CN110167684A - 涂敷头和涂敷装置 - Google Patents

Abstract

涂敷头具有：主体部，其形成填充有涂敷液的压力室的一部分；接液膜，其形成所述压力室的另一部分；以及加压部，其通过使所述接液膜朝向所述压力室的内部挠曲而使所述涂敷液从与所述压力室连续的排出口排出，所述主体部具有容积变更部，该容积变更部能够变更所述接液膜为恒定状态下的所述压力室的容积。优选为，所述加压部使所述接液膜挠曲的方向包含与所述接液膜垂直的一个方向，所述容积变更部具有在所述一个方向上与所述接液膜对置的对置部。

Description

涂敷头和涂敷装置

技术领域

本发明涉及涂敷头和涂敷装置。

背景技术

以往，在向对象物上涂敷涂敷液时，使用涂敷装置。在涂敷装置的涂敷头中，在压力室中填充有涂敷液，包含压电元件的加压部使接液膜朝向压力室的内部挠曲，由此对该涂敷液施加压力。由此，从与该压力室连续的排出口排出涂敷液。

另外，在日本特开2016-392号公报中，公开了微量液体流出方法。在该方法中，从外侧对液体通路的容量可变通路部分进行加压，使该容量可变通路部分向其内容积减小的方向收缩，由此该容量可变通路部分内的液体向下游侧通路部分和上游侧通路部分双方被推出。此时，根据这些液体通路阻力，在下游侧通路部分，微小量的液体被推出，因此微量液体高精度地滴下。

专利文献1：日本特开2016-392号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，近年来，在涂敷装置中使用的涂敷液的种类变得多样化。另一方面，涂敷液的粘度根据涂敷液的种类而不同。当涂敷液的粘度变高时，压力损失变大，因此无法从排出口适当地排出涂敷液。也考虑了增大由加压部使接液膜产生的挠曲量以增大对涂敷液施加的压力，但实际上，挠曲量的增大具有某种程度的限制。因此，期望能够适当地排出大范围的粘度的涂敷液的新的涂敷头。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于，适当地排出大范围的粘度的涂敷液。

用于解决课题的手段

本发明的例示的涂敷头具有：主体部，其形成填充有涂敷液的压力室的一部分；接液膜，其形成所述压力室的另一部分；以及加压部，其通过使所述接液膜朝向所述压力室的内部挠曲而使所述涂敷液从与所述压力室连续的排出口排出，所述主体部具有容积变更部，该容积变更部能够变更所述接液膜为恒定状态下的所述压力室的容积。

发明效果

根据本发明，能够适当地排出大范围的粘度的涂敷液。

附图说明

图1是示出第一实施方式的涂敷装置的结构的图。

图2是示出涂敷头的剖视图。

图3是示出涂敷头的剖视图。

图4是示出配管模型的图。

图5是示出涂敷头的其他例子的剖视图。

图6是示出涂敷头的剖视图。

图7是示出第二实施方式的涂敷头的剖视图。

图8是示出涂敷头的剖视图。

图9是示出涂敷头的其他例子的剖视图。

图10是示出涂敷头的剖视图。

图11是示出涂敷头的其他例子的剖视图。

图12是示出涂敷头的一部分的仰视图。

图13是示出涂敷头的其他例子的剖视图。

图14是示出涂敷头的其他例子的剖视图。

图15是示出涂敷头的其他例子的剖视图。

具体实施方式

(第一实施方式)

图1是示出本发明的例示的第一实施方式的涂敷装置1的结构的图。涂敷装置1是向作为印刷基板、半导体基板等各种基板的对象物9上涂敷规定的涂敷液的装置。对象物9也可以是机械部件等。涂敷液例如是各种粘接剂(环氧、UV固化等)、密封剂、底部填充剂、润滑脂等。

