CN110690153A - 用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于二维材料范德华异质结的真空转移设备，本发明有效解决了现有在制备范德华异质结的时候两二维材料之间容易产生气泡并且不能灵活调节两二维材料相对位置的问题；解决的技术方案包括：在真空筒由正常大气压抽成预设系统压强的过程中，其中一个二维材料可自动朝着靠近另一二维材料的方向移动，从而实现在真空的环境下实现两种二维材料的堆叠，通过设置于操作筒上端的驱动装置可调节两种二维材料的相对位置（两种二维材料所进行堆叠的排列方式、角度方向），从而可根据实际需求堆叠出不同性能的范德华异质结，将范德华异质结的独特的优异性能得到充分应用，并且整个操作过程较为简单、快捷。

Description

用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备

技术领域

本发明总体上涉及新材料领域，涉及一种用于在真空中转移和叠置两个二维材料样品的设备，从而形成范德华异质结结构。

背景技术

任何钝化的或者悬垂键自由表面间相互作用均通过范德华力,这也就使得任何层状2D材料能够与许多不同维度的材料整合成为混合维度范德华异质结构，二维层状材料因其具有新颖的电子/光电子性质和与硅基技术高度的兼容性而引起研究人员越来越多的关注，此外，不同的二维材料可以借助弱范德华作用力自由地堆垛形成具有原子级平整界面的人工异质结构，这种异质结构通常被称为范德华异质结，通过选择不同的二维材料和特定的堆垛方式（操作过程中可根据自身所需堆垛结构、排列方式、角度方向等进行调整），将各自二维材料的独特性质可以有机地结合在一起，二维材料范德华异质结是指两种二维材料通过在垂直于二维材料平面的方向上的范德华力结合在一起而形成；

其通常的制备方法是将两块机械剥离的二维材料堆叠在一起来制备，并且上述操作一般由人在空气中或者在玻璃箱中通过显微镜来进行，即，将两个需要堆叠的二维材料分别放置于载体上，然后控制其中一个载体朝着另一载体移动，最终让两中二维材料接触并且结合在一起形成范德华异质结；

然而，在上述操作过程中，有时会在两种二维材料的接触面掺插有气体，形成一些纳米尺度甚至微米尺度的气泡，这些气泡会作为杂质严重影响二维材料范德华异质结的性能；而且，现有的范德华异质结在制备过程中，不能根据需求灵活的调整堆叠的角度方向以及排列方式，导致制备而成的范德华异质结性能较为单一，不能充分发挥范德华异质结独有的性能；

鉴于以上，我们提供一种制备范德华异质结的设备，用于解决上述问题。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本发明提供一种用于二维材料范德华异质结的真空转移设备，该设备可使得两种二维材料在真空中完成堆叠，并且可根据需求较为灵活的调整两种二维材料的相对位置（两种二维材料所进行堆叠的排列方式、角度方向），从而可根据实际需求堆叠出不同性能的范德华异质结，并且整个操作过程较为简单、快捷。

具体技术方案如下：

用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，包括真空筒且真空筒连通有抽气泵，所述真空筒上端安装有进气装置，其特征在于，所述真空筒内竖向间隔设置有第一圆板、第二圆板，第二圆板竖向滑动连接于真空筒内且第一圆板固定于真空筒，所述真空筒两侧分别连通有操作腔，所述操作腔内设置有伸缩机构且伸缩机构上可拆卸安装有载体，第二圆板上端面连接有第一弹簧且第一弹簧另一端向上穿过第一圆板固定于真空筒内，第一圆板上同轴心设有圆孔且圆孔内转动安装有承托板，所述承托板与第二圆板上分别设置有用于放置载体的固定装置，真空筒底部设置有用于对第二圆板锁定的锁定装置，所述承托板连接有第一驱动装置并且第一驱动装置与第二圆板之间连接有第二弹簧，所述第一圆板上设置有用于对承托板定位的定位装置；

所述承托板内同轴心间隔设置有载物板且承托板与载物板之间经连接装置连接，承托板底部中心位置转动安装有Z形杆，所述固定装置固定安装在Z形杆上端且Z形杆下端固定安装有摩擦盘，承托板上设置有用于对摩擦盘限位的限位装置，所述第一圆板上方间隔安装有与第一圆板同轴心设置的驱动盘且驱动盘配合有安装于真空筒上端的第二驱动装置，驱动盘满足：当其在第二驱动装置的驱动下驱动盘与摩擦盘接触时刚好使得限位装置被解除，驱动盘在第二驱动装置的驱动下带动摩擦盘转动即而带动载物板转动，从而实现调整两载体之间相对位置的效果。

优选的，所述连接装置包括间隔环绕设置于载物板外圆面且沿载物板直径方向滑动连接于载物板的若干连接柱，连接柱与载物板之间连接有第三弹簧且承托板上设有与连接柱相配合的连接孔，连接柱上固定连接有第一齿条且第一齿条啮合有转动安装于载物板的第一齿轮，第一齿轮同轴转动有第三齿轮且第三齿轮啮合有滑动连接于载物板的第二齿条，第二齿条向外穿出载物板且穿出一端固定连接有弧形板。

优选的，所述限位装置包括滑动连接于载物板底部的限位杆且摩擦盘轴向两侧设有与限位杆相配合的限位孔，限位杆与载物板之间连接有第四弹簧且限位杆上固定连接有弧形凸块，所述驱动盘外圆面上固定有与弧形凸块相配合的弧形环。

优选的，所述第二圆板内轴向两侧设有锁定孔，锁定装置包括与锁定孔滑动配合的L形杆，所述L形杆经第五弹簧滑动连接于真空筒内壁，L形杆置于锁定孔内一端以及锁定孔下端均进行倒圆弧设置，L形杆底部固定连接有第一触发块且真空筒底壁上竖向滑动连接有第二触发块，第二触发块与真空筒底壁之间连接有第六弹簧。

优选的，定位装置包括：圆孔轴向两侧经第七弹簧滑动连接有定位柱且载物板上设有与定位柱相配合的定位孔，定位柱底部固定连接有第三触发块且第三触发块背离抽气泵一侧配合有竖向滑动连接于第一圆板底部的第四触发块，第四触发块与第一圆板之间连接有第八弹簧，第一圆板靠近抽气泵一侧上端面和第一圆板远离抽气泵一侧下端面竖向滑动连接有解锁柱，解锁柱置于第一圆板外一端经传动装置驱动有滑动连接于第一圆板上的解锁杆且解锁杆与第一圆板之间连接有第九弹簧，定位柱上设有与解锁柱相对应的矩形孔且定位柱与承托板相配合一端设置为斜面。

