CN110591563A - 一种蓝宝石抛光液 - Google Patents

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秦俊
宋述远
蔡金荣
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    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
    • C09G1/00—Polishing compositions
    • C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种蓝宝石抛光液，所述抛光液由以下组分按重量份组成：磨料介质34～58份、氧化剂1～3份、分散剂1～3份、pH调节剂1～2份、抛光促进剂1～2份、去离子水75～93份；其中，所述磨料介质为氮化硼或氧化铝微粒，粒径为4.5～6μm。本发明的抛光液具有抛光速率高、成品率良好的优点。

Description

一种蓝宝石抛光液
技术领域
本发明属于蓝宝石抛光技术领域，具体涉及一种蓝宝石抛光液。
背景技术
光电子产业作为21世纪最大、最活跃的产业之一，在促进国民经济和科学发展中起到了重要的作用，在国际高科技竞争及国家安全方面具有极其重要的意义，光电子产业的规模和社会影响力将占越来越重的比重。蓝宝石(Al2O3)是现代工业的重要基础材料。除被军用红外装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等尖端科技广泛应用外，它还为微电子、光电子、半导体、光通信、信息显示、精密机械等众多热点领域技术发展，尤其是蓝(白)光LED照明产业提供了窗口材料。由于蓝宝石表面缺陷对器件性能影响很大，在生产蓝宝石基片时，要求蓝宝石表面超光滑、无缺陷。目前采用的一般为化学机械抛光(CMP)方法对蓝宝石进行深加工，但CMP非常依赖抛光液的质量，而现有的抛光液大多存在以下问题：抛光速率低，生产效率无法满足工业要求；抛光后的蓝宝石表面质量差，存在划痕、凹坑等缺陷，成品率低。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供一种蓝宝石抛光液，具有抛光速率高、成品率良好的优点。
本发明是通过以下技术方案实现的：
一种蓝宝石抛光液，所述抛光液由以下组分按重量份组成：磨料介质34～58份、氧化剂1～3份、分散剂1～3份、pH调节剂1～2份、抛光促进剂1～2份、去离子水75～93份；其中，所述磨料介质为氮化硼或氧化铝微粒，粒径为4.5～6μm。
优选地，所述氧化剂为双氧水或高氯酸钾。
优选地，所述分散剂为聚丙烯酸钠、十二烷基苯磺酸钠、硬脂酸甘油酯中的一种。
优选地，所述pH调节剂为柠檬酸或氢氧化钠。
优选地，所述抛光促进剂为氯化钠、硝酸钠、硫酸钠、磷酸钠中的一种。
本发明的有益效果如下：
本发明的抛光液，抛光速率高，抛光后的蓝宝石表面划痕少，成品率高。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明做进一步阐述。
实施例1
一种蓝宝石抛光液，由以下组分按重量份组成：磨料介质34份、氧化剂1份、分散剂1份、pH调节剂1份、抛光促进剂1份、去离子水75份。
所述磨料介质为氮化硼微粒，粒径为4.5～6μm。
所述氧化剂为双氧水。
所述分散剂为聚丙烯酸钠。
所述pH调节剂为氢氧化钠。
所述抛光促进剂为氯化钠。
所述蓝宝石抛光液的制备方法如下：
将所需用量的氮化硼微粒加入到去离子水中分散稀释，然后依次加入双氧水、聚丙烯酸钠、氯化钠，搅拌均匀后加入氢氧化钠，调节pH至8，即得。
实施例2
一种蓝宝石抛光液，由以下组分按重量份组成：磨料介质58份、氧化剂3份、分散剂3份、pH调节剂2份、抛光促进剂2份、去离子水93份。
所述磨料介质为氧化铝微粒，粒径为4.5～6μm。
所述氧化剂为高氯酸钾。
所述分散剂为十二烷基苯磺酸钠。
所述pH调节剂为柠檬酸。
所述抛光促进剂为硝酸钠。
所述蓝宝石抛光液的制备方法如下：
将所需用量的氧化铝微粒加入到去离子水中分散稀释，然后依次加入高氯酸钾、十二烷基苯磺酸钠、硝酸钠，搅拌均匀后加入柠檬酸，调节pH至8，即得。
实施例3
一种蓝宝石抛光液，由以下组分按重量份组成：磨料介质44份、氧化剂2份、分散剂2份、pH调节剂1份、抛光促进剂2份、去离子水81份。
所述磨料介质为氮化硼微粒，粒径为4.5～6μm。
所述氧化剂为双氧水。
所述分散剂为硬脂酸甘油酯。
所述pH调节剂为氢氧化钠。
所述抛光促进剂为硫酸钠。
所述蓝宝石抛光液的制备方法如下：
将所需用量的氮化硼微粒加入到去离子水中分散稀释，然后依次加入双氧水、硬脂酸甘油酯、硫酸钠，搅拌均匀后加入氢氧化钠，调节pH至8，即得。
实施例4
一种蓝宝石抛光液，由以下组分按重量份组成：磨料介质52份、氧化剂3份、分散剂2份、pH调节剂2份、抛光促进剂2份、去离子水89份。
所述磨料介质为氧化铝微粒，粒径为4.5～6μm。
所述氧化剂为高氯酸钾。
所述分散剂为聚丙烯酸钠。
所述pH调节剂为柠檬酸。
所述抛光促进剂为磷酸钠。
所述蓝宝石抛光液的制备方法如下：
将所需用量的氧化铝微粒加入到去离子水中分散稀释，然后依次加入高氯酸钾、聚丙烯酸钠、磷酸钠，搅拌均匀后加入柠檬酸，调节pH至8，即得。
以上的实施例是为了说明本发明公开的实施方案，并不能理解为对本发明的限制。此外，本文所列出的各种修改以及发明中方法、组合物的变化，在不脱离本发明的范围和精神的前提下对本领域内的技术人员来说是显而易见的。虽然已结合本发明的多种具体优选实施例对本发明进行了具体的描述，但应当理解，本发明不应仅限于这些具体实施例。事实上，各种如上所述的对本领域内的技术人员来说显而易见的修改来获取发明都应包括在本发明的范围内。

Claims (5)

1.一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述抛光液由以下组分按重量份组成：磨料介质34～58份、氧化剂1～3份、分散剂1～3份、pH调节剂1～2份、抛光促进剂1～2份、去离子水75～93份；其中，所述磨料介质为氮化硼或氧化铝微粒，粒径为4.5～6μm。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述氧化剂为双氧水或高氯酸钾。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述分散剂为聚丙烯酸钠、十二烷基苯磺酸钠、硬脂酸甘油酯中的一种。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述pH调节剂为柠檬酸或氢氧化钠。
5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述抛光促进剂为氯化钠、硝酸钠、硫酸钠、磷酸钠中的一种。
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CN108997940A (zh) * 2018-06-04 2018-12-14 上海映智研磨材料有限公司 适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液

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