CN110422416A - 一种集成电路及其撕膜方法和撕膜排板设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及集成电路制造技术领域。一种集成电路撕膜排版设备，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置、载板输送线装置、撕膜装置、搬运机械手和视觉检测装置、托盘上料装置和托盘输送线装置；所述的载板上料装置、载板输送线装置和撕膜装置设置有对称的两组，撕膜装置位于载板上料装置的下方，载板输送线装置与载板上料装置相衔接；托盘上料装置位于两个载板上料装置之间，托盘输送线装置位于两条载板输送线装置之间，托盘输送线装置与托盘上料装置相衔接；搬运机械手和视觉检测装置安装在机架上，位于载板输送线装置和托盘输送线装置的上方。本发明撕胶动作高效精准，自动化上下料，加工效率高，集成电路收集摆放。

Description

一种集成电路及其撕膜方法和撕膜排板设备

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种集成电路撕膜排版设备和工作方法。

背景技术

随着社会的发展,半导体器件及其包装的越发变薄和小型化,在一些情况下集成电路的背面需要用保护膜保护,防止损害集成电路芯片,但是贴覆保护膜之后,在集成电路需要进行包装的时候要将保护膜剥离。在现有的集成电路生产过程中，由于底膜通过粘合剂与芯片进行特合，而现有的撕膜设备不能有效的降低底膜粘性，导致撕膜效率低，易对集成电路背侧金属造成损害。

国家知识产权局于2018.03.02公开了公开号为CN207068801U，专利名称为一种芯片剥膜机的专利，它包括活动架和紫外光发生器,所述活动架的底部滑动连接于滑套,所述活动架上转动连接有丝杆,所述丝杆的一端连接于电机,所述丝杆上安装有滑块,所述滑块通过固定杆固定连接于夹板,所述活动架的一端通过第一弹簧连接于机架的一端,所述活动架的另一端上方固定连接有刮板,所述活动架的底部固定连接有顶板,所述活动架上还安装有放料辊,所述导柱上安装有紫外光发生器,所述机架内安装有主动辊。该专利通过手动操作，效率低下，大批量生产时无法保证高效合格。国家知识产权局于2017.12.12公开了公开号为CN206742204U，专利名称为一种芯片切割剥膜工装的专利，它包括底座，所述底座上端固定连接有支撑板，所述支撑板中间位置贯穿连接有辊轴，所述辊轴侧连接有薄膜夹片，所述混轴另一端连接有驱动装置，所述支撑板上端连接有传送带，所述驱动装置通过皮带传动连接于传送带，所述传送带前端设有滑道，所述滑道前端连接有与传送带外形相匹配的仿形块，所述仿形块固定连接于支撑板，所述传送带上端一侧设有导热板，所述导热板端连接有加热装置，所述加热装置固定连接于支撑板，所述滑道下端设有收集盘。该专利单次只能分离一个芯片，效率低下，取出的芯片未进行收集。

综上所述，现有集成电路撕膜操作存在上下料自动化程度低，无法连续加工，撕胶过程繁琐，集成电路无法完成收集的问题。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术存在的不足，提供一种撕胶动作高效精准，自动化上下料，加工效率高，集成电路收集摆放整齐的集成电路撕膜排版设备。

为本发明之目的，采用以下技术方案予以实现：

一种集成电路撕膜排版设备，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置、载板输送线装置、撕膜装置、搬运机械手和视觉检测装置、托盘上料装置和托盘输送线装置；所述的载板上料装置、载板输送线装置和撕膜装置设置有对称的两组，撕膜装置位于载板上料装置的下方，载板输送线装置与载板上料装置相衔接；托盘上料装置位于两个载板上料装置之间，托盘输送线装置位于两条载板输送线装置之间，托盘输送线装置与托盘上料装置相衔接；搬运机械手和视觉检测装置安装在机架上，位于载板输送线装置和托盘输送线装置的上方；

所述的载板上料装置用于将叠放的集成电路载板逐个进行上料至载板输送线装置，撕膜装置用于对集成电路载板的下端面胶膜进行剥离，搬运机械手和视觉检测装置用于从剥离胶膜的集成电路载板的集成电路进行搬运，并在搬运的过程中进行视觉检测；托盘输送线装置用于托盘的上料，该托盘用于放置集成电路，托盘输送线装置用于收集装满集成电路的托盘。

作为优选，所述的载板上料装置包括料仓组件和引料组件；引料组件位于料仓组件的侧方，与料仓组件相衔接；所述的料仓组件包括连接支座、第一滑台部件、安装台板、限位挡块、置料框和载板；第一滑台部件通过连接支座竖直安装在机架上，安装台板安装在第一滑台部件的移动部，限位挡块包括四周的四块，其中相邻两块固定设置在安装台板上，另外两块上设置有槽，通过螺栓调节设置在安装台板上；所述的第一滑台部件包括底座、电机、丝杆组件和移动架，移动架移动配合在底座上，移动架通过丝杆组件与底座相连接，丝杆组件由电机驱动；置料框放置在安装台板上，所述的置料框两侧边板的内侧上设置有水平的通槽，通槽设置有多行，通槽的高度与载板厚度相匹配，通槽端部设置有外扩的楔角；所述的载板设置在置料框中的通槽中；所述的载板包括多个集成电路和连接外框，集成电路和连接外框通过底端贴有的胶膜相连接，将胶膜撕开即可实现集成电路的分离。

