KR100655874B1 - 묘화 방법, 묘화 장치 및 표시 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 화소 영역 전체에 확실하게 착탄 방울(shot drops)을 형성함을 과제로 한다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해, 기판(111)상의 복수의 화소 영역(105)에 묘화 장치(50)의 복수의 노즐(77)로부터 액체 방울(40)을 토출해서 복수의 착탄 방울(1)을 형성하는 공정을 구비한 묘화 방법으로서, 복수의 착탄 방울(1)을 형성하는 공정은 규정된 착탄 방울(1)의 주위에 거듭 복수의 착탄 방울(1)을 형성하는 공정을 포함한다.
묘화 방법, 표시 장치, 묘화 장치, 화소 영역, 착탄 방울, 액체 방울, 칼라 필터 재료

Description

묘화 방법, 묘화 장치 및 표시 장치{DRAWING METHOD, DRAWING APPARATUS AND DISPLAY APPARATUS}
도 1은 액체 방울을 화소 영역에 배치하는 실시예 1을 나타내는 모식도.
도 2는 액체 방울을 화소 영역에 배치하는 실시예 2를 나타내는 모식도.
도 3은 묘화 장치의 외관 사시도.
도 4는 실시예 1에서의 토출 헤드와 노즐의 배치를 나타내는 평면도.
도 5(a)는 토출 헤드의 구조를 나타내는 상세도, 도 5(b)는 노즐의 구조를 나타내는 단면도.
도 6은 묘화 장치의 제어부의 블럭도.
도 7(a)는 칼라 필터 표시 장치의 구성을 나타내는 단면도, 도 7(b)는 칼라 필터 표시 장치의 제조 장치를 나타내는 모식도.
도 8(a)는 칼라 필터의 화소 영역의 배치를 나타내는 평면도, 도 8(b)는 칼라 필터의 단면도.
도 9(a)는 일렉트로루미네선스(electroluminescence) 표시 장치의 구성을 나타내는 단면도, 도 9(b)는 일렉트로루미네선스 표시 장치의 제조 장치를 나타내는 모식도.
도 1O(a)는 플라즈마 표시 장치의 구성을 나타내는 단면도, 도 10(b)는 플라 즈마 표시 장치의 제조 장치를 나타내는 모식도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 착탄 방울(shot drops)
c1 ∼ c15 : 착탄 방울
c20 ∼ c35 : 착탄 방울
40 : 액체 방울
50 : 묘화 장치
77 : 노즐
100 : 칼라 필터 표시 장치
105 : 화소 영역
110 : 칼라 필터
200 : 일렉트로루미네선스 표시 장치
300 : 플라즈마 표시 장치
본 발명은 재료액(液)을 액체 방울의 상태로 토출하는 잉크젯에 의한 묘화 방법, 묘화 장치 및 표시 장치에 관한 것이다.
종래, 잉크젯 방식과 같은 묘화 장치에 의해 토출의 대상물인 기판상의 화소 영역에 칼라 필터용의 필터 재료 등을 형성하는 방법으로서, 칼라 필터를 구성하는 각각의 색의 화소 영역에 특허 문헌 1에 나타내는 패턴(pattern) 형성과 같이 액체 방울(칼라 필터 재료)을 일렬로 연속해서 배치하는 방법이 있다.
<특허문헌 1> 일본국 공개 특허 공보 평10-260307 (제3도)
그러나, 종래의 방법에서는 화소 영역의 주변부, 특히 코너부에 액체 방울이 충분하게 충만하지 않는다는 문제가 발생하고 있었다. 또한, 화소 영역과 각 화소 영역을 구획하는 경계층부 위에도 액체 방울을 연속 토출하고 있어, 각 화소 영역에서의 액체 방울 배치 패턴이 달랐다. 즉, 각 화소 영역의 색조가 균일하지 않고 얼룩이 발생하고 있었다.
그래서, 본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 화소 영역의 코너부까지 액체 방울이 충만하고, 각 화소 영역의 색조에 차이가 없는 액체 방울 배치가 가능한 묘화 방법, 묘화 장치 및 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 묘화 방법은 기판상의 복수의 화소 영역에 묘화 장치의 복수의 노즐로부터 액체 방울을 토출해서 복수의 착탄 방울을 형성하는 공정을 구비한 묘화 방법으로서, 복수의 착탄 방울을 형성하는 공정은 규정된 착탄 방울의 주위에 거듭 복수의 착탄 방울을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 묘화 방법에 의하면, 화소 영역에 있어서 착탄 방울이 퍼지기 어려운 부분에 대하여 거듭 착탄 방울을 추가 형성함으로써, 착탄 방울을 확실하게 화소 영역 전체에 퍼지게 할 수 있다. 이에 따라, 각 화소 영역이 얼룩이 없는 균일한 착 탄 방울으로 채워진다.
이 경우, 복수의 착탄 방울을 형성하는 공정은 규정된 착탄 방울을 화소 영역의 코너부 근방에 형성하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 퍼지기 어려운 착탄 방울을 화소 영역의 코너부의 착탄 방울으로 규정함으로써, 추가되는 착탄 방울의 배치가 명확해진다.
이 경우, 복수의 화소 영역은 복수의 노즐의 열과 평행하게 배치되고, 복수의 착탄 방울을 형성하는 공정은 복수의 노즐로부터 액체 방울을 토출해서 복수의 화소 영역에 거의 동시에 착탄 방울을 형성하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.
이들 구성에 의하면, 노즐과 각 화소 영역이 동일한 위치 관계로 연속하고 있어, 복수의 화소 영역에 거의 동시에 착탄 방울을 형성할 수 있다.
본 발명의 묘화 장치는 기판위에 경계층에 의해 구획된 복수의 화소 영역에 대하여 복수의 노즐로부터 액체 방울을 토출해서 복수의 착탄 방울을 형성하는 묘화 장치로서, 규정된 착탄 방울의 주위에 거듭 복수의 착탄 방울을 형성하는 것을 특징으로 한다.
이 묘화 장치에 의하면, 규정된 착탄 방울의 주위에 착탄 방울을 추가 형성할 수 있어, 다양한 형상의 화소 영역에 대하여 유연하게 착탄 방울을 배치하는 것이 가능하다.
이 경우, 복수의 노즐은 복수의 화소 영역과 평행하게 배치되고 있어, 복수의 화소 영역에 대하여 동시에 착탄 방울을 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 노즐과 화소 영역은 평행하게 연장하고 있고, 따라서 복 수의 노즐로부터 복수의 화소 영역에 동시에 착탄 방울을 형성할 수 있어, 효율이 좋은 착탄 방울 배치를 할 수 있다.
본 발명의 표시 장치는 상기의 묘화 방법 혹은 묘화 장치에 의해, 화소 영역에 필터 재료 또는 형광 재료가 설치된 것을 특징으로 한다.
