CN110970326A - 激光照射装置及其驱动方法 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及激光照射装置及其驱动方法，该激光照射装置包括台、激光照射单元、图像获取单元和控制单元，其中，台供衬底设置于其上，激光照射单元将激光照射到台上的衬底，图像获取单元获取衬底的预定区域的图像，控制单元电连接到激光照射单元和图像获取单元，其中，控制单元计算与从图像获取单元提供的图像的灰度值的平均值对应的亮度值，将计算出的亮度值与基准亮度值进行比较，并且输出基于将所计算出的亮度值与基准亮度值进行比较的结果的、关于激光的性能的数据。

Description

激光照射装置及其驱动方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2018年10月1日提交的第10-2018-0117114号韩国专利申请的优先权以及从其获得的所有权益，该韩国专利申请的内容通过引用以其整体地并入本文。
技术领域
本公开的示例性实施方式涉及激光照射装置、激光照射装置的驱动方法以及使用该激光照射装置制造显示装置的方法，并且更具体地，涉及能够实时地监测激光的性能的激光照射装置、激光照射装置的驱动方法以及使用该激光照射装置制造显示装置的方法。
背景技术
通常，激光照射装置可用于制造半导体装置或显示装置。例如，在用熔料密封两个玻璃衬底之间的显示单元的结构中，熔料可使用激光来熔化并粘合到玻璃衬底。另外，激光可用于切割半导体晶片或玻璃衬底，将两个薄膜或衬底彼此分离，或者图案化预定的薄膜。
发明内容
当使用激光照射装置制造半导体装置或显示装置时，激光的能量密度或强度可能在重复使用期间发生变化或被控制。因此，期望的是保持激光性能均匀性以减少缺陷并且改善产品的可靠性。
一个或多个示例性实施方式提供了能够实时地监测激光的性能的激光照射装置、激光照射装置的驱动方法和使用该激光照射装置制造显示装置的方法。
一个或多个示例性实施方式还提供了能够实时地检测由于激光的性能劣化引起的缺陷以防止附加缺陷的发生的激光照射装置、激光照射装置的驱动方法和使用该激光照射装置制造显示装置的方法。
根据示例性实施方式，激光照射装置包括台、激光照射单元、图像获取单元和控制单元，其中，台供衬底设置于其上，激光照射单元将激光照射到台上的衬底，图像获取单元获取衬底的预定区域的图像，控制单元电连接到激光照射单元和图像获取单元，其中，控制单元可计算与从图像获取单元提供的图像的灰度值的平均值对应的亮度值，将计算出的亮度值与基准亮度值进行比较，并且输出关于激光的性能的数据，所述数据基于将所计算出的亮度值与基准亮度值进行比较的结果而获得。
在示例性实施方式中，图像获取单元可包括电荷耦合装置(“CCD”)和互补金属氧化物半导体(“CMOS”)中的至少一种。
在示例性实施方式中，基准亮度值可根据在将激光照射到衬底之前由图像获取单元获取的图像的灰度值计算，并且用于计算基准亮度值的图像可在衬底的预定区域中获取。
在示例性实施方式中，所计算出的亮度值可根据在将激光照射到衬底之后由图像获取单元获取的图像的灰度值计算。
在示例性实施方式中，衬底的预定区域可包括对准标记和识别标记中的一种。
根据另一示例性实施方式，激光照射装置的驱动方法包括：在激光照射装置的台上设置衬底；获取衬底的第一区域中的第一图像；计算与第一图像的灰度值的平均值对应的第一亮度值；将激光照射到衬底的包括第一区域的第二区域；获取衬底的第一区域中的第二图像；计算与第二图像的灰度值的平均值对应的第二亮度值；以及将第二亮度值与第一亮度值进行比较，并且输出关于激光的性能的数据，所述数据基于比较的结果而获得。
在示例性实施方式中，驱动方法还可包括：在计算第一亮度值之后将第一亮度值与基准值进行比较，并且当第一亮度值小于基准值时从台卸载衬底。
