CN110419268A - 等离子体产生装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供等离子体产生装置，具备：电力供给装置，向配置于反应室的多个电极供给电力；处理气体供给装置，向上述反应室供给处理气体；及控制装置，控制上述电力供给装置和上述处理气体供给装置的工作，在向上述反应室供给处理气体的状态下向上述电极供给电力时，在输入了停止信号的情况下，上述控制装置以第一工作模式和第二工作模式中的任一工作模式控制上述电力供给装置和上述处理气体供给装置的工作，其中，上述第一工作模式为使向上述电极的电力供给停止并使向上述反应室的处理气体的供给停止的工作模式，上述第二工作模式为使向上述电极的电力供给停止但继续向上述反应室供给处理气体的工作模式。

Description

等离子体产生装置

技术领域

本发明涉及使处理气体等离子体化而产生等离子体气体的等离子体产生装置。

背景技术

在等离子体产生装置中，向反应室供给处理气体，向配置于反应室的多个电极供给电力。由此，在反应室中，产生放电，而处理气体等离子体化，从而产生等离子体气体。在下述专利文献记载有这样的等离子体产生装置的一个例子。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2007-188689号公报

专利文献2:国际公开第2014/188592号

发明内容

发明所要解决的课题

在等离子体产生装置中，希望高效地进行等离子体处理。因此，课题在于能够高效地执行等离子体处理的等离子体产生装置。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本说明书公开了一种等离子体产生装置，具备：电力供给装置，向配置于反应室中的多个电极供给电力；处理气体供给装置，向上述反应室供给处理气体；及控制装置，控制上述电力供给装置和上述处理气体供给装置的工作，在向上述反应室供给处理气体的状态下向上述电极供给电力时，在输入了停止信号的情况下，上述控制装置以第一工作模式和第二工作模式中的任一工作模式控制上述电力供给装置和上述处理气体供给装置的工作，其中，上述第一工作模式为使向上述电极的电力供给停止并使向上述反应室的处理气体的供给停止的工作模式，上述第二工作模式为使向上述电极的电力供给停止但继续向上述反应室供给处理气体的工作模式。

发明效果

根据本公开，在输入了停止信号的情况下，也就是说，在操作了停止按钮的情况下，处理气体继续向反应室供给，所以能够立即进行等离子体处理，能够高效地执行等离子体处理。

附图说明

图1是表示大气压等离子体产生装置的立体图。

图2是表示大气压等离子体产生装置的下端部的立体图。

图3是表示大气压等离子体产生装置的下端部的透视图。

图4是表示图3中的AA线的剖视图。

图5是表示控制装置的框图。

图6是表示通常模式的时序图。

图7是待机模式的时序图。

图8是待机模式的时序图。

图9是待机模式的时序图。

图10是待机模式的时序图。

图11是待机模式的时序图。

图12是表示变形例的等离子体产生装置的立体图。

具体实施方式

以下，作为用于实施本发明的形式，参照附图对本发明的实施例详细地进行说明。

＜大气压等离子体产生装置的结构＞

图1至图4示出本发明的实施例的大气压等离子体产生装置10。大气压等离子体产生装置10是用于在大气压下产生等离子体的装置，具备：等离子体气体喷出装置12、加热气体喷出装置14及控制装置(参照图5)16。另外，图1是从斜上方的视点下的大气压等离子体产生装置10整体的立体图。图2是从斜下方的视点下的大气压等离子体产生装置10的下端部的立体图。图3是从斜上方的视点下的大气压等离子体产生装置10的下端部的立体图。图4是图3中的AA线的剖视图。另外，将大气压等离子体产生装置10的宽度方向称为X方向，将大气压等离子体产生装置10的进深方向称为Y方向，将与X方向和Y方向正交的方向也就是说上下方向称为Z方向。

等离子体气体喷出装置12由壳体20、罩22、一对电极24、26构成。壳体20包含：主壳体30、散热板31、接地板32、下部壳体34及喷嘴块36。主壳体30呈大致块状，在主壳体30的内部形成有反应室38。另外，在主壳体30以沿着Y方向延伸的方式形成有四个第一气体流路50，四个第一气体流路50沿着X方向隔开预定间隔地排列。各第一气体流路50的一端部在反应室38形成开口，另一端部在主壳体30的侧面形成开口。此外，在主壳体30中，与四个第一气体流路50对应地，以沿着Z方向延伸的方式形成有四个第二气体流路52。各第二气体流路52的上端部在对应的第一气体流路50形成开口，下端部在主壳体30的底面形成开口。