优选的，所述第一驱动装置包括设置于第一圆板内且与承托板同轴转动的第二齿轮，第二齿轮啮合有竖向滑动连接于第一圆板的第三齿条且第三齿条上端经第十弹簧与第一圆板连接，所述第二圆板下端面固定有与第三齿条竖向互动配合的滑筒且第二弹簧连接于第三齿条与滑筒之间。

优选的，所述第二驱动装置包括转动安装于真空筒上端面的螺纹筒且螺纹筒配合有竖向滑动连接于真空筒顶壁的螺杆，螺杆内同轴心转动安装有驱动杆且驱动盘固定连接于驱动杆下端。

优选的，所述固定装置包括分别竖向滑动连接于第二圆板、载物板上的圆柱凸头且圆柱凸头与之对应的第二圆板、载物板之间连接有伸缩弹簧，载体背离与之对应的伸缩机构一侧间隔设置有固定孔，所述固定孔内配合有分别固定于第二圆板、Z形杆上的U形架，载体上设有与圆柱凸头相配合的插孔。

优选的，所述伸缩机构包括固定于操作腔内的伸缩杆且伸缩杆头部固定连接有夹持架，夹持架两悬臂相向一侧分别滑动连接有夹持杆且夹持杆与夹持架之间连接有夹持弹簧，载体上设有与夹持杆相配合的夹持孔，夹持杆上固定有铁片并且夹持架内设有电磁铁，电磁铁串联于设置在伸缩机构上的稳压回路中。

优选的，所述第一圆板、第二圆板上开设有若干透孔。

上述技术方案有益效果在于：

（1）在本方案中，当将两种二维材料分别放置于各自载体上相应位置后，只需要将载体分别移动到置于真空筒内的特定位置处，随后密封真空筒并且通过抽气泵将真空筒抽成真空，在真空筒由正常大气压抽成预设系统压强的过程中，其中一个二维材料可自动朝着靠近另一二维材料的方向移动，操作人员只需通过控制真空筒内的的系统压强来控制两二维材料的接近程度，从而实现在真空的环境下实现两种二维材料的堆叠，避免了传统的在两二维材料接触面产生纳米气泡而导致形成的范德华异质结性能不佳问题的发生；

（2）在两种二维材料靠近的过程中，通过设置于操作筒上端的驱动装置可调节两种二维材料的相对位置（两种二维材料所进行堆叠的排列方式、角度方向），从而可根据实际需求堆叠出不同性能的范德华异质结，将范德华异质结的独特的优异性能得到充分应用，并且整个操作过程较为简单、快捷。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明真空筒部分侧壁剖视后示意图；

图3为本发明伸缩机构与载体安装关系示意图；

图4为本发明第二圆板与真空筒配合关系示意图；

图5为本发明第二圆板与真空筒配合关系另一视角示意图；

图6为本发明第一圆板部分剖视后第三齿条与第二齿轮配合示意图；

图7为本发明第二圆板剖视后于承托板连接关系示意图；

图8为本发明连接柱、第二齿条、弧形板连接关系示意图；

图9为本发明第二驱动装置与真空筒配合工作示意图；

图10为本发明真空筒剖视后内部结构安装关系示意图；

图11为本发明第一圆板与承托板安装关系仰视示意图；

图12为本发明第一圆板与承托板安装关系俯视示意图；

图13为本发明第二驱动装置与载体配合关系示意图；

图14为本发明删去真空筒后第一圆板、第二圆板配合关系示意图；

图15为本发明第一圆板、承托板、载物板配合关系俯视示意图；

图16为本发明承托板剖视后载物板与其安装关系示意图；

图17为本发明传动装置与第一圆板安装关系示意图。

图中：真空筒1，抽气泵2，第一圆板3，第二圆板4，操作腔5，载体6，第一弹簧7，圆孔8，承托板9，第二弹簧10，载物板11，Z形杆12，摩擦盘13，驱动盘14，连接柱15，第三弹簧16，连接孔17，第一齿条18，第一齿轮19，第二齿条20，弧形板21，限位杆22，限位孔23，第四弹簧24，弧形凸块25，弧形环26，锁定孔27，L形杆28，第五弹簧29，第一触发块30，第二触发块31，第六弹簧32，第七弹簧33，定位柱34，定位孔35，第三触发块36，第四触发块37，第八弹簧38，解锁柱39，解锁杆40，第九弹簧41，矩形孔42，第二齿轮43，第三齿条44，第十弹簧45，滑筒46，螺纹筒47，螺杆48，驱动杆49，限位筒50，圆柱凸头51，伸缩弹簧52，固定孔53，U形架54，插孔55，伸缩杆56，夹持架57，夹持杆58，夹持弹簧59，夹持孔60，透孔61，柔性复合软管62，密封门63，进气筒64，进气阀门65，进气手柄66，滑道67，第三齿轮68，U形杆69，解锁块70，第一解锁齿轮71，第二解锁齿轮72，L形齿条73。

具体实施方式

有关本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图1至图17对实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。

