JP2011147889A - 微小液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吐出口が形成されているノズルプレート11と、一方を前記吐出口と液密に連結され、他方が開口端となる貫通孔を有し、外部から前記貫通孔に向かって液供給路が形成されているボディー部13と、前記開口端上に覆設されたダイヤフラム16と、前記ダイヤフラムの開口端側に前記吐出口に向かって連結されたポペット17と、前記開口端側の前記ポペットの反対側から前記ダイヤフラムに連結された駆動シャフト19と、前記ボディー部との間で前記ダイヤフラムを狭持すると共に、前記駆動シャフトを保持する駆動クランプを18有する微小液滴吐出装置1を提供する。
【選択図】図1
Description
吐出口が形成されているノズルプレートと、
一方を前記吐出口と液密に連結され、他方が開口端となる貫通孔を有し、外部から前記貫通孔に向かって液供給路が形成されているボディー部と、前記開口端上に覆設されたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの開口端側に前記吐出口に向かって連結されたポペットと、前記開口端側の前記ポペットの反対側から前記ダイヤフラムに連結された駆動シャフトと、前記ボディー部との間で前記ダイヤフラムを狭持すると共に、前記駆動シャフトを保持する駆動クランプを有する微小液滴吐出装置を提供する。
11 ノズルプレート
12 吐出口
13 ボディー部
14 Oリング
15 溶液供給路
16 ダイヤフラム
17 ポペット
18 駆動クランプ
19 駆動シャフト
20 溶液室
21 溶液供給口
25 ネジ部
Claims (5)
- 吐出口が形成されているノズルプレートと、
一方を前記吐出口と液密に連結され、他方が開口端となる貫通孔を有し、外部から前記貫通孔に向かって液供給路が形成されているボディー部と、
前記開口端上に覆設されたダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの開口端側に前記吐出口に向かって設置されたポペットと、
前記開口端側の前記ポペットの反対側から前記ダイヤフラムに連結された駆動シャフトと、
前記ボディー部との間で前記ダイヤフラムを狭持すると共に、前記駆動シャフトを保持する駆動クランプを有する微小液滴吐出装置。 - 前記ポペットは、前記ダイヤフラムに着脱可能に連結された請求項1に記載された微小液滴吐出装置。
- 前記ポペットは、前記液供給路から供給される溶液より比重が重い請求項1または2のいずれかの請求項に記載された微小液滴吐出装置。
- 前記ポペットは、内部と表面が異なる材質で構成された請求項1乃至3のいずれか1の請求項に記載された微小液滴吐出装置。
- 前記ダイヤフラムと前記駆動シャフトはネジ構造で連結されており、
前記ダイヤフラムには同心円上には、前記駆動クランプと固定されるための複数の固定用孔が形成された請求項1乃至4のいずれか1の請求項に記載された微小液滴吐出装置。
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