상술한 묘화 방법 또는 묘화 장치를 이용하여 화소 영역에 필터 재료의 착탄 방울 또는 형광 재료의 착탄 방울을 형성하므로, 표시 장치의 화소 영역에 효율적으로 필터 재료 또는 형광 재료가 설치된다. 또한, 화소 영역마다의 착탄 방울 배치의 편차도 없고, 양호한 표시를 제공할 수 있는 표시 장치를 얻을 수 있다.
이하에, 첨부된 도면을 참조해서 본 발명의 묘화 방법을 설명한다. 이 묘화 방법은 공지의 칼라 필터 등의 화소 영역에 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 필터 재료를 후술하는 묘화 장치의 노즐로부터 액체 방울로서 토출하는 방법이다. 여기에서는 칼라 필터의 화소 영역을 예로서 설명한다. 도 8(b)에 나타나 있는 바와 같이, 칼라 필터(110)는 투명한 필터 기판(111)과, 필터 기판(111)의 한쪽 면에 격자 모양으로 형성되어 있는 경계층(112)과, 경계층(112)에 의해 구획되고 필터 재료가 도포되어 있는 화소 영역(105R, 105G, 105B)과, 경계층(112)과 필터 재료를 덮는 오버코트(overcoat)층(114)을 구비하고 있다.
화소 영역(105)은 일례로서 도 8(a)에 나타나 있는 바와 같이, 평면 형상이 사각형이 되도록 경계층(112)에 의해 구획되어 있다. 또한, 각 화소 영역(105)의 장변(長邊) 방향이 Y축 방향과 평행하다. 그리고, 복수의 적색(R)의 화소 영역(105R)이 줄지어 Y축 방향으로 연장하고, 복수의 녹색(G)의 화소 영역(105G)의 열( 列)이 적색(R)의 화소 영역(105R)의 열과 이웃해서 Y축 방향으로 연장하고 있다. 마찬가지로 녹색(G)의 화소 영역(105G)의 열의 이웃에 청색(B)의 화소 영역(105B)의 열이 연장하고, 적색(R) 녹색(G) 청색(B)의 순으로 반복하여 화소 영역(105)의 열이 형성되어 있다.
<실시예 1>
본 발명의 묘화 방법에 의해, 칼라 필터(110)의 화소 영역(105)에 필터 재료를 묘화 장치의 노즐로부터 액체 방울로서 토출해서 도포하는 방법에 대해서 설명한다. 칼라 필터(110)에 있어서, 도 1에 나타나 있는 바와 같이 필터 기판(111)위에 적색(R)의 필터 재료가 도포되는 화소 영역(105R)의 열이 배치되어 있다. 묘화 장치에 있어서는, 토출 헤드(68)에 Y축 방향과 평행한 2열의 노즐 열(78, 79)로서, 노즐(77)이 배치되어 있다. 노즐 열(78)과 노즐 열(79)의 노즐(77)은 서로 Y축 방향으로 어긋나게 배치되고 있고, 토출 헤드(68)의 Y축 방향의 노즐 피치는 P이다. 이 노즐(77)이 피치 P로 Y축 방향으로 연속해서 연장하도록 복수의 토출 헤드(68)가 Y축 방향으로 배치되어 있다.
이 구성에 의해, 화소 영역(105R)이 토출 헤드(68)의 바로 아래에 위치하도록 화소 영역(105R)과 토출 헤드(68)의 어느 쪽인가가 상대 이동하고, 노즐 열(78, 79)의 노즐(77)로부터 적색 필터 재료의 액체 방울(40)이 화소 영역(105R)에 토출되어서, 화소 영역(105R)에 착탄 후, 액체 방울(40)의 체적에 따른 착탄 방울(1)이 된다. 예를 들면, 노즐 열(78)의 노즐 n2로부터 토출된 액체 방울(40)은 화소 영역(105R)에 착탄해서 착탄 방울 c2가 된다. 마찬가지로 노즐 열(79)의 노즐 n3로부터 토출된 액체 방울(40)은 화소 영역(105R)에 착탄하여 착탄 방울 c3가 된다. 이렇게 복수의 착탄 방울(1)에 의해 화소 영역(105R)에 적색의 필터 재료가 도포된다.
이 착탄 방울(1)의 외주 지름의 크기는 노즐(77)로부터 토출되는 액체 방울(40)의 체적 및 표면 장력과, 액체 방울(40)과 필터 기판(111)의 면 접촉각에 의해 결정된다. 따라서, 착탄 방울(1)의 외주 지름은 액체 방울(40)의 체적을 바꿈으로써 여러가지로 설정할 수 있고, 다양한 크기의 화소 영역(105)에 최적인 착탄 방울(1)을 배치할 수 있다. 액체 방울(40)의 체적은 0pl ∼ 42pl 사이에서 가변이다. 필터 기판(111)이 유리재인 경우, 필터 재료와 유리의 면 접촉각은 15도이며, 액체 방울(40)의 체적이 6pl(피코 리터)라고 하면, 착탄 방울(1)의 외주 지름은 60μm가 된다. 액체 방울(40)의 체적이 26pl라고 하면, 착탄 방울(1)의 외주 지름은 1OOμm가 된다.
여기에서, 필터 재료의 도포의 일례에 대해서 간단하게 설명한다. 우선, 화소 영역(105R)의 단변(短邊) 방향의 거의 중앙 위치에 착탄 방울 c1, c2, c3의 순으로, 예를 들면 c7까지 7개의 착탄 방울(1)을 장변 방향에 따라 일렬로 배치하는 방법이 있다. 각 착탄 방울(1)은 서로 서로 섞여서 단독으로의 확산 범위보다 많이 넓어져서, 화소 영역(105R)을 충만시키는 설정이다. 그러나, 사각형의 화소 영역(105R)의 4개의 코너부에는 코너부에 가까운 착탄 방울 c1 및 c7만으로는 충분하게 필터 재료가 충만하기 어렵다. 충만 불량의 화소 영역(105R)은 적색 필터 재료가 도포되지 않는 부분이 남고, 부분적으로 적색 표시가 없는 불선명한 영역이 된다. 또한, 다른 화소 영역(105R)과의 적색의 밸런스도 갖추어지지 않게 된다. 녹색(G), 청색(B)의 화소 영역(105G, 105B)에 관해서도 동일한 현상이 생긴다.