下面将参照附图描述本发明的各示例性的实施例。

实施例1, 本发明为用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，包括真空筒1且真空筒1连通有抽气泵2，参照附图1所示，真空筒1经导管与抽气泵2连通并且抽气泵2实现将真空筒1内空气向外抽出的效果，具体的，抽气泵2可为微型真空抽气泵2，其型号可为kvp8-s（在此提供一种选择，但不限于仅此一种抽气泵2，我们可在真空筒1壁上安装有真空表，用于测量真空筒1内的系统压强，并且实时显示真空筒1内的气体压强），其特征在于，所述真空筒1内竖向间隔设置有第一圆板3、第二圆板4，第二圆板4竖向滑动连接于真空筒1内且第一圆板3固定于真空筒1，如附图10所示，第一圆板3固定于真空筒1内壁，第二圆板4竖向滑动连接于真空筒1，所述真空筒1两侧分别连通有操作腔5，所述操作腔5内设置有伸缩机构且伸缩机构上可拆卸安装有载体6，所述载体6分为两种，位于上端的载体6为载玻片（在本方案中：将二维材料放置在具有双层粘性聚合物的载破片的上方并且二维材料在双层粘性聚合物的作用下固定在载玻片上，该双层粘性聚合物通常为聚甲基乙撑碳酸酯，简称PPC/PDMS）并且位于下方的载体6为硅片，载玻片与硅片上分别用于放置、固定用于制备范德华异质结的两种二维材料，并且两载体6分别与之相对应的伸缩机构之间可进行拆卸安装，参照附图14所示，第二圆板4上端面连接有第一弹簧7且第一弹簧7另一端向上穿过第一圆板3固定于真空筒1内，初始状态时，即真空筒1内压强与大气压强相同时，第一弹簧7在第二圆板4的重力下处于拉伸状态，第一圆板3上同轴心设有圆孔8且圆孔8内转动安装有承托板9，所述承托板9与第二圆板4上分别设置有用于放置载体6的固定装置，并且该固定装置满足，当伸缩机构伸长将载体6移动至相应位置处时（第二圆板4或者承托板9上时）该固定装置可实现对载体6的定位、锁定效果，并且伸缩机构收缩时在固定装置的定位、锁定下可实现载体6与伸缩机构的脱离，真空筒1底部设置有用于对第二圆板4锁定的锁定装置，该锁定装置满足：当真空筒1内气压与外界相同时，锁定装置可实现对第二圆板4的定位、锁定效果（并且此时第一弹簧7处于被拉伸状态），当真空筒1在抽气泵2的作用下缓慢变成真空的过程中，当真空筒1内的压强低于大气压强并且达到一定数值时，设置于真空筒1底部的锁定装置失去对第二圆板4的定位、锁定功能，并且第二圆板4在第一弹簧7弹力作用下开始沿真空筒1内壁缓慢向上移动，所述承托板9连接有第一驱动装置并且第一驱动装置与第二圆板4之间连接有第二弹簧10，参照附图10所示，转动安装于圆孔8内的承托板9连接有第一驱动装置并且经第一驱动装置驱动，使其在圆孔8内进行转动，在设置的时候我们使得圆孔8的直径大于承托板9的直径以保证承托板9可在第一驱动装置的驱动下在圆孔8内进行转动，由于初始状态时，第一弹簧7处于被拉伸状态并且当真空筒1内的压强由正常的大气压强变为真空时（真空筒1内的系统压强低于大气压强一定数值后时）第二圆板4的重力逐渐变小（此时第一弹簧7一直处于被拉伸状态），第二圆板4在第一弹簧7的作用下沿真空筒1内壁向上开始滑动并且通过第一驱动装置带动承托板9在圆孔8内转动，所述第一圆板3上设有用于对承托板9定位定位装置，该定位装置满足：当真空筒1内压强与大气压强相同时，定位装置实现对承托板9的定位效果，当设置于真空筒1底部的锁定装置失去对第二圆板4的定位时，设置于第一圆板3上的定位装置也失去对承托板9的定位效果，并且我们设定：当第二圆板4处于自由状态且要向上沿真空筒1内壁滑动时，承托板9刚好处于自由状态并且在第一驱动装置的驱动下带动承托板9沿圆孔8进行转动，我们在设置的时候使得当承托板9在第一驱动装置的驱动下转动 180°时，设置于第一圆板3上的定位装置同步实现再次对承托板9的定位效果，此时第二圆板4上的载体6与第一圆板3上的载体6相向面对（第一圆板3上的载体6竖直朝下，第二圆板4上的载体6竖直向上）并且两载体6在竖向仍间隔有一定距离，即，两载体6上的二维材料还未接触到一起（第二圆板4此时在真空筒1中所处位置我们设置为A位置），此时我们停止抽气泵2工作，第二圆板4停止继续向上移动并且此时第二圆板4的重力与第一弹簧7的拉力处于平衡状态；

较好的，我们在承托板9内同轴心间隔设置有载物板11且承托板9与载物板11之间经连接装置连接，参照附图16所示，载物板11与承托板9之间间隔设置，并且承托板9底部中心位置转动安装有Z形杆12，位于承托板9上的固定装置固定安装在Z形杆12上端且Z形杆12下端固定安装有摩擦盘13，承托板9上设置有用于对摩擦盘13限位的限位装置，所述第一圆板3上方间隔安装有与第一圆板3同轴心设置的驱动盘14且驱动盘14配合有安装于真空筒1上端的第二驱动装置，驱动盘14满足：当其在第二驱动装置的驱动下驱动盘14与摩擦盘13接触时刚好使得限位装置被解除，驱动盘14在第二驱动装置的驱动下带动摩擦盘13转动即而带动载物板11转动，从而实现调整两载体6之间相对位置的效果；

参照附图9所示，初始状态时，驱动盘14间隔位于第一圆板3正上方并且驱动盘14不妨碍承托板9的转动，此时摩擦盘13在限位装置的作用下处于被定为状态，即，Z形杆12处于被定为状态进而使得载物板11处于被定为状态，当承托板9在第一驱动装置的作用下转动180°后，此时固定于固定装置上的载体6处于下方且摩擦盘13处于上方（即，载体6与摩擦盘13相互调换一下位置），此时我们通过操作设置于真空筒1上的第二驱动装置，使其向下移动并且带动驱动盘14朝着靠近摩擦盘13的方向移动，最终使得驱动盘14与摩擦盘13接触在一起，当驱动盘14与摩擦盘13接触时刚好解除限位装置对摩擦盘13的限位，此时摩擦盘13、Z形杆12、载物板11均处于自由状态，此时我们再次操作第二驱动装置并且通过第二驱动装置带动驱动盘14转动，进而带动摩擦盘13转动（我们在驱动盘14下表面固定设置有摩擦阻尼片用于增大与摩擦盘13之间的摩擦阻力，以便于更好的驱动摩擦盘13转动），摩擦盘13转动进而通过Z形杆12带动载物板11转动，从而实现调整两载体6之间的相对角度，使得实验人员根据需要堆叠出以不同排列方式、角度有方向的范德华异质结，最终获得不同性能的范德华异质结，当实验人员根据需要调整好两载体6的相对位置后，此时再次启动抽气泵2工作并且继续向外抽出真空筒1内的气体，使得真空筒1内的系统压强进一步减小，此时第二圆板4的重力进一步降低，并且在第一弹簧7的弹力下驱动第二圆板4继续向上移动（承托板9此时处于被定为状态，第二驱动装置不能驱动承托板9转动，此时连接于第二圆板4与承托板9之间的第一驱动装置进一步压缩第二弹簧10），最终使得两载体6接触，使得两载体6上的二维材料以特定的排列方式、角度方向完成范德华异质结的堆叠；

