CN110582375B - 研磨和/或腐蚀机，以及测定和/或核对机器的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及研磨和/或腐蚀机(10)以及用于测定和核对具有多个机器轴线(12)的组件(11)的方法，每一个机器轴线可以由旋转或平移机器轴线形成。为此，将测量盘(28)插入工具主轴(13)中，并将测试计(27)插入工件保持设备(14)中。测试计(27)电连接到参考电势，优选地连接到接地(M)。测量盘(28)电连接到电源电压电势(UV)。通过在测量盘(28)与测试计(27)之间建立接触，测量电流(IM)在电源电压电势(UV)与参考电势之间流动，例如从电源电压电势(UV)流到接地(M)。可以在监测设备(31)中检测测量电流(IM)的流动，并且可以确定测量电流(IM)的电流流动开始时机器轴线(12)的当前位置。经由轴线组件(11)，可以接近测量盘(28)与测试计(27)之间的一个或多个接触位置(K)，并且因此，可以核对或测量轴线组件(11)或机器。

Description

研磨和/或腐蚀机，以及测定和/或核对机器的方法
技术领域
本发明分别涉及研磨和/或腐蚀机，以及用于测定和核对机器的方法。
背景技术
一种研磨和/或腐蚀机包括多个机器轴线，以允许待处理的工件相对于工具移动和定位。为了精确加工，需要知道机器轴线相对于机器基座或机器框架的静止坐标系的位置。
公开文件DE 10 2008 004 849 B4建议提供多轴线核对传感器布置，以便在中断期间利用用于加工的部件和平移以及旋转的轴线来执行核对程序，因为工件保持设备与工件之间的相对位置是在几个维度上确定的。为此，多轴线核对传感器布置包括分别用于每个空间方向的一个核对传感器，在这种情况下，所述核对传感器可以被配置为接触传感器或接近传感器。
使用接触传感器或力传感器时，必须确保可以非常精确地调节工具或工件被压在相应核对传感器上使用的力。因此，对传感器准确度和一致性的要求非常高。如果使用接近传感器，则必须高度准确地调节这些传感器，以便设置检测到接近元件的位置。所有类型的传感器必须以最小的公差显示高检测准确度。此外，接触传感器、力传感器或接近传感器在机器工具中的使用经常会出现问题，因为它们暴露于碎屑、冷却流体等造成的污染中。
发明内容
因此，本发明的目的可以被认为是提供一种研磨和/或腐蚀机，以及一种测定或核对机器的方法，所述测定和核对以简单的方式提供高准确度。
这个目的通过显示专利权利要求1的特征的研磨和/或腐蚀机以及显示专利权利要求16的特征的方法来实现。
根据本发明，研磨和/或腐蚀机包括工具主轴，该工具主轴可以围绕主轴轴线被驱动，在工具主轴处可以布置研磨或腐蚀工具。提供了用于待加工的工件的工件保持设备。该机器包括机器轴线布置，机器轴线布置具有多个机器轴线。每个机器轴线可以被配置为旋转或平移机器轴线。可以提供多达六个机器轴线，每个机器轴线被设置成相对于工件保持设备或布置在那里的工件定位或移动工具主轴或设置在工具主轴处的工具，以便能够执行期望的过程。位置检测设备检测存在的机器轴线中的每一个的位置。为了实现这一点，位置检测设备可以包括位置传感器，其测量相应平移或旋转自由度内的位置。位置检测设备还可以基于作为相应位置特性的其他参数来确定机器轴线的位置。因此，可以基于直接测量的实际位置值或者基于描述该实际位置的间接参数来进行位置检测。
导电测量体，优选地为导电测试心轴，以及导电测量盘，用于测定或核对。分别地，一个第一测量体，特别是测试心轴，可以布置在工件保持设备中，而另一个第二测量体，特别是测量盘，可以布置在工具主轴中。为了测定或核对，第二测量体连接到电源电压电势，使得在第二测量体上施加电压，所述电压优选对应于电源电压电势。布置在工件保持设备中的第一测量体电连接到低于电源电压电势的限定参考电势。参考电势优选充当接地电势(0伏)。此外，第二测量体连接到监测设备。
