表示保存在DB71中的表710的一例的图。在表710中，对每个用于识别安装于装置主体11的各部件的部件ID711，保存单独表712。在各单独表712中，保存部件的位置及朝向的测量值和容许范围的信息。容许范围是测量值的相对值。在各单独表712中，部件的位置和朝向的测量值由后述的确定部73保存，容许范围由提示装置70的管理者等预先设定。
另外，在DB71内，由提示装置70的管理者等预先保存有表示安装于装置主体11的各个部件的形状的数据。表示各个部件的形状的数据例如是各个部件的CAD(ComputerAided Design)数据。在本实施方式中，各部件的位置为部件的重心、部件的特征部分或者形成于部件的外表面的标记等的位置。各部件的朝向能够基于部件的特征部分或者形成于部件的外表面的标记等的朝向来确定。
输入部76用触摸面板或者键盘等输入装置703受理来自用户的输入操作，将通过输入操作输入的信息输出到获取部72。输入操作例如是用于输入第一获取指示和第二获取指示等的操作。
在从输入部76输出了第一获取指示的情况下，获取部72经由电缆701从3D扫描仪700获取三维的扫描数据，将获取到的扫描数据与表示第一获取指示的信息一起输出到确定部73。在从输入部76输出了第一获取指示的情况下，获取的三维的扫描数据是第二外观数据的一例。此外，在从输入部76输出了第二获取指示的情况下，获取部72经由电缆701从3D扫描仪700获取三维的扫描数据，将获取到的扫描数据与表示第二获取指示的信息一起输出到确定部73。在从输入部76输出了第二获取指示的情况下，获取的三维的扫描数据是第一外观数据的一例。
在从获取部72输出了第一获取指示和扫描数据的情况下，确定部73基于预先保存于DB71内的各部件的形状数据，根据扫描数据识别各个部件。然后，确定部73在根据扫描数据识别出的各部件中，以预先决定的部件的安装位置和朝向为基准来确定各部件的安装位置和朝向。接着，确定部73将确定出的各部件的安装位置和朝向的信息保存在DB71中的表710内。
此外，在从获取部72输出了第二获取指示和扫描数据的情况下，确定部73基于保存在DB71内的各个部件的形状数据来从扫描数据识别各个部件。然后，确定部73在根据扫描数据识别出的各部件中，以预先决定的部件的安装位置和朝向为基准，来确定各部件的安装位置和朝向。作为安装位置和朝向的基准的部件例如是处理容器2。然后，确定部73将确定出的各部件的安装位置和朝向的信息输出到比较部74。
在本实施方式中，在构成装置主体11的各部件的外表面，形成有标记。图12是表示形成有标记373的部件的外观的一例的立体图。在图12中，例示了将模式变换器37作为形成有标记的部件的一例。模式变换器37的开口371与矩形波导管36连接，模式变换器37的开口372与同轴波导管30连接。将开口372的中心轴定义为中心轴370。在模式变换器37的外表面形成有标记373。
图13和图14是表示标记373的形状的一例的截面图。标记373是形成于模式变换器37的外表面的凹部。标记373的底面3730包含于以开口372的中心轴370为轴的圆筒面中。标记373的侧面3731包含于含有开口372的中心轴370的平面中，标记373的侧面3732包含于含有开口372的中心轴370的不同的平面中。标记373的侧面3733包含于与开口372的中心轴370直角相交的平面中。标记373的侧面3734包含于与开口372的中心轴370直角相交的其他平面中。
此处，当同轴波导管30连接的开口372的中心轴370与同轴波导管30的中心轴微妙地偏差时，传播同轴波导管30的微波中发生偏差，在处理空间S内生成的等离子体的分布发生偏差。因此，使同轴波导管30所连接的开口372的中心轴370与同轴波导管30的中心轴高精度地匹配是重要的。然而，在安装了模式变换器37后，难以从外部辨认开口372的中心轴370的位置和朝向。
因此，在本实施方式中，在模式变换器37形成如图12～图14所示的标记373。通过确定这样构成的标记373的位置和朝向，能够确定在安装了模式变换器37后从外部看不见的开口372的中心轴370的位置和朝向。由此，能够高精度地检测出开口372的中心轴370与同轴波导管30的中心轴的偏差。