完成两二维材料的堆叠后，此时驱动盘14与摩擦盘13仍处于接触状态，我们通过设置于真空筒1上端的进气装置（参照附图9所示，进气装置包括与真空筒1连通的进气筒64且进气筒64内竖向滑动连接有进气阀门65，进气阀门65与进气筒64之间不发生相对转动，真空筒1内固定有与进气筒64相配合的滑道67，滑道67结构为与进气阀门65竖向滑动配合的矩形轨道，通过旋拧进气手柄66带动进气阀门65进行竖向移动，进气筒64顶部设置有若干进气孔，当真空筒1处于密封状态时，进气阀门65处于如附图9所示位置，当需要向真空筒1内注入空气时，旋拧进气手柄66带动进气阀门65向下移动以至移动到固定于真空筒1内的滑道67位置，此时进气筒64与真空筒1连通，外界空气经设置于进气筒64顶部的进气孔进入到真空筒1），使得真空筒1内的系统压强缓慢恢复至与外界大气压强相同状态，在真空筒1内系统压强恢复至与大气压强相同的过程中，当真空筒1内系统压强增大到某一数值时，设置于第一圆板3上的定位装置失去对承托板9的定位，由于载玻片上的二维材料与双层粘性聚合物之间的范德华力小于其与位于硅片上的二维材料之间的范德华力，并且两二维材料之间的范德华力远小于硅片上的二维材料与硅片之间的范德华力，此时第二圆板4已经带动位于其上面的载体6与位于第一圆板3上的载体6分离并且第二圆板4向下移动至A位置处，此时完成二维材料的转移（即，两二维材料所制得的范德华异质结转移至位于第二圆板4上的载体6上）；

此时，我们将进气装置关闭，由于驱动盘14一直与摩擦盘13处于接触状态，此时我们通过第二驱动装置带动摩擦盘13转动进而将固定于Z形杆12上的固定装置调整到初始位置，即，将放置于固定装置上的载体6调整到初始位置（以便于与之对应的伸缩机构将载体6取走），随手我们控制第一驱动装置使其带动驱动盘14向上移动使之与摩擦盘13分离，并且此时限位装置再次实现对摩擦盘13的限位，随后我们再次将进气装置打开，继续向真空筒1内输送空气，第二圆板4的重力继续增大并且拉伸第一弹簧7向下移动，当真空筒1内系统压强恢复至与外界大气压强相同时，第二圆板4刚好移动至初始位置并且设置于真空筒1底部的锁定装置实现对第二圆板4的锁定，在此过程中承托板9刚好在第一驱动装置的作用下反向转动180°，并且设置于第一圆板3上的定位装置刚好实现对承托板9的再次定位。

实施例2，在实施例1的基础上，本实施例提供一种连接装置的具体结构，如附图15所示，连接装置包括间隔环绕设置于载物板11外圆面且沿载物板11直径方向滑动连接于载物板11的若干连接柱15，参照附图16所示，连接柱15与载物板11之间连接有第三弹簧16且承托板9上设有与连接柱15相配合的连接孔17，参照附图8所示，连接柱15上固定连接有第一齿条18且第一齿条18啮合有转动安装于载物板11的第一齿轮19，第一齿轮19同轴转动有第三齿轮68且第三齿轮68啮合有滑动连接于载物板11的第二齿条20，第二齿条20向外穿出载物板11且穿出一端固定连接有弧形板21，我们在载物板11内设置有分别与连接柱15、第一齿条18、第二齿条20滑动配合的滑腔并且在载物板11内设置有与第一齿轮19、第三齿轮68相配合的腔体（在附图中我们不再给出滑腔以及腔体的具体结构），如附图16所示，Z形杆12分为三部分并且为水平设置部分分别与承托板9、载物板11下端面滑动配合接触，参照附图15所示结构，第二驱动装置驱动Z形杆12沿顺时针方向转动，使得当Z形杆12在第二驱动装置的驱动下沿承托板9底部中心位置转动时，当Z形杆12转动至弧形板21位置处时其为竖向部分首先触碰到弧形板21并且将弧形板21挤压至设置于载物板11内的滑腔中，弧形板21带动第二齿条20沿滑腔移动并且驱动第三齿轮68状态，即而通过与之同轴转动的第一齿轮19驱动与连接柱15固定连接的第一齿条18移动，进而带动连接柱15收缩至载物板11内，在设置的时候我们使得第三齿轮68的直径小于第一齿轮19的直径，即，使得连接柱15向载物板11内收缩的速度大于弧形板21箱载物板11内收缩的速度，使得当弧形板21在Z形杆12的挤压下完全收缩至载物板11内时，连接柱15也完全同步收缩至载物板11内并且此时Z形杆12在第二驱动装置的驱动下越过该连接柱15，当操作人员调节两载体6之间的相对位置时，伴随着Z形杆12在承托板9上的转动，当Z形杆12移动至某一连接柱15位置处时，重复以上过程，参照附图15所示，载物板11经若干连接柱15实现与承托板9之间的固定连接，当其中一个连接柱15收缩至载物板11内时，其他若干个连接柱15仍实现将载物板11与承托板9固定连接在一起的效果。

实施例3，在实施例2的基础上，本实施例提供一种限位装置的具体结构，参照附图16所示，限位装置包括滑动连接于载物板11底部的限位杆22且摩擦盘13轴向两侧设有与限位杆22相配合的限位孔23（如附图6所示），限位杆22与载物板11之间连接有第四弹簧24且限位杆22上固定连接有弧形凸块25，参照附图9所示，驱动盘14外圆面上固定有与弧形凸块25相配合的弧形环26，当操作人员通过第二驱动装置带动驱动盘14向下移动以至使得驱动盘14与摩擦盘13接触时，此时固定安装于驱动盘14外圆面上的弧形环26刚好作用下固定安装在限位杆22上的弧形凸块25上，并且通过弧形环26与弧形凸块25的相互接触，使得两限位杆22朝着相互远离的方向沿载物板11滑动（此时第四弹簧24被压缩），从而实现将限位杆22从限位孔23中退出的效果，最终实现解除对摩擦盘13的限位；