作为优选，所述的引料组件包括立座、第二滑台组件、横移支架、夹板机构、压板机构和吸板机构；第二滑台组件通过立座水平安装在机架上，横移支架安装在第二滑台组件的移动部；夹板机构、压板机构和吸板机构依次并列布置，均连接在横移支架的侧边。

作为优选，所述的夹板机构包括第一气缸、升降板、手指气缸、折形条和夹块；第一气缸固定设置横移支架上，升降板通过滑轨移动配合在横移支架侧边，第一气缸的伸缩端与升降板相连接；手指气缸水平安装在升降板上，折形条安装在手指气缸的两移动端，夹块安装在折形条的下端，两个夹块相上下对应；所述的压板机构包括第二气缸、连接板、直角条、下压块、光纤传感器和光纤放大器；第二气缸固定设置在横移支架上，第二气缸的伸缩端与连接板相连接；连接板与直角条相固定，连接板通过滑轨移动连接在横移支架上，直角条的水平部下端设置有三个下压块，下压块之间的间隙中设置有光纤传感器，所述的光纤传感器连到光纤放大器，光纤放大器设置在直角条上端；所述的吸板机构包括第三气缸、滑板、卡槽块和吸气块；第三气缸固定设置在横移支架上，滑板移动配合在横移支架上，第三气缸的伸缩端与滑板相连接；卡槽块固定设置在滑板的下端，所述的卡槽块包括对称的两块，形成一个T形的槽、卡槽块侧方设置有螺纹孔；吸气块上端为T形块，下端为吸气盘，上端的T形块配合在卡槽块之间的槽中，通过侧方的紧定螺钉相连接。

作为优选，所述的载板输送线装置包括输送架、直流电机、输送带、加热板、主动摩擦轮、步进电机、压紧轮组件、接料板组件、空板收集组件和预压轮组件；所述的输送架包括并列的两条，一条固定设置在机架上，另一条通过滑轨移动连接在机架上；直流电机设置有两个，分别安装在输送架，带动输送带运动；输送架的进料端设置有主动摩擦轮，所述的主动摩擦轮由步进电机驱动，主动摩擦轮的上方设置有预压轮组件，所述的预压轮组件通过弹簧弹力将滚轮向主动摩擦轮压紧；加热板设置在两个输送架的端部，所述的加热板通过电热丝加热，传导至上端面上设置的载板上；加热板的上方设置有压紧轮组件，所述的压紧轮组件包括压紧气缸、滚轮安装板和多个滚轮；滚轮通过滚轮安装板连接在压紧气缸的伸缩端，滚轮对应载板的边缘框条；加热板的后端设置有限位组件，限位组件设置有两侧的两组，所述的限位组件包括传力柱、阻挡块和安装槽座；阻挡块的形状为直角折形，转折部设置有连接孔，水平部设置有向上的凸缘，水平部的中间安装有螺钉，竖直部为梯形面状；安装槽座中设置有相应的通槽，阻挡块折角部的连接孔与安装槽座的边角相转动连接，凸缘高度高于安装槽座的上端面；所述的包括传力柱安装在压紧轮组件的滚轮安装板下端面，与传力柱上的螺钉相对应；加热板与输送带的衔接位置设置有接料板组件，所述的接料板组件包括接料底板、接料气缸和接料板；接料板通过滑轨移动连接在接料底板上，接料气缸的伸缩端与接料板相连接，所述的接料板倾斜设置，接料板的接料平面为水平面；输送架之间的末端位置设置有空板收集组件；所述的空板收集组件包括抬升气缸、抬升板、边条和楔形卡块；边条设置有相对的四根，安装在输送架上，边条上转动连接有楔形卡块，楔形卡块的下端为倾斜面，可受迫上抬，当下摆受到限制。

作为优选，所述的撕膜装置包括连接座、倾斜滑台组件、移动安装板、固定夹手、活动夹手、驱动气缸、气缸安装座和废料收集组件；倾斜滑台组件通过连接座倾斜安装在机架上，移动安装板固定设置在倾斜滑台组件的伸缩端，所述的固定夹手安装在移动安装板的上端，所述的固定夹手的齿面竖直；活动夹手上部为齿面，中部和下部均设置有转孔，中部的转孔与固定夹手相铰接，下部的转孔与驱动气缸的伸缩端相连接，驱动气缸的固定端安装在气缸安装座上，所述的气缸安装座侧端设置有销轴，该销轴与移动安装板相铰接；所述的废料收集组件包括上底板、上连接架、下粘座、侧移气缸和顶升气缸；侧移气缸固定安装在机架上，顶升气缸安装在侧移气缸的伸缩端，下粘座固定设置在顶升气缸的伸缩端，上底板通过上连接架安装在机架上；所述的上底板和下粘座相平行，均倾斜设置；所述的固定夹手和活动夹手相对设置，端部设置有锯齿形的槽纹；所述的上底板和下粘座倾斜角度和倾斜滑台组件的倾角相同。

作为优选，所述的搬运机械手和视觉检测装置包括下视觉检测组件、上视觉检测组件和搬运机械手；下视觉检测组件固定设置在机架上，上视觉检测组件移动连接在搬运机械手上，与下方的下视觉检测组件相对应；搬运机械手可实现三个正交轴的移动，包括两个独立控制的执行末端，执行末端为四个吸气盘。