在示例性实施方式中，衬底的第一区域可包括对准标记和识别标记中的一种。
根据另一示例性实施方式，激光照射装置的驱动方法包括：在激光照射装置的台上设置衬底；获取衬底的第一区域的第一图像；计算与第一图像的灰度值的平均值对应的第一亮度值；将激光照射到衬底的包括第一区域的第二区域；将激光照射到衬底的与第二区域相邻的第三区域；获取衬底的第二区域的第二图像；计算与第二图像的灰度值的平均值对应的第二亮度值；获取衬底的第一区域的第三图像；计算与第三图像的灰度值的平均值对应的第三亮度值；以及将第二亮度值和第三亮度值中的每个与第一亮度值进行比较，并且输出关于激光的性能的数据，所述数据基于比较的结果而获得。
在示例性实施方式中，衬底的第一区域可包括对准标记。
在示例性实施方式中，第二图像可在衬底的包括识别标记的第二区域中获取。
根据另一示例性实施方式，使用激光照射装置制造显示装置的方法包括：在支承衬底上设置第一薄膜；在第一薄膜上设置元件层；在元件层上设置第二薄膜；将支承衬底与第一薄膜分离，其中，分离支承衬底包括：获取支承衬底的第一区域中的第一图像；计算与第一图像的灰度值的平均值对应的第一亮度值；将激光照射到支承衬底的包括第一区域的第二区域；获取支承衬底的第一区域中的第二图像；计算与第二图像的灰度值的平均值对应的第二亮度值；以及将第二亮度值与第一亮度值进行比较，并且输出关于激光的性能的数据，所述数据基于比较的结果而获得。
在示例性实施方式中，支承衬底的第一区域可包括对准标记和识别标记中的一种。
附图说明
通过参照附图进一步详细描述本发明的示例性实施方式，本发明的上述和其它特征将变得更加显而易见，在附图中：
图1是示出根据本发明实施方式的激光照射装置的示意性框图；
图2是示出图1中所示的衬底的示例性实施方式的平面图；
图3是示出根据本发明实施方式的激光照射装置的驱动方法的流程图；
图4是示出根据本发明替代性实施方式的激光照射装置的驱动方法的流程图；
图5是示出根据本发明另一替代性实施方式的激光照射装置的驱动方法的流程图；
图6是示出用于解释图5的方法的衬底的示例性实施方式的平面图；以及
图7A至图7E是示出使用根据本发明实施方式的激光照射装置制造显示装置的方法的剖视图。
具体实施方式
现在，将在下文中参照示出了各种实施方式的附图对本发明进行更加全面的描述。然而，本发明可以许多不同的形式实施，并且不应被解释为受限于本文中所阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式以使得本公开将是彻底和完整的，并且将向本领域技术人员全面地传达本发明的范围。在整个说明书中，相同的附图标记指示相同的元件。
应理解，尽管措辞“第一”、“第二”、“第三”等可在本文中用于描述各种元件、部件、区域、层和/或部分，但是这些元件、部件、区域、层和/或部分不应受这些措辞限制。这些措辞仅用于将一个元件、部件、区域、层或者部分与另一个元件、部件、区域、层或者部分区分开。因此，下面讨论的“第一元件”、“第一部件”、“第一区域”、“第一层”或“第一部分”可被称为第二元件、第二部件、第二区域、第二层或第二部分，而不背离本文中的教导。
应理解，当元件被称为在另一元件“上”时，该元件可直接在另一元件上，或者它们之间也可存在有中间元件。相反，当元件被称为“直接”在另一元件“上”时，则不存在中间元件。此外，当在实施方式中将层、区域、元件等称为“连接”时，应理解为当层、区域或元件直接连接时、以及层、区域或元件彼此间接连接时。例如，当层、区域、元件等电连接时，不仅是当层、区域、元件等彼此直接连接时，也包括另一层、区域、元件等介于它们之间并且间接地连接的情况。