经由控制设备，可以使测量体相对于彼此移动、定位或对准。机器的控制设备控制机器轴线，以便使测量体以相对的方式朝向彼此移动，使得它们在接触位置处彼此接触。一旦在接触位置发生这种接触，测量电流就在测量体之间流动，并且优选地，从具有较高电势的第二测量体流到具有较低电势的第一测量体。该测量电流由连接到第二测量体的监测设备检测。一旦检测到测量电流，至少一个驱动机器轴线或所有机器轴线的实际位置就存储在存储器中。因此，由于两个测量体之间的接触，可以在接触位置确定参考位置。该参考准位置的确定可以是非常精确的。已经发现，测量电流可以在测量体之间接触之后被直接非常准确地检测。此时，可以分别检测和存储适当的实际位置作为参考位置。不会出现由于测量体之间接触压力变化而导致的差异。
这种机器和方法分别不需要昂贵或复杂的传感器系统。测量电流的检测可以在机器的操作范围之外进行。机器操作范围内不需要敏感传感器。因此，核对和测定可以分别以简单、成本效益的方式、同时具有高准确度地进行。
优选地，一旦检测到测量体之间的接触，就停止驱动至少一个被驱动的机器轴线。因此，避免了测量体之间的高接触压力。
分别地，为了测定和核对，相继接近一系列接触位置是有利的。例如，每个系列可以存在至少两个、三个或更多个接触位置，以便执行特定的测量或相互比较机器轴线之间的定向。在这情况下，可以为至少一个接触位置指定一个或多个旋转机器轴线的定向。直接在测量体之间接触之前和直到测量体之间接触时的接近运动优选地通过单一的、特别是平移的机器轴线进行。
在优选的示例性实施例中，第二测量体可以被配置为测量盘，该测量盘具有以环形方式闭合的外周表面和侧表面，其中外周表面包围邻接所述表面的侧表面。例如，测量盘可以是圆形轮廓的盘。与此相结合，测量盘有可能接触另一个第一测量体，该第一测量体具有在接触位置处的外周表面或侧表面。这取决于第一测量体(例如测试心轴)上的接触位置被布置在哪里，以及在到达该接触位置之前，哪些机器轴线用于相对运动。
分别地，为了测定和核对研磨和/或腐蚀机的所有机器轴线，相继接近的系列接触位置的数量优选地对应于设置成改变测量体之间相对位置的那些机器轴线的数量。在这情况下，不考虑一个机器轴线，即能够实现第一测量体绕其纵向轴线旋转的轴线。
在优选的示例性实施例中，监测设备包括监测单元。监测单元可以是控制设备的部件，或者通信连接到控制设备。
优选地，监测单元被设置成监测第二测量体是否电连接到电源电压电势。对应的监测结果可以被传输到控制设备，或者使得以另一种合适的方式可用于控制设备。如果监测设备确定第二测量体与电源电压电势之间的电连接已经实现，则控制设备可以切换到安全操作模式。因此，可以说，已经认识到，未执行工件加工，但已经分别执行了测定和核对。随后，安全操作模式被启动，并且控制设备控制机器轴线布置，以保持安全操作模式的至少一个限制。
在安全操作模式下，例如，可以防止工具主轴的操作，从而防止第二测量体绕主轴轴线旋转。替代地或附加地，一个或多个机器轴线的驱动力或驱动扭矩可以被限制到最大力或最大扭矩。因此，可以避免由于大的接触压力而损坏测量体。为此，例如，可以使属于相应机器轴线并代表其驱动器的电动马达受到扭矩限制，例如通过适当限制马达电流。为了限制相应机器轴线的力或扭矩，例如，可以进行马达电流的测量和限制。
如果第二测量体经由连接线电连接到电连接部件的第一接触件，则是有利的。此外，电连接部件可以包括能够彼此短路的第二接触件和第三接触件。
可以提供配对电连接部件，用于与连接部件进行电连接。配对连接部件包括第一配对接触件，该第一配对接触件通过第一导体经由监测设备连接到电源电压电势。监测设备的监测部件可以布置在该第一导体中，所述设备提供切换功能，例如晶体管、继电器和光耦合器等。优选地，监测部件可以另外提供第一导体与测量电路的电流隔离。
此外，如果配对连接部件具有通过第二导体连接到电源电压电势的第二配对接触件，则是有利的。此外，可以提供可选的第三配对接触件，其通过第三导体连接到监测设备，并且特别是监测设备的监测单元。
通过在连接部件与配对连接部件之间建立连接，在第一接触件与第一配对接触件之间实现电连接。如果存在，则在第二接触件与配对接触件之间和/或在第三接触件与第三配对接触件之间也实现电连接。由于第二接触件与第三接触件之间的短路，因此，随着连接部件与配对连接部件之间的连接的建立，在电源电压电势和监测设备与监测单元之间分别实现了电连接。以这种方式，可以检测第二测量体与电源电压电势的连接，并且例如启动安全操作模式。
