CN110268102A - 防反射膜、防反射膜的制造方法、模具及模具的制造方法 - Google Patents

防反射膜、防反射膜的制造方法、模具及模具的制造方法 Download PDF

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Abstract

模具(100)的制造方法包含：工序(a)，准备被实施了机械性镜面加工的铝基材(12)；工序(b)，对铝基材的表面喷涂为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料，从而将多个凹部(12a)形成于铝基材的表面(12s)；工序(c)，在工序(b)之后，在铝基材的表面形成无机材料层(16)，在无机材料层之上形成铝膜(18)，从而制作模具基材(10)；以及在工序(c)之后将铝膜的表面进行阳极氧化的工序和使多孔氧化铝层与蚀刻液接触的工序。

Description

防反射膜、防反射膜的制造方法、模具及模具的制造方法
技术领域
本发明涉及防反射膜、防反射膜的制造方法、模具以及模具的制造方法。在此所说的“模具”包含各种加工方法(冲压、浇铸)所使用的模具，有时也称为压模。另外，也可以用于印刷(包括纳米印刷)。
背景技术
为了减少表面反射并提高光的透射量，通常对电视机、便携电话等所使用的显示装置、相机镜头等光学元件实施了防反射技术。其原因是，例如，如光入射到空气与玻璃的界面时那样在光经过折射率不同的介质的界面的情况下，光的透射量会由于菲涅耳反射等而减少，视认性会下降。
近年来，作为防反射技术，在基板表面形成将凹凸的周期控制为可见光的波长(λ＝380nm～780nm)以下的细微的凹凸图案的方法受到关注(参照专利文献1～3)。构成表现出防反射功能的凹凸图案的凸部的二维大小是10nm以上且不到500nm。在此，凸部的“二维大小”是指从表面的法线方向观看时的凸部的面积等效圆直径(与凸部的面积相当的圆的直径)，例如，在凸部是圆锥形的情况下，凸部的二维大小相当于圆锥的底面的直径。凹部的“二维大小”也是同样的。
该方法利用了所谓的蛾眼(Moth-eye、蛾子的眼睛)结构的原理，通过使相对于入射到基板的光的折射率沿着凹凸的深度方向从入射介质的折射率开始连续地变化至基板的折射率为止，从而抑制想要防止反射的波长区域的反射。
蛾眼结构除了具有能在大的波长区域内发挥入射角依赖性小的防反射作用的优点以外，还具有能应用于众多材料、能将凹凸图案直接形成于基板等优点。其结果是，能以低成本提供高性能的防反射膜(或防反射表面)。
作为蛾眼结构的制造方法，使用通过将铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层的方法受到关注(专利文献2和3)。
通过使用阳极氧化多孔氧化铝膜，能容易地制造用于在表面形成蛾眼结构的模具(以下称为“蛾眼用模具”。)。特别是，当如专利文献2和3中记载的那样将铝的阳极氧化膜的表面原样用作模具时，降低制造成本的效果大。将能形成蛾眼结构的蛾眼用模具的表面的结构称为“反转的蛾眼结构”。
如专利文献1至5所记载的那样，通过不仅设置蛾眼结构而且设置比蛾眼结构大的凹凸结构，能对防反射膜(或防反射表面)赋予防眩光(Anti Glare；防眩)功能。构成发挥防眩光功能的凹凸结构(有时称为“防眩光结构”。)的凸部或凹部的二维大小例如是200nm以上且不到100μm。另外，将能形成防眩光结构的模具的表面的结构称为“反转的防眩光结构”。为了参照专利文献1至4的全部公开内容，将其引用到本说明书中。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：特表2001-517319号公报
专利文献2：特表2003-531962号公报
专利文献3：国际公开第2006/059686号
专利文献4：国际公开第2011/052652号
专利文献5：国际公开第2013/099935号
发明内容
发明要解决的问题
已研究了高效地制造用于形成具有希望的防眩光功能的防反射膜(或防反射表面)的模具的方法。近年来，有优选清楚的图像的倾向。即，有要求在贴到高清晰化的显示面板时既不使高清晰化的图像劣化而确保清楚性又表现出防眩性的防反射膜的倾向。本申请人在制作了这种防反射膜后，当从倾斜视角观看时，有时会发生透过防反射膜的图像白浊的问题。稍后描述详细内容。
本发明的目的在于提供既确保清楚性又表现出防眩性且抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊的防反射膜(或防反射表面)、提供制造这种防反射膜的方法、提供用于形成这种防反射膜的模具、以及提供能高效地制造这种模具的方法。
用于解决问题的方案
本发明的实施方式的模具的制造方法包含：工序(a)，准备被实施了机械性镜面加工的铝基材；工序(b)，对上述铝基材的表面喷涂为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料，从而将多个第1凹部形成于上述铝基材的表面；工序(c)，在上述工序(b)之后，在上述铝基材的上述表面形成无机材料层，在上述无机材料层之上形成铝膜，从而制作模具基材；工序(d)，在上述工序(c)之后，将上述铝膜的表面进行阳极氧化，从而形成具有多个第2凹部的多孔氧化铝层；工序(e)，在上述工序(d)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，从而使上述多孔氧化铝层的上述多个第2凹部扩大；以及工序(f)，在上述工序(e)之后，进一步进行阳极氧化，从而使上述多个第2凹部生长。
在某实施方式中，上述投射材料的平均粒径是10μm以上且不到35μm。
在某实施方式中，上述投射材料的粒度分布在从平均粒径起±10％以内的范围内具有峰值。
在某实施方式中，上述制造方法在上述工序(b)与上述工序(c)之间还包含对上述铝基材的表面实施电解研磨的工序(g)。
本发明的实施方式的模具是通过上述的任意一种模具的制造方法制造的模具。
本发明的另一实施方式的模具具备表面结构，上述表面结构具有：多个第1凹部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是1μm以上且12μm以下；以及多个第2凹部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是10nm以上且不到500nm，上述多个第1凹部的相邻间距离是2μm以上且10μm以下。
本发明的实施方式的防反射膜的制造方法包含：准备上述的任意一种模具的工序；准备被加工物的工序；在对上述模具与上述被加工物的表面之间赋予了光固化树脂的状态下，对上述光固化树脂照射光从而使上述光固化树脂固化的工序；以及将上述模具从由固化后的光固化树脂形成的防反射膜剥离的工序。
本发明的实施方式的防反射膜是通过上述的防反射膜的制造方法制造的防反射膜。
本发明的另一实施方式的防反射膜具备表面结构，上述表面结构具有：多个第1凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是1μm以上且12μm以下；以及多个第2凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是10nm以上且不到500nm，在设60度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.01以上且0.1以下。
在某实施方式中，20度镜面光泽度是0.01以上且1.0以下，60度镜面光泽度是1.0以上且10.0以下。
在某实施方式中，在设85度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.001以上且0.005以下。
在某实施方式中，85度镜面光泽度是50.0以上且75.0以下。
在某实施方式中，设入射角为5°、取受光角作为横轴、设漫反射光强度的最大值为80％而进行了归一化的、取相对漫反射率(％)的常用对数作为纵轴的配光分布曲线在受光角是5°以上且7°以下的范围内，是3％以上，包含处于受光角是8°以上且10°以下并且上述相对漫反射率(％)是2％以上且8％以下的范围内的点，包含处于受光角是10°以上且15°以下并且上述相对漫反射率(％)是0.9％以上且1.1％以下的范围内的点。
在某实施方式中，雾度值是2％以上且40％以下。
本发明的另一实施方式的制造防反射膜的方法包含：通过模具的制造方法制造模具的工序；准备被加工物的工序；在对上述模具与上述被加工物的表面之间赋予了光固化树脂的状态下，对上述光固化树脂照射光从而使上述光固化树脂固化的工序；以及将上述模具从由固化后的光固化树脂形成的防反射膜剥离的工序，上述模具的制造方法包含：工序(a)，准备被实施了机械性镜面加工的铝基材；工序(b)，对上述铝基材的表面喷涂为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料，从而将多个第1凹部形成于上述铝基材的表面；工序(c)，在上述工序(b)之后，在上述铝基材的上述表面形成无机材料层，在上述无机材料层之上形成铝膜，从而制作模具基材；工序(d)，在上述工序(c)之后，将上述铝膜的表面进行阳极氧化，从而形成具有多个第2凹部的多孔氧化铝层；工序(e)，在上述工序(d)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，从而使上述多孔氧化铝层的上述多个第2凹部扩大；以及工序(f)，在上述工序(e)之后，进一步进行阳极氧化，从而使上述多个第2凹部生长，上述防反射膜具备表面结构，上述表面结构具有：多个第1凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是1μm以上且5μm以下；以及多个第2凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是10nm以上且不到500nm，上述防反射膜在设60度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.01以上且0.1以下。
