CN110919695A - 机械手臂 - Google Patents

Abstract

本申请提出了一种机械手臂，包括机械手臂本体及位于所述机械手臂本体上的至少一垫板。该垫板包括：基座，支撑件以及反角构件。其中，支撑件以及反角构件均位于基座上，基座内设置有至少一用于输送气体的第一通道，反角构件用于将来自第一通道的气体输送至支撑件。本申请通过反角构件和支撑件的配合设置，将来自第一通道的气体输送至支撑件以冷却支撑件，防止了所述机械手臂在搬运完高温制程的产品后，由于冷却不及时，在搬运非高温制程的产品时，导致该非高温制程产品的损坏，提高了产品良率。

Description

机械手臂

技术领域

本申请涉及机械技术领域，尤其涉及一种机械手臂。

背景技术

随着现代制造业的机械化和自动化，大量的机械手臂被投入使用，用于将一道制程完成后的产品搬运至下一道制程的生产线。

现有的显示面板的生产中，需要机械手臂在搬运完经过高温制程的产品后搬运经过非高温制程的产品。机械手臂的冷却不及时，将导致其搬运的非高温制程的产品存在显示缺陷，产品良率降低。

因此，亟需一种新的机械手臂以解决上述技术问题。

发明内容

本申请提供了一种机械手臂，用于解决现有的机械手臂在搬运完经过高温制程的产品后，由于冷却不及时导致的对其后搬运的非高温制程产品造成损伤的问题。

为了解决上述技术问题，本申请提供的技术方案如下：

本申请提出了一种机械手臂，包括机械手臂本体及位于所述机械手臂本体上的至少一垫板，所述垫板包括：

基座，至少包括第一子基座及第二子基座，所述基座内设置有至少一个用于输送气体的第一通道；

位于所述基座上的支撑件，至少包括位于所述第一子基座上的第一支撑件、以及位于所述第二子基座上的第二支撑件；

位于所述基座上的反角构件，至少包括第一反角构件以及第二反角构件，所述第一反角构件靠近所述第一支撑件设置，所述第二反角构件靠近所述第二支撑件设置；

所述第一反角构件用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件或所述第二支撑件，所述第二反角构件用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件或所述第一支撑件。

本申请提供的机械手臂中，所述第一支撑件至少包括第一弧面，所述第一弧面位于所述第一支撑件靠近所述第二支撑件的一侧；

所述第二支撑件至少包括第二弧面，所述第二弧面位于所述第二支撑件靠近所述第一支撑件的一侧。

本申请提供的机械手臂中，所述基座还包括第三子基座，所述第三子基座位于所述第一子基座与所述第二子基座之间；

其中，当所述第一反角构件位于所述第三子基座上时，所述第二反角构件位于所述第三子基座上；

当所述第一反角构件位于所述第一子基座上时，所述第二反角构件位于所述第二子基座上。

本申请提供的机械手臂中，当所述第一反角构件位于所述第一子基座上时，所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件；

当所述第一反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件；或者，

所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件。

本申请提供的机械手臂中，所述第一弧面包括至少一第一沟道，所述第二弧面包括至少一第二沟道；

所述第一沟道及所述第二沟道用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件和所述第二支撑件。

本申请提供的机械手臂中，所述基座内还设置有至少一用于输送气体的第二通道，所述第二通道位于所述第三子基座内。

本申请提供的机械手臂中，当所述反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一反角构件包括至少一第一滑块，所述第一滑块位于所述第一反角构件远离所述第一子基座的一侧；

所述第二反角构件包括至少一第二滑块，所述第二滑块位于所述第二反角构件远离所述第二子基座的一侧；

其中，所述第一滑块和所述第二滑块的组合物包括至少一第一开口，所述第一开口位于所述第二通道上；

所述第一开口的直径小于或等于所述第二通道的内径。

本申请提供的机械手臂中，当所述反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一反角构件至少包括一第一通路，所述第一通路自所述第一反角构件靠近所述第一子基座的一侧延伸至所述第一反角构件远离所述第三子基座的一侧；