附图说明
本发明的有利实施例可以从从属专利权利要求、说明书和附图中推断出来。在下文中，将参考附图详细解释本发明的优选示例性实施例。它们在下列附图中示出：
图1是研磨和/或腐蚀机的示例性实施例的类似框图的示意性图，
图2是根据图1的框图的研磨和/或腐蚀机的示例性实施例的示意性侧视图，
图3是测量盘与电源电压电势和监测设备的电连接以及测试心轴与参考电势的电连接的示例性实施例的基本图，
图4至7是具有不同的接触位置的图1至3的测试心轴和测量盘的侧视图(图a)和平面图(相应地为图b)的示意图。
具体实施方式
图1和2以极其简化的方式示出了研磨和/或腐蚀机10的示例性实施例。研磨和/或腐蚀机10包括机器轴线布置11，机器轴线布置包括至少一个、并且优选多个平移和/或旋转机器轴线12。在这里示出的示例性实施例中，轴线布置11包括三个平移轴线，即，X轴线12x、Y轴线12y以及Z轴线12z。此外，根据该示例，机器轴线布置11包括两个旋转机器轴线，即，A轴线12a和C轴线12c。经由C轴线12c，可以绕分别平行于y方向和Y轴线12y延伸的旋转轴线R进行旋转。通过A轴线，可以绕分别平行于x方向和X轴线12x延伸的轴线进行旋转。可选地，可以存在下面这样的旋转轴线，利用该旋转轴线，可以绕旋转轴线进行旋转，所述轴线分别平行于z方向和Z轴线12z延伸。参考图2所示的示例性实施例，仅提供了五个机器轴线12，即三个平移机器轴线12x、12y、12z，以及两个旋转机器轴线12a和12c。
通过机器轴线布置11，可以相对于机器基座15移动工具主轴13和/或工具保持设备14，从而也可以实现工具主轴13与工件保持设备14之间的相对移动。在这种情况下，可以使用不同的轴线配置。为了移动工具主轴13，可以使用一个或多个平移或旋转机器轴线12，并且为了移动工件保持设备14，因此可以移动其他平移或旋转机器轴线12。参考图2所示的示例性实施例，Y轴线12y和Z轴线12z可用于移动工具主轴13，而X轴线12x和C轴线12c可用于移动工件保持设备14。A-轴线12a被设置成围绕工件保持设备14的纵向轴线L驱动工件保持设备14
轴线布置11的机器轴线12在图1中仅象征性地示出，并且在图2中仅通过它们示意性示出的旋转轴线或滑块示出。工具主轴13位于第一滑块15上，该第一滑块15可以通过Y轴线12y相对于第二滑块16移动。承载第一滑块15的第二滑块16可以通过Z轴线12z相对于机器基座15移动。第三滑块17布置在机器基座15上，以便可经由X轴线12x移动，并且承载C轴线12c。通过C轴线12c，可以使托架18绕旋转轴线R进行旋转。依次地，Z轴线12a和工件保持设备14位于托架18上，在这种情况下，A轴线12a能够绕纵向轴线L驱动工件保持设备14
因此，通过机器轴线布置11，可以分别相对于工件保持设备14对准和定位工具主轴13。工具主轴13被设置用于接收工具19，例如研磨工具和/或腐蚀工具。通过工具主轴13，可以驱动工具19，例如研磨盘，以便以绕主轴轴线S旋转的方式被驱动。工具主轴13或相关联的主轴驱动器(未示出)由控制设备21启动，该控制设备21可以指定期望的旋转速率。
工件保持设备14被设置用于分别接收和夹持工件20。工件20可以通过A轴线12a绕其纵向轴线L旋转或枢转，或者通过C轴线12c绕旋转轴线R旋转或枢转。由于通过C轴线12c绕旋转轴线R的枢转运动，调节纵向轴线L与主轴轴线S之间的角。根据该示例，该角可以在0°至180°之间变化。
经由控制设备21，机器轴线布置11也被启动使得每个机器轴线12可以被单独驱动。每个机器轴线12的位置由位置检测设备22检测。在这种情况下，每个机器轴线12可以与位置传感器23相关联，以便检测相应的位置值Aist、Cist、Xist、Yist、Zist (“ist” [原文如此]=实际)并将其传输到控制设备21。如果有附加的旋转轴线，则对应的实际值可以由位置检测设备22传输到控制设备21，这在图1中用虚线示出。
作为建议实施例的替代，位置检测也可以由位置检测设备22基于为相应实际位置特性的其他值来实现。则不需要直接测量实际位置值。
