CN110771035A - 弹性波装置 - Google Patents

Abstract

本发明抑制隔离度特性的下降。第一弹性波元件(第一滤波器2)具有：第一基板(20)，在至少一部分具有压电性；第一功能电极(21)，设置在第一基板(20)的第一面(20A)；以及第一布线导体(23)，与第一功能电极(21)电连接。第一弹性波元件(第一滤波器2)还具有：中继电极(24)，设置在第一基板(20)的第一面(20A)，与第二布线导体(33)电连接；以及接地电极(25)，设置在第一基板(20)的第一面(20A)，与第一功能电极21电连接。接地电极(25)设置在第一功能电极(21)以及第一布线导体(23)中的至少一个与中继电极(24)之间，且与中继电极(24)电绝缘。

Description

弹性波装置

技术领域

本发明涉及弹性波装置，更详细地，涉及具有多个弹性波元件的层叠构造的弹性波装置。

背景技术

作为以往的弹性波装置的一个例子，例示专利文献1记载的压电部件。专利文献1记载的压电部件具有三个压电元件。这些压电元件在压电基板的主面具有梳齿电极和具有元件布线的布线电极、以及与布线电极连接的电极端子。压电部件被层叠为在各压电元件间形成中空部。此外，在各压电基板形成有贯通电极。进而，贯通电极与电极端子连接，且压电基板被树脂密封层密封。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-50539号公报

发明内容

发明要解决的课题

可是，在专利文献1记载的压电部件(弹性波装置)中，通过一个弹性波元件的导体(电极以及布线)的信号有可能会泄漏到其它弹性波元件的导体。而且，若弹性波元件的导体间的信号的泄漏(串扰)增加，则会导致弹性波装置的隔离度特性的下降。

本发明的目的在于，提供一种能够抑制隔离度特性的下降的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的一个方式涉及的弹性波装置是如下的弹性波装置，即，具有包含第一弹性波元件和第二弹性波元件的多个弹性波元件，在所述第一弹性波元件上层叠了所述第二弹性波元件。所述第一弹性波元件具有：第一基板，在至少一部分具有压电性；第一功能电极，设置在所述第一基板的一个主面；以及第一布线导体，设置在所述第一基板，与所述第一功能电极电连接。所述第二弹性波元件具有：第二基板，在至少一部分具有压电性；以及第二功能电极，设置在所述第二基板的一个主面。所述第一弹性波元件还具有：中继电极，设置在所述第一基板的所述一个主面，与所述第二功能电极电连接；以及接地电极，设置在所述第一基板的所述一个主面。所述接地电极设置在所述第一功能电极以及所述第一布线导体中的至少一个与所述中继电极之间，且与所述中继电极电绝缘。

发明效果

本发明的一个方式涉及的弹性波装置能够抑制隔离度特性的下降。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式涉及的弹性波装置的电路结构图。

图2是同上的弹性波装置的剖视图。

图3是同上的弹性波装置中的第一滤波器的主视图。

图4示出同上的第一滤波器，是图3中的X-X线剖视向视图。

图5示出同上的第一滤波器，是图3中的Y-Y线剖视向视图。

图6示出同上的第一滤波器，是图3中的Z-Z线剖视向视图。

图7示出同上的第一滤波器，是图3中的U-U线剖视向视图。

图8A以及图8B是用于说明同上的第一滤波器的制造工艺的剖视图。

图9A是同上的第一滤波器的变形例的主视图。图9B是图9A中的W-W线剖视向视图。

图10是同上的弹性波装置的变形例的省略了一部分的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一个实施方式涉及的弹性波装置进行详细说明。在本实施方式中，作为弹性波装置的一个实施方式，对构成为将通过一个天线接收的接收信号分为多个频带并按每个频带进行输出的滤波器装置进行例示。另外，在以下的实施方式中说明的结构不过是本发明的一个例子。本发明并不限定于以下的实施方式，只要能够达到本发明的效果，就能够根据设计等进行各种变更。

如图1所示，弹性波装置1具有作为第一弹性波元件的第一滤波器2和作为第二弹性波元件的第二滤波器3。第一滤波器2在从天线端子10输入的接收信号中仅使第一频带的接收信号(以下，称为第一接收信号)通过并从第一输出端子11输出。第二滤波器3在从天线端子10输入的接收信号之中仅使第二频带的接收信号(以下，称为第二接收信号)通过并从第二输出端子12输出。其中，第二频带例如是比第一频带低的频带。

如图1所示，本实施方式中的第一滤波器2是将四个串联臂谐振器201、202、203、204和四个并联臂谐振器205、206、207、208连接而构成的梯型的弹性波滤波器。第二滤波器3例如是具有比第一滤波器2的通带低的通带的梯型的弹性波滤波器。另外，第一滤波器2的通带包含第一频带，第二滤波器3的通带包含第二频带。其中，第一滤波器2以及第二滤波器3也可以是梯型以外的弹性波滤波器。

