CN110582714A - 笛卡尔定位装置和具有所述笛卡尔定位装置的激光加工头 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于定位光具的笛卡尔定位装置,包括:用于保持光具的光具座(10);用于所述光具座(10)沿y方向的线性运动的y调节元件(30),y调节元件(30)在端部具有y滑块(50);用于所述光具座(10)沿x方向的线性运动的x调节元件(40),x调节元件(40)在端部上具有x滑块(60);其中,所述x调节元件(40)和所述y调节元件(30)布置在载体元件(20)上并且能够沿着y方向调节。此外涉及一种用于借助激光束加工工件的激光加工头,其包括用于定位光具的这种笛卡尔定位装置,其中,所述光具布置在所述激光加工头的光路中。

Description

笛卡尔定位装置和具有所述笛卡尔定位装置的激光加工头
技术领域
本发明涉及一种用于定位光具的笛卡尔定位装置以及一种用于借助激光束加工工件的激光加工头,所述激光加工头包括这种笛卡尔定位装置。
背景技术
在许多光学应用中必须将光具(例如透镜或光束成型光具)至少在两个方向上相对彼此无关地调节。尤其在借助激光束的材料加工(如激光切割或激光焊接)中必须将布置在激光加工头中的光学元件在垂直于激光加工头的光学轴线的两个方向上相对彼此无关地调节,用于调整穿过激光加工头的细喷嘴孔的激光束。在用于定位光具的传统定位装置中存在以下问题:所述光具不能精确线性地或不能在相互垂直的轴线上移动。由此,精确的调节是困难的并且会损害希望的位置的可重复性。
此外,在激光加工领域中在光具应用中恰好存在以下问题:例如在激光加工头中仅提供少量空间给定位装置用于定位光具。对于操作人员的可接触性在空间上强烈受限,使得以传统方式布置在不同侧面上的、用于沿着两个笛卡尔坐标轴定位光具的操作元件是很难达到的。
在现有技术中不能将光具沿着特定轴线的相应运动的准确值对应于调节元件的调节。
由JP 2004-361862A示出一种用于激光加工设备的聚光镜系统,其中,透镜能够实施在垂直于光学轴线的二维方向上的运动。为此,两组千分尺和弹簧相互正交地布置。
发明内容
因此,基于本发明的任务在于,提出一种用于定位光具的笛卡尔定位装置以及一种具有这种笛卡尔定位装置的激光加工头,其中,光具在两个方向上相对彼此无关的定位能够在紧凑且简单的结构方式中并且以改善的操作舒适性实现。
这个任务根据本发明通过一种根据权利要求1的用于定位光具的笛卡尔定位装置和一种具有这种笛卡尔定位装置的根据权利要求15的借助激光束加工工件的激光加工头解决。本发明的有利构型和扩展方案在从属权利要求中说明。
根据本发明,用于定位光具的笛卡尔定位装置包括:第一调节元件或y调节元件,用于光具座沿着第一笛卡尔坐标轴、即在y方向上的线性运动;和第二调节元件或x调节元件,用于光具座沿着第二笛卡尔坐标轴、即在x方向上的线性运动,其中,不但第一调节元件而且第二调节元件沿着第一笛卡尔坐标轴、即沿着y方向是可调节的。第一笛卡尔坐标轴和第二笛卡尔坐标轴、即y方向和x方向自然相互垂直。换言之,x调节元件和y调节元件能彼此平行地调节。调节元件例如能够构造为丝杠。这能够实现沿着两个笛卡尔坐标轴的独立定位。笛卡尔坐标轴、也就是x轴和y轴表示笛卡尔坐标系的坐标轴,该笛卡尔坐标系的第三坐标轴是z轴。
优选地,两个调节元件相邻地固定在下述载体元件上,在所述载体元件上固定有光具座。这能够实现视野清楚的操作和简化的接触性。
在一个优选实施例中,两个调节元件中的至少一个被校准。换言之,调节元件之一的确定的调节值对应于沿着相应的笛卡尔坐标轴的线性运动的确定值。为此,y调节元件和/或x调节元件分别包括测微螺钉。由此,光具的定位是可重复的并且光具在光学系统中的精确定位被简化。
y调节元件的端部能够构造为y滑块。x调节元件的端部也能够构造为x滑块。y滑块能够将y调节元件与光具座可运动地连接。x滑块能够将x调节元件与光具座可运动地连接。x滑块和/或y滑块能够沿着至少一个滑块引导元件引导。
y调节元件或者y滑块能够借助线性引导单元以在x方向上可运动的方式与光具座耦接。y调节元件或者y滑块和光具座能够通过轨道系统或滑轨系统可运动地相互连接。在此,线性引导单元优选具有第一部件和第二部件,所述第一部件布置在由y调节元件(或者y滑块)和光具座中选出的一个上,所述第二部件布置在由y调节元件(或者y滑块)和光具座中选出的另一个上。在此,线性引导单元的第一部件具有侧凹,线性引导单元的第二部件的以相应形式构造的突出部在所述侧凹中引导。对于线性引导单元的一个实施例是燕尾形引导部。优选,y调节元件或者y滑块与光具座的连接在拉力上和/或压力上不变。由此,例如通过拉力或压力能够实现对希望位置的精确调节,而不会由于在连接中的间隙而被损害。