本发明的另一实施方式的制造防反射膜的方法包含：通过模具的制造方法制造模具的工序；准备被加工物的工序；在对上述模具与上述被加工物的表面之间赋予了光固化树脂的状态下，对上述光固化树脂照射光从而使上述光固化树脂固化的工序；以及将上述模具从由固化后的光固化树脂形成的防反射膜剥离的工序，上述模具的制造方法包含：工序(a)，准备被实施了机械性镜面加工的铝基材；工序(b)，对上述铝基材的表面喷涂为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料，从而将多个第1凹部形成于上述铝基材的表面；工序(c)，在上述工序(b)之后，在上述铝基材的上述表面形成无机材料层，在上述无机材料层之上形成铝膜，从而制作模具基材；工序(d)，在上述工序(c)之后，将上述铝膜的表面进行阳极氧化，从而形成具有多个第2凹部的多孔氧化铝层；工序(e)，在上述工序(d)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，从而使上述多孔氧化铝层的上述多个第2凹部扩大；以及工序(f)，在上述工序(e)之后，进一步进行阳极氧化，从而使上述多个第2凹部生长，上述防反射膜具备表面结构，上述表面结构具有：多个第1凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是1μm以上且5μm以下；以及多个第2凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是10nm以上且不到500nm，上述防反射膜在设85度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.001以上且0.005以下。
发明效果
根据本发明的实施方式，可提供既确保清楚性又表现出防眩性且抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊的防反射膜(或防反射表面)、制造这种防反射膜的方法、用于形成这种防反射膜的模具和能高效地制造这种模具的方法。
附图说明
图1的(a)～(d)是用于说明本发明的实施方式的蛾眼用模具100的制造方法的示意性截面图。
图2是用于说明本发明的实施方式的蛾眼用模具100的制造工序中的、对铝基材12的表面喷涂投射材料从而形成反转的防眩光结构的工序的示意性的图。
图3是用于说明使用了蛾眼用模具100的防反射膜的制造方法的图。
图4的(a)和(b)是具有通过喷涂投射材料而形成的反转的防眩光结构的铝小片的表面的SEM图像(SEM图像中的满刻度是20.0μm)。
图5的(a)和(b)是表示在表面上贴附有实施例1的防反射薄膜(中央)、参考例1的防反射薄膜(右)以及比较例1的防反射薄膜(左)的显示面板的光学图像的图，(a)是表示从表面的法线方向观看时的光学图像的图，(b)是表示从倾斜视角(极角60°)观看的光学图像的图。
图6的(a)～(c)是本发明的实施方式的防反射膜的SEM图像，(a)是从垂直方向观看防反射膜的表面时的SEM图像(SEM图像中的满刻度是10.0μm)，(b)是防反射膜的截面SEM图像(SEM图像中的满刻度是3.0μm)，(c)是防反射膜的截面SEM图像(SEM图像中的满刻度是500nm)。
图7的(a)～(c)是参考例的防反射膜的SEM图像，(a)是从垂直方向观看防反射膜的表面时的SEM图像(SEM图像中的满刻度是10.0μm)，(b)是防反射膜的截面SEM图像(SEM图像中的满刻度是3.0μm)，(c)是防反射膜的截面SEM图像(SEM图像中的满刻度是500nm)。
图8的(a)和(b)是具有防眩光功能的防反射薄膜的示意性截面图，(a)是在表面具有防眩光结构的防反射薄膜50的示意性截面图，(b)是在比表面靠内侧处具备具有防眩光功能的层的防反射薄膜950的示意性截面图。
图9的(a)表示从正面方向观看比较例2～比较例7和比较例10的防反射薄膜时的亮处对比率，(b)表示从正面方向观看比较例2～比较例7和比较例10的防反射薄膜时的白色显示状态的亮度，(c)表示从正面方向观看比较例2～比较例7和比较例10的防反射薄膜时的黑色显示状态的亮度。
图10的(a)是表示比较例3～比较例7的防反射薄膜的漫反射光的配光分布的测定结果的坐标图，(b)是表示漫反射光的配光分布的测定系统的示意图。
图11的(a)和(b)是表示一边使极角变化一边对比较例2～比较例7的防反射薄膜的白色显示状态的亮度进行了测定的结果的坐标图，(b)是将(a)的一部分放大示出的图。
图12的(a)和(b)是示意性地表示用于形成防眩光结构的凹凸结构与行方向的点间距Px的大小的关系的图。
图13是表示实施例3、参考例2、比较例3、比较例5、比较例12以及比较例13的防反射薄膜的漫反射光的配光分布的测定结果的坐标图。
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的实施方式的防反射膜、防反射膜的制造方法、用于形成防反射膜的模具以及模具的制造方法。此外，本发明不限于以下例示的实施方式。在以下的附图中，实质上具有相同功能的构成要素有时用共同的附图标记来表示，并省略其说明。
参照图1和图2说明本发明的实施方式的模具的制造方法。
首先，参照图1。图1的(a)～(d)是用于说明本发明的实施方式的蛾眼用模具100的制造方法的示意性截面图。图1的(a)是铝基材12的示意性截面图，图1的(b)是示意性地表示具有反转的防眩光结构的铝基材12的表面结构的截面图，图1的(c)是通过在铝基材12的表面形成无机材料层16和铝膜18从而得到的模具基材10的示意性截面图，图1的(d)是具有反转的防眩光结构以及与反转的防眩光结构重叠的反转的蛾眼结构的蛾眼用模具100的示意性截面图。图1的(d)是与图1的(c)的一部分(由虚线夹着的区域)对应的截面图。
在本说明书中，模具基材是指在模具的制造工序中被阳极氧化和蚀刻的对象。另外，铝基材是指能自我支撑的块(bulk)状的铝。
在图1中，将蛾眼用模具100的一部分放大示出，但本发明的实施方式的蛾眼用模具100例如是圆筒状(辊状)。如国际公开第2011/105206号中公开的那样，当使用圆筒状的蛾眼用模具时，能通过辊对辊方式高效地制造防反射膜。为了参照，将国际公开第2011/105206号的全部公开内容引用到本说明书中。以下以圆筒状的模具为例进行说明，但本发明的实施方式的模具不限于圆筒状。
首先，如图1的(a)所示，准备圆筒状的基材12。圆筒状的基材12例如用铝形成。以下说明铝基材12的例子。铝基材12被实施了机械性镜面加工。圆筒状的铝基材12例如用Al-Mg-Si系的铝合金形成。
铝基材12使用铝的纯度为99.50质量％以上且不到99.99质量％的刚性比较高的铝基材。铝基材12所包含的杂质优选包含从包括铁(Fe)、硅(Si)、铜(Cu)、锰(Mn)、锌(Zn)、镍(Ni)、钛(Ti)、铅(Pb)、锡(Sn)以及镁(Mg)的群中选出的至少一种元素，特别优选Mg。蚀刻工序中形成坑(凹陷)的机制是局部性电池反应，因此优选使用理想上完全不包含比铝贵的元素、而包含作为贱金属的Mg(标准电极电位为-2.36V)作为杂质元素的铝基材12。如果比铝贵的元素的含有率为10ppm以下，则从电化学的观点来看，可以说实质上不包含该元素。Mg的含有率优选为整体的0.1质量％以上，更优选为约3.0质量％以下的范围。在Mg的含有率不到0.1质量％时，无法获得足够的刚性。另一方面，如果含有率变大，则容易引起Mg的偏析。即便在形成蛾眼用模具的表面附近发生偏析，在电化学方面也不会成为问题，但由于Mg会形成与铝不同的形态的阳极氧化膜，因此会成为不良的原因。杂质元素的含有率只要根据铝基材12的形状、厚度以及大小，并根据所需要的刚性进行适当设定即可。例如在通过轧制加工来制作板状铝基材12时，Mg的含有率为约3.0质量％是适当的，在通过挤压加工来制作具有圆筒等立体结构的铝基材12时，Mg的含有率优选为2.0质量％以下。如果Mg的含有率超过2.0质量％，则通常挤压加工性会降低。
作为机械性镜面加工，优选刀具(bite)切削。当在铝基材12的表面上残留有例如磨粒时，在存在磨粒的部分，铝膜18与铝基材12之间容易导通。除了磨粒以外，在存在凹凸的部分，铝膜18与铝基材12之间也容易局部地导通。当铝膜18与铝基材12之间局部地导通时，有可能在铝基材12内的杂质与铝膜18之间局部地发生电池反应。
典型来说，圆筒状的铝基材12通过热挤压法来形成。热挤压法有芯棒(mandrel)法和孔道(porthole)法，但优选使用由芯棒法形成的铝基材12。由孔道法形成的圆筒状的铝基材12会在外周面形成接缝(焊接线)，接缝会反映到蛾眼用模具100。因而，根据蛾眼用模具100所要求的精度，优选使用由芯棒法形成的铝基材12。
此外，通过对由孔道法形成的铝基材12实施冷拔加工，能解决接缝的问题。当然，也可以对由芯棒法形成的铝基材12实施冷拔加工。
接着，对铝基材12的表面喷涂投射材料，由此如图1的(b)所示，在铝基材12的表面12s形成反转的防眩光结构。通过喷涂投射材料形成的反转的防眩光结构具有多个第1凹部12a。
在此，参照图2说明在铝基材12的表面12s形成反转的防眩光结构的方法。图2是用于说明本发明的实施方式的蛾眼用模具100的制造工序中的、对铝基材12的表面喷涂投射材料从而形成反转的防眩光结构的工序(有时称为喷涂处理工序。)的示意性的图。
首先，准备图1的(a)所示的铝基材12。圆筒状的铝基材例如以长轴方向与铅垂方向大致平行的方式竖立配置。
接着，从喷嘴82向铝基材12的表面喷涂投射材料，从而在铝基材12的表面形成反转的防眩光结构。投射材料是大致球状，投射材料包含氧化铝颗粒，投射材料的平均粒径是10μm以上且40μm以下。
通过不仅调整投射材料的条件而且调整喷涂投射材料的条件，能改变在铝基材12的表面形成的反转的防眩光结构的形状。例如，在喷涂投射材料的工序中，可以使铝基材12以铝基材12的长轴为中心旋转。由此，能对铝基材12的表面(圆筒状的铝基材12的侧面)均匀地喷涂投射材料，能在铝基材12的表面均匀地形成反转的防眩光结构。在图2中，将铝基材12以铝基材12的长轴为中心旋转的速度示为vr。例如，也可以使喷嘴82沿着铝基材12的长轴方向移动。在图2中，将喷嘴82沿着铝基材12的长轴方向移动的速度示为vv。