四个串联臂谐振器201～204以及四个并联臂谐振器205～208均具有功能电极(第一功能电极21)。第一功能电极21例如具有IDT(Inter Digital Transducer，叉指换能器)电极和设置在IDT电极的弹性波的传播方向的两侧的两个反射器。其中，以下的说明中的弹性波不仅包含声表面波，而且包含体弹性波、声边界波等。

接着，对弹性波装置1的构造进行详细说明。如图2所示，弹性波装置1将第一滤波器2和第二滤波器3在给定的方向(图2中的上下方向)上层叠而构成。像这样，弹性波装置1具有多个滤波器(弹性波元件)的层叠构造，因此能够谋求在安装到印刷布线板等时的专有面积的减少。另外，在以下的说明中参照的图2～图10是示意性地表示了弹性波装置1的图，图中的各构成要素的大小、厚度各自之比未必一定反应了实际的尺寸比。

首先，对第二滤波器3的构造进行说明。第二滤波器3具有在至少一部分具有压电性的第二基板30和设置在第二基板30的第一面30A(图2中的下表面)的多个第二功能电极31。第二滤波器3还具有设置在第二基板30的多个第二信号电极32和将第二功能电极31和第二信号电极32电连接的多个第二布线导体33。另外，多个第二信号电极32以及多个第二布线导体33设置在第二基板30的第一面30A。

第二基板30具有依次层叠了支承基板34、低声速膜350以及压电膜351的层叠构造。

压电膜351例如由50°Y切割X传播LiTaO3压电单晶或压电陶瓷(是在将以X轴为中心轴从Y轴旋转了50°的轴作为法线的面进行了切断的钽酸锂单晶、或陶瓷，且是在X轴方向上传播弹性波的单晶或陶瓷)构成。在将由第二功能电极31具有的IDT电极的电极指周期决定的弹性波的波长设为λ[m]时，压电膜351的厚度优选为3.5λ以下。例如，压电膜351的厚度为500nm左右。

低声速膜350由以比在压电膜351传播的弹性波的传播速度低速的传播速度传播弹性波(体弹性波)的材料形成。低声速膜350例如是以二氧化硅为主成分的电介质膜。低声速膜350的厚度优选为2.0λ以下。低声速膜350的厚度例如为670nm左右。

支承基板34由以比在压电膜351传播的弹性波的传播速度高速的传播速度传播弹性波(体弹性波)的材料形成。支承基板34发挥功能，使得将弹性波陷获在压电膜351以及低声速膜350，不会泄漏到比支承基板34靠上方。支承基板34例如为硅基板，支承基板34的厚度(图2中的上下方向的长度)例如为120μm左右。

在第二基板30的第一面30A设置有多个第二功能电极31、多个第二信号电极32以及多个第二布线导体33。多个第二功能电极31通过多个第二布线导体33相互电连接。此外，各第二信号电极32与对应的第二布线导体33电连接。

根据上述的第二基板30的层叠构造，与第二基板30为单层的压电基板的情况相比较，能够大幅提高谐振频率以及反谐振频率处的Q值。即，通过该层叠构造，能够构成Q值高的弹性波谐振器，因此能够使用该弹性波谐振器构成插入损耗小的滤波器。

接下来，对第一滤波器2的构造进行说明。第一滤波器2具有：在至少一部分具有压电性的第一基板20；设置在第一基板20的第一面20A(图2中的上表面)的多个第一功能电极21；以及设置在第一基板20的多个第一信号电极22。此外，第一滤波器2具有：将第一功能电极21的第一端和第一信号电极22电连接的多个第一布线导体23；以及设置在第一基板20的第一面20A并与第二信号电极32电连接的多个中继电极24。进而，第一滤波器2具有设置在第一基板20的第一面20A并与第一功能电极21的第二端电连接的多个接地电极25。在此，所谓“第一功能电极21的第一端”，意味着第一功能电极21具有的IDT电极的一对梳形电极中的一个梳形电极。此外，所谓“第一功能电极21的第二端”，意味着IDT电极的一对梳形电极中的另一个梳形电极。

第一基板20具有与第二基板30共同的结构。即，第一基板20具有依次层叠了支承基板26、低声速膜270、以及压电膜271的层叠构造。压电膜271例如由50°Y切割X传播LiTaO₃压电单晶或压电陶瓷(是在将以X轴为中心轴从Y轴旋转了50°的轴作为法线的面进行了切断的钽酸锂单晶、或陶瓷，且是在X轴方向上传播弹性波的单晶或陶瓷)构成。低声速膜270由以比在压电膜271传播的弹性波的传播速度低速的传播速度传播弹性波(体弹性波)的材料形成。低声速膜270例如是以二氧化硅为主成分的电介质膜。支承基板26由以比在压电膜271传播的弹性波的传播速度高速的传播速度传播弹性波(体弹性波)的材料形成。支承基板26发挥功能，使得将弹性波陷获在压电膜271以及低声速膜270，不会泄漏到比支承基板26靠下方。支承基板26例如为硅基板。