当完成二维材料的堆叠后，通过第二驱动装置将摩擦盘13相对于载物板11的位置调整到初始位置处，此时控制第二驱动装置带动驱动盘14向上移动使其与摩擦盘13分离，此时两限位杆22在第四弹簧24弹力作用下再次插入至限位孔23中，实现对摩擦盘13的定位。

实施例4，在实施例1基础上，本实施例提供一种锁定装置的具体结构，参照附图2所示，第二圆板4内轴向两侧设有锁定孔27，锁定装置包括与锁定孔27滑动配合的L形杆28并且L形杆28和与之对应的锁定孔27之间可沿附图2中所示方位进行横向滑动，所述L形杆28经第五弹簧29滑动连接于真空筒1内壁，L形杆28置于锁定孔27内一端以及锁定孔27下端均进行倒圆弧设置，L形杆28底部固定连接有第一触发块30且真空筒1底壁上竖向滑动连接有第二触发块31，第二触发块31与真空筒1底壁之间连接有第六弹簧32，初始状态当真空筒1内系统压强与大气压强相同时，第二触发块31处于如附图2中所示位置并且第六弹簧32处于被拉伸状态（在第二触发块31自身的重力作用下），当真空筒1内的系统压强逐渐降低时，第二触发块31的自身重力也逐渐减小，因此第六弹簧32缓慢将第二触发块31向上拉动，当第二触发块31向上移动以致接触到固定与L形杆28上的第一触发块30时，通过两触发块之间的相互作用力，挤压L形杆28并且使其朝着压缩第五弹簧29的方向移动，当两触发块处于同一高度位置时，第二触发块31刚好将L形杆28挤压至极限位置，此时L形杆28不能继续向前移动并且此时第二圆板4由被锁定状态转变为自由状态，此时由于第二圆板4也受到第一弹簧7的拉力并且自身重力也逐渐减小，因此伴随着真空筒1内相同压强的继续降低，第二圆板4在第一弹簧7的作用下开始缓慢向上移动；

之所以将L形杆28置于锁定孔27内一端以及锁定孔27底部进行倒圆角设置，是为了当真空筒1内相同压强逐渐增大时，第二圆板4的重力也逐渐增大并且拉伸第一弹簧7向下沿真空筒1内壁进行移动，当第二圆板4向下移动至靠近如附图2中所示位置，即，第二圆板4下端面触碰到L形杆28上端面时，通过弧形面的相互作用将L形杆28朝着压缩第五弹簧29的方向移动，以至于当锁定孔27顶壁触碰到L形杆28上端面时，在第五弹簧29的弹力作用下驱动L形杆28上端为弧形部滑入至锁定孔27内并且实现对第二圆板4的锁定。

实施例5，在实施例1的基础上，本实施例提供一种定位装置的具体结构，参照附图7所示，定位装置包括：圆孔8轴向两侧经第七弹簧33滑动连接有定位柱34且载物板11上设有与定位柱34相配合的定位孔35（如附图16所示），定位柱34底部固定连接有第三触发块36且第三触发块36背离抽气泵2一侧配合有竖向滑动连接于第一圆板3底部的第四触发块37，在设置第四触发块37的时候，我们将第四触发块37均设置于第三触发块36的同侧，如附图7中所示，位于左侧的定位柱34在真空筒1系统压强与大气压强相同时实现对承托板9的定位效果，位于右侧的定位柱34在真空筒1内系统压强低于大气压强并且处于一定真空度时对承托板9的定位效果，第四触发块37与第一圆板3之间连接有第八弹簧38，第一圆板3靠近抽气泵2一侧上端面和第一圆板3远离抽气泵2一侧下端面竖向滑动连接有解锁柱39，解锁柱39置于第一圆板3外一端经传动装置驱动有滑动连接于第一圆板3上的解锁杆40且解锁杆40与第一圆板3之间连接有第九弹簧41，如附图17所示，（初始当处于如附图7中状态时，位于左侧的第九弹簧41处于压缩状态，处于右侧的第九弹簧41处于自然伸长状态），定位柱34上设有与解锁柱39相对应的矩形孔42且定位柱34与承托板9相配合一端设置为斜面，当真空筒1内系统压强与大气压强相同时，位于左侧的解锁柱39收缩至第一圆板3内并且定位柱34对承托板9实现定位效果（此时位于右侧的解锁柱39插入之设置在与之对应定位柱34的矩形孔42中，实现对定位柱34的定位并且此时定位柱34与承托板9不接触，也不妨碍承托板9的转动），当真空筒1内的系统压强低于大气压强时并且处于一定的真空度时，位于右侧的解锁柱39收缩至第一圆板3内并且定位柱34插入之设置于承托板9上的定位孔35中，实现对承托板9的定位；

初始状态，第八弹簧38在第四触发块37自身重力作用下处于拉伸状态，当真空筒1内系统压强逐渐降低时，第四触发块37对第八弹簧38的拉力也逐渐降低并且此时第八弹簧38带动第四触发块37向上移动，伴随着第四触发块37的向上移动则第三触发块36在第四触发块37的作用下开始朝着压缩第七弹簧33的方向带动定位柱34移动，即，带动位于左侧的定位柱34从承托板9上的定位孔35中撤出，当第三触发块36移动到极限位置时（第三触发块36与第四触发块37为弧形部分刚好处于同一高度），设置于定位柱34上的矩形孔42刚好移动至竖向滑动连接于第一圆板3内的解锁柱39的正下方，此时解锁柱39在第九弹簧41的作用下向下通过传动装置驱动其滑入至矩形孔42中（传动装置包括相互配合的第一解锁齿轮71、第二解锁齿轮72且第二解锁齿轮72啮合有竖向滑动连接于第一圆板3的L形齿条73，第一解锁齿轮71与解锁杆40之间为螺纹啮合，所述L形齿条73与解锁柱39固定连接），实现对定位柱34的定位（此时该定位柱34不妨碍承托板9在圆孔8内的转动），此时承托板9处于自由状态，并且位于右侧的定位柱34被与之对应的解锁柱39处于被定位状态而无法移动（此时位于右侧的第四触发块37有向上移动的趋势），此时承托板9在第一驱动装置的作用下开始沿圆孔8进行转动（我们设定承托板9在第一驱动装置的作用下沿如附图7中所示的逆时针方向转动），当承托板9靠近右侧定位柱34一端转动至靠近左侧定位柱34位置时，承托板9外圆面触碰到滑动连接于第一圆板3下端面的解锁杆40（所述解锁杆40上固定安装有解锁块70其解锁块70设置为弧形，如附图11所示），此时承托板9外圆面作用于解锁块70并且挤压解锁杆40使之朝着远离承托板9的方向移动，与此同时解锁杆40通过与之连接的传动装置带动解锁柱39从设置于定位柱34上的矩形孔42中退出，此时位于右侧的定位柱34处于自由状态，并且在第四触发块37的作用下驱使定位柱34朝着靠近承托板9的方向移动，较好的，我们将定位柱34面向承托板9一侧设置为斜面，以使得当承托板9在第一驱动装置的作用下还未转动180°时，承托板9外圆面抵触于定位柱34斜面上，并且当承托板9转动180°时，该定位柱34在第七弹簧33弹力作用下插入之设置于承托板9上的定位孔35中，实现对承托板9的定位效果；