如此，在本实施方式中，在构成装置主体11的各部件的外表面形成有以设计上的位置和朝向为基准的标记，由此对于部件的内部的位置和朝向的偏差，也能够从各部件的外观检测出来。
另外，标记373例如也可以为如图15和图16所示的形状的标记374。图15是表示形成有标记374的部件的外观的另一例的立体图。图16是表示标记374的形状的另一例的截面图。图15和图16所示的标记374具有圆筒形的侧面3741。
标记374的底面3740包含于以开口372的中心轴370为轴的圆筒面中。标记374的侧面3741包含于以与开口372的中心轴370直角相交的直线3742为中心轴的圆筒面中。在为这样的形状的标记374的情况下，也能够从外部检测出部件的内部的位置和朝向的偏差。
回到图10继续进行说明。在从确定部73输出了各部件的安装位置和朝向的信息的情况下，比较部74对每个部件参照DB71内的表710，判断从确定部73输出的各部件的安装位置和朝向是否处于容许范围内。然后，比较部74将判断结果输出到输出部75。输出部75将从比较部74输出的判断结果输出到显示器等的输出装置702。
在本实施方式中，在从确定部73输出的各部件的位置和朝向全部处于容许范围内的情况下，比较部74将表示安装状态良好的信息的判断结果输出到输出部75。另一方面，在从确定部73输出的各部件的位置和朝向的至少一者处于容许范围外的情况下，比较部74将表示安装状态不良好的信息的判断结果输出到输出部75。
另外，作为另一例，比较部74也可以将表示关于各部件的位置和偏差大小、即偏离容许范围的程度的信息，与判断结果一起输出。该情况下，输出部75可以与判断结果一起，将表示偏离容许范围的程度的信息对每个部件以数值的形式输出到输出装置702，也可以作为具有与偏差大小相应的颜色或浓度的图像显示在输出装置702。由此，用户能够在视觉上容易地辨认哪个部件在哪个方向偏差了多少。
另外，作为另一例，比较部74也可以对于按照位置和朝向的相对于容许范围的偏差大小的比例大的排序的规定数量的部件，将表示位置和朝向的相对于容许范围的偏差大小的信息，与判断结果一起输出。例如，考虑2个部件A和部件B中，部件A的安装位置的容许范围例如为±0.5mm，部件B的安装位置的容许范围例如为±0.3mm，2个部件的安装位置的偏差一共为0.6mm的情况。该情况下，部件B与部件A相比，其位置和朝向的相对于容许范围的偏差大小的比例大。因此，作为偏差较大的部件，优先输出部件B。由此，用户能够容易地辨认重新组装装置主体11时优选修正位置的部件。
[安装状态提示方法]
图17是表示提示装置70的处理的一例的流程图。图17的流程图所示的处理在例如装置主体11的维护中，在分解装置主体11之前进行。
首先，输入部76判断用户是否用输入装置703输入了第一获取指示(S100)。用户例如在装置主体11的维护中，分解装置主体11之前，用输入装置703向提示装置70输入第一获取指示。
在没有输入第一获取指示的情况下(S100：否)，输入部76再次执行步骤S100所示的处理。另一方面，在输入了第一获取指示的情况下(S100：是)，输入部76将第一获取指示输出到获取部72。
用户通过使3D扫描仪700在维护前的装置主体11的表面上移动，以使3D扫描仪700扫描装置主体11的表面。获取部72经由电缆701从3D扫描仪700获取三维的扫描数据(S101)。然后，获取部72将获取到的扫描数据与表示第一获取指示的信息一起输出到确定部73。
接着，确定部73基于保存在DB71内的各个部件的形状数据，根据获取部72输出的扫描数据识别各个部件(S102)。然后，确定部73在根据扫描数据识别出的各部件中，以预先决定的部件的安装位置和朝向为基准，来确定各部件的安装位置和朝向(S103)。然后，确定部73将确定出的各部件的安装位置和朝向保存在DB71中的表710内(S104)。
接着，输入部76判断用户是否用输入装置703输入了第二获取指示(S105)。用户将装置主体11分解，进行装置主体11的部件的清洗、更换等。然后，再次将装置主体11组装后，用户用输入装置703向提示装置70输入第二获取指示。