传递元件能够布置在x滑块和光具座之间。传递元件能够以在x方向上可运动的方式与载体元件连接或者支承在该载体元件中。传递元件能够通过第一引导单元与光具座可运动地连接。第一引导单元设置为用于在y方向上引导光具座。第一引导单元例如包括线性引导单元、例如燕尾形引导部。第一引导单元能够包括在y方向上延伸的第一引导部、例如长形孔和在该第一引导部中被引导的第一引导销。第一引导部能够构造在由传递元件和光具座选出的一个中,并且第一引导销能够构造在由传递元件和光具座选出的另一个中。传递元件通过第二引导单元与x滑块可运动地连接。第二引导单元能够设置为用于将x调节元件沿着y方向的调节运动转变成传递元件沿着预给定方向的调节运动,所述预给定方向与y方向构成小于90°的角度、优选约为45°的角度。第二引导单元能够包括在预给定方向上延伸的第二引导部(例如长形孔)和在该第二引导部中被引导的第二引导销。第二引导部能够构造在从传递元件和x调节元件(或者x滑块)选出的一个中,而第二引导销能够构造在从传递元件和x调节元件(或者x滑块)选出的另一个中。第二引导单元通过在y方向上调节x调节元件(或者x滑块)将传递元件进而光具座向x方向上移动。优选,x调节元件沿着y方向的线性调节运动通过对角线定向的第二引导部转变成传递元件在x-y平面中的运动。通过将y调节元件和光具座相互耦接的线性引导单元能够将传递元件的运动转变成光具座在x方向上的线性运动。
x调节元件或者x滑块能够与光具座通过杆元件可运动地耦接。因此,x调节元件的调节能够通过杆元件传递到光具座上。优选,杆元件具有第一端部和第二端部,其中,杆元件在其第一端部与x调节元件或x滑块耦接并且在其第二端部与载体元件耦接。杆元件能够与光具座在第一端部和第二端部之间的一个点处耦接。杆元件能够通过旋转铰链连接在载体元件上。优选,杆元件以能在x-y平面中摆动的方式固定在载体元件上。此外,杆元件能够通过第一引导单元与光具座可运动地连接。杆元件也能够通过第二引导单元与x调节元件或者与x滑块可运动地连接。第一引导单元能够设置用于线性地在y方向上引导光具座。优选,第一引导单元也允许杆绕着第一引导销旋转。第二引导单元能够设置为用于将x调节元件的调节运动传递到杆元件上。优选,x调节元件沿着y方向的调节运动转变成在x-y平面中的杆元件的摆动运动。第二引导部能够弯曲或曲线地构造。优选,第二引导单元允许所述杆绕着第二引导销的旋转。通过将y调节元件和光具座相互耦接的线性引导单元能够将杆元件的摆动运动转变成光具座在x方向上的线性运动。
杆元件能够L形地构造。在此,杆元件与光具座在L形的两个腿相交的区域内耦接。因此,第一引导单元能够布置在L形杆元件的拐点处。杆元件的L形还实现了更紧凑的结构方式。
在一个优选实施例中,第一引导单元的一部分、例如第一引导销或第一引导部布置在光具座的固定凸起上。光具座的固定凸起能够在y方向上向载体元件延伸。这能够实现到光具座上的x调节运动和y调节运动的传递元件的紧凑布置。
第一引导单元能够包括第一引导销以及第一引导部。第二引导单元也能够包括第二引导销以及第二引导部。在此,优选第一引导销和/或第二引导销构造在杆元件或传递元件上。这简化了生产过程。第一引导部和/或第二引导部能够包括凹空、引导槽或孔、尤其长形孔。第一引导部优选构造在光具座上。第二引导部优选构造在x调节元件或x滑块上。
此外,设置至少一个滑块引导元件,所述滑块引导元件在y方向上引导x滑块或y滑块的运动。滑块引导元件能够构造为或者在x滑块或y滑块上、或者在载体元件上的引导销或引导肋。相应的槽或孔能够构造在x滑块或y滑块和载体元件中的另一个上。滑块引导元件也能够构造为燕尾形引导部的一部分,其中,燕尾形引导部的另一部分能够构成x滑块或y滑块。由此,能够稳定x滑块或y滑块的y调节运动。
此外,在光具座和载体元件之间布置至少一个弹簧元件。所述弹簧元件设置为用于提供在载体元件的方向上的到光具座的回位力。这同样用于稳定光具座的运动。此外,能够通过弹簧元件的回位力避免在方向变化时的空程。
此外,根据本发明,用于借助激光束加工工件的激光加工头包括根据前述实施例之一的用于定位光具的笛卡尔定位装置。优选,光具布置在激光加工头的光路中。笛卡尔定位装置的载体元件能够借助固定器件、例如螺钉安装在激光加工头的壳体上。激光加工头的光学轴线优选在笛卡尔坐标系的z方向上、也就是平行于x-y平面地延伸。