本文中使用的术语仅出于描述特定实施方式的目的，而不旨在限制。除非内容另有明确说明，否则如本文中所使用的单数形式“一(a)”、“一(an)”和“该(the)”旨在也包括复数形式，并且包括“至少一个”在内。“或”意味着“和/或”。“A和B中的至少一个”意味着“A和/或B”。如本文中所使用的，措辞“和/或”包括相关所列项目中的一个或多个的任何和所有组合。还应理解，当措辞“包括”和/或“包括有”或者“包含”和/或“包含有”在本说明书中使用时指示所陈述的特征、区域、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或多个其它特征、区域、整数、步骤、操作、元件、部件和/或其集群的存在或添加。
为了解释的便利，附图中所示的元件的尺寸可被放大或减小。例如，为了解释的便利，每个元件的尺寸和厚度被任意地示出，并因此本发明不必受限于附图中所示。
除非另有定义，否则本文中所使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本公开所属技术领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。还应理解，除非在本文中明确地这样定义，否则诸如常用词典中定义的那些术语的术语应被解释为具有与它们在相关技术和本公开的上下文中的含义一致的含义，并且将不以理想化或过于正式的含义来解释。
在下文中，将参照附图对本发明实施方式进行详细描述。
图1是示出根据本发明实施方式的激光照射装置的示意性框图。
参照图1，激光照射装置100的实施方式可包括台10、激光照射单元20、图像获取单元30和控制单元40。在这种实施方式中，激光照射装置100还可包括显示单元50和/或警报器60。
台10可为具有平坦表面的板的形式。台10可例如通过驱动装置10a在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上移动。作为处理对象的衬底12可设置在台10上。
激光照射单元20可布置在台10上方以将激光L照射到衬底12。
激光L可为准分子激光或固态激光。
虽未在图1中示出，但是在这种实施方式中，激光照射单元20可配置成例如通过预定的驱动装置在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上可移动。在实施方式中，激光照射单元20还可包括电源和激光发生单元。
图像获取单元30可布置在台10上方以获取衬底12的预定区域的图像。
虽未在图1中示出，但是在实施方式中，图像获取单元30可配置成例如通过预定的驱动装置在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上可移动。
图像获取单元30可为包括用于获取图像的图像感测装置的相机。图像感测装置可包括例如电荷耦合装置(“CCD”)或互补金属氧化物半导体(“CMOS”)。
虽然在图1中示出了单个图像获取单元30，但是在替代性实施方式中，可根据需要提供多个图像获取单元30。
控制单元40可电连接到激光照射单元20和图像获取单元30。控制单元40可为包括中央处理单元(“CPU”)、存储器、信号输入/输出装置等的计算机。
控制单元40可计算与从图像获取单元30提供的图像的灰度值的平均值对应的亮度值，并且将计算的亮度值与基准亮度值进行比较，以获得与激光L的性能有关的数据。控制单元40可通过显示单元50和/或警报器60输出数据。
图2是示出图1中所示的衬底12的示例性实施方式的平面图。
图2示出了衬底12呈矩形形状的示例性实施方式。在替代性示例性实施方式中，衬底12可具有诸如多边形、圆形和椭圆形的各种平面形状中的一种。在这种实施方式中，衬底12可包括堆叠在基础衬底上的一个或多个薄膜。薄膜可包括绝缘膜和导电膜。
参照图2，在示例性实施方式中，衬底12可具有矩形形状，并且可包括例如位于其外围部或边缘部处的对准标记14a、识别标记14b等。
