CN110792616A - 一种高速小型复合分子泵集成化装配系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,动叶轮组件装配工位包括安装在工作台上的磁环装配装置、鼓筒装配装置等;底座组件装配工位包括径向跳动检测主轴、底座组件装配装置等;泵壳组件装配工位包括测高仪、泵壳组件装配工装等;整机装配工位包括安装整机装配装置等;动叶轮组件装配工位、底座组件装配工位、泵壳组件装配工位、整机装配工位的物料传送导轨上均设置物料存放盒,每个物料存放盒均能够在各自对应的物料传送导轨上移动。本发明用以解决现有技术中对于高速小型复合分子泵的装配而言采用纯手工的分散式的装配工艺的问题,实现满足装配质量稳定性、提高装配效率,实现小型复合分子泵批量化生产的目的。
Description
技术领域
本发明涉及分子泵领域,具体涉及一种高速小型复合分子泵集成化装配系统。
背景技术
高速小型复合分子泵是一种结构复杂、装配精度要求高的精密仪器,主要包括泵壳组件、底座组件、动叶轮组件、球轴承组件和静叶片组件等五个部分,装配完成一台分子泵产品需要将五十多个零件组装起来,由多个装配工序完成。在装配过程中,涉及到多个装配环节,如轴和孔的高精度过盈装配、磁性元件的相互排斥装配、薄壁零件装配、导线焊接等,涉及到多个测量环节,如高度测量、装配同轴度测量、装配等高度测量、回转体的径向跳动测量等。涉及到一个动平衡试验环节,为动叶轮的多面动平衡。
现有技术中,对于高速小型复合分子泵的装配而言,采用纯手工的分散式的装配工艺,其流程极其繁琐,由于涉及的零件和工序较多,经常会出错,需要丰富的装配经验,在实际的操作过程中,很难保证装配的质量稳定性和装配效率,无法实现分子泵产品的批量化生产。为了满足装配质量稳定性,提高装配效率,需要将分子泵装配工序进行集成,为装配操作提供半自动化的装配机构和装置,即需要依据高速小型复合分子泵的装配要求,设计专用的集成化装配装置以满足装配的要求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,以解决现有技术中对于高速小型复合分子泵的装配而言采用纯手工的分散式的装配工艺的问题,实现满足装配质量稳定性、提高装配效率,实现小型复合分子泵批量化生产的目的。
本发明通过下述技术方案实现:
一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,包括依次分布的动叶轮组件装配工位、底座组件装配工位、泵壳组件装配工位、整机装配工位、物料暂存旋转平台,还包括用于使物料在动叶轮组件装配工位、底座组件装配工位、泵壳组件装配工位、整机装配工位、物料暂存旋转平台之间传输的直线传输平台;
所述动叶轮组件装配工位包括安装在工作台上的磁环装配装置、鼓筒装配装置、送料机械手、物料传送导轨;
所述底座组件装配工位包括安装在工作台上的径向跳动检测主轴、底座组件装配装置、送料机械手、物料传送导轨;
所述泵壳组件装配工位包括安装在工作台上的测高仪、泵壳组件装配工装、送料机械手、物料传送导轨;
所述整机装配工位包括安装在工作台上的整机装配装置、轴承组件连接螺钉定力矩预紧螺丝刀、油锥定力矩预紧螺丝、泵壳与底座定力矩预紧螺丝刀、螺钉预紧辅助工装、静叶片校形装置;
所述动叶轮组件装配工位、底座组件装配工位、泵壳组件装配工位、整机装配工位的物料传送导轨上均设置物料存放盒,每个物料存放盒均能够在各自对应的物料传送导轨上移动。
针对现有技术中对于高速小型复合分子泵的装配而言采用纯手工的分散式的装配工艺的问题,本发明提出一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,动叶轮组件装配工位、底座组件装配工位、泵壳组件装配工位、整机装配工位、物料暂存旋转平台依次并排分布,并且通过直线传输平台使物料在动叶轮组件装配工位、底座组件装配工位、泵壳组件装配工位、整机装配工位、物料暂存旋转平台之间传输。其中动叶轮组件装配工位包括安装在工作台上的磁环装配装置、鼓筒装配装置、送料机械手、物料传送导轨,所述磁环装配装置用于装配小型复合分子泵的磁环、鼓筒装配装置用于装配小型复合分子泵的鼓筒,其上的送料机械手用于实现物料在直线传输平台与动叶轮组件装配工位上的物料传送导轨之间的转运。