JPS61111879A

JPS61111879A - 工程中において検査を行う方法及びその装置

Info

Publication number: JPS61111879A
Application number: JP60218994A
Authority: JP
Inventors: カルロ　マネーリ; ギオヴアーニ　ボニフアシーニ
Original assignee: SUPEROONI SpA
Current assignee: SUPEROONI SpA
Priority date: 1984-10-01
Filing date: 1985-10-01
Publication date: 1986-05-29
Also published as: IT1178526B; IT8422931A0; EP0181838A3; EP0181838A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野この発明は、生産ラインの工程中において検査を行う方
法及びそれに用いる装置に関するものである。特に、本
発明は、生産ラインのラインスピードに影響を与えるこ
となく、ワークピースのジオン）　ＩＪ制御を正確に且
つ系統的に行うための検査方法及び装置に関するもので
ある。

従来の技術周知のように、種々の産業分野において、又、工業計画
において、良質の製品のみを生産することが指向され、
このために歩止まりの向上が望まれており、このため標
準製品に対してジオメトリが異なっている不良品の生産
を防止する必要がある。このため、生産ラインにはワー
クピースの加工工程の上流側に多数のジオメトリ制御ス
テーションを設ける必要がある。

今日、このような制御ステーションで用いられている機
械では、単に機械部品の判別のみが可能であり、このた
めに能動性のトレース部材を有するバ一部材が用いられ
ており、このバ一部材はワークピース内に導入されてチ
ェックを行う。バ一部材をワークピースに導入する際に
、トレース部材は下降し、ワークピースの内面に摺接す
る。トレース部材の変位は電子部品によって電気信号に
変換処理する。しかし乍ら、これらの従来の制御ステー
ションは、非常に精密な機械が生産装置とともに、通常
の環境に伺等の保護もなしに配置されている。

１今日市販されている制御機器は、ワークピースのジオ
メトリの精密な制御を可能とするが、これらの制御機器
は可撓性を有し、その動作速度が制限さねており、また
許容公差が非常に狭いものとなっている。この結果、こ
れらの制御機器を他の生産ラインに用いることは、しば
しば困難なものとなっている。特に、制御機器があるワ
ークピースにのみ適応するように作られそいる場合には
、こねを他の生産ラインに用いることは不可能となる。

また更に、これらの制御機器は標準又は基準材料とは異
なるワークピースについては用いることが出来ず、また
その公差の範囲も非常に狭いものとなっている。これら
の制御機器は、標準材料又は基準材料によって初期設定
され、特定のワークピースについてのみ適用可能となる
。この結果、生産ラインにおいては、標準材料と同じか
、若しくは同等の材料のみが供給されることになる。

また更に、これらの制御機器は、エマルジョン、冷媒、
切子等によって汚染され易い環境中に配置されるので、
これらのエマルジョン、冷媒及び切　　　１子がワーク
ピース内の表面とトレース部材の間に侵入し易く、この
結果検出結果が標準部品のものと異なってしまう可能性
がある。

更に、現在市販されている機器は、所定値範囲内におけ
る変化に適応した検査を行うには適しておらず、従って
非常に適応性に乏しく、このため生産ラインで連続的に
使用する場合には必ずしも信頼性の高いものではない。

この結果、ワークピースの測定において、材料の寸法が
予め定めた寸法範囲の僅かに外れている場合には、制御
機器がその製品がトレース部材の直線的変位領域に有る
にもかかわらず不良と判断する。このために、生産ライ
ンが停止し、生産性を大きく損う結果となっている。ま
た、この種の制御機器においては、機械的検出量が正確
に電気信号値に変換されない場合に、上記のように不良
品の誤検出を起こしてしまうこととなる。従って、従来
においては材料の検査は常に正確に行うことは出来ない
。