对准标记14a可用于感测衬底12的位置。在一个示例性实施方式中，例如，对准标记14a可用于衬底12与台10的对准或者衬底12与掩模的对准。
识别标记14b可用于感测衬底12的方向。在一个示例性实施方式中，例如，识别标记14b可显示衬底12的前表面或衬底12的方向。
附图标记16表示与衬底12的包括对准标记14a或识别标记14b的部分区域对应的第一区域，并且附图标记18表示与衬底12的包括第一区域的整个区域对应的第二区域。
下面将参照图3对激光照射装置100的配置进行更详细的描述。
图3是示出根据本发明实施方式的激光照射装置100的驱动方法的流程图。
首先，可在台10上设置衬底12(S101)。
衬底12可通过例如机器人臂或操作者装载在台10上。
图像获取单元30可移动到衬底12的第一区域16上方并拍摄衬底12的第一区域16以获取第一图像(S102)。图像获取单元30可将第一图像提供给控制单元40。
在这种实施方式中，在获取第一图像之前，图像获取单元30可拍摄衬底12的对准标记14a和识别标记14b，并且将获取的图像提供给控制单元40以检查衬底12的对准状态。
在这种实施方式中，可使用单个图像获取单元30，但不限于此。替代性地，可根据需要提供多个图像获取单元30。在一个示例性实施方式中，例如，两个图像获取单元30可分别拍摄衬底12的两侧上的对准标记14a，或者分别获取衬底12的第一区域16的第一图像。
控制单元40可计算从图像获取单元30提供的第一图像的灰度值的平均值，并且计算与该平均值对应的第一亮度值(S103)。
第一图像可包括通过与衬底12的第一区域16对应的像素获得的灰度值。每个灰度值可为例如0与255之间的值中的一个。
第一亮度值可对应于0与255之间的灰度值，并且可具有例如0与10之间的值。在这种实施方式中，第一亮度值可对应于通过将从0到255的灰度值划分成11个级别而获得的值中的一个。
在实施方式中，灰度值被描述为0与255之间的范围内的值，并且第一亮度值被描述为11个级别中的值。然而，当灰度值的范围和第一亮度值的级别的数量进一步增加时，可更精确和准确地执行检查。
激光照射单元20可在图像获取单元30返回到原始位置的状态下将激光L照射到衬底12的包括第一区域16的第二区域18(S106)。
激光L可具有取决于工艺目的的预定能量密度或强度，并且可以预定宽度照射。
在一个示例性实施方式中，例如，激光照射单元20可以恒定速度从衬底12的一端移动到衬底12的相对端，或者将衬底12划分成多个区域并且以顺序地扫描多个区域的方式照射激光L。
熔化的痕迹或碳化的痕迹可残留在被激光L照射的衬底12或薄膜上。
图像获取单元30可再次移动到衬底12的第一区域16上方并拍摄衬底12的第一区域16以获取第二图像(S107)。图像获取单元30可将第二图像提供给控制单元40。
控制单元40可计算从图像获取单元30提供的第二图像的灰度值的平均值，并且计算与该平均值对应的第二亮度值(S108)。计算第二亮度值的过程可与计算第一亮度值的过程相同。
控制单元40可将第二亮度值与第一亮度值进行比较，并且通过显示单元50和/或警报器60输出关于激光L的性能的数据(S109)。
第一亮度值是指示在照射激光L之前衬底12或薄膜的第一区域16的状态的值，并且作为相对亮的亮度值可为例如约7至8。
第二亮度值是指示在照射激光L之后衬底12或薄膜的第一区域16的状态的值，并且因熔化的痕迹或碳化的痕迹，作为相对暗的亮度值可为例如约2至3。
在实施方式中，当第一亮度值与第二亮度值之间的差在基准值的范围(例如，4至6的范围)内时，控制单元40可确定激光L的性能是正常的。因此，控制单元40可通过显示单元50输出第一亮度值、第二亮度值、差值、确定结果等作为关于激光L的性能的数据。数据还可包括第一图像和第二图像。