第一基板20具有与第二基板30同样的层叠构造，因此与第一基板由单体的压电基板构成的情况相比较，能够大幅提高谐振频率以及反谐振频率处的Q值。即，通过该层叠构造，能够构成Q值高的弹性波谐振器，因此能够使用该弹性波谐振器构成插入损耗小的滤波器。

另外，第一滤波器2的支承基板26以及第二滤波器3的支承基板34也可以是层叠了支承基板和高声速膜的构造。高声速膜是在高声速膜传播的体波的传播速度与在压电膜271、351传播的弹性波的传播速度相比成为高速的膜。在各支承基板26、34为支承基板和高声速膜的层叠构造的情况下，支承基板能够使用蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英等压电体、矾土、氧化镁、氮化硅、氮化铝、碳化硅、氧化锆、堇青石、多铝红柱石、块滑石、镁橄榄石等各种陶瓷、玻璃等电介质或硅、氮化镓等半导体以及树脂等。此外，高声速膜能够使用氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、氮氧化硅、DLC(Diamond-like Carbon，类金刚石碳)或金刚石、以上述材料为主成分的介质、或以上述材料的混合物为主成分的介质等各种各样的高声速材料。或者，第一滤波器2的支承基板26以及第二滤波器3的支承基板34也可以是在支承基板26、34的第一面20A、30A直接层叠了压电膜271、351的构造。

在第一滤波器2中，在第一基板20的第一面(图2中的压电膜271的上表面)设置有多个(在图示例子中为八个)第一功能电极21A～21H、多个(在图示例子中为六个)第一信号电极22A～22F以及多个第一布线导体23A～23G(参照图3)。八个第一功能电极21A～21H与图1所示的四个串联臂谐振器201～204以及四个并联臂谐振器205～208一对一地对应。其中，在图3中，将由IDT电极和两个反射器构成的各第一功能电极21A～21H的形状简化为长方形而进行了图示。此外，在图3中，在第一基板20的第一面(压电膜271的表面)之中露出的区域施加了点阵图案。

如图3所示，第一功能电极21A在第一基板20的第一面20A的左右方向上的一端(右端)处的前后方向上的大致中央配置为使其长边方向与第一面20A的前后方向平行。此外，第一功能电极21B～21D在第一基板20的第一面20A的比前后方向上的中央靠后方的范围设置为从右向左空开间隔且使各自的长边方向与第一面20A的前后方向平行。进而，第一功能电极21E～21H在第一基板20的第一面20A的比前后方向上的中央靠前方的范围设置为从右向左空开间隔且使各自的长边方向与第一面20A的前后方向平行。

在多个第一信号电极22之中，被输入通过天线接收的接收信号的第一信号电极22A设置在第一基板20的第一面20A的角(图3中的右后方的角)。此外，在多个第一信号电极22之中，输出第一接收信号的第一信号电极22B设置在第一基板20的第一面20A的角(图3中的左后方的角)。进而，在多个第一信号电极22之中，与接地(信号-接地)电连接的第一信号电极22C～22F在第一基板20的第一面20A中的前端设置为在左右方向上空开间隔排列。

如图1以及图3所示，多个第一布线导体23中的第一布线导体23A将第一信号电极22A和第一功能电极21A的第一端电连接。多个第一布线导体23中的第一布线导体23B将第一功能电极21A的第二端和第一功能电极21B、21E各自的第一端电连接。多个第一布线导体23中的第一布线导体23C将第一功能电极21B的第二端和第一功能电极21C、21F各自的第一端电连接。多个第一布线导体23中的第一布线导体23D将第一功能电极21C的第二端和第一功能电极21D、21G各自的第一端电连接。多个第一布线导体23中的第一布线导体23E将第一功能电极21D的第二端、第一功能电极21H的第一端以及第一信号电极22B电连接。多个第一布线导体23中的第一布线导体23F将第一功能电极21E、21F各自的第二端和第一信号电极22C、22D电连接。多个第一布线导体23中的第一布线导体23G将第一功能电极21G的第二端和第一信号电极22E电连接。多个第一布线导体23中的第一布线导体23H将第一信号电极22F和第一功能电极21H的第二端电连接。

此外，在第一基板20的第一面20A设置有多个中继电极24A～24H和多个接地电极25A～25H。多个中继电极24A～24H分别在第一基板20的第一面20A设置在能够在与多个第一功能电极21、多个第一信号电极22以及多个第一布线导体23各自之间确保所需的绝缘距离的位置(参照图3)。具体地，各中继电极24A～24H设置于在第一基板20的横向(图3中的左右方向)上相邻的两个第一功能电极21之间。进而，各中继电极24A～24H通过凸块36与第二滤波器3的多个第二信号电极32中的对应的第二信号电极32电连接(参照图2)。另外，凸块由焊料或金或铜等导电材料形成。