所述第二反角构件至少包括第二通路，所述第二通路自所述第二反角构件靠近所述第二子基座的一侧延伸至所述第一反角构件远离所述第三子基座的一侧。

本申请提供的机械手臂中，所述第一通路位于所述第一反角构件靠近所述第一子基座的一侧设置有第一阀门，所述第一阀门用于调节流经所述第一通路的气体的流量；

所述第二通路位于所述第二反角构件靠近所述第二子基座的一侧设置有第二阀门，所述第二阀门用于调节流经所述第二通路的气体的流量。

本申请提供的机械手臂中，所述第一支撑件在所述第一子基座上间隔设置或/和所述第二支撑件在所述第二子基座上间隔设置；

当所述第一支撑件和所述第二支撑件都间隔设置时，至少存在一所述第一支撑件和一所述第二支撑件交错设置。

有益效果：本申请通过反角构件和支撑件的配合设置，将来自第一通道的气体输送至支撑件以冷却支撑件，防止了所述机械手臂在搬运完高温制程的产品后，由于冷却不及时，在搬运非高温制程的产品时，导致该非高温制程产品的损坏，提高了产品良率。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本申请机械手臂的示意图。

图2为本申请机械手臂的垫板沿AA’截面的第一种剖视图。

图3为本申请机械手臂的垫板沿AA’截面的第二种剖视图。

图4为本申请机械手臂的垫板沿AA’截面的第三种剖视图。

图5为本申请机械手臂的垫板沿AA’截面的第四种剖视图。

图6为本申请机械手臂的垫板沿AA’截面的第五种剖视图。

图7为本申请机械手臂的垫板沿AA’截面的第六种剖视图。

图8为本申请机械手臂的垫板沿AA’截面的第七种剖视图。

图9为本申请机械手臂的垫板的第一种俯视图。

图10为本申请机械手臂的垫板的第二种俯视图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

现有的机械手臂在搬运完高温制程的产品后，由于冷却不及时，会导致其在搬运非高温制程的产品时造成产品损坏的问题。基于此，本申请提出了一种机械手臂。

请参阅图1～图10，所述机械手臂100包括机械手臂本体101及位于所述机械手臂本体101上的至少一垫板102。

所述垫板102包括：基座103，位于所述基座103上的支撑件104以及反角构件105。

其中，所述基座103至少包括第一子基座106及第二子基座107，所述基座103内设置有至少一个用于输送气体的第一通道114。

所述支撑件104至少包括位于所述第一子基座106上的第一支撑件108、以及位于所述第二子基座107上的第二支撑件109。

所述反角构件105至少包括第一反角构件110以及第二反角构件111，所述第一反角构件110及第二反角构件111位于所述第一支撑件108与所述第二支撑件109之间，所述第一反角构件110靠近所述第一支撑件108设置，所述第二反角构件111靠近所述第二支撑件109设置。

所述第一反角构件110用于将来自所述第一通道114内的气体输送至所述第一支撑件108或所述第二支撑件109，所述第二反角构件111用于将来自所述第一道内的气体输送至所述第二支撑件109或所述第一支撑件108。

本实施例中，所述基座103的各子基座在所述基座103远离所述支撑件104的一侧可以相连接。

本实施例中，所述支撑件104的材料可以选用如聚乙烯材料之类的耐高温、耐磨损、散热快、防腐蚀以及放灰尘的材料，在此不作具体限定。

本实施例中，所述机械手臂本体101可以包括吸/破真空装置，用于形成所述机械手臂本体101和所述垫板102的压强差，使所述第一通道114内的气体具有一定的流速。

本实施例中，所述垫板的形状可以是圆柱形、长方体形或其他形状，在此不作具体限定。

本实施例中，所述第一通道114内的气体可以是经过除尘处理的空气。

本申请通过所述反角构件105和所述支撑件104的配合设置，将来自所述第一通道114的气体输送至支撑件104，用于冷却所述支撑件104，防止了所述机械手臂100在搬运完高温制程的产品后，由于冷却不及时，在搬运非高温制程的产品时，导致该非高温制程产品的损坏，提高了产品良率。