在没有输入第二获取指示的情况下(S105：否)，输入部76再次执行步骤S105所示的处理。另一方面，在输入了第二获取指示的情况下(S105：是)，输入部76将第二获取指示输出到获取部72。
用户通过使3D扫描仪700在维护后的装置主体11的表面上移动，以使3D扫描仪700扫描装置主体11的表面。获取部72经由电缆701从3D扫描仪700获取三维的扫描数据(S106)。然后，获取部72将获取到的扫描数据与表示第二获取指示的信息一起输出到确定部73。
接着，确定部73基于预先保存于DB71内的各个部件的形状数据，根据获取部72输出的扫描数据识别各个部件(S107)。然后，确定部73在根据扫描数据识别出的各部件中，以预先决定的部件的安装位置和朝向为基准，来确定各部件的安装位置和朝向(S108)。然后，确定部73将确定出的各部件的位置和朝向输出到比较部74。
接着，比较部74对每个部件参照DB71内的表710，判断由确定部73确定出的所有部件的安装位置和朝向是否处于容许范围内(S110)。在所有部件的安装位置和朝向处于容许范围内情况下(S110：是)，比较部74将表示安装状态良好的信息的比较结果输出到输出部75(S111)。输出部75将从比较部74输出的判断结果输出到显示器等的输出装置702。然后，本流程图所示的安装状态提示方法结束。
另一方面，在至少一部分部件的安装位置和朝向处于容许范围外的情况下(S110：否)，比较部74将表示安装状态不良好的信息的比较结果输出到输出部75(S112)。输出部75将从比较部74输出的判断结果输出到显示器等的输出装置702。然后，本流程图所示的安装状态提示方法结束。
以上，对第一实施方式进行了说明。本实施方式中的提示装置70包括DB71、获取部72、确定部73、比较部74和输出部75。DB71对于等离子体处理装置10所包含的多个部件，分别保存该部件的安装位置和朝向的信息。获取部72获取由3D扫描仪700取得的表示等离子体处理装置10的外观的状态的扫描数据。确定部73基于扫描数据来识别等离子体处理装置10所包含的多个部件，对每个识别出的部件确定识别部件的安装位置和朝向。比较部74对每个识别出的部件，将识别部件的安装位置和朝向与保存于DB71中的安装位置和朝向的信息进行比较。输出部75输出比较部74的比较结果。由此，即使在维护后不执行对被处理体W的处理，也能够检测出等离子体处理装置10的安装不良。因此，能够提高处理的吞吐量。
另外，在上述的实施方式中，在DB71中保存有关于各个部件的安装位置和朝向的容许范围的信息。比较部74对于每个识别出的部件，将该部件的安装位置和朝向与保存于DB71中的安装位置和朝向的容许范围进行比较。输出部75将表示所有识别出的部件的安装位置和朝向是否包含于DB71所保存的容许范围内的信息，作为比较结果输出。由此，用户能够迅速地掌握是否存在安装位置和朝向为容许范围外的部件，能够迅速地判断是否要重新组装等离子体处理装置10。
另外，在上述的实施方式中，也可以为在识别出的部件中存在安装位置和朝向不包含于DB71所保存的容许范围中的部件的情况下，输出部75还输出关于该部件的安装位置和朝向相对于容许范围的偏差大小。由此，用户能够掌握安装位置和朝向为容许范围外的部件的偏差程度。
另外，在上述的实施方式中，输出部75也可以对于安装位置和朝向相对于容许范围的偏差大小的比例大的排序上的规定数量的部件，输出安装位置和朝向相对于容许范围的偏差大小。由此，用户能够优先修正偏差较大的部件的安装位置和朝向。
另外，在上述的实施方式中，获取部72获取由3D扫描仪700取得的规定状态下的表示装置主体11的外观的状态的扫描数据。确定部73基于由获取部72获取的扫描数据，识别装置主体11所包含的多个部件，对每个识别出的部件确定该部件的安装位置和朝向，将确定出各个部件的安装位置和朝向的信息保存在DB71中。由此，以维护前的装置主体11的各部件的安装位置和朝向为基准，能够检测出维护后的装置主体11的各部件的安装位置和朝向的偏差。