発明の解決しようとする問題点今日使用されているトレース部材は主に摺動タイプのも
のであり、ワークピースの材質及び測定モジュールの材
質との関係において問題を生じることがある。更に、既
に述べたように、トレース部材の直線的変位の範囲にお
ける公差が小さいことによっても問題が生じる。公差が
小さいためにワークピースの軸線を測定モジュールの軸
線と一直線上に位置するようにしてズレが生じ妬いよう
にすることが必須であり、そのためにジオメトリ制御が
逆になってしまう可能性がある。

また、市販されている制御機器は、相互に作用するタイ
プのものではなく、従ってその動作サイクルはワークピ
ースの加工サイクルと必ずしも完全に同期しないものと
なっている。また、制御機器の動作サイクルは生産ライ
ンの動作の構成部材と常に連関動作出来ないものとなっ
ている。

本発明の目的は、上記した従来の欠点を解消するために
生産工程において迅速に検査を行う方法及び装置を提供
しようとするもので、本発明によれば加工するワークピ
ースのジオメトリ制御を確実にし、特定の作業プロセス
及び測定部材並びに加工工具を適切に制御し得るものと
なる。

本発明の上記及び上記以外の目的及び効果は、本発明に
よる生産ラインにおいて迅速に検査を行い、ワークピー
スのジオメトリを制御する方法によって達成される。本
発明の方法によｎば、−乃至複数の棒状の測定モジュー
ルが設けらｎｌこの測定モジュールは、ラインに投入さ
２″１．たワークピース内に挿入される。各測定モジュ
ールは少なくとも三つのトレース部材が放射状に配設さ
ｎており、このトレース部材は、測定モジュールが検査
を行うワークピース内に挿入さｎ１流体によって測定部
分が清掃さｎたときに、空気圧によって駆動される。測
定モジュールの往復動作、トレース部材の進退等の一連
の動作はマイクロコンピュータを含む装置によって制御
さｎておシ、また、制御装置は適当な電気素子を用いて
連続的に変換して得らｎる適切な操作によって得らｆる
電気信号を処理する。更に制御装置は標準ワークピース
について予め記憶したデータと、検査するワークピース
に関する測定データとを比較し、当該測定データと予め
記憶したデータに基づいて許容公差を決定するとともに
、生産ラインの種々の機器を制御制御する。

本発明の好適実施例によｆば、ａ）基準ワークピースを以下の工程に投入して得らｎる
データに基づいてゼロ点位置に初期設定する工程と、ｂ）前記基準ワークピースが少なくとも三つのトレース
部材を放射状に設けた棒状測定モジュールの前部に位置
したときに、前記測定モジュールを有するスライダを起
動する工程と、Ｃ）前記トレース部材をテストする工程と、ｄ）前記測
定モジュールが制御さｎる領域に近づいたときに、前記
測定モジュールの一端に設けるノズルより加圧流体を吐
出し、前記領域の切子等を掃除する工程と、ｅ）前記測定モジュールをワークピース内に導入する工
程と、ｆ）前記トレース部材を加圧空気にて動作させる工程と
、ｇ）必要なデータを電気信号に変換して検出する工程と
、ｈ）前記トレース部材を離脱させた後に、前記測定モジ
ュールを取外す工程と、ｌ）前記の電気信号値を記憶した値と比較する工程と、ｊ）ディスプレイモニタに前記ワークピースの図面と測
定寸法と許容寸法を並列に表示したテーブルを表示する
とともに、及び前記ワークピースの許容範囲を三つの色
付ランプにて表示する工程と、ｋ）制御動作を行い、及び／又は誤動作している装置の
工具を検出して、こｔを交換する工程と、ｌ）上記の工
程を所定数のワークピースについて反覆する工程と、ｍ）各測定モジュールに少なくとも三つのトレース部材
を、測定する前記ワークピースの円をセンタリングし、
前記ワークピースの軸線と前記測定モジュールの軸線の
ズレを許容範囲とするように配置する工程とより成シ生
産ラインにおけるワークピースのジオメトリを制御する
ようにしたことを特徴とする工程中における検査を行う
方法が提供される。