作为优选，所述的托盘上料装置包括升降滑台组件、托盘载料框、托盘、上吸气缸和上吸气盘组；升降滑台组件竖直安装在机架上，托盘载料框安装在升降滑台组件的移动部；所述的托盘载料框包括三个侧面的护板和底面置料板，底面置料板上叠放托盘，并对托盘进行定位；上吸气缸竖直安装在托盘载料框的侧方，上吸气盘组通过滑轨移动连接在托盘载料框的侧方上吸气缸的伸缩端与上吸气盘组相连接；上吸气盘组包括上设置有四个面向下端的吸气盘。

作为优选，所述的托盘输送线装置包括收集组件、上顶组件和定位组件；定位组件包括移动滑台、升降架、定位吸盘和定位气缸；升降架移动配合在移动滑台的移动部，通过气缸控制升降，升降架上设置有托盘放置板，托盘放置板的端部设置有挡条，托盘设置在托盘放置板上，定位吸盘安装在定位气缸的伸缩端，定位气缸安装在托盘放置板的背侧。

一种集成电路的撕膜方法，依次通过以下步骤进行工作：

（一）载板上料：第一滑台部件带动安装台板每次上升或下降一定距离，逐个移出置料框中的载板；移出载板时，第一气缸调节手指气缸的位置，由夹块夹住载板，被第二滑台组件牵引拉出；拉出后为了使得载板顺利进入，需要对端部进行下压，由第二气缸带动下压块得以实现，并由光纤传感器检测进料情况；在剥离胶膜的时候防止载板弯曲，需要上端进行吸附牵引，由第三气缸带动吸气块下降，由吸气块吸住载板完成；

（二）撕胶：倾斜滑台组件将固定夹手推出，胶膜的边缘位于固定夹手和活动夹手之间，而后驱动气缸伸长，使得活动夹手摆动将胶膜夹住，而后倾斜滑台组件将胶膜斜向下撕出；而后侧移气缸调整下粘座的左右位置，将下粘座向上推出，向上底板靠拢，使胶膜粘在下粘座上，完成收集；

（三）集成电路装盘：搬运机械手和视觉检测装置将分离后的集成电路进行吸附搬运，搬运过程中进行检测，而后放置到托盘输送线装置中，实现排板；

（四）下料：载板分离后的连接边框由输送带运送到空板收集组件处，抬升气缸带动抬升板顶升连接外框，落在边条之间，由楔形卡块卡住不下滑；单个托盘装满后进行下料，每个托盘之间进行码垛收集。

与现有技术相比较，本发明的有益效果是：1.载板上料装置通过设置夹块夹住载板拉出的上料方式，相比机械手搬运的方式更加简单高效；设置压板机构能使载板顺利进入压紧轮；2.载板输送线装置采用了新颖的三段输送线形式，第一段通过摩擦轮驱动，使得上料更可靠，无打滑现象；第二段通过牵引式的驱动方式，由胶膜拖动载板的连接边框运动，同时将连接边框压紧，该方式结构简单，同步性高，不会发生连接边框和胶膜速度不一致的问题；分离后的连接边框由输送带输送，简单高效，并在上方设置空板收集组件提高工作容量。载板输送线装置可以调节宽度，以适应不同的载板进行加工；3.撕膜装置采用倾斜的撕胶膜方式，使胶膜剥离更加顺畅，对集成电路的背侧金属影响小；设置废料收集组件，避免柔性的胶纸杂乱无序，污染操作空间，通过层叠粘贴进行收集完成排版操作，动作简单，收集效果好。

附图说明

图1是本发明实施例的爆炸结构示意图。

图2是载板上料装置的爆炸结构示意图。

图3是夹板机构、压板机构和吸板机构的爆炸结构示意图。

图4是载板输送线装置的爆炸结构示意图。

图5是撕膜装置的爆炸结构示意图。

图6是搬运机械手和视觉检测装置的爆炸结构示意图。

图7是托盘上料装置的爆炸结构示意图。

图8是托盘输送线装置的爆炸结构示意图。

图中：载板上料装置1、载板输送线装置2、撕膜装置3、搬运机械手和视觉检测装置4、托盘上料装置5、托盘输送线装置6、料仓组件11、引料组件12、连接支座111、第一滑台部件112、安装台板113、限位挡块114、置料框115、载板116、立座122、第二滑台组件122、横移支架123、夹板机构124、压板机构125、吸板机构126、第一气缸1241、升降板1242、手指气缸1243、折形条1244、夹块1245、第二气缸1251、连接板1252、直角条1253、下压块1254、光纤传感器1255、光纤放大器1256、第三气缸1261、滑板1262、卡槽块1263、吸气块1264、输送架21、直流电机22、输送带23、加热板24、主动摩擦轮25、步进电机26、压紧轮组件27、接料板组件28、空板收集组件29、预压轮组件210、传力柱211、阻挡块212、安装槽座213、抬升气缸291、抬升板292、边条293、楔形卡块294、连接座31、倾斜滑台组件32、移动安装板33、固定夹手34、活动夹手35、驱动气缸36、气缸安装座37、废料收集组件38、上底板381、上连接架382、下粘座383、侧移气缸384、顶升气缸385、下视觉检测组件41、上视觉检测组件42、搬运机械手43、升降滑台组件51、托盘载料框52、托盘53、上吸气缸54、上吸气盘组55、收集组件61、上顶组件62、定位组件63、移动滑台631、升降架632、定位吸盘633、定位气缸634。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