在这种实施方式中，当第一亮度值与第二亮度值之间的差不在基准值的范围内时，控制单元40可确定激光L的性能是异常的。
在一个示例性实施方式中，例如，当第一亮度值与第二亮度值之间的差小于或大于基准值时，控制单元40可确定激光L的性能因激光L的能量密度或强度减小或增加而劣化。
当激光L的能量密度或强度降低时，熔化的痕迹或碳化的痕迹可表现得相对亮。当激光L的能量密度或强度增加时，熔化的痕迹或碳化的痕迹可表现得相对暗。
控制单元40可将关于激光L的性能的数据提供给激光发生单元等。激光发生单元可以使得激光L的密度或强度在正常范围内的方式调节激光L或光学系统的输出。
在替代性实施方式中，可使用多个图像获取单元30。在一个示例性实施方式中，例如，在使用两个图像获取单元30的情况下，允许获取衬底12的第一区域16中的每个的第一图像，或者分别获取第一图像和第二图像。在这种实施方式中，可通过处理更多数据来有效地防止图像获取单元30之间的偏差，并且可提高处理的效率。
在本发明实施方式中，激光照射装置100可在制造工艺期间实时地监测激光L的性能。在这种实施方式中，由激光L的性能的劣化引起的缺陷可被实时地检测并且被通知给用户，从而可预先有效地防止进一步的缺陷。
在这种实施方式中，激光照射装置100获取在激光L照射之前和之后的与相同的第一区域16有关的图像，并且使用图像的灰度值详细地评估激光L的性能。
当对不同区域进行检查时，准确度可能由于环境或条件的差异而降低。然而，根据本发明的实施方式，因为在相同区域上执行检查，因此检查的精度和准确度是高的。因此，可稳定且均匀地保持激光L的性能。
在实施方式中，第一区域16已被描述为包括对准标记14a或识别标记14b的部分区域。这是为了通过获取和比较在激光L照射之前和之后的与相同区域有关的图像来获得更精确和准确的确定结果。在替代性实施方式中，可根据需要改变和修改第一区域16。
图4是示出根据本发明替代性实施方式的激光照射装置100的驱动方法的流程图。
除了步骤S104和步骤S105以外，图4中所示的驱动方法与图3中所示的驱动方法基本上相同。因此，为了描述的便利，将省略或简化相同或相似步骤的任何重复的详细描述。
在实施方式中，如图4中所示，控制单元40可计算第一亮度值(S103)并且将第一亮度值与基准值(例如，4到6)进行比较(S104)。
当第一亮度值小于基准值时，可从台10卸载衬底12(S105)。
当被激光L照射的衬底12返回到工艺中时，可能由于激光L的过度照射而引起缺陷。此外，当衬底12的表面被异物等污染时，可能引起缺陷。
上述步骤S104和步骤S105在执行激光L的照射之前执行，以使得衬底12不被重新引入到该工艺中。因此，可有效地防止缺陷。
在这种实施方式中，当第一亮度值等于或大于基准值时，可如上文参照图3描述的实施方式中那样顺序地执行剩余步骤(S106至S109)。
图5是示出根据本发明另一替代性实施方式的激光照射装置100的驱动方法的流程图。图6是示出用于解释图5的方法的衬底的示例性实施方式的平面图。
首先，参照图6，可使用上文参照图2描述的衬底12。然而，在这种实施方式中，替代图2的第二区域18，衬底12可包括包括第一区域16的第二区域18a和与第二区域18a相邻的第三区域18b。
参照图5，可在台10上设置衬底12(S201)。衬底12可通过例如机器人臂或操作者装载在台10上。
图像获取单元30可移动到衬底12的第一区域16上方并拍摄衬底12的第一区域16以获取第一图像(S202)。图像获取单元30可将第一图像提供给控制单元40。
在这种实施方式中，在获取第一图像之前，图像获取单元30可拍摄衬底12的对准标记14a和识别标记14b，并且将获取的图像提供给控制单元40以检查衬底12的对准状态。
控制单元40可计算从图像获取单元30提供的第一图像的灰度值的平均值，并且计算与该平均值对应的第一亮度值(S203)。