多个接地电极25A～25H分别设置在多个中继电极24A～24H中的对应的中继电极24A～24H与第一功能电极21、第一信号电极22以及第一布线导体23之间(参照图3)。具体地，各接地电极25A～25H在第一基板20的第一面20A形成为从中继电极24A～24H的三方或四方包围对应的中继电极24A～24H。例如，四个中继电极24A～24C、24E在第一基板20的第一面20A的左右方向以及前后方向上被第一功能电极21A～21G以及第一布线导体23A～23D、23F从四方包围。因此，与这四个中继电极24A～24C、24E对应的四个接地电极25A～25C、25E形成为从四方(第一基板20的左右方向以及前后方向)包围对应的中继电极24A～24C、24E。另一方面，在中继电极24D的左端与第一基板20的左端之间不存在第一功能电极21、第一信号电极22以及第一布线导体23。故此，接地电极25D形成为从除第一基板20的左方以外的三方(图3中的右方向以及前后方向)包围中继电极24D。同样地，在三个中继电极24F～24H的前端与第一基板20的前端之间不存在第一功能电极21、第一信号电极22以及第一布线导体23。故此，三个接地电极25F～25H形成为从除第一基板20的前方以外的三方(图3中的后方向以及左右方向)包围对应的中继电极24F～24H。其中，在八个接地电极25A～25H之中，与第一滤波器2的四个中继电极24E～24H分别对应的相邻的四个接地电极25E～25H与四个第一布线导体23E～23H中的对应的第一布线导体23E～23H一体地形成(参照图3)。

在此，如图4～图7所示，在与第一基板20的第一面20A沿着层叠的方向对置的第一基板20的第二面20B设置有第二滤波器3用的多个信号端子41和多个接地端子42。另外，如图7所示，在第一基板20的第二面20B还设置有第一滤波器2用的多个信号端子41。虽然在图4～图7中省略了图示，但是在各信号端子41与第一基板20的第二面20B之间、以及各接地端子42与第一基板20的第二面20B之间形成有由硅氮化膜或硅氧化膜等构成的绝缘膜。通过该绝缘膜，各信号端子41以及各接地端子42与第一基板20电绝缘。进而，如图4～图7所示，设置有由硅氮化膜或硅氧化膜等构成的绝缘膜43，使得覆盖各接地端子42的表面(图4中的下表面)的一部分。而且，各信号端子41的一部分隔着绝缘膜43与接地端子42层叠(参照图5～图7)。也就是说，各信号端子41通过绝缘膜43与各接地端子42电绝缘。

进而，在第一基板20设置有多个第一贯通电极51、多个第二贯通电极52、以及多个第三贯通电极53(参照图4～图7)。如图4～图7所示，多个第一贯通电极51～第三贯通电极53沿着层叠的方向贯通第一基板20。第一贯通电极51将中继电极24和对应于中继电极24的第二滤波器3用的信号端子41电连接。第二贯通电极52将接地电极25和对应于接地电极25的接地端子42电连接。第三贯通电极53将第一信号电极22和对应于第一信号电极22的第一滤波器2用的信号端子41电连接(参照图7)。此外，各第二贯通电极52在第一基板20内设置在第一贯通电极51的周围。各第二贯通电极52与第一贯通电极51以及第三贯通电极53电绝缘。即，虽然在图2以及图4～图7中省略了图示，但是在第一贯通电极51、第二贯通电极52以及第三贯通电极53与第一基板20的边界面形成有由硅氧化膜等构成的绝缘膜。通过该绝缘膜，第一贯通电极51、第二贯通电极52以及第三贯通电极53与由硅基板构成的第一基板20电绝缘，并且第一贯通电极51、第二贯通电极52以及第三贯通电极53彼此相互电绝缘。

在此，多个第一贯通电极51中的与四个中继电极24A～24C、24E电连接的四个第一贯通电极51A～51C、51E在第一基板20的左右方向以及前后方向上被第二贯通电极52从四方包围。因此，与这四个第一贯通电极51A～51C、51E对应的四个第二贯通电极52A～52C、52E形成为从四方(第一基板20的左右方向以及前后方向)包围对应的第一贯通电极51A～51C、51E(参照图4～图6)。另一方面，与剩余四个中继电极24D、24F～24H电连接的四个第一贯通电极51D、51F～51H(其中，51G、51H未图示)在第一基板20的左右方向以及前后方向上被第二贯通电极52仅从三方包围。因此，与这四个第一贯通电极51D、51F～51H对应的四个第二贯通电极52D、52F～52H(其中，52F～52H未图示)形成为在第一基板20的左右方向以及前后方向上从三方包围对应的第一贯通电极51D、51F～51H。

另外，层叠了第一滤波器2和第二滤波器3的构造体被容纳在未图示的树脂制或陶瓷制的封装件。在封装件的底面设置有信号用的电极以及接地用的电极。而且，第一滤波器2的多个信号端子41和多个接地端子42经由凸块44与形成在封装件的内底面的信号用的焊盘以及接地用的焊盘电连接。也就是说，设置在第一基板20的第二面20B的多个信号端子41以及多个接地端子42经由封装件的内底面的焊盘与封装件的底面的端子电连接。