본 실시예에서는 필터 재료가 충만하기 어려운 화소 영역(105R)의 코너부에 복수의 착탄 방울(1)을 배치한다. 또한, 본 실시예에서는 피치 P의 노즐(77)의 배치를 기준으로 해서 화소 영역(105R)의 크기를 설정하고 있다. 구체적으로는, 액체 방울(40)의 체적, 즉 액체 방울(40)에 의한 착탄 방울(1)의 외주 지름과 착탄 방울(1)의 배치 수로부터 화소 영역(105R)을 설정한다. 이에 따라, 노즐(77)로부터 효율적으로 액체 방울(40)을 화소 영역(105R)에 배치할 수 있다.
여기에서는, 토출 헤드(68)의 Y축 방향의 노즐 피치(P)를 60μm, 노즐 열(78)과 노즐 열(79)의 간격을 80μm로 하고, 토출 헤드(68)로부터 토출되는 액체 방울(40)의 체적을 6pl로 설정한다. 또한, 필터 기판(111)이 유리재이므로, 6pl의 체적의 액체 방울(40)에 의한 착탄 방울의 외주 지름(φ)은 60μm가 된다. 화소 영역(105R)의 장변 방향(Y축 방향)에, 예를 들면 7 방울의 액체 방울(40)을 각각이 접하도록 배치할 경우, 화소 영역(105R)의 장변의 길이는 420μm이다. 또한, 단변 방향(X축 방향)에 3 방울이 서로 20μm씩 겹치는 배치의 경우, 화소 영역(105R)의 단변의 길이는 140μm이다. 경계층(112)의 폭은 착탄 방울의 외주 지름과 같은 60μm이다. 이 크기의 화소 영역(105R)이 경계층(112)을 경계로 해서 Y축 방향으로 복수 배치되고 있다. 녹색(G), 청색(B)의 화소 영역(105G, 105B)에 관해서도 마찬가지로 배치되어 있다.
이러한 화소 영역(105)에 필터 재료를 도포하는 묘화 방법에 대해서 설명한다. 최초에는, 적색(R)의 필터 재료가 도포되는 화소 영역(105R)이 토출 헤드(68) 의 바로 아래에 위치하도록 화소 영역(105R)과 토출 헤드(68)의 어느 쪽인가가 상대 이동하고, 노즐 n1 및 n7로부터 액체 방울(40)을 토출하여, 도 1의 화소 영역(105R)의 좌측 위 및 우측 위의 코너부에 각각 착탄 방울 c10, c12를 형성한다. 다음에, 토출 헤드(68)가 X축의 정방향으로 40μm 이동하고, 노즐 n1, n3, n5, n7로부터 액체 방울(40)을 토출하여 각각 착탄 방울 c1, c3, c5, c7을 형성한다. 착탄 방울 c1의 중심 위치(또는 X좌표)는 착탄 방울 c10의 중심 위치(X좌표)로부터 X축 방향으로 40μm 떨어져 있어, 착탄 방울 c10과 20μm 겹쳐 있는 상태이다. 착탄 방울 c7의 중심 위치(또는 X좌표)는 착탄 방울 c12의 중심 위치(X좌표)로부터 X축 방향으로 40μm 떨어져 있어, 착탄 방울 c12와 20μm 겹쳐 있는 상태이다. 착탄 방울 c3, c5는 착탄 방울 c1과 c7을 연결하는 Y축 선상에 간격을 두고 배치되어 있다.
토출 헤드(68)는 X축의 정방향으로 다시 40μm 이동하고, 노즐 n1, n7로부터 액체 방울(40)을 토출해서 착탄 방울 c11, c13을 형성한다. 착탄 방울 c11, c13은 착탄 방울c1, c7과 각각 20μm 겹쳐 있는 상태이다. 여기에서 토출 헤드(68)가 다시 40μm 이동해 노즐 n2, n4, n6로부터 액체 방울(40)을 토출해서 착탄 방울 c2, c4, c6을 형성한다. 착탄 방울 c2는 이미 착탄하고 있는 착탄 방울 c1과 c3의 사이에 배치되고, 착탄 방울 c4는 착탄 방울 c3과 c5의 사이에 배치되며, 착탄 방울 c6은 착탄 방울 c5와 c7의 사이에 배치된다. 또, 착탄 방울 c1, c3, c5, c7은 화소 영역(105R)의 장변에 평행한 선상이며 화소 영역(105R)의 단변을 이분하는 선상에 거의 나열해 있다.
화소 영역(105R)에는 중앙부에 일렬로 나열한 c1 내지 c7의 7개의 착탄 방울 (1)과, 착탄 방울 c1, c7의 X축 방향의 양측에 하나씩의 착탄 방울 c10, c11, c12, c13이 도포되어 있다. 이렇게 액체 방울(40)이 충만하기 어려운 화소 영역(105R)의 코너부에 복수 방울의 착탄 방울(1)을 배치함으로써, 화소 영역(105R) 전체에 적색(R)의 필터 재료를 확실하게 도포할 수 있다.
다른 적색(R)의 화소 영역(105R)에 대하여도, 동시에 같은 착탄 방울(1)의 배치로 필터 재료를 도포한다. 노즐 n1 내지 n7에 의해 필터 재료가 도포되는 화소 영역(105R)의 이웃의 화소 영역(105R)에는, 노즐 n9를 비롯해서 7개의 노즐(77)에 의해, 마찬가지로 또한 동시에 필터 재료가 도포된다. 예를 들면, 노즐 n9는 노즐 n1이 착탄 방울 c10, c1, c11을 형성하는 것과 동기하여 착탄 방울 c14, c9, c15를 형성한다. 또한, 양화소 영역(105R, 105R) 사이의 경계층(112) 부분에 위치하는 노즐(77)은 폐쇄해서 토출을 중지하여 둔다. 노즐 n7과 n9 사이의 노즐 n8 등이 이 노즐에 해당한다. 이렇게 해서, Y축 방향의 적색(R)의 화소 영역(105R)에 일제히 필터 재료가 도포된다. 각 화소 영역(105R)에는 같은 배치로 착탄 방울(1)이 도포되므로, 편차가 없는 균일한 화소 영역(105R)을 얻을 수 있다.
화소 영역(105R)에의 착탄 방울(1)의 수, 착탄 방울(1)의 크기를 변화시킴으로써, 화소 영역(105R)의 크기를 용이하게 변경할 수 있다. 적색(R)의 화소 영역(105R)을 예로 들어 설명하였지만, 녹색(G), 청색(B)의 화소 영역(105G, 105B)에 관해서도 같다.
<실시예 2>
다음에, 같은 토출 헤드(68)를 이용하고, 피치 P를 작게 해서 보다 치밀하게 액체 방울(40)을 배치할 경우에 관하여 설명한다. 도 2에 나타나 있는 바와 같이, 이 경우, 피치 P의 노즐(77)을 가지는 2개의 토출 헤드(68a, 68b)를 피치 P의 2분의 1(Q)만큼 어긋나게 하여 평행하게 배치한다. 2개의 토출 헤드(68a, 68b) 각각은 실시예 1의 1개의 토출 헤드(68)에 해당한다.