术语x方向、x调节元件、x滑块分别在含义上与第一方向、第一调节元件、第一滑块等同并且能够由此被替代。术语y方向、y调节元件、y滑块分别在含义上与第二方向、第二调节元件、第二滑块等同并且能够由此被替代。第一方向或x方向垂直于第二方向或y方向。
附图说明
在下面例如参照附图进一步阐释本发明。其示出了:
图1根据本发明的一个实施方式的笛卡尔定位装置的示意性俯视图;
图2图1的具有两个弹簧元件的笛卡尔定位装置的俯视图;
图3图1的在y方向上移动的笛卡尔定位装置的俯视图;
图4图1的在x方向上移动的笛卡尔定位装置的俯视图;
图5a和5b根据另一实施例的笛卡尔定位装置的立体侧视图;
图6a和6b图5的笛卡尔定位装置的一部分的前视图和俯视图;
图7a和7b图5的笛卡尔定位装置的光具座的俯视图和侧视图;和
图8a和8b图5的笛卡尔定位装置的传递元件的俯视图和侧视图。
在附图中,相互对应的构件配置有相同的附图标记。
具体实施方式
图1示出根据本发明的第一实施方式的用于定位光具的笛卡尔定位装置的示意性俯视图。定位装置包括载体元件20,在所述载体元件上固定有用于保持光具的光具座10。载体元件20能够通过固定器件21、例如螺钉固定在激光加工头的壳体上,使得光具能够布置在激光加工头的光路中。光具座10能够借助两个调节元件30和40分别沿着第一笛卡尔坐标轴和第二笛卡尔坐标轴线性地移动。在此,沿着第一笛卡尔坐标轴的移动与沿着第二笛卡尔坐标轴的移动无关。两个笛卡尔坐标轴在下面称作x轴和y轴并且是笛卡尔坐标系或正交坐标系的坐标轴。在x方向或在y方向上的运动也称作沿着x轴或沿着y轴的运动。在x方向的运动与在y方向的运动无关并因此不具有在y方向上的分量。
用于沿着y轴移动光具座10的第一调节元件、即y调节元件30穿过载体元件20,使得y调节元件30的一个端部从载体元件20的外侧是可接触的,用于光具座10在y方向上的定位过程。在y调节元件的另一端部布置y滑块50,通过所述y滑块将y调节元件30与光具座10耦接。在此,y滑块50和光具座10通过线性引导单元15相互可运动地连接。
线性引导单元15例如能够包括构造在y滑块50上的滑轨和构造在光具座10上的轨道引导部。线性引导单元15在x方向上布置并且允许光具座10在x方向上的线性运动。y滑块50例如能够具有燕尾槽,在所述燕尾槽中引导光具座10的匹配地成型的轨道。自然也能够反过来将燕尾槽设置在光具座10上并且将匹配的轨道设置在y滑块50上。线性引导单元15优选构造为使得在y滑块50和光具座10之间的连接是拉力和压力不变的。由此能够避免在y调节运动的方向变化时的空程。在y调节元件30沿y方向的调节运动中,与光具座10在y方向上固定地耦接的y滑块50也在y方向上移动并且相应地通过沿着y轴的拉力或压力移动光具座10。
用于光具座10沿着x轴移动的第二调节元件、即x调节元件40也穿过载体元件20,使得x调节元件40的一个端部从载体元件20的外侧是可接触的,用于光具座10在x方向上的定位过程。在x调节元件40的另一端部布置x滑块60,所述x滑块通过杆元件70与光具座10可运动地耦接。
杆元件70通过旋转铰链71固定在载体元件20上,使得杆元件70在x-y平面中能够围绕旋转铰链71摆动。为此,载体元件20具有固定凸起22,所述固定凸起从载体元件20的内侧在y方向上向光具座10延伸,以使杆元件70围绕旋转铰链71的摆动运动变容易。杆元件70通过第一引导单元80与光具座10并且通过第二引导单元90与x滑块60可运动地连接。如在图1中所示,当杆元件70构造为L形时,能够在L形的一个端部设置旋转铰链71,在L形的两个腿相交的拐点处设置第一引导单元80并且在另一端部设置第二引导单元90。这能够实现节约空间的布置,用于将x调节元件40在y方向上的线性调节运动转换为杆元件70在x-y平面中的摆动运动。
第一引导单元80包括在第一引导部82中移动的第一引导销81。第一引导部82例如在y方向上直线地延伸。第一引导销81优选构造在杆元件70上,而第一引导部82(例如槽或长形孔)构造在光具座10中。因此,第一引导单元80允许光具座10在y方向上的线性运动。为了实施杆元件70围绕旋转铰链71的摆动运动,第二引导单元90还具有第二引导销91,所述第二引导销在第二引导部92中移动。尽管为了简化在附图中不同地示出,第二引导部92(例如槽或长形孔)优选构造在x滑块60上,而第二引导销91设置在杆元件70上。然而本发明不由此受限。然而,第一引导销81和/或第二引导销91在杆元件70上的构造简化了制造。第二引导部92能够弯曲地或曲线地构造。不但第一引导部82而且第二引导部92允许对应的第一引导销81和第二引导销91的旋转运动。