现结合具体实施例对本申请的技术方案进行描述。

实施例一

请参阅图2，所述第一支撑件108至少包括第一弧面112，所述第一弧面112位于所述第一支撑件108靠近所述第二支撑件109的一侧。

所述第二支撑件109至少包括第二弧面113，所述第二弧面113位于所述第二支撑件109靠近所述第一支撑件108的一侧。

本实施例中，当所述第一反角构件110位于所述第一子基座106上时，所述第二反角构件111位于所述第二子基座107上。

所述第一弧面112用于将来自所述第一通道114的气体输送至所述第二支撑件109，所述第二弧面113用于将来自所述第一通道114的气体输送至所述第一支撑件108。

本实施例中，所述第一弧面112可以为朝向所述第二支撑件109的凸面。

本实施例中，所述第二弧面113可以为朝向所述第一支撑件108的凸面。

本实施例中，所述第一弧面112和所述第二弧面113的弧度由所述反角构件105靠近所述第一通道114的一侧与所述基座103形成的夹角的大小以及所述支撑件104的厚度决定，在此不作具体限定。

本实施例中，所述反角构件105可以和所述基座103一体设置。

本实施例将所述第一反角构件110和所述第二反角构件111分别设置在所述第一子基座106和所述第二子基座107上，在所述第一弧面112和所述第二弧面113的辅助下，通过所述第一反角构件110将所述第一通道114内的气体传送至第二支撑件109，第二反角构件111将所述第一通道114内的气体传送至第一支撑件108，有助于所述支撑件104的及时降温，防止了机械手臂在搬运完高温制程的产品后，由于冷却不及时，在搬运非高温制程的产品时，导致该非高温制程产品的损坏，提高了产品良率。

实施例二

请参阅图3以及图4，本实施例与实施例一相同或相似，不同之处在于：

所述基座103还包括第三子基座127，所述第三子基座127位于所述第一子基座106与所述第二子基座107之间。

本实施例中，当所述第一反角构件110位于所述第三子基座127上时，所述第二反角构件111位于所述第三子基座127上。

本实施例中，所述第一反角构件110可以和所述第二反角构件111同工序、同材料形成，也可以和所述第二反角构件111分别单独形成。

请参阅图3，本实施例中，所述第一弧面112用于将来自所述第一通道114的气体输送至所述第一支撑件108，所述第二弧面113用于将来自所述第一通道114的气体输送至所述第二支撑件109。

所述第一弧面112可以为朝向所述第二支撑件109的凸面。

所述第二弧面113可以为朝向所述第一支撑件108的凸面。

请参阅图4，本实施例中，所述第一弧面112用于将来自所述第一通道114的气体输送至所述第二支撑件109，所述第二弧面113用于将来自所述第一通道114的气体输送至所述第一支撑件108。

所述第一弧面112可以为朝向所述第二支撑件109的凹面。

所述第二弧面113可以为朝向所述第一支撑件108的凹面。

本实施例通过所述第三子基座127的设置，将所述第一通道114一分为二，有利于增大第一通道114内气体的流速，在第一弧面112和第二弧面113的辅助下，通过反角构件105输送至第一支撑件108和第二支撑件109的气体更多，有助于提升所述支撑件104的冷却速度。