在此，对弹性波装置1的制造方法(制造工艺)进行简单说明。首先，在第一基板20的压电膜271上形成第一功能电极21、第一信号电极、第一布线导体、中继电极24以及接地电极25。例如，在压电膜271上薄薄地进行了无电解镀敷之后，通过电镀以及蚀刻形成导体图案，由此在压电膜271上形成第一功能电极21、第一信号电极、第一布线导体、中继电极24以及接地电极25(参照图8A)。

接下来，对于第一基板20，通过深挖RIE(Reactive Ion Etching：反应性离子蚀刻)法等形成从第一基板20的第二面20B(支承基板26的表面)贯通到第一基板20的第一面20A的贯通孔(过孔：via)。此外，在第一基板20的第二面20B以及各贯通孔的内周面形成绝缘膜28。然后，通过经由绝缘膜28对各贯通孔进行过孔填充镀敷，从而形成第一贯通电极51、第二贯通电极52以及第三贯通电极(参照图8B)。进而，在第一基板20的第二面20B的绝缘膜28上形成与第一贯通电极51、第二贯通电极52以及第三贯通电极电连接的导电层。另外，这些导电层成为信号端子41以及接地端子42。最后，通过利用凸块将第二滤波器3的第二信号电极和第一基板20的中继电极24接合，从而在第一滤波器2上堆叠(层叠)第二滤波器3(参照图2)。这样，能够制造具有第一滤波器2和第二滤波器3的层叠构造的弹性波装置1。

在弹性波装置1中，在从天线输入的接收信号通过第一滤波器2的信号线以及第二滤波器3的信号线的期间，接收信号被第一滤波器2以及第二滤波器3滤波。然后，被第一滤波器2滤波后的接收信号(第一接收信号)以及被第二滤波器3滤波后的接收信号(第二接收信号)从弹性波装置1输出。在此，所谓第一滤波器2的信号线，是包含滤波前的接收信号、滤波中途的接收信号以及滤波后的第一接收信号通过的电路的导体，具体地，是包含第一功能电极21、第一信号电极22以及第一布线导体23的导体。此外，所谓第二滤波器3的信号线，是包含滤波前的接收信号、滤波中途的接收信号以及滤波后的第二接收信号通过的电路的导体，具体地，是包含第二功能电极31、第二信号电极32以及第二布线导体33的导体。在此，包含第一接收信号以及第二接收信号的接收信号是高频信号，因此流过第一滤波器2的信号线的接收信号(滤波中途的接收信号以及第一接收信号)有可能空间传导到第二滤波器3的信号线。同理，流过第二滤波器3的信号线的接收信号(滤波中途的接收信号以及第二接收信号)有可能空间传导到第一滤波器2的信号线。

因此，在弹性波装置1中，在第一滤波器2的信号线与第二滤波器3的信号线之间设置有与信号-接地电连接的接地电极25。也就是说，第二滤波器3的信号线通过接地电极25相对于第一滤波器2的信号线被电磁屏蔽。其结果是，在弹性波装置1中，能够通过谋求在第一滤波器2的信号线与第二滤波器3的信号线之间进行空间传导的接收信号的降低，从而抑制第一滤波器2与第二滤波器3的隔离度特性的下降。

进而，在弹性波装置1中，在第一基板20设置有与信号-接地电连接的第二贯通电极52，使得包围贯通第一基板20的第一贯通电极51。也就是说，作为第二滤波器3的信号线的一部分的第一贯通电极51被第二贯通电极52电磁屏蔽。因此，弹性波装置1能够谋求通过设置在第一基板20的第一贯通电极51以及第三贯通电极在第一滤波器2的信号线与第二滤波器3的信号线之间进行空间传导的接收信号的进一步的降低。其结果是，弹性波装置1能够进一步抑制第一滤波器2与第二滤波器3的隔离度特性的下降。

另外，设置在第一基板20的第二滤波器3的信号线并不限于贯通电极。例如，如图9A以及图9B所示，也可以代替第一贯通电极51D而设置沿着第一基板20的左右方向的左端处的侧面从第一基板20的第一面20A到达第二面20B的导电体29。即，设置在第一基板20的第一面20A的中继电极24D经由导电体29与设置在第一基板20的第二面20B的信号端子41电连接。此外，该导电体29被设置在第一基板20的第二贯通电极52D从三方(前后方向以及右方向)包围而被电磁屏蔽。故此，在弹性波装置1中，即使在第二滤波器3的信号线包含形成在第一基板20的侧面的导电体29的情况下，也能够抑制第一滤波器2与第二滤波器3的隔离度特性的下降。

接着，参照图10对弹性波装置1的变形例进行说明。其中，变形例的弹性波装置1具有与上述的实施方式的弹性波装置1大致共同的结构。因而，对于与实施方式的弹性波装置1共同的构成要素标注共同的附图标记，并适当地省略图示以及说明。