第一亮度值可通过上文参照图3描述的过程来计算。
激光照射单元20可在图像获取单元30返回到原始位置的状态下将激光L照射到衬底12的包括第一区域16的第二区域18a(S204)。激光L可连续地照射到衬底12的与第二区域18a相邻的第三区域18b上(S205)。
在一个示例性实施方式中，例如，激光照射单元20沿X轴方向从第二区域18a的一端移动，且然后沿Y轴方向从第二区域18a的远端朝向第三区域18b移动。然后，激光照射单元20沿X轴方向从第三区域18b的一端朝向第三区域18b的远端连续地移动。
尽管图6中示出了第二区域18a和第三区域18b，但是在这种实施方式中，衬底12可划分成三个或更多个区域，并且激光L可以顺序地扫描多个区域的这种方式照射。
熔化的痕迹或碳化的痕迹可残留在被照射激光L的衬底12或薄膜上。
图像获取单元30可移动到衬底12的第二区域18a上方并且拍摄衬底12的第二区域18a以获取第二图像(S206)。图像获取单元30可将第二图像提供给控制单元40。
在实施方式中，第二区域18a可为包括识别标记14b的区域，但不限于此。
控制单元40可计算从图像获取单元30提供的第二图像的灰度值的平均值，并且计算与该平均值对应的第二亮度值(S207)。计算第二亮度值的过程可与计算第一亮度值的过程相同。
图像获取单元30可再次移动到衬底12的第一区域16上方并拍摄衬底12的第一区域16以获取第三图像(S208)。图像获取单元30可将第三图像提供给控制单元40。
控制单元40可计算从图像获取单元30提供的第三图像的灰度值的平均值，并且计算与该平均值对应的第三亮度值(S209)。计算第三亮度值的过程可与计算第一亮度值的过程相同。
控制单元40可将第二亮度值和第三亮度值与第一亮度值进行比较，并且通过显示单元50和/或警报器60输出基于将第二亮度值和第三亮度值与第一亮度值进行比较的结果获得的关于激光L的性能的数据(S210)。
第一亮度值是指示在照射激光L之前衬底12或薄膜的第一区域16的状态的值，并且作为相对亮的亮度值可为例如约7至8。
第二亮度值是指示在照射激光L之后衬底12或薄膜的第二区域18a的状态的值，并且因熔化的痕迹或碳化的痕迹，作为相对暗的亮度值可为例如约2至3。
第三亮度值是指示在照射激光L之后衬底12或薄膜的第一区域16的状态的值，并且因熔化的痕迹或碳化的痕迹，作为相对暗的亮度值可为例如约2至3。
在这种实施方式中，如上所述，驱动方法还可包括检测在照射激光L的过程中激光L的性能变化的功能。
在本发明实施方式中，激光L照射之前和之后的激光L的性能变化可通过与第一区域16有关的第一图像与第三图像之间的亮度值的差异来检测。在这种实施方式中，在照射激光L的过程中可能发生的激光L的性能变化可使用第二区域18a的第二图像的亮度值来检测。
在照射激光L的过程中发生的激光L的性能变化可作为降低品质均匀性的因素，如图像污点。根据驱动方法的实施方式，可均匀地保持激光L在衬底12的整个区域中的性能，从而可提高品质的均匀性。
激光照射装置100的这种实施方式可使用在例如显示装置的制造工艺中。
图7A至图7E是示出使用根据本发明实施方式的激光照射装置100制造显示装置的方法的剖视图。
参照图7A，第一薄膜70可设置在支承衬底12的表面(例如，上表面)上。
支承衬底12可为具有耐热性的透明衬底。在一个示例性实施方式中，例如，支承衬底12可包括玻璃衬底或者由玻璃衬底形成。
第一薄膜70可包括有机膜或者由有机膜形成，或者可具有有机膜、无机膜和有机膜的层叠结构。
例如，有机薄膜可包括选自聚醚砜(“PES”)、聚丙烯酸酯(“PAR”)、聚醚酰亚胺(“PEI”)、聚萘二甲酸乙二醇酯(“PEN”)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(“PET”)、聚苯硫醚(“PPS”)、聚烯丙基化物和聚酰亚胺(“PI”)中的至少一种材料或者由其形成，但不限于此。