涂敷装置1包含控制部10、移动机构2、涂敷头3以及涂敷液供给部4。控制部10负责涂敷装置1的整体控制。移动机构2包含载台21和载台移动机构22。载台21保持对象物9。载台移动机构22使载台21相对于涂敷头3移动。基于载台移动机构22的载台21的移动方向例如是相互垂直的两个方向。典型地，这些移动方向与涂敷头3排出涂敷液的排出方向垂直。载台移动机构22也可以是能够使载台21以与排出方向平行的轴为中心进行旋转。

涂敷液供给部4向涂敷头3的后述的压力室32(参照图2)提供涂敷液。涂敷液供给部4包含涂敷液箱41、供给流路42以及压力调整部43。涂敷液箱41贮存涂敷液。涂敷液箱41的内部是封闭的。供给流路42的一端与涂敷液箱41连接，另一端与涂敷头3连接。即，涂敷液箱41的内部与涂敷头3的压力室32经由供给流路42而在空间上连续。涂敷液箱41配置在比涂敷头3靠铅垂方向上方的位置。压力调整部43例如包含压力调整泵。通过压力调整部43而将涂敷液箱41内的压力调整为包含大气压在内的压力范围内的任意值。例如，将涂敷液箱41内的压力调整为比大气压低的负压。

图2是示出涂敷头3的剖视图。在图2中，示出了包含后述的排出口321的中心线C1在内的面上的涂敷头3的截面。涂敷头3包含主体部31、接液膜34以及加压部35。主体部31例如由金属等形成。主体部31包含主体环状部311、保持部312以及容积变更部36。主体环状部311是以中心线C1为中心的环状的部件。主体环状部311的内侧面形成压力室32的侧面。压力室32是涂敷头3的内部空间，例如呈以中心线C1为中心的圆柱状。在压力室32中填充有涂敷液。在压力室32的侧面设置有供给口322。在压力室32的底面设置有排出口321。供给口322和排出口321与压力室32连续。后文描述保持部312和容积变更部36的详细内容。

接液膜34是由金属等形成的隔膜。在压力室32中，接液膜34与排出口321对置。接液膜34形成压力室32的与底面对置的面。在涂敷头3中，由主体部31形成了压力室32的一部分，由接液膜34形成了压力室32的另一部分。接液膜34的压力室32侧的表面是与压力室32内的涂敷液接触的接液面。接液膜34的外缘部固定于主体部31的主体环状部311。除了排出口321和供给口322之外，压力室32被主体部31和接液膜34封闭。在涂敷头3中，也可以根据需要而设置用于去除包含于压力室32内的涂敷液中的气泡的排出口等。

加压部35包含压电元件351。压电元件351固定于接液膜34中的与接液面不同的面。通过省略图示的驱动电路向压电元件351提供驱动电压，压电元件351进行伸缩动作，从而接液膜34的挠曲量发生变化。在接液膜34朝向排出口321挠曲时，对压力室32内的涂敷液施加了压力，从排出口321向外部排出涂敷液。这样，通过由加压部35使接液膜34朝向压力室32的内部挠曲而从排出口321排出了涂敷液。在图1的涂敷头3中，加压部35使接液膜34挠曲的方向包含与不挠曲的状态下的接液膜34垂直的方向。在以下的说明中，将与接液膜34垂直的方向称为“膜法线方向”。在图2的涂敷头3中，膜法线方向与排出口321的中心线C1平行。膜法线方向与涂敷液的排出方向一致。

保持部312安装于主体环状部311中的与接液膜34相反的一侧的面。在保持部312形成有以中心线C1为中心的孔部313。孔部313的直径比压力室32的直径小。保持部312形成压力室32的底面的外缘部。保持部312例如由金属等形成。