如图10所示，变形例的弹性波装置1具有在层叠的方向(图10中的上下方向)上对第一滤波器2和第二滤波器3的层叠体进行支承的支承构件6。第一滤波器2被支承构件6支承，使得第一滤波器2的第一面(第一基板20的第一面)与支承构件6的第一面(图10中的上表面)对置。使第一基板20的第二面(支承基板26的表面)和第二基板30的第一面沿着层叠的方向对置地将第一滤波器2和第二滤波器3层叠而构成了第一滤波器2和第二滤波器3的层叠体。另外，第二滤波器3的第二信号电极32和第一滤波器2的第一贯通电极51通过凸块54接合。

支承构件6具备板状的主体61。主体61优选由具有电绝缘性并且其线膨胀率具有与构成第一滤波器2的支承基板26的硅基板的线膨胀率接近的值的材料，例如，玻璃基板等形成。

在主体61的第一面(图10中的上表面)的一部分设置有凹处610。主体61使凹处610与设置在第一滤波器2的第一面的第一功能电极21对置地对第一滤波器2进行支承。在主体61的第一面中未设置凹处610的部分露出第一贯通导体64以及第二贯通导体65的端部。第一贯通导体64以及第二贯通导体65设置为沿着层叠的方向贯通主体61。第一贯通导体64在露出于主体61的第一面的端部与第一滤波器2的中继电极24电连接。此外，第二贯通导体65在露出于主体61的第一面的端部与第一滤波器2的接地电极25电连接。

在主体61的第二面(图10中的下表面)设置有一个以上的端子电极62以及接地电极63。端子电极62在主体61的第二面与第一贯通导体64电连接。此外，接地电极63在主体61的第二面与第二贯通导体65电连接。进而，主体61的第二面被由具有电绝缘性的材料形成的绝缘层66覆盖。另外，端子电极62以及接地电极63分别经由凸块67与未图示的内插器的多个焊盘中的对应的焊盘电连接。

像上述的那样，在变形例的弹性波装置1中，也在第一滤波器2的信号线与第二滤波器3的信号线之间设置有与信号-接地电连接的接地电极25、第二贯通导体65。因此，变形例的弹性波装置1也能够谋求在第一滤波器2的信号线与第二滤波器3的信号线之间进行空间传导的接收信号的降低，能够抑制第一滤波器2与第二滤波器3的隔离度特性的下降。

另外，虽然上述的实施方式以及变形例的弹性波装置1将两个弹性波元件(第一滤波器2和第二滤波器3)层叠而构成，但是也可以层叠三个以上的弹性波元件而构成。例如，也可以将通带相互不同的三个以上的弹性波元件(滤波器)层叠而构成弹性波装置1。

在此，虽然在本实施方式以及变形例中，例示了将通过天线接收的接收信号分为多个频带进行输出的作为接收用的滤波器装置的弹性波装置1，但是弹性波装置并不限定于接收用的滤波器装置。例如，弹性波装置1也可以是在一个天线并联地连接多个发送用滤波器而构成的发送用的滤波器装置。或者，弹性波装置1也可以是用于通过将第一滤波器2作为接收滤波器并将第二滤波器3作为发送滤波器而在发送和接收的双方共用一个天线的分波器(Duplexer)、多工器(Multiplexer)等。此外，在第一滤波器2中，第一信号电极22A～22F并不是必需的构成要素。例如，也可以是，在第一基板20的第一面20A，第三贯通电极53和第一布线导体23直接电连接。

根据以上所述的实施方式可明确，本发明的第一方式涉及的弹性波装置(1)具有包含第一弹性波元件(第一滤波器2)和第二弹性波元件(第二滤波器3)的多个弹性波元件。第一弹性波元件(第一滤波器2)和第二弹性波元件(第二滤波器3)沿着给定的方向进行层叠。第一弹性波元件(第一滤波器2)具有在至少一部分具有压电性的第一基板(20)和设置在第一基板(20)的一个主面(第一面20A)的第一功能电极(21)。第一弹性波元件(第一滤波器2)具有设置在第一基板(20)并与第一功能电极(21)电连接的第一布线导体(23)。第二弹性波元件(第二滤波器3)具有在至少一部分具有压电性的第二基板(30)和设置在第二基板(30)的一个主面(第一面30A)的第二功能电极(31)。第一弹性波元件(第一滤波器2)还具有：设置在第一基板(20)的一个主面(第一面20A)并与第二功能电极(31)电连接的中继电极(24)；以及设置在第一基板(20)的一个主面(第一面20A)的接地电极(25)。接地电极(25)设置在第一功能电极(21)以及第一布线导体(23)中的至少一个与中继电极(24)之间，且与中继电极(24)电绝缘。