第一薄膜70的无机膜可为阻挡层，并且可阻挡来自支承衬底12的底部的异物、湿气或外部空气的渗透。
无机膜可包括选自氮化硅、氮化铝、氮化锆、氮化钛、氮化铪、氮化钽、氧化硅、氧化铝、氧化钛、氧化锡、氧化铈和氮氧化硅中的至少一种。
参照图7B，可在第一薄膜70上提供元件层80。
元件层80可包括用于显示图像的像素阵列。像素阵列的每个像素可包括发光元件和用于驱动发光元件的像素电路。像素电路可包括薄膜晶体管和电容器。发光元件可包括液晶显示器件或有机发光二极管。
参照图7C，可在元件层80上设置第二薄膜90。
第二薄膜90可保护和密封元件层80。第二薄膜90可包括有机膜或无机膜或者由有机膜或无机膜形成，或者可具有有机膜和无机膜的层叠结构。
参照图7D，激光L可照射到支承衬底12的另一表面(例如，下表面)。激光L可照射到支承衬底12与第一薄膜70之间的界面。
可通过激光L将第一薄膜70熔化并碳化至预定厚度，从而可保留碳化的痕迹70a。
下面将参照图1至图3更详细地描述激光照射过程。
首先，可在台10上设置支承衬底12(S101)。此时，支承衬底12可以使得另一表面朝上的方式设置。
图像获取单元30可移动到支承衬底12的第一区域16上方并拍摄支承衬底12的第一区域16以获取第一图像(S102)。图像获取单元30可将第一图像提供给控制单元40。
在这种实施方式中，在获取第一图像之前，图像获取单元30可拍摄支承衬底12的对准标记14a和识别标记14b，并且将获取的图像提供给控制单元40以检查支承衬底12的对准状态。
控制单元40可计算从图像获取单元30提供的第一图像的灰度值的平均值，并且计算与该平均值对应的第一亮度值(S103)。
激光照射单元20可在图像获取单元30返回到原始位置的状态下将激光L照射到支承衬底12的包括第一区域16的第二区域18(S106)。
图像获取单元30可再次移动到支承衬底12的第一区域16上方并拍摄支承衬底12的第一区域16以获取第二图像(S107)。图像获取单元30可将第二图像提供给控制单元40。
控制单元40可计算从图像获取单元30提供的第二图像的灰度值的平均值，并且计算与该平均值对应的第二亮度值(S108)。计算第二亮度值的过程可与计算第一亮度值的过程相同。
控制单元40可将第二亮度值与第一亮度值进行比较，并且通过显示单元50和/或警报器60输出基于将第二亮度值与第一亮度值进行比较的结果获得的关于激光L的性能的数据(S109)。
根据本发明实施方式，获取包括由于激光L的照射引起的碳化的痕迹70a的图像，从该图像计算亮度值(第二亮度值)，并且将计算的亮度值与基准亮度值(第一亮度值)进行比较。因此，可通过上述过程实时地监测制造工艺期间激光L的性能。
参照图7E，支承衬底12可与第一薄膜70分离。由于碳化的痕迹70a，支承衬底12可容易地分离。
第一薄膜70、元件层80和第二薄膜90可构成液晶显示装置或有机发光显示装置的显示面板。
当激光L的性能在参照图7D描述的照射激光L的过程中降低时，支撑衬底12与第一薄膜70之间的界面可能是差的，例如，第一薄膜70可能在支承衬底12从第一薄膜70分离期间被撕掉。这些缺陷可能在制造工艺期间重复发生。
根据本发明实施方式，可实时地检测由激光L的性能劣化引起的缺陷，从而可快速地响应这种缺陷。
根据本发明的激光照射装置的实施方式配置成在制造工艺期间实时地监测激光的性能，从而可实时地检测由激光的性能劣化引起的缺陷并且可向用户通知缺陷以允许预先防止发生进一步的缺陷。
在这种实施方式中，激光照射装置获取在相同区域上的激光照射之前和之后的图像，并且使用图像的灰度值详细地评估激光的性能。因此，检查的精度和准确度可以是高的。
