CN110377770B - 一种不同测试站点晶圆map图文件合并处理方法及系统 - Google Patents

一种不同测试站点晶圆map图文件合并处理方法及系统 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统，所述处理方法包括以下步骤：选择不同测试站点的MAP图文件；显示不同测试站点的MAP图文件的文件名；比较显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致，若是，进入下一步，若否，则报错退出；合并不同测试站点晶圆MAP图文件；本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统对不同测试站点产生的晶圆MAP图进行批量合并，相比手动合并，更高效；与此同时，本发明重新计算晶圆MAP图文件合并后的良率，保证后续封装取晶粒的正确性，避免损失，可以更准确地完成不同测试站点晶圆MAP图文件的合并，而且提高封装效率。

Description

一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统
〖技术领域〗
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统。
〖背景技术〗
晶圆测试(Circuit Probing，CP)是半导体后道封装测试的第一站，是指在封装前对晶圆(wafer)上对芯片晶粒(die)进行电压、电流、时序等测试，用于验证每个芯片是否符合产品规格。晶圆测试之后可以得到显示晶圆测试结果分布的晶圆MAP图文件。
但是，晶圆测试时，会存在多站点测试，特别的是在不同外协厂进行多站点测试时，由于不同外协厂针对晶圆测试时建立不一样的设备(device)或者使用不同的探针台，导致各个测试站点产生的MAP图多种多样。在最后测试完成后产生最终的MAP图时，不同的MAP图不能直接合并在一起。
目前，一般是人工借助文本或excel编辑合并MAP图，对于低Gross Die的MAP图，人工的方式还可以接受，但是当Gross Die＞10000时，人工合并的时间就会很长，且正确性不能保证。
因此，设计一种高效且准确的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统及方法是本领域技术人员需要解决的技术问题。
〖发明内容〗
本发明第一个目的旨在提供一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法，高效、准确地完成不同测试站点晶圆MAP图文件的合并。
为了实现第一个目的，本发明采取了如下的技术方案：
一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
S100，选择不同测试站点的MAP图文件；
S200，显示不同测试站点的MAP图文件的文件名；
S300，比较显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致，若是，进入步骤S400，若否，则报错退出；
S400，给系统配置合并后的MAP图文件参数；
S510，读取不同测试站点的第一组同一批号和刻号的MAP图文件；
S520，将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的晶粒对应；
S530，比较不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件对应晶粒的标记，判断对应晶粒是否全部为好的晶粒，若是，将对应晶粒仍然标记为好的晶粒，若否，将对应晶粒标记为坏的晶粒，直到完成不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记；
S540，根据不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记，重新计算不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率；
S550，按照步骤S420给系统配置的合并后的MAP图文件参数，步骤S430重新标记的对应晶粒，步骤S440重新计算得到的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率，生成不同测试站点的当前组同一批号和刻号的MAP图文件合并后的文件；
S560，存储合并后的文件；
S570，读取不同测试站点的下一组同一批号和刻号的MAP图文件，返回步骤S520，直到完成步骤S100选择的不同测试站点所有组同一批号和刻号的MAP图文件的合并。
进一步地，所述步骤S400通过输入合并后的MAP图文件的测试站点代号，给系统配置合并后的MAP图文件参数；所述参数包括行参数与列参数。
进一步地，所述步骤S520包括以下步骤：
步骤S521，搜索不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒；
步骤S522，通过合并后的MAP图文件参数，修正不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件读指针，将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒对应，进而将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗晶粒对应。
进一步地，所述步骤S560将合并后的MAP图文件单独存储到合并后的文件路径。
本发明第二个目的旨在提供一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统，高效、准确地完成不同测试站点晶圆MAP图文件的合并。
为了实现第二个目的，本发明采取了如下的技术方案：
一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统，采用上述不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法：所述不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统包括MAP图文件选择模块、MAP图文件显示模块、MAP图文件比较模块、系统参数配置模块以及MAP图文件合并模块；所述MAP图文件合并模块包括MAP图文件读取子模块、晶粒对应子模块、晶粒标记比较子模块、晶粒标记子模块、良率计算子模块、合并文件生成子模块以及合并文件存储子模块；
