CN110385926A - 印刷方法、印刷装置、el和太阳能电池的制造方法 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种印刷方法、印刷装置、EL和太阳能电池的制造方法，所述印刷方法使由每个喷嘴的喷出体积偏差引起的印刷不均的降低效果提高。从喷墨头的喷嘴喷出液滴而在印刷对象介质的多个单元涂敷液滴的印刷方法包括：第一液滴涂敷工序，在多个单元涂敷第一液滴，该第一液滴用于限制之后涂敷的第二液滴的流动；和第二液滴涂敷工序，在一个单元内设定了多个的设定区域涂敷第二液滴。在第二液滴涂敷工序中，按每个单元改变第二液滴的涂敷位置。

Description

印刷方法、印刷装置、EL和太阳能电池的制造方法

技术领域

本公开涉及使用喷墨头进行印刷的印刷方法、印刷装置和EL的制造方法。

背景技术

现在，在有机EL(Electro Luminescence；电致发光)显示器的制造方法中，使用蒸镀是主流。针对于此，为了实现成本降低，研究了采用不需要真空而材料的利用效率高的喷墨方式的印刷装置(以下称为喷墨装置)来形成有机EL显示器的发光层、密封膜的技术。

一般而言，在使用喷墨装置制造有机EL显示器的情况下，从喷墨头的喷嘴向被称为围堰(bank)的隔壁划分的像素喷出各色的墨液，在像素内形成功能膜。由于有机EL的发光量与墨液的体积对应地增加，因此，填充于像素的墨液量的偏差越小，显示器的颜色不均越小。通过降低该颜色不均，能够制造高品质的有机EL显示器。

另一方面，有机EL显示器具有由于高分辨率、高精细化而使像素微细化的趋势。随着像素的微细化，用喷墨头进行涂敷的图案间距变窄，因此，需要进行高精度的控制，使得从喷嘴喷出的墨液的量(以下称为喷出量)为少量且均匀。因此，采用了通过使用将多个喷墨头层叠而成的喷墨装置来提高分辨率的方法。

然而，从各喷嘴的喷出量有时因每个喷嘴的体积偏差而不同。特别是在层叠了多个喷墨头的喷墨装置中，由于从一个喷嘴的喷出量为微小量，因此喷出量的偏差相对较大。

在这种情况下，即使为了向各像素填充相同量的墨液而从各喷嘴喷出相同次数的墨液，由于每个喷嘴的体积偏差，最终的墨液的填充量也会产生差异。具体而言，在由同一喷嘴集合形成的像素的行与由不同的喷嘴集合形成的像素的行之间产生填充量的差。填充量的差导致条纹状的颜色不均(以下称为条纹不均)的产生，成为显示器的品质以及成品率降低的原因。

同样的问题在利用喷墨装置制造有机EL显示器的密封膜的情况下也会产生。

在密封膜的制造中，通过喷墨装置将光固化型的墨液涂敷于工件(印刷对象的介质)，通过对涂敷的墨液膜照射紫外光等光线而使墨液固化，形成密封膜。在这种情况下，使用保持一定粘度的墨液，使其不会过度润湿扩展到必要位置以外。因此，从规定的喷嘴喷出而附着在工件的墨液与从喷出的墨液的体积不同的其他喷嘴喷出的墨液结合，润湿扩展到同一高度需要花费时间。因此，若在涂敷后不放置充分的时间就进行固化处理，则会产生由上述喷嘴的体积偏差引起的条纹不均。

例如，在专利文献1中公开了降低这样的条纹不均的方法。专利文献1的方法是下述方法，其中，在利用同一喷嘴集合形成的喷出图案的行中随机地变更每个像素的喷出次数，从而使由同一喷嘴集合形成的喷出图案的行的体积发生变动。

在该方法中，在从喷嘴的喷出量相对于每个像素所需的墨液的填充量充分小的情况下(例如，喷出量相对于填充量为1/100左右的情况下)，能够防止条纹不均的产生。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5157348号公报

