KR20130086801A - 복층 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법 - Google Patents

복층 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 복층 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 소정 제어신호에 따라 다층 구조의 디스플레이 패널을 정렬시키는 검사 테이블; 상기 검사 테이블에 정렬된 디스플레이 패널의 전면을 카메라를 통해 촬영하여 표면 이미지를 획득하는 검사 촬영부; 상기 검사 테이블에 안치된 디스플레이 패널을 정렬시키기 위한 소정 제어신호를 발생시켜 상기 검사 테이블에 전달하거나, 상기 검사 촬영부가 디스플레이 패널을 촬영할 수 있도록 상기 검사 테이블을 X축 및 Y축으로 이동시키거나 회전시키는 제어부; 상기 검사 촬영부로부터 상기 다층 구조의 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스(base) 거리를 산출하는 촬영거리 산출부; 및 상기 검사 촬영부를 X축 및 Y축으로 이동시켜 상기 검사 테이블에 정렬된 다층 구조의 디스플레이 패널을 촬영하여 표면 이미지를 획득하되, 상기 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하고, 각 표면 이미지를 분석하여 결함 내지 이물질(Defect)이 X축과 Y축 및 어느 계층에 위치해 있는지를 판별하는 비전 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

복층 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법{Method and device for inspecting a multi-layer display pannel}
본 발명은 복층 구조의 디스플레이 패널을 검사하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 다층 구조의 액정 디스플레이 패널에 대해 비전 카메라를 통해 촬영하여 결함이나 불량 상태, 이물질 등을 검출할 때 해당 액정 디스플레이 패널의 어느 위치와 어느 계층에서 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 검출되는지를 명확히 인식할 수 있도록 된, 복층 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 가장 많이 사용되고 있는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광 투과율을 데이터 신호로 조절함으로써 화상을 구현하게 된다. 이를 위해 액정표시장치에는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극과, 액정셀 별로 데이터 공급을 절환(切換)하기 위한 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT), 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선 및 TFT의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등이 구비된다.
이러한 LCD는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 과정을 수반하여 액정패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성된다.
여기에서 하판의 제조공정은 기판상에 전극물질, 반도체층 및 절연막의 도포와 에칭작업을 통한 TFT의 형성과 기타 전극부의 형성과정을 포함한다. 또한 액정주입 및 봉지공정을 거친 다음, 상·하판의 양쪽 면에 편광판이 부착되어 액정패널이 완성되면 최종적인 검사작업이 이루어지게 된다.
최종적인 검사작업은 어레이 기판의 적어도 일측에 형성된 접촉패턴(contact pattern)을 통해 액정패널의 일괄구동 혹은 개별구동에 따라 복수 개의 액정패널 또는 단위 액정패널에 VAP(Vision Auto Probe)를 수행한다. 이러한 과정은 자동검사장비를 사용하게 되는데, 자동검사장비는 액정패널과 접촉하여 검사패턴을 액정패널에 입력하는 오토프로브장치와, 액정패널의 상측에 설치되어 액정패널에 나타나는 패턴을 수집하는 비전부 및 그 수집된 패턴의 정보를 분석하고 판단하는 컴퓨터 장치를 포함하게 된다.
여기에서 오토프로브장치는 액정패널 상의 게이트 라인 및 데이터 라인에 전기적 연결을 위한 게이트 및 데이터 니들(needle)을 구비하고 있다. 이는 다시 말해, 모듈공정에서 복수 개의 게이트 라인 및 데이터 라인과 접속하여 액정패널을 구동시키는 구동회로를 연결하기에 앞서, 임의적으로 게이트 니들 및 데이터 니들에 전압을 인가하여 패널의 외관 및 전기적 불량검사를 수행하는 것이다. 또한, 비전부에는 패턴을 검출하기 위한 카메라가 설치되어 그 카메라에 입력된 신호를 분석하게 된다. 즉, 오토프로브장치의 상부에 위치하여 수평방향으로의 스캔을 통해 패널에 표시된 패턴을 수집하게 된다. 그리고, 컴퓨터 장치는 카메라로부터 정보를 입력받아 제대로 패턴이 나오는지의 여부를 분석하고 판단하는 역할을 하게 된다.