在x调节元件40沿着y轴的调节运动中,杆元件70围绕旋转铰链71摆动,由此,被线性引导单元15在y方向上固定的光具座10沿着线性引导单元15在x方向上移动。y调节元件30的调节运动通过y滑块50能直接传递到光具座10上,其中,光具座10被第一引导单元80在y方向上线性地引导。
光具座10能够具有从光具座10在y方向上向载体元件20延伸的固定凸起11。在所述固定凸起11上能够布置第一引导元件80的一部分,即第一引导销81或第一引导部82。这同样能够实现用于将x调节元件40在y方向上的调节运动传递到光具座10的沿着x轴的运动中的元件的紧凑布置。
不但y调节元件30而且x调节元件40在轴向上固定,从而防止光具座10向对应的另一笛卡尔方向的运动。不但y调节元件30而且x调节元件40能彼此平行地沿着y方向调节。x调节元件和/或y调节元件优选已校准,使得确定的调节运动能够对应光具座10沿着相应的笛卡尔坐标轴移动的准确值。
为了稳定y滑块50或者x滑块60的运动,能够在载体元件20上设置滑块引导元件23,例如引导销钉,这些销钉分别在y滑块50或x滑块60的相应的孔中运动。替代地,滑块引导元件23也能够设置在y滑块50或x滑块60上并且在载体元件20中的相应的孔中被引导。
图2示出图1的笛卡尔定位装置,其中,在光具座10和载体元件20之间还设置弹簧元件18,以防止在方向变化时的空程。
图3示出图1的笛卡尔定位装置,其中,y调节元件30在y方向上(向下)调节一个预给定的量。由此,通过线性引导单元15和y滑块50与y调节元件30连接的光具座10同样在y方向上移动,其中,第一引导销81在第一引导部82中移动。
图4示出图1的笛卡尔定位装置,其中,x调节元件40在y方向上(向下)调节一个预给定的量。由此,杆元件70围绕旋转铰链71在x-y平面中摆动,其中,第二引导销91沿着第二引导部92被引导。杆元件70的摆动运动通过第一引导单元80传递到光具座10上并且通过线性引导单元15转变为线性的x运动。
在图5至8中示出根据本发明的笛卡尔定位装置的第二实施方式。在这个实施方式中,替代杆元件70的摆动运动,使用传递元件170的对角线运动用于将x调节元件140在y方向上的调节运动转变成光具座110在x方向上的移动。这能够实现紧凑、稳定且无间隙的结构方式。
在图5a和5b中示出根据第二实施方式的笛卡尔定位装置的立体侧视图。如在第一实施方式中那样,定位装置包括载体元件120,在所述载体元件上支承用于保持光具能够在x方向和在y方向上调节的光具座110。载体元件120能够包括用于固定在激光加工头上的固定器件121。此外,设置密封元件200,以便尤其密封载体元件120和激光加工头以防灰尘颗粒。为了光具座110的移动,在载体元件120上设置y调节元件130和x调节元件140(见图6b),所述调节元件能彼此平行地在y方向上调节并且分别具有y滑块150和x滑块160。在x滑块160和光具座110之间布置传递元件170,以便将x调节元件140或x滑块160在y方向上进行的调节运动转变为光具座110在x方向上的移动。在图5a中可见构造在光具座110中的第一引导部182,在所述第一引导部中,传递元件170的第一引导销181在y方向上引导。这允许光具座110关于x滑块160在y方向上移动。
如由图5b可见,y滑块150与光具座110通过线性引导单元115连接,所述线性引导单元布置用于引导光具座110关于y滑块150在x方向上的运动。在此,在光具座110上构造x线性引导元件111并且在y滑块150上构造相应的x线性引导元件151。如在图5b中示出的那样,线性引导单元115能够包括燕尾引导部。
如在图5a和5b中示出,在光具座110中能够设置切口,在所述切口中能够安装至少一个弹簧元件118,以便将光具座110与载体元件120连接。能够布置至少一个弹簧元件118,以便将向载体元件的回位力提供到光具座110上。例如,至少一个弹簧元件118能够围绕光具座110的侧面并且分别相邻于x滑块160并且相邻于y滑块150地固定在载体元件120上。由此能够减小在调节元件130和140的调节运动中或者说在光具座110的移动中的公差。