散热板31配置在主壳体30的第一气体流路50形成开口的侧面，堵住第一气体流路50向侧面的开口。散热板31具有多个散热片(省略图示)，对主壳体30的热量进行散热。另外，接地板32作为避雷针发挥作用，固定于主壳体30的下表面。在接地板32上，与四个第二气体流路52对应地形成有沿着上下方向贯通的四个贯通孔56，各贯通孔56与对应的第二气体流路52连接。

下部壳体34呈块状，固定于接地板32的下表面。在下部壳体34的上表面，以沿着X方向延伸的方式形成有凹部60，凹部60与接地板32的四个贯通孔56相向。另外，在下部壳体34以沿着Z方向延伸的方式形成有六个第三气体流路62，六个第三气体流路62在X方向上隔开预定间隔地排列。各第三气体流路62的上端部在凹部60形成开口，下端部在下部壳体34的底面形成开口。另外，接地板32的各贯通孔56与下部壳体34的凹部60的Y方向上的一端部相向，下部壳体34的第三气体流路62在凹部60的Y方向上的另一端部形成开口。

喷嘴块36固定于下部壳体34的下表面，与下部壳体34的六个第三气体流路62对应地，六个第四气体流路66以沿着Z方向延伸的方式形成。各第四气体流路66的上端部与对应的第三气体流路62连接，下端部在喷嘴块36的底面形成开口。

罩22呈大致箱型，以覆盖下部壳体34及喷嘴块36的方式配置于接地板32的下表面。在罩22的下表面形成有贯通孔70。该贯通孔70大于喷嘴块36的下表面，喷嘴块36的下表面位于贯通孔70的内部。另外，在罩22的加热气体喷出装置14侧的侧面也以沿着Y方向延伸的方式形成有贯通孔72。

一对电极24、26在主壳体30的反应室38的内部以相向的方式对置。上述一对电极24、26与电力供给装置(参照图5)73连接，从电力供给装置73被供给电力。另外，反应室38与处理气体供给装置(参照图5)74连接。处理气体供给装置74由非活性气体供给装置(参照图5)76和活性气体供给装置(参照图5)78构成。非活性气体供给装置76是将氮气等非活性气体以任意流量(L/min)作为处理气体供给的装置。活性气体供给装置78是将氧气等活性气体以任意流量(L/min)作为处理气体而供给的装置。由此，单独地向反应室38供给非活性气体和活性气体。

另外，加热气体喷出装置14包含：保护罩80、气体管82、加热器83及连接块84。保护罩80以覆盖等离子体气体喷出装置12的散热板31的方式配置。气体管82在保护罩80的内部以沿着Z方向延伸的方式配置，气体管82与加热用气体供给装置(参照图5)86连接。加热用气体供给装置86是将氧气等活性气体或者氮气等非活性气体以任意流量(L/min)供给的装置。另外，在气体管82的外周面配置有大致圆筒状的加热器83，气体管82由加热器83加热。由此，将从加热用气体供给装置86向气体管82供给的气体加热。

连接块84与气体管82的下端连接，并且固定在罩22的Y方向上的加热气体喷出装置14侧的侧面。在连接块84形成有呈大致L字形对弯曲的连通路90，连通路90的一端部在连接块84的上表面形成开口，并且连通路90的另一端部在Y方向上的等离子体气体喷出装置12侧的侧面形成开口。并且，连通路90的一端部与气体管82连通，连通路90的另一端部与罩22的贯通孔72连通。

另外，如图5所示，控制装置16具备控制器100和多个驱动电路102。多个驱动电路102与上述电力供给装置73、非活性气体供给装置76、活性气体供给装置78、加热器83、加热用气体供给装置86连接。控制器100具备CPU、ROM、RAM等，以计算机作为主体，并与多个驱动电路102连接。由此，等离子体气体喷出装置12、加热气体喷出装置14的工作由控制器100控制。