在第一方式涉及的弹性波装置(1)中，在第一弹性波元件(第一滤波器2)的信号线与第二弹性波元件(第二滤波器3)的信号线之间设置有接地电极(25)。而且，接地电极(25)与中继电极(24)电绝缘。也就是说，通过接地电极(25)与信号-接地电连接，从而第一方式的弹性波装置(1)能够谋求在第一弹性波元件(第一滤波器2)的信号线与第二弹性波元件(第二滤波器3)的信号线之间进行空间传导的信号的降低。其结果是，第一方式的弹性波装置(1)能够抑制隔离度特性的下降。

在本发明的第二方式涉及的弹性波装置(1)中，在第一方式中，接地电极(25)与第一功能电极(21)电连接。

在本发明的第三方式涉及的弹性波装置(1)中，在第一方式或第二方式中，第一弹性波元件(第一滤波器2)还具有设置在第一基板(20)并经由第一布线导体(23)与第一功能电极(21)电连接的第一信号电极(22)。第二弹性波元件(第二滤波器3)还具有：设置在第二基板(30)并与第二功能电极(31)电连接的第二布线导体(33)；以及设置在第二基板(30)并经由第二布线导体(33)与第二功能电极(31)电连接的第二信号电极(32)。

在本发明的第四方式涉及的弹性波装置(1)中，在第一～第三中的任一个方式中，第一弹性波元件(第一滤波器2)具有设置在第一基板(20)的与一个主面(第一面20A)对置的另一个主面(第二面20B)的信号端子(41)。第一弹性波元件(第一滤波器2)具有设置在第一基板(20)的另一个主面(第二面20B)的接地端子(42)。第一弹性波元件(第一滤波器2)具有沿着层叠的方向贯通第一基板(20)并将中继电极(24)和信号端子(41)电连接的第一贯通电极(51)。第一弹性波元件(第一滤波器2)具有沿着层叠的方向贯通第一基板(20)并将接地电极(25)和接地端子(42)电连接的第二贯通电极(52)。第二贯通电极(52)与第一贯通电极(51)电绝缘。

在第四方式涉及的弹性波装置(1)中，与第二弹性波元件(第二滤波器3)的信号线包含的第一贯通电极(51)一同设置在第一基板(20)的第二贯通电极(52)与信号-接地电连接，由此能够抑制隔离度特性的下降。

在本发明的第五方式涉及的弹性波装置(1)中，在第四方式中，第二贯通电极(52)在第一基板(20)内设置在第一贯通电极(51)的周围。

在第五方式涉及的弹性波装置(1)中，通过在第一贯通电极(51)的周围设置第二贯通电极(52)，从而能够进一步抑制隔离度特性的下降。

在本发明的第六方式涉及的弹性波装置(1)中，在第四方式或第五方式中，第一弹性波元件(第一滤波器2)还具有沿着层叠的方向贯通第一基板(20)并与第一布线导体(23)电连接的第三贯通电极(53)。

在第六方式涉及的弹性波装置(1)中，第一弹性波元件(第一滤波器2)的信号线的一部分由贯通第一基板(20)的第三贯通电极(53)构成，由此能够谋求信号线的省布线化。

在本发明的第七方式涉及的弹性波装置(1)中，在第一～第六中的任一个方式中，第一基板(20)以及第二基板(30)中的至少一个基板具有支承基板(26；34)和直接或间接地形成在支承基板(26；34)的一个主面的压电膜(271；351)。

在第七方式涉及的弹性波装置(1)中，与第一基板(20)或第二基板(30)整体由压电基板构成的情况相比较，能够用适当的材料形成支承基板(26；34)以及压电膜(271；351)中的每一个。

在本发明的第八方式涉及的弹性波装置(1)中，在第七方式中，至少一个基板还具有形成在支承基板(26；34)与压电膜(271；351)之间的低声速膜(270；350)。低声速膜(270；350)由以比在压电膜(271；351)传播的弹性波的传播速度低速的传播速度传播弹性波的材料形成。支承基板(26；34)由以比在压电膜(271；351)传播的弹性波的传播速度高速的传播速度传播弹性波的材料形成。

在第八方式涉及的弹性波装置(1)中，能够提高第一弹性波元件(第一滤波器2)或第二弹性波元件(第二滤波器3)的Q值。

在本发明的第九方式涉及的弹性波装置(1)中，在第一方式～第八方式的任一个中，第一功能电极(21)以及第二功能电极(31)中的至少一者为IDT电极。

在第九方式涉及的弹性波装置(1)中，能够使用Q值高的弹性波元件将第一弹性波元件(第一滤波器2)或第二弹性波元件(第二滤波器3)做成为插入损耗小的滤波器(弹性波滤波器)。

在本发明的第十方式涉及的弹性波装置(1)中，在第一方式～第四方式的任一个中，还具有在层叠的方向上对第一弹性波元件(第一滤波器2)以及第二弹性波元件(第二滤波器3)的层叠体进行支承的支承构件(6)。层叠体(第一滤波器2以及第二滤波器3)被支承构件(6)支承，使得第一弹性波元件(第一滤波器2)与支承构件(6)的第一面对置。支承构件(6)具有：端子电极(62)，在层叠的方向上设置在支承构件(6)的与第一面对置的第二面；以及接地电极(63)，设置在支承构件(6)的第二面。支承构件(6)具有：第一贯通导体(64)，形成为沿着层叠的方向贯通支承构件(6)，并将第一弹性波元件(第一滤波器2)的中继电极(24)和端子电极(62)电连接。支承构件(6)具有：第二贯通导体(65)，形成为沿着层叠的方向贯通支承构件(6)，并将第一弹性波元件(第一滤波器2)的接地电极(25)和设置在支承构件(6)的第二面的接地电极(63)电连接。