喷涂投射材料的条件例如包含从喷嘴82到铝基材12的表面的距离d、投射材料的喷出压力以及喷嘴82的移动速度vv。根据处理面积(铝基材12的表面中的、实施喷涂处理的面积)来适当地调整铝基材12的旋转速度vr和喷涂投射材料的时间。
在本发明的实施方式中，投射材料的平均粒径也可以是10μm以上且不到35μm。投射材料的粒度分布例如可以在从平均粒径起±10％以内的范围内具有峰值。
将在后面参照实验例描述通过喷涂处理形成的反转的防眩光结构。
接着，如图1的(c)所示，在铝基材12的表面形成无机材料层16，在无机材料层16之上形成铝膜18，从而制作模具基材10。
在铝膜18的表面形成有反映了通过对铝基材12的表面进行喷涂处理而形成的反转的防眩光结构的结构。此外，在铝膜18的表面18s形成的反转的防眩光结构比在铝基材12的表面12s形成的反转的防眩光结构顺滑。在此，形成于铝膜18的结构也称为反转的防眩光结构。在铝膜18的表面形成的反转的防眩光结构具有多个第3凹部18a。将在后面参照图4描述多个第3凹部18a和多个第1凹部12a的详细内容。
作为无机材料层16的材料，能使用例如氧化钽(Ta2O5)或二氧化硅(SiO2)。无机材料层16能通过例如溅射法形成。在使用氧化钽层作为无机材料层16的情况下，氧化钽层的厚度例如是200nm。
优选无机材料层16的厚度是100nm以上且不到500nm。若无机材料层16的厚度不到100nm，则有时会在铝膜18产生缺陷(主要是孔隙、即晶粒间间隙)。另外，当无机材料层16的厚度是500nm以上时，根据铝基材12的表面状态，铝基材12与铝膜18之间易于被绝缘。为了通过从铝基材12侧向铝膜18供应电流来进行铝膜18的阳极氧化，需要使电流在铝基材12与铝膜18之间流动。若采用从圆筒状的铝基材12的内面供应电流的构成，则无需在铝膜18设置电极，因此，能对铝膜18在整个面上进行阳极氧化，并且也不会发生随着阳极氧化的进行而难以供应电流的问题，能将铝膜18在整个面上均匀地进行阳极氧化。
另外，为了形成厚的无机材料层16，一般需要延长成膜时间。当成膜时间变长时，铝基材12的表面温度会不必要地上升，其结果是，铝膜18的膜质恶化，有时会产生缺陷(主要是孔隙)。若无机材料层16的厚度不到500nm，则也能抑制这种缺陷的产生。
铝膜18例如是如国际公开第2011/125486号所记载的那样用纯度为99.99质量％以上的铝形成的膜(以下有时称为“高纯度铝膜”。)。铝膜18例如使用真空蒸镀法或溅射法形成。铝膜18的厚度优选处于约500nm以上且约1500nm以下的范围，例如是约1μm。为了参照，将国际公开第2011/125486号的全部公开内容引用到本说明书中。
另外，作为铝膜18，也可以使用国际公开第2013/183576号中记载的铝合金膜，来代替高纯度铝膜。国际公开第2013/183576号中记载的铝合金膜包含铝、铝以外的金属元素以及氮。在本说明书中，“铝膜”不仅包含高纯度铝膜，还包含国际公开第2013/183576号中记载的铝合金膜。为了参照，将国际公开第2013/183576号的全部公开内容引用到本说明书中。
当使用上述铝合金膜时，能得到反射率为80％以上的镜面。构成铝合金膜的晶粒的、从铝合金膜的法线方向观看时的平均粒径例如是100nm以下，铝合金膜的最大表面粗糙度Rmax是60nm以下。铝合金膜所包含的氮的含有率例如是0.5质量％以上且5.7质量％以下。优选铝合金膜所包含的铝以外的金属元素的标准电极电位与铝的标准电极电位之差的绝对值是0.64V以下，铝合金膜中的金属元素的含有率是1.0质量％以上且1.9质量％以下。金属元素例如是Ti或Nd。不过，金属元素不限于此，也可以是金属元素的标准电极电位与铝的标准电极电位之差的绝对值为0.64V以下的其它金属元素(例如Mn、Mg、Zr、V以及Pb)。金属元素也可以是Mo、Nb或Hf。铝合金膜也可以包含两种以上的上述金属元素。铝合金膜例如由DC磁控溅射法形成。优选铝合金膜的厚度也处于约500nm以上且约1500nm以下的范围，例如是约1μm。
在形成反转的防眩光结构后，交替地反复进行阳极氧化和蚀刻，形成反转的蛾眼结构，从而得到图1的(d)所示的蛾眼用模具100。即，形成反转的蛾眼结构的工艺包含：将铝膜18的表面进行阳极氧化，从而形成具有多个第2凹部14p的多孔氧化铝层14的工序；之后使多孔氧化铝层14与蚀刻液接触，从而使多孔氧化铝层14的多个第2凹部14p扩大的工序；以及之后进一步进行阳极氧化，从而使多个第2凹部14p生长的工序。用于阳极氧化的电解液例如是包含从包括草酸、酒石酸、磷酸、硫酸、铬酸、柠檬酸以及苹果酸的群中选出的酸的水溶液。作为蚀刻液，能使用甲酸、乙酸、柠檬酸等有机酸或硫酸的水溶液、铬酸磷酸混合水溶液、或氢氧化钠、氢氧化钾等碱性水溶液。
优选反复进行阳极氧化和蚀刻的一连串的工序以阳极氧化工序结束。通过以阳极氧化工序结束(不进行其后的蚀刻工序)，能缩小第2凹部14p的底部。形成这种反转的蛾眼结构的方法例如公开于专利文献3。
例如，将阳极氧化工序(电解液：草酸水溶液(浓度0.3质量％、液温10℃)、施加电压：80V、施加时间：55秒)和蚀刻工序(蚀刻液：磷酸水溶液(10质量％、30℃)、蚀刻时间：20分钟)交替地进行多次(例如5次：进行5次阳极氧化和4次蚀刻)，从而如图1的(d)所示，得到具有多孔氧化铝层14的蛾眼用模具100，其中多孔氧化铝层14具有第2凹部14p。用在此例示的条件形成的多孔氧化铝层14具有如下结构：Dp＝Dint为10nm以上且不到500nm、深度为10nm以上且不到1000nm(1μm)程度的第2凹部14p密集且不规则地排列。第2凹部14p是大致圆锥状，以形成鞍部的方式相邻。
此外，在第2凹部14p之下形成有屏障层，多孔氧化铝层14包括具有第2凹部14p的多孔层和存在于多孔层之下(铝膜侧)的屏障层(凹部14p的底部)。已知相邻的第2凹部14p的间隔(中心间距离)相当于屏障层的厚度的大致2倍，与阳极氧化时的电压大致成比例。另外，在多孔氧化铝层14之下，存在铝膜18中的、未被阳极氧化的铝残存层18r。
如在图1的(d)中示意性示出的那样，包括第2凹部14p的反转的蛾眼结构形成为与反转的防眩光结构重叠。第2凹部14p的“二维大小”是指从表面的法线方向观看时的凹部的面积等效圆直径。例如，在凹部是圆锥形的情况下，凹部的二维大小相当于圆锥的底面的直径。凸部的“二维大小”也是同样的。如在图1的(d)中例示的那样，第2凹部(细微的凹部)14p是密集地排列的，在相邻的第2凹部14p之间不存在间隙(例如圆锥的底面局部重叠)的情况下，相互相邻的2个第2凹部14p的平均相邻间距离Dint(相邻的第2凹部14p的中心间距离)与第2凹部14p的二维大小Dp大致相等。
能这样制造蛾眼用模具100。如后面的实验例所示，根据本发明的实施方式的蛾眼用模具100，能形成既确保清楚性又表现出防眩性且抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊的防反射膜。根据本发明的实施方式的蛾眼用模具100的制造方法，能高效地得到用于形成既确保清楚性又表现出防眩性且抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊的防反射膜的模具。防反射膜“从倾斜视角观看时看上去白浊”是指在从倾斜视角观看防反射膜时看上去褪色发白(斜向褪色发白)和/或从倾斜视角观看防反射膜时看上去发白。
专利文献5公开了一种模具的制造方法，在对铝基材的表面进行喷砂(blast)处理后，对喷砂处理后的铝基材的表面进行阳极氧化。在专利文献5的模具的制造方法中被进行阳极氧化的对象是铝基材，在铝基材上不具有无机材料层和铝膜。在专利文献5的模具的制造方法中，记载了作为投射材料(在专利文献5中被称为“用于喷砂处理的研磨材料”。)，使用不具有锐利的形状的球状的投射材料，从而能得到用于形成具有防反射性和防眩性并且抑制了产生不匀的防反射膜的模具。在专利文献5的实施例中，作为不具有锐利的形状的球状的投射材料而使用了玻璃珠。在专利文献5中记载了投射材料的中心粒径优选是35μm～150μm。
但是，根据本发明的发明人的研究，发现即使使用由专利文献5的方法制造的模具来制作，在所得到的防反射膜中，从倾斜视角观看时看上去白浊的情况也未得到抑制。本发明的发明人经过种种研究，结果想到了通过用以下的方法来制造模具而能得到用于形成既确保清楚性又表现出防眩性且抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊的防反射膜的模具。首先，在铝基材12的表面，使用为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料进行喷涂处理从而在铝基材12的表面形成反转的防眩光结构，之后，在铝基材12之上形成铝膜18。由此，能在铝膜18的表面(即模具基材10的表面)形成顺滑的反转的防眩光结构，因此，能得到用于形成既确保清楚性又表现出防眩性且抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊的防反射膜的模具。
在本发明的实施方式的蛾眼用模具100的制造方法中，铝基材12的表面的喷涂处理所使用的投射材料的平均粒径相比于专利文献5的制造方法较小。因而，通过在铝基材12的表面形成铝膜18，会显著地显现出使模具基材10的表面的反转的防眩光结构变顺滑的效果。
本发明的实施方式的蛾眼用模具100还具有以下优点。如上所述，在铝基材12的表面，有时会形成有接缝(焊接线)或切削痕迹。例如在由孔道法形成的圆筒状的铝基材的表面可能会形成接缝。另外，在实施了伴有加工变质层的形成的镜面加工(例如刀具切削)的铝基材的表面有时会形成切削痕迹。在本发明的实施方式的蛾眼用模具100中，在铝基材12上形成铝膜18。在铝基材12的表面形成的接缝或切削痕迹可能会被反映到铝膜18的表面，但反映到铝膜18的表面(即模具基材10的表面)的接缝或切削痕迹比在铝基材12的表面形成的接缝或切削痕迹顺滑，而难以醒目。另外，在本发明的实施方式的蛾眼用模具100的制造方法中，由于不对铝膜18的表面喷涂投射材料，因此，铝膜18不会被投射材料局部地破坏。因而，能减小铝膜18的厚度(例如约500nm以上且约1500nm以下)。