＜基于大气压等离子体产生装置的等离子体处理＞

在大气压等离子体产生装置10中，在等离子体气体喷出装置12中，在向反应室38供给有处理气体的状态下，向电极24、26供给电力，由此在反应室38的内部将处理气体等离子体化。并且，从喷嘴块36的第四气体流路66的下端喷出等离子体化后的气体也就是说等离子体气体。另外，向罩22的内部供给由加热气体喷出装置14加热过的气体。由此，等离子体气体与被加热后的气体一起从罩22的贯通孔70喷出，来对被处理体进行等离子体处理。

另外，在大气压等离子体产生装置10中，能够在通常模式和待机模式中的任一个模式下选择性地执行等离子体处理。在通常模式下，通过在等离子体处理期间操作停止按钮，而电力向电极24、26的供给停止，并且处理气体向反应室38的供给停止。另一方面，在待机模式下，通过在等离子体处理期间操作停止按钮，而电力向电极24、26的供给停止，但处理气体继续向反应室38供给。

因此，在通常模式中，在操作停止按钮之后重新开始等离子体处理时也就是说当操作了开始按钮时，向反应室38供给处理气体。并且，处理气体向反应室38供给了一定程度后，也就是说，在开始按钮的操作后，经过预定时间之后，向电极24、26供给电力，产生等离子体气体。另一方面，在待机模式中，即便操作了停止按钮，也继续供给处理气体，因此与等离子体处理的重新开始同时也就是说当操作了开始按钮，向电极24、26供给电力，产生等离子体气体。由此，在待机模式中，能够较早地执行等离子体处理，在通常模式中，能够抑制处理气体的消耗。以下，关于通常模式和待机模式的各工作模式下的大气压等离子体产生装置10的等离子体处理详细地进行说明。

在大气压等离子体产生装置10中，设有用于选择通常模式与待机模式中的任一个工作模式的选择按钮，通过操作选择按钮，而向控制器100输入操作信号。并且，将大气压等离子体产生装置10的工作模式设定为与操作信号对应的工作模式也就是说由选择按钮的操作选择出的通常模式与待机模式中的任一个工作模式。

另外，在大气压等离子体产生装置10中，设有开始按钮和停止按钮，通过操作各操作按钮，向控制器100输入操作信号。并且，当将大气压等离子体产生装置10设定为通常模式时，当基于开始按钮的操作的操作信号(以下，有时记载为“开始信号”)输入至控制器100时，如图6所示，通过非活性气体供给装置76向反应室38供给非活性气体。另外，当开始信号输入至控制器100时，通过加热用气体供给装置86向气体管82供给加热用气体。也就是说，在输入了开始信号的时间点，供给非活性气体及加热用气体。

接下来，在从输入开始信号起经过设定时间后，具体而言，经过2.5秒后，向电极24、26施加电压，也就是说供给电力。由此，在对反应室38的内部供给了一定程度的非活性气体的状态下，在一对电极24、26之间产生放电，通过该放电，非活性气体被等离子体化。另外，在向电极24、26供给电力的时间点也就是说从输入开始信号起经过设定时间后，具体而言经过2.5秒后，开始通过加热器83进行加热。由此，在向气体管82供给了一定程度的加热用气体的状态下，能够对气体管82进行加热，能够防止气体管82的干烧状态。

并且，在从输入开始信号起经过设定时间后，具体而言经过3.5秒后，也就是说在从向电极24、26供给电力起经过1秒后，通过活性气体供给装置78向反应室38供给活性气体。由此，在反应室38中，不仅先供给的非活性气体，活性气体也由于放电而被等离子体化。也就是说，在向非活性气体供给反应室38后，向电极24、26供给电力，从而非活性气体被等离子体化，然后，向反应室38供给活性气体，从而非活性气体和活性气体被等离子体化。由此，能够有效地产生等离子体气体。

并且，在反应室38中产生的等离子体气体在第一气体流路50内朝着Y方向流动，在第二气体流路52及贯通孔56内朝着下方流动。并且，等离子体气体向凹部60内流入。此外，等离子体气体在凹部60内朝着Y方向流动，在第三气体流路62及第四气体流路66内朝着下方流动。由此，从第四气体流路66的下端喷出等离子体气体。