底座组件装配工位包括安装在工作台上的径向跳动检测主轴、底座组件装配装置、送料机械手、物料传送导轨;其中径向跳动检测主轴为现有技术,底座组件装配装置用于装配小型复合分子泵的底座组件,其上的送料机械手用于实现物料在直线传输平台与底座组件装配工位上的物料传送导轨之间的转运。泵壳组件装配工位包括安装在工作台上的测高仪、泵壳组件装配工装、送料机械手、物料传送导轨;其中测高仪用于测量被装配工件的高度,泵壳组件装配工装用于装配小型复合分子泵的泵壳组件,其上的送料机械手用于实现物料在直线传输平台与泵壳组件装配工位上的物料传送导轨之间的转运。整机装配工位包括安装在工作台上的整机装配装置、轴承组件连接螺钉定力矩预紧螺丝刀、油锥定力矩预紧螺丝、泵壳与底座定力矩预紧螺丝刀、螺钉预紧辅助工装、静叶片校形装置;其中整机装配装置用于整体装配,轴承组件连接螺钉定力矩预紧螺丝刀用于拧紧轴承组件连接螺钉,油锥定力矩预紧螺丝用于拧紧油锥,泵壳与底座定力矩预紧螺丝刀用于拧紧泵壳与底座,静叶片校形装置用于对小型复合分子泵的叶片进行校形。本申请通过直线传输平台,实现分子泵零部件在各工位间的自动传送,实现了分子泵的多工位并行装配,较手动装配提高了装配效率;本申请能够实现设定压装力的压力装配和设定预紧力的螺纹预紧,较手动装配提高了装配质量稳定性;本申请能够实现物料的自动传送。本发明可以广泛应用于分子泵产品的批量化生产,具有较为广阔的应用前景。为申请人所承担的国家科技部重大仪器开发专项项目《高速小型复合分子泵的开发和应用》提供有力支撑。
进一步的,所述动叶轮组件装配工位、底座组件装配工位、泵壳组件装配工位、整机装配工位上还设置显示屏支架、直线传输机构安装板,所述显示屏支架上固定LED显示屏,所述直线传输机构安装板用于为直线传输平台提供安装工位。
进一步的,所述直线传输平台包括电动直线模组,所述电动直线模组固定在动叶轮组件装配工位,底座组件装配工位,泵壳组件装配工位、整机装配工位的侧面,直线传送平板安装在电动直线模组上并可进行直线往复运动,直线传送平板上固定一个物料存放盒。
进一步的,所述物料暂存旋转平台包括载物台、固定在载物台上的电动旋转台,所述电动旋转台上设置旋转机械手;所述载物台上还设置存放台,所述存放台上设置若干物料存放盒。
进一步的,所述磁环装配装置、鼓筒装配装置、底座组件装配装置、整机装配装置均包括零件安装底盘,零件安装底盘上固定支撑筒,所述支撑筒的相对两侧面分别安装安全光幕发射器、安全光幕接收器;顶盖固定在支撑筒上端面,直线驱动器通过倍力气缸安装板固定在顶盖上;所述直线驱动器的神缩端朝下,压入头固定在直线驱动器的伸缩杆,导向轴承固定在顶盖上,导向杆穿入导向轴承并固定在压入头上。
进一步的,所述静叶片校形装置包括C形支撑架、驱动安装板,驱动装置,校形头、静叶片放置筒,所述驱动装置通过驱动安装板固定在C形支撑架的上端面,校形头安装在驱动装置输出端前端,静叶片放置筒固定在C形支撑架底部上端面。
进一步的,所述驱动装置为气缸、旋转电机、直线电机中的任意一种。
进一步的,所述直线驱动器为气缸、旋转电机、直线电机中的任意一种。
进一步的,所述动叶轮组件装配工位、底座组件装配工位、泵壳组件装配工位、整机装配工位均包括控制柜,所述控制柜放置在控制柜支架上,所述控制柜支架固定在工作台上。
进一步的,所述工作台包括四个支腿,所述支腿高度可调。
本发明与现有技术相比,具有如下的优点和有益效果:
本发明一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,通过直线传输平台,实现分子泵零部件在各工位间的自动传送,实现了分子泵的多工位并行装配,较手动装配提高了装配效率;本申请能够实现设定压装力的压力装配和设定预紧力的螺纹预紧,较手动装配提高了装配质量稳定性;本申请能够实现物料的自动传送。本发明可以广泛应用于分子泵产品的批量化生产,具有较为广阔的应用前景。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解,构成本申请的一部分,并不构成对本发明实施例的限定。在附图中:
