CN110297323B - 促动器以及光扫描装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于抑制锯齿波的主扫描区间单独产生的振铃，从而能与主扫描区间部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。本发明的促动器具有支撑驱动对象物的梁和被输入有驱动信号的驱动源，上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，上述锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形，上述第一台阶状波形产生抑制能在上述第二台阶状波形中产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形，通过上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之在绕预定轴旋转的方向上摆动。

Description

促动器以及光扫描装置
技术领域
本发明涉及促动器以及光扫描装置。
背景技术
一直以来，公知一种光扫描装置，其使用将在压电薄膜的上表面形成有上部电极并在下表面形成有下部电极的压电元件作为驱动源的促动器，使反射入射光的反射镜部绕旋转轴旋转，从而扫描反射光。在该促动器中，为了对压电薄膜施加电压，形成有与上部电极连接的上部布线、和与下部电极连接的下部布线(例如参照专利文献1、专利文献2)。
在上述的光扫描装置中，驱动源使用锯齿状波形的电压，但有时在驱动时产生由反射镜部的共振振动引起的振铃。振铃的产生导致由光扫描装置的扫描形成的图像的画质劣化。
专利文献3中，对输入锯齿波后的振动角进行传感检测，并进行在驱动波形中应用频率滤波器的反馈控制，以便除去振铃成分。
专利文献4中，相对于已知的频率成分输入应用除去共振频率成分的滤波器后的驱动波形。
现有技术文献
专利文献1：日本特开2016-1325号公报
专利文献2：日本专利5876329号
专利文献3：日本特开2012-55852号公报
专利文献4：日本特开2004-361920号公报
然而，若如上所述地使用在驱动波形整体中应用频率滤波器的方法，则在例如主扫描区间使用呈台阶状的锯齿波的情况下，台阶部分变钝，从而有得不到需要的直线区间的问题。另外，在应用滤波器的方法中，对于连续地重复的锯齿波是有效的，但在锯齿波的频率变动的情况、在锯齿波与锯齿波之间不定期地产生等待时间的情况等下，得不到适当的振铃抑制效果。
发明内容
本发明是鉴于上述方面而完成的，其目的在于，能够抑制在锯齿波的主扫描区间单独产生的振铃而并非锯齿波整体，从而能够与主扫描区间部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。
用于解决课题的方案
本发明的一个方式的促动器具有：梁173X1、173X2、173Y1、173Y2，其支撑驱动对象物120；以及驱动源171A、171B，其被输入有驱动信号，上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，上述锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形，上述第一台阶状波形产生抑制能在上述第二台阶状波形中产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形，通过上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之在绕预定轴AXV旋转的方向上摆动。
此外，上述符号是为了容易理解而标注的，只不过是一个例子，不限定于图示的方式。
发明的效果如下。
根据公开的技术，上述锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形，上述第一台阶状波形产生抑制能在上述第二台阶状波形中产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形，抑制锯齿波的主扫描区间单独产生的振铃而并非锯齿波整体，从而能够与主扫描区间部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。
附图说明
图1的(A)是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上表面侧的立体图，(B)是下表面侧的立体图。
图2是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上表面侧的俯视图。