また、上記した本発明による検査方法を実施するための
装置は、少なくとも三つのトレース部材を放射状に設け
た測定モジュールを一又は複数個有するスライダを有し
、前記トレース部材は、前記の測定モジュールがスライ
ダの動作によシワークピースに挿入さｆたときに、その
ハウジングより突出する、トレース部材は差動変換器に
連関さねており、この差動変換器は、トレース部材の外
向動作量に応じた電気信号を出力する。差動変換器の電
気信号は、マイクロコンピュータを含ムビデオユニット
にて成る第二の装置に入力さてしる。

ビデオユニットはそのビデオモニタ上にデータをワーク
ピースの図面とともに表示する。第二の装置はトレース
部材を後退させ、スライダを初期位置に戻すスライダリ
ターン信号を出力するとともに、検査の最終結果を表示
する。ディスプレイ又は他のインジケータによる検査結
果の表示は、１）　ワークピースのジオメトリは基準内
に有る、２）ワークピースのジオメトリは基準限界値付
近に有る、８）ワークピースのジオメトリは基準限界値の外に有るの三つに分けて表示さｎる。しかして、生産ラインの各
部分が適切制御さｎている間、制御装置自体も正しく動
作する。

本発明の一実施例によｆば、少なくとも三つのトレース
部材を放射状に設けた棒状測定モジュールを一又は複数
個有するスライダを有し、前記トレース部材は加圧空気
によってハウジングより突出するとともに、データを検
出するために差動変換器に連動さｎておシ、該差動変換
器は、前記トレース部材の検出結果を電気信号に変換し
て処理装置に出力し、検出結果をディスプレイモニタと
、測定するワークピースについて異なる許容範囲を示す
色付ランプにて表示するようにした検出装置にて成り、ａ）基準ワークピースを以下の工程に投入して得らｎる
データに基づいて装置をゼロ点位置に初期設定する工程
と、ｂ）前記基準ワークピースが少なくとも三つのトレース
部材を放射状に設けた棒状測定モジュールの前部に位置
したときに、前記測定モジュールを有するスライダを起
動する工程と、Ｃ）前記トレース部材をテストする工程と、ｄ）前記測
定モジュールが制御さｆる領域に近づいたときに、前記
測定モジュールの一端に設けるノズルよシ加圧流体を吐
出し、前記領域の切子等を掃除する工程と、ｅ）　　前記測定モジュールをワークピース内に導入す
る工程と、ｆ）前記トレース部材を加圧空気にて動作させる工程と
、ｇ）必要なデータを電気信号に変換して検出する工程と
、ｈ）前記トレース部材を離脱させた後に、前記測定モジ
ュールを取外す工程と、ｉ）前記の電気信号値を記憶した値と比較する　　　□
工程と、ｊ）ディスプレイモニタに前記ワークピースの図面と、
測定寸法と許容寸法を並列に表示したテーブルを表示す
るとともに、及び前記ワークピースの位置する許容範囲
を三つの色付ランプにて表示する工程と、ｋ）制御動作を行い、及び／又は誤動作している装置の
工具を検出して、こｎを交換する工程と、ｌ）上記の工
程を所定数のワークピースについて反覆する工程と、ｍ）各測定モジュールに少なくとも三つのトレース部材
を、測定する前記ワークピースの円をセンタリングし、
前記ワークピースの軸線と前記測定モジュールの軸線の
ズレを許容範囲とするように配置する工程とよう成シ、
生産ラインにおける部品の位置を制御するようにしたこ
とを特徴とする工程中における検査を行う装置が提供さ
ｎる。

前記処理装置はマイクロコンピュータであシ、各トレー
ス部材にて送出さｎ１前記差動変換器にて変換さｎた電
気信号の処理は、予め定める電気信号値を所定の間隔で
直線的に分割してなり、その間隔により公差を形成する
テーブルを用いる補間処理にて行なわする。

前記の変換さｎた信号は電流値の形で再生さｆる。また
、各変換チャンネルの信号は系統的に基準チャンネルの
信号と比較さ几る。更に、好１しくけ、前記のトレース
部材は能動タイプである。