여기에서는, 토출 헤드(68a, 68b)의 Y축 방향의 노즐 피치(P)가 60μm이며, 양 토출 헤드(68a, 68b)를 하나의 토출 헤드 군이라고 하면, 노즐 피치(Q)는 30μm이다. 각 헤드 열의 간격, 즉 토출 헤드(68a)의 노즐 열(78a)과 노즐 열(79a)의 간격, 토출 헤드(68b)의 노즐 열(78b)과 노즐 열(79b)의 간격, 및 노즐 열(78a)과 노즐(79b)의 간격은 80μm이다. 그리고, 토출 헤드 군으로부터 토출되는 액체 방울(40)의 체적은 4pl로 설정한다. 4pl의 체적의 액체 방울(40)에 의한 착탄 방울의 외주 지름(φ)은 40μm이다. 이 경우, 화소 영역(105)의 장변 방향(Y축 방향)의 길이는 8방울의 액체 방울(40)이 서로 10μm씩 겹치도록 배치된 길이에 필적하는 250μm이며, 단변 방향(X축 방향)은 3방울이 서로 15μm씩 겹치도록 배치된 길이에 필적하는 90μm가 된다. 경계층(112)의 폭은 서로 겹치지 않는 착탄 방울(1)의 외주의 최소 간격 20μm이다.
이 화소 영역(105)에 필터 재료를 도포하는 묘화 방법은 최초에, 필터 재료가 도포되는 화소 영역(105)이 토출 헤드(68a)의 바로 아래에 위치하도록 화소 영역(105)과 토출 헤드(68)의 어느 쪽인가가 상대 이동하고, 노즐 n1로부터 액체 방울(40)을 토출하여 도 2의 화소 영역(105)의 좌측 위쪽의 코너부에 착탄 방울 c30을 형성한다. 다음에, 토출 헤드 군이 X축의 정방향으로 25μm 이동하고, 토출 헤 드(68a)의 노즐 n1, n3으로부터 액체 방울(40)을 토출하여, 각각 착탄 방울 c20, c24를 형성한다. 착탄 방울 c20의 중심 위치(또는 X좌표)는 착탄 방울 c30의 중심 위치(X좌표)로부터 X축 방향으로 25μm 떨어져 있어, 착탄 방울 c30과 15μm 겹치고 있다. 토출 헤드(68a)는 X축의 정방향으로 25μm 이동하고, 노즐 n1로부터 액체 방울(40)을 토출해서 착탄 방울 c31을 형성한다. 착탄 방울 c31은 착탄 방울 c20과 15μm 겹친 상태에 있다. 여기에서 토출 헤드(68a)가 다시 55μm 이동해 노즐 n2, n4로부터 액체 방울(40)을 토출해서 착탄 방울 c22, c26을 형성한다. 계속해서 토출 헤드 군이 80μm 이동해서 토출 헤드(68b)의 노즐 m1, m3에 의해 착탄 방울 c21, c25가 형성된다. 이어서 토출 헤드(68b)가 55μm 이동해서 노즐 m4에 의해 화소 영역(105)의 우측 위쪽의 코너부에 착탄 방울 c32가 형성되고, 다시 25μm 이동해서 노즐 m2, m4에 의해 착탄 방울 c23, c27이 형성된다. 마지막으로 25μm 이동해서 노즐 m4에 의해 착탄 방울 c33이 형성된다. c27은 c32와 c33에 각각 15μm 겹친 상태이다. 또한, c21 내지 c26은 c20과 c27을 연결하는 Y축 선상에 각각 10μm 겹쳐서 순서대로 배치되어 있다. 또, 착탄 방울 c20, c21, c22, c23, c24, c25, c26, c27은 화소 영역(105R)의 장변에 평행한 선상이며 화소 영역(105R)의 단변을 이분하는 선상에 거의 나열해 있다.
경계층(112)을 경계로 한 Y축 방향의 이웃의 화소 영역(105)도 각 노즐(77)을 제어함으로써, 같은 패턴으로 착탄 방울(1)을 배치할 수 있다. 또한, 코너부에 착탄 방울(1)을 배치한 노즐 m4의 이웃의 노즐 n5는 경계층(112) 부분에 있기 때문에 폐쇄해서 액체 방울(40)을 토출하지 않는다. 노즐 n5의 이웃의 노즐 m5를 비롯 해서 8개의 노즐(77)에서 다음 화소 영역(105)을 형성한다. 노즐 m4와 m5가 각각 형성한 착탄 방울 c32와 c34의 외주부 간격은 20μm이며, 이 간격이 경계층(112)의 폭이다.
이렇게, 토출 헤드(68)의 조합을 병용함으로써, 노즐 피치를 작게 할 수 있고,보다 치밀한 착탄 방울(1)의 구성이 가능하게 된다. 이 경우도, 각 화소 영역(105)에는 같은 배치로 착탄 방울(1)이 도포되므로, 편차없는 균일한 화소 영역(105)을 얻을 수 있다.
다음으로, 이상에서 설명한 묘화 방법에 사용되는 묘화 장치에 대해서 상세하게 설명한다. 묘화 장치(50)는 도 3에 나타나 있는 바와 같이, 액체 방울(40)을 토출하는 헤드부(60)를 가지는 헤드 기구부(52)와, 헤드부(60)로부터 토출된 액체 방울(40)의 토출 대상인 워크(work)(70)를 구비한 워크 기구부(53)와, 헤드부(60)에 재료액(93)을 공급하는 재료액 공급부(54)와, 이들 각 기구부 및 공급부를 총괄적으로 제어하는 제어부(55)를 가진다.
묘화 장치(50)는 바닥 위에 설치된 복수의 지지 다리(legs)(56)와 지지 다리(56)의 상측에 설치된 정반(surface table)(57)을 구비하고 있다. 정반(57)의 상측에는 워크 기구부(53)가 정반(57)의 길이 방향(X축 방향)으로 연장하도록 배치되어 있고, 워크 기구부(53)의 상방에는 정반(57)에 고정된 2개의 기둥으로 양쪽으로 지지되어 있는 헤드 기구부(52)가 워크 기구부(53)와 직교하는 방향(Y축 방향)으로 연장해서 배치되어 있다. 또한, 정반(57)의 한쪽 단부 위에는 헤드 기구부(52)의 헤드부(60)로부터 연통하여 재료액(93)을 공급하는 재료액 공급부(54)가 배치되어 있다. 게다가, 정반(57)의 하측에는 제어부(55)가 수용되어 있다.