图3是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的驱动波形的图。
图4是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的作为驱动波形的上行部分的主扫描区间的波形的图。
图5是示出与实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的主扫描区间的输入波形对应的反射镜角度波形的图。
图6是示出比较例的光扫描装置的光扫描部的主扫描区间的反射镜垂直角的输入波形(input)和输出波形(output)的图。
图7是示出参考例1的光扫描装置的光扫描部的主扫描区间的反射镜垂直角的输入波形(input)和输出波形(output)的图。
图8是示出实施例的光扫描装置的光扫描部的主扫描区间的反射镜垂直角的输入波形(input)和输出波形(output)的图。
图9是示出参考例2的光扫描装置的光扫描部的主扫描区间的反射镜垂直角的输入波形(input)和输出波形(output)的图。
图中：
100—光扫描部，110—反射镜，120—反射镜支撑部，121A、121B—连结梁，130A、130B—水平驱动梁，131A、131B—水平驱动源，131A1、131A2、131A3、131A4—水平驱动源，131B1、131B2、131B3、131B4—水平驱动源，131X1、131X2、131X3、131X4—折回部，131Y1、131Y2、131Y3、131Y4—折回部，132—肋，133X1、133X2、133X3、133X4—水平梁，133Y1、133Y2、133Y3、133Y4—水平梁，160—可动框，170A、170B—垂直驱动梁，171A、171B—垂直驱动源，171A1、171A2—垂直驱动源，171B1、171B2—垂直驱动源，171X、171Y—折回部，172—肋，173X1、173X2、173Y1、173Y2—垂直梁，180—固定框。
具体实施方式
以下，参照附图对用于实施发明的方式进行说明。各附图中，对同一结构部分标注同一符号，有时省略重复的说明。
＜实施方式＞
图1的(A)是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上表面侧的立体图。图1的(B)是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的下表面侧的立体图。图2是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上表面侧的俯视图。本实施方式的光扫描部100能够以收纳在陶瓷封装体和封装罩等封装部件内来使用。
光扫描部100是使反射镜110摆动来扫描从光源照射的激光入射光的部分。光扫描部100例如是利用作为压电元件的驱动源使反射镜110驱动的MEMS反射镜等。向设于光扫描部100的反射镜110射入激光入射光并二维地扫描从反射镜110射出的光。
如图1的(A)、图1的(B)及图2所示，光扫描部100具有反射镜110、反射镜支撑部120、连结梁121A、121B、水平驱动梁130A、130B、可动框160、垂直驱动梁170A、170B以及固定框180。在反射镜支撑部120的上表面支撑有反射镜110。
在支撑反射镜110的反射镜支撑部120的两侧配置有一对水平驱动梁130A、130B，该一对水平驱动梁130A、130B与反射镜支撑部120连接，并支撑反射镜110和反射镜支撑部120。反射镜支撑部120与水平驱动梁130A、130B通过连结梁121A、121B连接。并且，水平驱动梁130A、130B、连结梁121A、121B、反射镜支撑部120以及反射镜110由可动框160从外侧支撑。水平驱动梁130A具有沿与水平旋转轴AXH正交的垂直旋转轴AXV的方向延伸的多个矩形形状的水平梁133X1、133X2、133X3、133X4，并且相邻的水平梁的端部彼此通过折回部131X2、131X3、131X4连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。水平驱动梁130A的一侧与可动框160的内周侧连接，另一侧经由折回部131X1以及连结梁121A而与反射镜支撑部120连接。并且，水平驱动梁130B具有沿与水平旋转轴AXH正交的垂直旋转轴AXV的方向延伸的多个矩形形状的水平梁133Y1、133Y2、133Y3、133Y4，并且相邻的水平梁的端部彼此通过折回部131Y2、131Y3、131Y4连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。水平驱动梁130B的一侧与可动框160的内周侧连接，另一侧经由折回部131Y1以及连结梁121B而与反射镜支撑部120连接。