実　　施　例以下に本発明の実施例を添付図面を参照して説明する。

図において、制御装置の全体は参照符号１にて示さｎて
いる。制御装置ｌは、測定モジュール２を有しており、
この測定モジュール２には複数のトレース部材３が設け
らｎている。測定モジュール２は、スライダ６にてワー
クピース５に対して進退可能のサポート４に支持さｎて
いる。

上記の構成の装置はピデオユニツ）３１（第５図）に接
続さｎている。トレース部材８は、少なくとも三つ（第
２図の例では五つ）サポート４に設けらｔており、円の
センタリングを正確に行い得るようにしている。なお、
トレース部材の数を増加すｆば、センタリングの精度が
向上し、従って所要の精度に応じて、トレース部材の数
が決定さｎる。

こｎらの装置は、生産ラインにおいて直接用いらするも
のであるので、検査を行うワークピースには切子等に付
着している可能性がある。このため、測定モジュール２
の本体には二本のダクトが内蔵さｆている。参照符号９
で示すダクトは、測定モジュールの先端に設けるノズル
７．８に流体を導き、測定モジュール２がワークピース
５に挿入さｎる前にノズル７．８を介して流体（パージ
流体）を吐出させて検査を行う領域を清掃する。

参照符号１０で示すダクトは加圧空気の分配通路を構成
しており、この加圧空気によって、測定モジュール２が
検査を行うワークピース５内に挿入さｆした後に、対応
するトレース部材８の可動メンバ１１の動作を制御する
。

第４図に示すように、測定モジュール２はトレース部材
８を収容するハウジングを有しており、各トレース部材
８は収容部材８５を有している。

この収容部材３５には、可動メンバ１１が収容さｎる。

可動メンバ１１と以下に詳述する可動メンバ１１の変位
を制御するトランスジューサ部材を被覆し、保護するた
めに、ベローズタイプのゴム製保護スリーブ１２が設け
らｎている。この保護スリーブ１２は、螺子１４にて取
付けらｆる環状部材１３によって測定モジュール２に固
定さｎている。可動メンバ１１と収容部材３５の外端部
間には、第二のスリーブ１５が設けらｆている。この第
二のスリーブ１５は、保護スリーブ１２と同様にベロー
ズタイプのゴム製スリーブにて構成さ几る。可動メンバ
１１の一部を構成するロッド１６の内端に位置する円形
板１９と収容部材３５の内端部の間には、第三のスリー
ブ２０が設けら扛ている。この第三のスリーブも、前記
の保護スリーブ１２及び第二のスリーブ１５と同様にベ
ローズタイプのゴム製スリーブにて構成さｎる。可動メ
ンバ１１は、ロッド１６とともに収容部材３５に形成し
た通孔１８内にて摺動可能であり、その外端部には半球
状のヘッド１７が設けらｎている。

ロッド１６には軸線方向に伸びる空洞が形成さｎており
、この空洞は中央部において空気ダクト１０に接続さｎ
ている。収容部材３５内には、更にスプリング２１が収
容さｎておシ、このスプリングの内端は、円形板１９に
当接している。このスプリング２１はダンパ部材として
作用する。２３はＱ　　ＩＪアンプ２４．２５は差動ト
ランスの巻線である。

ロッド１６のストロークに応じて巻線２４．２５の誘起
電流は変化する。可動メンバ１１と差動トランスは、第
５図に示すトランスジューサ２６を構成している。この
第５図において、ブロック２７はトレース部材からの信
号を伝達する信号伝達手段、２８は信号を操作するマニ
ュプレータ、２９はアンプ、８０は変換器である。８４
はマイクロコンピュータであり、このマイクロコンピュ
ータは上記の各ブロックを制御する。こｎらによって、
適当なデータがビデオユニット８１に送ら几るとともに
、上記した機械的検出装置の機械的動作を制御する。