그런데, 전술한 바와 같이 동작하는 종래의 액정표시장치의 결함 검사장치는 단층으로 이루어진 액정 패널에 대해 비전 카메라를 통해 액정 패널을 촬영하여, 촬영된 액정 패널의 이미지에 결함이나 불량 상태가 존재하는지 여부만 검출하였다.
따라서, 종래의 액정표시장치의 결함 검사 방식에 따르면, 다층 구조로 이루어진 액정표시장치에 있어서 해당 액정 패널에 결함이 발생되거나 이물질이 끼어 있다는 것만 검출할 뿐 어떤 층에 결함이 있거나 이물질이 끼어 있는지 알 수 없어 해당 액정 패널을 폐기해야 했고, 다층 구조의 액정 패널에서 어느 계층 공정에 이상이 있는지 알 수 없는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2010-0068070호 (공개일: 2010년06월22일)
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 다층 구조의 액정 디스플레이 패널에 대해 비전 카메라를 통해 촬영하여 결함이나 불량 상태, 이물질 등을 검출할 때 해당 액정 디스플레이 패널의 어느 위치와 어느 계층에서 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 검출되는지를 명확히 인식할 수 있도록 된, 복층 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법을 제공함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 소정 제어신호에 따라 다층 구조의 디스플레이 패널을 정렬시키는 검사 테이블; 상기 검사 테이블에 정렬된 디스플레이 패널의 전면을 카메라를 통해 촬영하여 표면 이미지를 획득하는 검사 촬영부; 상기 검사 테이블에 안치된 디스플레이 패널을 정렬시키기 위한 소정 제어신호를 발생시켜 상기 검사 테이블에 전달하거나, 상기 검사 촬영부가 디스플레이 패널을 촬영할 수 있도록 상기 검사 테이블을 X축 및 Y축으로 이동시키거나 회전시키는 제어부; 상기 검사 촬영부로부터 상기 다층 구조의 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스(base) 거리를 산출하는 촬영거리 산출부; 및 상기 검사 촬영부를 X축 및 Y축으로 이동시켜 상기 검사 테이블에 정렬된 다층 구조의 디스플레이 패널을 촬영하여 표면 이미지를 획득하되, 상기 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하고, 각 표면 이미지를 분석하여 결함(Defect) 내지 이물질(Mura)이 X축과 Y축 및 어느 계층에 위치해 있는지를 판별하는 비전 제어부를 포함하는 복층 디스플레이 패널 검사 장치가 제공된다.
또한, 상기 비전 제어부는, 상기 검사 촬영부를 상하 수직으로 이동시켜 디스플레이 패널을 촬영할 때, 상기 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 획득하여, 이 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하게 된다.
또한, 상기 촬영거리 산출부는, 상기 검사 촬영부로부터 상기 디스플레이 패널의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 레이저(Laser) 방식, 프로브(Probe) 방식, 포토 방식을 포함하는 각종 변위센서를 이용하여 산출하게 된다.
또한, 상기 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보를 저장하고 있는 패널정보 메모리를 더 포함할 수 있다.
따라서, 상기 비전 제어부는, 상기 패널정보 메모리에 저장되어 있는 상기 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보와, 상기 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 통해 구분하는 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층 간 정보를 이용하여, 각 계층마다 검사 촬영부를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득할 수 있다.
그리고, 상기 비전 제어부는, 상기 각 계층의 표면 이미지에 대한 영역 경계의 특징값을 추출하고, 추출한 영역 경계의 특징값이 임계값보다 큰 경우, 특이점들의 군집 특성값으로 분류하며, 군집 특성값으로 분류된 픽셀 집합의 외곽 크기가 기준보다 큰 경우, 해당 계층에 이물질이 있거나 불량 상태임을 화면 상에 디스플레이할 수 있다.