另外，在上述的实施方式中，在部件的外表面形成有标记373。确定部73对每个识别出的部件使用标记373的位置和朝向来确定部件的安装位置和朝向。由此，确定部73能够高精度地确定各部件的安装位置和朝向。
另外，在上述的实施方式中，标记373具有包含于以设计上的轴为中心的圆筒的外周面中的底面3730。由此，在组装状态的装置主体11中，即使从装置主体11的外部看不到设计上的轴，也能够基于由3D扫描仪700取得的标记373的位置和朝向来确定设计上的轴的位置和朝向。
另外，在上述的实施方式中，标记373具有侧面3731及侧面3732和侧面3733及侧面3734的至少任一组，其中，该侧面3731及侧面3732具有包含于含有设计上的轴的平面中的面，该侧面3733及侧面3734具有包含于与设计上的轴正交的平面中的面。由此，在组装状态的装置主体11中，即使从装置主体11的外部看不到设计上的轴，也能够基于由3D扫描仪700取得的标记373的位置和朝向，来确定设计上的轴的位置和朝向。
另外，在上述的实施方式中，也可以在各部件形成具有侧面3741的标记374，其中该侧面3741包含于以与设计上的轴正交的直线为轴的圆筒的外周面中。由此，在组装状态的装置主体11中，即使从装置主体11的外部看不到设计上的轴，也能够基于由3D扫描仪700取得的标记374的位置和朝向，来确定设计上的轴的位置和朝向。
(第二实施方式)
在第一实施方式的处理系统1中，由处理系统1的管理者等预先设定保存于提示装置70的DB71内的容许范围的值。而在本实施方式的处理系统1中，收集多个等离子体处理装置10的部件的安装位置和朝向的数据以及处理结果，根据收集到的信息，来确定能够得到良好的处理结果的情况下的部件的安装位置和朝向的容许范围。此外，在第一实施方式中，评价了维护后的等离子体处理装置10的各部件的安装位置和朝向是否包含于以维护前等规定的时刻中的等离子体处理装置10的各部件的安装位置和朝向为基准的容许范围内。而本实施方式中，能够评价维护后的等离子体处理装置10的各部件的安装位置和朝向是否包含于基于多个等离子体处理装置10的各部件的安装位置和朝向的分布而确定的容许范围内。
[处理系统1的结构]
图18是表示本发明的第二实施方式中的处理系统1的一例的图。本实施方式中的处理系统1包括多个等离子体处理装置10、多个终端80和服务器90。多个等离子体处理装置10为同种类的处理装置。作为同种类的处理装置，例如为制造商、系列和型号等相同的处理装置。此外，在图18中，对标注了与图1相同的附图标记的结构因其具有与图1中的结构一致或者同样的功能而省略说明。
各个终端80经由电缆701与3D扫描仪700连接。各个终端80将由3D扫描仪700取得的扫描数据经由通信网络NW发送到服务器90。然后，终端80将从服务器90接收到的安装状态的判断结果输出到监视器等。
服务器90基于从各个终端80发送来的扫描数据，确定等离子体处理装置10的各部件的安装位置和朝向的容许范围。然后，服务器90根据从各个终端80发送来的扫描数据，判断确定出的各部件的安装位置和朝向是否处于确定出的容许范围内，将判断结果发送到终端80。服务器90是安装状态提示装置的一例。
[终端80的结构]
图19是表示终端80的一例的框图。终端80包括发送部81、获取部82、接收部83、输出部84和输入部85。
输入部85经由触摸面板或者键盘等输入装置801受理来自用户的输入操作，将通过输入操作输入的信息输出到获取部82。输入操作例如是用于输入第三获取指示、第四获取指示和处理结果等的操作。处理结果是表示用等离子体处理装置10对被处理体W进行的处理的结果是否满足规定的基准的信息。当处理结果满足规定的基准时示出OK，当处理结果不满足规定的基准时示出NG。
在从输入部85输出了第三获取指示和处理结果的情况下，获取部82经由电缆701从3D扫描仪700获取三维的扫描数据。然后，获取部82制作包含获取到的扫描数据和处理结果的登记请求，将制作出的登记请求输出到发送部81。此外，在从输入部85输出了第四获取指示的情况下，获取部82经由电缆701从3D扫描仪700获取三维的扫描数据。然后，获取部82制作包含获取到的扫描数据的判断请求，将制作出的判断请求输出到发送部81。