如图1所示，一种集成电路撕膜排版设备包括机架以及安装在机架上的载板上料装置1、载板输送线装置2、撕膜装置3、搬运机械手和视觉检测装置4、托盘上料装置5和托盘输送线装置6；所述的载板上料装置1、载板输送线装置2和撕膜装置3设置有对称的两组，撕膜装置3位于载板上料装置1的下方，载板输送线装置2与载板上料装置1相衔接；托盘上料装置5位于两个载板上料装置1之间，托盘输送线装置6位于两条载板输送线装置2之间，托盘输送线装置6与托盘上料装置5相衔接；搬运机械手和视觉检测装置4安装在机架上，位于载板输送线装置2和托盘输送线装置6的上方。

所述的载板上料装置1用于将叠放的集成电路载板逐个进行上料至载板输送线装置2，撕膜装置3用于对集成电路载板的下端面胶膜进行剥离，搬运机械手和视觉检测装置4用于从剥离胶膜的集成电路载板的集成电路进行搬运，并在搬运的过程中进行视觉检测；托盘输送线装置6用于托盘的上料，该托盘用于放置集成电路，托盘输送线装置6用于收集装满集成电路的托盘。

如图2所示，所述的载板上料装置1包括料仓组件11和引料组件12；引料组件12位于料仓组件11的侧方，与料仓组件11相衔接；所述的料仓组件11包括连接支座111、第一滑台部件112、安装台板113、限位挡块114、置料框115和载板116；第一滑台部件112通过连接支座111竖直安装在机架上，安装台板113安装在第一滑台部件112的移动部，限位挡块114包括四周的四块，其中相邻两块固定设置在安装台板113上，另外两块上设置有槽，通过螺栓调节设置在安装台板113上，可以适应不同大小的置料框115；所述的第一滑台部件112包括底座、电机、丝杆组件和移动架，移动架移动配合在底座上，移动架通过丝杆组件与底座相连接，丝杆组件由电机驱动；置料框115放置在安装台板113上，所述的置料框115两侧边板的内侧上设置有水平的通槽，通槽设置有多行，通槽的高度与载板116厚度相匹配，通槽端部设置有外扩的楔角；所述的载板116设置在置料框115中的通槽中；所述的载板116包括多个集成电路和连接外框，集成电路和连接外框通过底端贴有的胶膜相连接，将胶膜撕开即可实现集成电路的分离。

如图2所示，所述的引料组件12包括立座122、第二滑台组件122、横移支架123、夹板机构124、压板机构125和吸板机构126；第二滑台组件122通过立座122水平安装在机架上，横移支架123安装在第二滑台组件122的移动部；夹板机构124、压板机构125和吸板机构126依次并列布置，均连接在横移支架123的侧边；如图3所示，所述的夹板机构124包括第一气缸1241、升降板1242、手指气缸1243、折形条1244和夹块1245；第一气缸1241固定设置横移支架123上，升降板1242通过滑轨移动配合在横移支架123侧边，第一气缸1241的伸缩端与升降板1242相连接；手指气缸1243水平安装在升降板1242上，折形条1244安装在手指气缸1243的两移动端，夹块1245安装在折形条1244的下端，两个夹块1245相上下对应；所述的压板机构125包括第二气缸1251、连接板1252、直角条1253、下压块1254、光纤传感器1255和光纤放大器1256；第二气缸1251固定设置在横移支架123上，第二气缸1251的伸缩端与连接板1252相连接；连接板1252与直角条1253相固定，连接板1252通过滑轨移动连接在横移支架123上，直角条1253的水平部下端设置有三个下压块1254，下压块1254之间的间隙中设置有光纤传感器1255，所述的光纤传感器1255连到光纤放大器1256，光纤放大器1256设置在直角条1253上端。所述的吸板机构126包括第三气缸1261、滑板1262、卡槽块1263和吸气块1264；第三气缸1261固定设置在横移支架123上，滑板1262移动配合在横移支架123上，第三气缸1261的伸缩端与滑板1262相连接；卡槽块1263固定设置在滑板1262的下端，所述的卡槽块1263包括对称的两块，形成一个T形的槽、卡槽块1263侧方设置有螺纹孔；吸气块1264上端为T形块，下端为吸气盘，上端的T形块配合在卡槽块1263之间的槽中，通过侧方的紧定螺钉相连接。

所述的载板上料装置1在工作时，第一滑台部件112带动安装台板113每次上升或下降一定距离，逐个移出置料框115中的载板116；移出载板116时，第一气缸1241调节手指气缸1243的位置，由夹块1245夹住载板116，被第二滑台组件122牵引拉出；拉出后为了使得载板116顺利进入，需要对端部进行下压，由第二气缸1251带动下压块1254得以实现，并由光纤传感器1255检测进料情况；在剥离胶膜的时候防止载板弯曲，需要上端进行吸附牵引，由第三气缸1261带动吸气块1264下降，由吸气块1264吸住载板116完成。

载板上料装置1解决了载板不平整引起的上料出错问题，通过设置夹块1245夹住载板116拉出的上料方式，相比机械手搬运的方式更加简单高效；设置压板机构125能使载板116顺利进入压紧轮。