所述MAP图文件选择模块用于选择不同测试站点的MAP图文件；所述MAP图文件显示模块用于将MAP图文件选择模块选择的不同测试站点的MAP图文件的文件名显示在系统界面上；所述MAP图文件比较模块用于比较所述MAP图文件显示模块显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致，若否，所述MAP图文件显示模块在系统界面报错，若是，所述系统参数配置模块给系统配置合并后的文件参数；所述MAP图文件读取子模块用于读取MAP图文件选择模块选择的不同测试站点的MAP图文件中同一批号和刻号的MAP图文件；所述晶粒对应子模块用于将所述MAP图文件读取子模块读取的不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的晶粒对应；所述晶粒标记比较子模块用于比较不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件对应晶粒的标记，判断对应晶粒是否全部为好的晶粒；所述晶粒标记子模块用于重新标记不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的对应晶粒，当所述晶粒标记比较子模块比较得到对应晶粒全部为好的晶粒时，所述晶粒标记子模块将所述对应晶粒仍然标记为好的晶粒，当所述晶粒标记比较子模块比较得到对应晶粒至少有一个为坏的晶粒时，所述晶粒标记子模块将所述对应晶粒标记为坏好的晶粒；所述良率计算子模块用于根据不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记，重新计算不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率；所述合并文件生成子模块通过系统参数配置模块给系统配置的合并后的MAP图文件参数，晶粒标记子模块重新标记后的对应晶粒，良率计算模块重新计算得到的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率，生成不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件合并后的文件；所述合并文件存储子模块用于存储合并后的文件。
进一步地，所述系统参数配置模块通过接收系统界面输入的合并后的MAP图文件的测试站点代号，给系统配置合并后的MAP图文件参数。
进一步地，所述晶粒对应子模块通过系统参数配置子模块给系统配置的参数修正不同测试站点MAP文件的读指针；所述晶粒对应子模块搜索不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒，通过修正后的不同测试站点MAP文件的读指针将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒对应，进而将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的所有晶粒对应。
进一步地，所述合并文件存储子模块将合并后的MAP图文件单独存储到合并后的文件路径。
本发明有益效果：
由以上技术方案可知，本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统，无需手动合并不同测试站点晶圆MAP图文件，就可以对不同测试站点产生的晶圆MAP图进行批量合并，相比手动合并，更高效；与此同时，本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统重新计算合并后的良率，保证后续封装取晶粒的正确性，避免损失，可以更准确地完成不同测试站点晶圆MAP图文件的合并，而且提高封装效率。
〖附图说明〗
为了更清楚地说明本发明实施例，下面对实施例中所需要使用的附图做简单的介绍。下面描述中的附图仅仅是本发明中的实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。
图1是本发明提供的一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法的流程示意图；
图2是本发明图1中步骤S520的流程示意图；
图3是本发明提供的一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统结构框图；
图4是本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统选择不同测试站点的MAP图文件时的界面；
图5是本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统比较得到不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量不一致时，报错的界面；
图6是本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统通过在界面输入测试站点代号给系统配置参数时的界面；
图7是本发明站点1的MAP图文件示意图；
图8是本发明站点2的MAP图文件示意图；
图9是本发明站点1和站点2的MAP图文件合并后的文件示意图；
图10是本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统合并完成时的界面；
图11是本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统完成合并后的文件的存储时的界面。
〖具体实施方式〗
下面结合附图，对本发明进行详细的说明。
为了使本发明的目的、技术方案、优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1所示，一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法，包括以下步骤：
S100，选择不同测试站点的MAP图文件；选择界面如图4；
S200，显示不同测试站点的MAP图文件的文件名；
S300，比较显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致，若是，进入步骤S400，若否，则报错退出；
如图5所示，在本实施例中，站点1比站点2少了批号为A66104.19，刻号为13的MAP图文件，站点1与站点2的MAP图文件的数量不一致，系统界面报错；
S400，给系统配置合并后的MAP图文件参数；
在本实施例中，步骤S400通过在系统界面输入合并后的MAP图文件的测试站点代号，给系统配置合并后的MAP图文件参数，输入界面如图6所示；在本实施例中，输入的测试站点代号为TX5002；
S510，读取不同测试站点的第一组同一批号和刻号的MAP图文件；
S520，将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的晶粒对应；
S530，比较不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件对应晶粒的标记，判断对应晶粒是否全部为好的晶粒，若是，将对应晶粒仍然标记为好的晶粒，若否，将对应晶粒标记为坏的晶粒，直到完成不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记；
在本实施例中，不同测试站点的同一批号和刻号的MAP图文件示意图如图7、8所示；