한편, 전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 검사 촬영부와 검사 테이블, 제어부, 촬영거리 산출부 및 비전 제어부를 포함하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법으로서, (a) 상기 제어부의 소정 제어신호에 따라 상기 검사 테이블이 다층 구조의 디스플레이 패널을 정렬시키는 단계; (b) 상기 검사 촬영부가 디스플레이 패널을 촬영할 수 있도록 상기 검사 촬영부 또는 상기 검사 테이블을 이동시켜 일치시키는 단계; (c) 상기 검사 촬영부가 상기 검사 테이블에 정렬된 디스플레이 패널의 전면을 카메라를 통해 촬영하여 표면 이미지를 획득하는 단계; (d) 상기 비전 제어부가 상기 표면 이미지를 분석하여 결함(Defect) 내지 이물질의 위치를 산출하는 단계; (e) 상기 비전 제어부가 상기 촬영거리 산출부를 통해 상기 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 산출하는 단계; (f) 상기 비전 제어부가 상기 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하고, 상기 검사 촬영부를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득하는 단계; 및 (g) 상기 비전 제어부가 상기 각 표면 이미지를 분석하여 결함(Defect) 내지 이물질이 X축과 Y축 및 어느 계층에 위치해 있는지를 판별하는 단계를 포함하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법이 제공된다.
또한, 상기 (e) 단계는, 상기 비전 제어부가 상기 촬영거리 산출부를 통해 상기 검사 촬영부로부터 상기 디스플레이 패널의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 레이저(Laser) 방식, 프로브(Probe) 방식, 포토 방식을 포함하는 각종 변위센서를 이용하여 산출할 수 있다.
또한, 상기 (e) 단계는, 상기 비전 제어부가 상기 표면 이미지를 분석하여 산출한 결함(Defect) 내지 이물질의 위치로 상기 검사 촬영부를 이동시키고, 상기 촬영거리 산출부를 통해 상기 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 산출할 수 있다.
또한, 상기 (f) 단계는, 상기 비전 제어부가 상기 기본 베이스 거리에 근거해, 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 위한 렌즈의 DOF(Depth Of Field)를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 상기 검사 촬영부를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득할 수 있다.
또한, 상기 (f) 단계는, 상기 비전 제어부가 상기 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보를 이용하여 상기 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 상기 검사 촬영부를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득할 수 있다.
그리고, 상기 (g) 단계는, 상기 각 계층의 표면 이미지에 대한 영역 경계의 특징값을 추출하고, 추출한 영역 경계의 특징값이 임계값보다 큰 경우, 특이점들의 군집 특성값으로 분류하며, 군집 특성값으로 분류된 픽셀 집합의 외곽 크기가 기준보다 큰 경우, 해당 계층에 이물질이 있거나 불량 상태임을 화면 상에 디스플레이할 수 있다.
본 발명에 의하면, 다층 구조의 디스플레이 패널에 대해 어느 위치와 어느 계층에서 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 검출되는지를 명확히 인식할 수 있다.
또한, 비전 카메라를 통해 어느 위치에 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 있는지 검출할 뿐만 아니라 어떤 층에 존재하는지 알 수 있으므로, 해당 디스플레이 패널을 폐기할 필요가 없고, 해당 층의 재료만 교체하여 사용할 수 있으며, 다층 구조의 디스플레이 패널에서 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 존재하는 해당 계층의 제조 공정에 이상이 있는지 확인할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 검사 촬영부를 통해 디스플레이 패널을 촬영하여 위치를 검사하는 예를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널의 각 층 구조의 한 예를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하는 예를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치에서 비전 제어부가 디스플레이 패널의 각 층 표면 이미지를 분석하여 불량 상태를 판단하는 예를 나타낸 처리 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치에서 검사 촬영부의 카메라 초점 거리를 이용하여 심도를 산출하는 예를 나타낸 도면이다.
본 발명의 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 명세서에 첨부된 도면에 의거한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 검사 테이블(110), 디스플레이 패널(112), 검사 촬영부(120), 제어부(130), 촬영거리 산출부(140), 비전 제어부(150) 및 패널정보 메모리(160) 등을 포함한다.