发明内容

然而，在专利文献1的方法中，在喷嘴的喷出量相对于每个像素所需的墨液的填充量大的情况下(例如，喷出量相对于填充量为1/10以上的情况)，若对每个像素变更喷出次数，则每一次喷出的墨液量的变化相对变大。因此，产生粒状的不均匀，对显示器的画质产生大的影响。

本公开的一个方式的目的在于提供一种能够提高印刷不均的降低效果的印刷方法、印刷装置和EL、太阳能电池的制造方法。

用于解决课题的手段

本公开的一个方式所涉及的印刷方法是从喷墨头的喷嘴喷出液滴而在印刷对象介质的多个单元涂敷所述液滴的印刷方法，包括：第一液滴涂敷工序，在所述多个单元涂敷第一液滴，该第一液滴用于限制之后涂敷的第二液滴的流动；和第二液滴涂敷工序，在一个所述单元内设定了多个的设定区域涂敷所述第二液滴，在所述第二液滴涂敷工序中，按每个所述单元改变所述第二液滴的涂敷位置。

本公开的一个方式所涉及的印刷装置具有：喷墨头，从喷嘴喷出液滴，使得在印刷对象介质的多个单元涂敷所述液滴；和控制部，进行第一控制和第二控制，在所述第一控制中，控制所述喷墨头而使得在所述多个单元涂敷第一液滴，该第一液滴用于限制之后涂敷的第二液滴的流动，在所述第二控制中，控制所述喷墨头而使得在一个所述单元内设定了多个的设定区域涂敷所述第二液滴，所述控制部在进行所述第二控制时，控制所述喷墨头而使得按每个所述单元改变所述第二液滴的涂敷位置。

使用上述印刷方法来制造EL的方法。

发明效果

根据本公开，能够提高印刷不均的降低效果。

附图说明

图1是表示使用现有的喷墨印刷方法进行印刷的情况下的印刷图案的一例的示意图。

图2是表示现有的喷墨印刷方法中的从各喷嘴喷出的液滴的体积的图。

图3是表示使用现有的喷墨印刷方法形成图1所示的印刷图案的情况下的各单元的填充体积的图。

图4是表示使用专利文献1的印刷方法进行印刷的情况下的印刷图案的一例的示意图。

图5是表示使用专利文献1的印刷方法形成图4所示的印刷图案的情况下的各单元的填充体积的图。

图6A是表示本公开的印刷装置的结构的图。

图6B是表示本公开的印刷方法的流程的图。

图7是表示使用本公开的印刷方法进行印刷的情况下的印刷图案的一例的示意图。

图8是表示本公开的第一液滴被涂敷在基板的平面部的状态的示意图。

图9A是表示本公开的第一液滴被涂敷在基板的凹部内的状态的示意图。

图9B是图9A的A-A剖视图。

图10A是表示本公开的第一液滴覆盖基板的凹部而被涂敷的状态的示意图。

图10B是图10A的B-B剖视图。

图11是本公开的设定区域的放大图。

图12是表示使用本公开的印刷方法形成图7所示的印刷图案的情况下的各单元的填充体积的图。

符号说明

1：印刷装置；10：喷墨头；20：控制部；101：基板；102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104c：单元；105、106：凹部；201：液滴；202：非喷出位置；203、206、206a、206b：第一液滴；203a、206c：润湿扩展范围；204：设定区域；205：第二液滴；207：喷嘴组。

具体实施方式

(现有的印刷方法的课题)

首先，使用图1～图3对利用现有的喷墨印刷方法进行印刷的情况下的课题进行说明。

图1是表示使用现有的印刷方法进行印刷的情况下的印刷图案的一例的示意图。基板101是显示器的基板，是印刷对象的介质的一例。单元102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104c分别是用隔壁划分的凹部，例如成为显示器的像素。液滴201是从喷嘴喷出并着落在单元内的墨液的液滴。

此外，图1所示的N1～N21分别是表示未图示的喷墨头的各喷嘴的编号(也称为喷嘴编号)。此外，在图1中，与各喷嘴编号对应地表示的虚线表示喷嘴的位置。虚线上的液滴201是从与该虚线对应地示出的N1～N21中的任一个喷嘴喷出的液滴。