图1为本发明具体实施例的主视图;
图2为本发明具体实施例的俯视图;
图3为本发明具体实施例的动叶轮组件装配工位主视图;
图4为本发明具体实施例的动叶轮组件装配工位的俯视图;
图5为本发明具体实施例的底座组件装配工位主视图;
图6为本发明具体实施例的底座组件装配工位俯视图;
图7为本发明具体实施例的泵壳组件装配工位主视图;
图8为本发明具体实施例的泵壳组件装配工位俯视图;
图9为本发明具体实施例的整机装配工位主视图;
图10为本发明具体实施例的整机装配工位俯视图;
图11为本发明具体实施例的物料暂存旋转平台和直线传输平台的主视图;
图12为本发明具体实施例的物料暂存旋转平台和直线传输平台的俯视图;
图13为本发明具体实施例的磁环装配装置的主视图;
图14为本发明具体实施例的静叶片校形装置的侧视图。
附图中标记及对应的零部件名称:
1-动叶轮组件装配工位,2-底座组件装配工位,3-泵壳组件装配工位,4-整机装配工位,5-物料暂存旋转平台,6-直线传输平台,7-支腿,8-工作台,9-控制柜支架,10-显示屏支架,11-磁环装配装置,12-LED显示屏,13-鼓筒装配装置,14-动叶轮组件装配工位控制按钮盒,15-控制柜,16-送料机械手,17-物料传送导轨,18-直线传输机构安装板,19-径向跳动检测主轴,20-底座组件装配装置,21-底座组件装配工位控制按钮盒,22-测高仪,23-泵壳组件装配工装,24-泵壳组件装配工位控制按钮盒,25-整机装配工位控制按钮盒,26-整机装配装置,27-轴承组件连接螺钉定力矩预紧螺丝刀,28-油锥定力矩预紧螺丝刀,29-泵壳与底座定力矩预紧螺丝刀,30-螺钉预紧辅助工装,31-静叶片校形装置,32-载物台,33-电动直线模组,34-直线传送平板,36-电动旋转台,37-旋转机械手,38-存放台,39-物料存放盒,40-安装底盘,41-支撑筒,42-安全光幕发射器,43-光幕安装板,44-顶盖,45-压入头,46-导向轴承,47-直线驱动器,48-导向杆,49-气缸安装板,50-安全光幕接收器,51-带安装止口的工作台局部,52-C形支撑架,53-驱动安装板,54-驱动装置,55-校形头,56-静叶片放置筒。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下面结合实施例和附图,对本发明作进一步的详细说明,本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明,并不作为对本发明的限定。
实施例1:
一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,包括依次分布的动叶轮组件装配工位1、底座组件装配工位2、泵壳组件装配工位3、整机装配工位4、物料暂存旋转平台5,还包括用于使物料在动叶轮组件装配工位1、底座组件装配工位2、泵壳组件装配工位3、整机装配工位4、物料暂存旋转平台5之间传输的直线传输平台6;所述动叶轮组件装配工位1包括安装在工作台8上的磁环装配装置11、鼓筒装配装置13、送料机械手16、物料传送导轨17;所述底座组件装配工位2包括安装在工作台8上的径向跳动检测主轴19、底座组件装配装置20、送料机械手16、物料传送导轨17;所述泵壳组件装配工位3包括安装在工作台8上的测高仪22、泵壳组件装配工装23、送料机械手16、物料传送导轨17;所述整机装配工位4包括安装在工作台8上的整机装配装置26、轴承组件连接螺钉定力矩预紧螺丝刀27、油锥定力矩预紧螺丝28、泵壳与底座定力矩预紧螺丝刀29、螺钉预紧辅助工装30、静叶片校形装置31;所述动叶轮组件装配工位1、底座组件装配工位2、泵壳组件装配工位3、整机装配工位4的物料传送导轨17上均设置物料存放盒39,每个物料存放盒39均能够在各自对应的物料传送导轨17上移动。
实施例2:
一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,如图1、图2所示,整个系统包括动叶轮组件装配工位1,底座组件装配工位2,泵壳组件装配工位3,整机装配工位4,物料暂存旋转平台5和直线传输平台6,其中动叶轮组件装配工位1,底座组件装配工位2,泵壳组件装配工位3,整机装配工位4和物料暂存旋转平台5并排在一起,直线传输平台6固定在底座组件装配工位2,泵壳组件装配工位3和整机装配工位4的侧后方,与物料暂存旋转平台5共同构成了自动传送平台。装置的整体布局为L形。
如图3、图4所示,所述的动叶轮组件装配工位1中,四个支腿7连接在工作台8的下端面四个角上,高度可调节,控制柜支架9与工作台6固定连接,控制柜15放置在控制柜支架9上,显示屏支架10与工作台8固定连接,磁环装配装置11固定在工作台8台面上,LED显示屏12悬挂在显示屏支架10上,鼓筒装配装置13固定在工作台8台面上,动叶轮组件装配工位控制按钮盒14固定在工作台8台面上,送料机械手16固定在工作台8台面上,物料传送导轨17固定在工作台8台面上,物料存放盒39水平放置在物料传送导轨17上并可以前后移动,直线传输机构安装板18固定在工作台8侧面。
如图5、图6所示,底座组件装配工位2中,四个支腿7连接在工作台8的下端面四个角上,高度可调节,控制柜支架9与工作台6固定连接,控制柜15放置在控制柜支架9上,显示屏支架10与工作台8固定连接,径向跳动检测主轴19固定在工作台8台面上,LED显示屏12悬挂在显示屏支架10上,底座组件装配装置20固定在工作台8台面上,底座组件装配工位控制按钮盒21固定在工作台8台面上,送料机械手16固定在工作台8台面上,物料传送导轨17固定在工作台8台面上,物料存放盒39水平放置在物料传送导轨17上并可以前后移动,直线传输机构安装板18固定在工作台8侧面。
如图7、图8所示,泵壳组件装配工位3中,四个支腿7连接在工作台8的下端面四个角上,高度可调节,控制柜支架9与工作台6固定连接,控制柜15放置在控制柜支架9上,显示屏支架10与工作台8固定连接,测高仪22直接放置在工作台8台面上,LED显示屏12悬挂在显示屏支架10上,泵壳组件装配工装23固定在工作台8台面上,泵壳组件装配工位控制按钮盒24固定在工作台8台面上,送料机械手16固定在工作台8台面上,物料传送导轨17固定在工作台8台面上,物料存放盒39水平放置在物料传送导轨17上并可以前后移动,直线传输机构安装板18固定在工作台8侧面。
如图9、图10所示,所述的整机装配工位4中,四个支腿7连接在工作台8的下端面四个角上,高度可调节,控制柜支架9与工作台6固定连接,控制柜15放置在控制柜支架9上,显示屏支架10与工作台8固定连接,整机装配装置26固定在工作台8台面上,LED显示屏12悬挂在显示屏支架10上,轴承组件连接螺钉定力矩预紧螺丝刀27,油锥定力矩预紧螺丝28和泵壳与底座定力矩预紧螺丝刀29悬挂在显示屏支架10上,螺钉预紧辅助工装30固定在工作台8台面上,静叶片校形装置31固定在工作台8台面上,整机装配工位控制按钮盒25固定在工作台台面上,直线传输机构安装板18固定在工作台8侧面。
如图11、图12所示,所述的自动传送平台中,电动直线模组33通过四个直线传输机构安装板18固定在动叶轮组件装配工位1、底座组件装配工位2、泵壳组件装配工位3和整机装配工位4的工作台8侧面,直线传送平板34安装在电动直线模组33上并可直线往复运动,物料存放盒39固定在在直线传送平板34上,电动旋转台36固定在载物台32台面上,旋转机械手37安装在电动旋转台36上并可360°旋转,存放台38固定在载物台32上,物料存放盒39存放在存放台38上。
如图13所示的气动装配装置,包括磁环装配装置11,鼓筒装配装置13,底座组件装配装置20和整机装配装置26,四个气动装配装置的相似结构中,支撑筒41固定在零件安装底盘40上,安全光幕发射器42和安全光幕接收器50通过光幕安装板43固定在支撑筒41侧面,顶盖44固定在支撑筒41上端面,直线驱动器47安装在气缸安装板49上并通过气缸安装板49固定在顶盖44上,压入头45固定在直线驱动器47的伸缩杆前端,导向轴承46固定在顶盖44上,导向杆48穿入导向轴承46并固定在压入头45上。整个装配装置固定在对应的带安装止口的工作台局部51里。