검사 테이블(110)은 소정 제어신호에 따라 다층 구조의 디스플레이 패널(112)을 정렬시킨다.
검사 촬영부(120)는 검사 테이블(110)에 정렬된 디스플레이 패널(112)의 전면을 카메라를 통해 촬영하여 표면 이미지를 획득한다.
제어부(130)는 검사 테이블(110)에 안치된 디스플레이 패널(112)을 정렬시키기 위한 소정 제어신호를 발생시켜 검사 테이블(110)에 전달하거나, 검사 촬영부(120)가 디스플레이 패널(112)을 촬영할 수 있도록 검사 테이블(110)을 X축 및 Y축으로 이동시키거나 회전시킨다.
촬영거리 산출부(140)는 검사 촬영부(120)로부터 다층 구조의 디스플레이 패널(112)의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스(base) 거리를 산출한다.
또한, 촬영거리 산출부(140)는 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널(112)의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 레이저(Laser) 방식, 프로브(Probe) 방식, 포토 방식을 포함하는 각종 변위센서를 이용하여 산출하게 된다.
비전 제어부(150)는 검사 촬영부(120)를 X축 및 Y축으로 이동시켜 검사 테이블(110)에 정렬된 다층 구조의 디스플레이 패널(112)을 촬영하여 표면 이미지를 획득하되, 기본 베이스 거리에 근거해 검사 촬영부(120)의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널(112)의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하고, 각 표면 이미지를 분석하여 결함 내지 이물질(defact) 또는 얼룩(Mura)이 X축과 Y축 및 어느 계층에 위치해 있는지를 판별한다.
또한, 비전 제어부(150)는, 검사 촬영부(120)를 상하 수직으로 이동시켜 디스플레이 패널(112)을 촬영할 때, 검사 촬영부(120)로부터 디스플레이 패널(112)의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 획득하여, 이 기본 베이스 거리에 근거해 검사 촬영부(120)의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널(112)의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하게 된다.
패널정보 메모리(160)는 디스플레이 패널(112)의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보를 저장하고 있다.
따라서, 비전 제어부(150)는, 패널정보 메모리(160)에 저장되어 있는 디스플레이 패널(112)의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보와, 검사 촬영부(120)로부터 디스플레이 패널(112)의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스 거리에 근거해 검사 촬영부(120)의 카메라 촛점 거리를 통해 구분하는 디스플레이 패널(112)의 제2 계층 내지 제n 계층 간 정보를 이용하여, 각 계층마다 검사 촬영부(120)를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도를 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 제어부(130)의 소정 제어신호에 따라 검사 테이블(110)이 다층 구조의 디스플레이 패널(112)을 정렬시킨다(S202).
이어, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 검사 촬영부(120)가 디스플레이 패널(112)을 촬영할 수 있도록 검사 촬영부(120) 또는 검사 테이블(110)을 이동시켜 검사 촬영부의 카메라와 검사 테이블 상에 있는 디스플레이 패널(112)을 일치시킨다(S204).
이어, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 검사 촬영부(120)가 검사 테이블(110)에 정렬된 디스플레이 패널(112)의 전면을 도 3에 도시된 바와 같이 카메라를 통해 촬영하여 표면 이미지를 획득한다(S206).
즉, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는 도 3에 도시된 바와 같이 검사 촬영부(120)를 통해 디스플레이 패널(112)의 전면에 대해 카메라를 좌 또는 우(X 좌표)로 움직이거나 위 또는 아래(Y 좌표)로 움직여, 디스플레이 패널(112)의 전면을 촬영하여 결함 내지 이물질(Defect)이 어느 위치에 있는지를 확인하기 위한 표면 이미지를 획득하게 되는 것이다. 여기서, 이물질은 얼룩(Mura) 등도 포함한다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 검사 촬영부를 통해 디스플레이 패널을 촬영하여 위치를 검사하는 예를 나타낸 도면이다. 따라서, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는 검사 촬영부(120)를 통해 도 3에 도시된 바와 같이 촬영하여 획득한 표면 이미지를 통해 디스플레이 패널(112)의 X,Y 좌표 상에 결함 내지 이물질이 어느 위치에 있는지를 산출할 수 있다.