对单元102a、102b、102c，从N1～N6的喷嘴喷出液滴201。此外，对单元103a、103b、103c，从N8～N13的喷嘴喷出液滴201。对单元104a、104b、104c，从N15～N20的喷嘴喷出液滴201。

图2是表示从图1所示的喷嘴编号的喷嘴喷出的液滴的体积(以下称为喷出体积)的曲线图。在图2中，表示将从各喷嘴喷出的液滴的目标体积设为7pl、最大存在5％左右的偏差的情况。

图3是表示在使用图2所示的喷出体积的喷嘴形成图1所示的印刷图案的情况下填充于各单元(像素)的液滴的体积(以下称为填充体积)的表。

在图3的表中，第一行表示单元的编号，第一列表示单元的字母。例如，第二行第二列的数值“42.1”表示单元102a的填充体积。若沿列方向观察图3的表，则可知填充体积相同。这是因为，如图1所示，在与表示喷嘴的位置的虚线正交的单元中，使用的喷嘴相同，印刷图案也相同，因此每个单元的填充体积也相等。

另一方面，在图3中，若着眼于喷嘴的排列方向(图3的行方向)的各单元的填充体积，则每个单元的填充体积不同。这是因为，由于图2所示的每个喷嘴的喷出体积的偏差，填充体积不同。这样的喷出体积与填充体积的体积差在有机EL显示器的发光层中成为发光量的差，在视觉上被识别为条纹不均。

(专利文献1的印刷方法的课题)

接着，使用图4、图5对利用专利文献1(日本专利第5157348号公报)的印刷方法进行印刷的情况下的课题进行说明。

图4是表示使用专利文献1的印刷方法进行印刷的情况下的印刷图案的一例的示意图。在图4中，对与图1共同的结构要素标注相同的符号。

在图4中，非喷出位置202是不喷出液滴的位置。随机地选择非喷出位置202。

图5是表示使用图2所示的喷出体积的喷嘴形成图4所示的印刷图案的情况下的各单元(像素)的填充体积的表。在图5中，与图3不同，按每行的体积不同。例如，单元102a、单元102b、单元102c各自的填充体积不同。这是因为，在图4所示的非喷出位置202不喷出液滴。

因此，在专利文献1的印刷方法中，在喷出体积相对于每个单元所需的填充体积足够小的情况下，能够防止条纹不均的产生。但是，在该方法中，由于使进行液滴的喷出的喷嘴的数量按每个单元不同，因此，单元间的填充体积的差大于一个液滴的量的喷出量。

例如，如图5所示，单元102b的填充体积为42.1pl，与此相对，单元102a的填充体积为35.2pl，产生20％左右的体积差。在产生这样大的体积差的情况下，例如，在有机EL显示器的发光层中，由于每个单元的发光量的差而成为具有粒状感的画质，显示品质劣化。

本公开是鉴于上述现有的印刷方法的课题、专利文献1的印刷方法的课题而设计的。

(本公开的实施方式)

在下文中，参照附图对本公开的实施方式进行说明。另外，在各图中对共同的结构要素标注相同的符号，并适当省略对它们的说明。

图6A是表示本实施方式的印刷装置1的结构的图。图6B是表示由印刷装置1进行的本实施方式的印刷方法的流程的图。图7是表示使用本实施方式的印刷方法进行印刷的情况下的印刷图案的一例的示意图。在图7中，对与图1共同的结构要素标注相同的符号。

图6A所示的印刷装置1是执行图6B所示的印刷方法的喷墨方式的印刷装置。如图6A所示，印刷装置1具有从多个喷嘴喷出墨液的液滴的喷墨头10和控制喷墨头10的控制部20。

另外，虽然省略了图示，但作为硬件，控制部20例如具有CPU(Central ProcessingUnit：中央处理器)、存储有计算机程序的ROM(Read Only Memory：只读存储器)、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)以及通信电路等。后述的控制部20的功能通过CPU执行从ROM读出的计算机程序来实现。

