CN203045153U - 微米级四轴运动平台 - Google Patents

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赵耀
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一种微米级四轴运动平台，包括底座(11)、X轴运动系统(41)、Y轴运动系统(42)、Z轴运动系统(43)和R轴运动系统(44)，X轴运动系统(41)包括X轴直线电机(412)、X轴光栅尺(413)、X轴导轨(411)和X轴滑块；Y轴运动系统(42)包括Y轴直线电机(422)、Y轴光栅尺(423)、Y轴导轨(421)和Y轴滑块；Z轴运动系统(43)包括Z轴驱动器(432)、Z轴导轨(431)和Z轴滑块434；R轴轴运动系统(44)包括基座(441)、平台(442)、旋转工作台(443)、旋转接头(444)和传动机构。其优点是可以提高系统运动平稳性，而且可以实现多工位的运动，使用方便，提高效率，准确定位，精度高。

Description

微米级四轴运动平台
【技术领域】
本实用新型涉及桌式的工作台；涉及用于放置工件的台座，在台座上操作工作，尤指一种微米级四轴运动平台。 
【背景技术】
多自由度运动平台主要用来安装在可以移动的设备上，完成对承载物的运输和姿态调整，要求该类型的多自由度运动平台具有X向平移、Y向平移、Z向平移，绕Z轴转(R轴)等几个自由度，并要求该类型的多自由度运动平台结构紧凑，体积小，尤其要求平台Z轴方向的尺寸小。因并联机构结构和控制方法复杂，该类型的多自由度运动平台都采用串联机构实现。目前同类型的多自由度运动平台自由度能够满足应用要求，且X向平移、Y向平移、Z向平移和绕Z轴转动都可以实现由驱动机构驱动. 
【发明内容】
针对现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种微米级四轴运动平台。 
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种微米级四轴运动平台，包括底座、X轴运动系统、Y轴运动系统、Z轴运动系统和R轴运动系统，其特征在于： 
X轴运动系统包括X轴直线电机、X轴光栅尺、X轴导轨和X轴滑块，X轴导轨和X轴直线电机安装于底座上，X轴光栅尺安装于底座上，X轴滑块可移动地装于x轴导轨上； 
Y轴运动系统包括Y轴直线电机、Y轴光栅尺、Y轴导轨和Y轴滑块，Y轴导轨和Y轴直线电机可移动地安装于X轴导轨上，Y轴光栅尺安装于Y轴底座上，Y轴滑块可移动地安装于Y轴导轨上； 
Z轴运动系统包括Z轴驱动器、Z轴导轨和Z轴滑块，Z轴导轨和Z轴驱动器固定于横梁上，横梁两端分别安装于立柱上，立柱固定于底座上，Z轴滑块可上下移动地装于Z轴导轨上； 
R轴轴运动系统包括基座、平台、旋转工作台、旋转接头和传动机构，基座装于Y轴运动系统的台面上，平台固定于基座上，旋转工作台可转动地安装于平台上并与传动机构连接。 
在所述旋转工作台下方与平台上方可以有相互适配的环槽，环槽内可以装有密封圈。以使旋转工作台与平台间实现动密封而不会发生漏气。 
在所述旋转工作台可以设贯穿其表面的吸气孔，基座上可以设有至少一个 通孔与旋转工作台上的吸气孔相通，该通孔与锁设于基座底面的空心旋转接头相连，空心旋转接头与抽气装置连通。打开抽气装置能把旋转工作台上的工件牢牢地吸住， 
所述光栅尺可以采用闭环反馈控制系统； 
所述底座、立柱以及横梁可以采用花岗岩，可以提高机器运行的精度，使系统的定位精度提高。。 
所述电机的位移传感器采用直线电机霍尔传感器： 