接下来，参照图3说明使用了蛾眼用模具100的防反射膜的制造方法。图3是用于说明通过辊对辊方式制造防反射膜的方法的示意性截面图。
首先，准备圆筒状的蛾眼用模具100。此外，圆筒状的蛾眼用模具100可通过上述的制造方法来制造。
如图3所示，在将表面被赋予了紫外线固化树脂32’的被加工物42按压到蛾眼用模具100的状态下，对紫外线固化树脂32’照射紫外线(UV)，从而将紫外线固化树脂32’固化。作为紫外线固化树脂32’，例如能使用丙烯酸系树脂。被加工物42例如是TAC(三乙酰纤维素)薄膜。被加工物42从未图示的放卷辊放卷，其后，利用例如狭缝涂布机等对被加工物42的表面赋予紫外线固化树脂32’。如图3所示，被加工物42由支撑辊46和48支撑。支撑辊46和48具有旋转机构，对被加工物42进行搬运。另外，圆筒状的蛾眼用模具100以与被加工物42的搬运速度对应的旋转速度向在图3中用箭头所示的方向旋转。
之后，通过从被加工物42将蛾眼用模具100分离，由此，转印了蛾眼用模具100的凹凸结构(反转的蛾眼结构和反转的防眩光结构)的固化物层32形成于被加工物42的表面。在表面形成有固化物层32的被加工物42由未图示的卷取辊卷取。
此外，也可以在将表面被赋予了紫外线固化树脂32’的被加工物42按压到蛾眼用模具100前，对蛾眼用模具100的表面赋予脱模剂，从而对蛾眼用模具100实施脱模处理。
作为脱模剂，优选具有(全)氟聚醚基、可加水分解的基团(例如，烷氧基)以及Si原子的化合物。而且，作为脱模剂，也可以不仅包含至少1种化合物(全氟聚醚系化合物)，而且包含全氟烷基系化合物。作为全氟烷基系化合物，例如可举出C8F17CH2CH2Si(OMe)3、C6F13CH2CH2Si(OMe)3、C4F9CH2CH2Si(OMe)3等。若将这样的脱模剂预先赋予到蛾眼用模具100的表面，则能在对紫外线固化树脂32’照射紫外线后，容易地将蛾眼用模具100从固化物层32剥离。
在用上述的辊对辊方式形成防反射膜32时，为了提高形成防反射膜32的薄膜基材(TAC薄膜或PET薄膜)42与防反射膜32的紧贴性，优选经过如下的工序。
对TAC薄膜上赋予包含溶剂的紫外线固化树脂(例如丙烯酸树脂)(厚度例如为2μm～20μm)。此时，溶剂选择将TAC薄膜的表面溶解的溶剂(例如酮系)。由于溶剂将TAC薄膜的表面溶解，从而形成TAC与紫外线固化树脂混合的区域。
之后，将溶剂除去并为了使紫外线固化树脂紧贴到蛾眼用模具的外周面而将TAC薄膜卷绕。
接下来，照射紫外线，使紫外线固化树脂固化。此时，将紫外线固化树脂的温度保持为30℃到70℃。
之后，将TAC薄膜从蛾眼用模具剥离，根据需要再次照射紫外线。
如后述的图8的(a)所示，在TAC薄膜上形成硬涂层的情况下，也可以使形成硬涂层的材料预先含有将TAC薄膜的表面溶解的溶剂。在该情况下，无需使用于形成防反射膜的紫外线固化树脂含有溶剂。
另外，在使用PET薄膜的情况下，优选在赋予紫外线固化树脂之前形成水系的打底物(例如，聚酯系树脂或丙烯酸系树脂)的层(厚度2μm～20μm)。在该情况下，也无需使用于形成防反射膜的紫外线固化树脂含有溶剂。
以下，示出实验例，更具体地说明本发明的实施方式的蛾眼用模具和蛾眼用模具的制造方法。
[使用了铝小片的实验]
参照图4的(a)和(b)，说明通过喷涂处理在铝基材12的表面形成的反转的防眩光结构。通过对铝小片的表面实施喷涂处理工序，形成了反转的防眩光结构。图4的(a)和(b)是具有通过喷涂投射材料而形成的反转的防眩光结构的铝小片的表面的SEM图像(SEM图像中的满刻度是20.0μm)。
图4的(a)和(b)是在被实施了镜面加工的铝小片的表面形成的、反转的防眩光结构。在与图1的(a)的铝基材12相当的铝小片的表面形成了反转的防眩光结构。在此，作为Al-Mg-Si系的铝合金，使用了由JIS A6063形成的、厚度为15mm、约5cm见方的铝小片。JISA6063具有下述的组成(质量％)。
Si：0.20～0.60％、Fe：0.35％以下、Cu：0.10％以下、Mn：0.10％以下、Mg：0.45～0.9％、Cr：0.10％以下、Zn：0.10％以下、Ti：0.10％以下、其它：各自是0.05％以下且总共是0.15％以下、剩余部分：Al。
通过改变条件来进行喷涂处理，得到了图4的(a)的反转的防眩光结构和图4的(b)的反转的防眩光结构。为了得到图4的(a)和(b)的反转的防眩光结构而进行的喷涂处理工序的条件(喷涂投射材料的条件和投射材料的种类)在表6中示出。在表6中，将进行了说明书中的实验例的喷涂处理工序的条件和喷涂处理的对象(即铝基材12)的铝的种类归纳示出。
根据图4的(a)和(b)的SEM图像可知，通过对铝基材12的表面喷涂投射材料而形成的反转的防眩光结构具有多个第1凹部12a。多个第1凹部12a的配置看不到规则性。另外可知，多个第1凹部12a的二维大小的分布广。在此，第1凹部12a的“二维大小”是指面积等效圆直径。根据图4的(a)的SEM图像，能估算出多个第1凹部12a的二维大小为2μm～10μm，并且多个第1凹部12a的二维大小的平均值为5μm、多个第1凹部12a的相邻间距离(相邻的第1凹部12a的中心间距离)为2μm以上且10μm以下。根据图4的(b)的SEM图像，能估算出多个第1凹部12a的二维大小为5μm～20μm，多个第1凹部12a的二维大小的平均值为10μm，多个第1凹部12a的相邻间距离(相邻的第1凹部12a的中心间距离)为1μm以上且10μm以下。
例如，图4的(a)的反转的防眩光结构所具有的多个第1凹部12a的二维大小小于投射材料的平均粒径。在图4的(b)的反转的防眩光结构中，多个第1凹部12a的二维大小的平均值小于投射材料的平均粒径。
例如像在图1的(b)中示意性地示出的那样，第1凹部12a密集且不规则地排列，反转的防眩光结构在第1凹部12a之间不具有平坦的部分。具有通过对铝基材12的表面喷涂投射材料而形成的反转的防眩光结构的表面12s的算数平均粗糙度Ra例如是0.05μm以上且0.3μm以下。
如参照图1的(c)说明的那样，在具有反转的防眩光结构的铝基材12的表面形成无机材料层16，在无机材料层16之上形成铝膜18。由此，在铝膜18的表面18s形成反映了铝基材12的表面12s的反转的防眩光结构的结构。铝膜18具有包含多个第3凹部18a的反转的防眩光结构。由于多个第3凹部18a反映了多个第1凹部12a，因此，多个第3凹部18a的形状(例如二维大小、深度、相邻间距离等)可能与多个第1凹部12a的形状相同。不过，在铝膜18的表面18s形成的反转的防眩光结构比在铝基材12的表面12s形成的反转的防眩光结构顺滑。例如，多个第3凹部18a所具有的棱线比多个第1凹部12a所具有的棱线平缓(不尖锐)。因而，具有反转的防眩光结构的铝膜18的表面18s比具有反转的防眩光结构的铝基材12的表面12s顺滑。例如，铝膜18的表面18s的表面粗糙度可以小于铝基材12的表面12s的表面粗糙度。
多个第3凹部18a的二维大小也指面积等效圆直径。第3凹部18a反转而成的凸部的“二维大小”也是同样的。
在本发明的实施方式的模具所具有的反转的防眩光结构中，多个第3凹部18a的二维大小例如可以是1μm以上且12μm以下，例如也可以是3μm以上且12μm以下。多个第3凹部18a的深度例如是1μm以上且4μm以下。多个第3凹部18a的、深度与二维大小的高宽比例如是0.05以上且0.5以下。
[对喷涂处理工序的条件的研究]
对适于制造用于形成既确保清楚性又表现出防眩性且抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊的防反射膜的模具的喷涂处理工序的条件(喷涂投射材料的条件和投射材料的种类)进行了研究。
通过进行对铝基材12的表面进行喷涂处理的工序，制造了在表面具有反转的防眩光结构的铝基材12。在此，在铝基材12上不形成无机材料层和铝膜而制作了模具样本。改变对铝基材12的表面实施的喷涂处理工序的条件来制造模具样本，并通过对模具样本的表面涂布脱模剂，而实施了脱模处理。具体地，如下进行了脱模处理。首先，制备了用FluoroTechnology公司制造的“S-135”对脱模剂(大金工业株式会社制造的Optools DSX)进行稀释而成的稀释液。稀释液中的脱模剂的浓度是0.1％。然后，通过将模具样本在脱模剂的稀释液中浸渍3分钟，而对模具样本的表面赋予了脱模剂。之后，对在表面涂布了脱模剂的模具样本以150℃进行1小时退火，用Fluoro Technology公司制造的“S-135”冲洗了3分钟。在脱模处理之后，对模具样本的表面涂布丙烯酸系紫外线固化树脂，在将其转印到TAC薄膜上的状态下照射紫外线使其固化。针对得到的具有防眩光结构的样本薄膜No.1～No.4评价了防眩光功能。
有时将如此处使用的样本薄膜那样不具有蛾眼结构而仅具有防眩光结构的膜称为防眩光膜。对用于得到防眩光膜No.1～No.4的模具样本实施的喷涂处理工序的条件在表6中示出。
在表1中示出针对防眩光膜No.1～No.4评价了防眩光功能的结果。
[表1]
表1中的“晃眼”、“莫尔条纹”以及“白浊感”是将防反射薄膜贴附到液晶电视机(AQUOS LC-60UD1、夏普株式会社制造、60英寸)的显示面板的观察者侧的表面并通过目视进行了主观评价的结果。主观评价是通过对10个人进行询问而进行的。“晃眼”表示对从表面的法线方向观看时是否注意到显示面的晃眼进行了评价的结果。“莫尔条纹”表示对从表面的法线方向观看时在显示面是否产生有莫尔条纹进行了评价的结果。“白浊感”是对从与表面的法线方向之间的极角为80°处观看时，防反射薄膜是否看上去白浊(褪色发白)进行了评价的结果。
表1中的“防反射薄膜的雾度值”是使用日本电色工业株式会社制造的积分球式浊度计NDH-2000对防反射薄膜的雾度值进行了测定的结果。投射光设为平行光。将直射透射光与漫射透射光之和设为总光线透射光，将漫射透射光与总光线透射光之比设为雾度值。
表1中的“模具的表面的算数平均粗糙度Ra”是使用表面粗糙度测定仪(株式会社东京精密制造、产品名：Surfcom 480A)对模具的表面的算数平均粗糙度Ra进行了测定的结果。