如图7所示，喷墨头10例如具备N1～N21的喷嘴。

控制部20控制喷墨头10，使得依次执行图6B所示的第一液滴涂敷工序S301、第二液滴涂敷工序S302。

如图7所示，第一液滴涂敷工序S301是为了制作成为用于液滴固着的基础(anchor)的点而将第一液滴203涂敷在基板101的工序。在该工序中，控制部20控制喷墨头10，使得将第一液滴203涂敷在基板101。

第二液滴涂敷工序S302是在第一液滴涂敷工序S301之后，如图7所示，在基板101的设定区域204内涂敷第二液滴205的工序。在该工序中，控制部20控制喷墨头10，使得第二液滴205涂敷在设定区域204内。

以下，对第一液滴涂敷工序S301以及第二液滴涂敷工序S302的详细情况进行说明。

<第一液滴涂敷工序>

对第一液滴涂敷工序S301的详细情况进行说明。

工业生产中通常使用的基板(例如显示器用的玻璃基板等)不具有墨液容纳性。在通过喷墨方式对这样的基板涂敷液滴的情况下，之后涂敷在基板的液滴与先涂敷在基板的相邻的液滴结合、吸收，会产生未涂敷在适当的位置这样的现象。

当由于上述现象而使单元内的液滴的分布变化时，墨液固化后的膜厚分布会产生差异，出现不均匀。例如，在仅进行后述的第二液滴涂敷工序S302的情况下，通过后述的设定区域204(参照图7)中使用的喷嘴，在相邻的液滴之间，之后喷出的液滴被先喷出的液滴吸收，在单元内的液滴分布中会产生偏差，从而产生不均匀。

在本实施方式中，通过在第二液滴涂敷工序S302之前进行第一液滴涂敷工序S301来防止上述的不均匀。如上所述，在第一液滴涂敷工序S301中，如图7所示，将第一液滴203涂敷在基板101。第一液滴203与在第二液滴涂敷工序S302中涂敷的第二液滴合体。其结果是，能够使基板101中的液滴的分布整体上均匀化。以下，将在第二液滴涂敷工序S302中涂敷的液滴作为第二液滴205。

由于液滴难以在单元的端部扩散，因此，第一液滴203位于单元的至少一个端部为好。优选在单元的对角线上的两个端部涂敷第一液滴。进而，也可以是拐角四处的端部。

如图7所示，第一液滴203分别在单元102a～102c、103a～103c、104a～104c中被涂敷在相同的位置、即固定的位置。

由于第一液滴203与第二液滴205合体而形成涂敷膜，因此优选与第二液滴205的材料亲和性高的材料。

但是，在产品的品质方面，在难以使用与第二液滴205不同的材料的情况下，第一液滴203由与第二液滴205相同的材料构成。

作为第一液滴203以及第二液滴205的材料，例如可以举出将有机EL材料溶解在溶剂中，并将粘度调整到10CP左右的墨液。

对液滴(第一液滴203、第二液滴205)与单元(单元102a～102c、103a～103c、104a～104c)的大小的关系进行说明。

例如，以制造55英寸的4K显示器的情况为例，单元的尺寸为宽度250μm、高度100μm、进深2μm，单元的体积为50000μm³＝50pl。在该尺寸的单元内以填充率80％为目标，在每1滴喷出7pl的液滴的情况下，向单元内喷出六滴左右的液滴。

在有机EL显示器的情况下，在我们的实验中可知若膜厚变化1.6％则能够视觉辨认出亮度不均。因此，在专利文献1的方法中，若填充于单元内的液滴的体积相对于从喷嘴喷出的液滴的体积达不到50倍以上的比率，则不是有效的。针对于此，在本发明的方式中，能够在填充于单元内的液滴的体积相对于从喷嘴喷出的液滴的体积为1倍至50倍左右的范围内进行使用。

但是，为了采用上述涂敷方法，一个单元需要最低三个液滴(3倍)。此外，若从单元的宽度考虑，则需要四个液滴的量(4倍)。其结果是，至少需要3倍以上，并且4倍以上为好。优选5倍以上。而且至50倍左右为止。