当完成二维材料的堆叠并且将完成二维材料的转移至位于第二圆板4的载体6上时，此时，通过进气装置向真空筒1内输送空气，此时真空筒1内的系统压强缓慢增加，此时位于右侧的第四触发块37开始向下移动的（伴随着真空筒1内系统压强的增加，第四触发块37的重力也逐渐增加），此时位于右侧的定位柱34在第七弹簧33的作用下从承托板9上的定位孔35中退出，当第四触发块37向下移动并且与第三触发块36脱离时，此时定位柱34再次处于如附图7中所示位置，并且解锁柱39在传动装置的作用下向上移动插入之设置于定位柱34上的矩形孔42内，实现对定位柱34的定位，随后承托板9在第一驱动装置作用下在圆孔8内沿如附图7中所示的顺时针方向继续转动，当承托板9转动过程中触碰到位于右侧的解锁块70时（此时，承托板9另一侧上端也刚好触碰到位于左侧的解锁块70并且使得位于左侧的解锁柱39从与之对应的矩形孔42中退出，此时位于左侧的定位柱34处于自由状态，位于左侧的定位柱34开始朝着靠近承托板9的方向移动），会驱动解锁柱39从矩形孔42中退出，但此时定位柱34不会移动且第七弹簧33处于自然伸长状态，当承托板9外圆面与位于右侧的解锁块70不再接触时，解锁柱39在传动装置的作用下再次插入之与之对应的矩形孔42中，伴随着承托板9的继续沿顺时针方向转动，位于左侧的定位柱34此时已经向右侧移动到极限位置（此时位于左侧的第四触发块37和第三触发块36脱离接触），当承托板9沿顺时针方向即将转动180°时，承托板9外圆面触碰到位于左侧定位柱34的斜面上并且通过斜面间的相互作用将定位柱34挤压至第一圆板3内，以致承托板9刚好转动180°时，位于左侧的定位柱34在第七弹簧33的作用下插入之设置于承托板9上的定位孔35中，并且实现对承托板9的定位，此时承托板9恢复至初始状态。

实施例6，在实施例1基础上，本实施例提供一种第一驱动装置的具体结构，参照附图6所示，第一驱动装置包括设置于第一圆板3内且与承托板9同轴转动的第二齿轮43，第二齿轮43啮合有竖向滑动连接于第一圆板3的第三齿条44且第三齿条44上端经第十弹簧45与第一圆板3连接（如附图10中所示），所述第二圆板4下端面固定有与第三齿条44竖向互动配合的滑筒46且第二弹簧10连接于第三齿条44与滑筒46之间（如附图2中所示），当第二圆板4在第一弹簧7作用下沿真空筒1向上移动时，会使得连接于第三齿条44与滑筒46之间的第二弹簧10被压缩，并且当第二弹簧10被压缩至一定程度时，第二圆板4开始驱动第三齿条44沿第一圆板3进行竖向移动并且带动与之啮合的第二齿轮43转动，进而带动承托板9在圆孔8内转动，伴随着第三齿条44的上移，第十弹簧45被拉伸，当承托板9在第三齿条44的驱动下转动180°时，此时两载体6上的二维材料并未接触并且第二圆板4此时在真空筒1中处于A位置，此时停止抽气泵2工作，通过第二驱动装置调节两载体6的相对位置，从而实现调节两二维材料之间的排列方式以及角度方向，完成调整后，启动抽气泵2继续抽气，此时第二圆板4在第一弹簧7作用下继续向上移动，由于此时承托板9已经被处于定位状态，使得第三齿条44无法继续向上移动，此时只能继续压缩连接于第三齿条44与滑筒46之间的第二弹簧10，以致使得两载体6上的二维材料接触并且形成范德华异质结；

当完成范德华异质结的制备后，通过进气装置箱真空筒1内缓慢注入空气，第二圆板4开始缓慢向下移动（在此过程中驱动盘14一直抵触于摩擦盘13，使得承托板9无法转动），并且当第二圆板4再次移动至A位置处时，我们将进气装置关闭，此时通过第二驱动装置带动驱动盘14转动调节位于载物板11上载体6的位置并且使其与载物板11的相对位置恢复至初始状态（以便于与之对应的伸缩机构对载体6的转移），随后我们通过进气装置继续向真空筒1内注入空气，使得第二圆板4继续向下移动并且通过第一驱动装置带动承托板9转动。

实施例7，在实施例1基础上，本实施例提供一种第二驱动装置的具体结构，参照附图9所示，第二驱动装置包括转动安装于真空筒1上端面的螺纹筒47且螺纹筒47配合有竖向滑动连接于真空筒1顶壁的螺杆48（螺杆48置于真空筒1内一端竖向滑动配合有固定在真空筒1内的U形杆69并且U形杆69在竖向起到一个对螺杆48限位的作用，螺杆48与U形杆69之间不发生相对转动），螺杆48内同轴心转动安装有驱动杆49且驱动盘14固定连接于驱动杆49下端，当需要调整驱动盘14与摩擦盘13的距离时，我们转动螺纹通进而带动螺杆48在竖向进行移动，从而实现调整驱动盘14与摩擦盘13之间距离的效果，当驱动盘14与摩擦盘13接触时，通过转动驱动杆49进而可带动驱动盘14转动，驱动盘14带动与之接触的摩擦盘13转动进而带动载物板11转动；