以下に上記した装置の動作を説明する。

１ず最初に、装置を初期設定して、ゼロ点位置に調節す
る。こｎら同時に、標準又は基準ワークピースより検出
したデータを記憶する。この初期設定動作は以下の要領
で行なわｆる。

初ず、基準ワークピースが、装置を生産ライン中で動作
させる前に、装置に投入する。こｎに応じて、測定モジ
ュール２がスライダ６によって測定を行うワークピース
に向かって移動する。この測定モジュール２の動作過程
において、マイクロコンピュータは、測定を正確に行う
ためにトレース部材８ｆ！：チェックする。その後、ワ
ークピースの近傍において、ダクト９を介してノズル７
．８より流体を吐出させて、測定部分に付着する切子等
を清掃する。

この時点で、測定モジュール２は測定するワークピース
５内に挿入される。その後に可動メンバ１１が駆動さｎ
て、測定動作を行う。測定においては、複数の可動メン
バ１１によシ少なくとも三点において内径又は外径が測
定さ扛る。即ち、特定の周面のみが三つの測定とともに
通過するため、三点以上の測定を設けることにより、測
定するワ−クピースのセンタリングを行うことが出来る
。

ワークピースの中心座標は、三つの測定点におけるデー
タをソフトウェア処理することによって算出することが
出来る。更に、三点の測定点を設けることによって測定
モジュール２の軸線がワークピースの軸線に対してズレ
を生じた場合にも、測定を行うことが出来る。

ダクトｌＯを介してロッド１６の空洞内に導入される空
気圧によって、ロッド１６が外方に突出し、半球状のヘ
ッド１７はワークピース５の内面に当接する。この動作
によって、ロッド１６の動作に伴うヘッド１７の動作に
応じてスリーブ１２．１５が伸長する。こ扛と同時に、
スリーブ２０が円形板１９とともに上動し、円形板１９
によシスプリング２１を圧縮する。

ロッド１６が外方に移動すると、上述のようにスプリン
グ２１が圧縮さｆ１スリーブ１２　、１５．２０が伸長
さｎることによって、ロッド１６の復帰力が蓄積さｎる
。ロッド１６の外方への変位によって差動トランスの巻
線２４．２５間のリンりが変化する。従って、誘導の変
化によって電気信号が決定さｎる。この電気信号値は、
ロッド１６の直線動作に対応している。

常に直線範囲で動作し得るように、電気信号の値は特定
のストローク間隔に連関さｎている。こｎらのストロー
ク間隔によって、制御動作に用いらｆるテーブルを構成
する特定の公差を段階的に区分することが出来る。

本発明の実施例においては、トランスジューサの１ｍｍ
ストロークが１　ｍＶ　　に対応していることが必要で
ある。このため、例えばトランスジューサのゼロ点より
−５００、及び＋５００調の位置に基準点が設けらｎる
。この場合、トランスジューサが一５００Ｗｎ変位する
と、こｎに対応する電気信号値は−５００ｍＶ　になる
。この場合、電気信号はマルチベースと呼ばｆるブロッ
ク２８に設ケらｎるアナログ乗算器にて発生さｆる。こ
の結果、　　ｉトランスジューサの■単位のストローク
に応じて、　　。

電気信号値はｍＶ　単位で変化する。従って、テーブル
は閣以下の点のストローク位置を補間法によシ、算出す
るときに用いらｎる。更に、テーブルは、ロッド１６の
ストロークの各点において機械的変位量に対応して電気
信号値が設けらｒしていｒしば、よシ使い勝手の良いも
のとなる。

アナログ乗算器にて構成するブロック２８は電流発生器
として作用している。更に詳細に説明すｔば、このブロ
ック２８においては、電圧信号が所定の周波数の電流信
号に変換さｎｌどのような場合においても測定が独立し
て行い得るようにしている。この結果、ロッド１６のサ
イズの変化によっても生じる熱振動等によシ抵抗値が変
化し、その結果インダクタンスが変化した場合において
も、適切な測定が可能となる。