另外，在加热气体喷出装置14中，被供给加热用气体的气体管82由加热器83加热，从而将向气体管82供给的气体加热至600℃～800℃。该被加热后的气体经由连接块84的连通路90而从罩22的贯通孔72向罩22的内部流入。并且，流入至罩22内的加热气体从罩22的贯通孔70喷出。此时，从喷嘴块36的第四气体流路66的下端喷出的等离子体气体被加热气体保护。由此，能够适当地进行等离子体处理。

详细而言，在等离子体处理时，在从喷出等离子体气体的喷出口离开预定距离的位置载置被处理体，从喷出口向该被处理体喷出等离子体气体。也就是说，在等离子体处理时，向空气中喷出等离子体气体，向空气中喷出的等离子体气体照射于被处理体。此时，等离子体气体在空气中与氧气等活性气体反应，产生臭氧。因此，等离子体气体失活，有可能无法适当地进行等离子体处理。

因此，在大气压等离子体产生装置10中，由加热气体喷出装置14加热后的气体向罩22的内部喷出，从罩22的贯通孔70喷出。此时，从喷嘴块36的下端喷出的等离子体气体由加热气体保护。加热气体在气体管82中被加热至600℃～800℃，因此从贯通孔70喷出的加热气体为250℃以上。臭氧在200℃以上会分解，因此可防止被加热气体覆盖的等离子体气体的臭氧化。由此，可防止等离子体气体的失活，能够适当地进行等离子体处理。

另外，200℃以上的加热气体与等离子体气体一起向被处理体喷出，因此通过加热气体将被处理体加热，对该加热后的被处理体进行等离子体处理。由此，被处理体的反应性提高，能够有效地进行等离子体处理。

并且，当对被处理体的等离子体处理完成时，作业者操作停止按钮。此时，基于停止按钮的操作的操作信号(以下，有时记载为“停止信号”)输入至控制器100，非活性气体、活性气体的供给及电力向电极24、26的供给停止，加热器83对气体管82的加热也停止。也就是说，在通常模式中，在输入了停止信号的时间点，非活性气体、活性气体的供给及电力向电极24、26的供给停止，加热器83对气体管82的加热也停止。

但是，基于加热用气体供给装置86的气体供给即便输入了停止信号也继续，从输入停止信号起经过设定时间后，具体而言经过60秒后停止。也就是说，在从输入停止信号起经过了设定时间后，基于加热用气体供给装置86的气体的供给停止。由此，在基于加热器83的加热停止后，对由加热器83被加热成非常高温的气体管82供给设定时间的气体，从而能够冷却气体管82。另外，有时将从输入停止信号起至基于加热用气体供给装置86的气体的供给停止为止的设定时间记载为冷却时间。

另外，在通常模式中，在操作了停止按钮之后，再次操作了开始按钮的情况下，也就是说在输入了停止信号之后，再次输入了开始信号的情况下，大气压等离子体产生装置10以之前说明的工作形态进行工作。也就是说，在输入了开始信号的时间点，供给非活性气体及加热用气体，从该时间点经过了2.5秒后，向电极24、26供给电力，并且通过加热器83将气体管82加热。并且，从输入了开始信号的时间点起经过了3.5秒后，供给活性气体。由此，从操作停止按钮起直至再次操作开始按钮为止的期间，也就是说在未执行等离子体处理期间，处理气体及加热用气体的供给停止，能够抑制处理气体及加热用气体的消耗。

另一方面，在将大气压等离子体产生装置10设定为待机模式时，在未向反应室38供给处理气体的状态下，开始信号输入至控制器100的情况下，与通常模式相同地控制大气压等离子体产生装置10的工作。也就是说，如图7所示，在输入了开始信号的时间点，供给非活性气体及加热用气体，从该时间点起经过了2.5秒后，向电极24、26供给电力并且通过加热器83将气体管82加热。并且，从输入了开始信号的时间点起经过了3.5秒后，供给活性气体。