此外，若第一液滴203的体积比第二液滴205的体积大，则第一液滴203成为支配性的地位，第二液滴涂敷工序S302的效果降低。因此，第一液滴203的体积被调整为第二液滴205的体积以下。

接着，对第一液滴203的配置方法进行说明。

若第一液滴203彼此接触，相互结合、吸收，则第二液滴205的位置会产生偏差，得不到第一液滴203的效果。因此，为了避免第一液滴203彼此的接触，第一液滴203配置成使下述式(1)的关系成立。

L＞Rmax1+Rmax2 (1)

在上述式(1)中，L是相邻的两个第一液滴203的中心间的距离，Rmax1、Rmax2是最大润湿扩展距离(参照图8～图10)。

最大润湿扩展距离是指在连接一个第一液滴203的中心和另一个第一液滴203的中心的方向上第一液滴203润湿扩展的最大距离。最大润湿扩展距离随时间变化。因此，自喷墨头10喷出的第一液滴203在从着落于基板101的瞬间到稳定至稳定状态为止的时间之间最大限度地润湿扩展时的距离，被设定为最大润湿扩展距离。

接着，以下使用图8、图9A、图9B、图10A、图10B对将第一液滴203涂敷于平面、凹凸面的情况的各例进行说明。

首先，对图8所示的涂敷例进行说明。图8是表示在基板101的平面部涂敷有两个第一液滴203的状态的示意图。

图8所示的两个第一液滴203彼此相邻。此外，润湿扩展范围203a是第一液滴203着落在基板101时润湿扩展的范围。

从图8所示的润湿扩展范围203a为圆形的情况可知，第一液滴203在着落于基板101的平面部的情况下，在所有方向上相等地润湿扩展。因此，Rmax1以及Rmax2与第一液滴203最大限度地润湿扩展时的半径相等。因此，图8所示的L被设定为第一液滴203最大限度地润湿扩展时的半径的2倍以上。例如，图8所示的L是基于关于第一液滴203彼此有无结合的实验、模拟的结果而设定的。

接着，对图9A以及图9B所示的涂敷例进行说明。图9A是表示在形成于基板101的凹部105内涂敷了两个第一液滴203的状态的示意图。图9B是图9A的A-A剖视图。

如图9A、图9B所示，凹部105形成为大致长方体状。凹部105的容积大于两个第一液滴203的体积。凹部105例如是显示器的单元(例如，图7所示的单元102a～102c、103a～103c、104a～104c)。

在这样的凹部105的内部涂敷液滴的情况下，液滴难以扩展到单元的端部，因此如图9A所示，在单元的端部涂敷第一液滴203。此时，以下述式(2)、(3)的关系成立的方式配置从凹部105的端部到第一液滴203的中心的距离。

D1、D2≤Rmax1 (2)

D3、D4≤Rmax2 (3)

在上述式(2)中，D1是凹部105的左上角与第一液滴203的中心的距离，D2是凹部105的左下角与第一液滴203的中心的距离。此外，在式(3)中，D3是凹部105的右上角与第一液滴203的中心的距离，D4是凹部105的右下角与第一液滴203的中心的距离。

在以满足上述式(2)、(3)的方式喷出第一液滴203的情况下，如图9B所示，润湿扩展范围203a被凹部105的端部限制。因此，如图9A所示，第一液滴203朝向凹部105的中央部分润湿扩展。其结果是，图9A所示的Rmax1以及Rmax2比图8所示的Rmax1以及Rmax2大。因此，图9A所示的L被设定为比图8所示的L大的值。例如，图9A所示的L是基于关于第一液滴203彼此有无结合的实验、模拟的结果而设定的。

如上所述，凹部105的容积大于两个第一液滴203的体积，凹部105的形状不是圆柱状。在这样的情况下，第一液滴203难以侵入凹部105的端部(角部)。因此，优选地，在凹部105的端部涂敷(配置)第一液滴203。此外，优选地，在凹部105内能够以不相互接触的方式配置三个以上的第一液滴203的情况下，在凹部105的两端部配置第一液滴203，并等间隔地配置它们之间的第一液滴203。