ブロック２７は複数のトランスジューサの信号を伝達す
るためのマルチプレクサで構成さｎｌこのマルチプレク
サには九つのトランスジューサが接続可能となっている
。基準チャンネル８６は、ブロック２７とブロック８０
の間に介在さｎておｆｉ、Ａ／Ｄコンバータにて構成さ
ｎる。この基準チャンネルは、トランスジューサからの
基漁信号を用いており、この基準信号は図示しない増幅
チャンネルを通って基準チャンネルに入力さしる。

この基準信号が通過する増幅チャンネルは、トランスジ
ューサ３の信号が通る増幅チャンネルと同一の構成とな
っている。このため基準チャンネルにおける変化はトラ
ンスジューサチャンネルの変化と同じになる。この結果
、基準チャンネルは、比較チャンネルとして機能し、測
定結果がこの基準信号に対して過大又は過小の場合に、
当該トランスジューサチャンネルについてエラーと判定
する。従って、加減算による補正が行なわｎる。こｎは
基準チャンネルの異常による相違がトランスジューサチ
ャンネルの異常によるものと同一であると考えら−１１
まためである。このような異常の典型的な例としては、
例えば熱ドリフト又はトランスジューサ信号の伝達性の
変化等がある。

測定ハマイクロコンピュータ３４を用いて行わｎておシ
、この測定動作はカードから開始さｎ１ワークピースの
直径を測定し、最後にトランスジューサをチェックして
行なわする。測定結果は７イクロコンピュータが接続さ
ｎたディスプレイユニットに表示さｎる。このディスプ
レイユニ７）は通常ディスプレイモニタにて構成さ牡る
。

マイクロコンピュータは他の数値制御機械３３にブロッ
ク３２にて示すバッファを介して接続可能であシ、コン
ピュータよりのデータを出力し、才た数値制御機械８３
からのデータを入力する。

ブロック２９は信号のコンディショナであり、信号をＡ
／Ｄコンバータに入力する前に増幅、検波する。この検
波はブリッヂを用いずに同期検波にて行わ１．る。ブリ
ッヂを用いない理由は、トランスジューサのストローク
零に対して零ボルトが得らｆないためである。

効果以上のように、本発明による方法及び装置によｎば、本
発明の目的が達成出来るものとなる。即ち、本発明によ
ｎば、ワークピースに切子等の汚汎がある場合において
も、高精度で制御を行うことが出来る。１だ検査の所要
時間は生産ラインの通常の生産速度に影響を与えない程
度に充分に短かいものとなる。