实施例三

请参阅图9，本实施例与实施例一、实施例二相同或相似，以实施例二为例，本实施例与其不同之处在于：

所述第一弧面112包括至少一第一沟道115，所述第二弧面113包括至少一第二沟道116。

本实施例中，所述第一沟道115及所述第二沟道116用于将来自所述管道内的气体输送至所述第一支撑件108和所述第二支撑件109。

本实施例中，所述第一沟道115和所述第二沟道116可以交错设置。

本实施例中，所述第一沟道115位于所述第一弧面112靠近所述第二弧面113的一侧可以设置有第一盖板125。

本实施例中，所述第二沟道116位于所述第二弧面113靠近所述第一弧面112的一侧可以设置有第二盖板126。

本实施例通过在所述第一弧面112上设置第一沟道115，所述第二弧面113上设置第二沟道116，有利于将来自所述第一通道114并通过反角构件105改变了流动方向的气体集中在沟道内，减少了气体向其他方向的逸散；在沟道上设置盖板，可以进一步减少沟道内气体的逸出量；此外，当所述第一弧面112用于将来自所述第一通道114的气体输送至所述第二支撑件109，所述第二弧面113用于将来自所述第一通道114的气体输送至所述第一支撑件108时，将所述第一沟道115和所述第二沟道116交错设置，避免了输送至所述第一支撑件108的气体和输送至所述第二支撑件109的气体相撞导致的相互抵消，而且有助于部分气体回到所述第一通道114内，增加了输送至所述支撑件的气体量，有助于加速所述支撑件的冷却。

实施例四

请参阅图5，本实施例与前述实施例相同或相似，以实施例二为例，本实施例与其不同之处在于：

所述基座103内还设置有至少一用于输送气体的第二通道117，所述第二通道117位于所述第三子基座127内。

本实施例中，所述第二通道117的内径可以小于所述第一通道114的内径。

本实施例通过在所述第三基座内设置输送气体的第二通道117，用于当气体流速过大时，对通过所述第一通道114的气体进行分流，避免所述机械手臂100本身吸/破真空的速度受到限制，导致所述机械手臂100的使用受到影响；此外，第二通道117内的气体逸出后，受输送至所述第一支撑件108的气体或/和输送至所述第二支撑件109的气体的影响，也会向所述第一支撑件108或/和所述第二支撑件109移动，增加了输送至所述支撑件104的气体量，有助于提升所述支撑件104的冷却速度。

实施例五

请参阅图6，本实施例与前述实施例相同或相似，以实施例四为例，本实施例与其不同之处在于：

当所述反角构件105位于所述第三子基座127上时，所述第一反角构件110包括至少一第一滑块118，所述第一滑块118位于所述第一反角构件110远离所述第一子基座106的一侧。

所述第二反角构件111包括至少一第二滑块119，所述第二滑块119位于所述第二反角构件111远离所述第二子基座107的一侧。

所述第一滑块118和所述第二滑块119包括至少一第一开口124，所述第一开口124位于所述第二通道117上。

本实施例中，所述第一开口124的直径可以小于或等于所述第二通道117的内径。

本实施例中，所述第一滑块118或/和所述第二滑块119可以滑动，用于调节所述第一开口124的直径。

本实施例设置了所述第一滑块118和所述第二滑块119，通过调节所述第一开口124的直径，可以调节来自所述第二通道117内的气体的逸出量，防止所述第二通道117内的气体的逸出量过大、逸出速度过快时，对输送至所述第一支撑件108的气体或/和输送至所述第二支撑件109的气体造成冲击，导致输送至所述支撑件104的气体量的减少。

实施例六

请参阅图7，本实施例与前述实施例相同或相似，以实施例二为例，本实施例与其不同之处在于：

当所述反角构件105位于所述第三子基座127上时，所述第一反角构件110至少包括一第一通路120，所述第一通路120自所述第一反角构件110靠近所述第一子基座106的一侧延伸至所述第一反角构件110远离所述第三子基座127的一侧。

所述第二反角构件111至少包括第二通路121，所述第二通路121自所述第二反角构件111靠近所述第二子基座107的一侧延伸至所述第二反角构件110远离所述第三子基座127的一侧。

本实施例通过在第一反角构件110和所述第二反角构件111上分别设置所述第一通路120和所述第二通路121，部分来自于所述第一通道114内的气体可以通过第一通路120输送至所述第二支撑件109，减少了该部分气体到达所述第二支撑件109需要经过的路程，加快了来自所述第一通道114内的气体到达第二支撑件109的速度并增加了到达所述第二支撑件109的气体的总量，同理，所述第二通路121加速了气体到达所述第一支撑件108的速度并增加了到达所述第一支撑件108的气体的总量；此外，当所述第一通道114内气体流速过大时，所述第一通路120和所述第二通路121可以分流通过所述第一通道114的气体，避免了所述机械手臂100因为本身吸/破真空的速度受到限制，导致所述机械手臂100的使用受到影响。