1、是定位精度高，在需要直线运动的地方，直线电机可以实现直接传动，因而可以消除中间环节所带来的各种定位误差，故定位精度高，还可以大大地提高整个系统的定位精度，可以达到微米级； 
2、是反应速度快、灵敏度高，随动性好。直线电机容易做到其动子用磁悬浮支撑，因而使得动子和定子之间始终保持一定的空气隙而不接触，这就消除了定、动子间的接触摩擦阻力，因而大大地提高了系统的灵敏度、快速性和随动性； 
3、是工作安全可靠、寿命长。直线电机可以实现无接触传递力，机械摩擦损耗几乎为零，所以故障少，免维修，因而工作安全可靠、寿命长。光栅尺可以采用闭环反馈控制系统，可以使系统的定位精度大大提高；底座、立柱，以及固定Z轴运动系统的横梁，可以采用花岗岩，以提高机器运行的精度。 
本实用新型的有益效果是：可以提高系统运动平稳性，而且可以实现多工位的运动，使用方便，提高效率，准确定位，精度高。 
【附图说明】
下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。 
图1是本实用新型的整体结构示意图。 
图2是图1去除立柱12为和横梁13后的结构示意图。 
图3是本实用新型的立面视图。 
图4是本实用新型的俯视图。 
图5是图4去除立柱12为和横梁13后的俯视图。 
图6是本实用新型的R轴运动系统44分体示意图一。 
图7是本实用新型的R轴运动系统44分体示意图二。 
图中：11为底座、12为立柱、13为横梁、41为X轴运动系统、42为Y轴运动系统、43为Z轴运动系统、44为R轴运动系统； 
在X轴运动系统41中，411为X轴导轨、412为X轴直线电机、413为X轴光栅尺； 
在Y轴运动系统42中，421为Y轴导轨、422为Y轴直线电机、423为Y轴光栅尺； 
在Z轴运动系统43中，431为Z轴导轨、432为Z轴驱动器、434为Z轴滑块434。 
在R轴运动系统44中，441为基座、442为平台、4421为环槽、443为旋转工作台、444为旋转接头。 
【具体实施方式】
参见各附图，本实用新型一种微米级四轴运动平台，包括底座11、X轴运动系统41、Y轴运动系统42、Z轴运动系统43和R轴运动系统44，其特征在于： 
X轴运动系统41包括X轴直线电机412、X轴光栅尺413、X轴导轨411和X轴滑块，X轴导轨411和X轴直线电机412安装于底座11上，X轴光栅尺413安装于X轴底座11上，X轴滑块可移动地装于x轴导轨411上； 
Y轴运动系统42包括Y轴直线电机422、Y轴光栅尺423、Y轴导轨421和Y轴滑块，Y轴导轨421和Y轴直线电机422可移动地安装于X轴导轨411上，Y轴光栅尺423安装于Y轴底座上，Y轴滑块可移动地安装于Y轴导轨421上； 
Z轴运动系统43包括Z轴驱动器432、Z轴导轨431和Z轴滑块434，Z轴导轨431和Z轴驱动器432固定于横梁13上，横梁13两端分别安装于立柱12上，立柱12固定于底座11上，Z轴滑块434可上下移动地装于Z轴导轨431上； 
R轴轴运动系统44包括基座441、平台442、旋转工作台443、旋转接头444和传动机构，基座441装于Y轴运动系统42的台面上，平台442固定于基座441上，旋转工作台443可转动地安装于平台442上并与传动机构连接。 
在本实用新型的实施例中，所述旋转工作台443下方与平台442上方有相互适配的环槽，环槽内装有密封圈。 
在本实用新型的实施例中，所述旋转工作台443设贯穿其表面的吸气孔，基座441上设有至少一个通孔与旋转工作台443上的吸气孔相通，该通孔与锁设于基座441底面的空心旋转接头444相连，空心旋转接头444与抽气装置连通。 
在本实用新型的实施例中，光栅尺413、423采用闭环反馈控制系统。 
在本实用新型的实施例中，电机412、422的位移传感器采用直线电机霍尔传感器。 