根据示例，研磨和/或腐蚀机10被设置用于执行测定或核对机器轴线12的方法。为此，并非工件，而是导电的第一测量体（根据该示例为测试心轴27）可以插入工件保持设备14中。此外，并非工具19，而是导电的第二测量体（根据示例为测量盘28）可以插入工具主轴13中。测试心轴27电连接到固定的参考电势，并且根据该示例，电连接到接地M。该连接可以直接经由线在测试心轴27上实现，或者间接地经由工件保持设备14实现。
测量盘27电连接到电源电压电势UV。经由电隔离件29，连接到测量盘28的轴的轴部段30相对于测量盘28被电隔离。经由轴部段30，测量盘28容纳在工具主轴13中。因此，施加到测量盘28上的电源电压电势UV没有施加到工具主轴13上，并且通过电隔离件29防止电流流入或流过工具主轴13。
此外，测量盘28电连接到监测设备31。监测设备31包括监测单元32。监测设备31或至少监测单元32可以是控制设备21的部件，或者可以通信地连接到控制设备21。监测设备31与测量盘28之间的电连接经由具有连接部件33和配对连接部件34的连接设备来实现。连接部件33优选地被配置为插头，以及配对连接部件34被配置为插座。例如，配对连接部件34可以在工具主轴13的区域内附连到研磨和/或腐蚀机10，例如附连到第一滑块15或用于工具主轴13的托架，工具主轴13的托架连接到第一滑块15的托架。
在示例性实施例中，连接入口33具有第一电接触件35，并且根据该示例，另外具有第二电接触件36和第三电接触件37。电接触件35、36、37可以被配置为插销。如从图3可以推断的，第二接触件36和第三接触件37分别被连接部件33电短路并处于连接部件33中。
配对接触部件34具有至少一个第一电配对接触件38。在示例性实施例中，另外还有第二电配对接触件39和第三电配对接触件40。配对接触件38、39、40可以被配置为插座，用于接收分别相关联的插销。
经由连接线41，第一电接触件35电连接到测量盘28。连接线41是柔性线，例如螺旋电缆。
第一配对接触件38通过第一导体42连接到监测设备31。在示例性实施例中，第一导体42经由监测部件43电连接到电源电压电势UV。监测部件43具有电切换功能，并且被设置成当测量电流IM流过第一导体42时触发电切换操作。该电切换操作由电连接到监测部件43的监测单元32检测。
在这里描述的示例性实施例中，监测部件43还提供电流隔离。当监测部件43的次级侧布置在次级电路44中时，监测部件43的初级侧在第一导体42中切换。
在示例性实施例中，监测部件43是光耦合器45。光耦合器二极管在阳极侧电连接到电源电压电势UV，在阴极侧电连接到第一配对接触件38。光耦合器晶体管在集电极侧电连接到次级电压电势US，以及在发射极侧电连接到第一监测输入46。一旦测量电流IM流过第一导体42并因此流过光耦合器二极管，光耦合器晶体管就变得导通，并将第一监测输入46电连接到次级电压电势US。然而，如果没有测量电流IM流过光耦合器二极管，则光耦合器晶体管阻断，并且次级电压电势US与第一监测输入46电断开。由于光耦合器晶体管的切换操作，因此可以检测第一导体42中测量电流IM的存在。
次级电路44也可以借助于监测部件43或光耦合器45被不同地电配置。例如，第一监测输入46可以直接连接到次级电压电势US和光耦合器晶体管的集电极。然后，光耦合器晶体管的发射极可以经由电阻器连接到比次级电压电势US低的电势，例如次级接地电势。在这种情况下，当测量电流IM在初级侧流过第二导体42时，次级接地电势被施加到第一监测输入46，而光耦合器晶体管以其他方式阻断，并且次级电压电势US被施加到第一监测输入46。
监测设备31和次级电路44的另外的修改也分别是可能的。代替光耦合器45，可以使用继电器或引起切换操作的另一监测部件43，所述部件可能具有或不具有电流隔离。
第二配对接触件39经由优选地直接连接的第二导体49电连接到电源电压电势UV。第三配对接触件40经由第三导体50电连接到第二监测输入51，优选地直接电连接。