为了稳定y滑块150和x滑块160中的至少一个而设置滑块引导元件123,所述滑块引导元件设置用于在y方向上的线性引导。例如,阀引导元件123能够柱形地构造并且在y滑块150或x滑块160的孔中被引导。替代地,能够在滑块引导元件123中构造至少一个燕尾形引导部,以便将y滑块150或x滑块160在y方向上引导。
在图6a和6b中示出定位装置在没有光具座110和传递元件170的情况下的一部分。载体元件120和传递元件170能够通过x线性引导单元耦接。为此,载体元件120优选具有在x方向上延伸的引导缝,传递元件170的至少一部分安装到所述引导缝中。替代地,载体元件120能够通过燕尾形引导部与传递元件170耦接。在载体元件120中还能够设置至少一个固定元件122,以便将传递元件170与载体元件120连接。在图6a中示例性地示出两个柱形固定元件122,如螺钉或螺栓,所述固定元件布置在载体元件120的引导缝中。固定元件122安装到图8a示出的传递元件引导部171中,以便将传递元件170在x方向上可运动地耦接在载体元件120上。替代地,传递元件170具有引导销,所述引导销在构造在载体元件120或在引导缝中的槽中移动。
在图6a中示出具有两个燕尾形引导部的滑块引导元件123,以便不但稳定y滑块150并且稳定x滑块160。显然,也能够是两个滑块150和160中的仅一个被滑块引导元件123引导。用于引导滑块引导元件123的相应的配合件构造为y滑块150中的y线性引导元件152或者x滑块160中的y线性引导元件161。所以y滑块150能够包括两个彼此垂直地布置的线性引导元件:如用于将光具座110在y滑块150上沿x方向引导的x线性引导元件151,和用于引导y滑块150在y方向上的调节运动的y线性引导元件152。x滑块160能够至少包括用于引导x滑块160在y方向上的调节运动的y线性引导元件161。但也能够设置一个或多个另外的线性引导元件。例如能够将相互作用的线性引导元件设置在x滑块160和y滑块150上,以便稳定在y方向上的彼此相对运动。
在图6b中可见y滑块150的x线性引导元件151,光具座110能够在所述x线性引导元件上在x方向上移动。此外,x滑块160具有对角线引导部或第二引导部192,所述对角线引导部或第二引导部与y方向或与x方向构成约45°的角度。在x滑块的第二引导部192中安装传递元件170的第二引导销191(见图8b),以便在x滑块160沿y方向的调节运动中将传递元件170向与y方向约为45°的方向移动。
图7a和7b示出光具座110的视图。光具座110具有x线性引导元件111,所述x线性引导元件与y滑块150的x线性引导元件151构成线性引导单元。换言之,光具座110和y滑块150通过线性引导装置在x方向上可运动地相互耦接。此外,光具座110具有引导在y方向上的运动的第一引导部182。第一引导部182相对于在x滑块160中的第二引导部192以45°角度构造。传递元件170的第一引导销181安装到光具座110的第一引导部182中,以便能够实现光具座关于x滑块在y方向上运动。
在图8a和8b中示出传递元件170。传递元件170优选具有L形,在所述L形的一个腿上构造至少一个传递元件引导部171,例如(在x方向延伸的)缝或长形孔,并且在所述L形的另一个腿上,第一引导销181和第二引导销191在垂直于x方向且垂直于y方向的相反的方向上凸起。换言之,第一引导销181和第二引导销191构造在传递元件170的对置的表面上。第一引导销181和第二引导销191也能够通过螺栓或通过螺钉构成,所述螺栓或螺钉穿过传递元件。因为第一引导销181在光具座110的第一引导部182中在y方向上引导,所以光具座110能够在y滑块150的调节中关于x滑块160在y方向上移动。通过与光具座110耦接的传递元件170的第二引导销191在x滑块160的对角线引导部192中的引导,以及通过与光具座110和y滑块150在x方向上可运动地耦接的线性引导单元115,x滑块160在y方向上的调节运动转变或传递为光具座110在x方向上的移动。
自然应理解的是,凹形或凸形的区域、例如线性引导部或燕尾形引导部能够相互调换。
因此,能够根据本发明提出一种笛卡尔定位装置,所述笛卡尔定位装置能够实现光具在x方向上和在y方向上的精确且可重复的定位,其中,在两个笛卡尔方向x和y上的定位相互无关。此外,能够通过使用已校准的调节元件、例如测微螺钉使调节元件的确定的调节运动或旋转角度对应于光具座10沿着相应的x轴或y轴的线性运动的准确值。因为不但y调节元件30而且x调节元件40能在相同的方向上、即彼此平行地沿着y方向调节,所以两个调节元件30和40彼此相邻布置在载体元件20上。由此,改善调节元件对于使用者的可接触性并且还能够实现调节元件的节约空间的布置。