헤드 기구부(52)는 재료액(93)을 토출하는 헤드부(60)와, 헤드부(60)를 탑재한 캐리지(61)와, 캐리지(61)의 Y축 방향으로의 이동을 안내하는 Y축 가이드(63)와, Y축 가이드(63)의 하측에 Y축 방향으로 설치된 Y축 볼 나사(65)와, Y축 볼 나사(65)를 정역(正逆) 회전시키는 Y축 모터(64)와, 캐리지(61)의 하부에 있고, Y축 볼 나사(65)와, 나사 결합해서 캐리지(61)를 이동시키는 암나사부가 형성된 캐리지 나사 결합부(62)를 구비하고 있다.
워크 기구부(53)는 헤드 기구부(52)의 하방에 위치하고, 헤드 기구부(52)와 거의 동일한 구성으로 X축 방향으로 배치되어 있고, 워크(70)와, 워크(70)를 재치하고 있는 재치대(mounting table)(71)와, 재치대(71)의 이동을 안내하는 X축 가이드(73)와, X축 가이드(73)의 하측에 설치된 X축 볼 나사(75)와, X축 볼 나사(75)를 정역 회전시키는 X축 모터(74)와, 재치대(71)의 하부에 있으며, X축 볼 나사(75)와 나사 결합해서 재치대(71)를 이동시키는 재치대 나사 결합부(72)를 구비하고 있다.
또한, 헤드 기구부(52) 및 워크 기구부(53)에는 도시하고 있지 않지만, 헤드부(60)와 재치대(71)의 이동한 위치를 검출하는 위치 검출 수단이 각각 갖추어져 있다. 또, 캐리지(61)와 재치대(71)에는 회전 방향(소위 Θ축)을 조정하는 기구가 합체되어져, 헤드부(60)의 중심을 회전 중심으로 한 회전 방향 조정 및 재치대(71)의 회전 방향 조정이 가능하다.
이들 구성에 의해, 헤드부(60)와 워크(70)는 각각 Y축 방향 및 X축 방향으로 왕복가능하게 이동할 수 있다. 우선, 헤드부(60)의 이동에 관하여 설명한다. Y축 모터(64)의 정역 회전에 의해 Y축 볼 나사(65)가 정역 회전하여, Y축 볼 나사(65)에 나사 결합하고 있는 캐리지 나사 결합부(62)가 Y축 가이드(63)를 따라 이동함으로써, 캐리지 나사 결합부(62)와 일체의 캐리지(61)가 임의의 위치로 이동한다. 즉, Y축 모터(64)의 구동에 의해 캐리지(61)에 탑재한 헤드부(60)가 Y축 방향으로 자유롭게 이동한다. 마찬가지로, 재치대(71)에 재치된 워크(70)도 X축 방향으로 자유롭게 이동한다.
이렇게, 헤드부(60)는 Y축 방향의 토출 위치까지 이동해서 정지하고, 하방에 있는 워크(70)의 X축 방향의 이동에 동조하여, 액체 방울(40)을 토출하는 구성으로 되어 있다. X축 방향으로 이동하는 워크(70)와, Y축 방향으로 이동하는 헤드부(60)를 상대적으로 제어함으로써, 워크(70) 위에 소정의 묘화 등을 실시할 수 있다.
다음으로, 헤드부(60)에 재료액(93)을 공급하는 재료액 공급부(54)는 헤드부(60)에 연통하는 유로를 형성하는 튜브(91a)와, 튜브(91a)에 재료액(93)을 송입하는 펌프(92)와, 펌프(92)에 재료액(93)을 공급하는 튜브(91b)와, 튜브(91b)에 연통하여 재료액(93)을 저장하는 탱크(90)를 가지고 있고, 정반(57) 상의 일단에 배치되어 있다.
재료액(93)의 보충 및 교환을 고려한다면, 탱크(90)는 정반(57)의 상측 혹은 하방에 설치하는 것이 바람직하지만, 배치상, 헤드부(60)의 상방에 설치할 수 있으면, 펌프(92) 없이 1개의 플렉시블(flexible) 튜브로 탱크(90)와 헤드부(60)를 연결하고, 중력에 의해 재료액(93)의 자연 공급이 가능하게 된다.
헤드부(60)는 도 4에 나타나 있는 바와 같이, 서로 같은 구조를 가지는 복수 의 토출 헤드(68)를 보유하고 있다. 여기에서, 도 4는 도 1에서 설명한 실시예 1의 경우의 헤드부(60)를 나타내고 있으며, 헤드부(60)를 재치대(71)측으로부터 관찰한 도면이다. 헤드부(60)에는 6개의 토출 헤드(68)로 이루어지는 열이, 각각의 토출 헤드(68)의 길이 방향이 Y축 방향에 대하여 평행하게 되도록, 이 경우 12개 배치되어 있다. 또한, 재료액(93)을 토출하기 위한 토출 헤드(68)는 각각이 토출 헤드(68)의 길이 방향으로 연장되는 2개의 노즐 열(78,79)을 가지고 있다. 1개의 노즐 열은 각각 180개의 노즐(77)이 동일한 간격으로 일렬로 나열된 열로서, 노즐 열(78)의 노즐(77)은 노즐 열(79)의 2개의 노즐(77)의 중간 위치에 어긋나서 배치되어 있다. 이웃하는 노즐(77)은 피치 P로 동일한 간격으로 배치되어 있고, 12개의 토출 헤드(68)는 각 토출 헤드(68)의 노즐(77)이 Y축 방향으로 피치 P로 연속해서 배치되어 있도록 X축 방향으로 계단 모양으로 설치되어 있다.
또한, 도 5(a), (b)에 나타나 있는 바와 같이, 각각의 토출 헤드(68)는 진동판(83)과 노즐 플레이트(84)를 구비하고 있다. 진동판(83)과 노즐 플레이트(84)의 사이에는 탱크(90)로부터 구멍(87)을 거쳐서 공급되는 재료액(93)이 항상 충전되는 저장고(85)가 위치하고 있다. 또한, 진동판(83)과 노즐 플레이트(84)의 사이에는 복수의 격벽(81)이 위치하고 있다. 그리고, 진동판(83)과 노즐 플레이트(84)와 한 쌍의 격벽(81)에 의해 둘러싸여진 부분이 캐비티(80)이다. 캐비티(80)는 노즐(77)에 대응하여 설치되어 있기 때문에, 캐비티(80)의 수와 노즐(77)의 수는 같다. 캐비티(80)에는 한 쌍의 격벽(81) 사이에 위치하는 공급구(86)를 거쳐 저장고(85)로부터 재료액(93)이 공급된다.