이어, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 비전 제어부(150)가 표면 이미지를 분석하여 틸트(Tilt)를 보정한 후 결함 내지 이물질(Defect)의 위치를 산출한다(S208). 즉, 검사 촬영부(120)는 표면 이미지를 통해 디스플레이 패널(122)의 X,Y 좌표 상에 위치한 결함 내지 이물질의 위치를 산출하는 것이다.
이어, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 비전 제어부(150)가 촬영거리 산출부(140)를 통해 검사 촬영부(120)로부터 디스플레이 패널(112)의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 산출한다(S210).
이때, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 비전 제어부(150)가 촬영거리 산출부(140)를 통해 검사 촬영부(120)로부터 디스플레이 패널(112)의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 레이저(Laser) 방식, 프로브(Probe) 방식, 포토 방식을 포함하는 각종 변위센서를 이용하여 산출할 수 있다.
또한, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 비전 제어부(150)가 표면 이미지를 분석하여 산출한 결함 내지 이물질(Defect)의 위치로 검사 촬영부(120)를 이동시키고, 촬영거리 산출부(140)를 통해 검사 촬영부(120)로부터 디스플레이 패널(112)의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 산출할 수 있다.
이때, 디스플레이 패널(122)은 도 4에 도시된 바와 같이 제1층(Layer 1)으로부터 제2층(Layer 2) 내지 제n층(Layer n)으로 이루어져 있으며, 패널정보 메모리(160)는 디스플레이 패널(112)의 제1층으로부터 제n층까지의 각 층간 두께 정보를 포함한 각 층간 정보를 저장하고 있다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널의 각 층 구조의 한 예를 나타낸 도면이다. 따라서, 검사 촬영부(120)는 외부 이물질과 내부 이물질을 구분하기 위해서 각 층마다 포커스를 맞추어 이물질을 검출하게 된다. 즉, 상부 보호필름으로부터 일정 간격을 두고 하부 보호필름까지 포커싱을 하며 그랩(Grap)하여 각 층 간격마다 내려갈 때 포커스가 잡히면, 그 이물질이 포커스가 잡힌 그 층에 존재하는 것으로 판단하게 되며 나머지 이물질은 아웃 포커싱하게 된다. 여기서, 디스플레이 패널(112)의 복층 구조는 도 4에 도시된 구조 이외에 다른 복층 구조로 구현할 수 있다.
이어, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 비전 제어부(150)가 기본 베이스 거리에 근거해 검사 촬영부(120)의 카메라 촛점 거리를 이용하여 도 5에 도시된 바와 같이 포커싱하여 디스플레이 패널(112)의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하고, 검사 촬영부(120)를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득한다(S212). 도 5는 본 발명의 실시예에 따라 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하는 예를 나타낸 도면이다.
즉, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 비전 제어부(150)가 기본 베이스 거리에 근거해, 검사 촬영부(120)의 카메라 촛점 거리를 위한 렌즈의 심도(DOF:Depth Of Field)를 이용하여 포커싱하여 디스플레이 패널(112)의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 검사 촬영부(120)를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득한다.
이때, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 비전 제어부(150)가 도 4에 도시된 바와 같이 디스플레이 패널(112)의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보를 이용하여, 기본 베이스 거리에 근거해 검사 촬영부(120)의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널(112)의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 검사 촬영부(120)를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득할 수 있다. 이에 대해서는 도 6 및 도 7을 통해 상세하게 설명한다.
이어, 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는, 비전 제어부(150)가 각 표면 이미지를 분석하여 결함 내지 이물질(Defect)이 X축과 Y축 및 어느 계층에 위치해 있는지를 판별한다(S214).