S540，根据不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记，重新计算不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率；
S550，按照步骤S420给系统配置的合并后的MAP图文件参数，步骤S430重新标记的对应晶粒，步骤S440重新计算得到的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率，生成不同测试站点的当前组同一批号和刻号的MAP图文件合并后的文件；
在本实施例中，不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件合并后的MAP文件示意图如图9所示；
S560，存储合并后的文件；
如图10所示，步骤S560将合并后的MAP图文件单独存储到合并后的文件路径；
S570，读取不同测试站点的下一组同一批号和刻号的MAP图文件，返回步骤S520，直到完成步骤S100选择的不同测试站点所有组同一批号和刻号的MAP图文件的合并。
如图2所示，在本实施例中，步骤S520包括以下步骤：
步骤S521，搜索不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒；
步骤S522，通过合并后的MAP图文件参数，修正不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件读指针，将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒对应，进而将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗晶粒对应。
如图3所示，一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法的处理系统，包括MAP图文件选择模块、MAP图文件显示模块、MAP图文件比较模块、系统参数配置模块以及MAP图文件合并模块；所述MAP图文件合并模块包括MAP图文件读取子模块、晶粒对应子模块、晶粒标记比较子模块、晶粒标记子模块、良率计算子模块、合并文件生成子模块以及合并文件存储子模块。
在本实施例中，MAP图文件选择模块用于选择不同测试站点的MAP图文件；MAP图文件显示模块用于将MAP图文件选择模块选择的不同测试站点的MAP图文件的文件名显示在系统界面上；MAP图文件比较模块用于比较MAP图文件显示模块显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致，若否，MAP图文件显示模块在系统界面报错，若是，所述系统参数配置模块给系统配置合并后的文件参数，所述MAP图文件读取子模块读取MAP图文件选择模块选择的不同测试站点的MAP图文件中同一批号和刻号的MAP图文件；所述晶粒对应子模块用于将所述MAP图文件读取子模块读取的不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的晶粒对应；所述晶粒标记比较子模块用于比较不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件对应晶粒的标记，判断对应晶粒是否全部为好的晶粒；所述晶粒标记子模块用于重新标记不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的对应晶粒，当所述晶粒标记比较子模块比较得到对应晶粒全部为好的晶粒时，所述晶粒标记子模块将所述对应晶粒仍然标记为好的晶粒，当所述晶粒标记比较子模块比较得到对应晶粒至少有一个为坏的晶粒时，所述晶粒标记子模块将所述对应晶粒标记为坏好的晶粒；所述良率计算子模块用于根据不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记，重新计算不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率；所述合并文件生成子模块通过系统参数配置模块给系统配置的合并后的MAP图文件参数，晶粒标记子模块重新标记后的对应晶粒，良率计算模块重新计算得到的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率，生成不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件合并后的文件；所述合并文件存储子模块用于存储合并后的文件。
在本实施例中，MAP图文件选择模块可实现批量选择各个站点的MAP图文件；如图4所示，在本实施例中，MAP图文件选择模块选择两个站点的MAP图文件。在其它实施例中，MAP图文件选择模块选择除了两个的多个站点的MAP图文件；
在本实施例中，不同测试站点的MAP图文件后缀可在配置文件中配置，可以高效率的选择各个测试站点的MAP文件。
在本实施例中，MAP图文件显示模块将MAP图文件选择模块选择的不同测试站点的MAP文件显示在系统界面上，便于人工完成MAP图文件信息的比对。
在本实施例中，由于不同测试站点的MAP图文件的MASK die不一样，在开始合并前，需要将合并后的MAP图文件的参数，比如行参数、列参数配置到系相应的参数内。
在本实施例中，晶粒对应子模块通过系统参数配置子模块给系统配置的参数(在本实施例中，是行参数和列参数)修正不同测试站点MAP文件的读指针；晶粒对应子模块搜索不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒，通过修正后的不同测试站点MAP文件的读指针将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒对应，进而将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的所有晶粒对应。
在本实施例中，当不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件中同一颗对应晶粒全部标记为好的晶粒时，晶粒标记子模块给该晶粒仍然标记为好的晶粒；当不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件中同一颗对应晶粒只要有一个是坏的晶粒时，晶粒标记子模块给该晶粒标记为坏的晶粒。
以上所述仅是本发明的优选实施例，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
S100，选择不同测试站点的MAP图文件；
S200，显示不同测试站点的MAP图文件的文件名；
S300，比较显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致，若是，进入步骤S400，若否，则报错退出；
S400，给系统配置合并后的MAP图文件参数；
S510，读取不同测试站点的第一组同一批号和刻号的MAP图文件；