그리고, 진동판(83) 위에는 각각의 캐비티(80)에 대응하여 진동자(82)가 위치한다. 진동자(82)는 피에조 소자(piezoelectric element)(82c)와, 피에조 소자(82c)를 사이에 끼우는 한 쌍의 전극(82a, 82b)으로 이루어진다. 이 한 쌍의 전극(82a, 82b)에 구동 전압을 부여함으로써, 대응하는 노즐(77)로부터 재료액(93)이 액체 방울(40)이 되어서 토출된다. 칼라 필터(110)의 경우, 액체 방울(40)은 필터 기판(111)과 경계층(112)에 둘러싸여진 화소 영역(105)으로 토출되어서, R, G, B의 화소 영역(105R, 105G, 105B)을 형성한다.
다음으로, 이상에서 서술한 구성을 제어하는 제어부(55)에 대해서 도 6을 참고로 설명한다. 제어부(55)는 지령부(30)와 구동부(95)를 구비하고, 지령부(30)는 CPU(99), ROM, RAM 및 입출력 인터페이스(94)로 이루어지고, CPU(99)가 입출력 인터페이스(94)를 거쳐서 입력되는 각종 신호를 ROM, RAM의 데이타에 의거해 처리하고, 입출력 인터페이스(94)를 거쳐서 구동부(95)에 제어 신호를 출력하여, 각각을 제어한다.
구동부(95)는 헤드 드라이버(96), 모터 드라이버(97), 펌프 드라이버(98)로 구성되어 있다. 모터 드라이버(97)는 지령부(30)의 제어 신호에 의해 X축 모터(74), Y축 모터(64)를 정역 회전시켜, 워크(70), 헤드부(60)의 이동을 제어한다. 헤드 드라이버(96)는 토출 헤드(68)로부터의 재료액(93)의 토출을 제어하고, 모터 드라이버(97)의 제어와 동조하여, 워크(70) 위에 소정의 묘화을 행할 수 있도록 한다. 또한, 펌프 드라이버(98)는 재료액(93)의 토출 상태에 대응하여 펌프(92)를 제어하고, 토출 헤드(68)로의 재료액(93)의 공급을 최적으로 제어한다.
제어부(55)는 헤드 드라이버(96)를 거쳐서 복수의 진동자(82)의 각각에 서로 독립한 신호를 주도록 구성되어 있다. 이 때문에, 노즐(77)로부터 토출되는 액체 방울(40)의 체적은 헤드 드라이버(96)로부터의 신호에 따라서 노즐(77)마다 제어된다. 또한, 노즐(77)의 각각으로부터 토출되는 액체 방울(40)의 체적은 0pl ∼ 42pl의 사이에서 가변이며, 액체 방울(40)의 체적 및 착탄 방울의 외주 지름의 선정 폭을 넓게 취할 수 있는 장점이 있다.
다음으로, 이미 설명한 본 발명의 묘화 방법 혹은 묘화 장치(50)를 이용해서 제조한 각종 고품질의 표시 장치에 대해서 서술한다. 여기에서는, 표시 장치로서 칼라 필터 표시 장치, 일렉트로루미네선스 표시 장치 및 플라즈마 표시 장치에 대해서 기술한다.
도 7은 칼라 필터 표시 장치의 구성을 나타내는 단면도이다. 이 도면에 나타나 있는 바와 같이, 칼라 필터 표시 장치(100)는 편광판(122, 127)이 대향해서 배치되고, 편광판(122)의 내측 표면에는 칼라 필터(110)와, 칼라 필터(110) 내측에 화소전극(115)이 형성되어 있고, 편광판(122)의 외측 표면 방향으로부터는 백라이트의 광이 입사한다. 편광판(127)의 내측 표면에는 대향 기판(126)이 형성되어 있다. 또한, 화소 전극(115) 및 대향 기판(126) 사이에는 배향막(121, 124)이 구성되며, 대향 기판(126)의 내측의 면에는 TFT(박막 트랜지스터) 소자(도면 생략)와 대향 전극(123)이 매트릭스(matrix) 모양으로 형성되어 있다. 그리고, 배향막(121, 124)의 사이에 설치된 시일부(128)에 둘러싸여진 공간에 액정(125)을 봉입하는 것에 의해, 칼라 필터 표시 장치(100)가 구성되어 있다.
본 발명의 묘화 방법 및 묘화 장치(50)를 적용함으로써, 칼라 필터(110)를 효율적으로 제조할 수 있다. 이 경우, 도 3의 묘화 장치(50)의 워크(70)에 상당하는 칼라 필터(110)는 도 8(a)에 나타나 있는 바와 같이 매트릭스 모양으로 나열된 화소 영역(105)을 구비하고, 그들의 경계선은 디스펜서(dispenser)나 스크린 인쇄, 혹은 포토리소그래피(photolithography)에 의해 형성된 경계층(112)에 의해 구획되어 있다. 화소 영역(105)의 하나 하나에는 적색(R), 녹색(G),청색(B) 중 어느 하나의 칼라 필터 재료가 도입되어 있다. 칼라 필터(110)는 도 7 및 도 8과 같이 투광성의 필터 기판(111)과, 차광성의 경계층(112)을 구비하고, 경계층(112)이 형성되어 있지 않은 부분은 화소 영역(105)을 구성하고 있다. 또한, 경계층(112) 및 화소 영역(105)의 상면에는 오버코트층(114)이 형성되어 있다. 또한, 화소 영역(105)은 도 8(a)와 같은 모자이크 모양의 배열 뿐만 아니라, 스트라이프 모양이나 델타 모양의 배열이어도 좋다.
화소 영역(105)은 묘화 장치(50)를 이용하고, 도 1 및 도 2를 참고로 설명한 묘화 방법에 의해, 도 8(b)에 나타나 있는 바와 같이 경계층(112)으로 구획되어 형성된 각 화소 영역(105)내에 도 5에 나타내는 노즐(77)로부터 R·G·B 각 색의 칼라 필터 재료의 액체 방울(40)을 선택적으로 토출하여 형성되어 있다. 그리고, 도포한 액체 방울(40)을 건조시킴으로써, 각 색의 화소 영역(105)을 얻도록 하고 있다. 또한, 오버코트층(114)도 묘화 장치(50)를 이용하여 오버코트재료를 토출 헤드(68)에 의해 토출해서 형성할 수도 있다.