实施例七

请参阅图8，本实施例与前述实施例相同或相似，以实施例六为例，本实施例与其不同之处在于：

本实施例中，所述第一通路120位于所述第一反角构件110靠近所述第一子基座106的一侧设置有第一阀门122，所述第一阀门122用于调节流经所述第一通路120的气体的流量。

所述第二通路121位于所述第二反角构件111靠近所述第二子基座107的一侧设置有第二阀门123，所述第二阀门123用于调节流经所述第二通路121的气体的流量。

本实施例中，所述机械手臂100还可以包括温度控制装置。

本实施例通过在所述第一通路120和所述第二通路121分别设置所述第一阀门122和所述第二阀门123，对经过所述第一通路120和所述第二通路121的气体的量进行调节，控制到达所述支撑件104的气体的速度和总量，使得所述第一支撑件108和所述第二支撑件109的降温速度保持一致，有利于所述支撑件104的总体冷却速度达到最快。

实施例八

请参阅图10，本实施例与上述各实施例相同或相似，以实施例二为例，本实施例与其不同之处在于：

所述第一支撑件108在所述第一子基座106上间隔设置或/和所述第二支撑件109在所述第二子基座107上间隔设置。

本实施例中，当所述第一支撑件108和所述第二支撑件109都间隔设置时，至少存在一所述第一支撑件108和一所述第二支撑件109交错设置。

本实施例通过将所述第一支撑件108或/和所述第二支撑件109在所述基座103上间隔设置，有利于减少需要气体冷却的所述支撑件104的总量，有利于提高所述支撑件104的冷却速度；当所述第一支撑件108和所述第二支撑件109都间隔设置时，所述第一支撑件108和所述第二支撑件109的交错设置，有利于防止当第一弧面112将来自所述第一通道114的气体输送至所述第二支撑件109，所述第二弧面113将来自所述第一通道114的气体输送至所述第一支撑件108时，来自上述两个方向的气体相互的冲撞、抵消，也有助于部分气体回到所述第一通道114内，增加了输送至所述支撑件104的气体量，有助于加速所述支撑件104的冷却。

上述各实施例中，所述机械手臂100还可以包括流量调节装置。通过流量调节装置对通过所述第一通道114的气体的流速和流量的调节，实现对到达所述支撑件104的气体的总量和速度的调整，有利于达到快速冷却所述支撑件104的目的。

上述各实施例中，所述第一通道114内的气体的温度可以为0～40℃，优选为17～25℃。当所述第一通道114内的气体温度低于0℃时，该气体和所述支撑件104的温差过大，易加速所述支撑件104的老化；当所述第一通道114内的气体温度高于40℃时，该气体和所述支撑件104的温差过小，导致所述支撑件104的冷却速度过慢。当所述第一通道114内的气体温度处于17～25℃范围内时，既不会因为与所述支撑件104的温差过大导致所述支撑件104的老化，也能保证所述支撑件104的快速冷却。

上述各实施例均通过设置在所述基座103上的所述反角构件105，利用位于所述支撑件104上的所述弧面的辅助，将来自所述第一通道114内的气体传输至所述支撑件104，用于冷却支撑件104，防止了机械手臂在搬运完高温制程的产品后，由于冷却不及时，在搬运非高温制程的产品时，导致后一制程产品的损坏，提高了产品良率。