在防眩光膜No.1和No.2中，抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊，并且抑制了从正面方向观看时的晃眼的发生。防眩光膜No.3具有比防眩光膜No.1和No.2大的雾度值，当从倾斜视角观看时，看上去白浊。
若对防眩光膜No.3和防眩光膜No.4进行比较，则可见尽管模具的表面的算数平均粗糙度Ra是相同程度，但是在抑制晃眼的发生的效果上存在差异。认为这可能是：为了抑制晃眼的发生，使用氧化铝颗粒作为投射材料是更优选的。或者，认为还可能是：由于当比较在此使用的投射材料的平均粒径时，玻璃珠具有比氧化铝颗粒大的平均粒径，因此未能抑制晃眼的发生。如表6所示，为了制造用于形成防眩光膜No.1～3的模具样本而使用的氧化铝颗粒的平均粒径是17μm，而为了制造用于形成防眩光膜No.4的模具样本而使用的玻璃珠的平均粒径是23μm。
另外，根据使用了氧化铝颗粒作为投射材料的防眩光膜No.1～No.3的结果可知，防反射薄膜的雾度值与模具的表面的算数平均粗糙度Ra之间存在相关性。
[本发明的实施方式的防反射膜的制作]
通过参照上述表1所示的结果确定喷涂处理工序的条件，制作了实施例1的防反射薄膜和参考例1的防反射薄膜。
参照图5和表2说明本发明的实施方式的防反射膜的特性。图5的(a)和(b)是表示在表面上贴附有实施例1的防反射薄膜(中央)、参考例1的防反射薄膜(右)以及比较例1的防反射薄膜(左)的显示面板(液晶电视机、产品名：AQUOS LC-60UD1、夏普株式会社制造、60英寸)的光学图像的图，图5的(a)是表示从表面的法线方向观看时的光学图像的图，图5的(b)是表示从倾斜视角(极角60°)观看时的光学图像的图。
实施例1和参考例1的防反射薄膜是使用参照图1和图2说明的方法制造的蛾眼用模具100并通过参照图3说明的方法形成的。用于形成实施例1的防反射薄膜的蛾眼用模具是通过以与对用于形成上述防眩光膜No.2的模具样本实施的喷涂处理工序相同的条件进行喷涂处理而得到的，用于形成参考例1的防反射薄膜的蛾眼用模具是通过以与对用于形成上述防眩光膜No.3的模具样本实施的喷涂处理工序相同的条件进行喷涂处理而得到的。
实施例1和参考例1的防反射薄膜具有与后述的图8的(a)所示的防反射薄膜50同样的结构。即，实施例1和参考例1的防反射薄膜具有基底薄膜(TAC薄膜)、在基底薄膜上形成的硬涂层、以及在表面具有防眩光结构和蛾眼结构的防反射膜。
比较例1的防反射薄膜是目前市售的具有防反射功能和防眩光功能的防反射薄膜。比较例1的防反射薄膜不具有蛾眼结构。
在表2中，示出了针对实施例1的防反射薄膜、参考例1的防反射薄膜以及比较例1的防反射薄膜评价了防反射功能和防眩光功能的结果。
[表2]
在表2中，“映入图像的模糊”和“白浊感”是基于目视的主观评价，“雾度值”、“20度镜面光泽度”、“60度镜面光泽度”以及“85度镜面光泽度”是测定结果。主观评价是通过对10个人进行询问而进行的。
表2中的“映入图像的模糊”是通过目视评价从正面方向(表面的法线方向)观看防反射薄膜时映入到防反射薄膜的图像的轮廓的模糊程度，从而评价了防反射薄膜的防眩性的结果。“○”表示图像的轮廓的模糊程度是适度的，能得到清楚的图像。“◎”表示从得到清楚的图像这一目的而言，图像的轮廓过度模糊了。不过，当然也存在适合采用结果为“◎”的防反射薄膜作为具有更高的防眩光功能的防反射膜的情况。
表2中的“白浊感”是通过目视评价了防反射薄膜是否看上去白浊(褪色发白)的结果。“正面方向”是从表面的法线方向观看时的结果，“倾斜视角”是从与表面的法线方向之间的极角为80°处观看时的结果。
表2的雾度值是使用日本电色工业株式会社制造的积分球式浊度计NDH-2000测定的。投射光设为平行光。将直射透射光与漫射透射光之和设为总光线透射光，将漫射透射光与总光线透射光之比设为雾度值。20度镜面光泽度、60度镜面光泽度以及85度镜面光泽度是将膜贴附到黑色亚克力板，并使用光泽度计(Suga Test Instruments Co.,Ltd.制造、产品名：GS-4K)测定的。
此外，实施例1和参考例1的防反射薄膜具有与图8的(a)所示的防反射薄膜50同样的结构。即，防反射膜薄50所具有的防反射膜32的表面结构表现出防反射功能和防眩光功能。因而，能认为对实施例1和参考例1的防反射薄膜的、表2所示的防反射功能和防眩光功能的评价结果与对实施例1和参考例1的防反射膜的防反射功能和防眩光功能的评价结果是同等的。
实施例1的防反射薄膜的从正面方向观看时的映入图像的轮廓的模糊程度是适度的，由此能得到清楚的图像。实施例1的防反射薄膜具有低的雾度值。实施例1的防反射薄膜无论从正面方向观看时还是从倾斜视角观看时均看不到白浊。而且，实施例1的防反射薄膜由于具有蛾眼结构，因此从倾斜视角观看时也会充分地表现出防反射功能。实施例1的防反射薄膜由于具有蛾眼结构，因此会实现优异的黑色显示的质量(即，黑色显示状态的亮度低)。
相对于此，参考例1的防反射薄膜具有高的雾度值，因此，从正面方向观看时看上去白浊。另外，参考例1的防反射薄膜在从倾斜视角观看时也看上去白浊(斜向褪色发白)。另外，参考例1的防反射薄膜的从正面方向观看时的映入图像的轮廓若从得到清晰的图像这一目的而言，过度模糊了。
比较例1的防反射薄膜具有比实施例1的防反射薄膜低的雾度值，抑制了从正面方向观看时和从倾斜视角观看时看上去白浊。但是，比较例1的防反射薄膜由于不具有蛾眼结构，因此，与实施例1的防反射薄膜相比，黑色显示的质量较低(即，黑色显示状态的亮度高)。而且，比较例1的防反射薄膜由于不具有蛾眼结构，因而从倾斜视角观看时的防反射效果不充分。
这样，本发明的实施方式的防反射膜既能确保清楚性又能表现出防眩性且能抑制在从倾斜视角观看时看上去白浊。
实施例1的防反射薄膜的60度镜面光泽度是4.0，85度镜面光泽度是68.4，20度镜面光泽度是0.1。实施例1的防反射薄膜与比较例1的防反射薄膜相比，60度镜面光泽度和85度镜面光泽度较小。实施例1的防反射薄膜与比较例1的防反射薄膜相比，从倾斜视角观看时的防眩性优异。根据图5的(b)也可知，实施例1的防反射薄膜与比较例1的防反射薄膜相比，会抑制从倾斜视角观看时的映入。
参考例1的防反射薄膜与比较例1的防反射薄膜相比，60度镜面光泽度和85度镜面光泽度也较小。参考例1的防反射薄膜与比较例1的防反射薄膜相比，从倾斜视角观看时的防眩性优异。不过，参考例1的防反射薄膜的20度镜面光泽度是0.05，与实施例1的防反射薄膜相比较小。从清楚性的观点来看，参考例1的防反射薄膜比实施例1的防反射薄膜差。
本发明的实施方式的防反射膜的60度镜面光泽度优选是1.0以上且10.0以下，20度镜面光泽度优选是0.01以上且1.0以下。本发明的实施方式的防反射膜的85度镜面光泽度优选是50.0以上且75.0以下。在本发明的实施方式的防反射膜中，例如优选：在设60度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.01以上且0.1以下。在本发明的实施方式的防反射膜中，例如优选：在设85度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.001以上且0.005以下。这样的防反射膜既能确保清楚性又能表现出防眩性且能抑制在从倾斜视角观看时看上去白浊。本发明的实施方式的防反射膜的雾度值优选是5以上且30以下。防反射膜的雾度值例如也可以是2以上且40以下。
根据本发明的实施方式的防反射膜的制造方法，能高效地制作既能确保清楚性又能表现出防眩性且能抑制在从倾斜视角观看时看上去白浊的膜。本发明的实施方式的防反射膜的制造方法的批量生产性优异。
此外，用于形成实施例1的防反射薄膜和参考例1的防反射薄膜的模具是通过进行以与用于形成防眩光膜No.2和防眩光膜No.3的模具样本相同的条件的喷涂处理工序而得到的。认为实施例1的防反射薄膜的雾度值与防眩光膜No.2的雾度值之所以不同，蛾眼结构的有无是起了作用的。参考例1的防反射薄膜的雾度值与防眩光膜No.3的雾度值不同的原因也是同样的。
在图6和图7中，示出实施例1的防反射薄膜和参考例1的防反射薄膜的SEM图像。图6的(a)～(c)是实施例1的防反射薄膜的SEM图像，图6的(a)是从垂直方向观看实施例1的防反射薄膜的表面时的SEM图像(SEM图像中的满刻度是10.0μm)，图6的(b)是实施例1的防反射薄膜的截面SEM图像(SEM图像中的满刻度是3.0μm)，图6的(c)是实施例1的防反射薄膜的截面SEM图像(SEM图像中的满刻度是500nm)。图7的(a)～(c)是参考例1的防反射薄膜的SEM图像，图7的(a)是从垂直方向观看参考例1的防反射薄膜的表面时的SEM图像(SEM图像中的满刻度是10.0μm)，图7的(b)是参考例1的防反射薄膜的截面SEM图像(SEM图像中的满刻度是3.0μm)，图7的(c)是参考例1的防反射薄膜的截面SEM图像(SEM图像中的满刻度是500nm)。
根据图6的(a)和(b)可知，蛾眼结构是与防眩光结构重叠形成的。防眩光结构是通过使具有多个第3凹部18a的反转的防眩光结构反转而形成的。即，防眩光结构包括多个第3凹部18a反转而成的第1凸部。根据图6的(a)和(b)，在实施例1的防反射薄膜中，第1凸部的二维大小是1μm以上且5μm以下，第1凸部的相邻间距离(相邻的第1凸部的中心间距离)是10μm程度。蛾眼结构是通过使具有多个第2凹部14p的反转的蛾眼结构反转而形成的。即，蛾眼结构包括多个第2凹部14p反转而成的第2凸部。根据图6的(c)，第2凸部的二维大小和相邻间距离(与Dp＝Dint对应)为约200nm，高度(与第2凹部14p的深度对应)的平均值是240nm。
根据图7的(a)可知，在参考例1的防反射薄膜中，第1凸部的二维大小是0.1μm以上且2μm以下，第1凸部的相邻间距离是1μm以上且5μm以下。图7的防反射膜的第1凸部的相邻间距离小于图6的防反射膜的第1凸部的相邻间距离。根据图7的(c)，第2凸部的二维大小和相邻间距离(与Dp＝Dint对应)是约200nm，高度(与第2凹部14p的深度对应)的平均值是236nm。
在本发明的实施方式的防反射膜所具有的防眩光结构中，多个第1凸部的二维大小例如是1μm以上且12μm以下。多个第1凸部的高度例如是1μm以上且4μm以下。多个第1凸部的、深度与二维大小的高宽比例如是0.05以上且0.5以下。