发送部81将从获取部82输出的登记请求和判断请求经由通信网络NW发送到服务器90。接收部83在经由通信网络NW从服务器90接收了判断结果的情况下，将接收到的判断结果输出到输出部84。输出部84将从接收部83输出的判断结果输出到显示器等的输出装置800。
[服务器90的结构]
图20是表示服务器90的一例的框图。服务器90具有容许范围确定部91、DB92、比较部93、确定部94、接收部95和发送部96。接收部95是获取部的一例，确定部94是第一确定部的一例，容许范围确定部91是第二确定部的一例。
在DB92中，保存例如图21如所示的测量值表920和例如如图22所示的容许范围表925。图21是表示测量值表920的一例的图。图22是表示容许范围表925的一例的图。
在测量值表920中，对每个用于识别安装于同种类的等离子体处理装置10的装置主体11中的各部件的部件ID921，保存有单独表922。在各个单独表922中，保存部件的安装位置和朝向的测量值以及在该安装位置和朝向的情况下的处理结果。
容许范围表925中，对每个用于识别安装于同种类等离子体处理装置10的装置主体11中的各部件的部件ID926，保存有单独表927。在各个单独表927中，保存部件的安装位置和朝向的容许范围的信息。
另外，在DB92内，由服务器90的管理者等预先保存了表示安装于装置主体11中的各个部件的形状的数据。
接收部95经由通信网络NW接收从各个终端80发送来的登记请求和判断请求，将接收到的登记请求和判断请求输出到确定部94。
在从接收部95输出了登记请求的情况下，确定部94基于预先保存于DB92内的各个部件的形状数据，根据包含于登记请求的扫描数据来识别各个部件。然后，确定部94在根据扫描数据识别出的各部件中，以预先决定的部件的安装位置和朝向为基准，确定各部件的安装位置和朝向。然后，确定部94将确定出的各部件的安装位置和朝向的信息与包含于登记请求的处理结果一起保存在DB92内的测量值表920内。
另外，在从接收部95输出了判断请求的情况下，确定部94基于保存于DB92内的各个部件的形状数据，根据包含于判断请求的扫描数据识别各个部件。然后，确定部94在根据扫描数据识别出的各部件中，以预先决定的部件的安装位置和朝向为基准，确定各部件的安装位置和朝向。然后，确定部94将确定出的各部件的安装位置和朝向的信息输送到比较部93。
在从确定部94输出了各部件的安装位置和朝向的信息的情况下，比较部93对每个部件参照DB92内的容许范围表925，判断从确定部94输出的各部件的安装位置和朝向是否处于容许范围内。然后，比较部93将判断结果输出到发送部96。发送部96将从比较部93输出的判断结果经由通信网络NW发送到作为判断请求的发送源的终端80。
容许范围确定部91在每个规定的时刻参照测量值表920，对每个部件确定装位置和朝向的容许范围，在确定出的容许范围下，更新保存于容许范围表925内的容许范围。例如，容许范围确定部91对每个部件从单独表922抽取与OK的处理结果相关联的安装位置和朝向的测量值。然后，容许范围确定部91对每个部件将含有抽取出的测量值的范围确定为容许范围。此外，容许范围确定部91也可以对每个部件将抽取出的测量值的分布中的±3σ的范围确定为容许范围。“σ”是抽取出的测量值的分布中的标准偏差。
[终端80的处理]
图23是表示终端80的处理的一例的流程图。
首先，输入部85判断用户是否用输入装置801输入了第三获取指示和处理结果(S200)。等离子体处理装置10的用户按规定的时刻用输入装置801将第三获取指示、等离子体处理装置10的处理结果输入到终端80。
在输入了第三获取指示和处理结果的情况下(S200：是)，输入部85将第三获取指示和处理结果输出到获取部82。用户通过使3D扫描仪700在装置主体11的表面上移动，使3D扫描仪700扫描装置主体11的表面。获取部82经由电缆701从3D扫描仪700获取三维的扫描数据(S201)。