도 7(b)에 나타내는 제조 장치(130)는 칼라 필터 표시 장치(100)의 칼라 필 터(110)에 형성되어 있는 화소 영역(105)의 각각에 대하여, 대응하는 칼라 필터 재료의 액체 방울(40)을 토출하는 토출 장치를 포함한 장치 군(群)이다. 각 토출 장치는 본 발명의 묘화 장치(50)이다. 제조 장치(130)는, 적색 칼라 필터 재료가 도포되어야 할 화소 영역(105R)의 전부에 적색 칼라 필터 재료를 도포하는 토출 장치(140R)와, 화소 영역(105R) 상의 칼라 필터 재료를 건조시키는 건조 장치(150R)와, 녹색의 칼라 필터 재료가 도포되어야 할 화소 영역(105G)의 전부에 녹색의 칼라 필터 재료를 도포하는 토출 장치(140G)와, 화소 영역(105G) 상의 칼라 필터 재료를 건조시키는 건조 장치(150G)와, 마찬가지로 청색 칼라 필터 재료가 도포되어야 할 화소 영역(105B)의 전부에 청색 칼라 필터 재료를 각각 도포 및 건조시키는 토출 장치(140B), 건조 장치(150B)와, 각 색의 칼라 필터 재료를 다시 가열(포스트 베이킹(post-baking))하는 오븐(oven)(160)과, 포스트 베이킹(post-baking)된 칼라 필터 재료의 층 위에 오버코트층(114)을 설치하는 토출 장치(140C)와, 오버코트층(114)을 건조시키는 건조 장치(150C)와, 건조된 오버코트층(114)을 다시 가열해서 경화하는 경화 장치(165)를 구비하고 있다. 또한, 제조 장치(130)는 토출 장치(140R), 건조 장치(150R), 토출 장치(140G), 건조 장치(150G), 토출 장치(140B), 건조 장치(150B), 토출 장치(140C), 건조 장치(150C), 경화 장치(165)의 순서로 칼라 필터(110)를 반송하는 반송 장치(170)도 구비하고 있다.
다음으로, 7(a)에 기초해 액정(125)의 봉입 공정에 대해서 간단하게 설명한다. 제1 기판(180)은 이미 설명한 편광판(122), 칼라 필터(110), 화소 전극(115) 및 배향막(121)으로 이루어지고, 제2 기판(190)은 편광판(127), 대향 기판(126), 대향 전극(123) 및 배향막(124)으로 이루어져 있다. 우선, 제1 기판(180)의 표면에 액정(125)의 도포 영역을 형성하는 사각형의 시일부(128)를 디스펜서나 스크린 인쇄에 의해 형성한다. 이 시일부(128)의 내측에 묘화 장치(50)를 이용하여 칼라 필터 재료와 마찬가지로 액정(125)을 토출 헤드(68)의 노즐(77)로부터 토출한다. 액정(125)이 시일부(128)의 내측에 채워진 후, 제1 기판(180)상의 시일부(128)에 제2 기판(190)을 접합시켜 칼라 필터 표시 장치(100)가 완성된다.
또한 도 9를 참조하여, 본 발명의 묘화 방법 혹은 묘화 장치(50)를 이용해서 제조한 일렉트로루미네선스 표시 장치에 관하여 설명한다. 일렉트로루미네선스 표시 장치(200)는 유리 기판(201)위에 회로 소자부(202)가 적층되고, 회로 소자부(202)위에 주체(main part)를 이루는 일렉트로루미네선스 표시 소자(204)가 적층되어 있다. 또한, 일렉트로루미네선스 표시 소자(204)의 상측에는 불활성 가스의 공간을 갖고 밀봉용 기판(205)이 형성되어 있다.
일렉트로루미네선스 표시 소자(204)에는 무기물 경계층(212a) 및 이것에 겹쳐진 유기물 경계층(212b)에 의해 경계층(212)이 형성되고, 이 경계층(212)에 의해 도 8(a)의 칼라 필터 재료의 화소 영역(105)에 상당하는 매트릭스 모양의 발광부(220)가 구획 형성되어 있다. 그리고, 각 발광부(220)내에는 하측으로부터 화소 전극(211), 정공 주입/수송층(213), 및 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 중 어느 하나의 발광층(210)이 적층되며, 또한 전체가 Ca나 A1 등의 박막을 복수층에 걸쳐서 진공 증착법 등을 이용해서 적층한 대향 전극(203)으로 덮여져 있다.
발광층(210)의 형성은 본 발명의 묘화 장치(50) 및 도 1 혹은 도 2를 참조해 서 설명한 묘화 방법을 이용하고, 도 7을 기초로 설명한 칼라 필터 재료의 도포와 마찬가지로, 경계층(212)으로 구획되어 형성된 각 발광부(220)에 토출 헤드(68)의 노즐(77)에 의해 R·G·B 각 색의 루미네선스 형광 재료를 선택적으로 토출해서 형성되어 있다. 그리고, 도포한 루미네선스 형광 재료를 건조시킴으로써, 각 발광부(220)내에 각 색의 발광층(210R, 210G, 210B)이 형성된다.
도 9(b)에 나타내는 일렉트로루미네선스 표시 장치의 제조 장치(230)는 매트릭스 모양의 발광부(220)의 각각에 대하여, 대응하는 루미네선스 형광 재료를 토출하는 장치를 포함한 장치 군이다. 제조 장치(230)는 화소 전극(211) 위에 정공 주입/수송층(212)을 형성하는 기능액을 도포하는 토출 장치(260)와, 적색 루미네선스 형광 재료가 도포되어야 할 발광층(210R)의 전부에 적색 루미네선스 형광 재료를 도포하는 토출 장치(240R)와, 도포한 적색 루미네선스 형광 재료를 건조시키는 건조 장치(250R)와, 발광층(210G)에 녹색의 루미네선스 형광 재료를 각각 도포 및 건조시키는 토출 장치(240G) 및 건조 장치(250G)와, 마찬가지로 발광층(210B)에 청색 루미네선스 형광 재료를 각각 도포 및 건조시키는 토출 장치(240B) 및 건조 장치(250B)를 구비하고 있다. 또한 제조 장치(230)는 토출 장치(260), 토출 장치(240R), 건조 장치(250R), 토출 장치(240G), 건조 장치(250G), 토출 장치(240B), 건조 장치(250B)의 순서로 발광층(210)을 반송하는 반송 장치(270)도 구비하고 있다.
이렇게 형성된 발광부(220)와 경계층(212) 위에 전술한 바와 같이 대향 전극(203)을 적층하고, 대향 전극(203)과 밀봉용 기판(205) 사이에 불활성 가스를 봉입 해서 일렉트로루미네선스 표시 장치(200)가 완성된다.
다음으로, 도 10을 참조해서 플라즈마 표시 장치(300)의 배면 기판(315)을 제조하는 제조 장치에 묘화 장치(50)를 적용한 예를 설명한다. 배면 기판(315)은 격자 모양으로 배치된 복수의 형광부(325)를 가지고 있다. 상세하게는, 다시 지지 기판(301)과, 지지 기판(301) 위에 스트라이프 모양으로 형성된 복수의 어드레스 전극(302)과, 어드레스 전극(302)을 덮도록 형성된 유전체 유리층(303)과, 격자 모양의 형상을 가지는 동시에 복수의 형광부 영역을 규정하는 경계층(305)으로 이루어진다. 복수의 형광부 영역은 격자 모양으로 위치하고 있고, 형광부 영역으로 이루어지는 복수의 열의 각각은 복수의 어드레스 전극(302)의 각각에 대응한다. 어드레스 전극(302), 유전체 유리층(303)은 스크린 인쇄 기술로 형성된다.