并且，在可动框160的两侧配置有与可动框160连接的一对垂直驱动梁170A、170B。垂直驱动梁170A具有沿水平旋转轴AXH方向延伸的多个矩形形状的垂直梁173X1、173X2，并且相邻的垂直梁的端部彼此通过折回部171X连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。垂直驱动梁170A的一侧与固定框180的内周侧连接，另一侧与可动框160的外周侧连接。另外，垂直驱动梁170B具有沿水平旋转轴AXH方向延伸的多个矩形形状的垂直梁173Y1、173Y2，并且相邻的垂直梁的端部彼此通过折回部171Y连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。垂直驱动梁170B的一侧与固定框180的内周侧连接，另一侧与可动框160的外周侧连接。
水平驱动梁130A、130B分别具有作为压电元件的水平驱动源131A、131B。并且，垂直驱动梁170A、170B分别具有作为压电元件的垂直驱动源171A、171B。水平驱动梁130A、130B、垂直驱动梁170A、170B作为驱动反射镜110使之向上下或者左右摆动来扫描激光的促动器发挥功能。
在水平驱动梁130A、130B的上表面，分别按照每个作为不包括曲线部的矩形单位的水平梁地形成有水平驱动源131A、131B。水平驱动源131A是形成于水平驱动梁130A的上表面(表面)的压电元件，包括压电薄膜、形成于压电薄膜之上的上部电极、以及形成于压电薄膜的下表面的下部电极。水平驱动源131B是形成于水平驱动梁130B的上表面(表面)的压电元件，包括压电薄膜、形成于压电薄膜之上的上部电极、以及形成于压电薄膜的下表面的下部电极。
水平驱动梁130A、130B通过由在每个水平梁中相邻的水平驱动源131A、131B彼此施加以驱动波形的中央值为基准上下反转而成的波形的驱动电压(驱动信号)，使相邻的水平梁向上方翘曲，来将各水平梁的上下运动的积累传递至反射镜支撑部120。在本实施方式中，驱动波形呈锯齿波形状。因水平驱动梁130A、130B的动作，反射镜110以及反射镜支撑部120被驱动而在绕水平旋转轴AXH旋转的方向上摆动，将该摆动的方向称作水平方向，并将在反射镜110的光反射面的中心通过的上述的摆动轴称作水平旋转轴AXH。例如水平驱动梁130A、130B所进行的水平驱动能够使用非共振振动。
例如，水平驱动源131A包括分别形成于构成水平驱动梁130A的第一个至第四个各水平梁之上的四个水平驱动源131A1、131A2、131A3、131A4。并且，水平驱动源131B包括分别形成于构成水平驱动梁130B的第一个至第四个各水平梁之上的四个水平驱动源131B1、131B2、131B3、131B4。在该情况下，通过以同波形来驱动水平驱动源131A1、131B1、131A3、131B3，并以将前者和驱动波形的中央值作为基准上下反转而成的波形来驱动水平驱动源131A2、131B2、131A4、131B4，从而能够驱动反射镜110以及反射镜支撑部120使它们在水平方向上摆动。
在垂直驱动梁170A、170B的上表面，分别按照每个作为不包括曲线部的矩形单位的垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2地形成有垂直驱动源171A、171B。垂直驱动源171A是形成于垂直驱动梁170A的上表面(表面)的压电元件，包括压电薄膜、形成于压电薄膜之上的上部电极、以及形成于压电薄膜的下表面的下部电极。垂直驱动源171B是形成于垂直驱动梁170B的上表面(表面)的压电元件，包括压电薄膜、形成于压电薄膜之上的上部电极、以及形成于压电薄膜的下表面的下部电极。
垂直驱动梁170A、170B通过由在垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2的每个中相邻的垂直驱动源171A、171B彼此施加以驱动波形的中央值为基准上下反转而成的波形的驱动电压(驱动信号)，使相邻的垂直梁向上方翘曲，来将各垂直梁的上下运动的积累传递至可动框160。在本实施方式中，驱动波形呈锯齿波形状。因垂直驱动梁170A、170B的动作，与可动框160连接的反射镜110被驱动而在与水平旋转轴AXH的方向正交的方向上摆动，将该摆动的方向称作垂直方向，并将在反射镜110的光反射面的中心通过的上述的摆动轴称作垂直旋转轴AXV。例如垂直驱动梁170A、170B所进行的垂直驱动能够使用非共振振动。