接着，对图10A及图10B所示的涂敷例进行说明。图10A是表示覆盖形成于基板101的凹部106而涂敷了第一液滴203的状态的示意图。图10B是图10A的B-B剖视图。

如图10A、图10B所示，凹部106形成为圆柱状。凹部106的容积小于两个第一液滴203的体积。凹部106例如是接触孔。

在这样的凹部106设置于基板101的情况下，如图10A所示，对凹部106喷出多个第一液滴206。

此时，以下述式(4)的关系成立的方式配置从凹部106的中心到第一液滴206a、206b的中心的距离。

D1、D2≤Rmax1 (4)

在上述式(4)中，D1是凹部106的中心与第一液滴206a的中心的距离，D2是凹部106的中心与第一液滴206b的中心的距离。

由此，凹部106被第一液滴206填满。

此时，第一液滴206a、206b从凹部106溢出，在基板101的表面上润湿扩展。图10A、图10B所示的润湿扩展范围206c是第一液滴206a、206b润湿扩展的范围。

因此，基板101的平面部的润湿扩展范围203a、206c与凹部106的容积以及第一液滴206的喷出次数对应地变化。因此，设定图10A所示的L以及第一液滴206的喷出次数，使得第一液滴203的润湿扩展范围203a与第一液滴206a、206b的润湿扩展范围206c不接触。例如，图10A所示的L是基于关于第一液滴203和第一液滴206彼此有无结合的实验、模拟的结果而设定的。

在此，作为凹部106的接触孔的内侧容易变得未润湿，因此，先用第一液滴206来填埋。如果将第一液滴206向凹部106的中心注入两滴，则能够填满作为接触孔的凹部106，但由于印刷扫描方向的分辨率、喷嘴间距的制约，难以瞄准凹部106的中心。因此，作为凹部106的接触孔的中心被设定在第一液滴润湿扩展的范围内来进行涂敷。

<第二液滴涂敷工序>

对第二液滴涂敷工序S302的详细情况进行说明。

如上所述，第二液滴涂敷工序S302是在第一液滴涂敷工序S301之后进行的，如图7所示，是在基板101的设定区域204内涂敷第二液滴205的工序。

如图7所示，设定区域204分别在单元102a～102c、103a～103c、104a～104c中设定在相同的单元上的位置。

首先，使用图11对图7所示的设定区域204进行说明。图11是将图7所示的多个设定区域204中的一个放大表示的图。

在图11的例子中，对设定区域204设定有喷嘴组207。喷嘴组207是指能够对设定区域204喷出第二液滴205的喷嘴。在图11的例子中，喷嘴组207中包含N1～N4这四个喷嘴。

在第二液滴涂敷工序S302中，从喷嘴组207中随机地选择一个喷嘴而使用。例如，在选择了N1的喷嘴并从该喷嘴喷出了第二液滴205的情况下，如图11所示，第二液滴205被涂敷在设定区域204。

此外，在第二液滴涂敷工序S302中，基于预先生成的随机数表，按每个设定区域204选择要使用的喷嘴。因此，例如，如图7所示，即使单元102a、102b、102c各自的设定区域204的配置相同，所选择的喷嘴的组合也不同。例如，在图7中，在单元102a的设定区域204中，选择N1、N2、N5、N5的喷嘴，在单元102b的设定区域204中，选择N1、N3、N4、N4的喷嘴，在单元102c的设定区域204中，选择N2、N2、N4、N5的喷嘴。即，按照每个单元选择喷嘴，使得设定区域204内的第二液滴205的涂敷位置(着落位置)变化。

另外，随机地选择的喷嘴的数量并不限定于一个。也可以与所需的液滴的量对应地随机地选择两个以上的喷嘴。

接着，使用图7对设定区域204的设定方法进行说明。

作为例子，说明在图7的单元102a中对设定区域204进行设定的情况。

首先，通过下式(2)求出填充单元102a内所需的墨液的体积V。在式(2)中，S是单元102a的面积，T是目标膜厚。

V＝S×T (2)