然后，获取部82制作包含获取到的扫描数据和处理结果的登记请求，将制作出的登记请求输出到发送部81。发送部81将从获取部82输出的登记请求经由通信网络NW发送到服务器90(S202)。然后，再次执行步骤S200所示的处理。
在没有输入第三获取指示和处理结果的情况下(S200：否)，输入部85判断用户是否用输入装置801输入了第四获取指示(S203)。在没有输入第四获取指示的情况下(S203：否)，再次执行步骤S200所示的处理。用户为进行维护等而将装置主体11分解，进行装置主体11的部件的清洗、更换等。然后，再次组装了装置主体11后，用户经由输入装置801将第四获取指示输入到终端80。
在输入了第四获取指示的情况下(S203：是)，输入部85将第四获取指示输出到获取部82。用户使3D扫描仪700在维护后的装置主体11的表面上移动，从而使3D扫描仪700扫描装置主体11的表面。获取部82经由电缆701从3D扫描仪700获取三维的扫描数据(S204)。然后，获取部82制作包含获取到的扫描数据的判断请求，将制作出的判断请求输出到发送部81。发送部81将从获取部82输出的判断请求经由通信网络NW发送到服务器90(S205)。
接着，接收部83判断是否经由通信网络NW从服务器90接收到了判断结果(S206)。在没有接收到判断结果的情况下(S206：否)，再次执行步骤S206所示的处理。
另一方面，在接收到了判断结果的情况下(S206：是)，接收部83将接收到的判断结果输出到输出部84。输出部84将从接收部83输出的判断结果输出到显示器等的输出装置800(S207)。然后，再次执行步骤S200所示的处理。
[服务器90的处理]
图24是表示由服务器90进行的容许范围更新处理的一例的流程图。
首先，确定部94判断是否经由通信网络NW从终端80接收到了登记请求(S300)。当接收到了登记请求的情况下(S300：是)，确定部94基于保存于DB92内的各个部件的形状数据，从包含于登记请求的扫描数据识别各个部件(S301)。
然后，确定部94在根据扫描数据识别出的各部件中，以预先决定的部件的安装位置和朝向为基准，确定各部件的安装位置和朝向(S302)。然后，确定部94将确定出的各部件的安装位置和朝向的信息与包含于登记请求的处理结果一起保存在DB92内的测量值表920内(S303)。然后，再次执行步骤S300所示的处理。
另一方面，在没有接收到登记请求的情况下(S300：否)，容许范围确定部91判断在前一次更新容许范围后是否登记了规定数量以上的测量值(S304)。在前一次更新容许范围后没有登记规定数量以上的测量值的情况下(S304：否)，再次执行步骤S300所示的处理。
另一方面，在前一次更新容许范围后登记了规定数量以上的测量值的情况下(S304：是)，容许范围确定部91参照容许范围确定部91内的测量值表920，对每个部件，确定安装位置和朝向的容许范围(S305)。然后，容许范围确定部91在确定出的容许范围下，更新保存于容许范围表925内的容许范围(S306)。然后，再次执行步骤S300所示的处理。
图25是表示由服务器90进行的判断处理的一例的流程图。
首先，确定部94判断是否经由通信网络NW从终端80接收到了判断请求(S400)。在没有接收到判断请求的情况下(S400：否)，再次执行步骤S400所示的处理。
另一方面，在接收到了判断请求的情况下(S400：是)，确定部94基于保存于DB92内的各个部件的形状数据，从包含于判断请求的扫描数据识别各个部件(S401)。然后，确定部94在根据扫描数据识别出的各部件中，以预先决定的部件的安装位置和朝向为基准，确定各部件的安装位置和朝向(S402)。然后，确定部94将确定出的各部件的安装位置和朝向的信息输出到比较部93。
接着，比较部93对每个部件参照DB92内的容许范围表925，判断从确定部94输出的所有部件的安装位置和朝向是否处于容许范围内(S403)。在所有部件的安装位置和朝向处于容许范围内的情况下(S403：是)，比较部93将表示安装状态良好的信息的判断结果输出到发送部96。发送部96将从比较部93输出的判断结果经由通信网络NW发送到在步骤S400中作为接收了判断请求的发送源的终端80(S404)。然后，再次执行步骤S400所示的处理。