如上所述，本发明的实施方式的防反射膜既能确保清楚性又能表现出防眩性且能抑制在从倾斜视角观看时看上去白浊。以下说明在现有的防反射膜(或防反射薄膜)中无法得到这种效果。
参照表3说明比较例2～比较例9的防反射薄膜。在表3中示出对比较例2～比较例9的防反射薄膜的防反射功能和防眩光功能进行了评价的结果。
[表3]
关于“映入图像的模糊”、“白浊感”以及“雾度值”，以与在表2中所述同样的方式进行了评价或测定。关于“映入图像的模糊”，“×”表示在防反射薄膜中映入的图像的轮廓几乎不模糊。即，“映入图像的模糊”是“×”的防反射薄膜不具有防眩性。关于“倾斜视角”的“白浊感”，“○”表示没有倾斜视角下的泛白，“△”表示从极角70°以上观看时有一些白浊感，“×”表示在从极角60°程度观看时有白浊感。“正面方向”的“白浊感”是从防反射薄膜的正面方向观看时的结果，“○”表示没有白浊感，“△”表示有一些白浊感，“×”表示有明显的白浊感。
表3中的“类型”表示比较例2～比较例9的防反射薄膜的结构的种类(类型)。如参照图8说明的那样，具有防眩光功能的防反射薄膜能根据其结构大致分为“外部雾度类型(或非填料类型)”和“内部雾度类型(或填料类型)”。
参照图8说明防反射薄膜的种类(类型)。图8的(a)和(b)分别是具有防眩光功能的防反射薄膜的示意性截面图。图8的(a)是在表面具有防眩光结构的防反射薄膜50的示意性截面图，图8的(b)是在比表面靠内侧处具备具有防眩光功能的层的防反射薄膜950的示意性截面图。表3中的“雾度值”是将图8的(a)的防反射薄膜50或图8的(b)的防反射薄膜950贴附到玻璃板后测定的。
在图8的(a)中，防反射薄膜50具有基底薄膜(例如TAC薄膜)42、硬涂层43、以及在表面具有蛾眼结构和防眩光结构的防反射膜32。防反射薄膜50设置于在显示面板200的观察者侧配置的偏振层(例如PVA)212的进一步观察者侧。通过在防反射膜32表面具有的防眩光结构，防反射薄膜50表现出防眩性。有时将在表面具有防眩光结构的防反射薄膜称为“外部雾度类型”。本发明的实施方式的防反射膜构成外部雾度类型的防反射薄膜。偏振层212由基底薄膜(例如TAC薄膜)42和保护层(例如TAC)214保护。具有防反射薄膜50的显示面板不限于图示的构成，也可以是以下这种构成。具有偏振层和在偏振层的两侧设置的保护层的偏振板也可以设置于显示面板200的观察者侧，并在偏振板的进一步观察者侧隔着粘接层贴合有防反射薄膜50。
在图8的(b)中，防反射薄膜950具有内部雾度层933、基底薄膜(例如TAC薄膜)42、硬涂层43、以及在表面具有蛾眼结构的防反射膜932。内部雾度层933具有散射性。内部雾度层933例如由包含具有散射性的颗粒的粘接剂形成。防反射薄膜950设置于在显示面板200的观察者侧配置的偏振层(例如PVA层)212的进一步观察者侧。通过内部雾度层933，防反射薄膜950表现出防眩性。有时将在比防反射薄膜的表面靠内侧处具备具有散射性的层的防反射薄膜称为“内部雾度类型”。偏振层212由保持层(例如TAC)214和216保持。有时也将偏振层212和保持层214及216称为偏振板。也可以在具有偏振层212和保持层214及216的偏振板与防反射薄膜950之间设置有粘接层。
如表3所示，比较例2和比较例3的防反射薄膜是外部雾度类型，比较例5～比较例9的防反射薄膜是内部雾度类型。比较例2和比较例3的防反射薄膜具有与图8的(a)所示的防反射薄膜50同样的结构，比较例5～比较例9的防反射薄膜具有与图8的(b)所示的防反射薄膜950同样的结构。比较例4的防反射薄膜不具有防眩光功能。
根据表2和表3可知，一般在外部雾度类型和内部雾度类型的任何一种类型中，均有如下倾向：越具有高的雾度值，从正面方向观看时以及从倾斜视角观看时看上去越白浊。另一方面，当关注内部雾度类型的防反射薄膜、特别是比较例5～比较例9的防反射薄膜时，可知有如下倾向：与从表面法线方向观看时的白浊感相比，从倾斜视角观看时的白浊感更为显著。内部雾度类型的防反射薄膜由于在比表面靠内侧处具备具有防眩光功能的内部雾度层，因此，易于发生如下问题：与从表面法线方向观看时相比，尤其在从倾斜视角观看时看上去白浊。
相对于此，外部雾度类型的防反射薄膜由于在表面具有防眩光结构，因此不易发生这种问题。本发明的发明人想到了能解决上述问题的防反射膜和这种防反射膜的制造方法。在本发明的某实施方式中，开发出了映入到防反射膜的图像的轮廓的模糊程度与比较例5的防反射薄膜为相同程度那样的防反射膜及其制造方法。以比较例5的防反射薄膜为基准的原因是，比较例5的防反射薄膜所具有的清楚性在至少一部分市场中是受青睐的。此外，映入到防反射膜的图像的轮廓的模糊程度(即防反射膜的防眩性的程度)不限于此，当然也可以根据防反射膜的使用目的或使用方式来变更。
参照图9进一步说明从正面方向观看比较例2～比较例7和比较例10的防反射薄膜时的特性。图9的(a)表示从正面方向观看比较例2～比较例7和比较例10的防反射薄膜时的、高照度下(100Lux)的对比率(contrast ratio)，图9的(b)表示从正面方向观看比较例2～比较例7和比较例10的防反射薄膜时的、白色显示状态的亮度，图9的(c)表示从正面方向观看比较例2～比较例7和比较例10的防反射薄膜时的、黑色显示状态的亮度。比较例10的防反射薄膜是不具有防眩光功能的低反射膜(LR膜)。
如下测定了白色显示状态的亮度和黑色显示状态的亮度，根据白色显示状态的亮度和黑色显示状态的亮度之比，如下算出了亮处对比率。以下的测定方法基于社团法人电波产业会的ARIB TR-B28。白色显示状态的亮度是输入Y电平为940(白100％)、CB、-CR电平为512的信号，使用色彩亮度计(产品名：BM-5A、株式会社TOPCON TECHNOHOUSE制造)在暗室内测定了亮度。黑色显示状态的亮度是输入Y电平为64(黑)、CB、-CR电平为512的信号，使用色彩亮度计(产品名：BM-5A、株式会社TOPCON TECHNOHOUSE制造)在暗室内测定了亮度。亮处对比率是在暗室中输入由Rec.ITU-R BT 815-1规定的对比率测定用信号，并针对Y电平为940(白100％)的部分和Y电平为64(黑)(均是CB、-CR电平为512)的部分使用色彩亮度计(产品名：BM-5A、株式会社TOPCON TECHNOHOUSE制造)测定了各自的亮度。不过，使用PLUGE信号等对显示器进行了调整，设为将Y电平为940(白100％)的部分的亮度调整为100cd/m2的状态。在测定中，背光源的强度(光量)的调整功能设为了无论通过自动还是手动均不动作。
将比较例3的防反射薄膜与不具有蛾眼结构的比较例2的防反射薄膜进行比较可知，通过具有蛾眼结构，白色显示状态的亮度变高。其原因是，从背光源出射的光的透射率提高。另外可知，通过具有蛾眼结构，黑色显示状态的亮度下降，黑色显示的质量提高。
将比较例3的防反射薄膜与不具有防眩光结构的比较例4的防反射薄膜进行比较可知，通过具有防眩光结构，白色显示状态的亮度变低，黑色显示状态的亮度变高。其结果是，通过具有防眩光结构，亮处对比率下降了。
将比较例3的防反射薄膜与具有清楚性的比较例5的防反射薄膜进行比较。比较例3的防反射薄膜具有低于比较例5的防反射薄膜的白色显示状态和黑色显示状态的亮度。比较例3的防反射薄膜在亮处对比率方面优于比较例5的防反射薄膜。
图10的(a)是表示比较例3～比较例7的防反射薄膜的漫反射光的配光分布的测定结果的坐标图，图10的(b)是表示漫反射光的配光分布的测定系统的示意图。此外，漫反射光并不特别排除散射光。
如图10的(b)所示，漫反射光的配光分布是对防反射薄膜以入射角5°照射光，以0°～25°的受光角测定了漫反射光的配光分布。具体是，将各防反射薄膜贴到玻璃板，用测角光度计(gonio photometer)测定了配光分布。作为测角光度计，使用了村上色彩技术研究所制造的GP-200。在此，示出设入射角为5°、取受光角作为横轴、将漫反射光强度的最大值设为80％而进行了归一化的、取相对漫反射率(％)的常用对数作为纵轴的配光分布曲线。以下所示的配光分布曲线只要没有特别说明，就也是同样的。
配光分布曲线在受光角5°处取得峰值。如后面参照图13描述的那样，本发明的实施方式的防反射膜例如具有如下特征：在受光角是5°以上且7°以下的范围内，相对漫反射率(％)是3％以上，包含处于受光角是8°以上且10°以下且相对漫反射率(％)是2％以上且8％以下的范围内的点，包含处于受光角是10°以上且15°以下且相对漫反射率(％)是0.9％以上且1.1％以下的范围内的点。后面将参照图13描述详细内容。
图11的(a)和(b)是表示一边使极角变化一边对比较例2～比较例7的防反射薄膜的白色显示状态的亮度进行了测定的结果的坐标图。图11的(b)是将图11的(a)的一部分放大示出的图。
在极角大时(例如极角为50°以上)，比较例2～比较例7的防反射薄膜中的、不具有蛾眼结构的比较例2的防反射薄膜的亮度最低。即，比较例3～比较例7的防反射薄膜的亮度高于不具有蛾眼结构的比较例2的防反射薄膜的亮度。例如在极角为70°处，不具有防眩光结构的比较例4的防反射薄膜的亮度与比较例2的防反射薄膜的亮度相比高30％程度。例如在极角为70°处，比较例3的防反射薄膜的亮度与比较例2的防反射薄膜的亮度相比高15％程度。入射到显示面板的光在表面上的反射率在入射角变大时会变高。因而，根据在表面具有蛾眼结构的防反射薄膜，使从倾斜视角(特别大的极角)观看时的表面反射减少的效果大。比较例3的防反射薄膜的亮度有低于不具有防眩光结构的比较例4的防反射薄膜的亮度的倾向，但与作为内部雾度类型的比较例5～比较例7的防反射薄膜的亮度为相同程度。
接着，说明本发明的实施方式的防反射膜的制造方法和比较例的防反射膜的制造方法。
如上所述，本发明的发明人关于用于形成既确保清楚性又表现出防眩性且抑制了从倾斜视角观看时看上去白浊的防反射膜的模具的制造方法进行了研究。如上所述，本发明的实施方式的防反射膜(或防反射薄膜)在表面具有防眩光结构，因此，用于形成这种防反射膜的模具在表面具有反转的防眩光结构。本发明的发明人针对在模具的表面形成反转的防眩光结构的方法进行了各种研究，而想到了本发明的实施方式的模具的制造方法。