接着，通过以下的式(3)求出单元102a内的第二液滴205的个数Nrand。在式(3)中，V是由上述式(2)计算出的填充单元102a内所需的墨液的体积。此外，在式(3)中，Vanc是第一液滴203的平均体积，Nanc是单元102a内的第一液滴203的个数，Vrand是第二液滴205的平均体积。

Nrand＝(V-Vanc×Nanc)/Vrand (3)

接着，以满足以下的式(4)的方式对设定区域204进行设定。在式(4)中，Nrand是由上述式(3)计算出的单元102a内的第二液滴205的个数。此外，在式(4)中，N是能够在设定区域204内喷出的喷嘴数。

N＞Nrand (4)

在此，使用图11对一个单元内的N与设定区域204的关系进行说明。

图11表示在设定区域204内存在一滴第二液滴205的状态。此外，图11表示能够在设定区域204内喷出的喷嘴是喷嘴组207所包含的N1、N2、N3、N4这四个喷嘴。

为了通过随机地变更所使用的喷嘴来发挥效果，如图11所示，设定区域204沿喷嘴的排列方向(图中的左右方向)被设定。

在图7中，为了满足上述式(4)，在各单元内设定有多个使用图11说明的设定区域204。另外，优选地，能够在设定区域204内喷出的喷嘴数N为Nrand的两倍以上的数。

此外，优选地，从膜厚均匀性的观点出发，设定区域204的位置设定为设定区域204中的第二液滴205的着落位置与第一液滴203的着落位置不重叠。但是，在不能充分确保第二液滴205的着落位置的情况下，也可以将第一液滴203的着落位置和设定区域204重叠来设定。

以上，对第一液滴涂敷工序S301以及第二液滴涂敷工序S302的详细情况进行了说明。

在图7中，在一个单元中存在四个设定区域204。此外，设定区域204有两个液滴的量、三个液滴的量这两种。这是为了增加在单元内使用的喷嘴的组合模式而设为多个种类。

设置了用两个喷嘴进行一个液滴喷出的设定区域204和用三个喷嘴进行一个液滴喷出的设定区域204。

<评价>

接着，使用图12对进行了图6B所示的印刷方法的结果进行说明。

图12是表示使用图2所示的喷出体积的喷嘴，通过图6B所示的印刷方法形成图7所示的印刷图案的情况下的各单元(像素)的填充体积的表。

图12所示的单元102a、102b、102c各自的填充体积并未如图3所示的单元102a、102b、102c各自的填充体积那样均匀。这是因为针对每个单元随机地对设定区域204进行设定，因此填充体积按照每个单元而变化。因此，未发生使用图3说明的条纹不均。

此外，如上所述，在图6B所示的印刷方法中，与专利文献1的印刷方法不同，并未按每个单元而使进行液滴的喷出的喷嘴的数量不同。因此，单元间的填充体积的差成为一个液滴的量的喷出量以下。

例如，如图12所示，单元102b的填充体积为42.5pl，与此相对，单元102a的填充体积为42.0pl，它们的差为2％以下。如上所述，在专利文献1的印刷方法中会产生20％左右的体积差，因此，在本实施方式的印刷方法中能够使填充体积的差相当小。因此，例如，在有机EL显示器的发光层中，每个单元的发光量的差变小，因此，成为没有粒状感的画质，显示质量不会劣化。

如上所述，在本实施方式中，即使在从喷墨头的喷嘴的墨液喷出量(喷出体积)相对于按每个像素所需的墨液填充量(填充体积)相对大的情况下，也能够降低由每个喷嘴的体积偏差导致的印刷不均(例如条纹不均)，从而能够提高产品成品率。

此外，在使用本实施方式的印刷方法制造有机EL显示器的情况下，能够提高显示器的发光层、密封膜的印刷品质。

另外，本实施方式的印刷方法不仅适用于在基板的单元内涂敷液滴的情况，也可以适用于在基板的平面形成膜的情况或形成覆盖基板的凹凸面的膜的情况。在这种情况下，例如，也可以通过在印刷扫描方向上设置多个喷墨头10或喷墨头10的喷嘴，反复进行图6所示的工序。由此，能够缩短用于使膜表面的凹凸均匀的调平时间，从而能够缩短生产节拍。