例如，垂直驱动源171A包括分别形成于构成垂直驱动梁170A的第一个至第二个各垂直梁173X1、173X2之上的两个垂直驱动源171A1、171A2。并且，垂直驱动源171B包括分别形成于构成垂直驱动梁170B的第一个至第二个各垂直梁173Y1、173Y2之上的两个垂直驱动源171B1、171B2。在该情况下，通过以同波形来驱动垂直驱动源171A1、171B1，并以将前者和驱动波形的中央值为基准上下反转而成的波形来驱动垂直驱动源171A2、171B2，从而能够使与反射镜110连接的可动框160在垂直方向上摆动。
在本实施方式的光扫描装置中，作为促动器发挥功能的MEMS构造体例如由具有支撑层、埋入(BOX)层以及活性层的SOI基板形成。上述的固定框180和可动框160等由支撑层、BOX层以及活性层这三层形成。另一方面，水平驱动梁130A、130B以及垂直驱动梁170A、170B等除固定框180和可动框160等以外的部分由活性层这一单层形成。或者，也可以由BOX层和活性层这两层形成。
在本实施方式的光扫描装置中，在构成水平驱动梁130A、130B的水平梁的一个面(上表面)，如上所述地形成有水平驱动源131A、131B，并在另一个面(背面)，在构成水平驱动梁130A、130B的水平梁的中央部亦即水平旋转轴AXH上形成有肋132。肋132形成为在水平梁的长边方向上较短且在短边方向上较长的形状。形成于构成水平驱动梁130A、130B的水平梁的另一个面(背面)的肋132例如是为了当在MEMS构造体的制造工序中进行切割时抑制折皱部分因振动、水流振动从而破损的情况而设置的。
并且，在本实施方式的光扫描装置中，在构成垂直驱动梁170A、170B的垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2的一个面(上表面)，如上所述地形成有垂直驱动源171A、171B。在垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2的另一个面(背面)形成有肋172。肋172例如形成于离垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2与折回部171X、171Y之间的连结部分的距离为垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2的长度的10～20％的位置。肋172形成为在垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2的长边方向上较短且在短边方向上较长的形状。通过设置形成于构成垂直驱动梁170A、170B的垂直梁的另一个面(背面)的肋172，来防止垂直驱动梁170A、170B向上方的翘曲和不必要地向正交的方向(垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2的宽度(短边)方向)的翘曲，从而能够抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移量。
并且，在本实施方式的光扫描装置中，在反射镜支撑部120的反射镜110形成面的背面也形成有肋。形成于反射镜支撑部120的背面的肋例如以防止反射镜支撑部不必要地翘曲的目的来设置。
形成于构成垂直驱动梁170A、170B的垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2的另一个面(背面)的肋172具有与固定框180以及可动框160相同的高度(厚度)。即，在作为光扫描装置的促动器发挥功能的MEMS构造体由SOI基板形成的情况下，在由活性层形成的垂直梁173X1、173X2、173Y1、173Y2的背面中，由BOX层和支撑层形成肋172。构成水平驱动梁130A、130B的水平梁由活性层形成，形成于水平梁的另一个面(背面)的肋132由BOX层和支撑层形成。反射镜支撑部120由活性层形成，形成于反射镜支撑部120的反射镜110形成面的背面的肋由BOX层和支撑层形成。并且，除了利用SOI基板的支撑层以外，还可以通过对体硅进行蚀刻来形成台阶，从而设置肋。
图3是示出本实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的驱动波形的图。例如是输入至垂直驱动源171A、171B的驱动波形。横轴是时间，纵轴是反射镜的目标角度。如图3所示，驱动波形呈锯齿波形状。锯齿波形状的一个周期具有主扫描区间和返回区间。在主扫描区间内，角度从初始角度起根据时间变化以一定的比例变化，在主扫描区间结束时达到预定角度。在返回区间内，从主扫描区间结束时的角度起返回至初始角度。