容积变更部36包含对置部371。对置部371在膜法线方向上与接液膜34对置。对置部371包含能够在膜法线方向上移动的可动部372。可动部372包含筒状部件373和排出板374。筒状部件373和排出板374例如由金属等形成。筒状部件373呈以中心线C1为中心的圆筒状，沿膜法线方向延伸。筒状部件373的膜法线方向上的一个端部375配置于压力室32的内部侧。以下，将该端部375称为“内部侧端部375”。筒状部件373的另一个端部配置于压力室32的外部侧。以下，将该端部称为“外部侧端部”。筒状部件373是从压力室32的内部连续至外部并将压力室32的内部和外部连起来的部件。

筒状部件373被保持部312保持。详细地说，在孔部313的整个侧面上或该侧面的膜法线方向上的一部分的范围内形成有内螺纹。在筒状部件373的外侧面上形成有外螺纹。外螺纹例如从内部侧端部375形成至外部侧端部的附近。该外螺纹通过螺纹作用而与该内螺纹嵌合。因此，通过使筒状部件373向以中心线C1为中心的一个旋转方向旋转，筒状部件373向膜法线方向上的接液膜34侧移动(参照后述的图3)。通过使筒状部件373向另一旋转方向旋转，筒状部件373向膜法线方向上的与接液膜34相反的一侧移动。筒状部件373以能够在膜法线方向上移动的状态被保持部312保持。在图2的涂敷头3中，例如在将密封带卷绕于筒状部件373的外侧面的外螺纹上的状态下，该外螺纹与内螺纹嵌合。由筒状部件373的外侧面与孔部313的侧面之间的密封带的部位构成了密封部件33。

排出板374是设置有上述的排出口321的板状的部件。排出口321的直径可以任意决定。排出板374与中心线C1垂直。排出板374安装于内部侧端部375，配置于压力室32的内部。从排出口321排出的涂敷液通过筒状部件373内而朝向对象物9。在压力室32的外部，排出口321的周围被筒状部件373包围，由此能够在排出涂敷液时抑制周围的风的影响。另外，由于筒状部件373的内径足够大，因此原则上，通过筒状部件373内的涂敷液不会附着于筒状部件373的内侧面。筒状部件373的内侧面只要是筒状的面即可，也可以是圆筒面以外的面。另外，内侧面的直径也可以随着从内部侧端部375朝向外部侧端部而逐渐增大。

筒状部件373包含凸缘部376。凸缘部376设置于外部侧端部，配置于压力室32的外部。在外部侧端部，包含凸缘部376的部位能够被视为螺钉头。在从图2的下侧沿着中心线C1观察凸缘部376的情况下，在凸缘部376的端面上例如形成有以中心线C1为中心的十字状的槽。由此，能够利用该十字状的槽容易地使筒状部件373旋转。凸缘部376的外形也可以采用六边形等多边形。在该情况下，也能够容易地使筒状部件373旋转。

在图1的涂敷装置1的通常动作中，通过控制部10控制移动机构2和涂敷头3而向对象物9上涂敷涂敷液。具体而言，由移动机构2使载台21移动，由此将对象物9上的涂敷对象的位置配置在与排出口321对置的位置。然后，向压电元件351提供驱动电压，由此从排出口321朝向上述位置排出涂敷液的液滴。由于压电元件351具有高响应性，因此能够通过驱动电压的控制而容易地进行液滴的量的微小化和调整。在涂敷装置1中，通过重复进行对象物9的移动和涂敷液的排出而在对象物9上的全部的涂敷对象的位置涂敷了涂敷液。

在涂敷头3中，根据要向对象物9上涂敷的涂敷液的粘度而变更可动部372在膜法线方向上的位置。例如，在排出相同量的液滴的情况下，当使用粘度比较低的涂敷液时，筒状部件373在膜法线方向上配置在远离接液膜34的图2所示的位置。当使用粘度比较高的涂敷液时，筒状部件373在膜法线方向上配置在接近接液膜34的图3所示的位置。在图2和图3中，用带有标号L1、L2的箭头示出了接液膜34与排出板374之间的距离。