相应地，在这种实施方式中，可稳定且均匀地保持激光的性能。在使用多个图像获取单元的实施方式中，可通过数据的处理快速且容易地防止图像获取单元之间的偏差，并且可提高处理的效率。
如上所述，已通过详细描述和附图公开了本发明的一些实施方式。应理解，本文中使用的术语仅用于描述本发明的目的，并不用于限制权利要求书中描述的本发明的范围。因此，本领域技术人员将理解，在不背离本发明的范围的情况下，各种修改和等同实施方式都是可能的。相应地，本发明的范围应由所附权利要求书的技术思想来确定。

Claims (10)

1.激光照射装置，包括：
台，供衬底设置于其上；
激光照射单元，将激光照射到所述台上的所述衬底；
图像获取单元，获取所述衬底的预定区域的图像；以及
控制单元，电连接到所述激光照射单元和所述图像获取单元，
其中，所述控制单元计算与从所述图像获取单元提供的所述图像的灰度值的平均值对应的亮度值，将计算出的亮度值与基准亮度值进行比较，并且输出关于所述激光的性能的数据，所述数据基于将所计算出的亮度值与所述基准亮度值进行比较的结果而获得。
2.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，所述图像获取单元包括电荷耦合装置和互补金属氧化物半导体中的至少一种。
3.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，
所述基准亮度值是根据在将所述激光照射到所述衬底之前由所述图像获取单元获取的图像的灰度值计算的，以及
用于计算所述基准亮度值的所述图像是在所述衬底的所述预定区域中获取的。
4.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，所计算出的亮度值是根据在将所述激光照射到所述衬底之后由所述图像获取单元获取的所述图像的所述灰度值计算的。
5.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，所述衬底的所述预定区域包括对准标记和识别标记中的一种。
6.激光照射装置的驱动方法，所述驱动方法包括：
在所述激光照射装置的台上设置衬底；
获取所述衬底的第一区域中的第一图像；
计算与所述第一图像的灰度值的平均值对应的第一亮度值；
将激光照射到所述衬底的包括所述第一区域的第二区域；
获取所述衬底的所述第一区域中的第二图像；
计算与所述第二图像的灰度值的平均值对应的第二亮度值；以及
将所述第二亮度值与所述第一亮度值进行比较，并且输出关于所述激光的性能的数据，其中，所述数据基于所述比较的结果而获得。
7.如权利要求6所述的驱动方法，还包括：
在计算所述第一亮度值之后将所述第一亮度值与基准值进行比较，并且当所述第一亮度值小于所述基准值时从所述台卸载所述衬底。
8.如权利要求6所述的驱动方法，其中，所述衬底的所述第一区域包括对准标记和识别标记中的一种。
9.激光照射装置的驱动方法，所述驱动方法包括：
在所述激光照射装置的台上设置衬底；
获取所述衬底的第一区域的第一图像；
计算与所述第一图像的灰度值的平均值对应的第一亮度值；
将激光照射到所述衬底的包括所述第一区域的第二区域；
将激光照射到所述衬底的与所述第二区域相邻的第三区域；
获取所述衬底的所述第二区域的第二图像；
计算与所述第二图像的灰度值的平均值对应的第二亮度值；
获取所述衬底的所述第一区域的第三图像；
计算与所述第三图像的灰度值的平均值对应的第三亮度值；以及
将所述第二亮度值和所述第三亮度值中的每个与所述第一亮度值进行比较，并且输出关于所述激光的性能的数据，其中，所述数据基于所述比较的结果而获得。
10.如权利要求9所述的驱动方法，其中，所述衬底的所述第一区域包括对准标记。
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