附图标记列表
10 光具座 90 第二引导单元
11 固定凸起 91 第二引导销
15 线性引导单元 92 第二引导部
18 弹簧元件 110 光具座
20 载体元件 111 x线性引导元件
21 固定器件 115 线性引导单元
22 固定凸起 118 弹簧元件
23 滑块引导元件 120 载体元件
30 y调节元件 121 固定器件
40 x调节元件 122 固定元件
50 y滑块 123 滑块引导元件
60 x滑块 130 y调节元件
70 杆元件 140 x调节元件
71 旋转铰链 150 y滑块
80 第一引导单元 151 x线性引导元件
81 第一引导销 152 y线性引导元件
82 第一引导部 160 x滑块
161 y线性引导元件 182 第一引导部
170 传递元件 191 第二引导销
171 传递元件引导部 192 第二引导部
181 第一引导销 200 密封元件

Claims (15)

1.一种用于定位光具的笛卡尔定位装置,其包括:
用于保持所述光具的光具座(10、110);
用于所述光具座(10、110)在y方向上的线性运动的y调节元件(30、130);
用于所述光具座(10、110)在x方向上的线性运动的x调节元件(40、140)
其中,所述x调节元件(40、140)和所述y调节元件(30、130)布置在载体元件(20、120)上并且能沿着所述y方向调节。
2.根据权利要求1所述的笛卡尔定位装置,其中,所述y调节元件(30、130)或所述x调节元件(40、140)的调节值分别对应在y方向上或x方向上的线性运动的确定值。
3.根据权利要求1或2所述的笛卡尔定位装置,其中,所述y调节元件(30、130)和所述x调节元件(40、140)彼此相邻地布置在所述载体元件(20、120)上。
4.根据前述权利要求中任一项所述的笛卡尔定位装置,其中,所述y调节元件(30、130)与所述光具座(10、110)借助线性引导单元(15、115)在x方向上可运动地连接。
5.根据权利要求4所述的笛卡尔定位装置,其中,所述线性引导单元(15、115)将所述y调节元件(30、130)与所述光具座(10、110)在拉负荷或压负荷方面不变地连接。
6.根据前述权利要求中任一项所述的笛卡尔定位装置,其中,所述y调节元件(30、130)在端部具有y滑块(15、150),所述y滑块将y调节元件(30、130)与所述光具座(10、110)连接,并且所述x调节元件(40、140)在端部具有x滑块(60、160),所述x滑块将所述x调节元件(40、140)与所述光具座(10、110)连接。
7.根据权利要求6所述的笛卡尔定位装置,其中,所述x滑块(60、160)和/或所述y滑块(15、150)沿着至少一个滑块引导元件(23、123)被引导。
8.根据权利要求6或7所述的笛卡尔定位装置,其中,在所述x滑块(130)和所述光具座(110)之间布置有传递元件(170),所述传递元件在x方向上可运动地与所述载体元件(120)连接。
9.根据权利要求8所述的笛卡尔定位装置,其中,所述传递元件(170)通过第一引导单元(180)与所述光具座(110)可运动地连接,并且通过第二引导单元(190)与所述x滑块(130)可运动地连接。
10.根据权利要求9所述的笛卡尔定位装置,其中,所述第一引导单元(180)设置为用于在y方向上引导所述光具座(110),其中,所述第二引导单元(190)设置为用于将所述x调节元件(140)沿着y方向的调节运动转变成所述传递元件(70)沿着与所述y方向构成小于90°的角度的方向的运动。
11.根据前述权利要求1至5中任一项所述的笛卡尔定位装置,其中,所述x调节元件(40)通过杆元件(70)与所述光具座(10)可运动地连接,其中,所述杆元件(70)以能在x-y平面中摆动的方式与所述载体元件(20)连接并且L形地构造。
12.根据权利要求11所述的笛卡尔定位装置,其中,所述杆元件(70)通过第一引导单元(80)与所述光具座(10)可运动地连接并且通过第二引导单元(90)与所述x调节元件(30)可运动地连接,其中,所述第一引导单元(80)包括第一引导销(81)和用于在y方向上引导所述光具座(10)的第一引导部(82),其中,所述第二引导单元(90)包括第二引导销(91)和用于将所述x调节元件(40)的调节运动传递到所述杆元件(70)上的第二引导部(92)。