另一方面，在至少一部分部件的安装位置和朝向处于容许范围外的情况下(S403：否)，比较部93将表示安装状态不良好的信息的判断结果输出到发送部96。发送部96将从比较部93输出的判断结果经由通信网络NW发送到在步骤S400中作为接收了判断请求的发送源的终端80(S405)。然后，再次执行步骤S400所示的处理。
以上，对第二实施方式进行了说明。本实施方式中的服务器90具有容许范围确定部91、确定部94和接收部95。接收部95对于同种类多个等离子体处理装置10分别收集等离子体处理装置10的处理结果和由3D扫描仪700取得的扫描数据。确定部94基于由接收部95收集到的多个等离子体处理装置10的扫描数据，识别包含于等离子体处理装置10中的多个部件，对每个识别出的部件，确定识别部件的安装位置和朝向。容许范围确定部91对每个部件确定用于使处理结果满足规定条件的部件的位置和朝向的容许范围，对每个部件将确定出的容许范围保存在DB92中。由此，能够确定处理结果满足规定条件的范围内的部件的安装位置和朝向的容许范围。因此，能够防止因设定过宽的容许范围而使处理结果不满足规定条件的情况。此外，还能够能够防止因设定过窄的容许范围而频频发生装置主体11的重新组装的情况。
[其他]
此外，本申请本发明的技术不限于上述的实施方式，在该主旨的范围内能够进行各种变形。
例如，在上述的各实施方式中，用3D扫描仪700扫描组装好的装置主体11的外观，不过本发明的技术不限于此。例如，也可以用3D扫描仪700扫描组装的中途期间的装置主体11。由此，即使在完全组装好的情况下，对于从外部看不到部件，也能够评价安装位置和朝向的偏差。
另外，在上述各实施方式中，用3D扫描仪700扫描不执行处理的装置主体11的外观，不过本发明的技术不限于此。例如，也可以用3D扫描仪700扫描执行处理的期间的装置主体11的外观。由此，能够也考虑因热导致的部件的变形，来评价各部件的安装位置和朝向的偏差。
另外，在上述第一实施方式中，以维护前的装置主体11的各部件的安装位置和朝向为基准，评价了维护后的装置主体11的各部件的安装位置和朝向的偏差，不过本发明的技术不限于此。例如，也可以将维护后的装置主体11的各部件的安装位置和朝向的偏差与设计数据(例如CAD数据)相比较来进行评价。由此，不论维护前的装置主体11的特性如何，都能够将维护后的装置主体11的特性保持为一定。
另外，在上述第二实施方式中，服务器90基于从各个终端80发送来的扫描数据确定各部件的安装位置和朝向，不过本发明的技术不限于此。例如，也可以为各个终端80基于由3D扫描仪700取得的扫描数据确定各部件的安装位置和朝向，将确定出的各部件的安装位置和朝向的信息经由通信网络NW发送到服务器90。由此，能够减少传送到通信网络NW内的数据的量。
另外，在上述第二实施方式中，将服务器90和终端80作为不同的装置进行了说明，不过本发明的技术不限于此，也可以将服务器90和任意终端80作为一个装置来实现。
另外，在上述各实施方式的等离子体处理装置10中，以使用RLSA作为等离子体源的微波等离子体为例进行了说明，不过本发明的技术不限于此。作为等离子体源，例如可以使用电容耦合型等离子体(CCP)、电感耦合等离子体(ICP)、电子回旋共振等离子体(ECP)或者螺旋波激励等离子体(HWP)等。
另外，在上述各实施方式中，作为处理装置，以等离子体处理装置10为例进行了说明，不过本发明的技术不限于此。至少是对被处理体W进行处理的装置，即使为热处理装置等不使用等离子体而对被处理体W进行处理的装置，也能够应用本发明的技术。
另外，应当认为，本次公开的实施方式的所有方面均是例示，而并非进行限定。实际上，上述实施方式能够以各种方式具体实现。此外，上述的实施方式在不超出所附的权利请求的范围及其精神的情况下，能够以各种方式省略、置换、改变。

Claims (13)

1.一种安装状态提示装置，其特征在于，包括：
数据库，其对于处理装置所包含的多个部件分别保存该部件的安装位置和朝向的信息；
获取部，其获取由3D扫描仪取得的表示所述处理装置的外观的状态的第一外观数据；