如图4所示，所述的载板输送线装置2包括输送架21、直流电机22、输送带23、加热板24、主动摩擦轮25、步进电机26、压紧轮组件27、接料板组件28、空板收集组件29和预压轮组件210；所述的输送架21包括并列的两条，一条固定设置在机架上，另一条通过滑轨移动连接在机架上，可以调节两者的间距，以适应不同宽度的载板；直流电机22设置有两个，分别安装在输送架21，带动输送带23运动；输送架21的进料端设置有主动摩擦轮25，所述的主动摩擦轮25由步进电机26驱动，主动摩擦轮25的上方设置有预压轮组件210，所述的预压轮组件210通过弹簧弹力将滚轮向主动摩擦轮25压紧；加热板24设置在两个输送架21的端部，所述的加热板24通过电热丝加热，传导至上端面上设置的载板上，使胶膜的胶水软化。加热板24的上方设置有压紧轮组件27，所述的压紧轮组件27包括压紧气缸、滚轮安装板和多个滚轮；滚轮通过滚轮安装板连接在压紧气缸的伸缩端，滚轮对应载板116的边缘框条；加热板24的后端设置有限位组件20，限位组件20设置有两侧的两组，所述的限位组件20包括传力柱211、阻挡块212和安装槽座213；阻挡块212的形状为直角折形，转折部设置有连接孔，水平部设置有向上的凸缘，水平部的中间安装有螺钉，竖直部为梯形面状，提高重量，使自然状态保持竖直；安装槽座213中设置有相应的通槽，阻挡块212折角部的连接孔与安装槽座213的边角相转动连接，凸缘高度高于安装槽座213的上端面；所述的包括传力柱211安装在压紧轮组件27的滚轮安装板下端面，与传力柱211上的螺钉相对应；加热板24与输送带23的衔接位置设置有接料板组件28，所述的接料板组件28包括接料底板281、接料气缸282和接料板283；接料板283通过滑轨移动连接在接料底板281上，接料气缸282的伸缩端与接料板283相连接，所述的接料板283倾斜设置，接料板283的接料平面为水平面；输送架21之间的末端位置设置有空板收集组件29；所述的空板收集组件29包括抬升气缸291、抬升板292、边条293和楔形卡块294；边条293设置有相对的四根，安装在输送架21上，边条293上转动连接有楔形卡块294，楔形卡块294的下端为倾斜面，可受迫上抬，当下摆受到限制。

所述的载板输送线装置2在工作时，载板116从主动摩擦轮25和预压轮组件210之间依靠摩擦力进入，在加热板24处底部的胶膜受热软化；当载板116顶到阻挡块212后，压紧轮组件27工作，压紧气缸带动滚轮安装板下降，一方面压紧载板116的连接外框，另一方面通过传力柱211下压阻挡块212，定位好后解除阻挡作用；载板116开始撕膜后接料板组件28工作，将分离的电子集成电路接住，而后等待搬运；分离后的连接外框由输送带23运送到空板收集组件29处，抬升气缸291带动抬升板292顶升连接外框，落在边条293之间，由楔形卡块294卡住不下滑。

载板输送线装置2解决了载板116定位不精准，载板116驱动方式效率低的问题，采用了新颖的三段输送线形式，第一段通过摩擦轮驱动，使得上料更可靠，无打滑现象；第二段通过牵引式的驱动方式，由胶膜拖动载板116的连接边框运动，同时将连接边框压紧，该方式结构简单，同步性高，不会发生连接边框和胶膜速度不一致的问题；分离后的连接边框由输送带23输送，简单高效，并在上方设置空板收集组件29提高工作容量。载板输送线装置2可以调节宽度，以适应不同的载板进行加工。

如图5所示，所述的撕膜装置3包括连接座31、倾斜滑台组件32、移动安装板33、固定夹手34、活动夹手35、驱动气缸36、气缸安装座37和废料收集组件38；倾斜滑台组件32通过连接座31倾斜安装在机架上，移动安装板33固定设置在倾斜滑台组件32的伸缩端，所述的固定夹手34安装在移动安装板33的上端，所述的固定夹手34的齿面竖直；活动夹手35上部为齿面，中部和下部均设置有转孔，中部的转孔与固定夹手34相铰接，下部的转孔与驱动气缸36的伸缩端相连接，驱动气缸36的固定端安装在气缸安装座37上，所述的气缸安装座37侧端设置有销轴，该销轴与移动安装板33相铰接；所述的废料收集组件38包括上底板381、上连接架382、下粘座383、侧移气缸384和顶升气缸385；侧移气缸384固定安装在机架上，顶升气缸385安装在侧移气缸384的伸缩端，下粘座383固定设置在顶升气缸385的伸缩端，上底板381通过上连接架382安装在机架上；所述的上底板381和下粘座383相平行，均倾斜设置；所述的固定夹手34和活动夹手35相对设置，端部设置有锯齿形的槽纹；所述的上底板381和下粘座383倾斜角度和倾斜滑台组件32的倾角相同。

所述的撕膜装置3在工作时，倾斜滑台组件32将固定夹手34推出，胶膜的边缘位于固定夹手34和活动夹手35之间，而后驱动气缸36伸长，使得活动夹手35摆动将胶膜夹住，而后倾斜滑台组件32将胶膜斜向下撕出；而后侧移气缸384调整下粘座383的左右位置，将下粘座383向上推出，向上底板381靠拢，使胶膜粘在下粘座383上，完成收集。

撕膜装置3解决了撕胶膜工序复杂，废料收集困难的问题，采用倾斜的撕胶膜方式，使胶膜剥离更加顺畅，对集成电路的背侧金属影响小；设置废料收集组件38，避免柔性的胶纸杂乱无序，污染操作空间，通过层叠粘贴进行收集，动作简单，收集效果好。