如果在连接部件33与配对连接部件34之间建立了电连接并且优选地也建立了机械连接，则分别在第一接触件35与第一配对接触件38之间、在第二接触件36和第二配对接触件39之间以及在第三接触件37与第三配对接触件40之间执行一次电连接。由于第二接触件36与第三接触件37之间的短路连接，第一导体49电连接到第三导体50，结果，电源电压电势UV被施加到第二监测输入51。监测单元32的监测设备31可以经由第二监测输入51检测到在连接部件33与配对连接部件34之间形成了电连接。
优选地，监测单元32被设置成当检测到连接部件33与配对连接部件34之间的电连接时产生适当的信号，并将所述信号提供给控制设备21。然后，控制设备21以安全操作模式操作研磨和/或腐蚀机10。在安全操作模式下，防止工具主轴13围绕心轴轴线S驱动和/或测试心轴27围绕纵向轴线L旋转。结果，可以防止插入工具主轴13中的测量盘28旋转。
替代地或附加地，一个或多个机器轴线12可以在安全操作模式下操作，同时力或扭矩受到限制。其结果是，当这些测量体27、28相互接触或与研磨和/或腐蚀机10的另一部件接触时，防止了过大的力或扭矩作用在测量盘28或测试心轴27上。为此，例如可以通过对马达电流的适当电流限制来限制相应机器轴线12的所涉及的马达的驱动扭矩。
当测量盘28和测试心轴27经由机器轴线布置11相对于彼此移动并且在接触位置K处彼此接触时，在测量盘28与测试心轴27之间形成导电连接。由于施加到测量盘28的电源电压电势UV与施加到测试心轴28的参考电势(接地M)之间的电势差，根据该示例，测量电流IM从测量盘28流过测试心轴27并流到接地M上。这种电流流动导致监测部件43切换，使得监测设备31可以检测测量电流IM的电流流动。此时，经由位置检测设备22检测到的相应机器轴线的当前位置被存储或以其他方式登记。
这种布置能够（在研磨和/或腐蚀机10的工作范围内不使用接触传感器或接近传感器的情况下）快速且精确地检测测量盘28与测试心轴27之间的接触。
特别地，控制设备21被设置成移动测量盘28在指定的系列接触位置与测试心轴27接触。优选地，测量盘28具有外周表面54，该外周表面54形成测量盘28的边缘并界定其轮廓。外周表面54包围背离轴部段30的侧表面55。测量盘28可以用其侧表面55或外周表面54与测试心轴27接触。
图4至7中的每一个示意性地示出了在纵向轴线L与主轴轴线S之间的指定对准中接近接触位置。为了测定和/或核对研磨和/或腐蚀机，可以接近测试心轴27上的一系列多个接触位置K，并且使测量盘28在那里与测试心轴27接触。为此，可以用测量盘28上的侧表面55或外周表面54实现接触。接触位置K可以设置在测试心轴27的生成表面56或面57上。
接触位置K的数量对应于设置成相对于测试心轴27移动测量盘28的机器轴线12的数量。根据该示例，其是四个机器轴线，因为A轴线12a可以导致测试心轴27绕其纵向轴线L旋转，然而，这不会改变测量盘28与测试心轴27之间的相对位置。因此，对应于三个平移轴线12x、12y和12z，测试心轴27在三个不同的接触位置K以绕旋转轴线R的指定旋转角度的C轴线的第一位置接近。此外，至少一个接触位置K在C轴线12c围绕旋转轴线R的另一旋转位置下接近。例如，围绕旋转轴线R的两个旋转位置可以彼此相差90°。
在示例性实施例中，纵向轴线L最初可以在x方向上对准(图4至6)。在测试心轴27的这种对准中，使用Y轴线12y，测量盘28在侧表面55抵靠生成表面56的第一接触位置处移动，并且检测该第一接触位置的位置(图4a和4b)。随后，使用Z轴线12z，测量盘28的外周表面54在至少一个另外的接触位置K上抵靠测试心轴27的生成表面56移动，并且检测该位置(图5a和5b)。最后，接近测试心轴27的面57上的另一个接触位置K，在这种情况下，使用X轴线12x，并且在这种情况下，经由测试心轴27朝向测量盘28的运动而发生相对运动。通过检测这三个接触位置，可以确定平移轴线相对于纵向轴线L和主轴轴线S的相对位置。为了核对旋转C轴线12c，执行C轴线绕旋转轴线R旋转指定的旋转角，例如90°，并且随后，使用平移轴线12x、12y、12z中的至少一个在测试主轴27与测量盘28之间建立接触。在图7a和7b所示的示例性实施例中，这种相对运动由X轴线12x实现。在该C轴线的枢转位置，可以进一步接近另外的接触位置并确定对应的位置。
