JP2018123403A - 反射防止膜、反射防止膜の製造方法、型および型の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図4(a)および(b)を参照して、吹き付け処理によってアルミニウム基材12の表面に形成された反転されたアンチグレア構造を説明する。アルミニウム小片の表面に吹き付け処理工程を施すことによって、反転されたアンチグレア構造を形成した。図4(a)および(b)は、投射材を吹き付けることによって形成された反転されたアンチグレア構造を有するアルミニウム小片の表面のSEM像(SEM像中のフルスケール20.0μm)である。
Si:0.20〜0.60%、Fe:0.35%以下、Cu:0.10%以下、Mn:0.10%以下、Mg:0.45〜0.9%、Cr:0.10%以下、Zn:0.10%以下、Ti:0.10%以下、その他:個々は0.05%以下で、全体は0.15%以下、残部:Al
クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜を形成するための型を製造するのに適した吹き付け処理工程の条件(投射材を吹き付ける条件および投射材の種類)の検討を行った。
上記表1に示す結果を参照することにより吹き付け処理工程の条件を決定し、実施例1の反射防止フィルムと参考例1の反射防止フィルムとを作製した。
12 基材(アルミニウム基材)
12a 第1凹部
14 ポーラスアルミナ層
14p 第2凹部
16 無機材料層
18 アルミニウム膜
18s 表面
18a 第3凹部
32 反射防止膜
100 モスアイ用型
Claims (16)
- 機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材を用意する工程(a)と、
前記アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が10μm以上40μm以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第1凹部を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程(b)と、
前記工程(b)の後に、前記アルミニウム基材の前記表面に無機材料層を形成し、前記無機材料層の上にアルミニウム膜を形成することによって、型基材を作製する工程(c)と、
前記工程(c)の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第2凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程(d)と、
前記工程(d)の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第2凹部を拡大させる工程(e)と、
前記工程(e)の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第2凹部を成長させる工程(f)と
を包含する、型の製造方法。 - 前記投射材の平均粒径は、10μm以上35μm未満である、請求項1に記載の型の製造方法。
- 前記投射材の粒度分布は、平均粒径から±10%以内の範囲内にピークを有する、請求項1または2に記載の型の製造方法。
- 前記工程(b)と前記工程(c)との間に、前記アルミニウム基材の表面に電解研磨を施す工程(g)をさらに包含する、請求項1から3のいずれかに記載の型の製造方法。
- 請求項1から4のいずれかに記載の型の製造方法によって製造された型。
- 表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが1μm以上12μm以下の複数の第1凹部と、表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが10nm以上500nm未満の複数の第2凹部とを有する表面構造を備え、
前記複数の第1凹部の隣接間距離は、2μm以上10μm以下である、型。 - 請求項5または6に記載の型を用意する工程と、
被加工物を用意する工程と、
前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程とを包含する、反射防止膜の製造方法。 - 請求項7に記載の反射防止膜の製造方法によって製造された反射防止膜。
- 表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが1μm以上12μm以下の複数の第1凸部と、表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが10nm以上500nm未満の複数の第2凸部とを有する表面構造を備え、
60度鏡面光沢度を1とすると、20度鏡面光沢度は0.01以上0.1以下である、反射防止膜。 - 20度鏡面光沢度が0.01以上1.0以下であり、60度鏡面光沢度が1.0以上10.0以下である、請求項8または9に記載の反射防止膜。
- 85度鏡面光沢度を1とすると、20度鏡面光沢度は0.001以上0.005以下である、請求項8から10のいずれかに記載の反射防止膜。
- 85度鏡面光沢度が50.0以上75.0以下である、請求項8から11のいずれかに記載の反射防止膜。
- 入射角を5°とし、受光角を横軸にとり、拡散反射光強度の最大値を80%として規格化した、相対拡散反射率(%)の常用対数を縦軸にとった配光分布曲線は、
受光角が5°以上7°以下の範囲において、3%以上であり、
受光角が8°以上10°以下で、かつ、前記相対拡散反射率(%)が2%以上8%以下の範囲内にある点を含み、
受光角が10°以上15°以下で、かつ、前記相対拡散反射率(%)が0.9%以上1.1%以下の範囲内にある点を含む、請求項8から12のいずれかに記載の反射防止膜。 - ヘイズ値が2%以上40%以下である、請求項8から13のいずれかに記載の反射防止膜。
- 表面にアルミニウム膜を有する円筒状の型基材を用意する工程(a)と、
前記アルミニウム膜の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が10μm以上40μm以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第1凹部を前記アルミニウム膜の表面に形成する工程(b)と、
前記工程(b)の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第2凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程(c)と、
前記工程(c)の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第2凹部を拡大させる工程(d)と、
前記工程(d)の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第2凹部を成長させる工程(e)と
を包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、
被加工物を用意する工程と、
前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程と
を包含し、
表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが1μm以上5μm以下の複数の第1凸部と、表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが10nm以上500nm未満の複数の第2凸部とを有する表面構造を備え、60度鏡面光沢度を1とすると、20度鏡面光沢度は0.01以上0.1以下である反射防止膜を製造する方法。 - 表面にアルミニウム膜を有する円筒状の型基材を用意する工程(a)と、
前記アルミニウム膜の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が10μm以上40μm以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第1凹部を前記アルミニウム膜の表面に形成する工程(b)と、
前記工程(b)の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第2凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程(c)と、
前記工程(c)の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第2凹部を拡大させる工程(d)と、
前記工程(d)の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第2凹部を成長させる工程(e)と
を包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、
被加工物を用意する工程と、
前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程と
を包含し、
表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが1μm以上5μm以下の複数の第1凸部と、表面の法線方向から見たときの2次元的な大きさが10nm以上500nm未満の複数の第2凸部とを有する表面構造を備え、85度鏡面光沢度を1とすると、20度鏡面光沢度は0.001以上0.005以下である反射防止膜を製造する方法。
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