如图6所示，所述的搬运机械手和视觉检测装置4包括下视觉检测组件41、上视觉检测组件42和搬运机械手43；下视觉检测组件41固定设置在机架上，上视觉检测组件42移动连接在搬运机械手43上，与下方的下视觉检测组件41相对应；搬运机械手43可实现三个正交轴的移动，包括两个独立控制的执行末端，执行末端为四个吸气盘。

如图7所示，所述的托盘上料装置5包括升降滑台组件51、托盘载料框52、托盘53、上吸气缸54和上吸气盘组55；升降滑台组件51竖直安装在机架上，托盘载料框52安装在升降滑台组件51的移动部；所述的托盘载料框52包括三个侧面的护板和底面置料板，底面置料板上叠放托盘53，并对托盘进行定位；上吸气缸54竖直安装在托盘载料框52的侧方，上吸气盘组55通过滑轨移动连接在托盘载料框52的侧方上吸气缸54的伸缩端与上吸气盘组55相连接；上吸气盘组55包括上设置有四个面向下端的吸气盘。

如图8所示，所述的托盘输送线装置6包括收集组件61、上顶组件62和定位组件63；定位组件63包括移动滑台631、升降架632、定位吸盘633和定位气缸634；升降架632移动配合在移动滑台631的移动部，通过气缸控制升降，升降架632上设置有托盘放置板，托盘放置板的端部设置有挡条，托盘设置在托盘放置板上，定位吸盘633安装在定位气缸634的伸缩端，定位气缸634安装在托盘放置板的背侧。

所述的托盘输送线装置6在工作时，定位组件63将来自托盘上料装置5的单个托盘53进行定位，而后由搬运机械手和视觉检测装置4将集成电路放置在托盘53中的方槽中，待集成电路装满后，移动滑台631将托盘53运到收集组件61上方，而后升降架632下降，将托盘放置在收集组件61上，向右输送，由上顶组件62进行抬升，完成码垛收集。

一种集成电路的撕膜方法，依次通过以下步骤进行工作：

（一）载板上料：第一滑台部件112带动安装台板113每次上升或下降一定距离，逐个移出置料框115中的载板116；移出载板116时，第一气缸1241调节手指气缸1243的位置，由夹块1245夹住载板116，被第二滑台组件122牵引拉出；拉出后为了使得载板116顺利进入，需要对端部进行下压，由第二气缸1251带动下压块1254得以实现，并由光纤传感器1255检测进料情况；在剥离胶膜的时候防止载板弯曲，需要上端进行吸附牵引，由第三气缸1261带动吸气块1264下降，由吸气块1264吸住载板116完成。

（二）撕胶：倾斜滑台组件32将固定夹手34推出，胶膜的边缘位于固定夹手34和活动夹手35之间，而后驱动气缸36伸长，使得活动夹手35摆动将胶膜夹住，而后倾斜滑台组件32将胶膜斜向下撕出；而后侧移气缸384调整下粘座383的左右位置，将下粘座383向上推出，向上底板381靠拢，使胶膜粘在下粘座383上，完成收集。

（三）集成电路装盘：搬运机械手和视觉检测装置4将分离后的集成电路进行吸附搬运，搬运过程中进行检测，而后放置到托盘输送线装置6中，实现排板。

（四）下料：载板116分离后的连接边框由输送带23运送到空板收集组件29处，抬升气缸291带动抬升板292顶升连接外框，落在边条293之间，由楔形卡块294卡住不下滑；单个托盘装满后进行下料，每个托盘之间进行码垛收集。

以上为对本发明实施例的描述，通过对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的。本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施列，而是要符合与本文所公开的原理和新颖点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置（1）、载板输送线装置（2）、撕膜装置（3）、搬运机械手和视觉检测装置（4）、托盘上料装置（5）和托盘输送线装置（6）；所述的载板上料装置（1）、载板输送线装置（2）和撕膜装置（3）设置有对称的两组，撕膜装置（3）位于载板上料装置（1）的下方，载板输送线装置（2）与载板上料装置（1）相衔接；托盘上料装置（5）位于两个载板上料装置（1）之间，托盘输送线装置（6）位于两条载板输送线装置（2）之间，托盘输送线装置（6）与托盘上料装置（5）相衔接；搬运机械手和视觉检测装置（4）安装在机架上，位于载板输送线装置（2）和托盘输送线装置（6）的上方；