借助于所描述的研磨和/或腐蚀机10，可以执行许多几何测量。例如，测试心轴27可以通过测量盘28沿着纵向轴线L移动到一个或多个接触位置K，例如使用Y轴线12y。随后，测试心轴27可以围绕纵向轴线L旋转指定的旋转角，并且由测量盘28再次沿着纵向轴线L移动到相同的位置。以这种方式，可以确定A轴线12a的同心度。
还可以确定A轴线12a相对于X轴线12x的平行度。使用X轴线12x，可以使测试心轴27和测量盘28在接触位置接触。随后，C轴线旋转指定的旋转角，优选为180°，并且再次使用X轴线12x接近测试心轴27与测量盘28之间的接触位置。基于此，可以确定轴线平行度。与之类似，可以使用Z轴线来确定A轴线12a相对于Z轴线12z的平行度。
通过使用Y轴线12y移动经过测试心轴27的面57上的多个接触位置K，例如，可以确定A轴线12a相对于Y轴线12y的直角角度。如果面57对此太小，则可以使用电连接到接地M的盘代替测试心轴27作为第一测量体。
当A轴线12a平行于X轴线12x定向时，旋转轴线R应该将纵向轴线L一分为二。通过在围绕旋转轴线R的不同旋转或绕转位置移动到轴线或旋转与测试心轴27的生成表面56之间的交点处的接触位置K，可以确定旋转轴线R与纵向轴线L之间的中心偏移。
通过上述研磨和/或腐蚀机，可以根据需要进行额外的测定和核对。为此，可以分别接近一系列接触位置K。对于每个接触位置，可以指定纵向轴线L相对于主轴轴线S的期望定向。如果除了根据示例解释的C轴线12c之外，还存在另外的旋转机器轴线，则还可以为接触位置K的每个位置检测指定它们的角位置。
所描述的测定或核对操作也可以类似地用其他轴线布置来执行。研磨主轴13是否相对于机器基座15移动或者工件保持设备14是否相对于机器基座15移动取决于相应的特定轴线布置。
本发明涉及研磨和/或腐蚀机10，以及用于测定和核对包括多个机器轴线12的轴线布置11的方法，其中每个机器轴线可以被配置为旋转或平移机器轴线。为此，将第一测量体(测试心轴27)插入工件保持设备14中，并将第二测量体(测量盘28)插入工具主轴13中。测试心轴27电连接到参考电势，优选地电连接到接地M。测量盘28电连接到电源电压电势UV。通过在测量盘28与测试心轴27之间形成接触，测量电流IM在电源电压电势UV与参考电势之间流动，并且根据该示例，从电源电压电势UV到接地M。该测量电流IM的流动可以在监测装置31中检测，并且可以确定在测量电流IM的电流流动开始时机器轴线12的实际位置。经由轴线布置11，可以接近测量盘28与测试心轴27之间的一个或多个接触位置K，并且因此，可以分别进行轴线布置11和机器的核对或测定。
附图标记列表
10 研磨和/或腐蚀机
11 轴线布置
12 机器轴线
12a A-轴线
12c C-轴线
12x X-轴线
12y Y-轴线
12z Z-轴线
13 工具主轴
14 工件保持设备
15 第一滑块
16 第二滑块
17 第三滑块
18 托架
19 工具
20 工件
21 控制设备
22 位置检测设备
27 测试心轴
28 测量盘
29 隔离件
30 轴部段
31 监测设备
32 监测单元
33 连接部件
34 配对连接部件
35 第一接触件
36 第二接触件
37 第三接触件
38 第一配对接触件
39 第二配对接触件
40 第三配对接触件
41 连接线
42 第一导体
43 监测部件
44 次级电路
45 光耦合器
46 第一监测输入
49 第二导体
50 第三导体
51 第二监测输入
54 测量盘的外周表面
55 测量盘的侧表面
56 测试心轴的生成表面
57 测试心轴的面
IM 测量电流
K 接触位置
L 纵向轴线
M 接地
R 旋转轴线
S主轴轴线
US次级电压电势
UV电源电压电势。

Claims (16)

1.研磨和/或腐蚀机(10)，具有：
能够围绕主轴轴线(S)被驱动的工具主轴(13)，所述工具主轴被配置用于容纳研磨或腐蚀工具(19)，
工件保持设备(14)，其被设置用于容纳工件(20)，