如图14所示的静叶片校形装置31中,驱动装置54安装在驱动安装板53上并通过驱动安装板53固定在C形支撑架52的上端面上,校形头55安装在驱动装置54伸缩杆前端,静叶片放置筒56固定在C形支撑架52底部上端面,整个校形装置固定在对应的工作台上的对应的带安装止口的工作台局部51里。
本实施例的高速小型复合分子泵集成化装配装置也可以增加检测装置、动平衡装置,从而扩充装置的功能,形成装配,检测和动平衡试验为一体的多功能装置。
优选的,本实施例中直线驱动器47为倍力气缸。本实施例中驱动装置54为小功率气缸。
本实施例中,磁环装配装置11、鼓筒装配装置13、底座组件装配装置20、整机装配装置26均为结构相同的装配装置,其工作方式也一致:将待装配的基准零件放置在零件安装底盘40上,并将待压入零件放置在基准零件顶部。按动控制按钮盒14上面的相应装配工序按钮,倍力气缸的活塞在导向杆48的作用下伸出,将压入头45向下作用在待压入零件顶部,通过倍力气缸提供的压力,将两个零件压装在一起,安全光幕发射器42和安全光幕接收器50共同组成的光幕开关检测到零件压装到位后,倍力气缸的活塞自动退回,装配工序结束。
其中泵壳组件装配工装23的工作方式是:将泵壳零件倒置在泵壳组件装配工装23的顶部,操作者不用手扶泵壳,即可完成泵壳里螺钉的装配。
物料自动传送的工作方式是:动叶轮组件装配工位1、底座组件装配工位2、泵壳组件装配工位3装配好的组件通过送料机械手16放置在对应的物料存放盒中,按动对应工位的控制按钮盒14上的传送按钮,电动直线模组33启动,将组件自动传送至整机装配工位4,送料机械手16将传送到整机装配工位4的组件夹取后,通过电动旋转台36将组件依次放置到对应的物料存放盒存放台38上,传送工序结束。
以上所述的具体实施方式,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施方式而已,并不用于限定本发明的保护范围,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,包括依次分布的动叶轮组件装配工位(1)、底座组件装配工位(2)、泵壳组件装配工位(3)、整机装配工位(4)、物料暂存旋转平台(5),还包括用于使物料在动叶轮组件装配工位(1)、底座组件装配工位(2)、泵壳组件装配工位(3)、整机装配工位(4)、物料暂存旋转平台(5)之间传输的直线传输平台(6);
所述动叶轮组件装配工位(1)包括安装在工作台(8)上的磁环装配装置(11)、鼓筒装配装置(13)、送料机械手(16)、物料传送导轨(17);
所述底座组件装配工位(2)包括安装在工作台(8)上的径向跳动检测主轴(19)、底座组件装配装置(20)、送料机械手(16)、物料传送导轨(17);
所述泵壳组件装配工位(3)包括安装在工作台(8)上的测高仪(22)、泵壳组件装配工装(23)、送料机械手(16)、物料传送导轨(17);
所述整机装配工位(4)包括安装在工作台(8)上的整机装配装置(26)、轴承组件连接螺钉定力矩预紧螺丝刀(27)、油锥定力矩预紧螺丝(28)、泵壳与底座定力矩预紧螺丝刀(29)、螺钉预紧辅助工装(30)、静叶片校形装置(31);
所述动叶轮组件装配工位(1)、底座组件装配工位(2)、泵壳组件装配工位(3)、整机装配工位(4)的物料传送导轨(17)上均设置物料存放盒(39),每个物料存放盒(39)均能够在各自对应的物料传送导轨(17)上移动。
2.根据权利要求1所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述动叶轮组件装配工位(1)、底座组件装配工位(2)、泵壳组件装配工位(3)、整机装配工位(4)上还设置显示屏支架(10)、直线传输机构安装板(18),所述显示屏支架(10)上固定LED显示屏(12),所述直线传输机构安装板(18)用于为直线传输平台(6)提供安装工位。
3.根据权利要求1所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述直线传输平台(6)包括电动直线模组(33),所述电动直线模组(33)固定在动叶轮组件装配工位(1),底座组件装配工位(2),泵壳组件装配工位(3)、整机装配工位(4)的侧面,直线传送平板(34)安装在电动直线模组(33)上并可进行直线往复运动,直线传送平板(34)上固定一个物料存放盒(39)。