在表4中，示出针对实施例2的防反射薄膜、比较例6和比较例11～比较例13的防反射薄膜评价了防反射功能和防眩光功能的结果。
[表4]
实施例2和比较例11～比较例13的防反射薄膜是具有与图8的(a)所示的防反射薄膜50同样的结构的外部雾度类型的防反射薄膜。如已述那样，能认为对外部雾度类型的防反射薄膜的、防反射功能和防眩光功能的评价结果与对防反射薄膜所具有的防反射膜的防反射功能和防眩光功能的评价结果是同等的。
实施例2的防反射膜是使用通过上述方法制造的蛾眼用模具而形成的。在表6中示出制造用于形成实施例2的防反射膜的蛾眼用模具的工序中的喷涂处理工序的条件。
比较例11的防反射膜是使用如下制造的蛾眼用模具而形成的。主要说明与本发明的实施方式的模具的制造方法的不同点。以后也是同样的。
在用于形成比较例11的防反射膜的模具的制造工序中，如国际公开第2011/105206号和国际公开第2013/146656号记载的那样，在铝基材12的表面通过电沉积法形成了无机材料层16。为了参照，将国际公开第2011/105206号和国际公开第2013/146656号的全部公开内容引用到本说明书中。在电沉积树脂中混合了消光剂。通过在电沉积树脂中混合消光剂，能形成在表面具有反转的防眩光结构的无机材料层16。在此，通过在丙烯酸三聚氰胺树脂中混合消光剂，得到了例如形成有从法线方向观看时的二维大小为约20μm、高度不到1μm的凸部的表面。当这样形成了无机材料层16时，会在铝膜18的表面形成反映了无机材料层16的表面的反转的防眩光结构的结构。比较例11的防反射膜所具有的构成防眩光结构的凸部的二维大小大致为30μm。
作为电沉积法，例如能使用公知的电沉积涂覆方法。例如，首先，将基材12进行清洗。接着，将基材12浸渍到储存有包含电沉积树脂的电沉积液的电沉积槽。在电沉积槽中设置有电极。在通过阳离子电沉积形成固化树脂层时，以基材12为阴极，以在电沉积槽内设置的电极为阳极，在基材12与阳极之间使电流流动，使电沉积树脂析出到基材12的外周面上，从而形成固化树脂层。在通过阴离子电沉积形成固化树脂层时，以基材12为阳极，以在电沉积槽内设置的电极为阴极使电流流动，从而形成固化树脂层。之后，进行清洗工序、烧结工序等，从而形成有机绝缘层。作为电沉积树脂，例如能使用聚酰亚胺树脂、环氧树脂、丙烯酸树脂、三聚氰胺树脂、聚氨酯(urethane)树脂、或它们的混合物。
比较例12的防反射膜是使用如下制造的蛾眼用模具形成的。在用于形成比较例12的防反射膜的模具的制造工序中，如国际公开第2015/159797号记载的那样，将进行了镜面加工的铝基材12的表面通过包含氟化氢和铵的盐的水溶液进行纹理处理，从而在铝基材12的表面形成了反转的防眩光结构。为了参照，将国际公开第2015/159797号的全部公开内容引用到本说明书中。在此，作为铝基材12，使用了Al-Mg-Si系的铝合金、特别是由JIS A6063形成的铝基材。
在对铝基材12的表面进行纹理处理的工序之前，进行了使用碱性蚀刻液对铝基材12的表面进行蚀刻的工序(以下有时称为“碱清洗工序”。)。通过碱清洗工序，能将可能成为切削痕迹的原因的、铝基材12的加工变质层的至少一部分除去。碱清洗工序还兼作铝基材12的脱脂工序。使用在以16质量％的浓度包含有机碱性清洗剂(横浜油脂工业株式会社制造、产品名：SemiClean LC-2)的水溶液中加入了作为酸性的添加剂的10vol％的腐蚀抑制剂(Kilesbit AL，Chelest株式会社制造)而成的水溶液作为碱性蚀刻液，以40℃进行了40分钟的碱清洗工序。
在碱清洗工序之后，按顺序进行了基于纯水的清洗工序、预处理工序、纹理处理工序、后处理工序以及基于纯水的清洗工序。
在纹理处理工序中，作为用于纹理处理的蚀刻液，使用分别按2.5质量％、1质量％以及1质量％包含氟化铵、硫酸铵以及磷酸二氢铵的水溶液，以10℃进行了3分钟的纹理处理。纹理处理工序是一边以铝基材12的长轴为中心使其旋转(旋转速度5rpm)一边进行的，是一边使用于纹理处理的蚀刻液在蚀刻槽内循环一边进行的。
在预处理工序和后处理工序中，使用将上述蚀刻液稀释为2.5倍而成的蚀刻液(即，分别按1质量％、0.4质量％以及0.4质量％包含氟化铵、硫酸铵以及磷酸二氢铵的水溶液)以室温进行了3分钟的铝基材12的表面处理。预处理工序和后处理工序是一边以铝基材12的长轴为中心使其旋转(旋转速度5rpm)一边进行的。此时，预处理用蚀刻液和后处理用蚀刻液在蚀刻槽内不进行循环。在后处理工序中，同时使用了杆型喷淋单元(bar typeshower unit)。
基于纯水的清洗工序是使用手持喷淋器进行的。在后处理工序之后的清洗工序中，同时使用了双流体喷嘴。
在铝膜18的表面，形成反映了通过纹理处理而形成的铝基材12的表面的反转的防眩光结构的结构。构成比较例12的防反射膜所具有的防眩光结构的凸部的二维大小大致是10μm。
比较例13的防反射膜是使用如下制造的蛾眼用模具形成的。在用于形成比较例13的防反射膜的模具的制造工序中，将铝膜18的厚度设为1.0μm，从而在铝膜18的表面形成反转的防眩光结构。如在专利文献4中记载的那样，通过形成厚度为0.5μm以上且5μm以下的铝膜18，能制造具有包括二维大小的平均值为200nm以上且5μm以下的多个凸部的反转的防眩光结构的蛾眼用模具。
关于表4中的“映入图像的模糊”和“白浊感”，以与在表2和表3中所述同样的方式进行了评价。关于表4中的“亮处对比率”和“白色显示状态的亮度”，使用与关于图9和图10说明的内容同样地进行测定的结果进行了评价。关于“亮处对比率”，“○”表示具有充分的对比率，“△”表示对比率不充分。关于“白色显示状态的亮度”，“○”表示具有充分的亮度。表4中的“晃眼”是在将防反射膜贴到显示面板时，针对抑制隔着防反射膜的图像发生晃眼的效果进行了评价的结果。后面将参照表5描述晃眼抑制效果的详细内容。
如表4所示，实施例2的防反射膜既确保了清楚性又表现出防眩性并且抑制了在从倾斜视角观看时看上去白浊。
若在通过对铝基材12的表面喷涂投射材料而在铝基材12的表面形成了反转的防眩光结构之后，对铝基材12的表面实施电解研磨，则能进一步抑制在从倾斜视角观看时看上去白浊。认为当对铝基材12的表面实施了电解研磨时，在铝基材12的表面，反转的防眩光结构会变得顺滑，因而能有效地抑制在从倾斜视角观看时看上去白浊。
实施例2的防反射膜通过使用由上述的方法制造的蛾眼用模具，能降低制造成本。即，若通过在基材12之上设置具有防眩光功能的防眩光膜并在防眩光膜之上形成铝膜18的方法制造模具，则有制造成本变高的倾向。本发明的实施方式的模具的制造方法由于是对基材12的表面喷涂投射材料，在基材12之上堆积铝膜18，因此，能降低制造成本。
比较例11的防反射膜在从倾斜视角观看时看上去白浊。而且，比较例11的防反射膜无法充分地抑制晃眼的发生。
比较例12的防反射膜在从倾斜视角观看时看上去白浊。
比较例13的防反射膜的映入图像的模糊是不充分的。即，防眩性不充分。
比较例6的防反射膜在从倾斜视角观看时看上去白浊。而且，比较例6的防反射膜无法充分地抑制晃眼的发生。另外，比较例6的防反射膜在从正面方向观看时的亮处对比率方面也比实施例2的防反射膜差。
如下评价了表4中的“晃眼”。
晃眼的发生依赖于构成防眩光结构的凹凸结构与行方向的点间距(dot pitch)Px的大小的关系。首先，参照图12说明构成防眩光结构的凹凸结构与行方向的点间距Px的大小的关系。
图12的(a)和(b)是示意性地表示构成防眩光结构的凹凸结构与行方向的点间距Px的大小的关系的图，图12的(a)表示构成防眩光结构的凹凸结构大于点间距Px的情况，图12的(b)表示构成防眩光结构的凹凸结构小于点间距Px的情况。在此，点是指构成典型的彩色液晶显示面板的像素的R、G、B的各点。即，在彩色液晶显示面板的像素包括在行方向上排列的3个点(R点、G点以及B点)的情况下，行方向的像素间距成为行方向的点间距Px的3倍。此外，列方向的像素间距与列方向的点间距Py相等。
如在图12的(a)和(b)中示意性示出的那样，具有构成防眩光结构的凹凸结构的表面28s的表面形状有时是不具有平坦部的连续的波浪形。具有这种连续的波浪形的表面形状的凹凸结构在相邻的凹部间距离的平均值(平均相邻间距离ADint)或凹部的二维大小ADp方面被赋予特征。在此虽然着眼于凹部，但是即使着眼于凸部也能同样地赋予特征。
如图12的(a)所示，若凹部的平均相邻间距离ADint(认为与凹部的二维大小ADp相等)例如大于行方向的点间距Px(在像素包括3个点(R、G、B)的情况下，行方向的像素间距是点间距的3倍)，则无法得到充分的防眩光功能。为了充分地发挥防眩光功能，如图12的(b)所示，优选凹部的平均相邻间距离ADint(凹部的二维大小ADp)相互大致相等并且小于点间距。
在表5中示出将实施例2、比较例5以及比较例11的防反射膜贴附到点间距不同的4种显示面板的观察者侧的表面，并对是否发生有显示面的晃眼通过目视进行了评价的结果。在表5中，“×”表示无论进行整个面绿色显示和整个面白色显示中的哪一种显示都有晃眼，“△”表示在整个面白色显示中不会注意到晃眼，但在进行整个面绿色显示时有晃眼，“○”表示在整个面白色显示中不会注意到晃眼，但在进行整个面绿色显示时有一些晃眼，“◎”表示完全没有晃眼。表4中的“晃眼”表示使用表5的显示器中的、对角为9.7英寸、行方向的点间距(图12中的Px)为约32μm、列方向的点间距(与像素间距相等)为约96μm、约为264ppi的显示器进行了评价的结果。虽然在表5中没有进行记载，但是针对比较例6也同样地进行了评价。
[表5]
构成在表面具有实施例2的防反射膜的防眩光结构的第1凸部的二维大小ADp是5μm以下。为了抑制晃眼的发生，优选第1凸部的二维大小ADp比行方向的点间距小很多。
构成比较例11的防反射膜所具有的防眩光结构的凸部的二维大小是大致30μm。构成比较例11的防反射膜的防眩光结构的凸部的二维大小大于构成实施例2的防反射膜的防眩光结构的凸部的二维大小，因此在抑制晃眼的发生方面，比较例11的防反射膜比实施例2的防反射膜差。
比较例5的防反射膜是内部雾度类型，因此，在表面不具有防眩光结构。在抑制晃眼的发生方面，实施例2的防反射膜优于比较例5的防反射膜。
