CN110579940B - 一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，包括池体和电动气泵，所述池体的内底设有活动杆，活动杆的外周外壁上设有若干波纹管，波纹管一端均与活动杆的内壁空腔连通，另一端上均设有搅拌板，搅拌板的上表面均设有若干垂直喷嘴，垂直喷嘴沿搅拌板的长轴方向均匀分布，搅拌板的两侧均设有若干水平喷嘴，水平喷嘴内设有第一气阀，水平喷嘴靠近于搅拌板的末端；电动气泵的输出端设有第二输气管，第二输气管与活动杆的空腔连通，并且空腔内的气体能够通过垂直喷嘴和水平喷嘴排出。本发明在对池体内的掩膜版进行漂洗时，利用发电气泵产生的气体能够带动搅拌板旋转，保证池体内均能够产生气泡，提高对掩膜版的清洗效果。

Description

一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构

技术领域

本发明涉及掩膜版清洗技术领域，具体涉及一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构。

背景技术

随着半导体制造工艺的发展，半导体芯片的面积越来越小，因此半导体工艺的精度也变得更加重要。在半导体制造工艺中，其中一个重要的工艺就是光刻，光刻是将掩膜版上的图案转移到半导体上的光刻图案的工艺过程。掩膜曝光中所用的掩膜版通常是在石英玻璃上镀一层铬层，并通过曝光腐蚀工艺制作出所需图案，掩膜版脏污后无法进行曝光实验，否则其上的脏污印记会毫无保留的转移到光刻板上，因此，脏污掩膜版的清洗至关重要。目前，现有的漂洗池内铺设有井字结构的气管，气管的上表面开设若干气孔，通过电动气泵向气管内输送气体，气体从气孔处排出形成鼓泡，但是采用这种结构的漂洗池存在死角区域，导致在进行工件漂洗时无法有效的去处工件表面的异物。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术中的不足，目的在于提供一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，在对池体内的掩膜版进行漂洗时，利用发电气泵产生的气体能够带动搅拌板旋转，保证池体内均能够产生气泡，提高对掩膜版的清洗效果。

本发明通过下述技术方案实现：

一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，包括池体和电动气泵，所述池体的内底设有活动杆，活动杆能够绕着其轴向方向转动，活动杆的外周外壁上设有若干波纹管，波纹管内部充气后其长度能够被拉伸，波纹管一端均与活动杆的内壁空腔连通，另一端上均设有搅拌板，所述搅拌板的上表面均设有若干垂直喷嘴，垂直喷嘴沿搅拌板的长轴方向均匀分布，所述搅拌板的两侧均设有若干水平喷嘴，水平喷嘴内设有第一气阀，水平喷嘴靠近于搅拌板的末端；所述电动气泵的输出端设有第二输气管，第二输气管与活动杆的空腔连通，并且空腔内的气体能够通过垂直喷嘴和水平喷嘴排出。

本发明利用设置的电动气泵产生的气体输送至水平喷嘴和垂直喷嘴，从水平喷嘴喷出的气体能够迫使搅拌板带动活动杆在池体内做圆周运动，搅拌板在池体内旋转的过程中，从搅拌板垂直喷嘴喷出的气体产生鼓泡，对放置在池体内的掩膜版工件进行鼓泡清洗，由于搅拌板利用水平喷嘴能够使其在池体内旋转，使得搅拌片上的垂直喷嘴能够对池体的不同位置进行鼓泡清洗，提高了对工件的清洗效果，同时利用发电气泵产生的气流迫使搅拌板转动，无需额外设置电机，节约了一定的成本；同时设置的波纹管由于具有一定的伸缩特性，利用电动气泵向波纹管内输送气体，气体迫使波纹管沿着水平方向拉长，从而调节了搅拌板在水平方向上的位置，在对不同尺寸的掩膜版进行清洗时，可以根据待清洗掩膜版的尺寸，来调整搅拌板的位置，保证掩膜版上的垂直喷嘴能够有效作用于掩膜版，适用于不同尺寸的掩膜版，避免了掩膜版的边缘区域清洗不足，或者靠近端面的垂直喷嘴未能作用于掩膜版，造成一定资源的浪费；由于搅拌板的两个侧面均设有垂直喷嘴，同时垂直喷嘴内设有第一气阀，因此，可以控制垂直喷嘴内第一气阀开启的位置，来控制搅拌板做顺时针旋转或者逆时针旋转，设置的搅拌板在旋转的过程中，对清洗液产生的搅拌力也能够对掩膜版进行清洗，同时，搅拌板在顺时针转动和逆时针转动反复切换的过程中，能够提高对掩膜版的清洗力度。

进一步地，所述池体的内底中央位置处还设有与活动杆匹配的轴承，所述活动杆的底端插入在轴承内。

设置的轴承一部分镶嵌在池体的内底内，将轴承与池体固定在一起，由于活动杆与轴承连接，既使得活动杆能够稳定限制在池体内底，又保证活动杆能够在轴承内转动，从而保证与活动杆连接着的搅拌板能够顺利在池体内做圆周运动。