机器轴线布置(11)，包括多个机器轴线(12)，所述轴线布置被配置成用于旋转和平移运动或者用于工具主轴(13)和/或工件保持设备(14)的定位，所述工件保持设备(14)构造成借助于旋转机器轴线(12c)围绕旋转轴线(R)旋转或枢转，以便调节所述工件保持设备(14)的纵向轴线(L)与主轴轴线(S)之间的角度，
位置检测设备(22)，所述设备被配置用于检测存在的机器轴线(12)中的每一个的位置，
导电的第一测量体(27)，所述测量体被配置成容纳在工件保持设备(14)中，以及导电的第二测量体(28)，所述导电的第二测量体(28)被配置成容纳在工具主轴(13)中，其中容纳在工具主轴(13)中的第二测量体(28)能够连接到电源电压电势(UV)和监测设备(31)，并且其中容纳在工件保持设备(14)中的第一测量体(27)能够连接到指定的参考电势(M)，
控制设备(21)，其连接到监测设备(31)和位置检测设备(22)，并且被配置为执行测定和/或核对的方法，包括以下步骤:
-将所述工件保持设备(14)定位在处于围绕旋转轴线(R)的指定旋转角的所述旋转机器轴线(12c)的第一位置中，
-驱动至少一个机器轴线(12)，以便使测量体(27，28)相对于彼此移动，并使它们在接触位置(K)处彼此接触，
-当监测设备(31)检测到由于接触，测量电流(IM)在所述测量体(27，28)之间流动时，将至少一个被驱动的机器轴线(12)的实际位置存储在存储器中，
-将所述工件保持设备(14)定位在处于围绕旋转轴线(R)的指定旋转角的所述旋转机器轴线(12c)的不同位置中，并且在另一旋转位置在接触位置(K)处接触。
2.根据权利要求1所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述控制设备(21)被配置为当监测设备(31)检测到由于接触测量电流(IM)在测量体(27，28)之间流动时，停止对至少一个被驱动的机器轴线(12)的驱动。
3.根据权利要求1或2所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述控制设备(21)被配置成驱动至少一个机器轴线(12)，使得至少一个存在的旋转机器轴线(12)在测量体(27，28)之间在接触位置(K)处接触时显示预先指定的旋转位置。
4.根据权利要求1或2所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述第二测量体被配置为测量盘(28)，所述测量盘具有以环形方式闭合的外周表面(56)，所述外周表面包围侧表面(57)。
5.根据权利要求4所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述控制设备(21)被配置成驱动至少一个机器轴线(12)，使得测量盘(28)用其外周表面(56)或侧表面(57)接触第一测量体(27)。
6.根据权利要求1或2所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述控制设备(21)被配置成驱动至少一个机器轴线(12)，使得相继到达一系列不同接触位置(K)。
7.根据权利要求1或2所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述控制设备(21)被配置成驱动至少一个机器轴线(12)，使得相继到达的接触位置(K)的数量对应于被配置成改变测量体(27，28)之间的相对位置的那些机器轴线(12)的数量。
8.根据权利要求1或2所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述监测设备(31)包括监测单元(32)，所述监测单元(32)被配置为监测第二测量体(28)是否电连接到电源电压电势(UV)。
9.根据权利要求8所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述监测单元(32)是控制设备(21)的部件或者通信地连接到所述控制设备(21)，并且所述控制设备(21)被配置成当所述监测单元(32)已经确定了第二测量体(28)与电源电压电势(UV)之间的电连接时，以安全操作模式驱动轴线布置(11)。