S520，将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的晶粒对应；
S530，比较不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件对应晶粒的标记，判断对应晶粒是否全部为好的晶粒，若是，将对应晶粒仍然标记为好的晶粒，若否，将对应晶粒标记为坏的晶粒，直到完成不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记；
S540，根据不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记，重新计算不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率；
S550，按照步骤S420给系统配置的合并后的MAP图文件参数，步骤S430重新标记的对应晶粒，步骤S440重新计算得到的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率，生成不同测试站点的当前组同一批号和刻号的MAP图文件合并后的文件；
S560，存储合并后的文件；
S570，读取不同测试站点的下一组同一批号和刻号的MAP图文件，返回步骤S520，直到完成步骤S100选择的不同测试站点所有组同一批号和刻号的MAP图文件的合并。
2.根据权利要求1所述的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法，其特征在于：所述步骤S400通过输入合并后的MAP图文件的测试站点代号，给系统配置合并后的MAP图文件参数；所述参数包括行参数与列参数。
3.根据权利要求1所述的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法，其特征在于，所述步骤S520包括以下步骤：
步骤S521，搜索不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒；
步骤S522，通过合并后的MAP图文件参数，修正不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件读指针，将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒对应，进而将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗晶粒对应。
4.根据权利要求1所述的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法，其特征在于：所述步骤S560将合并后的MAP图文件单独存储到合并后的文件路径。
5.一种采用权利要求1-4任意一项所述的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法的处理系统，其特征在于：包括MAP图文件选择模块、MAP图文件显示模块、MAP图文件比较模块、系统参数配置模块以及MAP图文件合并模块；所述MAP图文件合并模块包括MAP图文件读取子模块、晶粒对应子模块、晶粒标记比较子模块、晶粒标记子模块、良率计算子模块、合并文件生成子模块以及合并文件存储子模块；
所述MAP图文件选择模块用于选择不同测试站点的MAP图文件；所述MAP图文件显示模块用于将MAP图文件选择模块选择的不同测试站点的MAP图文件的文件名显示在系统界面上；所述MAP图文件比较模块用于比较所述MAP图文件显示模块显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致，若否，所述MAP图文件显示模块在系统界面报错，若是，所述系统参数配置模块给系统配置合并后的文件参数；所述MAP图文件读取子模块用于读取MAP图文件选择模块选择的不同测试站点的MAP图文件中同一批号和刻号的MAP图文件；所述晶粒对应子模块用于将所述MAP图文件读取子模块读取的不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的晶粒对应；所述晶粒标记比较子模块用于比较不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件对应晶粒的标记，判断对应晶粒是否全部为好的晶粒；所述晶粒标记子模块用于重新标记不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的对应晶粒，当所述晶粒标记比较子模块比较得到对应晶粒全部为好的晶粒时，所述晶粒标记子模块将所述对应晶粒仍然标记为好的晶粒，当所述晶粒标记比较子模块比较得到对应晶粒至少有一个为坏的晶粒时，所述晶粒标记子模块将所述对应晶粒标记为坏好的晶粒；所述良率计算子模块用于根据不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记，重新计算不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率；所述合并文件生成子模块通过系统参数配置模块给系统配置的合并后的MAP图文件参数，晶粒标记子模块重新标记后的对应晶粒，良率计算模块重新计算得到的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率，生成不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件合并后的文件；所述合并文件存储子模块用于存储合并后的文件。
6.根据权利要求5所述的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统，其特征在于：所述系统参数配置模块通过接收系统界面输入的合并后的MAP图文件的测试站点代号，给系统配置合并后的MAP图文件参数。
7.根据权利要求5所述的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统，其特征在于：所述晶粒对应子模块通过系统参数配置子模块给系统配置的参数修正不同测试站点MAP文件的读指针；所述晶粒对应子模块搜索不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒，通过修正后的不同测试站点MAP文件的读指针将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的第一颗有效晶粒对应，进而将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的所有晶粒对应。
8.根据权利要求5所述的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理系统，其特征在于：所述合并文件存储子模块将合并后的MAP图文件单独存储到合并后的文件路径。
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