进一步地，所述波纹管内设有腔体，所述活动杆的空腔内还设有与波纹管数量相同的第一输气管，第一输气管一端与电动气泵的输出端连接，另一端与腔体连通。

当电动气泵工作时，产生的高压气体通过第一输气管进入至波纹管的腔体内，由于波纹管具有伸缩的特性，在进入至腔体内的高压气体作用下，迫使波纹管能够沿着水平方向发生拉伸，改变其长度，从而使得搅拌板能够靠近池体内壁方向移动，提高搅拌板上垂直喷嘴的作用面积，满足对不同尺寸的掩膜版进行清洗；同时，当腔体内的高压气体排出时，波纹管发生收缩，又能够迫使搅拌板朝着池体的中央位置移动。

进一步地，所述波纹管内还设有环形腔体，集气腔与环形腔体连通，环形腔体与活动杆的空腔连通，所述波纹管的顶部还设有若干第一气孔，第一气孔沿着波纹管的轴向方向分布，并且第一气孔与环形腔体连通。

电动气泵产生的气流通过第二输气管进入至空腔内，空腔内的气体再进入至环形腔体内，最终使得环形气体内的气体从第一气孔处吹出，形成鼓泡，能够对池体内的掩膜版进行清洗，设置的第一气孔能够对搅拌板与活动杆之间的区域进行鼓泡，对处于该区域上的掩膜版进行鼓泡清洗，有效避免了死角区的产生。

进一步地，所述搅拌板内设有集气腔，垂直喷嘴与集气腔连通，所述集气腔内设有第三输气管，第三输气管一端与水平喷嘴连通，另一端依次穿过环形腔体、空腔与电动气泵的输出端连接。

设置的第三输气管用于对水平喷嘴单独进行通气，使得水平喷嘴与垂直喷嘴能够相互独立，使得通过调节第二输气管和第三输气管内气体的压力实现对搅拌板转速以及垂直喷嘴鼓泡大小的调节。

进一步地，所述波纹管的两侧还均设有具有弹性的支撑件，支撑件一端与活动杆圆周侧壁连接，另一端与搅拌板的端面连接。

设置的支撑件为弹簧，支撑件的作用既可以对搅拌板产生水平方向的拉力，保证搅拌板能够沿着波纹管的轴向方向移动，避免波纹管处产生弯曲，导致搅拌板发生倾斜，同时当波纹管内腔体中的气体排泄出后，支撑件产生的弹力能够迫使搅拌板快速朝着活动杆方向移动，恢复至初始位置。

进一步地，所述活动杆的顶部还设有若干第二气孔，第二气孔均匀地分布在活动杆的顶部，并且第二气孔与空腔连通。

活动杆空腔内的一部分气体能够通过第二气孔排出，产生鼓泡，使得第二气孔处产生的鼓泡能够对位于活动杆上方的工件进行清洁，进一步避免了死角区的产生。

进一步地，所述第一输气管内设有第二气阀。

利用第一输气管向波纹管的腔体内通入气体，当波纹管拉伸的长度与待清洗掩膜版的尺寸相匹配时，利用第二气阀停止向腔体内继续输送气体，保证波纹管能够处于稳定的长度，当需要排除腔体内的气体时，再次打开第二气阀，使得腔体内的气体通过第一输气管排出。

本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

1、本发明一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，搅拌板上设置的水平喷嘴在电动气阀的作用下，能够迫使搅拌板在池体内做圆周运动，进而使得设置在搅拌片上垂直喷嘴能够对池体的不同位置产生鼓泡，从而有效提高了对池体内掩膜版的倾斜效果；

2、本发明一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，设置的波纹管在电动阀门的作用下，能够沿着池体内壁方向发生拉伸，从而改变掩膜版在池体内的位置，满足对不同尺寸的掩膜版进行清洗，保证垂直喷嘴均能位于掩膜版的下方，避免了一部分资源的浪费。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明活动杆与搅拌板的连接结构示意图；

图3为本发明活动杆与搅拌板的俯视图；

图4为本发明波纹管的截面示意图

附图中标记及对应的零部件名称：

1-池体，2-搅拌板，3-活动杆，4-波纹管，5-轴承，6-第一输气管，7-第二输气管，8-电动气泵，9-集气腔，10-垂直喷嘴，11-空腔，12-水平喷嘴，13-第一气孔，14-环形腔体，15-腔体，16-支撑件，17-第二气孔，18-第三输气管。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。