但是，在待机模式中，与通常模式不同，即便在操作了停止按钮的情况下，也继续供给非活性气体及加热用气体。具体而言，在停止信号输入至控制器100的时间点，活性气体的供给及电力向电极24、26的供给停止，基于加热器83的气体管82的加热也停止。另一方面，即便停止信号输入至控制器100，非活性气体及加热用气体的供给也不停止，而继续供给非活性气体及加热用气体。

并且，在停止信号的输入后，继续供给非活性气体及加热用气体时，当再次操作了开始按钮，而向控制器100输入了开始信号时，立刻向电极24、26供给电力，通过加热器83加热气体管82。也就是说，即便操作了停止按钮，也向反应室38继续供给非活性气体，因此在开始信号输入至控制器100的时间点，向电极24、26供给电力。另外，即便操作了停止按钮，也向气体管82继续供给加热用气体，因此在开始信号输入至控制器100的时间点，气体管82被加热器83加热。而并且，在从输入了开始信号起经过设定时间后，具体而言经过1秒后，供给活性气体。

也就是说，在待机模式中，在输入了停止信号后，非活性气体继续向反应室38供给时，在再次操作了开始按钮的时间点，在反应室38中产生放电，将非活性气体等离子体化。并且，在经过1秒后，向反应室38供给活性气体，从而在反应室38中，将非活性气体和活性气体等离子体化。由此，在待机模式中，能够在操作开始按钮后立刻产生等离子体气体，能够较早地进行等离子体处理。

另外，在待机模式中，在输入了停止信号后，加热用气体继续向气体管82供给时，在再次操作了开始按钮的时间点，气体管82被加热器83加热，在气体管82中将气体加热。由此，能够与从操作了开始按钮起立刻产生的等离子体气体大致同时，将加热气体向罩22的内部喷出，能够确保适当的等离子体处理。

但是，在大气压等离子体产生装置10设定为待机模式时，操作了停止按钮后，有时未操作开始按钮。在这样的情况下，继续供给的非活性气体及加热用气体被不必要地消耗。因此，在大气压等离子体产生装置10中，在操作了停止按钮后，在未操作开始按钮的情况下，经过了设定时间的情况下，停止非活性气体及加热用气体的供给。也就是说，如图8所示，在从停止信号输入至控制器100起经过设定时间前，未向控制器100输入开始信号的情况下，停止非活性气体及加热用气体的供给。因此，在操作了停止按钮后，未操作开始按钮的情况下，仅继续供给设定时间的非活性气体及加热用气体。由此，能够抑制长时间未操作开始按钮的情况下的非活性气体及加热用气体的不必要的消耗。

另外，在操作了停止按钮后未操作开始按钮的情况下，有时将非活性气体及加热用气体继续供给的设定时间记载为待机时间。另外，在大气压等离子体产生装置10中设有用于任意设定待机时间的设定按钮。由此，作业者根据等离子体处理作业的频度等任意地设定待机时间，从而待机模式下的作业性提高。

另外，在大气压等离子体产生装置10中，能够任意设定待机时间，因此有时将待机时间设定为比较短的时间。具体而言，例如，有时将待机时间设定为50秒。在这样的情况下，在操作停止按钮后，在未操作开始按钮的情况下经过了待机时间时，若加热用气体的供给停止，则有可能无法适当地冷却气体管82。详细而言，如上述那样，在通常模式中，为了冷却被加热后的气体管82，在操作了停止按钮之后，通过加热用气体供给装置86向气体管82继续供给冷却时间(60秒)的气体。该冷却时间设定为适当地冷却气体管82所需要的时间。因此，在操作了停止按钮之后，向气体管82只供给比冷却时间段的时间的气体的情况下，有可能无法适当地冷却气体管82。

因此，在待机时间被设定为比冷却时间短的时间的情况下，如图9所示，在停止信号输入至控制器100后经过待机时间前，未向控制器100输入开始信号的情况下，仅停止非活性气体的供给。并且，在停止信号输入控制器100后经过了冷却时间的时间点，停止加热用气体的供给。由此，能够适当地冷却气体管82。