图4是示出本实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的作为驱动波形的上行部分的主扫描区间的波形的图。图4相当于将图3中的A1所示的区域放大的图。锯齿波形状的主扫描区间如图4所示地呈台阶形状。具有第一台阶状波形和与第一台阶状波形连续的第二台阶状波形，第一台阶状波形的高度与相对于第一台阶状波形的第二台阶状波形的高度实际上相同。第一台阶波形是振铃波长λr的1/2(0.5λr)的长度。即，在具有第一台阶状波形和第二台阶状波形的一组台阶的台阶部分中，以振铃波长λr的1/2的时间间隔分为两次地进行位移。此时，如在下文中说明那样，第一台阶状波形产生振铃抑制波形，该振铃抑制波形是与能在第二台阶状波形产生的振铃波形相位相反的振铃波形。即，由第一台阶状波形所产生振铃与第二台阶状波形所产生的振铃相互抵消。在下文中对利用第一台阶状波形和第二台阶状波形来抵消振铃的内容进行详细说明。
图5是示出与本实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的主扫描区间的输入波形对应的反射镜角度波形的图。图5的(A)是第一台阶状波形的输入波形。第一台阶状波形的高度为1/2h。图5的(B)是图5的(A)的输入结果的反射镜角度。在沿第一台阶状波形产生反射镜角度的位移后，产生振铃。图5的(C)是第二台阶状波形的输入波形，是未考虑到第一台阶状波形的仅第二台阶状波形的输入波形。第二台阶状波形的高度为1/2h。第二台阶状波形的上升从第一台阶状波形延迟0.5λr。即，第一台阶状波形的长度为0.5λr。图5的(D)是图5的(C)的输入结果的反射镜角度。图5的(D)是仅考虑到第二台阶状波形时的反射镜角度。图5的(D)与图5的(B)相同，在沿第二台阶状波形产生反射镜角度的位移后，产生振铃。其中，图5的(D)是相对于图5的(B)延迟0.5λr相位的波形形状。
反射镜的驱动以将第一台阶状波形和第二台阶状波形相加而成的波形来进行。图5的(E)是将图5的(A)和图5的(C)相加而成的波形。图5的(A)所示的第一台阶状波形的高度为1/2h，图5的(C)所示的第二台阶状波形的高度为1/2h。如图5的(E)所示，若合成高度1/2h的第一台阶状波形和高度1/2h的第二台阶状波形，则成为高度h的波形。即，第一台阶状波形的高度与第二台阶状波形的高度实际上相等。通过第一台阶状波形的高度与第二台阶状波形的高度实际上相等，从而图5的(B)所示的第一台阶状波形所产生振铃波形的振幅与第二台阶状波形所产生的振铃波形的振幅相同。
图5的(F)是示出图5的(E)的输入结果的反射镜角度，成为将图5的(B)和图5的(D)相加而成的波形。此处，图5的(A)的第一台阶状波形的上升位置与图5的(C)的第二台阶状波形的上升位置偏离0.5λr，从而图5的(B)所示的振铃波形与图5的(D)所示的振铃波形相比，振铃的相位反转而峰和谷相反。若将图5的(B)和图5的(D)相加，则振铃的波形彼此相抵而相互抵消，从而振铃消失。其结果，如图5的(F)所示，能够获得没有振铃的平坦的反射镜角度的波形。这样，第一台阶状波形所产生振铃波形具有抑制第二台阶状波形所产生的振铃波形的效果，从而也将第一台阶状波形所产生振铃波形称作振铃抑制波形。上述的“第一台阶状波形的高度与第二台阶状波形的高度实际上相等”是示出第一台阶状波形所产生振铃波形的振幅与第二台阶状波形所产生的振铃波形的振幅以当设为上升的位置偏离0.5λr的波形时足以进行振铃的波形彼此相抵而相互抵消的程度地相同的范围。
如上所述，由第一台阶状波形产生振铃抑制波形与由第二台阶状波形产生的振铃波形的振幅相同，相位不同。因此，若合成由第一台阶状波形产生振铃抑制波形和由第二台阶状波形产生的振铃波形，则以相互抵消的方式作用。尤其是当相位偏离0.5λr时，第一台阶状波形所产生振铃抑制波形与第二台阶状波形所产生的振铃波形的峰与谷的位置正好相反，从而实际上能够除去振铃。
说明上述的第一台阶状波形的长度。通过将第一台阶状波形的长度设为0.5λr，能够使振铃抑制波形的相位与第二台阶状波形所产生的振铃波形的相位正好相反。此时，第一台阶状波形所产生振铃抑制波形与第二台阶状波形所产生的振铃波形相互抵消。在第一台阶状波形的长度为0.5λr的情况下，相位正好相反，从而能够使振铃波形抵消的效果最高。其中，即使第一台阶状波形的长度不是0.5λr，只要不是nλr(n是正的整数)，就能够以使相位某程度地偏离而相互抵消的方式起作用，从而能够获得第一台阶状波形所产生振铃抑制波形更加抑制第二台阶状波形所产生的振铃波形的效果。其中，在第二台阶状波形的长度为nλr(n是正的整数)的情况下，第一台阶状波形所产生振铃波形与第二台阶状波形所产生的振铃波形相互加强，从而无法获得抑制振铃成分的效果。