本申请提出了一种机械手臂，包括机械手臂本体及位于所述机械手臂本体上的至少一垫板。该垫板包括：基座，支撑件以及反角构件。其中，支撑件以及反角构件均位于基座上，基座内设置有至少一用于输送气体的第一通道，反角构件用于将来自第一通道的气体输送至支撑件。本申请通过反角构件和支撑件的配合设置，将来自第一通道的气体输送至支撑件以冷却支撑件，防止了所述机械手臂在搬运完高温制程的产品后，由于冷却不及时，在搬运非高温制程的产品时，导致该非高温制程产品的损坏，提高了产品良率。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

以上对本申请实施例所提供的一种机械手臂进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种机械手臂，其特征在于，包括机械手臂本体及位于所述机械手臂本体上的至少一垫板，所述垫板包括：

基座，至少包括第一子基座及第二子基座，所述基座内设置有至少一个用于输送气体的第一通道；

位于所述基座上的支撑件，至少包括位于所述第一子基座上的第一支撑件、以及位于所述第二子基座上的第二支撑件；

位于所述基座上的反角构件，至少包括第一反角构件以及第二反角构件，所述第一反角构件靠近所述第一支撑件设置，所述第二反角构件靠近所述第二支撑件设置；

所述第一反角构件用于将来自所述第一通道内的气体输送至所述第一支撑件或所述第二支撑件，所述第二反角构件用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件或所述第一支撑件。

2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，

所述第一支撑件至少包括第一弧面，所述第一弧面位于所述第一支撑件靠近所述第二支撑件的一侧；

所述第二支撑件至少包括第二弧面，所述第二弧面位于所述第二支撑件靠近所述第一支撑件的一侧。

3.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，

所述基座还包括第三子基座，所述第三子基座位于所述第一子基座与所述第二子基座之间；

其中，当所述第一反角构件位于所述第三子基座上时，所述第二反角构件位于所述第三子基座上；

当所述第一反角构件位于所述第一子基座上时，所述第二反角构件位于所述第二子基座上。

4.根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，

当所述第一反角构件位于所述第一子基座上时，所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件；

当所述第一反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件；或者，

所述第一弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第二支撑件，所述第二弧面用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件。

5.根据权利要求4所述的机械手臂，其特征在于，

所述第一弧面包括至少一第一沟道，所述第二弧面包括至少一第二沟道；

所述第一沟道及所述第二沟道用于将来自所述第一通道的气体输送至所述第一支撑件和所述第二支撑件。

6.根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，

所述基座内还设置有至少一用于输送气体的第二通道，所述第二通道位于所述第三子基座内。

7.根据权利要求6所述的机械手臂，其特征在于，

当所述反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一反角构件包括至少一第一滑块，所述第一滑块位于所述第一反角构件远离所述第一子基座的一侧；

所述第二反角构件包括至少一第二滑块，所述第二滑块位于所述第二反角构件远离所述第二子基座的一侧；

其中，所述第一滑块和所述第二滑块的组合物包括至少一第一开口，所述第一开口位于所述第二通道上；

所述第一开口的直径小于或等于所述第二通道的内径。

8.根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，

当所述反角构件位于所述第三子基座上时，所述第一反角构件至少包括一第一通路，所述第一通路自所述第一反角构件靠近所述第一子基座的一侧延伸至所述第一反角构件远离所述第三子基座的一侧；

所述第二反角构件至少包括第二通路，所述第二通路自所述第二反角构件靠近所述第二子基座的一侧延伸至所述第一反角构件远离所述第三子基座的一侧。

9.根据权利要求8所述的机械手臂，其特征在于，

所述第一通路位于所述第一反角构件靠近所述第一子基座的一侧设置有第一阀门，所述第一阀门用于调节流经所述第一通路的气体的流量；

所述第二通路位于所述第二反角构件靠近所述第二子基座的一侧设置有第二阀门，所述第二阀门用于调节流经所述第二通路的气体的流量。

10.根据权利要求1～9所述的机械手臂，其特征在于，

所述第一支撑件在所述第一子基座上间隔设置或/和所述第二支撑件在所述第二子基座上间隔设置；

当所述第一支撑件和所述第二支撑件都间隔设置时，至少存在一所述第一支撑件和一所述第二支撑件交错设置。

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