在第十方式涉及的弹性波装置(1)中，通过使支承构件(6)对第一弹性波元件(第一滤波器2)以及第二弹性波元件(第二滤波器3)的层叠体进行支承，从而能够谋求层叠体的机械强度的提高。

附图标记说明

1：弹性波装置；

2：第一滤波器(第一弹性波元件)；

3：第二滤波器(第二弹性波元件)；

6：支承构件；

20：第一基板；

20A：第一面(一个主面)；

21：第一功能电极；

22：第一信号电极；

23：第一布线导体；

24：中继电极；

25：接地电极；

26：支承基板；

30：第二基板；

30A：第一面(一个主面)；

31：第二功能电极；

32：第二信号电极；

33：第二布线导体；

34：支承基板；

51：第一贯通电极；

52：第二贯通电极；

62：端子电极；

63：接地电极；

64：第一贯通导体；

65：第二贯通导体；

270：低声速膜；

271：压电膜；

350：低声速膜；

351：压电膜。

Claims (10)

1.一种弹性波装置，具有包含第一弹性波元件和第二弹性波元件的多个弹性波元件，在所述第一弹性波元件上层叠了所述第二弹性波元件，所述弹性波装置的特征在于，

所述第一弹性波元件具有：

第一基板，在至少一部分具有压电性；

第一功能电极，设置在所述第一基板的一个主面；以及

第一布线导体，设置在所述第一基板，与所述第一功能电极电连接，

所述第二弹性波元件具有：

第二基板，在至少一部分具有压电性；以及

第二功能电极，设置在所述第二基板的一个主面，

所述第一弹性波元件还具有：

中继电极，设置在所述第一基板的所述一个主面，与所述第二功能电极电连接；以及

接地电极，设置在所述第一基板的所述一个主面，

所述接地电极设置在所述第一功能电极以及所述第一布线导体中的至少一个与所述中继电极之间，且与所述中继电极电绝缘。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，

所述接地电极与所述第一功能电极电连接。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第一弹性波元件还具有：

第一信号电极，设置在所述第一基板，经由所述第一布线导体与所述第一功能电极电连接，

所述第二弹性波元件还具有：

第二布线导体，设置在所述第二基板，与所述第二功能电极电连接；以及

第二信号电极，设置在所述第二基板，经由所述第二布线导体与所述第二功能电极电连接。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第一弹性波元件具有：

信号端子，设置在所述第一基板的与所述一个主面对置的另一个主面；

接地端子，设置在所述第一基板的所述另一个主面；

第一贯通电极，沿着所述层叠的方向贯通所述第一基板，将所述中继电极和所述信号端子电连接；以及

第二贯通电极，沿着所述层叠的方向贯通所述第一基板，将所述接地电极和所述接地端子电连接，

所述第二贯通电极与所述第一贯通电极电绝缘。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第二贯通电极在所述第一基板内设置在所述第一贯通电极的周围。

6.根据权利要求4或5所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第一弹性波元件还具有：

第三贯通电极，沿着所述层叠的方向贯通所述第一基板，与所述第一布线导体电连接。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第一基板以及第二基板中的至少一个基板具有：

支承基板；以及

压电膜，直接或间接地形成在所述支承基板的一个主面。

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其特征在于，

所述至少一个基板还具有：低声速膜，形成在所述支承基板与所述压电膜之间，

所述低声速膜由以比在所述压电膜传播的弹性波的传播速度低速的传播速度传播弹性波的材料形成，

所述支承基板由以比在所述压电膜传播的弹性波的传播速度高速的传播速度传播弹性波的材料形成。

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第一功能电极以及所述第二功能电极中的至少一者为IDT电极。

10.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其特征在于，

还具有：支承构件，在所述层叠的方向上对所述第一弹性波元件以及所述第二弹性波元件的层叠体进行支承，

所述层叠体被所述支承构件支承，使得所述第一弹性波元件与所述支承构件的第一面对置，

所述支承构件具有：

端子电极，在所述层叠的方向上设置在所述支承构件的与所述第一面对置的第二面；

接地电极，设置在所述支承构件的所述第二面；

第一贯通导体，形成为沿着所述层叠的方向贯通所述支承构件，将所述第一弹性波元件的所述中继电极和所述端子电极电连接；以及

第二贯通导体，形成为沿着所述层叠的方向贯通所述支承构件，将所述第一弹性波元件的所述接地电极和设置在所述支承构件的所述第二面的所述接地电极电连接。

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