当将上述的第一台阶状波形和第二台阶状波形设为一组时，主扫描区间的驱动波形构成为具有多个第一台阶状波形和第二台阶状波形的组。在第一台阶状波形和第二台阶状波形的每个组中，振铃的波形彼此相抵而消失。
如上所述，根据本实施方式，锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形，第一台阶状波形产生抑制能在第二台阶状波形产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形，从而能够抑制锯齿波的主扫描区间单独产生的振铃而并非锯齿波整体，从而能够与主扫描区间部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。
＜实施例＞
在使用台阶波形作为使光扫描装置的反射镜位移的垂直驱动波形的情况下，若单纯地将台阶波形作为输入波形，则f0较强地被激励，从而产生振铃。并且，若与水平驱动波形的锯齿波的返回时间相比垂直驱动波形的台阶部分的迁移时间较长，则在水平驱动中产生待机的期间，并在水平驱动中产生振铃，从而迁移时间需要比水平驱动的返回区间的时间(例如2毫秒程度)短。并且，台阶的层数最大为512层，但每层台阶的分辨率为四层(能够分配至一组台阶状波形的台阶状波形为四个)，无法作出水平驱动波形的返回区间之类的平缓的波形。研究出满足上述的条件同时抑制振铃的波形。
图6是示出比较例的光扫描装置的光扫描部的主扫描区间的反射镜垂直角的输入波形(input)和与通过模拟求出的输入波形对应的输出波形(output)的图。横轴是时间，纵轴是反射镜垂直角。比较例的输入波形(input)是单纯的台阶形状，在一个台阶状波形中使反射镜的角度位移预定角度。由多个台阶状波形构成主扫描区间的输入波形。若在一个台阶状波形中使反射镜位移，则如图6的输出波形那样产生振铃。台阶状波形的上升部分所需的迁移时间是0秒，在输出波形中产生输入波形的台阶状波形的高度的190.15％的振幅的振铃，直至振铃平息为止需要0.1秒以上。
图7是示出参考例1的光扫描装置的光扫描部的主扫描区间的反射镜垂直角的输入波形(input)和与通过模拟求出的输入波形对应的输出波形(output)的图。横轴是时间，纵轴是反射镜垂直角。参考例1的输入波形(input)是锥形的形状，花费预定时间位移预定角度。由多个锥形状波形构成主扫描区间的输入波形。若在一个锥形波形中使反射镜位移，则如图7的输出波形那样较大地抑制振铃。锥形状波形的上升部分所需的迁移时间是3.16毫秒，在输出波形中产生输入波形的台阶状波形的高度的2.58％的振幅的振铃。若锥形的迁移时间为振铃波长的倍数，则抑制振铃。由于振铃由f0的振动引起，所以在参考例1中设为f0的波长3.16毫秒的锥形。振铃相当小，但由逻辑电路生成漂亮的锥形波形是非常困难的。
图8是示出实施例的光扫描装置的光扫描部的主扫描区间的反射镜垂直角的输入波形(input)和与通过模拟求出的输入波形对应的输出波形(output)的图。横轴是时间，纵轴是反射镜垂直角。实施例的输入波形(input)是两层台阶形状，在第一台阶状波形和第二台阶状波形的组中位移预定角度。第一台阶状波形和第二台阶状波形分别位移预定角度的50％分。由第一台阶状波形和第二台阶状波形的组的多个组构成主扫描区间的输入波形。若在一个组的两层台阶波形中使反射镜位移，则如图5中说明那样，如图8的输出波形那样较大地抑制振铃。相当于第一台阶状形状与第二台阶状形状的间隔的迁移时间是1.58毫秒，在输出波形中产生输入波形的两个台阶状波形的高度的和的7.63％的振幅的振铃。设有上升偏离振铃频率的一半时间(0.5λr)的大小的两个相同高度的台阶状波形。第一台阶状波形产生抑制能在第二台阶状波形所产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形，能够使振铃相抵。迁移时间也较短，波形也呈台阶状，从而在逻辑电路中也能够容易地再现。
图9是示出参考例2的光扫描装置的光扫描部的主扫描区间的反射镜垂直角的输入波形(input)和与通过模拟求出的输入波形对应的输出波形(output)的图。横轴是时间，纵轴是反射镜垂直角。参考例2的输入波形(input)是矩形的图案的形状。在因第一上升而位移了预定角度后，在0.11毫秒后返回50％分的位移，另外在1.37毫秒后因第二上升而位移50％，以从第一上升至第二上升为止的总计来进行预定角度的位移。将从第一上升至第二上升为止的波形作为一个组而具有多个组来构成主扫描区间的输入波形。若在一个组的矩形图案波形中使反射镜位移，则如图9的输出波形那样较大地抑制振铃。相当于第一上升形状与第二上升形状的间隔的迁移时间是1.48毫秒，在输出波形中产生输入波形的从第一上升至第二上升为止的位移的和的5.83％的振幅的振铃。能够根据从第一上升至返回预定角度的预定比例为止的时间、从返回预定角度的预定比例至第二上升为止的时间、预定角度的预定比例这三个参数以使振铃变小的方式进行调整。考虑也以组合来抵消f0以外的振铃。但是，与参数相抵的频率的关系性变得不明确。