压力室32的底面的中央部是排出板374。如上所述，排出板374与筒状部件373一同沿膜法线方向移动。因此，在接液膜34为恒定状态、例如未向压电元件351提供驱动电压的情况下，压力室32的容积根据筒状部件373在膜法线方向上的位置而发生变化。具体而言，随着筒状部件373接近接液膜34，压力室32的容积变小。在通过加压部35而产生的接液膜34的挠曲量为恒定的情况下，压力室32的容积越小，由加压部35引起的该容积的变化率越大，对压力室32内的涂敷液施加的压力越大。由此，即使是粘度高的涂敷液，通过减小压力室32的容积，也能够从排出口321适当地排出该涂敷液。筒状部件373的可动距离例如为几百μm～几mm。在涂敷头3中，能够将压力室32的容积减小至例如最大容积的10％。

在使用涂敷头3的一例中，通过进行实验等而预先取得涂敷液的粘度和液滴的量与筒状部件373在膜法线方向上的位置的关系。根据实际使用的涂敷液的粘度和液滴的期望量，确定在膜法线方向上应配置筒状部件373的位置。然后，在涂敷头3中，将筒状部件373配置在该位置，以向对象物9上涂敷涂敷液。

这里，假定了省略了容积变更部、即压力室的容积为恒定的比较例的涂敷头。在比较例的涂敷头中，例如通过将压力室的容积制作得比较小，能够排出粘度高的涂敷液。另一方面，在排出粘度低的涂敷液时，对压力室内的涂敷液施加的压力变得过高而无法适当地排出该涂敷液的液滴。另外，由于压电元件能够使接液膜产生的最大挠曲量例如为几μm～十几μm，因此难以仅通过调整接液膜的挠曲量而适当地排出粘度高的涂敷液和粘度低的涂敷液双方。

与此相对，在涂敷头3中，接液膜34为恒定状态下的压力室32的容积能够通过容积变更部36而进行变更。由此，能够适当地排出大范围的粘度的涂敷液。例如，在涂敷头3中，能够适当地排出100毫帕秒(mPa·s)以上并且30万mPa·s以下的粘度范围的涂敷液。

另外，在考虑了图4所示的配管模型的情况下，入口侧的压力P1与出口侧的压力P2之差、即压力损失通常用数学式1来表示。在数学式1中，μ是粘性系数(粘度)[Pa·s]，L是管长[m]，V是流量[m3/s]，D是管内径[m]。

(数学式1)P1-P2＝128μLV/πD4

根据数学式1可知，管内径D对压力损失产生较大的影响。在图2的涂敷头3中，接液膜34和排出口321分别对应于图4的配管模型中的入口侧和出口侧。在减小压力室32的容积的情况下，在假如减小压力室32的直径时，压力损失变大。因此，涂敷头中的与涂敷液的排出相关的能量效率变低。另外，在压力损失大的情况下，根据对压力室内的涂敷液施加的压力，有可能无法排出涂敷液。

与此相对，在涂敷头3中，在减小压力室32的容积的情况下，减小与管长L相当的压力室32的长度，无需变更压力室32的直径。具体而言，使设置有排出口321的可动部372向膜法线方向的接液膜34侧移动，从而接液膜34与排出口321之间的距离减小。其结果为，能够降低接液膜34与排出口321之间的压力损失，能够更可靠地排出涂敷液。另外，能够提高涂敷头3中的与涂敷液的排出相关的能量效率，也能够抑制涂敷头3中的发热。

在使筒状部件373移动的涂敷头3中，无需采用复杂的构造就能够容易地使压力室32的容积大幅地变更。其结果为，能够增大可排出的涂敷液的粘度的范围。另外，能够简化涂敷头3的构造，从而容易地实现涂敷头3的小型化。通过在孔部313的侧面和筒状部件373的外侧面上形成内螺纹和外螺纹，能够容易地使筒状部件373在膜法线方向上移动。根据涂敷头3的设计，也可以省略上述内螺纹和外螺纹而将筒状部件373压入于保持部312的孔部313中。在后述的图5和图6的涂敷头3中是同样的。