所述的载板上料装置（1）用于将叠放的集成电路载板逐个进行上料至载板输送线装置（2），撕膜装置（3）用于对集成电路载板的下端面胶膜进行剥离，搬运机械手和视觉检测装置（4）用于集成电路的搬运，并在搬运的过程中进行视觉检测；托盘输送线装置（6）用于托盘的上料，该托盘用于放置集成电路，托盘输送线装置（6）用于收集装满集成电路的托盘。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的载板上料装置（1）包括料仓组件（11）和引料组件（12）；引料组件（12）位于料仓组件（11）的侧方，与料仓组件（11）相衔接；所述的料仓组件（11）包括连接支座（111）、第一滑台部件（112）、安装台板（113）、限位挡块（114）、置料框（115）和载板（116）；第一滑台部件（112）通过连接支座（111）竖直安装在机架上，安装台板（113）安装在第一滑台部件（112）的移动部，限位挡块（114）包括四周的四块，其中相邻两块固定设置在安装台板（113）上，另外两块上设置有槽，通过螺栓调节设置在安装台板（113）上；所述的第一滑台部件（112）包括底座、电机、丝杆组件和移动架，移动架移动配合在底座上，移动架通过丝杆组件与底座相连接，丝杆组件由电机驱动；置料框（115）放置在安装台板（113）上，所述的置料框（115）两侧边板的内侧上设置有水平的通槽，通槽设置有多行，通槽的高度与载板（116）厚度相匹配，通槽端部设置有外扩的楔角；所述的载板（116）设置在置料框（115）中的通槽中；所述的载板（116）包括多个集成电路和连接外框，集成电路和连接外框通过底端贴有的胶膜相连接，将胶膜撕开即可实现集成电路的分离。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的引料组件（12）包括立座（122）、第二滑台组件（122）、横移支架（123）、夹板机构（124）、压板机构（125）和吸板机构（126）；第二滑台组件（122）通过立座（122）水平安装在机架上，横移支架（123）安装在第二滑台组件（122）的移动部；夹板机构（124）、压板机构（125）和吸板机构（126）依次并列布置，均连接在横移支架（123）的侧边。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的夹板机构（124）包括第一气缸（1241）、升降板（1242）、手指气缸（1243）、折形条（1244）和夹块（1245）；第一气缸（1241）固定设置横移支架（123）上，升降板（1242）通过滑轨移动配合在横移支架（123）侧边，第一气缸（1241）的伸缩端与升降板（1242）相连接；手指气缸（1243）水平安装在升降板（1242）上，折形条（1244）安装在手指气缸（1243）的两移动端，夹块（1245）安装在折形条（1244）的下端，两个夹块（1245）相上下对应；所述的压板机构（125）包括第二气缸（1251）、连接板（1252）、直角条（1253）、下压块（1254）、光纤传感器（1255）和光纤放大器（1256）；第二气缸（1251）固定设置在横移支架（123）上，第二气缸（1251）的伸缩端与连接板（1252）相连接；连接板（1252）与直角条（1253）相固定，连接板（1252）通过滑轨移动连接在横移支架（123）上，直角条（1253）的水平部下端设置有三个下压块（1254），下压块（1254）之间的间隙中设置有光纤传感器（1255），所述的光纤传感器（1255）连到光纤放大器（1256），光纤放大器（1256）设置在直角条（1253）上端；所述的吸板机构（126）包括第三气缸（1261）、滑板（1262）、卡槽块（1263）和吸气块（1264）；第三气缸（1261）固定设置在横移支架（123）上，滑板（1262）移动配合在横移支架（123）上，第三气缸（1261）的伸缩端与滑板（1262）相连接；卡槽块（1263）固定设置在滑板（1262）的下端，所述的卡槽块（1263）包括对称的两块，形成一个T形的槽、卡槽块（1263）侧方设置有螺纹孔；吸气块（1264）上端为T形块，下端为吸气盘，上端的T形块配合在卡槽块（1263）之间的槽中，通过侧方的紧定螺钉相连接。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的载板输送线装置（2）包括输送架（21）、直流电机（22）、输送带（23）、加热板（24）、主动摩擦轮（25）、步进电机（26）、压紧轮组件（27）、接料板组件（28）、空板收集组件（29）和预压轮组件（210）；所述的输送架（21）包括并列的两条，一条固定设置在机架上，另一条通过滑轨移动连接在机架上；直流电机（22）设置有两个，分别安装在输送架（21），带动输送带（23）运动；输送架（21）的进料端设置有主动摩擦轮（25），所述的主动摩擦轮（25）由步进电机（26）驱动，主动摩擦轮（25）的上方设置有预压轮组件（210），所述的预压轮组件（210）通过弹簧弹力将滚轮向主动摩擦轮（25）压紧；加热板（24）设置在两个输送架（21）的端部，所述的加热板（24）通过电热丝加热，传导至上端面上设置的载板上；加热板（24）的上方设置有压紧轮组件（27），所述的压紧轮组件（27）包括压紧气缸、滚轮安装板和多个滚轮；滚轮通过滚轮安装板连接在压紧气缸的伸缩端，滚轮对应载板（116）的边缘框条；加热板（24）的后端设置有限位组件（20），限位组件（20）设置有两侧的两组，所述的限位组件（20）包括传力柱（211）、阻挡块（212）和安装槽座（213）；阻挡块（212）的形状为直角折形，转折部设置有连接孔，水平部设置有向上的凸缘，水平部的中间安装有螺钉，竖直部为梯形面状；安装槽座（213）中设置有相应的通槽，阻挡块（212）折角部的连接孔与安装槽座（213）的边角相转动连接，凸缘高度高于安装槽座（213）的上端面；所述的包括传力柱（211）安装在压紧轮组件（27）的滚轮安装板下端面，与传力柱（211）上的螺钉相对应；加热板（24）与输送带（23）的衔接位置设置有接料板组件（28），所述的接料板组件（28）包括接料底板（281）、接料气缸（282）和接料板（283）；接料板（283）通过滑轨移动连接在接料底板（281）上，接料气缸（282）的伸缩端与接料板（283）相连接，所述的接料板（283）倾斜设置，接料板（283）的接料平面为水平面；输送架（21）之间的末端位置设置有空板收集组件（29）；所述的空板收集组件（29）包括抬升气缸（291）、抬升板（292）、边条（293）和楔形卡块（294）；边条（293）设置有相对的四根，安装在输送架（21）上，边条（293）上转动连接有楔形卡块（294），楔形卡块（294）的下端为倾斜面，可受迫上抬，当下摆受到限制。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的撕膜装置（3）包括连接座（31）、倾斜滑台组件（32）、移动安装板（33）、固定夹手（34）、活动夹手（35）、驱动气缸（36）、气缸安装座（37）和废料收集组件（38）；倾斜滑台组件（32）通过连接座（31）倾斜安装在机架上，移动安装板（33）固定设置在倾斜滑台组件（32）的伸缩端，所述的固定夹手（34）安装在移动安装板（33）的上端，所述的固定夹手（34）的齿面竖直；活动夹手（35）上部为齿面，中部和下部均设置有转孔，中部的转孔与固定夹手（34）相铰接，下部的转孔与驱动气缸（36）的伸缩端相连接，驱动气缸（36）的固定端安装在气缸安装座（37）上，所述的气缸安装座（37）侧端设置有销轴，该销轴与移动安装板（33）相铰接；所述的废料收集组件（38）包括上底板（381）、上连接架（382）、下粘座（383）、侧移气缸（384）和顶升气缸（385）；侧移气缸（384）固定安装在机架上，顶升气缸（385）安装在侧移气缸（384）的伸缩端，下粘座（383）固定设置在顶升气缸（385）的伸缩端，上底板（381）通过上连接架（382）安装在机架上；所述的上底板（381）和下粘座（383）相平行，均倾斜设置；所述的固定夹手（34）和活动夹手（35）相对设置，端部设置有锯齿形的槽纹；所述的上底板（381）和下粘座（383）倾斜角度和倾斜滑台组件（32）的倾角相同。