较好的，我们在设置第二驱动装置的时候，我们在真空筒1内壁顶端固定有柔性复合软管62并且一端固定安装在真空筒1顶壁另一端转动安装于螺杆48未开设有螺纹部分，如附图9所示，该柔性复合软管62可伸缩用于配合螺杆48的上下移动，并且该柔性复合软管62与螺杆48同轴心间隔设置，柔性复合软管62的设置使得真空筒1的密封性能得到保障。

实施例8，在实施例1基础上，本实施例提供一种固定装置的具体结构，参照附图3、7所示，固定装置包括分别竖向滑动连接于第二圆板4、载物板11上的圆柱凸头51且圆柱凸头51与之对应的第二圆板4、载物板11之间连接有伸缩弹簧52（如附图2所示），载体6背离与之对应的伸缩机构一侧间隔设置有固定孔53（参照附图10所示），所述固定孔53内配合有分别固定于第二圆板4、Z形杆12上的U形架54，载体6上设有与圆柱凸头51相配合的插孔55，在本方案中我们将载体6设置为圆形并且在载体6上设置有十字准星，用于将二维材料放置于载体6的正中心位置，当伸缩机构将其所夹持的载体6朝着靠近与之对应的固定装置移动时，载体6外圆面首先触碰到圆柱凸头51为半圆形部位并且伴随着伸缩机构的继续伸长将圆柱凸头51挤压至相应的第二圆板4、载物板11内，当设置于载体6下端面的插孔55刚好移动至与圆柱凸头51相对应位置时，圆柱凸头51在伸缩弹簧52的作用下向上弹入至与之对应的插孔55内（并且我们在设置的时候使得圆柱凸头51与插孔55之间可相对转动），并且此时设置于第二圆板4、承托板9上的U形架54刚好插入至设置于载体6上的固定孔53中，在圆柱凸头51与U形架54的共同配合下实现将载体6定位的效果，当Z形杆12在驱动盘14的驱动下沿承托板9进行转动时，通过U形架54同步带动载物板11进行转动并且此时该载物板11上的插孔55和与之对应的圆柱凸头51之间发生相对转动。

实施例9，在实施例1的基础上，本实施例提供一种伸缩机构的具体结构，参照附图10所示，伸缩机构包括固定于操作腔5内的伸缩杆56且伸缩杆56头部固定连接有夹持架57（夹持架57两悬臂之间的距离与载体6的厚度相同），在本方案中伸缩杆56可以是液压缸也可以为气缸，参照附图3所示，夹持架57两悬臂相向一侧分别滑动连接有夹持杆58且夹持杆58与夹持架57之间连接有夹持弹簧59，载体6上设有与夹持杆58相配合的夹持孔60，夹持杆58上固定有铁片并且夹持架57内设有电磁铁（夹持杆58固定有夹持弹簧59一侧固定有铁片并且夹持架57内分别固定有与夹持杆58相配合的电磁铁），电磁铁串联于设置在伸缩机构上的稳压回路中，初始状态时，稳压回路断电并且夹持杆58在夹持弹簧59作用下插入至夹持孔60内，当伸缩机构将载体6移动至预定位置，如附图3所示时，此时通过稳压回路开关使得稳压回路接通，电磁铁得电将夹持杆58从夹持孔60内吸出并且压缩夹持弹簧59，此时控制伸缩机构收缩从真空筒1撤回至操作腔5内，此时断开稳压回路开关，当需要将载体6从真空筒1取出时，通过伸缩机构带动夹持架57移动到载体6附近位置并且接通稳压回路使得夹持杆58收缩至夹持架57内，当伸缩机构到的预定位置时，断开稳压回路，将夹持架57与载体6连接在一起，随手操作伸缩机构收缩将载体6从真空筒1转移至操作腔5内，稳压回路由设置于真空筒1内的电子或者纽扣电池提供电能并且伸缩机构经导线连接有外接电源。

实施例10，在实施例1的基础上，所述第一圆板3、第二圆板4上开设有若干透孔61，我们在第一圆板3、第二圆板4上各开设有若干透孔61，用于实现将第一圆板3、第二圆板4所围成的不同腔体之间实现连通的效果。

在本方案中，当将两种二维材料分别放置于各自载体上相应位置后，只需要将载体分别移动到置于真空筒1内的特定位置处，随后密封真空筒1并且通过抽气泵将真空筒1抽成真空，在真空筒1由正常大气压抽成预设系统压强的过程中，其中一个二维材料可自动朝着靠近另一二维材料的方向移动，操作人员只需通过控制真空筒1内的的系统压强来控制两二维材料的接近程度，从而实现在真空的环境下实现两种二维材料的堆叠，避免了传统的在两二维材料接触面产生纳米气泡而导致形成的范德华异质结性能不佳问题的发生；

在两种二维材料靠近的过程中，通过设置于操作筒上端的驱动装置可调节两种二维材料的相对位置（两种二维材料所进行堆叠的排列方式、角度方向），从而可根据实际需求堆叠出不同性能的范德华异质结，将范德华异质结的独特的优异性能得到充分应用，并且整个操作过程较为简单、快捷；

在设置真空筒1的时候我们选择透明的材质用于制造真空筒1，以便于操作人员通过显微镜观察载体6在真空筒1中的移动以及调节两二维材料之间的排列方式、角度方向，本方案提供一种材质如：亚克力板，其透光性佳可达92%以上并且有着优异的强韧性，在本方案中我们在密封门63与操作腔5之间设置密封胶条以确保整个真空筒1的密封性能；

在本方案中所使用的弹簧部件均经过多次测试，不同的弹簧所具有不同的力学性能并且满足：当真空筒1内系统压强产生变化时而实现相应功能的效果。

上面所述只是为了说明本发明，应该理解为本发明并不局限于以上实施例，符合本发明思想的各种变通形式均在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，包括真空筒（1）且真空筒（1）连通有抽气泵（2），所述真空筒（1）上端安装有进气装置，其特征在于，所述真空筒（1）内竖向间隔设置有第一圆板（3）、第二圆板（4），第二圆板（4）竖向滑动连接于真空筒（1）内且第一圆板（3）固定于真空筒（1），所述真空筒（1）两侧分别连通有操作腔（5），所述操作腔（5）内设置有伸缩机构且伸缩机构上可拆卸安装有载体（6），第二圆板（4）上端面连接有第一弹簧（7）且第一弹簧（7）另一端向上穿过第一圆板（3）固定于真空筒（1）内，第一圆板（3）上同轴心设有圆孔（8）且圆孔（8）内转动安装有承托板（9），所述承托板（9）与第二圆板（4）上分别设置有用于放置载体（6）的固定装置，真空筒（1）底部设置有用于对第二圆板（4）锁定的锁定装置，所述承托板（9）连接有第一驱动装置并且第一驱动装置与第二圆板（4）之间连接有第二弹簧（10），所述第一圆板（3）上设置有用于对承托板（9）定位的定位装置；