10.根据权利要求1或2所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，第二测量体(28)经由连接线(41)连接到电连接部件(33)的第一接触件(35)。
11.根据权利要求10所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述电连接部件(33)具有彼此短路的第二接触件(36)和第三接触件(37)。
12.根据权利要求1或2所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，存在具有第一配对接触件(38)的配对连接部件(34)，所述第一配对接触件通过第一导体(42)经由所述监测设备(31)的监测部件(43)连接到电源电压电势(UV)。
13.根据权利要求12所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，所述配对连接部件(34)具有第二配对接触件(39)，第二配对接触件通过第二导体(49)连接到电源电压电势(UV)，并且所述配对连接部件(34)包括第三配对接触件(40)，所述第三配对接触件通过第三导体(50)连接到所述监测设备(31)的监测单元(32)。
14.根据权利要求权利要求12所述的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，第二测量体(28)经由连接线(41)连接到电连接部件(33)的第一接触件(35)，随着所述连接部件(33)与所述配对连接部件(34)之间的电连接的建立，所述第一接触件(35)电连接到所述第一配对接触件(38)。
15.根据权利要求权利要求13的研磨和/或腐蚀机，
其特征在于，第二测量体(28)经由连接线(41)连接到电连接部件(33)的第一接触件(35)，并且所述电连接部件(33)具有彼此短路的第二接触件(36)和第三接触件(37)，随着连接部件(33)与配对连接部件(34)之间的电连接的建立，第二接触件(36)电连接到第二配对接触件(39)，并且第三接触件(37)也电连接到第三配对接触件(40)。
16.一种测定和/或核对研磨和/或腐蚀机(10)的方法，所述研磨和/或腐蚀机(10)具有：
能够围绕主轴轴线(S)被驱动的工具主轴(13)，所述工具主轴被配置用于容纳研磨和腐蚀工具(19)，
工件保持设备(14)，所述设备被配置用于容纳工件(20)，
具有机器轴线布置(11)，所述机器轴线布置(11)包括多个机器轴线(12)，所述轴线布置被配置用于所述工具主轴(13)和/或所述工件保持设备(14)的旋转和平移运动或定位，所述工件保持设备(14)构造成借助于旋转机器轴线(12c)围绕旋转轴线(R)旋转或枢转，以便调节所述工件保持设备(14)的纵向轴线(L)与主轴轴线(S)之间的角度，
位置检测设备(22)，所述设备被配置用于检测存在的机器轴线(12)中的每一个的位置，
导电的第一测量体(27)和导电的第二测量体(28)，
以及控制设备(21)，
其中所述方法包括以下步骤:
-将第一测量体(27)插入所述工件保持设备(14)中，并将第一测量体(27)电连接到限定的参考电势(M)，
-将第二测量体(28)插入所述工具主轴(13)中，并且将第二测量体(28)电连接到电源电压电势(UV)和监测设备(31)，
-将所述工件保持设备(14)定位在处于围绕旋转轴线(R)的指定旋转角的所述旋转机器轴线(12c)的第一位置中，
-驱动至少一个机器轴线(12)，以便相对于彼此移动测量体(27，28)，并使它们在接触位置(K)处彼此接触，
-当监测设备(31)检测到由于接触，测量电流(IM)在测量体(27，28)之间流动时，将至少一个被驱动的机器轴线(12)的实际位置存储在存储器中，
-将所述工件保持设备(14)定位在处于围绕旋转轴线(R)的指定旋转角的所述旋转机器轴线(12c)的不同位置中，并且在另一旋转位置在接触位置(K)处接触。
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