7.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的搬运机械手和视觉检测装置（4）包括下视觉检测组件（41）、上视觉检测组件（42）和搬运机械手（43）；下视觉检测组件（41）固定设置在机架上，上视觉检测组件（42）移动连接在搬运机械手（43）上，与下方的下视觉检测组件（41）相对应；搬运机械手（43）可实现三个正交轴的移动，包括两个独立控制的执行末端，执行末端为四个吸气盘。

8.根据权利要求1所述的一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，所述的托盘上料装置（5）包括升降滑台组件（51）、托盘载料框（52）、托盘（53）、上吸气缸（54）和上吸气盘组（55）；升降滑台组件（51）竖直安装在机架上，托盘载料框（52）安装在升降滑台组件（51）的移动部；所述的托盘载料框（52）包括三个侧面的护板和底面置料板，底面置料板上叠放托盘（53），并对托盘进行定位；上吸气缸（54）竖直安装在托盘载料框（52）的侧方，上吸气盘组（55）通过滑轨移动连接在托盘载料框（52）的侧方上吸气缸（54）的伸缩端与上吸气盘组（55）相连接；上吸气盘组（55）包括上设置有四个面向下端的吸气盘；所述的托盘输送线装置（6）包括收集组件（61）、上顶组件（62）和定位组件（63）；定位组件（63）包括移动滑台（631）、升降架（632）、定位吸盘（633）和定位气缸（634）；升降架（632）移动配合在移动滑台（631）的移动部，通过气缸控制升降，升降架（632）上设置有托盘放置板，托盘放置板的端部设置有挡条，托盘设置在托盘放置板上，定位吸盘（633）安装在定位气缸（634）的伸缩端，定位气缸（634）安装在托盘放置板的背侧。

9.一种集成电路的撕膜方法，其特征在于，依次通过以下步骤进行工作：

载板上料：第一滑台部件（112）带动安装台板（113）每次上升或下降一定距离，逐个移出置料框（115）中的载板（116）；移出载板（116）时，第一气缸（1241）调节手指气缸（1243）的位置，由夹块（1245）夹住载板（116），被第二滑台组件（122）牵引拉出；拉出后为了使得载板（116）顺利进入，需要对端部进行下压，由第二气缸（1251）带动下压块（1254）得以实现，并由光纤传感器（1255）检测进料情况；在剥离胶膜的时候防止载板弯曲，需要上端进行吸附牵引，由第三气缸（1261）带动吸气块（1264）下降，由吸气块（1264）吸住载板（116）完成；

撕胶：倾斜滑台组件（32）将固定夹手（34）推出，胶膜的边缘位于固定夹手（34）和活动夹手（35）之间，而后驱动气缸（36）伸长，使得活动夹手（35）摆动将胶膜夹住，而后倾斜滑台组件（32）将胶膜斜向下撕出；而后侧移气缸（384）调整下粘座（383）的左右位置，将下粘座（383）向上推出，向上底板（381）靠拢，使胶膜粘在下粘座（383）上，完成收集；

集成电路装盘：搬运机械手和视觉检测装置（4）将分离后的集成电路进行吸附搬运，搬运过程中进行检测，而后放置到托盘输送线装置（6）中，实现排板；

下料：载板（116）分离后的连接边框由输送带（23）运送到空板收集组件（29）处，抬升气缸（291）带动抬升板（292）顶升连接外框，落在边条（293）之间，由楔形卡块（294）卡住不下滑；单个托盘装满后进行下料，每个托盘之间进行码垛收集。

10.一种集成电路，其特征在于通过权利要求9所述的方法得到。