所述承托板（9）内同轴心间隔设置有载物板（11）且承托板（9）与载物板（11）之间经连接装置连接，承托板（9）底部中心位置转动安装有Z形杆（12），所述固定装置固定安装在Z形杆（12）上端且Z形杆（12）下端固定安装有摩擦盘（13），承托板（9）上设置有用于对摩擦盘（13）限位的限位装置，所述第一圆板（3）上方间隔安装有与第一圆板（3）同轴心设置的驱动盘（14）且驱动盘（14）配合有安装于真空筒（1）上端的第二驱动装置，驱动盘（14）满足：当其在第二驱动装置的驱动下驱动盘（14）与摩擦盘（13）接触时刚好使得限位装置被解除，驱动盘（14）在第二驱动装置的驱动下带动摩擦盘（13）转动即而带动载物板（11）转动，从而实现调整两载体（6）之间相对位置的效果。

2.根据权利要求1所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，所述连接装置包括间隔环绕设置于载物板（11）外圆面且沿载物板（11）直径方向滑动连接于载物板（11）的若干连接柱（15），连接柱（15）与载物板（11）之间连接有第三弹簧（16）且承托板（9）上设有与连接柱（15）相配合的连接孔（17），连接柱（15）上固定连接有第一齿条（18）且第一齿条（18）啮合有转动安装于载物板（11）的第一齿轮（19），第一齿轮（19）同轴转动有第三齿轮（68）且第三齿轮（68）啮合有滑动连接于载物板（11）的第二齿条（20），第二齿条（20）向外穿出载物板（11）且穿出一端固定连接有弧形板（21）。

3.根据权利要求2所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，所述限位装置包括滑动连接于载物板（11）底部的限位杆（22）且摩擦盘（13）轴向两侧设有与限位杆（22）相配合的限位孔（23），限位杆（22）与载物板（11）之间连接有第四弹簧（24）且限位杆（22）上固定连接有弧形凸块（25），所述驱动盘（14）外圆面上固定有与弧形凸块（25）相配合的弧形环（26）。

4.根据权利要求1所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，所述第二圆板（4）内轴向两侧设有锁定孔（27），锁定装置包括与锁定孔（27）滑动配合的L形杆（28），所述L形杆（28）经第五弹簧（29）滑动连接于真空筒（1）内壁，L形杆（28）置于锁定孔（27）内一端以及锁定孔（27）下端均进行倒圆弧设置，L形杆（28）底部固定连接有第一触发块（30）且真空筒（1）底壁上竖向滑动连接有第二触发块（31），第二触发块（31）与真空筒（1）底壁之间连接有第六弹簧（32）。

5.根据权利要求1所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，定位装置包括：圆孔（8）轴向两侧经第七弹簧（33）滑动连接有定位柱（34）且载物板（11）上设有与定位柱（34）相配合的定位孔（35），定位柱（34）底部固定连接有第三触发块（36）且第三触发块（36）背离抽气泵（2）一侧配合有竖向滑动连接于第一圆板（3）底部的第四触发块（37），第四触发块（37）与第一圆板（3）之间连接有第八弹簧（38），第一圆板（3）靠近抽气泵（2）一侧上端面和第一圆板（3）远离抽气泵（2）一侧下端面竖向滑动连接有解锁柱（39），解锁柱（39）置于第一圆板（3）外一端经传动装置驱动有滑动连接于第一圆板（3）上的解锁杆（40）且解锁杆（40）与第一圆板（3）之间连接有第九弹簧（41），定位柱（34）上设有与解锁柱（39）相对应的矩形孔（42）且定位柱（34）与承托板（9）相配合一端设置为斜面。

6.根据权利要求1所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，所述第一驱动装置包括设置于第一圆板（3）内且与承托板（9）同轴转动的第二齿轮（43），第二齿轮（43）啮合有竖向滑动连接于第一圆板（3）的第三齿条（44）且第三齿条（44）上端经第十弹簧（45）与第一圆板（3）连接，所述第二圆板（4）下端面固定有与第三齿条（44）竖向互动配合的滑筒（46）且第二弹簧（10）连接于第三齿条（44）与滑筒（46）之间。

7.根据权利要求1所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，所述第二驱动装置包括转动安装于真空筒（1）上端面的螺纹筒（47）且螺纹筒（47）配合有竖向滑动连接于真空筒（1）顶壁的螺杆（48），螺杆（48）内同轴心转动安装有驱动杆（49）且驱动盘（14）固定连接于驱动杆（49）下端。

8.根据权利要求1所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，所述固定装置包括分别竖向滑动连接于第二圆板（4）、载物板（11）上的圆柱凸头（51）且圆柱凸头（51）与之对应的第二圆板（4）、载物板（11）之间连接有伸缩弹簧（52），载体（6）背离与之对应的伸缩机构一侧间隔设置有固定孔（53），所述固定孔（53）内配合有分别固定于第二圆板（4）、Z形杆（12）上的U形架（54），载体（6）上设有与圆柱凸头（51）相配合的插孔（55）。

9.根据权利要求1所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，所述伸缩机构包括固定于操作腔（5）内的伸缩杆（56）且伸缩杆（56）头部固定连接有夹持架（57），夹持架（57）两悬臂相向一侧分别滑动连接有夹持杆（58）且夹持杆（58）与夹持架（57）之间连接有夹持弹簧（59），载体（6）上设有与夹持杆（58）相配合的夹持孔（60），夹持杆（58）上固定有铁片并且夹持架（57）内设有电磁铁，电磁铁串联于设置在伸缩机构上的稳压回路中。

10.根据权利要求1所述的用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备，其特征在于，所述第一圆板（3）、第二圆板（4）上开设有若干透孔（61）。

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