발광부(325)에는 묘화 장치(50)를 이용하고, 도 7을 기초로 설명한 칼라 필터 재료의 도포와 마찬가지로, 화소 영역(105)에 상당하는 경계층(305)으로 구획된 각 형광부 영역 내에, 토출 헤드(68)의 노즐(77)에 의해 R·G·B 각 색의 플라즈마 형광 재료를 선택적으로 토출해서 형광층(320R, 320G, 320B)이 형성되어 있다. 그리고, 도포한 플라즈마 형광 재료를 건조시킴으로써 배면 기판(315)이 형성된다.
도 10(b)에 나타내는 제조 장치(330)는 배면 기판(315)의 형광부(325)의 각각에 대하여, 대응하는 플라즈마 형광 재료를 토출하는 장치이다. 제조 장치(330)는 적색 플라즈마 형광 재료가 도포되어야 할 형광층(320R)의 전부에 적색 플라즈마 형광 재료를 도포하는 토출 장치(340R)와, 도포한 적색 플라즈마 형광 재료를 건조시키는 건조 장치(350R)와, 마찬가지로 형광층(320G)에 녹색의 플라즈마 형광 재료를 각각 도포 및 건조시키는 토출 장치(340G) 및 건조 장치(350G)와, 마찬가지로 형광층(320B)에 청색 플라즈마 형광 재료를 각각 도포 및 건조시키는 토출 장치(340B) 및 건조 장치(350B)를 구비하고 있다. 또한, 제조 장치(330)는 토출 장치(340R), 건조 장치(350R), 토출 장치(340G), 건조 장치(350G), 토출 장치(340B), 건조 장치(350B)의 순서로 배면 기판(315)을 반송하는 반송 장치(370)도 구비하고 있다.
다음으로, 도 10(b)에 나타나 있는 바와 같이, 배면 기판(315)과 전면 기판(316)을 접합시켜서 플라즈마 표시 장치(300)를 얻을 수 있다. 이 전면 기판(316)은 유리 기판(313)과, 유리 기판(313) 상에서 서로 평행하게 패터닝된 표시 전극 및 표시 스캔 전극(312)과, 표시 전극 및 표시 스캔 전극(312)을 덮도록 형성된 유전체 유리층(311)과, 유전체 유리층(311)위에 형성된 보호층(310)을 가진다. 배면 기판(315)과 전면 기판(316)은 배면 기판(315)의 어드레스 전극(302)과, 전면 기판(316)의 표시 전극·표시 스캔 전극(312)이 서로 직교하도록 위치맞춤되어 있다. 그리고, 각 경계층(305)으로 둘러싸여지는 영역에는 소정의 압력으로 방전 가스(314)를 봉입한다.
이상과 같이, 본 발명의 묘화 방법에 의하면, 화소 영역(105)에 있어서 착탄 방울(1)이 퍼지기 어려운 화소 영역(105)의 코너부 등에 거듭 착탄 방울(1)을 추가 형성하여, 화소 영역(105) 전체에 확실하게 착탄 방울(1)을 형성하는 것이 가능하다. 이에 따라, 어느 화소 영역(105)이나 균일하고 편차가 없게 된다. 이 묘화 방법을 표시 장치의 제조에 이용하면, 명료한 화면 표시의 표시 장치를 얻을 수 있 다.
또한, 본 발명의 묘화 장치(50)를 이용하면, 다양한 형상의 화소 영역(105)에 확실하게 착탄 방울(1)을 형성할 수 있고, 화소 영역(105)에 맞추어 유연하고 효율적인 가공을 행할 수 있다.
이렇게, 본 발명의 묘화 방법 및 묘화 장치(50)는 칼라 필터 표시 장치(100),일렉트로루미네선스 표시 장치(200), 플라즈마 표시 장치(300) 등의 표시 장치의 제조에 공헌할 수 있고, 이것들을 탑재한 텔레비젼, 퍼스널 컴퓨터, 카 네비게이션(car navigation), 디지털 카메라, 휴대 전화 등의 고품질의 전자 기기를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명은 칼라 필터, 일렉트로루미네선스, 플라즈마의 표시 장치에 부가하여, 전자 방출소자를 구비한 표시 장치(FED(Field Emission Display)나 SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)) 등에도 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 화소 영역의 코너부까지 액체 방울이 충만하고 각 화소 영역의 색조에 차이가 없는 액체 방울 배치가 가능한 묘화 방법, 묘화 장치 및 표시 장치를 제공할 수 있다.

Claims (11)

  1. 기판상의 복수의 화소로 된 화소 영역에 묘화 장치의 복수의 노즐로부터 액체 방울을 토출해서 복수의 착탄 방울을 도포하는 공정을 구비한 묘화 방법으로서,
    상기 화소의 장변 방향으로 노즐이 배치되고, 상기 화소의 단변 방향을 따라서 주사를 행하며,
    상기 복수의 착탄 방울을 도포하는 공정은, 규정된 착탄 방울의 주위로서 상기 화소의 코너부 근방에 복수의 착탄 방울을 도포하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 화소 영역이 상기 복수의 노즐 열(列)과 평행하게 되도록 상기 복수의 노즐에 대하여 상기 기판을 배치하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 방법.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 복수의 착탄 방울을 도포하는 공정은 상기 복수의 노즐로부터 상기 액체 방울을 토출해서 상기 복수의 화소 영역으로 동시에 상기 착탄 방울을 도포하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 방법.
  5. 제1항에 기재된 묘화 방법에 의해 상기 화소 영역에 필터 재료가 설치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  6. 제1항에 기재된 묘화 방법에 의해 상기 화소 영역에 형광 재료가 설치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  7. 기판위에 경계층에 의해 구획된 복수의 화소 영역에 대하여, 복수의 노즐로부터 액체 방울을 토출해서 복수의 착탄 방울을 도포하는 묘화 장치로서,
    상기 화소의 장변 방향으로 노즐이 배치되고, 상기 화소의 단변 방향을 따라서 주사를 행하며,
    규정된 착탄 방울의 주위로서 상기 화소의 코너부 근방에 복수의 착탄 방울을 도포하는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 노즐은 상기 복수의 화소 영역과 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 복수의 노즐은 상기 복수의 화소 영역에 대하여 동시에 상기 착탄 방울을 도포하는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
  10. 제7항에 기재된 묘화 장치에 의해 상기 화소 영역에 필터 재료가 설치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  11. 제7항에 기재된 묘화 장치에 의해 상기 화소 영역에 형광 재료가 설치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
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