另外，在涂敷头3中，在变更压力室32的容积时，优选为，在压力室32内未填充涂敷液的状态下使筒状部件373在膜法线方向上移动。由此，防止了过大的压力作用于接液膜34而损伤接液膜34等。在变更涂敷液的种类时，优选为，将可动部372从保持部312卸下而进行涂敷头3的内部的清洗。另外，在剥离密封部件33而将作为新的密封部件33的密封带重新卷绕于筒状部件373的基础上，将筒状部件373嵌入于保持部312中。

在涂敷头3中，保持部312的厚度也可以比筒状部件373的可动距离大。由此，防止了在不将可动部372从保持部312卸下而变更压力室32的容积时，筒状部件373的外侧面上的附着有涂敷液的部位露出到外部。在由于周围的温度而导致涂敷液的粘度稍微发生变动的情况下等，可以通过由加压部35稍微变更使接液膜34产生的挠曲量而调整涂敷液的排出量。

图5和图6是示出涂敷头3的其他例子的剖视图，分别对应于图2和图3。在图5和图6的涂敷头3中，对图2和图3的涂敷头3追加了辅助部件378。其他结构与图2和图3相同，对相同的结构标注相同的标号。

辅助部件378是以中心线C1为中心的环状的部件，包含于对置部371。在辅助部件378的内侧面上例如形成有内螺纹。筒状部件373插入于辅助部件378和保持部312的孔部313双方。通过筒状部件373相对于孔部313被紧固，辅助部件378在凸缘部376与保持部312之间与双方接触。

在涂敷头3中，根据应配置筒状部件373的位置而变更所使用的辅助部件378的长度。详细地说，根据筒状部件373的多个位置，预先准备了长度不同的多个辅助部件378。当决定了在涂敷装置1中使用的涂敷液时，根据该涂敷液的粘度等而确定在膜法线方向上应配置筒状部件373的位置。选择与该位置对应的一个辅助部件378，将筒状部件373插入于该辅助部件378中。将筒状部件373进一步插入于保持部312的孔部313中。然后，紧固筒状部件373，直到辅助部件378与凸缘部376和保持部312双方接触为止。由此，能够高精度地管理安装于筒状部件373的端部的排出板374与接液膜34之间的距离，能够高精度地调整压力室32的容积。根据需要，也可以省略辅助部件378的内侧面的内螺纹。

(第二实施方式)

图7和图8是示出本发明的例示的第二实施方式的涂敷头3a的剖视图。在图7和图8的涂敷头3a中，设置有可更换的对置部381a、381b来代替图2和图3的对置部371。另外，省略了保持部312，密封部件33a的构造与图2和图3的密封部件33不同。其他结构与图2和图3相同，对相同的结构标注相同的标号。

图7和图8所示的对置部381a、381b在膜法线方向上与接液膜34对置。图7所示的对置部381a和图8所示的对置部381b分别包含板状部382和筒状突出部383。板状部382呈以中心线C1为中心的圆板状，与中心线C1垂直地扩展。在板状部382上设置有排出口321。筒状突出部383设置于板状部382的与接液膜34对置的主表面上。筒状突出部383呈以中心线C1为中心的筒状。筒状突出部383压入于主体环状部311的内侧面，与主体环状部311固定起来。在主体环状部311的内侧面上形成有环状凹部。在该环状凹部内设置有O型圈等密封部件33a。

在对置部381a、381b中，筒状突出部383在膜法线方向上的长度不同。筒状突出部383的壁厚相同。优选为，除了图7和图8所示的对置部381a、381b以外，还准备了筒状突出部383的长度不同的其他对置部。在涂敷装置1中，根据要在对象物9上涂敷的涂敷液的粘度等而从多个对置部381a、381b中选择一个对置部。例如，在使用粘度较低的涂敷液时，选择筒状突出部383的长度较短的对置部、例如图7的对置部381a。在使用粘度比较高的涂敷液时，选择筒状突出部383的长度较长的对置部、例如图8的对置部381b。选择图8的对置部381b的情况下的压力室32的容积比选择图7的对置部381a的情况小。