图13是表示实施例3、参考例2、比较例3、比较例5、比较例12以及比较例13的防反射膜的漫反射光的配光分布的测定结果的坐标图。图13也与图10的(a)同样地示出设入射角为5°、取受光角作为横轴、设漫反射光强度的最大值为80％而进行了归一化的、取相对漫反射率(％)的常用对数作为纵轴的配光分布曲线。
实施例3和参考例2的防反射膜是具有与图8的(a)所示的防反射膜50同样的结构的外部雾度类型的防反射膜。实施例3和参考例2的防反射膜是用上述的方法制造的。在表6中示出制造用于形成实施例3和参考例2的防反射膜的蛾眼用模具的工序中的喷涂处理工序的条件。
实施例3的防反射膜的配光分布曲线在受光角5°处取得峰值，峰值宽度比较窄，在受光角2°～3°的范围和受光角7°～8°的范围内倾斜度平缓地转变，收于至受光角20°为止的范围内。实施例3的防反射膜既能确保清楚性又能表现出防眩性且能抑制在从倾斜视角观看时看上去白浊。另一方面，参考例2的防反射膜的配光分布曲线没有收于至受光角25°为止的范围内。参考例2的防反射膜有从倾斜视角观看时看上去白浊的倾向。
本发明的实施方式的防反射膜例如具有如下特征：在受光角是5°以上且7°以下的范围内，相对漫反射率(％)是3％以上，包含处于受光角是8°以上且10°以下并且相对漫反射率(％)是2％以上且8％以下的范围内的点，包含处于受光角是10°以上且15°以下并且相对漫反射率(％)是0.9％以上且1.1％以下的范围内的点。
根据本发明的发明人的研究，有如下倾向。为了既确保清楚性又表现出防眩性且抑制在从倾斜视角观看时看上去白浊，优选峰值宽度比较窄，优选不具有配光分布曲线的倾斜度不连续地变化的点。另外，优选在峰值的外侧，随着远离峰值中心(5°)而快速衰减。
在表6中示出进行了说明书中的实验例的喷涂处理工序的条件(喷涂投射材料的条件和投射材料的种类)和喷涂处理的对象的铝的种类。具体地，示出形成铝基材12的铝的种类、投射材料的种类、投射材料的平均粒径、从喷嘴82喷出投射材料的压力、喷嘴82与模具基材10的表面之间的距离d、以及使喷嘴82沿着模具基材10的长轴方向移动的速度vv。
[表6]
工业上的可利用性
本发明的实施方式例如适合应用于高清晰化的显示面板用防反射膜、制造这种防反射膜的方法、用于形成这种防反射膜的模具以及能高效地制造这种模具的方法。
附图标记说明
10：模具基材
12：基材(铝基材)
12a：第1凹部
14：多孔氧化铝层
14p：第2凹部
16：无机材料层
18：铝膜
18s：表面
18a：第3凹部
32：防反射膜
100：蛾眼用模具。

Claims (16)

1.一种模具的制造方法，其特征在于，包含：
工序(a)，准备被实施了机械性镜面加工的铝基材；
工序(b)，对上述铝基材的表面喷涂为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料，从而将多个第1凹部形成于上述铝基材的表面；
工序(c)，在上述工序(b)之后，在上述铝基材的上述表面形成无机材料层，在上述无机材料层之上形成铝膜，从而制作模具基材；
工序(d)，在上述工序(c)之后，将上述铝膜的表面进行阳极氧化，从而形成具有多个第2凹部的多孔氧化铝层；
工序(e)，在上述工序(d)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，从而使上述多孔氧化铝层的上述多个第2凹部扩大；以及
工序(f)，在上述工序(e)之后，进一步进行阳极氧化，从而使上述多个第2凹部生长。
2.根据权利要求1所述的模具的制造方法，
上述投射材料的平均粒径是10μm以上且不到35μm。
3.根据权利要求1或2所述的模具的制造方法，
上述投射材料的粒度分布在从平均粒径起±10％以内的范围内具有峰值。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的模具的制造方法，
在上述工序(b)与上述工序(c)之间还包含对上述铝基材的表面实施电解研磨的工序(g)。
5.一种模具，其特征在于，
是通过权利要求1至4中的任意一项所述的模具的制造方法制造的。
6.一种模具，其特征在于，
具备表面结构，上述表面结构具有：多个第1凹部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是1μm以上且12μm以下；以及多个第2凹部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是10nm以上且不到500nm，
上述多个第1凹部的相邻间距离是2μm以上且10μm以下。
7.一种防反射膜的制造方法，其特征在于，包含：
准备权利要求5或6所述的模具的工序；
准备被加工物的工序；
在对上述模具与上述被加工物的表面之间赋予了光固化树脂的状态下，对上述光固化树脂照射光从而使上述光固化树脂固化的工序；以及
将上述模具从由固化后的光固化树脂形成的防反射膜剥离的工序。
8.一种防反射膜，其特征在于，
是通过权利要求7所述的防反射膜的制造方法制造的。
9.一种防反射膜，其特征在于，
具备表面结构，上述表面结构具有：多个第1凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是1μm以上且12μm以下；以及多个第2凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是10nm以上且不到500nm，
在设60度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.01以上且0.1以下。
10.根据权利要求8或9所述的防反射膜，
20度镜面光泽度是0.01以上且1.0以下，60度镜面光泽度是1.0以上且10.0以下。
11.根据权利要求8至10中的任意一项所述的防反射膜，
在设85度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.001以上且0.005以下。
12.根据权利要求8至11中的任意一项所述的防反射膜，
85度镜面光泽度是50.0以上且75.0以下。
13.根据权利要求8至12中的任意一项所述的防反射膜，
设入射角为5°、取受光角作为横轴、设漫反射光强度的最大值为80％而进行了归一化的、取相对漫反射率(％)的常用对数作为纵轴的配光分布曲线
在受光角是5°以上且7°以下的范围内，是3％以上，
包含处于受光角是8°以上且10°以下并且上述相对漫反射率(％)是2％以上且8％以下的范围内的点，
包含处于受光角是10°以上且15°以下并且上述相对漫反射率(％)是0.9％以上且1.1％以下的范围内的点。
14.根据权利要求8至13中的任意一项所述的防反射膜，
雾度值是2％以上且40％以下。
15.一种制造防反射膜的方法，其特征在于，包含：
通过模具的制造方法制造模具的工序；
准备被加工物的工序；
在对上述模具与上述被加工物的表面之间赋予了光固化树脂的状态下，对上述光固化树脂照射光从而使上述光固化树脂固化的工序；以及
将上述模具从由固化后的光固化树脂形成的防反射膜剥离的工序，
上述模具的制造方法包含：
工序(a)，准备被实施了机械性镜面加工的铝基材；
工序(b)，对上述铝基材的表面喷涂为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料，从而将多个第1凹部形成于上述铝基材的表面；
工序(c)，在上述工序(b)之后，在上述铝基材的上述表面形成无机材料层，在上述无机材料层之上形成铝膜，从而制作模具基材；
工序(d)，在上述工序(c)之后，将上述铝膜的表面进行阳极氧化，从而形成具有多个第2凹部的多孔氧化铝层；
工序(e)，在上述工序(d)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，从而使上述多孔氧化铝层的上述多个第2凹部扩大；以及
工序(f)，在上述工序(e)之后，进一步进行阳极氧化，从而使上述多个第2凹部生长，
上述防反射膜具备表面结构，上述表面结构具有：多个第1凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是1μm以上且5μm以下；以及多个第2凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是10nm以上且不到500nm，上述防反射膜在设60度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.01以上且0.1以下。
16.一种制造防反射膜的方法，其特征在于，包含：
通过模具的制造方法制造模具的工序；
准备被加工物的工序；
在对上述模具与上述被加工物的表面之间赋予了光固化树脂的状态下，对上述光固化树脂照射光从而使上述光固化树脂固化的工序；以及
将上述模具从由固化后的光固化树脂形成的防反射膜剥离的工序，
上述模具的制造方法包含：
工序(a)，准备被实施了机械性镜面加工的铝基材；
工序(b)，对上述铝基材的表面喷涂为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料，从而将多个第1凹部形成于上述铝基材的表面；
工序(c)，在上述工序(b)之后，在上述铝基材的上述表面形成无机材料层，在上述无机材料层之上形成铝膜，从而制作模具基材；
工序(d)，在上述工序(c)之后，将上述铝膜的表面进行阳极氧化，从而形成具有多个第2凹部的多孔氧化铝层；
工序(e)，在上述工序(d)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，从而使上述多孔氧化铝层的上述多个第2凹部扩大；以及
工序(f)，在上述工序(e)之后，进一步进行阳极氧化，从而使上述多个第2凹部生长，
上述防反射膜具备表面结构，上述表面结构具有：多个第1凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是1μm以上且5μm以下；以及多个第2凸部，其从表面的法线方向观看时的二维大小是10nm以上且不到500nm，上述防反射膜在设85度镜面光泽度为1时，20度镜面光泽度是0.001以上且0.005以下。
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