4.根据权利要求1所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述物料暂存旋转平台(5)包括载物台(32)、固定在载物台(32)上的电动旋转台(36),所述电动旋转台(36)上设置旋转机械手(37);所述载物台(32)上还设置存放台(38),所述存放台(38)上设置若干物料存放盒(39)。
5.根据权利要求1所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述磁环装配装置(11)、鼓筒装配装置(13)、底座组件装配装置(20)、整机装配装置(26)均包括零件安装底盘(40),零件安装底盘(40)上固定支撑筒(41),所述支撑筒(41)的相对两侧面分别安装安全光幕发射器(42)、安全光幕接收器(50);顶盖(44)固定在支撑筒(41)上端面,直线驱动器(47)通过气缸安装板(49)固定在顶盖(44)上;所述直线驱动器(47)的神缩端朝下,压入头(45)固定在直线驱动器(47)的伸缩杆,导向轴承(46)固定在顶盖(44)上,导向杆(48)穿入导向轴承(46)并固定在压入头(45)上。
6.根据权利要求1所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述静叶片校形装置(31)包括C形支撑架(52)、驱动安装板(53),驱动装置(54),校形头(55)、静叶片放置筒(56),所述驱动装置(54)通过驱动安装板(53)固定在C形支撑架(52)的上端面,校形头(55)安装在驱动装置(54)输出端前端,静叶片放置筒(56)固定在C形支撑架(52)底部上端面。
7.根据权利要求6所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述驱动装置(54)为气缸、旋转电机、直线电机中的任意一种。
8.根据权利要求5所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述直线驱动器(47)为气缸、旋转电机、直线电机中的任意一种。
9.根据权利要求1所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述动叶轮组件装配工位(1)、底座组件装配工位(2)、泵壳组件装配工位(3)、整机装配工位(4)均包括控制柜(15),所述控制柜(15)放置在控制柜支架(9)上,所述控制柜支架(9)固定在工作台(8)上。
10.根据权利要求1所述的一种高速小型复合分子泵集成化装配系统,其特征在于,所述工作台(8)包括四个支腿(7),所述支腿(7)高度可调。
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CN201910999488.6A CN110792616A (zh) | 2019-10-21 | 2019-10-21 | 一种高速小型复合分子泵集成化装配系统 |
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CN112045437A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-12-08 | 河南欧新特新能源科技有限公司 | 一种新型跨临界co2热泵自动生产线装置 |
CN113369773A (zh) * | 2021-06-28 | 2021-09-10 | 深圳市智诚测控技术有限公司 | 一种泵壳压装机器人自动焊接生产线 |
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2019
- 2019-10-21 CN CN201910999488.6A patent/CN110792616A/zh active Pending
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