따라서, 다층 구조의 액정 디스플레이 패널에 대해 비전 카메라를 통해 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 디스플레이 패널의 X,Y 좌표의 어느 부분에 위치해 있으며, 또한 어느 층에 위치해 있는지 빠른 시간 내에 정확히 구별해 낼 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치에서 비전 제어부가 디스플레이 패널의 각 층 표면 이미지를 분석하여 불량 상태를 판단하는 예를 나타낸 처리 흐름도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치(100)는 검사 촬영부(110)가 기본 베이스 거리에 근거해 심도(DOF)를 이용하여 카메라의 초점 거리를 디스플레이 패널(112)의 제2 계층(Layer 2)으로 조정한다(S610).
여기서, 심도(DOF)는 다음 수학식1에 따라 카메라로부터 화상이 선명하게 찍힌 구간의 종료부분까지의 거리(Far limit of acceptable sharpness:Df)에서 카메라로부터 화상이 선명하게 찍힌 구간의 시작부분까지의 거리(Near limit of acceptable sharpness:Dn)를 뺀 값을 나타내며, 예를 들면, 도 7에 도시된 바와 같이 검사 촬영부(110)의 카메라로부터 제2 계층의 표면 이미지가 찍히는 구간의 종료부분까지의 거리(Df)에서 카메라로부터 제2 계층의 표면 이미지가 찍히는 구간의 시작부분까지의 거리(Dn)를 뺀 거리값을 나타낸다. 여기서, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 복층 디스플레이 패널 검사 장치에서 검사 촬영부의 카메라 초점 거리를 이용하여 심도를 산출하는 예를 나타낸 도면이다.
Figure pat00001
이때, 비전 제어부(150)는 카메라로부터 화상이 선명하게 찍힌 구간의 종료부분까지의 거리 Df(Far Distance)를 다음 수학식 2에 따라 산출한다.
Figure pat00002
여기서, s는 초점이 맞은 지점까지의 거리(focus distance)를 나타내고, H는 Df가 무한대가 되는 초점거리의 최소값을 나타내며, f는 렌즈의 초점거리(focal length)를 나타낸다.
또한, 비전 제어부(150)는 카메라로부터 화상이 선명하게 찍힌 구간의 시작부분까지의 거리 Dn(Near Distance)을 다음 수학식 3에 따라 산출한다.
Figure pat00003
이때, 비전 제어부(150)는 Df가 무한대가 되는 초점거리의 최소값 H를 다음 수학식 4에 따라 산출한다.
Figure pat00004
여기서, N은 조리개(f-number)를 나타내고, c는 이미지가 선명하게 보이기 위한 착락원의 크기(CoC:Circle of Confusion diameter limit)를 나타낸다.
따라서, 심도(DOF)는 초점이 맞은 지점까지의 거리(s)의 제곱에 비례하고, 조리개(N)와 반비례하며, 렌즈의 초점거리(f)의 제곱에 반비례하며, 이미지가 선명하게 보이기 위한 착락원의 크기(c)가 커지면 깊어지는 것을 알 수 있다.
이어, 검사 촬영부(110)가 카메라를 통해 디스플레이 패널(112)의 제2 계층(Layer 2)에 대한 표면 이미지를 획득하면, 비전 제어부(150)가 그 표면 이미지에 대한 영역 경계의 특징값을 추출한다(S620).
이어, 비전 제어부(150)는 제2 계층의 표면 이미지에 대한 영역 경계의 특징값이 임계값보다 큰 경우(S630-예), 특이점들의 군집 특성값으로 분류한다(S640). 즉, 제2 계층의 표면 이미지에 대해 각 화소들마다 명암값들을 판단하여, 대부분을 차지하고 있는 임계 명암값보다 큰 화소들(이물질 등)을 특이점들의 군집 특성값으로 분류하는 것이다. 다시 말해, 각 화소들의 거리 및 밀도를 계산하여 이물질을 이루는 군집의 특성(영역의 크기, 평균 밝기와 주변 밝기의 차)을 이용하여 특징값을 추출하고 분류하는 것을 의미한다.