第一确定部，其基于所述第一外观数据，识别所述处理装置所包含的多个部件，对每个识别出的部件确定该部件的安装位置和朝向；
比较部，其对每个所述识别出的部件，将确定出的所述安装位置和朝向与保存于所述数据库中的安装位置和朝向的信息进行比较；和
输出部，其输出所述比较部的比较结果。
2.如权利要求1所述的安装状态提示装置，其特征在于：
所述数据库保存关于各个部件的安装位置和朝向的容许范围的信息，
所述比较部对每个所述识别出的部件，将该部件的安装位置和朝向与保存于所述数据库中的安装位置和朝向的容许范围进行比较，
作为所述比较结果，所述输出部输出表示所有所述识别出的部件的安装位置和朝向是否包含于所述数据库所保存的所述容许范围内的信息。
3.如权利要求2所述的安装状态提示装置，其特征在于：
所述获取部对于所述处理装置所包含的同种类的多个处理装置，分别收集所述处理装置的处理结果和由3D扫描仪取得的所述第一外观数据，
所述第一确定部基于由所述获取部收集到的所述多个处理装置的第一外观数据，识别所述处理装置所包含的多个部件，并对每个识别出的部件确定该部件的安装位置和朝向，
所述安装状态提示装置还包括第二确定部，所述第二确定部对每个所述部件，确定用于使所述处理结果满足规定条件的所述部件的位置和朝向的容许范围，并将对每个所述部件确定出的所述容许范围保存在所述数据库中。
4.如权利要求2或3所述的安装状态提示装置，其特征在于：
当所述识别出的部件中存在所述安装位置和朝向不包含于所述数据库所保存的所述容许范围内的部件时，所述输出部还输出该部件的所述安装位置和朝向相对于所述容许范围的偏差大小。
5.如权利要求2至4中任一项所述的安装状态提示装置，其特征在于：
按照所述安装位置和朝向相对于所述容许范围的偏差大小的比例大的排序，对于规定数量的部件，所述输出部输出所述安装位置和朝向相对于所述容许范围的偏差大小。
6.如权利要求1至5中任一项所述的安装状态提示装置，其特征在于：
保存于所述数据库中的所述安装位置和朝向的信息是所述处理装置的CAD数据。
7.如权利要求1至5中任一项所述的安装状态提示装置，其特征在于：
所述获取部获取第二外观数据，该第二外观数据表示由3D扫描仪取得的规定状态下的所述处理装置的外观的状态，
所述第一确定部基于所述第二外观数据来识别所述处理装置所包含的多个部件，并对每个识别出的部件确定该部件的安装位置和朝向，将确定出的各个部件的安装位置和朝向的信息保存在所述数据库中。
8.如权利要求1至7中任一项所述的安装状态提示装置，其特征在于：
在所述部件的外表面形成有凹部，
所述第一确定部对每个所述识别出的部件，使用所述凹部的位置和朝向来确定所述部件的安装位置和朝向。
9.如权利要求8所述的安装状态提示装置，其特征在于：
所述凹部具有包含于以设计上的轴为中心的圆筒的外周面中的底面。
10.如权利要求8或9所述的安装状态提示装置，其特征在于：
所述凹部至少具有以下侧壁中的任一侧壁，即：具有包含于含有设计上的轴的平面中的面的侧壁；和具有包含于与设计上的轴正交的平面中的面的侧壁。
11.如权利要求8或9所述的安装状态提示装置，其特征在于：
所述凹部具有侧壁，该侧壁包含于以与设计上的轴正交的直线为轴的圆筒的外周面中。
12.如权利要求1至11中任一项所述的安装状态提示装置，其特征在于：
所述获取部对于工作中的所述处理装置获取由3D扫描仪取得的所述第一外观数据。
13.一种安装状态提示方法，提示要安装在处理装置上的多个部件的安装状态，其特征在于，包括：
获取由3D扫描仪取得的表示所述处理装置的外观的状态的外观数据的步骤；
基于所述外观数据，识别所述处理装置所包含的多个部件的步骤；
对每个识别出的部件，确定该部件的安装位置和朝向的步骤；
对于所述处理装置所包含的多个部件，分别参照保存该部件的安装位置和朝向的信息的数据库，对每个所述识别出的部件，将该部件的安装位置和朝向与保存于所述数据库中的安装位置和朝向的信息进行比较的步骤；和
输出比较结果的步骤。
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