13.根据权利要求12所述的笛卡尔定位装置,其中,所述第二引导单元(91、92)的至少一部分布置在从所述光具座(10)在y方向延伸的固定凸起(11)上。
14.根据前述权利要求中任一项所述的笛卡尔定位装置,其中,至少一个弹簧元件(18、118)与所述光具座(10、110)并且与所述载体元件(20、120)连接。
15.一种用于借助激光束加工工件的激光加工头,其包括:
根据前述权利要求中任一项所述的用于定位光具的笛卡尔定位装置;
其中,所述光具布置在所述激光加工头的光路中。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112453689A (zh) * 2020-10-21 2021-03-09 熊梅 光心位置调整装置及光心位置调整方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5768013A (en) * 1995-08-31 1998-06-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Microscope stage
US6467762B1 (en) * 1998-02-20 2002-10-22 Nelles Griot Limited Positioning mechanism
EP1921480A1 (de) * 2006-11-07 2008-05-14 Carl Zeiss SMT AG Optische Vorrichtung mit kinematischen Komponenten zur Manipulation beziehungsweise Positionsbestimmung
CN201654451U (zh) * 2010-01-15 2010-11-24 北京工业大学 一种准分子激光微加工系统的光具调节器
CN102538689A (zh) * 2011-12-29 2012-07-04 中国科学院上海光学精密机械研究所 光学系统定心定位装置及其使用方法
CN104302436A (zh) * 2012-03-26 2015-01-21 通快机床两合公司 用于光学元件的调整运动的传递元件、定位装置、以及具有这种传递元件的用于激光加工机的加工头
WO2015130243A1 (en) * 2014-02-26 2015-09-03 Yörükoğlu Sancar Cartesian positioning system
CN105397306A (zh) * 2015-11-25 2016-03-16 广州通锐激光设备有限公司 激光切管机及其切管方法
CN105980097A (zh) * 2014-02-06 2016-09-28 普雷茨特两合公司 具有用于移动光具的带驱动装置的激光加工头
CN205950091U (zh) * 2016-07-22 2017-02-15 深圳市光大激光科技股份有限公司 一种激光加工设备
US20170057008A1 (en) * 2012-07-13 2017-03-02 Full Spectrum Laser Llc Infinite thickness laser processing system

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5312190B2 (zh) * 1972-06-05 1978-04-27
JPS5325494B2 (zh) 1972-12-27 1978-07-27
US4767188A (en) 1987-05-29 1988-08-30 Hughes Aircraft Company Multi-dimensional nanometric displacement positioner
JPH07218749A (ja) 1993-12-07 1995-08-18 Furukawa Electric Co Ltd:The 多軸微動ステージ
DE19735492A1 (de) * 1997-08-16 1999-02-18 Zeiss Carl Jena Gmbh Koaxialtrieb für den Objekttisch eines Mikroskops