Claims (6)

1.一种微米级四轴运动平台，包括底座(11)、X轴运动系统(41)、Y轴运动系统(42)、Z轴运动系统(43)和R轴运动系统(44)，其特征在于： 
X轴运动系统(41)包括X轴直线电机(412)、X轴光栅尺(413)、X轴导轨(411)和X轴滑块，X轴导轨(411)和X轴直线电机(412)安装于底座(11)上，X轴光栅尺(413)安装于底座(11)上，X轴滑块可移动地装于x轴导轨(411)上； 
Y轴运动系统(42)包括Y轴直线电机(422)、Y轴光栅尺(423)、Y轴导轨(421)和Y轴滑块，Y轴导轨(421)和Y轴直线电机(422)可移动地安装于底座(11)上，Y轴光栅尺(423)安装于Y轴导轨(421)上，Y轴滑块可移动地安装于Y轴导轨(421)上； 
Z轴运动系统(43)包括Z轴驱动器(432)、Z轴导轨(431)和Z轴滑块434，Z轴导轨(431)和Z轴驱动器(432)固定于横梁(13)上，横梁(13)两端分别安装于立柱(12)上，立柱(12)固定于底座(11)上，Z轴滑块434可上下移动地装于Z轴导轨(431)上； 
R轴轴运动系统(44)包括基座(441)、平台(442)、旋转工作台(443)、旋转接头(444)和传动机构，基座(441)装于Y轴运动系统(42)的台面上，平台(442)固定于基座(441)上，旋转工作台(443)可转动地安装于平台(442)上并与传动机构连接。 
2.根据权利要求1所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：所述旋转工作台(443)下方与平台(442)上方有相互适配的环槽，环槽内装有密封圈。 
3.根据权利要求1或2所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：所述旋转工作台(443)设贯穿其表面的吸气孔，基座(441)上设有至少一个通孔与旋转工作台(443)上的吸气孔相通，该通孔与锁设于基座(441)底面的空心旋转接头(444)相连，空心旋转接头(444)与抽气装置连通。 
4.根据权利要求1或2所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：所述光栅尺(413、423)采用闭环反馈控制系统。 
5.根据权利要求1或2所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：所述电机(412、422)的位移传感器采用直线电机霍尔传感器。 
6.根据权利要求1或2所述的微米级四轴运动平台，其特征在于：底座(11)、立柱(12)以及横梁(13)，采用花岗岩。 
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105436721A (zh) * 2015-12-25 2016-03-30 苏州天弘激光股份有限公司 双交换工作台的数控激光切割机
CN105479337A (zh) * 2015-12-29 2016-04-13 无锡中伦精密机床设备制造有限公司 一种数控立式平面成型磨床
CN107537984A (zh) * 2017-08-04 2018-01-05 福建圣力智能工业科技股份有限公司 一种连续铸造机用回转台结构
CN107907959A (zh) * 2017-11-24 2018-04-13 哈工大机器人集团（哈尔滨）华粹智能装备有限公司 一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置
CN108067802A (zh) * 2016-11-18 2018-05-25 凤城市润桥机械制造有限公司 一种增压器阀板焊接工装组合
CN109216141A (zh) * 2017-07-05 2019-01-15 无锡诚承电子科技有限公司 一种离子引出系统驱动装置
CN109985825A (zh) * 2019-05-06 2019-07-09 山东泓瑞光电科技有限公司 一种led晶片自动分选机用硅片工作台
CN111906556A (zh) * 2020-09-08 2020-11-10 安徽理工大学 精密位移工作台
CN111941103A (zh) * 2020-08-19 2020-11-17 山东理工大学 用于切削加工的串联式双向恒加工力调整平台
CN111993097A (zh) * 2020-08-18 2020-11-27 山东理工大学 用于切削加工的平面恒力加工调整平台
CN115493523A (zh) * 2022-11-21 2022-12-20 三代光学科技（天津）有限公司 一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105436721A (zh) * 2015-12-25 2016-03-30 苏州天弘激光股份有限公司 双交换工作台的数控激光切割机
CN105479337A (zh) * 2015-12-29 2016-04-13 无锡中伦精密机床设备制造有限公司 一种数控立式平面成型磨床
CN108067802B (zh) * 2016-11-18 2019-06-11 凤城市润桥机械制造有限公司 一种增压器阀板焊接工装组合
CN108067802A (zh) * 2016-11-18 2018-05-25 凤城市润桥机械制造有限公司 一种增压器阀板焊接工装组合
CN109216141A (zh) * 2017-07-05 2019-01-15 无锡诚承电子科技有限公司 一种离子引出系统驱动装置
CN107537984A (zh) * 2017-08-04 2018-01-05 福建圣力智能工业科技股份有限公司 一种连续铸造机用回转台结构
CN107907959A (zh) * 2017-11-24 2018-04-13 哈工大机器人集团（哈尔滨）华粹智能装备有限公司 一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置
CN107907959B (zh) * 2017-11-24 2020-11-24 黑龙江哈工华粹智能装备有限公司 一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置
CN109985825A (zh) * 2019-05-06 2019-07-09 山东泓瑞光电科技有限公司 一种led晶片自动分选机用硅片工作台
CN111993097A (zh) * 2020-08-18 2020-11-27 山东理工大学 用于切削加工的平面恒力加工调整平台
CN111993097B (zh) * 2020-08-18 2022-04-29 山东理工大学 用于切削加工的平面恒力加工调整平台
CN111941103A (zh) * 2020-08-19 2020-11-17 山东理工大学 用于切削加工的串联式双向恒加工力调整平台
CN111906556A (zh) * 2020-09-08 2020-11-10 安徽理工大学 精密位移工作台
CN115493523A (zh) * 2022-11-21 2022-12-20 三代光学科技（天津）有限公司 一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置

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