如上所述，在涂敷头3a中，对置部能够与其他对置部进行更换，将该对置部用于主体部31的情况下的压力室32的容积与将该其他对置部用于主体部31的情况下的压力室32的容积不同。即，在涂敷头3a的容积变更部36中，能够通过更换对置部而变更接液膜34为恒定状态下的压力室32的容积。由此，实现了适当地排出大范围的粘度的涂敷液。

图9和图10是示出涂敷头3a的其他例子的图。在图9和图10所示的对置部381c、381d的板状部382中，形成有孔部384来代替图7和图8的对置部381a、381b中的排出口321。孔部384的直径远大于设置于后述的排出板385上的排出口321。另外，筒状突出部383的内侧面与孔部384的内侧面连续，与中心线C1平行地延伸。在筒状突出部383的接液膜34侧的端部安装有排出板385。排出板385与中心线C1垂直，在中央设置有排出口321。排出板385配置于压力室32的内部。

在多个对置部381c、381d中，筒状突出部383在膜法线方向上的长度互不相同。因此，将一个对置部用于主体部31的情况下的压力室32的容积与将其他对置部用于主体部31的情况下的压力室32的容积不同。由此，能够适当地排出大范围的粘度的涂敷液。

另外，一个对置部和其他对置部分别包含排出口321，将该一个对置部用于主体部31的情况下的接液膜34与排出口321之间的距离与将该其他对置部用于主体部31的情况下的该距离不同。详细而言，在使用一个对置部时的压力室32的容积比使用其他对置部时小的情况下，使用该一个对置部时的接液膜34与排出口321之间的距离也比使用该其他对置部时小。由此，在通过更换对置部而减小压力室32的容积时，也能够降低接液膜34与排出口321之间的压力损失。

在上述涂敷头3、3a和涂敷装置1中能够进行各种变形。

在包含可动部372的涂敷头3中，也可以是，排出口321的位置相对于主体环状部311是固定的。例如，在图11所示的涂敷头3中，在固定于主体环状部311的保持部312上设置排出口321。可动部372包含多个螺钉379。像示出从图11的下侧观察保持部312时的情形的图12那样，在保持部312上设置有多个螺纹孔314，多个螺钉379通过螺纹作用而分别与多个螺纹孔314嵌合。多个螺钉379的端部配置于压力室32内。在图11所示的涂敷头3中，多个螺钉379能够在膜法线方向上移动。能够通过在多个螺钉379中变更配置于压力室32内的部位的长度而容易地变更压力室32的容积。

如图13所示，排出板374也可以安装于筒状部件373内侧面上、即筒状部件373的内侧。在该情况下也是，在减小压力室32容积的情况下，接液膜34与排出板374之间的距离也减小，能够降低接液膜34与排出口321之间的压力损失。另外，能够在排出涂敷液的过程中抑制周围的风的影响。

在图2和图3的涂敷头3中，也可以设置有与图7和图8的密封部件33a相同的密封部件。例如，在图14所示的涂敷头3中，在对置部371的筒状部件373与主体环状部311之间设置有O型圈等密封部件33a。在图15所示的涂敷头3中，在筒状部件373与保持部312之间设置有密封部件33a。另外，在上述的图11的涂敷头3中，在包含于对置部371的螺钉379与螺纹孔314的侧面之间设置有由密封带形成的密封部件33。如上所述，在图7至图10的涂敷头3a中，在对置部381a～381d与主体环状部311之间设置有密封部件33a。如上所述，在涂敷头3、3a中，在对置部371、381a～381d与主体部31中的对置部371、381a～381d之外的部位之间设置有防止涂敷液通过的密封部件33、33a。由此，能够抑制涂敷液泄漏。