JP2000158171A (ja) 1998-11-30 2000-06-13 Nec Eng Ltd レーザ加工機のレンズ調整装置
JP2004361862A (ja) 2003-06-09 2004-12-24 Mitsubishi Electric Corp 集光レンズ装置、レーザ加工装置、集光レンズの調整方法
JP4731977B2 (ja) * 2005-04-22 2011-07-27 キヤノン株式会社 光学機器
DE102006061067A1 (de) * 2006-12-22 2008-06-26 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Tischtrieb für Mikroskope
JP4416804B2 (ja) * 2007-03-26 2010-02-17 シャープ株式会社 携帯端末
WO2013049813A1 (en) 2011-10-01 2013-04-04 Ipg Photonics Corporation Head assembly for a laser processing system
DE202015007130U1 (de) * 2015-10-13 2016-01-26 Gmt Global Inc. Optische, einstellbare Linsenhalterung für vertikale Montage

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5768013A (en) * 1995-08-31 1998-06-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Microscope stage
US6467762B1 (en) * 1998-02-20 2002-10-22 Nelles Griot Limited Positioning mechanism
EP1921480A1 (de) * 2006-11-07 2008-05-14 Carl Zeiss SMT AG Optische Vorrichtung mit kinematischen Komponenten zur Manipulation beziehungsweise Positionsbestimmung
CN201654451U (zh) * 2010-01-15 2010-11-24 北京工业大学 一种准分子激光微加工系统的光具调节器
CN102538689A (zh) * 2011-12-29 2012-07-04 中国科学院上海光学精密机械研究所 光学系统定心定位装置及其使用方法
CN104302436A (zh) * 2012-03-26 2015-01-21 通快机床两合公司 用于光学元件的调整运动的传递元件、定位装置、以及具有这种传递元件的用于激光加工机的加工头
US20170057008A1 (en) * 2012-07-13 2017-03-02 Full Spectrum Laser Llc Infinite thickness laser processing system
CN105980097A (zh) * 2014-02-06 2016-09-28 普雷茨特两合公司 具有用于移动光具的带驱动装置的激光加工头
WO2015130243A1 (en) * 2014-02-26 2015-09-03 Yörükoğlu Sancar Cartesian positioning system
CN105397306A (zh) * 2015-11-25 2016-03-16 广州通锐激光设备有限公司 激光切管机及其切管方法
CN205950091U (zh) * 2016-07-22 2017-02-15 深圳市光大激光科技股份有限公司 一种激光加工设备

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112453689A (zh) * 2020-10-21 2021-03-09 熊梅 光心位置调整装置及光心位置调整方法
CN112453689B (zh) * 2020-10-21 2022-07-26 熊梅 光心位置调整装置及光心位置调整方法

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