另外，本公开并不限定于上述实施方式的说明，在不脱离其主旨的范围内能够进行各种变形。

例如，在上述实施方式中，以存在单元为前提进行了说明，但本公开也能够适用于没有单元的情况。即，在基板101上形成全面膜(均质的一个膜)的情况下也能够使用。

例如，在基板101上的整个面形成一个膜的情况下，能够使用上述的本公开的方法。在这种情况下，虽然不存在单元，但设为存在多个虚拟单元来使用上述的本公开的方法。

另外，虚拟单元是指实际上不存在而假设有单元的情况下的虚拟单元。如果将虚拟单元的数量设定得多，并将各虚拟单元的尺寸设定得小，则能够形成更均质的膜。向虚拟单元内涂敷液滴，但最终液滴会扩展，整体连接而成为一个平坦的膜。

该方式能够生成在平面上没有不均的均匀膜，因此能够用于例如形成钙钛矿太阳能电池等涂敷型太阳能电池的空穴输送层、有机半导体活性层、电子输送层等的膜。

该方法在液滴201的粘度高的情况下特别有效。这是因为即使没有单元，液滴201扩展的范围也有限。

另外，在实施方式中，如图7所示，涂敷在单元的液滴的大小比图1、图4的液滴小。在实施方式中，虽然液滴小，但通过上述第一液滴、第二液滴的涂敷，能够形成均质的膜。

产业上的可利用性

本公开的印刷方法以及印刷装置对通过喷墨方式在对象物涂敷液滴的所有技术是有用的。

Claims (12)

1.一种印刷方法，从喷墨头的喷嘴喷出液滴，在印刷对象介质的多个单元涂敷所述液滴，所述印刷方法包括：

第一液滴涂敷工序，在所述多个单元，在所述单元内的固定的位置涂敷第一液滴；和

第二液滴涂敷工序，在一个所述单元内设定了多个的设定区域涂敷第二液滴，

在所述第二液滴涂敷工序中，按每个所述单元改变所述第二液滴的涂敷位置。

2.根据权利要求1所述的印刷方法，其中，

在所述第一液滴涂敷工序中，将所述第一液滴涂敷在所述单元的至少一个端部。

3.根据权利要求1所述的印刷方法，其中，

在所述第一液滴涂敷工序中，将多个所述第一液滴涂敷在设置于所述印刷对象介质的凹部。

4.根据权利要求1所述的印刷方法，其中，

所述设定区域是所述第一液滴的涂敷位置以外的区域。

5.根据权利要求1所述的印刷方法，其中，

所述多个单元中的所述第一液滴的涂敷位置是相同的。

6.根据权利要求1所述的印刷方法，其中，

所述多个单元中的所述设定区域的位置是相同的。

7.根据权利要求1所述的印刷方法，其中，

所述多个单元为多个虚拟单元。

8.根据权利要求1所述的印刷方法，其中，

所述第一液滴的体积为所述第二液滴的体积以下。

9.根据权利要求1所述的印刷方法，其中，

在一个所述单元涂敷多个所述第一液滴，但所述第一液滴彼此不接触。

10.一种印刷装置，具有：

喷墨头，从喷嘴喷出液滴，使得在印刷对象介质的多个单元涂敷所述液滴；和

控制部，进行第一控制和第二控制，在所述第一控制中，控制所述喷墨头而使得在所述多个单元涂敷第一液滴，该第一液滴用于限制之后涂敷的第二液滴的流动，在所述第二控制中，控制所述喷墨头而使得在一个所述单元内设定了多个的设定区域涂敷所述第二液滴，

所述控制部在进行所述第二控制时，控制所述喷墨头而使得按每个所述单元改变所述第二液滴的涂敷位置。

11.一种EL的制造方法，

通过权利要求1的印刷方法来制造EL的层。

12.一种太阳能电池的制造方法，

通过权利要求1的印刷方法来制造太阳能电池的层。