なお本発明は上記の実施例に限定さｆるものではなく、
種々の方法、装置にて実施可能であシ、そ几らの実施も
本発明の範囲に含むものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例による制御装置全体の概略を示
す図、第２図は、本発明による制御装置の測定モジュー
ル及びトレース部材の配置例を示す図、第３　（ａ）図
及び第３（ｂ）図は測定モジュールの断面図、第４図は
トレース部材の詳細を示す断面図、及び第５図は、本発
明の制御回路を示すブロック図である。１：制御装置、２：測定モジュール、８ニドレ一ス部材
、５：ワークピース、６：スライダ、１１：可動メンバ
、１６：ロッド、２６＝トランスジユーサ、３４！：マ
イクロコンピュータ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ａ）基準ワークピースを以下の工程に投入して得
られるデータに基づいて装置をゼロ点位置に初期設定す
る工程と、ｂ）前記基準ワークピースが少なくとも三つのトレース
部材を放射状に設けた棒状測定モジュールの前部に位置
したときに、前記測定モジュールを有するスライダを起
動する工程と、ｃ）前記トレース部材をテストする工程と、ｄ）前記測
定モジュールが制御される領域に近づいたときに、前記
測定モジュールの一端に設けるノズルより加圧流体を吐
出し、前記領域の切子等を掃除する工程と、ｅ）前記測定モジュールをワークピース内に導入する工
程と、ｆ）前記トレース部材を加圧空気にて動作させる工程と
、ｇ）必要なデータを電気信号に変換して検出する工程と
、ｈ）前記トレース部材を離脱させた後に、前記測定モジ
ュールを取外す工程と、ｉ）前記の電気信号値を記憶した値と比較する工程と、ｊ）ディスプレイモニタに前記ワークピースの図面と、
測定寸法と許容寸法を並列に表示したテーブルを表示す
るとともに、及び前記ワークピース許容範囲を三つの色
付ランプにて表示する工程と、ｋ）制御動作を行い、及び／又は誤動作している装置の
工具を検出して、これを交換する工程と、ｌ）上記の工程を所定数のワークピースについて反覆す
る工程と、及びｍ）各測定モジュールに少なくとも三つのトレース部材
を、測定する前記ワークピースの円をセンタリングし、
前記ワークピースの軸線と前記測定モジュールの軸線の
ズレを許容範囲とするように配置する工程とより成り、
生産ラインにおけるワークピースのジオメトリを制御す
るようにしたことを特徴とする工程中における検査を行
う方法。
（２）少なくとも三つのトレース部材を放射状に設けた
棒状測定モジュールを一又は複数個有するスライダを有
し、前記トレース部材は加圧空気によってハウジングよ
り突出するとともに、データを検出するために差動変換
器に連動されており、該差動変換器は、前記トレース部
材の検出結果を電気信号に変換して処理装置に出力し、
検出結果を、ディスプレイモニタと、測定するワークピ
ースについて異なる許容範囲を示す色付ランプにて表示
するようにした検出装置にて成り、ａ）基準ワークピースを以下の工程に投入して得られる
データに基づいて装置をゼロ点位置に初期設定する工程
と、ｂ）前記基準ワークピースが少なくとも三つのトレース
部材を放射状に設けた棒状測定モジュールの前部に位置
したときに、前記測定モジュールを有するスライダを起
動する工程と、ｃ）前記トレース部材をテストする工程と、ｄ）前記測
定モジュールが制御される領域に近づいたときに、前記
測定モジュールの一端に設けるノズルより加圧流体を吐
出し、前記領域の切子等を掃除する工程と、ｅ）前記測定モジュールをワークピース内に導入する工
程と、ｆ）前記トレース部材を加圧空気にて動作させる工程と
、ｇ）必要なデータを電気信号に変換して検出する工程と
、ｈ）前記トレース部材を離脱させた後に、前記測定モジ
ュールを取外す工程と、ｉ）前記の電気信号値を記憶した値と比較する工程と、ｊ）ディスプレイモニタに前記ワークピースの図面と、
測定寸法と許容寸法を並列に表示したテーブルを表示す
るとともに、及び前記ワークピースの位置する許容範囲
を三つの色付ランプにて表示する工程と、ｋ）制御動作を行い、及び／又は誤動作している装置の
工具を検出して、これを交換する工程と、ｌ）上記の工程を所定数のワークピースについて反覆す
る工程と、ｍ）各測定モジュールに少なくとも三つのトレース部材
を、測定する前記ワークピースの円をセンタリングし、
前記ワークピースの軸線と前記測定モジュールの軸線の
ズレを許容範囲とするように配置する工程とより成り、
生産ラインにおける部品の位置を制御するようにしたこ
とを特徴とする工程中における検査を行う装置。
（３）前記処理装置はマイクロコンピュータである特許
請求の範囲第２項に記載した装置。
（４）各トレース部材にて送出され、前記差動変換器に
て変換された電気信号の処理は、予め定める電気信号値
を所定の間隔で直線的に分割してなり、その間隔により
公差を形成するテーブルを用いる補間処理にて行われる
特許請求の範囲第２項に記載した装置。
（５）前記の変換された信号は電流値の形で再生される
特許請求の範囲第２項に記載した装置。
（６）各変換チャンネルの信号は系統的に基準チャンネ
ルの信号と比較される特許請求の範囲第２項に記載した
装置。
（７）前記のトレース部材は能動タイプである特許請求
の範囲第２項に記載した装置。