이어, 비전 제어부(150)는 군집 특성값으로 분류된 픽셀 집합의 외곽 크기가 기준보다 큰 경우(S650-예), 제2 계층에 이물질이 있거나 불량 상태임을 화면 상에 디스플레이한다(S660).
즉, 군집 특성값으로 분류된 픽셀 집합의 외곽 크기가 이물질로 규정하는 기준 크기보다 더 큰 경우에, 비전 제어부(150)는 해당 제2 계층에 이물질이 있거나 불량 상태임을 화면 상에 디스플레이하여 검사자로 하여금 인식할 수 있도록 하는 것이다.
전술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 다층 구조의 액정 디스플레이 패널에 대해 비전 카메라를 통해 촬영하여 결함이나 불량 상태, 이물질 등을 검출할 때 해당 액정 디스플레이 패널의 어느 위치와 어느 계층에서 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 검출되는지를 명확히 인식할 수 있도록 된, 복층 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법을 실현할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
본 발명은 다층 구조의 액정 디스플레이 패널에 대해 비전 카메라를 통해 촬영하여 결함이나 불량 상태, 이물질 등을 검출할 때 해당 액정 디스플레이 패널의 어느 위치와 어느 계층에서 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 검출되는지를 명확히 인식할 수 있도록 된, 복층 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법에 적용할 수 있다.
100 : 복층 디스플레이패널 검사장치 110 : 검사 테이블
120 : 검사 촬영부 130 : 제어부
140 : 촬영거리 산출부 150 : 비전 제어부
160 : 패널정보 메모리

Claims (12)

  1. 소정 제어신호에 따라 다층 구조의 디스플레이 패널을 정렬시키는 검사 테이블;
    상기 검사 테이블에 정렬된 디스플레이 패널의 전면을 카메라를 통해 촬영하여 표면 이미지를 획득하는 검사 촬영부;
    상기 검사 테이블에 안치된 디스플레이 패널을 정렬시키기 위한 소정 제어신호를 발생시켜 상기 검사 테이블에 전달하거나, 상기 검사 촬영부가 디스플레이 패널을 촬영할 수 있도록 상기 검사 테이블을 X축 및 Y축으로 이동시키거나 회전시키는 제어부;
    상기 검사 촬영부로부터 상기 다층 구조의 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스(base) 거리를 산출하는 촬영거리 산출부; 및
    상기 검사 촬영부를 X축 및 Y축으로 이동시켜 상기 검사 테이블에 정렬된 다층 구조의 디스플레이 패널을 촬영하여 표면 이미지를 획득하되, 상기 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하고, 각 표면 이미지를 분석하여 결함 내지 이물질(Defect)이 X축과 Y축 및 어느 계층에 위치해 있는지를 판별하는 비전 제어부;
    를 포함하는 복층 디스플레이 패널 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 비전 제어부는, 상기 검사 촬영부를 상하 수직으로 이동시켜 디스플레이 패널을 촬영할 때, 상기 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 획득하여, 이 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 각 계층의 표면 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 복층 디스플레이 패널 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 촬영거리 산출부는, 상기 검사 촬영부로부터 상기 디스플레이 패널의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 레이저(Laser) 방식, 프로브(Probe) 방식, 포토 방식을 포함하는 각종 변위센서를 이용하여 산출하는 것을 특징으로 하는 복층 디스플레이 패널 검사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보를 저장하고 있는 패널정보 메모리;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복층 디스플레이 패널 검사 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 비전 제어부는, 상기 패널정보 메모리에 저장되어 있는 상기 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보와, 상기 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층까지의 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 통해 구분하는 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층 간 정보를 이용하여, 각 계층마다 검사 촬영부를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 복층 디스플레이 패널 검사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 비전 제어부는, 상기 각 계층의 표면 이미지에 대한 영역 경계의 특징값을 추출하고, 추출한 영역 경계의 특징값이 임계값보다 큰 경우, 특이점들의 군집 특성값으로 분류하며, 군집 특성값으로 분류된 픽셀 집합의 외곽 크기가 기준보다 큰 경우, 해당 계층에 이물질이 있거나 불량 상태임을 화면 상에 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 복층 디스플레이 패널 검사 장치.