以上对优选的实施方式进行了说明，但不限定于上述的实施方式，在不脱离权利要求书所记载的范围的情况下，能够对上述的实施方式施加各种变形以及置换。例如，在上述的实施方式中，对在具有反射镜的光扫描装置中应用了促动器的方式进行了说明，但促动器的驱动对象物也可以不是反射镜，本发明也能够应用于不具有反射镜的促动器。并且，在上述实施方式中，对应用了以压电薄膜作为驱动源的压电驱动方式的促动器的方式进行了说明，但也能够应用于采用其它电磁驱动方式、静电驱动方式的促动器。并且，本发明的光扫描装置能够优选地应用于眼底检查装置的光学相干断层扫描仪。在眼底检查装置的光学相干断层扫描仪中，由于如投影仪那样一个轴高速动作，所以不需要共振驱动，并且要求能够自由地设定并调整振角量来进行光扫描，从而本实施例那样的两个轴均适用非共振驱动的结构。并且，也能够应用于投影装置。

Claims (8)

1.一种促动器，其特征在于，具有：
梁，其支撑驱动对象物；以及
驱动源，其被输入有驱动信号，
上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，
上述锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形，
上述第一台阶状波形产生抑制能在上述第二台阶状波形中产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形，
通过上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之在绕预定轴旋转的方向上摆动，
上述第一台阶状波形的长度是由上述第一台阶状波形产生的振铃的振铃波长λr的n倍以外的长度，其中n是正的整数。
2.根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，
多个上述梁沿与上述预定轴垂直的方向延伸，
相邻的上述梁的端部彼此通过折回部连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。
3.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，
上述梁是在表面形成有上述驱动源且使上述驱动对象物摆动的驱动梁。
4.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，
由上述第一台阶状波形产生的振铃与由上述第二台阶状波形产生的振铃相互抵消。
5.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，
上述第一台阶状波形的高度与上述第二台阶状波形的高度实际上相等。
6.根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，
上述第一台阶状波形的长度是0.5λr。
7.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，
上述锯齿波形状的上行区间是上述促动器进行的扫描的主扫描区间。
8.一种光扫描装置，其特征在于，具有：
反射镜，其具有光反射面；
反射镜支撑体，其支撑上述反射镜；
驱动梁，其支撑上述反射镜支撑体，并具有沿与预定轴垂直的方向延伸的多个梁，并且相邻的上述梁的端部彼此通过折回部连结，从而整体具有之字形状的折皱构造；以及
驱动源，其形成于上述梁的表面，且被输入有驱动信号，
上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，
上述锯齿波形状的驱动波形的上行部分具有第一台阶状波形和与上述第一台阶状波形连续的第二台阶状波形，
上述第一台阶状波形产生抑制能在上述第二台阶状波形中产生的振铃波形的振动的振铃抑制波形，
通过上述驱动源的驱动，驱动上述反射镜支撑体使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动，
上述第一台阶状波形的长度是由上述第一台阶状波形产生的振铃的振铃波长λr的n倍以外的长度，其中n是正的整数。
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