另外，在待机模式中，也能够不等待待机时间的经过而停止非活性气体及加热用气体的供给。详细而言，在操作了停止按钮后经过待机时间前，再次操作了停止按钮的情况下，停止非活性气体及加热用气体的供给。也就是说，如图10所示，在停止信号输入至控制器100后经过待机时间前，再次向控制器100输入停止信号的情况下，停止非活性气体及加热用气体的供给。因此，例如，在与等离子体处理相关的作业全部完成的情况下等，操作两次停止按钮，从而能够不等待经过待机时间而停止非活性气体及加热用气体的供给。由此，能够抑制非活性气体及加热用气体的不必要的消耗。

但是，当在操作停止按钮后经过待机时间前，至再次操作停止按钮为止的时间比冷却时间短的情况下，停止了加热用气体的供给时，有可能无法适当地冷却气体管82。因此，在停止按钮操作后经过待机时间前，直至再次操作停止按钮为止的时间比冷却时间短的情况下，在再次操作了停止按钮的时间点，仅非活性气体的供给停止。也就是说，如图11所示，在第一次输入停止信号后经过待机时间前，直至输入第二次停止信号为止的时间比冷却时间短的情况下，在输入了第二次的停止信号的时间点，仅停止非活性气体的供给。并且，在输入第一次的停止信号之后经过了冷却时间的时间点，停止加热用气体的供给。由此，能够适当地冷却气体管82。

顺便一提，在上述实施例中，大气压等离子体产生装置10是等离子体产生装置的一个例子。加热气体喷出装置14是加热气体喷出装置的一个例子。控制装置16是控制装置的一个例子。电极24、26是电极的一个例子。反应室38是反应室的一个例子。电力供给装置73是电力供给装置的一个例子。处理气体供给装置74是处理气体供给装置的一个例子。非活性气体供给装置76是非活性气体供给装置的一个例子。活性气体供给装置78是活性气体供给装置的一个例子。加热器83是加热器的一个例子。加热用气体供给装置86是加热用气体供给装置的一个例子。另外，通常模式是第一工作模式的一个例子。待机模式是第二工作模式的一个例子。

另外，本发明不限定于上述实施例，能够以基于本领域技术人员的知识实施了各种变更、改进的各种方式来实施。具体而言，例如，在上述实施例中，本发明应用于大气压等离子体产生装置10，但也能够应用于各种构造的等离子体产生装置。具体而言，例如，能够将本发明应用于图12所示的等离子体产生装置110。

等离子体产生装置110具有：等离子体气体喷出装置112、上部罩114、滑动机构116及下部罩118。等离子体气体喷出装置112成为与等离子体气体喷出装置12大致相同的结构。上部罩114呈大致有盖圆筒状，由滑动机构116以能够沿着上下方向滑动的方式保持。在上部罩114的盖部形成有与等离子体气体喷出装置112对应的形状的贯通孔(省略图示)。并且，以覆盖该贯通孔的方式将等离子体产生装置110在立设于上部罩114的盖部的状态下固定。因此，等离子体气体喷出装置112的下端部朝着上部罩114的内部突出。由此，由等离子体气体喷出装置112喷出的等离子体气体朝着上部罩114的内部喷出。另外，下部罩118为大致圆板形状，下部罩118的外径大于上部罩114的外径。并且，上部罩114通过滑动机构116而向下方滑动，从而上部罩114的下端与下部罩118的上表面紧贴，将上部罩114的内部密闭。

通过这样的构造，在等离子体产生装置110中，在下部罩118的上表面载置收纳液体的培养皿120等，上部罩114与下部罩118紧贴。并且，通过等离子体气体喷出装置112喷出等离子体气体，由此对收纳于培养皿120的液体实施等离子体处理。另外，在等离子体产生装置110中，通过与等离子体气体喷出装置12相同的方法，控制等离子体气体喷出装置112的工作。由此，在等离子体产生装置110中，也能够起到与大气压等离子体产生装置10相同的效果。

另外，在上述实施例中，在待机模式中，操作了停止按钮的情况下，继续供给非活性气体，停止活性气体的供给，但也可以是，在操作了停止按钮的情况下，继续供给非活性气体和活性气体。

另外，在上述实施例中，作为非活性气体而例示出了氮气等，作为活性气体而例示出了氧气等，但均能够设为干燥气体。

另外，在上述实施例中，优选的是维持使处理气体等继续流动时的流量。

附图标记说明

10...大气压等离子体产生装置(等离子体产生装置)；14...加热气体喷出装置；16...控制装置；24...电极；26...电极；38...反应室；73...电力供给装置；74...处理气体供给装置；76...非活性气体供给装置；78...活性气体供给装置；83...加热器；86...加热用气体供给装置；110...等离子体产生装置。