  7. 검사 촬영부와 검사 테이블, 제어부, 촬영거리 산출부 및 비전 제어부를 포함하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법으로서,
    (a) 상기 제어부의 소정 제어신호에 따라 상기 검사 테이블이 다층 구조의 디스플레이 패널을 정렬시키는 단계;
    (b) 상기 검사 촬영부가 디스플레이 패널을 촬영할 수 있도록 상기 검사 촬영부 또는 상기 검사 테이블을 이동시켜 일치시키는 단계;
    (c) 상기 검사 촬영부가 상기 검사 테이블에 정렬된 디스플레이 패널의 전면을 카메라를 통해 촬영하여 표면 이미지를 획득하는 단계;
    (d) 상기 비전 제어부가 상기 표면 이미지를 분석하여 결함 내지 이물질(Defect)의 위치를 산출하는 단계;
    (e) 상기 비전 제어부가 상기 촬영거리 산출부를 통해 상기 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 산출하는 단계;
    (f) 상기 비전 제어부가 상기 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하고, 상기 검사 촬영부를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득하는 단계; 및
    (g) 상기 비전 제어부가 상기 각 표면 이미지를 분석하여 결함 내지 이물질(Defect)이 X축과 Y축 및 어느 계층에 위치해 있는지를 판별하는 단계;
    를 포함하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 (e) 단계는, 상기 비전 제어부가 상기 촬영거리 산출부를 통해 상기 검사 촬영부로부터 상기 디스플레이 패널의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 레이저(Laser) 방식, 프로브(Probe) 방식, 포토 방식을 포함하는 각종 변위센서를 이용하여 산출하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 (e) 단계는, 상기 비전 제어부가 상기 표면 이미지를 분석하여 산출한 결함 내지 이물질(Defect)의 위치로 상기 검사 촬영부를 이동시키고, 상기 촬영거리 산출부를 통해 상기 검사 촬영부로부터 디스플레이 패널의 제1 계층까지의 기본 베이스 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 (f) 단계는, 상기 비전 제어부가 상기 기본 베이스 거리에 근거해, 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 위한 렌즈의 DOF(Depth Of Field)를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 상기 검사 촬영부를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 (f) 단계는, 상기 비전 제어부가 상기 디스플레이 패널의 최상위 제1 계층으로부터 제2 계층 내지 제n 계층까지 각 계층 간 거리에 관한 정보를 이용하여 상기 기본 베이스 거리에 근거해 상기 검사 촬영부의 카메라 촛점 거리를 이용하여 디스플레이 패널의 제2 계층 내지 제n 계층을 구분하여 상기 검사 촬영부를 통해 각 계층의 표면 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 (g) 단계는, 상기 각 계층의 표면 이미지에 대한 영역 경계의 특징값을 추출하고, 추출한 영역 경계의 특징값이 임계값보다 큰 경우, 특이점들의 군집 특성값으로 분류하며, 군집 특성값으로 분류된 픽셀 집합의 외곽 크기가 기준보다 큰 경우, 해당 계층에 이물질이 있거나 불량 상태임을 화면 상에 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 복층 디스플레이 패널 검사 방법.
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KR20170121464A (ko) 2016-04-25 2017-11-02 동우 화인켐 주식회사 기판 상의 결함을 검사하는 방법 및 장치
KR102170352B1 (ko) * 2020-05-07 2020-10-27 이태희 인쇄회로기판의 홀 검사 장치 및 방법

Cited By (4)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9488598B2 (en) 2014-06-02 2016-11-08 Samsung Display Co., Ltd. Inspecting apparatus for inspecting a multilayer structure
KR20160095515A (ko) 2015-02-03 2016-08-11 연세대학교 산학협력단 결함 분포 3차원 광 계측 장치 및 방법
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