根据涂敷头3、3a的设计，容积变更部36也可以设置于压力室32的侧面。例如，设置有从压力室32的侧面向内部突出的螺钉，通过变更该螺钉中的配置于压力室32内的部位的长度而变更压力室32的容积。另外，根据主体部31的形状等，也可以在压力室32的底面以外的位置、例如压力室32的侧面上设置排出口321。

在涂敷装置1中，也可以是，载台21是固定的，通过移动机构而使涂敷头移动。即，只要移动机构使要涂敷涂敷液的对象物9相对于涂敷头3相对地移动即可。

上述实施方式和各变形例的结构只要相互不矛盾就可以适当组合。

产业上的可利用性

本发明的涂敷头和涂敷装置能够用于各种用途。

标号说明

1：涂敷装置；2：移动机构；3、3a：涂敷头；4：涂敷液供给部；9：对象物；31：主体部；32：压力室；33、33a：密封部件；34：接液膜；35：加压部；36：容积变更部；312：保持部；313：(保持部的)孔部；321：排出口；371、381a～381d：对置部；372：可动部；373：筒状部件；374：排出板；375：内部侧端部；376：凸缘部；378：辅助部件。

Claims (11)

1.一种涂敷头，其具有：

主体部，其形成填充有涂敷液的压力室的一部分；

接液膜，其形成所述压力室的另一部分；以及

加压部，其通过使所述接液膜朝向所述压力室的内部挠曲而使所述涂敷液从与所述压力室连续的排出口排出，

所述主体部具有容积变更部，该容积变更部能够变更所述接液膜为恒定状态下的所述压力室的容积。

2.根据权利要求1所述的涂敷头，其中，

所述加压部使所述接液膜挠曲的方向包含与所述接液膜垂直的一个方向，

所述容积变更部具有在所述一个方向上与所述接液膜对置的对置部。

3.根据权利要求2所述的涂敷头，其中，

所述对置部具有能够在所述一个方向上移动的可动部。

4.根据权利要求3所述的涂敷头，其中，

所述排出口设置于所述可动部。

5.根据权利要求3或4所述的涂敷头，其中，

所述可动部具有：

筒状部件，其沿所述一个方向延伸，将所述压力室的内部与外部连起来；以及

排出板，其呈板状，设置有所述排出口，并且安装于所述筒状部件的所述一个方向上的内部侧端部或者所述筒状部件的内侧，

所述主体部还具有形成有孔部的保持部，

所述筒状部件被所述保持部保持。

6.根据权利要求5所述的涂敷头，其中，

在所述孔部的侧面上形成有内螺纹，在所述筒状部件的外侧面上形成有外螺纹。

7.根据权利要求5或6所述的涂敷头，其中，

所述筒状部件具有凸缘部，该凸缘部配置于所述压力室的外部，

所述对置部还具有供所述筒状部件插入的环状的辅助部件，

所述辅助部件在所述凸缘部与所述保持部之间与双方接触。

8.根据权利要求2所述的涂敷头，其中，

所述对置部能够与其他对置部进行更换，

将所述对置部用于所述主体部的情况下的所述压力室的容积与将所述其他对置部用于所述主体部的情况下的所述压力室的容积不同。

9.根据权利要求8所述的涂敷头，其中，

所述对置部和所述其他对置部分别包含排出口，

将所述对置部用于所述主体部的情况下的所述接液膜与所述排出口之间的距离与将所述其他对置部用于所述主体部的情况下的所述距离不同。

10.根据权利要求2至9中的任意一项所述的涂敷头，其中，

在所述对置部与所述主体部的其他部位之间设置有防止所述涂敷液通过的密封部件。

11.一种涂敷装置，其具有：

权利要求1至10中的任意一项所述的涂敷头；

涂敷液供给部，其向所述涂敷头的所述压力室提供所述涂敷液；以及

移动机构，其使要涂敷所述涂敷液的对象物相对于所述涂敷头相对地移动。