Claims (8)

1.一种等离子体产生装置，其特征在于，具备：

电力供给装置，向配置于反应室中的多个电极供给电力；

处理气体供给装置，向所述反应室供给处理气体；及

控制装置，控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作，

所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：基于停止指示而使向所述电极的电力供给停止，但继续向所述反应室供给处理气体，并基于重新开始指示而使向所述电极的电力供给重新开始。

2.一种等离子体产生装置，其特征在于，具备：

电力供给装置，向配置于反应室中的多个电极供给电力；

处理气体供给装置，向所述反应室供给处理气体；及

控制装置，控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作，

在向所述反应室供给处理气体的状态下向所述电极供给电力时，在输入了停止信号的情况下，所述控制装置以第一工作模式和第二工作模式中的任一工作模式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作，其中，所述第一工作模式为使向所述电极的电力供给停止并使向所述反应室的处理气体的供给停止的工作模式，所述第二工作模式为使向所述电极的电力供给停止但继续向所述反应室供给处理气体的工作模式。

3.根据权利要求2所述的等离子体产生装置，其中，

所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：在输入停止信号后输入了开始信号的情况下，在所述第一工作模式下，在输入了开始信号的时间点向所述反应室供给处理气体并在从该时间点起经过了第一设定时间后向所述电极供给电力，在所述第二工作模式下，在输入了开始信号的时间点向所述电极供给电力。

4.根据权利要求2或3所述的等离子体产生装置，其中，

所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：在所述第二工作模式下，在从输入停止信号之后到经过第二设定时间之前未输入开始信号的情况下，使向所述反应室的处理气体的供给停止。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的等离子体产生装置，其中，

所述处理气体供给装置具有：

供给非活性气体的非活性气体供给装置；及

供给活性气体的活性气体供给装置，

所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：在向所述反应室供给非活性气体和活性气体的状态下向所述电极供给电力时，在输入了停止信号的情况下，在所述第二工作模式下，使向所述电极的电力供给停止，并使向所述反应室的活性气体的供给停止，但继续向所述反应室供给非活性气体。

6.根据权利要求5所述的等离子体产生装置，其中，

所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：在输入停止信号后输入了开始信号的情况下，在所述第二工作模式下，在输入了所述开始信号的时间点向所述电极供给电力，并在从该时间点起经过了第三设定时间后向所述反应室供给活性气体。

7.根据权利要求2～6中任一项所述的等离子体产生装置，其中，

所述等离子体产生装置具备加热气体喷出装置，所述加热气体喷出装置具有供给加热用的气体的加热用气体供给装置和对由所述加热用气体供给装置供给的气体进行加热的加热器，所述加热气体喷出装置用于将由所述加热器加热后的加热气体向作为由所述等离子体产生装置产生的等离子体的照射对象的被处理体喷出，

所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置、所述处理气体供给装置及所述加热气体喷出装置的工作：在向所述反应室供给处理气体的状态下向所述电极供给电力、且通过所述加热气体喷出装置喷出加热气体时，在输入了停止信号的情况下，在输入停止信号的时间点使所述加热器的气体加热停止，在所述第一工作模式下，在从该时间点起经过了第四设定时间后，使所述加热用气体供给装置的气体供给停止，在所述第二工作模式下，在从该时间点起经过了比所述第四设定时间长的第五设定时间后，使所述加热用气体供给装置的气体供给停止。

8.根据权利要求7所述的等离子体产生装置，其中，

所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置、所述处理气体供给装置及所述加热气体喷出装置的工作：在从输入停止信号起经过了所述第四设定时间、且经过所述第五设定时间之前输入了开始信号的情况下，在所述第一工作模式下，在输入了开始信号的时间点通过所述加热用气体供给装置供给气体，并在从该时间点起经过了第六设定时间后通过所述加热器对气体进行加热，在所述第二工作模式下，在输入了开始信号的时间点通过所述加热器对气体进行加热。