实施例1

如图1至与4所示，本发明一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，包括池体1和电动气泵8，所述池体1的内底设有活动杆3，活动杆3能够绕着其轴向方向转动，活动杆3的外周外壁上设有若干波纹管4，波纹管4内部充气后其长度能够被拉伸，波纹管4一端均与活动杆3的内壁空腔11连通，另一端上均设有搅拌板2，所述搅拌板2的上表面均设有若干垂直喷嘴10，垂直喷嘴10沿搅拌板2的长轴方向均匀分布，所述搅拌板2的两侧均设有若干水平喷嘴12，水平喷嘴12内设有第一气阀，水平喷嘴12靠近于搅拌板2的末端；所述电动气泵8的输出端设有第二输气管7，第二输气管7与活动杆3的空腔11连通，并且空腔11内的气体能够通过垂直喷嘴10和水平喷嘴12排出。所述池体1的内底中央位置处还设有与活动杆3匹配的轴承5，所述活动杆3的底端插入在轴承5内。

实施例2

在实施例1的基础上，所述波纹管4内设有腔体15，所述活动杆3的空腔11内还设有与波纹管4数量相同的第一输气管6，第一输气管6一端与电动气泵8的输出端连接，另一端与腔体15连通。所述波纹管4内还设有环形腔体14，环形腔体14与活动杆3的空腔11连通，所述波纹管4的顶部还设有若干第一气孔13，第一气孔沿着波纹管4的轴向方向分布，并且第一气孔13与环形腔体14连通。

实施例3

在实施例2的基础上，所述搅拌板2内设有集气腔9，集气腔9与环形腔体14连通，垂直喷嘴10与集气腔9连通，所述集气腔9内设有第三输气管18，第三输气管18一端与水平喷嘴12连通，另一端依次穿过环形腔体14、空腔11与电动气泵8的输出端连接。

实施例4

在实施例1的基础上，所述波纹管4的两侧还均设有具有弹性的支撑件16，支撑件16一端与活动杆3圆周侧壁连接，另一端与搅拌板2的端面连接。

实施例5

在实施例1的基础上，所述活动杆3的顶部还设有若干第二气孔17，第二气孔17均匀地分布在活动杆3的顶部，并且第二气孔17与空腔11连通。所述第一输气管6内设有第二气阀。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，包括池体(1)和电动气泵(8)，其特征在于，所述池体(1)的内底设有活动杆(3)，活动杆(3)能够绕着其轴向方向转动，活动杆(3)的外周外壁上设有若干波纹管(4)，波纹管(4)内部充气后其长度能够被拉伸，波纹管(4)一端均与活动杆(3)的内壁空腔(11)连通，另一端上均设有搅拌板(2)，所述搅拌板(2)的上表面均设有若干垂直喷嘴(10)，垂直喷嘴(10)沿搅拌板(2)的长轴方向均匀分布，所述搅拌板(2)的两侧均设有若干水平喷嘴(12)，水平喷嘴(12)内设有第一气阀，水平喷嘴(12)靠近于搅拌板(2)的末端；

所述电动气泵(8)的输出端设有第二输气管(7)，第二输气管(7)与活动杆(3)的空腔(11)连通，并且空腔(11)内的气体能够通过垂直喷嘴(10)和水平喷嘴(12)排出。

2.根据权利要求1所述的一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，其特征在于，所述池体(1)的内底中央位置处还设有与活动杆(3)匹配的轴承(5)，所述活动杆(3)的底端插入在轴承(5)内。

3.根据权利要求1所述的一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，其特征在于，所述波纹管(4)内设有腔体(15)，所述活动杆(3)的空腔(11)内还设有与波纹管(4)数量相同的第一输气管(6)，第一输气管(6)一端与电动气泵(8)的输出端连接，另一端与腔体(15)连通。

4.根据权利要求1所述的一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，其特征在于，所述波纹管(4)内还设有环形腔体(14)，环形腔体(14)与活动杆(3)的空腔(11)连通，所述波纹管(4)的顶部还设有若干第一气孔，第一气孔沿着波纹管(4)的轴向方向分布，并且第一气孔与环形腔体(14)连通。

5.根据权利要求4所述的一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，其特征在于，所述搅拌板(2)内设有集气腔(9)，集气腔(9)与环形腔体(14)连通，垂直喷嘴(10)与集气腔(9)连通，所述集气腔(9)内设有第三输气管(18)，第三输气管(18)一端与水平喷嘴(12)连通，另一端依次穿过环形腔体(14)、空腔(11)与电动气泵(8)的输出端连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，其特征在于，所述波纹管(4)的两侧还均设有具有弹性的支撑件(16)，支撑件(16)一端与活动杆(3)圆周侧壁连接，另一端与搅拌板(2)的端面连接。

7.根据权利要求1所述的一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，其特征在于，所述活动杆(3)的顶部还设有若干第二气孔(17)，第二气孔(17)均匀地分布在活动杆(3)的顶部，并且第二气孔(17)与空腔(11)连通。

8.根据权利要求3所述的一种具有旋转功能的鼓泡漂洗机构，其特征在于，所述第一输气管(6)内设有第二气阀。

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